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Gebiet der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung für das manuelle
Handhaben eines in der Hantierbarkeit umständlichen vereinheitlichten
Behälters
mit Vorderöffnung
("Front Opening Unified
Pod (FOUP)"), der
Wafer enthält
und im Besonderen den manuellen Transport eines FOUP in einem Reinraum.
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Hintergrund
der Erfindung
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Der
vereinheitlichte Behälter
mit Vorderöffnung
("Front Opening
Unified Pod (FOUP)")
ist ein sauberes, zuverlässiges
und wirtschaftliches Wafer-Beförderungsmittel.
In der Wafer-Herstellung wird er im Allgemeinen zum Lagern und Transportieren
einer oder mehrerer Wafer zwischen nachfolgenden Herstellungsstufen
verwendet. Die Anforderungen bezüglich
Zuverlässigkeit
und Vielseitigkeit der Behälter sind
insbesondere bei 300 mm Wafer hoch. Der Behälter muss ausreichende Dichtleistung,
Prozesssteuerung und Waschbarkeit bieten. Elektrostatische Entladungsereignisse
in den Behältern
müssen
unterdrückt
werden. Die Ausgasung muss ultra-gering sein.
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Die
vereinheitlichten Behälter
mit Vorderöffnung,
die die vorstehenden Anforderungen erfüllen und die gegenwärtig in
Fabriken verwendet werden, umfassen eine Bodenwand, eine Deckenwand
und drei Seitenwände.
Eine Seite des Kastens bleibt geöffnet,
um Zugang zu seinem Innenraum zu schaffen, in dem bis zu 25 Wafer
von 300 mm Durchmesser gelagert werden können. Im Allgemeinen werden
die Behälter
durch Roboter gehandhabt. Dies stellt eine hohe Zuverlässigkeit
beim Transport der Wafer sicher. Des Weiteren ist die Verwendung
von fernsteuerbaren Robotern eine Voraussetzung für eine hochautomatisierte
Fabrikation. Zu diesem Zweck sind alle gegenwärtig verwendeten vereinheitlichten
Behälter
mit Vorderöffnung
mit einem Flansch auf der Oberseite der Deckenwand ausgestattet,
an den ein Roboterarm angeschlossen werden kann.
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Das
US Patent Nr. 5,658,028 offenbart eine Handhabungsvorrichtung für ein Wafer-Beförderungsmittel,
wie es im Stand der Technik verwendet wird. Dennoch darf der Transport
der Behälter
nicht allein auf Roboter beschränkt
sein. Selbst wenn "die Lichter
ausgehen", müssen die
Benutzer voll automatisierter Fabriken in der Lage sein, als manuelle Ersatzlösung, die
FOUPs in der Fabrik manuell zu laden/entladen.
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Für den Bediener
bestehen wenigstens zwei Wege, die FOUPs manuell zu laden/entladen.
Wenn der Bediener einen FOUP mit der Hand hochheben möchte, muss
zwischen den FOUPs ausreichend Platz geschaffen werden, damit der
Bediener einen von ihnen erwischen kann. Ein solcher Abstand zwischen
den FOUPs ist auch erforderlich, wenn der Bediener einen FOUP mittels
Gabelstapler hochhebt, der unter den FOUP gebracht wird und dann
den FOUP transportiert: da sich der Schwerpunkt des FOUP oberhalb
des Gabelstaplers bzw. der Gabel befindet, muss verhindert werden,
dem FOUP eine horizontale Bewegungsenergie zu verleihen, z.B. durch
Reibung zwischen aneinandergrenzenden FOUPs. Andernfalls würde der
FOUP dazu neigen, von der Gabel zu kippen.
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Daher
dürfen
die FOUPs nicht nebeneinander gepackt werden, sondern es muss zwischen
aneinandergrenzenden FOUPs muss Platz geschaffen werden. Mit anderen
Worten, gegenwärtige FOUP-Griffauslegungen
zwingen Konstrukteure von Materialhandhabungssystemen dazu, einen
zusätzlichen
Abstand in ihr System einzubauen, um Bedienern das manuelle Laden/Entladen
einzelner FOUPs derartiger Systeme zu ermöglichen. Die Abmessung des
Abstandes beträgt
normalerweise ungefähr
30 mm in der Breite. Im Großen
und Ganzen bedeutet der Abstand für die Packungsdichte einen
Nachteil.
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Ein
Mechanismus zur Handhabung eines FOUP wird benötigt, der nicht notwendigerweise
das Erfordernis eines Abstandes herbeiführt.
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Dementsprechend
ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Handhabungsvorrichtung zum
manuellen und von angrenzenden Behältern und Gerätschaften
unabhängigen
Handhaben eines vereinheitlichten Behälters mit Vorderöffnung zur Verfügung zu
stellen.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Durch
eine Handhabungsvorrichtung zum Handhaben eines vereinheitlichten
Behälters
mit Vorderöffnung,
wie in Anspruch 1 beansprucht, werden die vorstehenden Probleme
gelöst
und die vorstehenden Ziele verwirklicht. Die abhängigen Ansprüche sind
auf bevorzugte Ausführungsformen
der Erfindung gerichtet.
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Das
der vorliegenden Erfindung zu Grunde liegende allgemeine Konzept
ist ein Mechanismus mit Greifern, die sich an ein erforderliches
Merkmal des FOUP, nämlich
den oberen Roboterflansch, klemmen. Die erfindungsgemäße Handhabungsvorrichtung
mit zwei Greifern kann jeweils von der Vorderseite, von irgendeiner
der zwei Seiten und von der Rückseite
des FOUP an den Roboterflansch angeschlossen werden.
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Ferner
kann die Handhabungsvorrichtung von dem FOUP abnehmbar oder ständig an
diesem befestigt sein, so dass sie als manuelle Ersatzlösung zum
Laden/Entladen/Bewegen in der Fabrik verwendbar ist.
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Der
vereinheitlichte Behälter
mit Vorderöffnung,
für den
die Handhabungsvorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung entworfen ist, umfasst drei Seitenwände, eine Bodenwand und eine
Deckenwand, wobei die Deckenwand mit einem Roboterflansch ausgestattet
ist, an den ein Roboterarm anschließbar ist. Die Handhabungsvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung ist durch eine Stange mit zwei Griffen und zwei zum Klemmen
an den Roboterflansch bestimmten Greifern gekennzeichnet. Die Stange
erstreckt sich im Wesentlichen entlang einer ersten Achse, wohingegen
sich die Griffe und die Greifer im Wesentlichen senkrecht zu der ersten
Achse erstrecken. Wenn die Handhabungsvorrichtung angelegt wird,
schließt
der Bediener zuerst die zwei Greifer an den Roboterflansch des vereinheitlichten
Behälters
mit Vorderöffnung
an und ist dann in der Lage, den Behälter mittels der Griffe zu handhaben,
d.h. er kann den FOUP in das und aus dem FOUP-Lagersystem und/oder
in eine und aus einer beliebigen anderen Andockstation laden/entladen/bewegen.
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In
einer bevorzugten Ausführungsform
der Handhabungsvorrichtung ist die Länge der Greifer und/oder die
Länge der
Griffe derart, dass die Greifer jeweils von der Seite, von der Vorderseite
und von der Rückseite
des FOUP an den FOUP angeschlossen werden können.
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Zur
Verbesserung der Flexibilität
der Handhabungsvorrichtung ist ferner jeder Griff und/oder jeder
Greifer verriegelbar an die Stange gekoppelt. Deshalb schwenkt jeder
Griff und/oder jeder Greifer um die Stange, und der Bediener kann
die Handhabungsvorrichtung an den FOUP anschließen, selbst wenn der FOUP direkt
unter einem Hindernis oder in einer engen Nische abgestellt ist,
wo ein direkter Zugang behindert wird. In diesem Fall schließt der Bediener
den Greifer an den Roboterflansch mit dem Griff in einer ersten
Stellung an, bewegt den FOUP aus der Nische heraus und kann danach,
für ein
bequemeres Transportieren, die Griffe in eine zweite Stellung bringen,
die zum Befördern
des FOUP zweckmäßiger ist.
Bei dieser Ausführungsform
können
die erste und die zweite Stellung der Griffe in Bezug auf die Stange
durch eine Feder und eine Klinke vorbestimmt werden. In einer alternativen
Ausführungsform
kann jeder Griff derart verriegelbar an die Stange gekoppelt werden,
dass jeder Griff um eine zweite Achse schwenkbar gemacht wird. Vorzugsweise
verläuft
diese zweite Achse senkrecht zu der Ebene des Griffs und der Stange.
Wenn die Handhabungs vorrichtung an einen vereinheitlichten Behälter mit
Vorderöffnung
angeschlossen wird, können
daher die Griffe auf eine solche Weise positioniert werden, dass
sie den geringsten Platz benötigen
und der Oberfläche
des FOUP am nächsten
sind. Insbesondere können
die Griffe bündig
mit den Seitenwänden des
FOUP herunterklappen.
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Für eine ausreichende
Steifigkeit der Handhabungsvorrichtung zum Befördern auch schwererer Lasten
sind der Griff und/oder der Greifer aus Gummi, Hartplastik oder
Metall gefertigt. Auf jeden Fall muss das ausgewählte Material reinraumkompatibel sein,
wie zum Beispiel Aluminium. Jedoch sind zum besseren und vorteilhafteren
Greifen und zum Verhindern einer Beschädigung des FOUP der Griff und/oder
der Greifer der Handhabungsvorrichtung mit einer glatten Schicht
wie Gummi, Weichplastik oder Gewebe überzogen.
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Ein
Vorteil der Handhabungsvorrichtung gemäß der Erfindung ist, dass sie
als Standardhandhabungssystem für
FOUPs verschiedener Hersteller verwendet werden kann, weil alle
Hersteller den gleichen standardisierten oberen Roboterflansch verwenden
müssen.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
eine Draufsicht der Handhabungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform
der Erfindung, die von der Rückseite
an einen FOUP angeschlossen wird.
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2 ist
eine Draufsicht der Handhabungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform
der Erfindung, die von einer Seite an einen FOUP angeschlossen wird.
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3 ist
eine perspektivische Ansicht einer Handhabungsvorrichtung gemäß der Erfindung
kurz bevor sie von der Rückseite
an einen FOUP angeschlossen wird.
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4A und 4B sind
perspektivische Ansichten einer Handhabungsvorrichtung gemäß der ersten
Ausführungsform
der Erfindung mit zwei jeweils verschiedenen Stellungen der Griffe.
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5 ist
eine Draufsicht der Handhabungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der
Erfindung, die von der Rückseite
an einen FOUP angeschlossen wird.
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Beschreibung
einer bevorzugten Ausführungsform
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1 ist
eine Draufsicht der Handhabungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform
der Erfindung. In der Situation von 1 wird die
Handhabungsvorrichtung an einen vereinheitlichten Behälter mit
Vorderöffnung
(FOUP) 1 von der Rückseite angeschlossen.
Zuerst ist die Handhabungsvorrichtung von dem FOUP 1 getrennt
(rechter Teil von 1), dann ist die Handhabungsvorrichtung
an den FOUP 1 geklemmt (linker Teil von 1).
Die Richtung, in der die Handhabungsvorrichtung an den FOUP 1 geklemmt
wird, wird durch einen von rechts nach links zwischen den zwei Teilen
von 1 laufenden Pfeil angezeigt. Die Rückseite
des FOUP 1 ist die gekrümmte
Seite, wohingegen die dem rückwärtigen Ende
des FOUP gegenüberliegende
flache Seite eine Öffnung
(nicht gezeigt) umfasst, die Zugang zu den Wafer im Inneren des
FOUP schafft. Ein FOUP in Normalgröße kann mit bis zu 25 Wafer
von 300 mm Durchmesser bepackt werden. Eine schematische Ansicht
eines FOUP 1, auf den die vorliegende Erfindung zutrifft,
wird in 3 gezeigt.
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3 ist
eine perspektivische Ansicht eines FOUP 1 und einer Handhabungsvorrichtung
gemäß der Erfindung
kurz bevor die Handhabungsvorrichtung von der Rückseite an den FOUP angeschlossen wird.
Der vereinheitlichte Behälter
mit Vorderöffnung 1 umfasst
eine Seitenwand 2, die im Wesentlichen drei Bereiche enthält, wovon
zwei flach sind, wohingegen der dritte gekrümmt gestaltet ist und die Rückseite
des FOUP bildet. Eine Öffnung 3 ist
in dem Kasten gegenüber
seiner Rückseite
vorgesehen. In dem Rest dieser Beschreibung werden jeder der zwei
flachen Bereiche sowie der gekrümmte
Bereich (d.h. die Rückseite)
der Seitenwand als eine ordnungsgemäße Seitenwand 2 bezeichnet.
Der FOUP 1 wird durch eine Bodenwand 4 und eine
Deckenwand 5 vervollständigt.
Somit ist der FOUP im Wesentlichen ein Kasten mit einer offenen
Seite. Die Deckenwand 5 ist mit einem Roboterflansch 6 ausgestattet,
an den ein Roboterarm (nicht gezeigt) anschließbar ist. Der Roboterflansch 6 dient
hauptsächlich
als Befestigung für
den Transport des FOUP 1 durch einen Roboter. Jedoch kann
der Flansch 6 auch Zugang zum Inneren des FOUP für Sensoren,
Gas-Zulauf/-Auslass etc. bereitstellen.
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Auf 1 zurückverweisend
umfasst die Handhabungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
zum Handhaben eines derartigen vereinheitlichten Behälters mit
Vorderöffnung 1 eine
Stange 7 als Hauptelement, von dem sich jeweils ein Paar von
Greifern 11 und ein Paar von Griffen 9 erstrecken.
Die Stange 7 kann eine einfache Stange aus einem steifen
Plastikmaterial oder eine Metallschiene sein. Die Greifer 11 sind
vorzugsweise flache parallele Schienen mit einem entsprechenden
Abstand voneinander derart, dass sie den Roboterflansch 6 des FOUP 1 umgreifen.
Im Gebrauch wer den die zwei Greifer 11 an den Roboterflansch 6 geklemmt.
Nach dem Gebrauch wird der FOUP durch leichtes Spreizen und Zurückziehen
der Greifer 11 von der Handhabungsvorrichtung gelöst.
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Sowohl
die zwei Griffe 9 als auch die zwei Greifer 11 erstrecken
sich im Wesentlichen in einer zu der Stange 7 lotrechten
Richtung. Um jedoch zwischen den Griffen 9 und dem FOUP 1 ausreichend Platz
für die
Hände des
Bedieners zu lassen, können die
Griffe 9 so geneigt werden, dass sie sich lotrecht zu und
zusätzlich
seitlich von der Stange 7 erstrecken. Die Ausführungsform
mit derart geneigten Griffen 9 wird in den Figuren gezeigt
und wird im Rest der Beschreibung erörtert, ohne die Erfindung auf
geneigte Griffe zu beschränken.
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Für eine bequemere
Handhabung sind die Griffe 9 jeder mit einer Handstange 10 ausgestattet, die
sich in einer zu dem Griff 9 lotrechten Richtung erstreckt.
Die Handstangen 10 werden in den 1, 2 und 5 als
Kreise gezeigt und werden in den 3, 4A und 4B perspektivisch
gezeigt.
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2 ist
eine Draufsicht der Handhabungsvorrichtung, die der von 1 entspricht.
Jedoch ist in 2 die Handhabungsvorrichtung
an den FOUP von der Seite anstatt von der Rückseite angeschlossen. Wie
in 1 ist die Handhabungsvorrichtung zuerst von dem
FOUP 1 getrennt (rechter Teil der 2), dann
ist die Handhabungsvorrichtung an den FOUP 1 geklemmt (linker
Teil von 2). Die Richtung, in der die
Handhabungsvorrichtung an den FOUP 1 geklemmt wird, wird
durch einen von rechts nach links laufenden Pfeil angezeigt. Um
die Anforderung der Anschließbarkeit
von der Rückseite (1)
sowie von einer Seite (2) des FOUP zu erfüllen, müssen die
Länge der
Greifer 11 und die Länge
der Griffe 9 angemessen bestimmt werden. In beiden Fällen muss
ein sicherer Kontakt zwischen den Greifern 11 und dem Flansch 6 sichergestellt werden
und muss für
die Hände
des Bedieners ausreichend Platz gelassen werden.
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Es
ist zu beachten, dass, obwohl in den Figuren nicht gezeigt, die
Handhabungsvorrichtung vorzugsweise auch von der Vorderseite des
FOUP anschließbar
ist. Da jedoch der Roboterflansch auf dem FOUP im Zentrum der Deckenwand
mit im Wesentlichen dem gleichen Abstand zu jeder der Seitenwände angeordnet
ist, ergibt es sich fast automatisch, dass die Handhabungsvorrichtung
von allen vier Seiten anschließbar
ist.
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Um
maximale Flexibilität
mit Materialhandhabungssystemen zu ermöglichen, ist die Handhabungsvorrichtung
gemäß der Erfindung
vorzugsweise so konstruiert, dass die Griffe nach vorne, nach hinten,
zu den Seiten oder zu der Oberseite des FOUP bewegt werden können. Zwei
Ausführungsformen
mit beweglichen Griffen werden jeweils in den 4A, 4B
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und 5 gezeigt.
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4A und 4B sind
perspektivische Ansichten einer Handhabungsvorrichtung gemäß der Erfindung
mit einer Stange als Drehpunkt, um den jeder Griff und/oder jeder
Greifer schwenkt. Vorzugsweise ist die normale Stellung eine "flache" Stellung, das heißt, dass
die Griffe 9 und die Greifer 11 im Wesentlichen parallel
zueinander sind, so dass die Handhabungsvorrichtung den wenigsten
Platz benötigt.
Diese Stellung wird in 4A gezeigt. Die Handhabungsvorrichtung
kann mittels einer Spiralfeder (nicht gezeigt), die um die Stange 7 spiralförmig eingedreht
und mit einem Ende daran befestigt ist, in der "flachen" Stellung gehalten werden. Das andere Ende
der Spiralfeder ist an dem Griff 9 befestigt. Die Greifer 11 sind
starr an die Stange 7 befestigt. Im Gebrauch, mit dem zwischen
den Greifern 11 hochgehobenen FOUP, werden die Griffe 9 der
Handhabungsvorrichtung abwärts
geschwenkt, so dass der Bediener den FOUP bequem vor sich her befördern kann. Diese
Stellung der Handhabungsvorrichtung wird in 4B gezeigt.
Der Unterschied zwischen den beiden Stellungen von 4A und
von 4B ist, dass die Griffe 9 um eine erste
Achse 8 geschwenkt haben. Diese erste Achse 8 stimmt
im Wesentlichen mit der Achse der Stange 7 überein.
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Fachleuten
in der Technik wird jedoch klar sein, dass anstelle der starr an
die Stange 7 befestigten Greifer 11 und den frei
um die Stange 7 schwenkenden Griffen 9 dies umgekehrt
angeordnet werden kann. In diesem Fall wird eine Spiralfeder mit
einem ihrer Enden an die Stange 7 befestigt und mit dem anderen
ihrer Enden an den Greifern 11. Ferner ist es im Prinzip
auch möglich,
sowohl die Greifer 11 als auch die Griffe 9 um
die Stange 7 schwenken zu lassen. Dies erfordert zwei Paare
von Spiralfedern, eines für
die Greifer 11 und eines für die Griffe 9. Die Anordnung
mit zwei Paaren von Federn lässt
schwächere
Spiralfedern zu.
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Vorzugsweise
sind kleine Latches bzw. Sperrklinken (nicht gezeigt) vorgesehen,
so dass keiner der Griffe 9 und/oder keiner der Greifer 11 über einen
Bereich zwischen zwei festen Stellungen hinaus um die Stange 7 schwenkt.
Die Stellungen können
z.B. 90° auseinander
liegen, wobei die "flache" Stellung die normale
Stellung ist und die gewinkelte Stellung die Stellung mit einer
Last ist. Dadurch wird sichergestellt, dass die durch die Handhabungsvorrichtung
zu befördernde
Maximallast unabhängig
von der Feder kraft bzw. den Federkräften ist, da das Gewicht des
FOUP durch die Sperrklinke getragen wird. Zudem kann die Stellung,
in der die Maximallast durch die Handhabungsvorrichtung gehalten
wird, so ausgewählt
werden, dass die Griffe 9 bündig mit den Seiten 2 des
Kastens herunterklappen oder einen vorbestimmten Winkel bei den
Seiten 2 des FOUP umfassen. Somit wird die Abstandswirkung
minimiert. Ferner kann die Feder so konstruiert werden, dass sogar
in der normalen Stellung eine bestimmte Spannung der Feder(n) besteht,
die die Griffe und/oder die Greifer in die normale "flache" Stellung drückt.
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Fachleuten
in der Technik wird klar sein, dass weitere Mittel vorgesehen werden
können,
um die Griffe 9 und/oder die Greifer 11 unabhängig von irgendeiner
Federkraft auf die Stange 7 in irgendeiner Stellung innerhalb
eines bestimmten Bereichs verriegelbar zu machen. Durch solche Mittel
kann die Stellung der Griffe auf die tatsächliche Situation, z.B. für die Waferladung
des FOUP 1 und für
die persönlichen
Bevorzugungen des Bedieners, optimiert werden.
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Außer der
vorstehenden Ausführungsform mit
den um die erste Achse 8 schwenkenden Griffen 9 und/oder
Greifern 11 können
sich die Griffe 9 auch um eine zweite Achse (nicht gezeigt)
drehen, die lotrecht zu der Stange 7, zu den Greifern 11 und
zu den Griffen 9 verläuft.
Die zweite Achse verläuft
somit lotrecht zu der Ebene des Griffs 9 und der Stange 7. Diese
Ausführungsform
wird in 5 gezeigt. 5 ist
eine Draufsicht der zweiten Ausführungsform
der Handhabungsvorrichtung. In 5 ist die
Handhabungsvorrichtung von der Rückseite
an einen FOUP angeschlossen. Unmittelbar nachdem die Handhabungsvorrichtung
an einen FOUP angeschlossen ist, sind die Griffe 9 in einer
ersten Stel lung angeordnet (weiße
Griffe 9). Nachdem die Handhabungsvorrichtung an den FOUP 1 angeschlossen
worden ist, werden die Griffe in eine zweite Stellung gebracht (schattierte
Griffe 9), so dass sie sich näher an den Seitenwänden 2 des
FOUP befinden. Die Drehung der Griffe 9 um die zweite Achse
wird in 5 durch zwei Pfeile angezeigt.
Bei dieser Ausführungsform
ist es möglich,
die Handhabungsvorrichtung bei dem FOUP zu belassen, da im Vergleich
zur Lagerung lediglich des FOUP nur sehr wenig zusätzlicher
Platz benötigt
wird, wenn ein FOUP zusammen mit der Handhabungsvorrichtung gelagert
wird.
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Wie
bei der Ausführungsform
gemäß 4A und 4B kann
auch bei der Ausführungsform
gemäß 5 jeder
Griff 9 mit Federn, die eine normale Stellung definieren,
an die Stange 7 gekoppelt sein. Dies kann die Stellung
sein, in der der Griff nach vorne gewinkelt ist (schattierte Griffe 9).
Ferner kann der Griff auf die Stange verriegelbar sein, so dass
er an irgendeinem Drehwinkel um die zweite Achse befestigt werden
kann.
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Das
Material, das für
die Handhabungsvorrichtung – das
heißt
die Greifer 11 und/oder die Griffe 9 – am besten
geeignet ist, ist ein steifes oder Hartplastik-Material. Anstelle
von Plastikmaterial können alternative
Materialien wie Gummi oder Metall verwendet werden. Jedoch sollte
es im Falle z.B. eines Metallrahmens beschichtet sein, um Beschädigungen
an dem FOUP durch die harte Oberfläche des Metallrahmens zu vermeiden.
Das Material für
die Beschichtung des Rahmens ist vorzugsweise eine glatte Schicht
wie Gummi, Weichplastik oder Gewebe. Als Material für den Metallrahmen
wird insbesondere Aluminium bevorzugt. Und insgesamt haben alle
für die
Handhabungsvorrichtung gemäß der Erfindung
verwendeten Materialien reinraumkompatibel zu sein.
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Als
Zusammenfassung: Für
das manuelle Handhaben eines vereinheitlichten Behälters mit
Vorderöffnung 1 koppelt
der Bediener eine Handhabungsvorrichtung gemäß der Erfindung an den Roboterflansch 6 des
vereinheitlichten Behälter
mit Vorderöffnung,
ladet/entladet/bewegt den vereinheitlichten Behälter mit Vorderöffnung in
eine gewünschte Stelle
und entkoppelt schließlich
die Handhabungsvorrichtung von dem vereinheitlichten Behälter mit Vorderöffnung.