-
Dichtung für eine Schleusenkammer von Vakuum- oder Hochdruckgeräten,
wie Elektronenmikroskopen, Kathodenoszillographen, Elektronenbeugungsgeräten Beim
Arbeiten mit Hochdruckgeräten oder mit Vakuumgeräten, z. B. bei Elektronenmikroskopen,
bei Kathoderistrahloszillographen oder Elektronenbeuaaungsgeräten, tritt die Aufgabe
an den Untersuchenden heran, Gegenstände in das Gerät herein- und herauszuschleusen,
ohne das im Gerät befindliche Vakuum zu beeinflussen. Hierdurch werden besondere
Anforderungen an die Dichtungen zwischen- Gerät und Einschleusvorrichtung gestellt,
da es wichtig ist, ohne Störung des Vakuums z. B. Objektive, Photoplatten oder Kathoden
auszuwechseln.
-
Bei der Elektrodeneinführung von elektrischen Entladungsgefäßen ist
es bekannt, eine zwischen Metall- und keramischen Bauteilen angeordnete Dichtungsscheibe
durch kurze Metallbügel zu überbrücken. Diese Dichtungen sind jedoch weder betriebsmäßig
lösbar noch in der Lage, ohne Beeinträchtigung des Vakuums eine Schleusung von Gegenständen
bei Vakuum- und Hochdruckgeräten zu ermöglichen.
-
Demgegenüber betrifft -der vorliegende Gegenstand eine betriebsmäßig
lösbare und sicher arbeitende Dichtung für derartige Geräte, die einen völligen
Abschluß des Schleusraumes von dem Vakuum oder Druckraum
gewährleistet
und gleichzeitig die Schleuse in ihrer Lage festhält. Gleichzeitig mit einer Lösung
der Dichtung wird auch das für den Schleusungsvorgang benötigte Stück, z. B. ein
Stab, zur Bewegung freigegeben. Erreicht wird dieses erfindungsgemäß dadurch, daß
zwei Rohre als Führung für ein drittes Rohr oder einen Stab dienen, von denen das
eine, am Ende als teilweise innen geschliffener Flansch ausgebildet, das außen geschliffene
Ende des zweiten Rohres übergreift, und daß in einem zwischen den Enden der Führungsrohre
und dem dritten Rohr gebildeten Ringraum eine Dichtung vorgesehen ist, die durch
eine ,an an den Führungsrohren vorgesehene Ansätze angreifende überwurfmutter an
das zu führende Röhr anzupressen ist, und daß die Ansätze durch ein innerhalb der
Führungsmutter liegendes Wellrohr luftdicht verbunden sind.
-
Auf der Zeichnung sind zwei Ausführungsformen des Erfindungsgegenstandes
beispielsweise dargestellt, es zeigen: Abb. i eine Dichtung gemäß der Erfindung
in Anwendung bei einer Vorrichtung zum Auswechseln einer Kathode, Abb. :2 eine Anwendung
bei der Vorrichtung für Plattenwechsel, Abb. 3 einen senkrechten Schnitt durch die
Schleusenkammer o gemäß Schnittlinie A-B der Abb. 2.
-
Gemäß Abb. i ist die Schleuse in einem Rohr a angeordnet, in dem ein
geschliffener Stab b geführt werden kann. An das Führungsrohr a ist ein Rohr c angeschlossen,
und di,-beiden Rohre a und c sind mittels einer Dichtung der vorliegenden Art miteinander
verbunden. Am Ende des Rohres c ist zu diesem Zweck in einer flanschartigen Erweiterung
d eine Dichtung e gelagert. Der Flansch d gleitet mit einem Teil seiner zylindrischen
Innenwandung auf der zylindrischen Außenwandung des Führungsrohres a. Hierzu ist
etwa die Strecke x der beiden Rohrteile a, c
aufeinander eingeschliffen.
Die beiden Rohre ca, c werden durch eine Überwurfmutter r zusammengehalten, die
einerseits auf einem mit Gewinde versehenen Ansatz j des Rohres a sitzt und andererseits
über die Flanke g des am Rohr c befindlichen Flansches d ,greift. Wird die Dichtung
durch Festschrauben der Überwurfmutter r angezogen, so nähern sich die Enden der
Rohre a und c einander, und die Dichtung e hat das Biestreben, nach innen auszuweichen.
Dadurch drückt sie auf den im Inneren der Rohre a und c gelagerten Stab
b, der damit abgedichtet und gleichzeitig in seiner Lage festgehalten wird.
Zwischen dem Ansatz t des Rohres a und dem Flansch d des Rohres c
ist ein Federungskörper lt völlig luftdicht eingelötet, der einen vollständig
vakuumdichten Abschluß gewährleistet, so daß beim Lösen der Überwurfmutter
r der Stab b zwar freigegeben wird, weil der Druck der Dichtung c
nicht mehr auf ihm lastet, aber andererseits eine Störung des Vakuums nicht eintreten
kann.
-
Wird bei der Anwendungsform der Abb. i angenommen, daß am Ende des
Stabes b, auf der Zeichnung an der linken Seite, sich eine Kathode b1 befindet,
die ausgewechselt werden soll, so ist das in einfachster Weise dadurch möglich,
daß eine am Ende des Rohres vorgesehene, durch die '#Terschlußkappe in. gehaltene
Abschlußdichtung i gelöst und geöffnet wird. Aus dieser wird die verbrauchte Kathode
entfernt und ausgewechselt. Die Verschlußkappe in wird dann wieder verschlossen.
Nunmehr kann die die beiden Rohrteile a, c zusammenhaltende Dichtung e gelöst und
der eingeschliffene Stab b wiede@7 in seine Betriebslage zurückgezogen werden, da
der dicht eingelötete Federungskörper h. beim Lösen der überwurfmutter r einen vollständig
vakuumdichten Abschluß gewährleistet.
-
Bei der Ausführungsform der Abb. ? ist die Dichtung gemäß der Erfindung
in Anwendung bei einer Plattenwechselkassette dargestellt. An einem Vakuumraum k
ist der Schleusen- und Aufnahmeraum o angeschlossen. Dieser besteht wieder aus den
beiden ineinandergreifenden Rohren a und c. Das Rohr c wird auf seiner linken Seite
von einem Abschlußdeckel in mit Dichtung i verschlossen. Der in den Rohren
a, c untergebrachte eingeschliffene Stab b wird beispielsweise mittels einer Spindel
it und der Handkurbel q bewegt und dient gleichzeitig als Vorrichtung zur Aufnahme
der photographischen Platte b=. Zu diesem Zweck ist in dem Stab b eine entsprechende,
als Aufnahmeraum o dienende Aussparung sowie ein Schlitz p, durch den die Platte
b= herausgenommen werden kann, vorgesehen.
-
Wenn die Platte belichtet ist, wird di° Kurbel q betätigt,
wodurch der Stab b so weit nach links bewegt wird, bis er unter die Dichtung
e zu liegen kommt. Beim An -ziehen der Überwurfmutter r preßt sich die Dichtung
e gegen den Stab b und sorgt dadurch für einen hochval;uumdichtell Abschluß. In
dieser Stellung kann die Photoplatte b= nach Lösen der Verschlußschraube an mit
der Dichtung i herausgenommen und eine neue Platte eingelegt werden. Wenn die Dichtung
wieder gelöst wird, so kann der Stab 1) ohne Störung des Vakuums mittels der Spindel
tt und der Kurbel q zurückgezogen werden. Eine Evakuierung der Resträume
kann durch einen Anschlußstutzen s erfolgen.