DE7320456U - Elektrischer schichtwiderstand - Google Patents

Description

Aktenzeichen G 73 20 456.5
.Richard Elliott Caddock

Neue Beschreibungseinleitung

■' Elektrischer Schichtwiderstand ""*n

;;Die Erfindung bezieht sich auf einen Schichtwiderstand der im Oberbegriff des Schutzanspruchs 1 genannten Art.

Schichtwiderstände, bei denen die Widerstandsschicht auf der "Außenfläche eines Zylinders vorgesehen ist, sind seit langem -bekannt. Z. B. zeigt die US-PS 1 857 769 einen 'solchen VSchichtwiderstand, bei dessen Herstellung der Zylinder ge- ;dreht wird, während fortschreitend ein gewundenes Muster ■ darauf aufgezeichnet wird. Bei einem ähnlichen Verfahren wird 'eine schraubenförmig verlaufende Nut in ein mit widerstands- ;material beschichtetes zylindrisches Substrat eingeschnitten. ^Derartige Verfahren sind langwierig und daher teuer und führen in der Regel nicht zu der erwünschten Gleichmäßigkeit der Schichtdicke.

Zur Geringhaltung der Induktanz eines zylindrischen Schichtwiderstands ist es bekannt, einen wendeiförmigen Widerstandsstreifen längs der einen Hälfte des zylindrischen Substrats links herum und längs der anderen Hälfte rechts herum verlaufen zu lassen, wobei jedoch eine wirksame Kompensierung

Bayerische Vereinsbank 823101
Postscheck 54782-809

7320456 21.09.78

rlEC 3174a

der Induktanz nur in den Windungen nahe der Mitte des Widerstandselements erzielt wird.

Ein dem Oberbegriff des Schutzanspruchs 1 entsprechender Widerstand ist aus der US-PS 2 36O 263 bekannt. Dabei be-"""steht die Widerstandsschisht aus einem in Serpentinenbogen Verlaufenden Draht, der in eine dem zylindrischen Substrat .angepaßte Form gebogen und dann an dem zylindrischen Sub-₍^^vstrat befestigt wird. Für eine Massenherstellung ist ein derartiges Verfahren kaum geeignet.

Es sind schließlich ebene Widerstände bekannt, die im Siebdruckverfahren hergestellt worden sind. Für viele Anwendun- -gen werden jedoch zylindrische Widerstände ebenen Widerständen vorgezogen, da zylindrische Widerstände im allge-'meinen wxderstandsfähiger in bezug auf Wärmeschock und mechanischen Schock sind₀ Ferner können zylindrische Widerstände sehr klein ausgebildet sein, obwohl sie hohe Widerstandswerte erzeugen.

,Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen leicht und mit hoher Güte herstellbaren .elektrischen Schichtwiderstand zu schaffen.

Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß das Aufdrucken einer Widerstandsschicht in einem bestimmten Muster auch auf einem zylindrischen Substrat möglich ist. Dabei kann das Muster aus einem eine große Länge aufweisenden schmalen Streifen bestehen; derartige schmale Widerstandsstreifen sind

7320456 21.09.78

• m · λ · ·

günstig, "beispielsweise zum Erhöhen des Widerstandswerts.

Der eriindungsgemäße Schichtwiderstand kann unter Anwendung von Siebdruckverfahren hergestellt werden, deren Ausführung

nur Sekunden dauert; es ergeben sich dabei Widerstandseie- ■

mente höchster Qualität, die in relativ wirtschaftlicher . Weise gefertigt werden können. Außerdem sind die Widerstände in hohem Maß induktionsfrei, sehr widerstandsfähig gegen

Wäriaeschock und mechanischen Schock und in hohem Maß immun: '·

gegen Spannungsdurchbrüche und Kurzschlüsse. Die Größe der ;

Widerstände kann sehr gering sein, trotzdem können sie Wider- «

standswerte von mehreren Megohm aufweisen. Der das Muster I

"bildende Schichtstreifen kann außerordentlich schmal, "bei- |

spielsweise 0,254 mm, sein, was eine präzise Fertigung der- |

artiger Widerstände mit hohem Widerstandswert gestattet. g

! Die Erfindung wird nachstehend an Hand von Ausführungsbei- | spielen unter Bezugnahme auf die Figuren beschrieben. Von den Figuren zeigen:

Figur 1 eine stark vergrößerte maßgleiche Darstellung eines erfindungsgemäßen Schichtwiderstands vor dem Aufbringen eines Außenüberzugs;

Figur 2 eine seitliche Aufsicht auf den Widerstand

gemäß Figur 1, wobei jedoch die andere Seite gezeigt ist;

Figur 3 einen zentralen Längsschnitt durch den Widerstand, der einen Außenüberzug aufweist;

Figur 4 einen vergrößerten Teilschnitt entsprechend einem kleinen Bereich des unteren Abschnitts von Figur 3 ohne Außenüberzug;

Figur 5 einen vergrößerten Querschnitt entlang der Linie 5-5 von Figur 3;

Figur 6 e_ine maßgleiche Darstellung des zylindrischen Substrats, auf das die Wjderstandsschicht aufgedruckt wird;

Figur 7 eine Draufsicht von oben, die schematisch eine Siebdruckvorrichtung zur Fertigung des erfindungsgemäßen Widerstands darstellt;

7320456 2109.78

Figur 8 eine Draufsicht auf den Widerstand nach dem

Aufdrucken des Schichtmusters und nachdem Anschlußschichten auf die Zylinderenden aufgedruckt worden sind;

Figur 9 eine maßgleiche Darstellung, wobei eine Art und Weise der genauen Justierung des Widerstandswerts des Widerstandselements dargestellt ist; und

Figur 10 eine seitliche Aufsicht auf den fertigen Wider- | stand, der keinen Schutzüberzug aufweist. I

Gemäß den Figuren 1 und 2 weist der Widerstand einen langge- | streckten Zylinder 10 als Substrat auf, der aus elektrisch | isolierendem Material gebildet ist, vorzugsweise aus einem geeigneten hitzebeständigen Keramikmaterial wie Aluminiumoxid. Um dessen Festigkeit zu erhöhen und die Möglichkeit eines Eindringens von Feuchtigkeit möglichst klein zu halten, ist der Zylinder vorzugsweise massiv und nicht hohl. Er hat eine glatte Außenfläche, die durch spitzenloses Schleifen eines keramischen Strangpreßlings gebildet ist. j

Auf der Außenseite des Zylinders 10 ist eine Widerstands- j schicht 11 haftend aufgebracht. Die Schicht besteht aus

einem langgestreckten Streifen 12, der in einem bestimmten !

Muster verläuft, durch das die gewünschten Eigenschaften wie j

Induktionsfreiheit, Verhinderung von Spannungsdurchbrüchen j usw. erhalten werden.

Die Widerstandsschicht 11 ist zwar in großen Bereichen der Zylinderoberfläche vorhanden, jedoch nicht entlang ainem j Spalt 13» der über die gesamte Länge des Zylinders 10 pa- j a rallel zu dessen Achse verläuft. Der Spalt 13 hat eine hinreichende Weite, so daß sich kein Spannungsdurchbruch zwischen Abschnitten der Schicht 11 an gegenüberliegenden Seiten des Spalts ergibt, und ist auch so weit, daß die Rakel einer unten beschriebenen Siebdruckvorrichtung in dem Spalt angeordnet werden kann, ohne daß sich ein Überdrucken des Widerstandsschichtmusters ergibt. Der Spalt 13 hat eine Weite

« 1 I ■ β t * *

«ti mm·

■ «fell« «ft *

von mindestens ca. 0,38 mm,

Das Muster der Schicht 11 kann als serpentinenförmig oder schlängelnd beschrieben werden und ist in sich induktionsfrei. Das Muster besteht aus einer Vielzahl von in Reihen angeordneten haarnadelförmigen Abschnitten, von denen jeder einen U-förmigen Grund (¥ölbung) 14 und parallele Arme 16 besitzt. Einander benachbarte Arme 16 fassen Strom in entgegengesetzten Richtungen durch, was zur Folge hat, daß die erzeugten Magnetfelder in wirksamer Weise einander neutralisieren und so die Erzeugung einer nennenswerten Induktanz in dem Widerstand verhindern.

Die Breite eines Streifens 12, d. h. die Breite jedes Arms 16 und jeder Basis 14, ist gering. Sie k?ain in einem Bereich zwischen ca. 0,203 mm und 2,54 mm liegen.

Bei der gezeigten Ausführungsform ist die das Widerstandsschichtmust^r bildende Schlangenlinie um die zylindrische Außenfläche des Zylinders 10 so herumgeführt, daß die U-Basisteile einander benachbart an gegenüberliegenden Seiten des Spalts 13 vorgesehen sind. Anders ausgedrückt sind zwei parallele Reihen von Basisabschnitten 14 vorgesehen, und zwar jeweils eine Reihe auf jeder Seite des Spalts 13. So erstrecken sich die Arme um den Umfang der zylindrischen Oberfläche, wogegen sich zumindest Teile der U-Basen in Längsrichtung dieser Zylinderfläche erstrecken.

Bei der beschriebenen Ausführungsform ist jeder Arm 16 relativ kurz, seine Länge ist beträchtlich kleiner als der Umfang des Zylinders 10. Wegen der geringen Länge der Arme 16 ist der Spannungsabfall entlang jedem Arm nicht groß genug, um einen großen Spannungsunterschied relativ zu dem benachbarten Arm zu erzeugen, so daß die Neigung zu Spannungsdurchbrüchen minimiert wird.

Bei der gezeigten Ausführungsform und in weiteren bevorzugten Ausführungsformen ist die Breite jedes Arms 16 im wesentlichen die gleiche wie die Breite jedes Zwischenraums zwischen benachbarten Armen. Derartige Zwischenräume sind beispielsweise bei 17 in Figur 2 dargestellt. Die Breite der Zwischenräume 17 kann in einem Bereich zwischen ca. 0,25 mm bis 2,54 am liegen.

Im Unterschied zur Breite liegt die Dicke eines Streifens vorzugsweise zwischen 0,025 mm und 0,05 mm an der Stelle maximaler Dicke.. Unter Bezugnahme auf Figur 4 wird darauf hingewiesen, daß die Außenflächen der Randabsehnitte des Streifens 12 auf die zylindrische Oberfläche zu konvergieren, so daß sich keine scharfe Ecke oder Abfallstelle ergibt. Diese Form trägt zu einer Minimierung der Möglichkeit eines Spannungsdurchbruchs bei.

Ein Abschnitt des Widerstandsschichtmusters ist relativ breit, wie bei 18 gezeigt ist, Dadurch kann der Widerstand in noch zu beschreibender Weise in bezug auf seinen Wert getrimmt oder eingestellt werden. In dem breiten Abschnitt 18 ist gemäß Figur 1 ein abgeschliffener und damit dünner 3ereich 19 vorgesehen, dessen Länge und Breite derart bemessen sind, da3 die Widerstandsschicht einen Widerstandswert innerhalb eines gewünschten engen Bereichs haben kann.

An gegenüberliegenden Enden des schlangenlinienförmigen Streifens 12 der Widerstandsschicht befinden sich Anschlußabschnitte 21, die sich vorzugsweise parallel zur Achse des Zylindern 10 und benachbart dem Spalt 13» jedoch nicht in diesem, erstrecken. Die Anschlas3abschnitte 21 und 22 verlaufen unter zylindrischen Schichten £3 und 24 (Figuren 3, 5 und 8) von hochleitfähigem Material, die auf dem Zylinder 10 an entgegengesetzten Enden desselben vorgesehen sind. Die Schichten 23 und 24 erzeugen eine hohe Gleichmäßigkeit im Widerstandsabschluß und minimieren Probleme des Üb^rgangs-Widerstands.

7320456 21.D9.78

Die Schichten 23 und 24 können aus leitfähigem Silber-Keramikmaterial in einer Glasmatrix gebildet sein, oder sie können aus einem leitfähigen Silber-Epoxy-Kunststoff hergestellt sein.

Das die Schicht 11 bildende Widerstandsmaterial kann aus elektrisch leitfähigen komplexen Metalloxiden in einer Glasmatrix bestehen, die z. B. für 30 min bei Temperaturen von ca. 760 ⁰C in Luft gebrannt werden. Damit die komplexen Oxide und Glaspartikel im SiebdruckverfähFen aufgebracht werden können, werden sie zuerst mit einem Pineöl-Bindemittel (Rakel-Öl) gemischt. Ein weiteres mögliches Widerstandsmaterial sind Kohlenstoffpart?kel in einem Epoxybinder, der auch als Klebimittel wirkt.

Das hier gezeigte Schichtmuster herumgeführter Schlangenlinien wird zwar vorgezogen; es ist jedoch auch möglich, andere Schichtmuster vorzusehen, bei denen der Spalt 13 vorhanden ist und sich im wesentlichen induktionsfreie Beziehungen ergeben. Beispielsweise können sich die Anne der Schlangenlinien parallel zur Achse des Zylinders 10 erstrecken und nicht in Umfangsrichtung desselben. In diesem Fall verlaufen dann die U-förmigen Basisabschnitte uiafangs-■mäßig im Gegensatz zu den hier gezeigten Basisabschnitten, die sich zumindest in ihren Mittelabschnitten allgemein parallel zur Zylinderachse erstrecken.

Die Widerstände werden häufig sehr heiß, beispielsweise werden sie auf einige hundert ⁰C erhitzt. Aus diesem Grund ist es normalerweise nicht gut möglich, zur Bildung der Endanschlüsse des Widerstands Lotmaterial zu verwenden. Daher werden metallische Endkappen 26 im Preßsitz über die Enden des Zylinders 10, d. h. über die zylindrischen Schichten 23 und 24, aufgebracht und bilden Kontakt mit den Schichten 23 und 24 und dadurch mit den Anschlußabschnitten

7320456 21.09.78

Elektrische Zuleitungen 27 erstrecken sich axial nach außen von den Endkappen 26 und sind mit diesen Endkappen durch |

geeignete Mittel elektrisch und mechanisch verbunden. !

Zusätzlich weist der Widerstand einen Schutzüberzug 28 aus einem geeigneten Material auf, das die erforderlichen Eigenschaften bezüglich Isolationsfähigkeit, Widerstand gegen Feuchtigkeit und Hitze usw. hat. Ee-

rnw + nri* al i <*+ ΙΙ".·ϊ1 j rr.ri* Γηη f .-.rnl —1 Il f+sre im η \ ·— r ί

Für die Zwecke der Verwendung mit extrem hohen Spannungen kann die Widerstandsschicht eine primäre und eine sekundäre Umkapselung aufweisen. Außerdem kann eine Außenummantelung vorgesehen sein, beispielsweise eine Süberummantelung, die über eine Zuleitung geerdet ist*

Es wird nunmehr auf die Figuren 6 bis 10 Bezug genommen. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein langgestreckter _; Zylinder 10 benutzt, der aus einem gewünschten Keramiksub-.. strat wie Aluminiumoxid besteht. Wie bereits erwähnt, wird ■ vorzugsweise durch spitzenlosiss Schleifen die Außenfläche des Zylinders 10 sehr glatt und rund geschliffen. Der Durchmesser des Zylinders ist mit D in Figur 7 bezeichnet.

Als nächster Verfahrensschritt wird die Widerstandsschicht 11 auf die Außenfläche des Zylinders 10 auf den größten Teil

derselben aufgedruckt, jedoch nicht auf den Spalt 13. Dieses i

Aufdrucken wird sehr schnell ausgeführt und ist nicht mit dem |

schrittweisen Aufzeichnen des Musters auf die Fläche zu ver- j

gleichen. \

Das Aufdrucken geschieht durch Umfangskontakt zwischen einer | Druckvorrichtung 30 und der zylindrischen Fläche des Zylin- ] ders 10r Auf der Druckvorrichtung 30 ist ein Druckbereich |

7320456 21.8478

-IQ-

vorgesehen, der in der unten beschriebenen Weis.e mit dem Durchmesser des Zylinders 10 in Beziehung steht. Der zwischen dem Zylinder 10 und der Druckvorrichtung 30 bewirkte Umfoaigskontakt ist ein geradliniger Kontakt entlang einer parallel zur Achse des Zylinders 10 verlaufendeih Linie. Es findet kein Gleitkontakt zwischen der Druckvorrichtung 30 und dem Zylinder statt, und somit ergibt sich kein Überdrucken von auf dem Zylinder aufgedrucktem Material.

-Die Druckvorrichtung 30 arbeitet mit einer Schsiblone, d. h. sie ist eine Siebdruckform mit einem undurchlässigen Bereich ;31 und einem durchlässigen Bereich 32. Die Form, Abmessungen iUsw. des durchlässigen Bereichs 32 entsprechen der des beschriebenen Musters der Widerstandsschicht, wobei jedoch bei ider gezeigten Vorrichtung der durchlässige Bereich 32 eben ;ist. Die Abmessung des Druckbereichs (durchlässiger Bereich i32) in Richtung der Bewegung der Druckschablone ist X und entspricht TTD abzüglich der Veite des oben beschriebenen !Spalts 13.

!Weiterhin weist die Siebdruckvorrichtung eine Rakel 33 auf, ?die durch nicht gezeigte Mittel gehalten ist. Die Rakel 'greift an der Oberseite der Siebdruckform 30 über dem oberen ,'Bereich des Zylinders 10 an, wobei der mit der Rakel in Konitakt befindliche Bereich der Siebdruckschablone entlang veiner mit der Zylinderachse parallelen Linie in geradlini-"^gern Kontakt mit dem Zylinder steht. Nicht gezeigte geeigneite Mittel sind vorgesehen, um die äußersten Enden des Zylin- --Jders 10 drehbar derart zu halten, daß der Zylinder sich mit 'der Siebdruckschablone dreht, während diese unter der Rakel 33 durchbewegt wird, oder um den Zylinder 10 anzutreiben und eine Rotation desselben mit einer Geschwindigkeit zu bewirken, die der Bewegungsgeschwindigkeit der Siebdruckschablone entspricht.

Bei der Ausführung des Siebdruckvorgangs ist ein nicht gezeigter geeigneter Wischer vorgesehen, der über die Oberseite der Siebdruckschablone 30 wischt und den ganzem durchlässigen Bereich 32 mit Widerstandsmaterial tränkt, beispielsweise mit dem oben genannten, aus komplexen Oxiden bestehenden Widerstandsmaterial. Anschließend wird die Siebdruckform 30 nach links in Figur 7 unter die Rakel 33 bewegt, 'wobei der Betrag der Bewegung derart bemessen ist, daß jeder Abschnitt des druckenden Bereichs der Siebdruckform 30, ϋ. h. des durchlässigen Bereichs 32, nur einmal mit dem Zylinder 10 in. Kontakt gelangt.

Wenn also der druckende Bereich, d. h. der durchlässige Bereich 32, der Siebdruckform 30 eine Abmessung X in der Bewegungsrichtung der Druckform 30 hat, ist der Betrag der Ver-. Schiebung derselben, der erreicht wird, nachdem der am weitesten vorn liegende Abschnitt des druckenden Bereichs mit der Rakel 33 in Kontakt gelangt ist, größer als X, aber kleiner als TTD. Infolgedessen befindet sich am Ende des linken Druckhubs der Druckform 30 der in Figur 7 mit 34 beizeichnete Druckformbereich unter der Rakel 33. Dieser Bereich 34 entspricht dem Spalt 13 gemäß Figur 8, der eine Weite hat, die gleich TCD - X ist.

Nach Beendigung des Druckvorgangs wird der mit dem Aufdruck ■^versehene Zylinder 10 entfernt, so daß er nicht mehr mit der Druckform 30¹ in Kontakt steht. Anschließend wird die Druckform 30 in die entgegengesetzte Richtung, d. h. nach rechts in Figur 7» bewegt, und gleichzeitig wischt der Wischer ' wiederum etwas von dem Widerstandsmaterial in den durchlässigen Bereich 32 der Druckschablone. So ist die Vorrichtung für den nächstem Druckvorgang bereit.

Der mit dem Aufdruck versehene Zylinder 10 wird dann in Luft in einem Brennofen gebrannt, und zwar bei Temperaturen, die

über 760 C liegen, um ein Schmelzen des Glases und Aushärten des Widerstandsmaterials zu bewirken. Dieser Brennvorgang dauert 30 min«,

Anschließend werden die aus hochleitfähigem Anschlußmaterial (ζ. B. dem oben genannten Silber-Keramik-Material) bestehenden zylindrischen Schichten 23 und 24 an entgegengesetzten Enden des Zylinders über den Anschlußabschnitten 21 der Widerstandsschicht aufgebracht. Sodann werden die Zylinder nochmals gebrannt, beispielsweise für 5 min bei 593 ⁰C.

Beim folgenden Verfahrensschritt werden die Endkappen 26 über die Schichten 23 und 24 gepreßt, und die zugeordneten Zuleitungen 27 werden elektrisch mit in Figur 9 gezeigten Zuleitungen 35 verbunden, die Teil einer Widerstandsprüfvorrichtung sind. Außerdem weiist die Vorrichtung einen Widerstandsmesser 36 und eine Energiequelle 37 auf. Wenn von der Quelle 37 Energie zugeführt wird, zeigt der Widerstandsmesser 36 den Widerstandswert der Widerstandsschicht des geprüften Elements an.

Bei der Herstellung wird dafür gesorgt, daß die so gebildete Widerstandsschicht einen Wert hat, der etwas geringer als der gewünschte Endwiderstandswert ist. Der Widerstandswert wird also so lange erhöht, bis der Widerstandsmesser 36 den gewünschten Wert anzeigt. Diese Erhöhung kann auf verschiedene Weise bewirkt werden; bei der gezeigten Ausführungsform wird aus einer Düse 38 (Figur 9) ein Hochgeschwindigkeitsstrahl von Schleifmittel auf den Zylinder gerichtet, wobei der Strahl auf den breiten Abschnitt 18 des Musters gerichtet und auf diesen Bereich begrenzt ist. Infolgedessen wird das Widerstandsmaterial abgeschliffen und dadurch die Länge des Wegs vergrößert, durch den der Strom zwischen den Enden des Zylinders fließen muß. Während auf diese Weise die Länge des Stromwegs vergrößert wird, erhöht sich der Widerstands-

7320458 21.09.71

wert des Widerstandselements, bis der Widerstandsmesser 36 den gewünschten Wert anzeigt.

Ein anderes Verfahren zum entsprechenden Einstellen des Widerstandswerts "besteht darin, daß beispielsweise durch Schleifen das gesamte Äußere der Widerstandsschicht 11 abgeschliffen wird, wobei nur ein sehr geringfügiges Abschleifen bewirkt wird, bei dem die Schicht jedoch etwas dünner als zuvor ist. Die Schicht wird so weit abgeschliffen, bis -Jer Widerstandsmesser 36 den gewünschten Widerstandswert anzeigt.

Schließlich wird als letzter Verfahrensschritt der Schutzüber zug 28 vorgesehen, beispielsweise durch Aufsprühen oder Tauchen, worauf sich das in Figur 10 gezeigte fertige Produkt ergibt.

Der hier verwendete Begriff "Widerstandsschicht¹¹ bezeichnet eine Schicht, die (a) kein elektrischer Isolator ist, (b) ein elektrischer Leiter ist, (c) ein schlechter elektrischer Leiter ist und (d) einen beträchtlichen elektrischen Widerstandswert aufweist.

Claims (16)

Aktenzeichen G 73 20 456.5 Richard Elliott Caddock Neue Schutzansprüche

1. Elektrischer Schichtwiderstand, mit einem langgestreckten zylindrischen Substrat, einer auf dar zylindrischen Fläche des Substrats haftend aufgebrachten elektrischen Widerstandsschicht, die auf wesentlichen Teilen der genannten Fläche vorhanden ist, jedoch nicht vorhanden ist in einem Spalt, der sich auf der genannten Fläche entlang der genannten Länge des zylindrischen Substrats erstreckt, und mit gegenüberliegende Endabschnitte der Widerstandsschicht elektrisch verbindenden Anschlüssen,

dadurch gekennzeichnet,

daß die Widerstandsschicht (11) aus einer auf die zylindrische Außenfläche des Substrats (10) aufgedruckten Schicht besteht.

2. Schichtwiderstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

daß das die Widerstandsschicht (11) aufweisende Substrat (10) eine Schutzumhüllung (28) aufweist.

3. Schichtwiderstand nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,,

daß die Widerstandsschicht (11) eine durch Siebdruck aufgebrachte Schicht ist.

Bayerische Vereinsbank 823101
Postscheck 54782-809

7320456 21.09.78

REC 3174a

• 9··· * · t «4

4. Schichtwiderstand nach einem der vorher gehenden Ansprü.che, dadurch gekennzeichnet, daß die Weite des Spalts (13) mindestens 0,38 mm beträgt.

5. Schichtwiderstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (11) aus einem länglichen schmalen Streifen (12) aus Widerstandsmaterial besteht.

6. Schichtwiderstand nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der genannte Streifen (12) serpentinenförmig verläuft.

7. Schichtwiderstand nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der serpentinenförr.ige Streifen (12) aus einer Vielzahl von haarnadelförmigen Abschnitten besteht, deren Arme (16) im wesentlichen parallel zueinander verlaufen und miteinander durch Basisabschnitte (14) verbunden sind.

8. Schichtwiderstand nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Arme (16) eng benachbart sind zwecks Kleinhaltens der Induktanz des Schichtwiderstands.

9. Schichtwiderstand nach Anspruch 7 oder 8_t dadurch gekennzeichnet, daß die Breite des Streifens (12) im wesentlichen gleich der Breite der Zwischenräume (17) zwischen benachbarten Armen (16) der haarnadelförmigen Abschnitte ist.

10. Schichtwiderstand nach Anspruch- 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite des Streifens (12) im Bereich zwischen ca, 0,2 mm und 2,54 mm liegt und die Breite der Abstände

7320456 21.09.78

REC 3174a - 3"- *"

zwischen benachbarten Armen (16) der haarnadelförraigen Abschnitte im Bereich zwischen 0,254 mm und 2,54 mm liegt. ·

11. Schichtwiderstand nach einem der Ansprüche 7-9 _f
dadurch gekennzeichnet,

daß sich die Arme (16) der haarnadelförmigen Abschnitte

umfangsmäßig auf der zylindrischen Fläche erstrecken und |

;dis Bssisabschnitte (14) allgemein in Längsrisiitung d§r *

zylindrischen Fläche verlaufen, wobei eine Reihe der Basis- |

abschnitte (14) auf der einen Seite des Spalts (13) und die |

andere Reihe auf der gegenüberliegenden Seite desselben I

liegt und die genannten Reihen parallel zur Achse des Sub- |

strats (10) längs umfangsmäßig versetzten, in Längsrichtung ff

sich erstreckenden Bereichen der genannten zylindrischen ι

Fläche verlaufen. 1

12. Schichtwiderstand nach einem der Ansprüche 5-11, | dadurch gekennzeichnet, I daß der Streifen (12) in einer zu seiner Längs senkrechten | Richtung eine derartige Querschnittsform hat, daß die Außen- |

flächen der Ränder des Streifens auf die zylindrische Fläche I

zu konvergieren. %

13. Schichtwiderstand nach einem der vorhergehenden Ansprache, | dadurch gekennzeichnet, | daß das zylindrische Substrat ein massiver Keramikzylinder f (10) ist. I

14. Schichtwiderstand nach einem der vorhergehenden Ansprache,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Anschlußmittel hochleitfähige Schichten (23, 24),
die an entgegengesetzten Enden der zylindrischen Fläche in
elektrischem Kontakt mit gegenüberliegenden Endabschnitteia
der Widerstandsschicht (11) haftend vorgesehen sind, sowie

7320456 2109.78

* * 1 « ♦ t ♦ ♦

REC 3174a -4··-

a ι ι - ■ · ι ι a ·

leitfähige Endkappen (26) aufweisen, die im Preßsitz über die leitfähigen Schichten (23, 24) gedrückt sind und mit Zuleitungen (27) verbunden sind, die sich von dem Widerstandselement nach außen erstrecken.

15. Schichtwiderstand nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,

--daß die Umhüllung aus einem dicken Überzug (28) aus einem Silikonmaterial besteht.

16. Schichtwiderstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

daß die Höchstdicke des Wide;rstandsstreifens (12,) in einem Bereich zwischen 0,025 mm und 0,051 mm liegt.

732Ö456 21.09.78