DE734089C - Korpuskularstrahlgefaess, insbesondere UEbermikroskop, mit in die Verbindungsleitung von Vakuumpumpe und Objekt- bzw. Photoschleuse eingeschaltetem Dreiwegehahn - Google Patents

Korpuskularstrahlgefaess, insbesondere UEbermikroskop, mit in die Verbindungsleitung von Vakuumpumpe und Objekt- bzw. Photoschleuse eingeschaltetem Dreiwegehahn

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Publication number
DE734089C
DE734089C DEL103394D DEL0103394D DE734089C DE 734089 C DE734089 C DE 734089C DE L103394 D DEL103394 D DE L103394D DE L0103394 D DEL0103394 D DE L0103394D DE 734089 C DE734089 C DE 734089C
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DE
Germany
Prior art keywords
vacuum pump
way valve
corpuscular
connecting line
microscope
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Expired
Application number
DEL103394D
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English (en)
Inventor
Dr-Ing Ladislaus Marton
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AEG AG
Original Assignee
AEG AG
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Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)

Description

  • Korpuskularstrahlgefäß, insbesondere Übermikroskop, mit in die Verbindungsleitung von Vakuumpumpe und Objekt- bzw. Photoschleuse eingeschaltetem Dreiwegehahn Die Erfindung betrifft Verschlußhähne für Korpuskularstrahlgefäße, insbesondere übermikroskope.
  • Bei den bekannten Übermikroskopen sind verschiedene vakuumdicht verschließbare Öff- nungen und Schleusen vorgesehen, um die Kathode, das Objekt und die photographischen Platten auswechseln -zu können. Die Objekt- und die Plattenschleuse müssen derart ausgebildet sein, daß keine Störung des Vakuums eintritt. Die bekannten Dreiwegehähne, welche zur Herstellung der Verbindungen der einzelnen Teile mit ' einander dienen, benötigen Fett als Abdichtungsmittel. Es können daher größere Mengen Fett in das Entladungsgefäß eindringen und Störungen durch Dämpfe, Niederschläge u. dgl. auf dem Objekt oder auf den Linsenelektroden hervorrufen. Die optischen und elektronenoptiscben Eigenschaften des Übermikroskops können somit nachteilig beeinflußt werden.
  • Bei dem vorliegenden Korpuskularstrahlgefäß mit in die Verbindungsleitung von Vakuumpumpe und Objekt- bzw. Photoschleuse eingeschalteten Dreiwegehahn wird die Verwendung von Fett und anderen schädlichen. Abdichtungsmitteln vermieden, und außerdem wird das Vakuum, beispielsweise 10-6 mm Hg, durch das Ein- bzw. Ausschleusen nicht gestört. Dieses wird dadurch ;Z erreicht, daß erfindungsgenläß der Dreiwegelialin aus einem Hohlzylinder gebildet ist, in t# dessen Innerem Bein von außen zu betätigender, in Achsenrichtung beweglicher Stempel angeordnet ist, welchur zur Abhebung bzw. zuin Aufsetzen der durch eine Feder voneinander getrennten Abdichtungsplatten für die Verbindungsleitungen mit der Vakuumptimpe bzw. mit der Luft dient. Ferner ist die Verbindungsleitung mit der Schleusenkamnier in dein zwischen den durch die Al)dielitniic"splatten abgedeckten Wandungsteilen befindlichen Wandungsteil des Hohlzylinders allgeordnet.
  • In der Abbildung ist eine Verschlußanordnung nach der Erfindung im Schnitt darge--tellt. #vlit i ist ein hohler Ventilkörper bezeichnet, der aus einem Metall- oder Glaszylinder 3 bestellt, an dein ein hohler FührunIgskörper 5 mittels eines Klammerringes 7, eines gasdicht abschließenden Ringes 9 und Schrauben ii befestigt ist. Der Führungskörper 5 weist den Hohlraum 13 auf, während der zylinderförmige Körper 3 mit einer Öff- nung 15 am unteren E-nde, 3" und einer ÖffIlung 17 an seiner Seitenwandung 3b versehen ist. Der Raum 13 ist mit dem Luftein-1a1.1) 13 ', in der Wandung des Führungskörpers,5 versehen. Die Öffnung ii stellt mit dem Zuleitungsrohr ig zur Vakuumpumpe, nicht dargestellt, in V, erbindung, während ein Rohr 2 1 voll der öffnung 17 zu einer Vakuunikaminer, nicht dargestellt, führt. Diese Vakuumkammer, mit der das Rohr 2 1 verbunden ist, wird beispielsweise durch den Objektrauin i oder den Raum für das pliotngraphisclie --\laterial gebildet.
  • Zuln Verschluß der Öffnung 1,3 innerhalb des zylinderförinigen Körpers i wird ein bewegliches Dichtungselement benutzt, das zweckmäßig aus einer Platte oder Scheibe -23 besteht, die an ihrer Oberfläche mit einem 2#bdichtungsring25 aus Gummi o.dgl. versehen ist. Ein zweites Abdichtungseleinent-zum Ab- schließen des Raumes 13 besteht in gleicher Weise aus einer beweglichen Platte oder Scheibe 27 mit einem Dichtungsrilig 29. Ge-2 ,ebenenfalls können die Dichtungsrin.e 5 und 29 auch auf den die Öffnungen t' 15, 13 umgebenden unbeweglichen Teilen befestigt worden.
  • Eine verhältnismäßig starke Schraubenfeder 31 ist zwischen den Dichtungselemenel ten 23 und 27 angebracht. Im Normalzustand wird der Ring 25 auf den die Üffnung 15 um-"C , benden Teil gedrückt. Der Ring 29 steht dann in Berührüng mit der inneren Oberfläche des Führungskörpers 5, welcher die Öffnung 13 unigibt. Eine Spindel 33, welche zweckmäßig mit Gewinde 35 versehen ist, führt durch die obere Scheibe 27 in das Gu- häuse , und ist an ihrem Ende mit einem Flansch 37 versehen, welcher beweglich iiinerliall) eines hohlen Ringes 3c) angeordnet ist. Die Offnung i.# zur Vaktiumpumpe ist nicht bedeckt, wenn das Handrad -li oder eine an-(Ivre geeignete Stetiervorrichtung an deni Filde der Spindel 333 in der Richtung 1)(-\vegt ist, clal.', die Scheibe 23 und der Rin,- 2,3 von der Fläche 3, des Zylinders 3 "u-en den Druck der Federv abgeb(-)ben werden. Wenn die Platte 23 und somit del Ring 2,5 gelöst werden, entstellt ein Verbindungsweg zwischen den Offnungen 1,3 und 17. -Mit Hilfe von Stellschrauben 46 ist an der Spindel 33 eirl Flallsc11-13 befestigt. Dieser ist derart angebracht, daß er auf der Platte 27 gerade aufliegt, wenn die öffnung 15 durch die untere Platte 23 geschlossen ist und der Flansch 37 ,gegen den hohlen Ring 39 drückt. Wenn die Spindel 33 init Hilfe des Handrades -li nach unten -edrelit wird, wird der Flansch 4,3 gegen k-11 Z, (lie Platte 27 gedrückt und preßt soinit diese Platte und den Ring gegen die Wirkung der Feder 31 abwärts. so daß eine Verbindung um den Ring 29 herum zwischen Öffnung, U, und Öffnung 17 entsteht.
  • Da die obere Platte 27 auf der Spindel 33 in den -leitet, kann Luft voll der Üffnung 13a zylinderförmigen Körper 3 eintreten, selbst wenn die Platte27 geschlossen ist, falls nicht besondere Mittel vorgesehen sind, um zu vermeiden, daß die Luft durch die Öffnung 17 oder, wenn die Platte 25 ",eöffnet ist, zu der Pumpe durch die Öffnung 15 gelangen kann. Uin dieses zu verhindern, ist der Raum zwischen den Platten 27 und 23 durch ein elasti-,ches Rohr 45 abgeschlossen. Dieses Rohr besteht zweckmäßig aus gewelltein Messing, Stahl, Kupfer oder aus einem andereti, vor-,tigsweise metallischen, luftdichten Zylinder. Die Enden dieses Tombakrollres sind an den Stellen 47 mit Platten 27 und -23 vurlötet oder in anderer Weise #-erbunden.
  • Es hat sich ferner als zweckmäßig erwieseil, ein weiteres Tombakrohr vorzusehen, welches mit der Platte 27 und dein rohrförinigen Körper 5 verbunden ist. um zu verel meiden, daß Luft durch da-, Gewinde 35 eintritt. wenn der Dreiwegeliahn beispielsweise zur Einführung von Wasserstoff in ein Entladungsgefäß benutzt wird.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Korpuskularstrahlgefäß, insbesondere k# Cbermikroskop, mit in die -Verbindungsleitun g voll Vakuumpumpe und Objekt-bzw. Photoschleuse eingeschaltetem Dreiwegehahn, dadurch g kennzeichnet. daß e der Dreiwegehahn aus einem 1-Tolilzvlinder gebildet ist, in dessen Innerem ein %-on außen zu betätigender, in Achsenrichtung beweglicher Stempel angeordnet ist -, welcher zur Abhebung bzw. zum Aufsetzen der durch eine Feder voneinander getrennten ,Udichtungsplatten für die Verbindungsleitungen mit der Vakuumpumpe bzw. mit der Luft dient, und dtLV) die Verbindungsleitung mit der Schlensenkammer in dem zwischen den durch die Abdichtungsplatten abgedeckten Wandungsteilen befindlichen Wandungsteil des Hohlzylinders angeordnet ist. - 2. Korpuskularstrahlgefäß nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdichtungsplatten durch ein Tombakrohr miteinander verbunden sind. 3. Korpuskularstrahlgefäß nach Anspruch i oder :2, dadurch gekennzeichnet, daß der Stempel als Spindel ausgebildet ist. 4. Korpuskularstrahlgefäß nach Anspruch i oder folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß zur Betätigung der Spindel ein Handrad dient.
DEL103394D 1940-05-01 1941-02-25 Korpuskularstrahlgefaess, insbesondere UEbermikroskop, mit in die Verbindungsleitung von Vakuumpumpe und Objekt- bzw. Photoschleuse eingeschaltetem Dreiwegehahn Expired DE734089C (de)

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