DE707446C

DE707446C - Thermoelementdurchfuehrung in einen Vakuumapparat

Info

Publication number: DE707446C
Application number: DEB179728D
Authority: DE
Inventors: Bernhard Berghaus; Wilhelm Burkhardt
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1937-08-27
Filing date: 1937-08-27
Publication date: 1941-06-21

Description

Thermoelementdurchführung in einen Vakuumapparat Die Erfindung geht von einer Thermoelementdurchführung in einem Vakuumapparat aus, mit welcher ein Thermoelement, isoliert durch die Wandung eines Vakuumapparats, in welchem ,elektrische Entladungen stattfinden, vakuumdicht durchgeführt ist. Sie besteht darin, daß bei einer solchen Einrichtung zwischen dem Durchführungskörper und der Wandung der Durchdringungsstelle eine oder mehrere Hüllen mit engem Zwischenraum gegeneinander so angeordnet sind, daß die Zwischenräume mit dem Vakuum in Verbindung stehen. Diese Erfindung wird dadurch weiter ausgestaltet, daß der vorzugsweise hohl und kühlbar ausgebildete Durch führungskörper und die Abschirmhüllen mit Kappen versehen sind. Die Abschirmhüllen sind ferner unterteilt ausgebildet, und das metallene Durchführungsrohr bildet gleichzeitig eine Stromleitung für die in der Vakuumkammer angeordneten Stromverbraucher-In Vakuumgefäßen, in denen chemische oder physikalische Prozesse bei gleichzeitiger elektrischer Entladung, z. B. Glimmentladung, durchgeführt werden, sind Temperaturmessungen mittels Thermo,eTemgente sehr ungenau, da das Thermo.elemlent als Elektrode in der Gasentladung wirkt. Besonders bei der Temperaturmessung von in die Gasentladung geschalteten Gegenständen darf das Thermoelement nicht in Berührung mit der Gasentladung kommen, wenn die wirkliche Temperatur angezeigt werden soll. Auch die keramische Hülle, in der die Schenkel des Elements, wie blekannt, eingezogen sind, muß vor der Gasentladung geschützt sein, da durch die Ablagerung des sich bildenden Mletallstaub es von den Elektroden oder Reakunsprodukten, wie z. B. Kohlenstoff, die Hülle leitend gemacht wird und außer Fehimessungen Kurzschlüsse zwischen den zu messenden Elektroden und der Gefäßwand erfolgen können. Die Einführung des Thermoelements nach der Erfindung schaltet die Fehler restlos aus und gestattet, die Temperatur von unter Spannung in einer Entladung stehenden Elektrode einwandfrei zu bestimmen. Aber auch die Gastemperatur in einem Entladungsgefäß kann hierbei ohne Fehler gemessen werden. Ein besonderer Vorteil besteht darin, daß das Schutzrohr des Thermoelements gleichzeitig die Stromleitung für angeordnete Elektroden oder zu erhitzende Gegenstände übernehmen kann. Die Elektroden oder Halterungen für Gegenstände können direkt als Fortsetzung des Schutzrohres des' Thermaelements ausgebildet sein. Zu diesem Zwecke führt der Mantel des Schutzrohres, der vorteilhaft aus einem Metall besteht, ein Gewinde für die Anbringung der Elektroden oder der Halterungen. in der Zeichnung ist die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel schematisch näher erläutert, und zwar zeigt die Abbildung einen Schnitt durch eine Thermoelementdurchfüh -rung in einem Vakuumapparat.
In der Abbildung stellt Teil I die Wandung eines Vakuumapparats dar, die mit einem Kühlmantel 2 versehen ist. Durch die Wandung des Vakuumapparats ist das Thermoelement 3, welches z. B. aus Platin oder Platin-Rhodium besteht, in den Vakuumraum 4 eingeführt. Das Thermoelement befindet sich in einem Schutzrohr 5 und ist am oberen Ende z. B. mit einer Schutzkappe 6, z. B. aus Kohle oder einem anderen hochschmelzenden Material, abgedeckt. Die Enden 7 des Thermoelements sind vakuumdicht in das Schutzrohr 5 eingeführt. Das Thermoelement im Schutzrohr ist vakuum dicht in dem Durchführungsrohr S angeordnet, welches durch zwei in geringem Abstand von dem Durchführungsrohr und voneinander angeordnete Hüllen g und 10 abgeschirmt ist. Der Abstand wird dabei so klein gewählt, daß sich keine Glimmentladung in den Zwischenräumen ausbilden kann. Die innere Abschirmung 9 besteht aus den beiden Teilen 1 1 und 12. Der Teil 11 trägt dabei eine ringförmige Schutzkappe 13.
Auch das Durchführungsrohr 8 ist mit einer Schutzkappe 14 versehen. Diese Kappen 13 und I4 verhindern, daß in die Zwischenräume Ladungsträger oder Verunreinigungen aus den1 Entladungsraum gelangen. Das Durchführungsrohr 8 ist im unteren Teil hohl und kühl bar ausgebildet, und zwar wird durch die Leitun 15 das Kühlmittel, z. B. Wasser, zugeführt und durch den Stutzen 16 abgeführt.
Das Durchführungsrohr 8 besteht entweder aus keramischem Material oder aus Metall, desgleichen die Schutzhülle 9 und 10. Dem metallischen Durchführungsrohr kann durch die Leitung I7 Strom zugeführt und durch Anschluß an den Gewindeteil mittels der Leitung 18 an den Strolmverbraucber im Vakuumappa rat gebracht werden. Der Isolierring 19 deckt den Flansch 20 des Stromdurchführungsrohres 8 vollständig ab. 21 ist ein Anpreßring aus Isoliermaterial, und 22 und 23 sind zwei Dichtungsringe, z. B. aus Gummi oder weichem Metall. 24 ist eine äußere Schutzkappe.

Claims

PATENTANSPRUCHE: 1. Thermoelementdurchführung in einen Vakuumapparat, mit welcher ein Thermoelement, isoliert durch die Wandung eines Vakuumapparats, in welchem elektrische Entladungen stattfinden, vakuumdicht durchgeführt ist, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Durchführungskörper (8) und der Wandung(l) der l}urchdringungsstelle eine oder mehrere Hüllen (10, 11, 12) mit engem Zwischenraum gegeneinander so angeordnet sind, daß die Zwischenräume mit dem Vakuum in Verbindung stehen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der vorzugsweise hohl und kühlbar ausgebildete Durchführungskörper und die Abschirmhüllen mit Kappen (13, 14) versehen sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmhüllen unterteilt ausgebildet sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch l, dadurch gekennzeichnet, daß das metallene Durchführungsrohr gleichzeitig eine Stromleitung für die in der Vakuumkammer angeordneten Stromverbraucher bildet.