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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Fingerabdrucklesegerät gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1.
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Solch
ein Gerät
ist aus der WO 97/14111 bekannt.
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Ein
herkömmliches
Lesegerät
zum Lesen von Zielobjekten, die feine tieferliegende oder vorstehende
Strukturen aufweisen, wie eine Fingerspitze, hat einen Aufbau, wie
im US-Patent Nr. US-A-5,635,723
offenbart. Dort ist ein zweidimensionaler Fotosensor auf der Oberfläche einer
Lichtquelle und ein optisches Bauteil auf dem zweidimensionalen
Fotosensor ausgebildet. Die Erfindung dieser Referenz erfasst Kapazitätsänderungen,
wenn ein Finger das optische Bauteil berührt und erfasst daraufhin als
Ergebnis elektrische Ladungen, die durch zweidimensional angeordnete
Fotosensoren generiert werden und einer von dem optischen Bauteil
einfallenden Lichtmenge entsprechen. Bei diesem Aufbau werden viele
lichtführende
Fasern ohne optische Linse auf den zweidimensionalen Fotosensor
montiert, so dass das gesamte Gerät verkleinert werden kann.
Vor kurzem wurde ein anderer Aufbau untersucht bei dem ein optisches
Bauteil, das aus vielen lichtführenden
Fasern gebildet ist, dünner
gemacht wird und zu einem lichtstreuenden Film wird oder bei dem
die obere Oberfläche
eines Fotosensors mit einer transparenten Kunstharzschicht bedeckt
wird, die eine unebene Oberfläche
ohne optisches Bauteil aufweist. Beispielsweise ist diese Art Aufbau
in der US-Patentanmeldung Nr. 09/128,237 (3. August 1998), die vom
Anmelder der vorliegenden Erfindung eingereicht wurde, offenbart.
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In
diesem Lesegerät
berührt
ein Finger direkt die obere Oberfläche des zweidimensionalen Fotosensors.
Ist der Finger statisch geladen, so kann diese statische Ladung
zu einer Fehlfunktion des zweidimensionalen Fotosensors führen oder
kann ihn im schlimmsten Fall beschädigen. Falls die Struktur eines
Fingerabdrucks durch irgendeine Weise auf ein Blatt kopiert wird,
so schließt,
solange die Struktur die gleiche ist, das Gerät auf einen korrekten Fingerabdruck
da das Lesegerät
nicht mit einem Mittel ausgestattet ist, das ein Blatt von einem
menschlichen Finger unterscheiden kann. Wird diese Fingerabdruckübereinstimmung
als Anmeldebedingung für
einen PC oder einen Hostcomputer eines Netzwerks benutzt, so kann
der Computer nicht sicher vor dem Zugriff einer dritten Person geschützt werden.
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Offenbarung
der Erfindung
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Es
ist die erste Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Lesegerät bereitzustellen,
das eine Fehlfunktion oder einen Schaden des Fotosensors durch statische
Ladung verhindert. Es ist die zweite Aufgabe der vorliegenden Erfindung
ein Lesegerät
bereitzustellen, das dazu fähig
ist, die Zuverlässigkeit
des Lesens einer Struktur dadurch zu sichern, dass beispielsweise
erfasst wird, ob das Objekt ein Mensch ist.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird ein Fingerabdrucklesegerät gemäß den unabhängigen Ansprüchen 1,
7 und 10 bereitgestellt.
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Gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung wird ein Lesegerät zum Lesen eines Zielobjekts
mit einer Schattenstruktur bereitgestellt, das umfasst: eine Lichtquelle;
eine Fotosensorvorrichtung mit mehreren Fotosensoren, die auf der Lichtquelle
ausgebildet sind; mindestens ein Paar transparenter leitender Schichten,
die auf der Fotosensorvorrichtung ausgebildet sind, um den Widerstand
eines Zielobjekts zu erfassen; und einen Operator, der, wenn der
Wert des erfassten Widerstands des Zielobjekts innerhalb des vorbestimmten
Werts fällt,
das Auslesen des Zielobjekts beginnt.
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Zusätzliche
Merkmale und Vorteile der Erfindung werden in der folgenden Beschreibung
dargelegt, und werden teilweise durch die Beschreibung klar oder
können
durch die Benutzung der Erfindung gelernt werden. Die Merkmale und
Vorteile der Erfindung können
durch die Mittel und deren Kombinationen, wie sie insbesondere nachfolgend
dargestellt werden, realisiert und erzielt werden.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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Die
begleitenden Zeichnungen, die hiermit eingefügt werden und Teil der Beschreibung
bilden, stellen bevorzugte Ausführungsformen
der Erfindung dar, und dienen zusammen mit der allgemeinen Beschreibung,
die oben gegeben wurde, und der detaillierten Beschreibung der bevorzugten
Ausführungsformen,
die anschließen,
dazu, das Prinzip der Erfindung zu erklären.
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1 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht
eines Fingerabdrucklesegeräts
gemäß der ersten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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2 ist eine Ansicht von oben
eines Teils des Fingerabdrucklesegeräts, das in 1 gezeigt wurde;
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3 ist ein Blockdiagramm
des Fingerabdrucklesegeräts,
das in 1 gezeigt wurde;
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4 ist ein Schaltkreisdiagramm
eines Fotosensorabschnitts und eines Fotosensortreibers, die in 3 gezeigt wurden;
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5 ist ein äquivalentes
Schaltkreisdiagramm eines einzelnen Fotosensors, wie in 1 gezeigt;
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6A bis 6D sind Schaltkreisdiagramme, die zur
Erklärung
der Änderungen
in den Spannungen, die an jeder Elektrode des Fotosensors, der in 5 gezeigt wird, angelegt
werden und dem Fotosensorzustand;
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7 ist eine Ansicht von oben
eines Teils eines Fingerabdrucklesegeräts gemäß der zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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8 ist ein Schaltkreisdiagramm
eines Teils des Fingerabdrucklesegeräts, das in der 7 gezeigt wurde;
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9 ist eine Ansicht von oben
eines Teils eines Fingerabdrucklesegeräts gemäß der dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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10 ist ein Schaltkreisdiagramm
eines Teils des Fingerabdrucklesegeräts, das in 9 gezeigt wurde; und
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11 ist eine Ansicht von
oben, die eine Modifikation des Fingerabdrucklesegeräts, das
in 9 gezeigt wurde,
darstellt.
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Bevorzugte Ausführung der
Erfindung
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Erste Ausführungsform
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1 ist eine Querschnittsansicht
eines Teils eines Lesegeräts
gemäß der ersten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Dieses Lesegerät kann ein Zielobjekt mit beliebiger
Form, das feine vertiefte oder vorstehende Strukturen aufweist, auslesen.
In der vorliegenden Ausführungsform
stellt das Lesegerät
ein Fingerabdrucklesegerät
zum Auslesen eines Fingerabdrucks dar. Dieses Fingerabdrucklesegerät hat einen
zweidimensionalen Fotosensor (Fotosensorvorrichtung) 2 auf
einer Oberflächenlichtquelle 1.
Eine transparente leitende Schicht 3 aus ITO oder ähnlichem
ist auf dem zweidimensionalen Fotosensor 2 ausgebildet.
Die Oberflächenlichtquelle 1 ist
eine Elektrolumineszenzhintegrundbeleuchtung oder eine Hintergrundbeleuchtung
des Typs Randbeleuchtung, wie bei Flüssigkristallbildschirmen benutzt.
Obwohl nicht gezeigt, hat die Hintergrundbeleuchtung des Typs Randbeleuchtung üblicherweise
eine lichtreflektierende Platte auf der unteren Seite der Lichtführungsplatte,
eine oder mehrere Punktlichtquellen, wie beispielsweise LEDs, die
in der Nähe
der Lichtleitplatte angeordnet sind, und die Oberfläche der
Punktlichtquelle, die nicht mit der Lichtleitplatte übereinstimmt,
wird mit einer lichtreflektierenden Schicht bedeckt. Die durchsichtige
leitende Schicht 3 dissipiert statische Elektrizität und ist in
einem vorgegebenen Bereich (nicht gezeigt) geerdet. Die transparente
leitende Schicht 3 wird beispielsweise durch Abscheidung
auf der oberen Oberfläche
einer Überdeckungsschicht 23 (der
später
beschrieben wird) auf dem zweidimensionalen Fotosensor 2 ausgebildet.
Die transparente leitende Schicht 3 ist etwas breiter als
die viereckige Sensorregion 4 des zweidimensionalen Fotosensors 2 ausgebildet,
wie durch die gestrichelte Linie in 2 dargestellt.
Man beachte, dass die Doppelpunkt gestrichelte Linie in 2 einen Finger 5 darstellt.
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Der
zweidimensionale Fotosensor 2 wird nun beschrieben. Der
zweidimensionale Fotosensor 2 hat einen Aufbau, in dem
mehrere Fotosensoren 11 (nur ein Fotosensor ist in der 1 gezeigt) in einer Matrix
angeordnet sind. Der zweidimensionale Fotosensor 2 hat
ein durchsichtiges Substrat 12 aus Kunstharz, Glas oder ähnlichem.
Eine untere Gateelektrode 13 aus Chrom oder Aluminium,
die als lichtabschirmende Elektrode dient, wird für jeden
Fotosensor 11 auf der oberen Oberfläche des durchsichtigen Substrats 12 ausgebildet.
Ein lichtdurchlässiger
unterer gateisolierender Film 14 aus Siliziumnitrid wird
auf der gesamten oberen Fläche
der unteren Gateelektrode 13 und der oberen Fläche des
durchsichtigen Substrats 12 ausgebildet. Eine Halbleiterschicht 15 aus
amorphem Silicium wird auf einem oberen Oberflächenabschnitt, der Abschnitt
der der unteren Gateelektrode 13 entspricht, des unteren
gateisolierenden Films 14 ausgebildet. n+ dotierte
Siliziumschichten 16 und 17 werden je auf den
beiden Seiten der Halbleiterschicht 15 auf der oberen Oberfläche des
unteren gateisolierenden Films 14 ausgebildet. Eine lichtdurchlässige Blockschicht 18 aus
Siliziumnitrid wird auf der oberen Oberfläche der Halbleiterschicht 15 ausgebildet.
Source- und Drain-Elektroden 19 und 20 als abschirmende
Elektroden aus Chrom oder Aluminium werden auf den beiden Seiten
der oberen Oberfläche
der Blockschicht 18, der oberen Oberfläche der n+ dotierten
Siliziumschichten 16 und 17, und der oberen Oberfläche des
unteren gateisolierenden Films 14 ausgebildet. Ein lichtdurchlässiger oberer gateisolierender
Film 21 aus Siliziumnitrid wird auf der gesamten oberen
Oberfläche
der Source- und Drain-Elektroden 19 und 20 und
der freiliegenden Fläche
der Blockschicht 18 ausgebildet. Eine obere Gateelektrode 22 als
durchlässige
Elektrode aus ITO oder ähnlichem
wird auf einem oberen Oberflächenabschnitt
des oberen gateisolierenden Films 21, der der Halbleiterschicht 15 entspricht,
ausgebildet. Eine lichtdurchlässige Überdeckungsschicht 23 aus
Siliziumnitrid wird auf der gesamten oberen Oberfläche der
oberen Gateelektrode 22 und der oberen Oberfläche des
isolierenden Films 21 ausgebildet. Wenn bei diesem zweidimensionalen
Fotosensor 2 ein Lichtstrahl zufällig von der unteren Oberflächenseite
aus auftrifft, wird ein Teil des Lichtstrahls durch die untere Gateelektrode 13 abgeschirmt,
und der andere Teil des Lichtstrahls geht durch die lichtdurchlässigen Schichten,
ausgenommen der Source- und Drain-Elektroden 19 und 20,
durch, so dass der Lichtstrahl nicht direkt auf die Halbleiterschicht 15 auftrifft.
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Der
Betrieb dieses Fingerabdrucklesegeräts wird kurz erklärt. Ein
Lichtstrahl, der von der oberen Oberfläche der Oberflächenlichtquelle 1 abgestrahlt wird,
geht durch den lichtdurchlässigen
Abschnitt des zweidimensionalen Fotosensors 2 und die durchsichtige
leitende Schicht 3 durch. Der Finger 5 (siehe 2), der sich in Kontakt
mit der durchsichtigen leitenden Schicht 3 befindet, wird
mit diesem durchgelassenen Lichtstrahl von der unteren Oberflächenseite
aus diffus bestrahlt. Der von der Oberfläche des Fingers reflektierte
Lichtstrahl geht durch die durchsichtige leitende Schicht 3 und
die benachbarte obere Gateelektrode 22, die als lichtdurchlässige Elektrode
dient, durch und fällt
auf die Einfallsoberfläche (der
Strahlung ausgesetzte Oberfläche)
der Halbleiterschicht 15 zwischen den Source- und Drain-Elektroden 19 und 20 ein.
In diesem Fall werden Abschnitte, die den Vorsprüngen (Rippen) der Hautoberfläche des
Fingers 5, der in Kontakt mit der Oberfläche der
durchsichtigen leitfähigen
Schicht 3 ist, hell. Abschnitte, die den Vertiefungen (Tälern) der Hautoberfläche des
Fingers 5 entsprechen, werden dunkel. Als Ergebnis kann
ein Bild, dessen Kontrast optisch verstärkt wird, der Rippen und Täler der Hautoberfläche des
Fingers 5 erzeugt werden, um den Fingerabdruck des Fingers 5 zu
lesen.
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Da
bei diesem Fingerabdrucklesegerät
die durchsichtige leitfähige
Schicht 3 auf dem zweidimensionalen Fotosensor 2 ausgebildet
und geerdet ist, kann statische Elektrizität, die sich vom Finger 5, der
sich in Kontakt mit der durchsichtigen leitfähigen Schicht 3 auf
dem zweidimensionalen Fotosensor 2 befindet, entlädt, durch
die durchsichtige leitende Schicht 3 dissipiert werden.
Dies kann den zweidimensionalen Fotosensor 2 vor einer
Fehlfunktion oder einer Schädigung
durch diese statische Elektrizität
schützen.
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3 ist ein Blockdiagramm,
das einen Teil des Fingerabdrucklesegeräts zeigt. Dieses Fingerabdrucklesegerät umfasst
einen Fotosensorabschnitt 31, einen Fotosensortreiber 32,
einen CTR (Controller) 33, einen Taktgeneratorabschnitt 34,
einen A/D (analog zu digital) Umwandelabschnitt 35, einen
S/P (seriell zu parallel) Umwandelabschnitt 36, einen Standardmusterspeicher 37,
einen Übereinstimmungsabschnitt 38,
einen Bestimmungsabschnitt 39, u. ä.
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Wie
in der 4 gezeigt, hat
der Fotosensorabschnitt 31 einen Aufbau, bei dem die Fotosensoren 11,
die den in der 1 gezeigten
zweidimensionalen Fotosensor bilden, in einer Matrix angeordnet. Wie
in der 1 gezeigt, hat
der Fotosensor einen unteren Gatetype-Transistor, der durch die
untere Gateelektrode (BG) 13, die Halbleiterschicht 15,
die Sourceelektrode (S) 19, die Drainelektrode (D) 20 oder ähnliches
gebildet wird, und einen oberen Gatetype-Transistor, der durch die
obere Gateelektrode (TG) 22, die Halbleiterschicht 15,
die Sourceelektrode (S) 19, die Drainelektrode (D) 20 oder ähnliches gebildet
wird. Das heißt,
dass der Fotosensor aus einem fotoelektrischen Conversion-Dünnschichttransistor
gebildet wird, bei dem die untere Gateelektrode (BG) 13 und
obere Gateelektrode (TG) 22 unter- bzw. oberhalb der Halbleiterschicht 15 ausgebildet
sind. Der äquivalente
Schaltkreis dieses Transistors ist in der 5 gezeigt.
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Die
untere Gateelektrode (BG) eines jeden Fotosensors 11 ist,
sich auf die 4 rückbeziehend, mit
einer der mehreren unteren Elektrodenleitungen 41, die
sich in Reihenrichtung erstrecken, verbunden. Die Drainelektrode
(D) eines jeden Fotosensors 11 ist mit einer der mehreren
Signalleitungen 42, die sich in Spaltenrichtung erstrecken,
verbunden. Die obere Gateelektrode (TG) eines jeden Fotosensors 11 ist mit
einer der mehreren oberen Elektrodenleitungen 43, die sich
in Reihenrichtung erstrecken, verbunden. Die Source-Elektrode (S)
eines jeden Fotosensors 11 ist geerdet.
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Wie
in der 4 gezeigt, umfasst
der in 3 gezeigte Fotosensortreiber 32 einen
unteren Adressendekodierer 44, der als vertikaler Abtastkreis,
der mit den unteren Elektrodenleitungen 41 verbunden ist,
dient, einen Spaltenschalter 45, der als horizontaler Abtastkreis,
der mit den Signalleitungen 42 verbunden ist, dient, und
einen oberen Adressendekodierer 46, der mit den oberen
Elektroden 43 verbunden ist. Der untere Adressendekodierer 44 legt über eine
untere Elektrodenleitung 41 eine untere Gatespannung VBG an die unteren Gateelektroden (BG) der
Fotosensoren 11, die an der entsprechenden Reihe angeordnet
sind, an. Der obere Adressendekodierer 46 legt über eine
obere Elektrodenleitung 43 eine obere Gatespannung VTG an die oberen Gateelektroden (TG) der
Fotosensoren 11, die auf der entsprechenden Reihe angeordnet
sind, an.
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Der
Spaltenschalter 45 erhält über einen
vorbelasteten Transistor 47 eine Drainspannung VDD. Der Spaltenschalter 45 gibt über einen
Puffer 48 ein Ausgabesignal VOUT ab.
Jedes Mal wenn der vorbelastete Transistor 47 nach Erhalt
einer Vorbelastspannung VPC angeschaltet
wird, gibt der Spaltenschalter 45 über den Puffer 48 einen
Output von jedem Fotosensor 11, der mit einer Signalleitung 42 verbunden
ist, als das Ausgabesignal VOUT ab.
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Der
in 3 gezeigte Taktgeneratorabschnitt 34 umfasst
einen Schwingkreis und einen Frequenzteilungskreis, und gibt Takt-
und Resetsignale mit vorbestimmten Frequenzen an den CTR 33 ab. Der
CTR 33 gibt die unteren und oberen Gatespannungen VBG und VTG als Lese-
und Reset-Spannungen an den Fotosensortreiber 32, basierend
auf den Takt- und Resetsignalen des Taktgeneratorabschnitts 34,
ab und gibt die Vorbelast- und Drainspannungen VPC und
VDD an den vorbelasteten Transistor 47,
wie in 4 gezeigt, ab.
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Der
in 3 gezeigte A/D-Umwandelabschnitt 35 führt die
A/D-Konvertierung des Ausgabesignals VOUT,
das von dem Fotosensorabschnitt 31 über den Fotosensortreiber 32 ausgegeben
wird, durch (d. h., der in 4 gezeigte
Spaltenschalter 45). Der S/P-Wandlerabschnitt 36 wandelt
die seriellen Ausgabesignale des A/D-Umwandelabschnitts 35 in parallele
Ausgabesignale um. Fingerabdruckbildsignale, die den Fingerabdrücken mehrerer
bestimmter Personen entsprechen, werden vorher als Standardmustersignale
in dem Standardmusterspeicher 37 gespeichert. Der Übereinstimmungsabschnitt 38 vergleicht
ein Ausgabesignal des S/P-Wandlerabschnitts 36 mit Standardmustersignalen,
die nach und nach aus dem Standardmusterspeicher 37 gelesen
werden, und gibt jedes Übereinstimmungssignal an
den Bestimmungsabschnitt 39 weiter. Der Bestimmungsabschnitt 39 bestimmt,
basierend auf dem Übereinstimmungssignal
des Übereinstimmungsabschnitts 38,
ob ein Fingerabdruckbildsignal, das dem Ausgabesignal VOUT des
Fotosensorabschnitts 31 entspricht, mit dem Standardmustersignal
einer bestimmten Person, das vorher in dem Standardmusterspeicher 37 gespeichert
wurde, entspricht, und gibt ein Bestimmungssignal ab.
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Der
Betrieb des Fotosensors 11 wird unter Bezugnahme auf die 5 und 1 beschrieben. Wenn eine positive Spannung
(beispielsweise +10 V) an die untere Gateelektrode (BG) angelegt
wird, während eine
positive Spannung (beispielsweise +5 V) zwischen der Source-Elektrode
(S) und der Drain-Elektrode (D) des Fotosensors 11 angelegt
bleibt, wird ein Kanal in der Halbleiterschicht 15 ausgebildet,
so dass ein Drainstrom fließt.
Wenn, in diesem Zustand, eine negative Spannung (beispielsweise –20 V) an
der oberen Gateelektrode (TG) angelegt wird, wobei diese groß genug
ist um den Kanal, der durch das elektrische Feld der unteren Gateelektrode
(BG) ausgebildet wird, verschwindet zu lassen, so wirkt das elektrische
Feld der oberen Gateelektrode (TG) in einer Richtung um den Kanal,
der durch das elektrische Feld der unteren Gateelektrode (BG) gebildet
wird, zu beseitigen, wodurch der Kanal ausgeschaltet wird. Wenn,
zu diesem Zeitpunkt, die Halbleiterschicht 15 mit einem
Lichtstrahl von der oberen Gateelektrodenseite (TG) aus bestrahlt
wird, werden Elektronenlochpaare in der Halbleiterschicht 15 auf
der oberen Gateelektrodenseite (TG) induziert. Die Elektronenlochpaare
sammeln sich in der Kanalregion der Halbleiterschicht 15,
um das elektrische Feld der oberen Gateelektrode (TG) aufzuheben.
Ein Kanal wird dann in der Halbleiterschicht 15 ausgebildet,
um den Drainstrom fließen
zu lassen. Dieser Drainstrom ändert
sich gemäß der Änderung
des auf die Halbleiterschicht 15 einfallenden Lichts. Wie
oben beschrieben wirkt das elektrische Feld der oberen Gateelektrode (TG),
in diesem zweidimensionalen Fotosensor 2, in einer Richtung,
die die Kanalbildung unter Benutzung des elektrischen Felds der
unteren Gateelektrode (BG) verhindert, um den Kanal abzuschalten.
Der Drainstrom, den man erhält,
wenn kein Lichtstrahl einfällt,
kann stark reduziert werden, beispielsweise bis auf 10–14 A.
Der Unterschied zwischen dem Drainstrom, der sich ergibt, wenn kein
Lichtstrahl einfällt, und
dem Drainstrom, den man erhält,
wenn ein Lichtstrahl einfällt,
kann ausreichend groß gemacht
werden. Der Verstärkungsfaktor
des unteren Gatetype-Transistors
kann sich hierbei gemäß einer Änderung
des einfallenden Lichts ändern,
um den S/N-Quotienten zu vergrößern.
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In
dem zweidimensionalen Fotosensor 2 kann ein Fotosensor 11 sowohl
die Sensorfunktion als auch eine Auswahltransistorfunktion erfüllen. Diese
Funktionen werden nachfolgend kurz beschrieben. Wenn beispielsweise
eine Spannung von 0 V an die obere Gateelektrode (TG) angelegt wird,
während
eine positive Spannung (+10 V) an die untere Gateelektrode (BG)
angelegt ist, werden Löcher
aus dem Haftterm zwischen der Halbleiterschicht 15 und dem
oberen gateisolierenden Film entladen, was einen Refresh- oder Resetvorgang
erlaubt. Wenn die Lesevorrichtung insbesondere kontinuierlich benutzt wird,
wird der Haftterm zwischen der Halbleiterschicht 15 und
dem oberen gateisolierenden Film 21 mit den durch die Bestrahlung
generierten Löchern und
den von der Drain-Elektrode (D) injizierten Löchern gefüllt. Der Kanalwiderstand, der
sich ergibt wenn kein Licht einfällt,
ist reduziert, und der Drainstrom, der sich ergibt, wenn kein Licht
einfällt,
steigt an. Deshalb wird die obere Gateelektrode (TG) auf 0 V gesetzt,
um diese Löcher
zu entladen, um einen Resetvorgang zu ermöglichen.
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Wenn
die positive Spannung nicht an die untere Gateelektrode (BG) angelegt
wird, wird in dem unteren Gatetype-Transistor kein Kanal ausgebildet. Selbst
wenn ein Lichtstrahl einfällt,
fließt
kein Drainstrom um den nicht selektierten Zustand einzustellen. Insbesondere
können
durch Steuerung der Spannung, die an die untere Gateelektrode (BG)
angelegt wird, der ausgewählte
oder nicht ausgewählte
Zustand gesteuert werden. Im nicht ausgewählten Zustand, wenn 0 V an
die obere Gateelektrode (TG) angelegt wird, können die Löcher aus dem Haftterm zwischen
der Halbleiterschicht 15 und dem oberen gateisolierenden
Film 21 entladen werden, um, wie oben beschrieben, einen
Resetvorgang zu ermöglichen.
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Als
Ergebnis, wie in den 6A bis 6D gezeigt, wird beispielsweise
die obere Gatespannung VTG auf 0 V und –20 V geregelt,
um die Steuerung des Lese- und Resetzustands zu ermöglichen.
Die untere Gatespannung VBG wird auf 0 V
und +10 V geregelt, um die Steuerung des ausgewählten und des nicht ausgewählten Zustands
zu ermöglichen.
Das heißt, dass
durch die Einstellung der oberen Gatespannung VTG und
der unteren Gatespannung VBG, ein Fotosensor 11 sowohl
die Fotosensorfunktion als auch die Auswahltransistorfunktion aufweisen
kann.
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Der
Betrieb des zweidimensionalen Fotosensors 2 wird unter
Bezugnahme auf die 3 und 4 erklärt. Der Taktgeneratorabschnitt 34 gibt
Takt- und Resetsignale mit vorbestimmten Frequenzen an den CTR 33.
Der CTR 33 gibt, auf der Basis der Takt- und Resetsignale
des Taktgeneratorabschnitts 34, die untere und obere Gatespannungen
VBG und VTG als
Lese- und Resetsignale an den Fotosensortreiber 32 ab,
und gibt die Vorbelast- und Drainspannungen VPC und
VDD an den vorbelasteten Transistor 47 ab.
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Die
Fotosensoren 11 der ersten Reihe werden durch Einstellung
der unteren und oberen Gatespannung VBG und
VTG auf 0 V gereseted. Während diesem Resetting wird,
während
einer vorbestimmten Zeit, die Vorbelastspannung VPC an
den vorbelasteten Transistor 47 angelegt, und die Drainspannung VDD (5V) wird an alle Signallinien 42 angelegt,
um die Fotosensoren 11 aufzuladen. Die obere Gatespannung
VTG wird auf –20 V eingestellt, um die Fotosensoren 11 in
den Lesezustand zu bringen. Die untere Gatespannung VBG wird
auf +10 V eingestellt, um die Fotosensoren 11 in einen
ausgewählten
Zustand zu bringen. Ein Ausgabesignal VOUT von
jedem Fotosensor 11 ändert
sich auf 0 V oder bleibt auf 5 V in Abhängigkeit von der einfallenden
Lichtmenge (Lichtmenge). Das Ausgabesignal VOUT von
jedem Fotosensor 11 wird über den Spaltenschalter 45 über den Puffer 48 abgegeben.
Der gleiche Vorgang wird für die
Fotosensoren 11 der zweiten bis letzten Reihe durchgeführt. Eine
Beschreibung des folgenden Betriebs wird daher weggelassen.
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Zweite Ausführungsform
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7 ist eine Ansicht von oben,
die einen Teil eines Fingerabdrucklesegeräts gemäß der zweiten Ausführungsform
der vorigen Erfindung zeigt. Bei diesem Fingerabdrucklesegerät ist ein
Paar durchsichtiger leitfähiger
Filme 3A und 3B kammzahnförmig innerhalb und um die Sensorregion 4 auf
der oberen Fläche
einer Überdeckungsschicht 23 eines zweidimensionalen
Fotosensors 2 ausgebildet. Wenn ein Finger 5 den
zweidimensionalen Fotosensor einschließlich des Paares durchsichtiger
leitfähiger
Filme 3A und 3B berührt, erfasst das Paar durchsichtiger
leitfähiger
Filme 3A und 3B den Widerstand des berührenden
Fingers 5 und beginnt dank dieses Erfassungssignals (wie
später
beschrieben wird) die Auslesung des Fingerabdrucks. Das Paar durchsichtiger
leitfähiger
Filme 3A und 3B kann auch eine antistatische Funktion
erfüllen.
Das Paar durchsichtiger leitfähiger
Filme 3A und 3B sind kammzahnförmig ausgebildet, um einen
vergleichsweise kleinen Widerstand des Fingers 5 mit hoher
Genauigkeit zu erfassen.
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8 zeigt einen Teil des Schaltkreises
des Fingerabdrucklesegeräts.
In 8 bezeichnen gleiche
Bezugszeichen wie in 4 gleiche
Teile und auf eine Beschreibung derselben wird verzichtet. Ein durchsichtiger
leitfähiger
Film 3A ist über
einen Widerstand 51 mit einem CTR 33 (siehe 3) zur Ausgabe der Drainspannung
VDD verbunden, während der andere durchsichtige
leitfähige
Film 3B geerdet ist. Der CTR 33 ist über einen
Wechselrichter 52 zwischen einem durchsichtigen leitfähigen Film 3A und dem
Widerstand 51 angeordnet. Der CTR 33 gibt nach
Erhalt eines N-Niveausignals vom Wechselrichter 52 ein
Schaltsignal an den Schaltregler 53 ab. Der Schaltregler 53 gibt
nach Erhalt eines Schaltsignals von der CTR 33 ein Schaltregelsignal
an einen Schalter 54 ab. Der Schalter 54 ist ein
normalerweise offener Schalter, der zwischen einem Spaltenschalter 45 und
einem vorbelasteten Transistor 47 ausgebildet ist.
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Wenn
bei diesem Fingerabdrucklesegerät der
Finger 5 den zweidimensionalen Fotosensor 2 einschließlich des
Paares durchsichtiger leitfähiger Filme 3A und 3B berührt, wird
ein Widerstand, der dem Berührungswiderstand
des Fingers 5 entspricht, zwischen dem Paar durchsichtiger
leitfähiger
Filme 3A und 3B gebildet, wodurch sich das Potential
zwischen dem durchsichtigen leitfähigen Film 3A und dem
Widerstand 51 auf ein Potential geteilt durch den Widerstand 51 und
den Widerstandswert des Fingers reduziert. Die Eingabe des Wechselrichters 52 fällt vom
H-Niveau auf das L-Niveau, wodurch sich die Ausgabe des Wechselrichters 52 auf
das H-Niveau ändert,
und dieses H-Niveausignal
wird an den CTR 33 ausgegeben. Der CTR 33 gibt
nach Erhalt des H-Niveausignals
vom Wechselrichter 52 ein Schaltsignal an den Schaltregler 53 ab.
Nach Erhalt des Schaltsignals von dem CTR 33 gibt der Schaltregler 53 ein
Schaltkontrollsignal an den Schalter 54 ab, um den Schalter 54 zu
schließen.
Dann ist der Spaltenschalter 45 mit dem vorbelasteten Transistor 47 über den
Schalter 54 verbunden, wodurch der gleiche Zustand, wie
in 4 gezeigt, erzielt
wird, und das Fingerabdruackauslesen beginnt.
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Wie
oben beschrieben wird, wenn der Finger 5 den zweidimensionalen
Fotosensor 2 einschließlich
des Paares durchsichtiger leitfähiger
Filme 3A und 3B berührt, in dem Fingerabdrucklesegerät der Widerstand
des berührenden
Fingers 5 erfasst, wo durch dieses Erfassungssignal das
Fingerabdruckauslesen beginnt. Das Fingerabdruckauslesen kann günstiger
Weise automatisch beginnen. Da der andere durchsichtige leitfähige Film 3B,
der sich über
dem Großteil
der Sensorregion 4 des zweidimensionalen Fotosensors befindet,
geerdet ist, wie in 7 gezeigt,
wird die antistatische Funktion verstärkt. Man beachte, dass wenn
beispielsweise ein Blatt, auf das ein Fingerabdruckbild des Fingers 5 kopiert
wurde, auf den zweidimensionalen Fotosensor 2 mit dem Paar
durchsichtiger leitfähiger
Filme 3A und 3B plaziert wird, durch das Paar
durchsichtiger leitfähiger Filme 3A und 3B kein
Widerstand erfasst wird, da das Blatt isoliert, wodurch eine verbotene
Benutzung einer Kopie verhindert werden kann.
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Dritte Ausführungsform
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9 ist eine Ansicht von oben
eines Teils eines Fingerabdrucklesegeräts gemäß der dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Bei diesem Fingerabdrucklesegerät sind Paare
durchsichtiger leitfähiger
Filme 3A und 3B kammzahnförmig jeweils auf den vier Ecken
einer quadratischen Sensorregion 4 auf der oberen Oberfläche einer Überdeckungsschicht 23 eines
zweidimensionalen Fotosensors 2 ausgebildet. Wenn ein Finger 5 den zweidimensionalen
Fotosensor 2 einschließlich
der vier Paare durchsichtiger leitfähiger Filme 3A und 3B berührt, erfassen
die vier Paare durchsichtiger leitfähiger Filme 3A und 3B den
Widerstand des berührenden
Fingers 5 und beginnen das durch dieses Erfassungssignal
Auslesen des Fingerabdrucks (wie später beschrieben). Diese Paare
durchsichtiger leitfähiger
Filme 3A und 3B können auch eine antistatische Funktion
erfüllen.
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10 zeigt einen Hauptteil
des Schaltkreises des Fingerabdrucklesegeräts. In 10 bezeichnen die gleichen Bezugszeichen
wie in 8 die gleichen
Teile, und auf eine Beschreibung derselben wird verzichtet. Die
Ausgabeseiten vierer Wechselrichter 52, die den vier Paaren
durchsichtiger leitfähiger
Filme 3A und 3B entsprechen, sind jeweils mit
einem CTR 33 und der Eingabeseite eines UND-Schaltkreises 55 verbunden.
Die Ausgabeseite des AND-Schaltkreises 55 ist mit dem CTR 33 verbunden.
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Wenn
bei diesem Fingerabdrucklesegerät der
Finger 5 den zweidimensionalen Fotosensor einschließlich der
vier Paare durchsichtiger leitfähiger Filme 3A und 3B berührt, werden
Widerstände,
die den Berührungsabschnitten
des Fingers 5 entsprechen, zwischen den jeweiligen Paaren
durchsichtiger leitfähiger
Filme 3A und 3B generiert, wodurch sich die Ausgabe
der vier Wechselrichter 52 vom L-Niveausignal auf das H-Niveausignal verändert, und diese
H-Niveausignale werden an den AND-Schaltkreis 55 ausgegeben.
Wenn der UND-Schaltkreis 55 das H-Niveausignal von allen
vier Wechselrichtern 52 erhält, gibt er ein UND-Signal
an den CTR 33 weiter. In diesem Fall gibt der Wechselrichter 52 direkt
das H-Niveausignal an den CTR 33, aber der CTR 33 ignoriert
diese H-Niveausignale. Sich auf die 8 beziehend
gibt der CTR 33 nach Erhalt des UND-Signals von dem UND-Schaltkreis 55 ein
Schaltsignal an einen Schaltregler 53. Nach Erhalt des
Schaltsignals von der CTR 33 gibt der Schaltregler 53 ein
Schaltregelsignal an einen Schalter 54, um den Schalter 54 zu
schließen.
Dann wird ein Spaltenschalter 45 mit einem Vorladetransistor 47 über den
Schalter 54 verbunden, um den gleichen Zustand wie in der 4 zu erzielen und das Auslesen
des Fingerabdrucks zu beginnen.
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Wenn
bei diesem Fingerabdrucklesegerät die
Berührungsposition
und -zustand (ob der Finger 5 angemessen berührt) des
Fingers 5 bezüglich
der Sensorregion 4 des zweidimensionalen Fotosensors 2 falsch
ist, d. h. der Finger 5 berührt nicht alle vier Paare durchsichtiger
leitfähiger
Filme 3A und 3B, dann gibt der UND-Schaltkreis 55 kein
UND-Signal aus.
In diesem Fall berührt
der Finger 5 ein bis drei der vier Paare durchsichtiger
leitfähiger
Filme 3A und 3B und die entsprechenden Wechselrichter 52,
die den Paaren durchsichtiger leitfähiger Filme 3B und 3B,
die durch den Finger 5 berührt wurden, entsprechen, geben
H-Niveausignale an den CTR 33 ab. Der CTR 33 gibt
ein Fingerberührungsfehlsignal
auf der Basis der Abwesenheit des UND-Signals von dem UND-Schaltkreis 55 und
dem Vorhandensein der H-Niveausignale von den Wechselrichtern 52 an
einen Controller (nicht gezeigt) ab. Der Controller informiert den
Benutzer über
die fehlerhafte Berührungsposition
oder -zustand des Fingers 5 bezüglich der Sensorregion 4 des
zweidimensionalen Fotosensors durch irgendein Ausgabemittel, wie
auf einem Bildschirm "bitte
platzieren Sie den Finger noch mal" oder über Sprache.
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Modifizierung
der dritten Ausführungsform
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Das
Fingerabdrucklesegerät
kann eine antistatische Funktion aufweisen, da der andere durchsichtige
leitfähige
Film 3B eines jeden Paares, wie in 10 gezeigt, geerdet ist. In der dritten
Ausführungsform
ist jedoch der Zentralabschnitt der Sensorregion 4 weniger
resistent gegen statische Elektrizität, da die Paare durchsichtiger
leitfähiger
Filme 3A und 3B, wie in 9 gezeigt, jeweils an den vier Ecken
der quadratischen Sensorregion 4 auf dem zweidimensionalen
Fotosensor ausgebildet sind. Daher kann beispielsweise, wie in 11 gezeigt, ein elektrostatische
Energie ableitender durchsichtiger leitfähiger Film 3C mit
einer beinahe kreuzförmigen Form
im Zentralabschnitt der Sensorregion 4 ausgebildet sein.
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Man
beachte, dass beim Fingerabdrucklesegerät, wie in 1 gezeigt, das durchsichtige Substrat 12 auf
der Oberflächenlichtquelle 1 platziert
ist und der Fotosensorabschnitt 31 mit den fotoelektrischen
Conversiondünnfilmtransistoren
auf dem durchsichtigen Substrat 12 ausgebildet ist. Alternativ kann
das durchsichtige Substrat 12 weggelassen werden, und der
Fotosensorabschnitt 31 mit den fotoelektrischen Conversiondünnfilmtransistoren
direkt auf eine Lichtleiterplatte, die die Oberflächenlichtquelle 1 bildet,
ausgebildet sein. Jeder der Fotosensoren ist nicht auf den fotoelektrischen
Conversion dünnfilmtransistor
mit Doppelgate, wie er in den obenanstehenden Ausführungsformen
beschrieben wurde, beschränkt
und kann ein Dünnfilmtransistor mit
einem einzigen Gate oder ein Dünnfilmtransistor des
Diodentyps sein.
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Wie
oben beschrieben wurde, kann, gemäß der vorliegenden Erfindung,
statische Elektrizität über die
durchsichtige leitfähige
Schicht abgeleitet werden, da die durchsichtige leitfähige Schicht,
die auf der Fotosensorvorrichtung ausgebildet ist, eine elektrostatische
Energieableitungsfunktion hat, so dass selbst wenn ein Finger, der
in Kontakt mit der durchsichtigen leiffähigen Schicht der Fotosensorvorrichtung
ist, mit statischer Elektrizität
geladen ist, diese statische Elektrizität abgeleitet werden kann. Die
Fotosensorvorrichtung kann vor Fehlfunktion oder Schaden durch statische
Elektrizität
geschützt werden.
Zusätzlich
ist ein Paar durchsichtiger leitfähiger Schichten voneinander
entfernt angeordnet. Der Widerstandswert eines Zielobjekts, das
zwischen die leitfähigen
Schichten platziert wird, wird gemessen, um zu bestimmen, ob der
Widerstandswert innerhalb eines vorbestimmten Bereiches fällt. Nur
wenn Übereinstimmung
erzielt wird, beginnt das Auslesen. Übereinstimmung aufgrund einer
Kopie kann verhindert werden, wodurch sich die Zuverlässigkeit
verbessert.
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Zusätzliche
Vorteile und Veränderungen
ergeben sich für
den Fachmann. Daher ist die Erfindung in ihrem breiteren Sinne nicht
auf die spezifischen Details und repräsentativen Ausführungsformen,
die hier gezeigt und beschrieben wurden, eingeschränkt. Entsprechend
können
verschiedene Modifizierungen durchgeführt werden, ohne vom Ziel des
generellen erfindungsgemäßen Konzepts,
wie durch die folgenden Ansprüche
und derer Äquivalente
definiert, abweichen.