DE69909174D1 - Verfahren zur Herstellung einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgeräts - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgeräts

Info

Publication number
DE69909174D1
DE69909174D1 DE69909174T DE69909174T DE69909174D1 DE 69909174 D1 DE69909174 D1 DE 69909174D1 DE 69909174 T DE69909174 T DE 69909174T DE 69909174 T DE69909174 T DE 69909174T DE 69909174 D1 DE69909174 D1 DE 69909174D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
manufacturing
image forming
forming apparatus
electron source
electron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69909174T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69909174T2 (de
Inventor
Akira Fujii
Hisaaki Kawade
Fumio Kishi
Yoichi Ando
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Application granted granted Critical
Publication of DE69909174D1 publication Critical patent/DE69909174D1/de
Publication of DE69909174T2 publication Critical patent/DE69909174T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/30Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/022Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
    • H01J9/027Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of thin film cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2329/00Electron emission display panels, e.g. field emission display panels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
DE69909174T 1998-05-01 1999-04-29 Verfahren zur Herstellung einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgeräts Expired - Lifetime DE69909174T2 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12253398 1998-05-01
JP4712199 1999-02-24
JP4919599 1999-02-25
JP12020699A JP3088102B1 (ja) 1998-05-01 1999-04-27 電子源及び画像形成装置の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69909174D1 true DE69909174D1 (de) 2003-08-07
DE69909174T2 DE69909174T2 (de) 2004-01-29

Family

ID=27461996

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69909174T Expired - Lifetime DE69909174T2 (de) 1998-05-01 1999-04-29 Verfahren zur Herstellung einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgeräts

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6053791A (de)
EP (1) EP0954005B1 (de)
JP (1) JP3088102B1 (de)
KR (1) KR100341732B1 (de)
DE (1) DE69909174T2 (de)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3299096B2 (ja) 1995-01-13 2002-07-08 キヤノン株式会社 電子源及び画像形成装置の製造方法、並びに電子源の活性化処理方法
CN1271663C (zh) * 1995-03-13 2006-08-23 佳能株式会社 电子发射器件和电子源及其成象装置的制造方法
JP3073491B2 (ja) * 1998-06-24 2000-08-07 キヤノン株式会社 電子線装置とこれを用いた画像形成装置及び電子線装置で用いる部材の製造方法
DE60045761D1 (de) 1999-01-28 2011-05-05 Canon Kk Elektronenstrahlgerät
JP2000311603A (ja) * 1999-02-23 2000-11-07 Canon Inc 電子源の製造装置及び製造方法、電子源並びに画像形成装置
JP3472221B2 (ja) 1999-02-24 2003-12-02 キヤノン株式会社 電子源の製造方法
JP2000311611A (ja) * 1999-02-25 2000-11-07 Canon Inc 画像形成装置の製造方法および、該製造方法により製造された画像形成装置
JP3507393B2 (ja) 1999-02-25 2004-03-15 キヤノン株式会社 スペーサの製造方法および電子源装置の製造方法
JP3437519B2 (ja) 1999-02-25 2003-08-18 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法および調整方法
US6612887B1 (en) * 1999-02-25 2003-09-02 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing electron source and image-forming apparatus
US6930446B1 (en) * 1999-08-31 2005-08-16 Micron Technology, Inc. Method for improving current stability of field emission displays
JP3747154B2 (ja) 1999-12-28 2006-02-22 キヤノン株式会社 画像形成装置
TW533446B (en) * 2000-12-22 2003-05-21 Koninkl Philips Electronics Nv Electroluminescent device and a method of manufacturing thereof
JP3634828B2 (ja) * 2001-08-09 2005-03-30 キヤノン株式会社 電子源の製造方法及び画像表示装置の製造方法
JP2003109494A (ja) 2001-09-28 2003-04-11 Canon Inc 電子源の製造方法
JP3902998B2 (ja) * 2001-10-26 2007-04-11 キヤノン株式会社 電子源及び画像形成装置の製造方法
US7138157B2 (en) * 2002-07-30 2006-11-21 Canon Kabushiki Kaisha Electron emitting device manufacture method and image display apparatus manufacture method
JP2004146153A (ja) 2002-10-23 2004-05-20 Canon Inc 電子線装置
US6737313B1 (en) * 2003-04-16 2004-05-18 Micron Technology, Inc. Surface treatment of an oxide layer to enhance adhesion of a ruthenium metal layer
US7138758B2 (en) 2003-05-15 2006-11-21 Canon Kabushiki Kaisha Image forming apparatus having a high-resistance coated spacer in electrical contact with wirings components at predetermined intervals
EP1484782A3 (de) * 2003-06-06 2009-04-22 Canon Kabushiki Kaisha Elektronenstrahlgerät und Herstellungsverfahren für ein in diesem zu verwendendes Distanzelement
CN100533646C (zh) * 2004-06-01 2009-08-26 佳能株式会社 图像显示装置
JP3927972B2 (ja) * 2004-06-29 2007-06-13 キヤノン株式会社 画像形成装置
JP3774724B2 (ja) 2004-08-19 2006-05-17 キヤノン株式会社 発光体基板および画像表示装置、並びに該画像表示装置を用いた情報表示再生装置
KR20070044579A (ko) * 2005-10-25 2007-04-30 삼성에스디아이 주식회사 스페이서 및 이를 구비한 전자 방출 표시 디바이스
US7795615B2 (en) * 2005-11-08 2010-09-14 Infineon Technologies Ag Capacitor integrated in a structure surrounding a die

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2946140B2 (ja) * 1992-06-22 1999-09-06 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造方法
JP3205167B2 (ja) * 1993-04-05 2001-09-04 キヤノン株式会社 電子源の製造方法及び画像形成装置の製造方法
CA2299957C (en) * 1993-12-27 2003-04-29 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting device and method of manufacturing the same as well as electron source and image-forming apparatus
JP3416266B2 (ja) * 1993-12-28 2003-06-16 キヤノン株式会社 電子放出素子とその製造方法、及び該電子放出素子を用いた電子源及び画像形成装置
JP3416261B2 (ja) * 1994-05-27 2003-06-16 キヤノン株式会社 電子源のフォーミング方法
JP3299096B2 (ja) * 1995-01-13 2002-07-08 キヤノン株式会社 電子源及び画像形成装置の製造方法、並びに電子源の活性化処理方法
CN1271663C (zh) * 1995-03-13 2006-08-23 佳能株式会社 电子发射器件和电子源及其成象装置的制造方法
JP3323706B2 (ja) * 1995-09-06 2002-09-09 キヤノン株式会社 電子源の製造方法及び装置及び画像表示装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3088102B1 (ja) 2000-09-18
JP2000311592A (ja) 2000-11-07
DE69909174T2 (de) 2004-01-29
KR100341732B1 (ko) 2002-06-24
KR19990088012A (ko) 1999-12-27
EP0954005A3 (de) 2000-03-22
US6053791A (en) 2000-04-25
EP0954005A2 (de) 1999-11-03
EP0954005B1 (de) 2003-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69909174T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgeräts
DE69919242D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines elektronenemittierenden Elementes, Elektronenquelle und Bilderzeugungsgerätes
DE69518057T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer elektronen-emittierenden Vorrichtung, einer Elektronenquelle, und eines Bilderzeugungsgerätes
DE69629864D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer elektronenemittierende Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgerätes
DE69611422T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer elektronenemittierenden Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgerätes
DE69635770D1 (de) Herstellungsverfahren einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgeräts
DE69622618T2 (de) Metallenthaltende Zusammensetzung zum Bilden einer elektronenemittierenden Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer elektronenemittierenden Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgerätes
DE69621547T2 (de) Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
DE69719839T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Elektronen emittierenden Vorrichtung, Elektronenquelle und diese Quelle verwendendes Bilderzeugungsgerät
DE69738276D1 (de) Elektronenstrahl-Belichtungsgerät, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Erzeugung eines Objekts
DE69738794D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer elektronenemittierende Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgerätes und Verfahren zur Überprüfung der Herstellung
DE69821666D1 (de) Apparat zur Bilderzeugung und Verfahren zur Herstellung
DE69712256D1 (de) Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung unter Verwendung desselben
DE60223102D1 (de) Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
DE60225216D1 (de) Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
DE69927434D1 (de) Bilderzeugerungsgerät und Verfahren zur seiner Herstellung
DE60231698D1 (de) Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
DE69703395D1 (de) Projektionsapparat zur Abtastbelichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung unter Verwendung desselben
DE60227218D1 (de) Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
DE60140241D1 (de) Elektronenemittierende Vorrichtung, Elektronenquelle und Verfahren zur Herstellung eines Bilderzeugungsgeräts
DE69511920D1 (de) Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
DE60217283D1 (de) Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
DE69913240D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Elektronen emittierenden Vorrichtung,einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgeräts
DE60130348D1 (de) Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltungsanordnung
DE69504992T2 (de) Induktor und verfahren zur herstellung eines induktors

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition