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Korpuskularstrahlgefäß, insbesondere Übermikroskop, mit in die Verbindungsleitung
von Vakuumpumpe und Objekt- bzw. Photoschleuse eingeschaltetem Dreiwegehahn Die
Erfindung betrifft Verschlußhähne für Korpuskularstrahlgefäße, insbesondere übermikroskope.
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Bei den bekannten Übermikroskopen sind verschiedene vakuumdicht verschließbare
Öff-
nungen und Schleusen vorgesehen, um die Kathode, das Objekt und die photographischen
Platten auswechseln -zu können. Die Objekt- und die Plattenschleuse müssen derart
ausgebildet sein, daß keine Störung des Vakuums eintritt. Die bekannten Dreiwegehähne,
welche zur Herstellung der Verbindungen der einzelnen Teile mit ' einander
dienen, benötigen Fett als Abdichtungsmittel. Es können daher größere Mengen Fett
in das Entladungsgefäß eindringen und Störungen durch Dämpfe, Niederschläge u. dgl.
auf dem Objekt oder auf den Linsenelektroden hervorrufen. Die optischen und elektronenoptiscben
Eigenschaften des Übermikroskops können somit nachteilig beeinflußt werden.
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Bei dem vorliegenden Korpuskularstrahlgefäß mit in die Verbindungsleitung
von Vakuumpumpe und Objekt- bzw. Photoschleuse eingeschalteten Dreiwegehahn wird
die Verwendung von Fett und anderen schädlichen. Abdichtungsmitteln vermieden, und
außerdem wird das Vakuum, beispielsweise 10-6 mm Hg, durch das Ein- bzw. Ausschleusen
nicht gestört. Dieses wird dadurch ;Z
erreicht, daß erfindungsgenläß
der Dreiwegelialin aus einem Hohlzylinder gebildet ist, in t# dessen Innerem Bein
von außen zu betätigender, in Achsenrichtung beweglicher Stempel angeordnet ist,
welchur zur Abhebung bzw. zuin Aufsetzen der durch eine Feder voneinander getrennten
Abdichtungsplatten für die Verbindungsleitungen mit der Vakuumptimpe bzw. mit der
Luft dient. Ferner ist die Verbindungsleitung mit der Schleusenkamnier in dein zwischen
den durch die Al)dielitniic"splatten abgedeckten Wandungsteilen befindlichen Wandungsteil
des Hohlzylinders allgeordnet.
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In der Abbildung ist eine Verschlußanordnung nach der Erfindung im
Schnitt darge--tellt. #vlit i ist ein hohler Ventilkörper bezeichnet, der aus einem
Metall- oder Glaszylinder 3 bestellt, an dein ein hohler FührunIgskörper
5 mittels eines Klammerringes 7,
eines gasdicht abschließenden Ringes
9 und Schrauben ii befestigt ist. Der Führungskörper 5 weist den Hohlraum
13 auf, während der zylinderförmige Körper 3 mit einer Öff-
nung
15 am unteren E-nde, 3" und einer ÖffIlung 17 an seiner Seitenwandung
3b versehen ist. Der Raum 13 ist mit dem Luftein-1a1.1) 13 ', in der Wandung
des Führungskörpers,5 versehen. Die Öffnung ii stellt mit dem Zuleitungsrohr ig
zur Vakuumpumpe, nicht dargestellt, in V, erbindung, während ein Rohr 2 1 voll der
öffnung 17 zu einer Vakuunikaminer, nicht dargestellt, führt. Diese Vakuumkammer,
mit der das Rohr 2 1 verbunden ist, wird beispielsweise durch den Objektrauin i
oder den Raum für das pliotngraphisclie --\laterial gebildet.
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Zuln Verschluß der Öffnung 1,3 innerhalb des zylinderförinigen Körpers
i wird ein bewegliches Dichtungselement benutzt, das zweckmäßig aus einer Platte
oder Scheibe -23
besteht, die an ihrer Oberfläche mit einem 2#bdichtungsring25
aus Gummi o.dgl. versehen ist. Ein zweites Abdichtungseleinent-zum Ab-
schließen
des Raumes 13 besteht in gleicher Weise aus einer beweglichen Platte oder Scheibe
27 mit einem Dichtungsrilig 29. Ge-2 ,ebenenfalls können die Dichtungsrin.e
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und 29 auch auf den die Öffnungen t' 15, 13 umgebenden unbeweglichen
Teilen befestigt worden.
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Eine verhältnismäßig starke Schraubenfeder 31 ist
zwischen den Dichtungselemenel ten 23 und 27 angebracht. Im Normalzustand
wird der Ring 25 auf den die Üffnung 15 um-"C , benden Teil
gedrückt. Der Ring 29 steht dann in Berührüng mit der inneren Oberfläche des Führungskörpers
5, welcher die Öffnung 13 unigibt. Eine Spindel 33, welche
zweckmäßig mit Gewinde 35 versehen ist, führt durch die obere Scheibe
27 in das Gu-
häuse , und ist an ihrem Ende mit einem Flansch
37 versehen, welcher beweglich iiinerliall) eines hohlen Ringes 3c) angeordnet
ist. Die Offnung i.# zur Vaktiumpumpe ist nicht bedeckt, wenn das Handrad -li oder
eine an-(Ivre geeignete Stetiervorrichtung an deni Filde der Spindel 333 in der
Richtung 1)(-\vegt ist, clal.', die Scheibe 23 und der Rin,- 2,3 von der
Fläche 3, des Zylinders 3 "u-en den Druck der Federv abgeb(-)ben werden.
Wenn die Platte 23 und somit del Ring 2,5 gelöst werden, entstellt ein Verbindungsweg
zwischen den Offnungen 1,3 und 17. -Mit Hilfe von Stellschrauben 46 ist an
der Spindel 33 eirl Flallsc11-13 befestigt. Dieser ist derart angebracht,
daß er auf der Platte 27 gerade aufliegt, wenn die öffnung 15 durch
die untere Platte 23 geschlossen ist und der Flansch 37
,gegen den
hohlen Ring 39 drückt. Wenn die Spindel 33 init Hilfe des Handrades
-li nach unten -edrelit wird, wird der Flansch 4,3 gegen k-11 Z,
(lie Platte
27 gedrückt und preßt soinit diese Platte und den Ring gegen die Wirkung
der Feder 31 abwärts. so daß eine Verbindung um den Ring 29 herum zwischen Öffnung,
U, und Öffnung 17 entsteht.
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Da die obere Platte 27 auf der Spindel 33
in den -leitet,
kann Luft voll der Üffnung 13a
zylinderförmigen Körper 3 eintreten,
selbst wenn die Platte27 geschlossen ist, falls nicht besondere Mittel vorgesehen
sind, um zu vermeiden, daß die Luft durch die Öffnung 17
oder, wenn
die Platte 25 ",eöffnet ist, zu der Pumpe durch die Öffnung 15 gelangen
kann. Uin dieses zu verhindern, ist der Raum zwischen den Platten 27 und
23 durch ein elasti-,ches Rohr 45 abgeschlossen. Dieses Rohr besteht zweckmäßig
aus gewelltein Messing, Stahl, Kupfer oder aus einem andereti, vor-,tigsweise metallischen,
luftdichten Zylinder. Die Enden dieses Tombakrollres sind an den Stellen 47 mit
Platten 27 und -23 vurlötet oder in anderer Weise #-erbunden.
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Es hat sich ferner als zweckmäßig erwieseil, ein weiteres Tombakrohr
vorzusehen, welches mit der Platte 27 und dein rohrförinigen Körper
5 verbunden ist. um zu verel meiden, daß Luft durch da-, Gewinde
35 eintritt. wenn der Dreiwegeliahn beispielsweise zur Einführung von Wasserstoff
in ein Entladungsgefäß benutzt wird.