DE69837418T2

DE69837418T2 - Verdrängungspumpe

Info

Publication number: DE69837418T2
Application number: DE69837418T
Authority: DE
Inventors: Kiyozumi Setagaya-ku Fukui
Original assignee: T D ENGINEERING CO Ltd; Td Engineering Co Ltd
Current assignee: T D ENGINEERING CO Ltd; Td Engineering Co Ltd
Priority date: 1997-05-22
Filing date: 1998-05-20
Publication date: 2007-07-12
Anticipated expiration: 2018-05-21
Also published as: DE69837418D1; KR100567006B1; EP0879964B1; US6126425A; TW389812B; KR19980087165A; EP0879964A1; JPH10318168A

Description

Die Erfindung betrifft eine Pumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Patentanspruch 1.
Eine derartige Pumpe ist bekannt aus DE 302 21 47 A . Diese Druckschrift offenbart eine Pumpe mit Laufrad zum kontinuierlichen Pumpen eines durch einen Einlass gelieferten und einen entsprechenden Auslass entleerten Gases. In einem Gehäuse dreht sich ein Rotor und pumpt das Gas im Wesentlichen radial durch die Arbeitskammern zwischen einem Rotor und einem Flüssigkeitsring. Entsprechende Ansaugöffnungen sind im Winkel gegenüber den Auslassöffnungen versetzt, die in Platten an beiden Enden des Gehäuses vorgesehen sind. Eine derartige Laufradpumpe mit einem Rotor und entsprechenden Schaufeln ist keine Verdrängungspumpe.
Vakuumpumpen vom Wälzkolbentyp, Klauentyp (phonetisch) und Schraubentyp sind in der Technik als Verdrängungspumpen, insbesondere Vakuumpumpen, bekannt, die zum evakuieren verwendet werden, um einen Niederdruckarbeitsraum zu erzielen. Die Verdrängungspumpe muss bei einem kontinuierlichen Betrieb während einer langen Zeitdauer sehr zuverlässig sein und eine lange Lebensdauer haben.
Eine Verdrängungspumpe dieses Typs wurde zum Beispiel offenbart durch die japanische Patentanmeldung (OPI) Nr. 65087/1986, wobei der Ausdruck OPI „ungeprüfte veröffentlichte Anmeldung" bedeutet. In dieser Pumpe sind ein Rotor mit mehrfachem Außengewinde und ein Rotor mit mehrfachem Innengewinde (dessen Gewinderichtung entgegengesetzt ist) in einem Pumpengehäuse derart parallel zueinander angeordnet, dass eine Mehrzahl von verschiebbaren Arbeitskammern zwischen dem Pumpengehäuse und den beiden Rotoren gebildet ist. Wenn die beiden Rotoren entgegengesetzt gedreht werden, nimmt auf der Seite eines Endes der Pumpe (gesehen in Richtung der Rotorachse), die der Verschiebungsstartposition entspricht, das Volumen zu, das mit dem Einlass in Verbindung steht. Hierdurch erfolgt ein Ansaugen von Gas. Folglich werden die Arbeitskammern, die ein vorgegebenes Volumen haben und die Gasansaugung erfahren haben, nacheinander zur Seite des anderen Endes (betrachtet in Achsrichtung) verschoben. Andererseits nimmt auf der Seite des anderen Endes (betrachtet in Achsrichtung des Rotors), das der Verschiebungsendposition entspricht, das Volumen ab, das mit dem Auslass in Verbindung steht, so dass das Gas in den Arbeitskammern entleert wird. Die Vakuumpumpe wird bei einer Halbleiterfertigungsvorrichtung als mehrstufige Pumpe angewendet. In diesem Fall muss die Pumpe sehr zuverlässig und langlebig sein für einen kontinuierlichen Betrieb während einer langen Zeitdauer, wobei ein Reaktionsgas aus der Halbleiterfertigungsvorrichtung entleert wird.
Bei der oben beschriebenen Verdrängerpumpe nimmt der Druck des Fluids in den Arbeitskammern auf der Auslassseite zu. Folglich erreicht die Auslassseite eine hohe Temperatur, während die Temperatur auf der Gasansaugseite nicht so stark erhöht wird. Daher leidet die Pumpe an den folgenden Schwierigkeiten:
Bei einem Halbleiterfertigungsprozess, insbesondere einem Prozess zur Bildung eines Films durch CVD (chemische Dampfbeschichtung) zum Beispiel werden verschiedene Arten von Gasen zu einer Verarbeitungskammer geliefert für die Bildung des Films durch chemische Reaktion. Wenn während dieser Behandlung die Reaktionsgase mit der Vakuumpumpe aus der Behandlungskammer entleert werden, haften feste Produkte auf der Seite der niedrigen Temperaturen der Vakuumpumpe und lagern sich dort ab; das heißt auf der Ansaugseite, was einen zufriedenstellenden Betrieb der Pumpe erschwert. Das heißt, obwohl die Vakuumpumpe so haltbar und zuverlässig sein muss, dass sie während einer langen Zeitdauer von zum Beispiel wenigstens einem Jahr betriebsfähig sein muss, ist es erforderlich, die Pumpe alle paar Monate zu überholen. Das heißt, die herkömmliche Vakuumpumpe ist nicht haltbar und zuverlässig genug.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
In Anbetracht des obigen ist ein Ziel der Erfindung die Schaffung einer Verdrängungspumpe, bei der die Temperatur auf der Ansaugseite der Pumpe gesteuert wird zum Halten der Temperatur des gesamten Verschiebungsintervalls der Arbeitskammern auf einen Wert, bei dem Feststoffe kaum daran haften, und die somit eine lange Lebensdauer hat und sehr zuverlässig ist.
Das obige Ziel der Erfindung wird durch die Merkmale von Patentanspruch 1 gelöst.
Erfindungsgemäß kann auf der Ansaugseite der Pumpe das Einstellen der Temperatur vermieden werden, so dass zum Beispiel Reaktionsgas feste Produkte ankleben kann. Das entsprechende Temperatursteuersystem kann ein System sein zum Erwärmen der Umgebung des Ansaugeinlasses. Es ist jedoch vorzugsweise das Wärmeübertragungssystem, das für das Pumpengehäuse und/oder die Rotoren vorgesehen ist, um Wärme aus der Umgebung des Auslasses in die Umgebung des Einlasses zu übertragen. Bei diesem System kann die Wärme, die durch wärmeisolierte Kompression in den Arbeitskammern auf der Auslassseite erzeugt wird (im Folgenden als „Kompressionswärme" bezeichnet, falls anwendbar) verwendet werden. Das heißt, es ist nicht erforderlich, Energie von außen zuzuführen.
Im Hinblick auf Wartung und Zuverlässigkeit ist das obige Wärmeübertragungssystem vorzugsweise in der die Arbeitskammer umgebenden Umfangswand des Pumpengehäuses vorgesehen. Zum Beispiel können im Pumpengehäuse Wärmerohre eingelagert sein, oder die Konvektions- oder Umlaufbahn des Fluids mit hoher Wärmeleitfähigkeit ist im Pumpengehäuse ausgebildet, um das Wärmeübertragungssystem leicht zu bilden. Ferner kann die Kompressionswärme auf der Auslassseite mit hohem Wirkungsgrad zur Ansaugseite übertragen werden.
Der oben genannte Rotor kann aus einem Rotor mit Außengewinde und einem Rotor mit Innengewinde bestehen, die parallel zueinander angeordnet sind und nebeneinander liegen, so dass das Fluid in den Arbeitskammern in Richtung der Achse des Rotors verschoben wird. In diesem Fall kann das Wärmeübertragungssystem (Wärmerohre) angewendet werden, das sich in der Richtung der Achse des Rotors erstreckt. Wenn der oben erwähnte Rotor als Pumpe angewendet wird, in der die Arbeitskammern um die Drehachse des Rotors verschoben werden wie im Fall einer Pumpe mit Wälzkolben oder dergleichen kann das Wärmeübertragungssystem wie folgt angewendet werden: Wenn die Pumpe keine mehrstufige Pumpe ist, in der die Pumpen in Richtung der Rotorachse nebeneinander liegen, kann das Wärmeübertragungssystem angewendet werden, das sich in der Drehrichtung des Rotors erstreckt. Wenn die oben erwähnte mehrstufige Pumpe angewendet wird, kann das Wärmeübertragungssystem angewendet werden, das sich in Richtung der Rotorachse erstreckt.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine geschnittene Vorderansicht der Anordnung eines Beispiels einer Verdrängungspumpe, die eine erste Ausführungsform der Erfindung darstellt.
2 ist ein Schnitt entlang der Linie A-A in 1.
3 ist eine geschnittene Vorderansicht der Anordnung eines weiteren Beispiels der Verdrängungspumpe, die eine zweite Ausführungsform der Erfindung darstellt.
4 ist eine geschnittene Vorderansicht der Anordnung eines weiteren Beispiels der Verdrängungspumpe, die eine dritte Ausführungsform der Erfindung darstellt.
5 ist eine geschnittene Vorderansicht der Anordnung eines weiteren Beispiels der Verdrängungspumpe, die eine vierte Ausführungsform der Erfindung darstellt.
6 ist ein Schnitt entlang der Linie B-B in 5.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Es werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.
Erste Ausführungsform
1 und 2 sind Darstellungen eines Beispiels einer Verdrängungspumpe, die eine erste Ausführungsform der Erfindung darstellt.
In 1 und 2 ist ein Pumpengehäuse mit dem Bezugszeichen 10 bezeichnet. Das Pumpengehäuse 10 enthält eine innere Kammer 11, wobei ein ansaugender Einlass 12 und ein entleerender Auslass 13 mit der inneren Kammer 11 in Verbindung stehen. Der Einlass 12 ist mit einer Kammer verbunden, der einen Film zum Beispiel durch ein CVD-Verfahren (Abscheiden aus der Gasphase) bilden soll, um das Gas aus der Kammer zu entleeren.
Die Bezugszeichen 21 und 22 bezeichnen Rotoren, die mit einem vorgegebenen Spiel (zum Beispiel ungefähr 50 μm) dazwischen aufgenommen sind. Der Rotor 21 ist mit Innengewinde versehen, während der Rotor 22 mit Außengewinde versehen ist. Derartige Rotoren 21 und 22 stehen miteinander in Eingriff mit einem vorgegebenen Eingriff spiel. Die Rotoren 21 und 22 sind parallel zueinander und zum Pumpengehäuse 10 mit Hilfe von Lagern 26a, 26b, 27a und 27b angeordnet, wobei zwischen dem Pumpengehäuse 10 und den Rotoren 21 und 22 eine Mehrzahl von verschiebbaren spiralförmigen Arbeitskammern 31 und 32 gebildet sind. Wenn die Rotoren 21 und 22 um die zueinander parallelen Drehachsen rotieren, werden die Arbeitskammern 31 und 32 zusammen mit dem darin enthaltenen Fluid in den Richtungen der Achsen der Rotoren bewegt. Wenn die Rotoren 21 und 22 rotieren bewirken die Arbeitskammern 31 und 32 eine Saugwirkung, die das Volumen im Verschiebungsintervall auf einen vorgegebenen Wert auf der Saugseite erhöht, die in Verbindung mit dem Einlass 12 steht. Die Verschiebung erfolgt mit konstantem Volumen im Zwischenintervall, das nicht mit dem Einlass 12 oder dem Auslass 13 verbunden ist. Die Entleerungswirkung findet im Verschiebungsintervall bei verringertem Volumen auf der Entleerungsseite statt, die mit dem Auslass 13 in Verbindung steht.
Die Pumpe gemäß der Erfindung hat ein Temperatursteuersystem zum Steuern der Temperaturdifferenz in einem vorgegebenen Bereich zwischen den Arbeitskammern 31 und 32 auf der Seite des Einlasses 12 und den Arbeitskammern 31 und 32 auf der Seite des Auslasses 13. Das Temperatursteuersystem 40 besteht zum Beispiel aus einer Mehrzahl von Wärmerohren 41 (einem Wärmeübertragungssystem), die sich in Richtung der Achsen der Rotoren 21 und 22 erstrecken. Diese Wärmerohre 41 sind wenigstens in einem des Pumpengehäuses 10 und der Rotoren 21 und 22 vorgesehen (zum Beispiel in der Umfangswand 14 des Pumpengehäuses 10, das bei dieser Ausführungsform die Arbeitskammern 31 und 32 umgibt). Die so vorgesehenen Wärmerohre dienen zum Übertragen der Wärme aus der Nähe des Auslasses 13 des Pumpengehäuses zur Nähe des Einlasses 12. Eine vorgegebene Flüssigkeit wird in jedes der Wärmerohre 4 eingegossen, deren Innenseiten einen herabgesetzten Druck (Vakuum) haben. Die Flüssigkeit wird beim Erhitzen an einem Ende verdampft und kann zum anderen Ende strömen, wo ihre Wärme unter Bildung der Flüssigkeit abgestrahlt wird. Die so gebildete Flüssigkeit wird durch Kapillarwirkung zu dem einen Ende zurückgeleitet.
Die Verdrängungspumpe nach der Ausführungsform arbeitet wie folgt: Wenn die Rotoren 21 und 22 rotieren und auf der Seite des Auslasses 13 das Volumen der Arbeitskammern abnimmt, wird die Kompressionswärme (diabatische Kompressionswärme) des Fluids in den Arbeitskammern 31 und 32 erzeugt, so dass die Temperatur in Nähe des Auslasses 13 hoch wird. Unter dieser Bedingung übertragen die Wärmerohre 41 die Wärme aus der Nähe des Auslasses 13 des Pumpengehäuses 10 in die Nähe des Ein lasses 12. Das heißt, während die Nähe des Auslasses 13 sich abkühlt, wird die Nähe des Einlasses 12 erwärmt, wodurch die Temperaturdifferenz zwischen der Seite des Einlasses 12 und der Seite des Auslasses 13 kleiner wird.
Damit ferner bei der oben beschriebenen Ausführungsform die Temperatur einen Wert erreicht, bei dem das in die Arbeitskammern 31 und 33 aus der erwähnten Niederdruckkammer eintretende Reaktionsgas feste Produkte bildet (zum Beispiel über 200 Grad sogar in der Nähe des Einlasses 12), das heißt zum Vermeiden eines Temperaturbereichs (zum Beispiel unter 100 Grad), bei dem sich leicht feste Produkte in den Arbeitskammern 31 und 32 bilden, wird in Nähe des Einlasses 12 des Pumpengehäuses 10 die Temperatur auf einen hohen Wert geregelt (über 150 Grad). Dies beseitigt die mit dem Stand der Technik verbundene Schwierigkeit, dass feste Produkte im Pumpengehäuse haften und sich anhäufen, wodurch der Betrieb in einigen Monaten unterbrochen werden muss.
Das Temperatursteuersystem 40 besteht aus den Wärmerohren 41, die Wärme aus der Nähe des Auslasses 13 in die Nähe des Einlasses 12 übertragen können. Daher kann die Kompressionswärme auf der Seite des Auslasses verwendet werden, die es unnötig macht, Energie von außen zuzuführen.
Da die Wärmerohre 41 in der Umfangswand des Gehäuses 10 eingebaut sind, die die Arbeitskammer 31 und 32 umgibt, kann das Wärmeübertragungssystem ohne weiteres mit hohem Wirkungsgrad gebildet werden.
Es werden nun zweite, dritte und vierte Ausführungsformen der Erfindung in den weiteren Zeichnungen beschrieben, in denen Teile, deren Funktionen der ersten Ausführungsform entsprechen, mit den gleichen Bezugszahlen oder-zeichen bezeichnet sind. Das heißt, es werden hauptsächlich die Teile der zweiten bis vierten Ausführungsformen beschrieben, die sich von denen der ersten Ausführungsform unterscheiden.
Zweite Ausführungsform
3 ist eine Darstellung der Anordnung eines weiteren Beispiels der Verdrängungspumpe, die eine zweite Ausführungsform der Erfindung bildet.
In 3 bezeichnet das Bezugzeichen 50 ein Pumpengehäuse, in dem ein vorgegebenes Wärmeumlauf-Arbeitsfluid (oder Wärmeleitungsfluid) abgedichtet eingefüllt ist. Das Pumpengehäuse 50 hat eine einzige oder mehrere Wärmeleitungsfluidkammern 51 (Wärmeübertragungssystem), die sich über wenigstens eine vorgegebene Strecke in Richtung der Achse des Rotors erstrecken. Das Fluid 52 ist in der Wärmeleitungsfluidkammer benützt seine Konvektion oder Zwangszirkulation zum Bewegen der Wärme in die Nähe des Einlasses 12, die durch die wärmeisolierte Kompression in den Teilen der Arbeitskammern 31 und 32 erzeugt wird, die sich in der Nähe des Auslasses befinden. Somit hat die zweite Ausführungsform im Wesentlichen die gleichen Wirkungen wie die oben beschriebene erste Ausführungsform.
Dritte Ausführungsform
4 ist eine Darstellung der Anordnung eines weiteren Beispiels der Verdrängungspumpe, die eine dritte Ausführungsform der Erfindung bildet.
In 4 bezeichnet das Bezugszeichen 60 ein Pumpengehäuse. Dieses enthält ein Heizelement 61 derart, dass das letztere 61 die Arbeitskammern 31 und 32 auf der Saugseite umgibt, und enthält einen Kühler 62 in der Weise, dass letzterer 62 die Arbeitskammern 31 und 32 auf der Auslassseite umgibt. Das Heizelement 61 ist zum Beispiel ein Draht- oder Bandheizelement aus Nichrom und kann elektrische Wärme erzeugen. Der Kühler 62 besteht aus Kühlrippen oder zirkulierenden Bahnen einer Kühllösung. Das Heizelement 61 arbeitet wie folgt: Wenn die Temperatur auf der Auslassseite übermäßig hoch wird, wird der Kühler 62 in Abhängigkeit von einem Signal vom nicht gezeigten Temperatursensor aktiviert.
Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich ist, kann mit dem Heizelement 61 und dem Kühler 62 die Temperatur auf der Seite des Einlasses 12 und die Temperatur auf der Seite des Auslasses 13 jeweils in vorgegebenen Bereichen gehalten werden. Somit hat die dritte Ausführungsform im Wesentlichen dieselben Wirkungen wie die oben beschriebenen Ausführungsformen.
Die in 4 gezeigte dritte Ausführungsform kann wie folgt abgeändert werden: Das heißt, der Kühler 62 kann weggelassen werden, und das Heizelement 61 auf der Ansaugseite kann gebildet werden durch Wickeln einer Draht- oder Bandheizeinrichtung aus Nichrom auf das Pumpengehäuse 60.
Vierte Ausführungsform
5 und 6 sind Darstellungen eines weiteren Beispiels der Verdrängungspumpe, die eine vierte Ausführungsform der Erfindung bildet. Bei der vierten Ausführungsform wird das technische Konzept der Erfindung auf eine Pumpe vom Wälzkolbentyp angewendet, die als mehrstufige Pumpe ausgebildet ist.
In 5 und 6 bezeichnet das Bezugszeichen 70 ein Pumpengehäuse. Dieses enthält eine innere Kammer 71 und einen Einlass 72 an einem Ende und einen Auslass 73 auf der anderen Seite, von denen beide mit der Kammer 71 in Verbindung stehen. Die Bezugszeichen 81 und 82 bezeichnen zwei Rotoren, die im Pumpengehäuse 70 so aufgenommen sind, dass sie aneinander liegen und parallel zueinander sind. Die Rotoren 81 und 82 haben eine Mehrzahl von Rotorabschnitten 81a bis 81f und eine Mehrzahl von Rotorabschnitten 82a bis 82f entsprechend der Anzahl von Stufen der mehrstufigen Pumpe und bilden somit verschiebende Arbeitskammern mit dem Pumpengehäuse 70 entsprechend der Anzahl der Stufen der mehrstufigen Pumpe. Im Folgenden wird die Pumpenarbeitskammer jeder Stufe als eine in 6 gezeigte Arbeitskammer 91 beschrieben. Wie in 6 gezeigt ist vergrößern die Rotoren 81 und 82 das Volumen der Arbeitskammer 91 im Verschiebungsintervall auf der Ansaugseite, die mit der Seite des Einlasses 72 in Verbindung steht, und unterteilen es dann in eine Arbeitskammer 91a auf der Seite des Rotors 81 und eine Arbeitskammer 91b auf der Seite des Rotors 82 und sie formen diese Kammern in die Arbeitskammer 91, um deren Volumen zu verringern. Der hier verwendete Ausdruck „die Seite des Einlasses 72'' bedeutet die ansaugende Einlassseite der Pumpenstufe, die mit dem Einlass 72 oder dem Auslass der Pumpenstufe auf der Seite des Einlasses 72 in Verbindung steht. Der hier verwendete Ausdruck „die Seite des Auslasses 73'' bedeutet die Auslassseite der Pumpenstufe, die mit dem Auslass 73 oder dem Einlass der Pumpenstufe der Seite des Auslasses 73 in Verbindung steht.
Innerhalb des Pumpengehäuses 70 (zum Beispiel zwischen den benachbarten Arbeitskammern 91 gesehen in Richtung der Achsen der Rotoren) ist ein Verbindungsweg gebildet, durch den der Auslass der vorderen Stufe mit dem Einlass der hinteren Stufe in Verbindung steht und der, in der Drehrichtung der Rotoren gesehen, um 180 Grad versetzt ist. Die Breite der verschiedenen Rotorabschnitte 81a bis 81f nimmt von den ersten Enden des Rotors 81 und 82 zu den verbleibenden zweiten Enden hin allmählich ab.
Das heißt, unter den Arbeitskammern 91 an der Pumpenstufe hat die Arbeitskammer 91 an der dem Auslass 73 am nächsten gelegenen letzten Stufe das kleinste Volumen.
Bei der vierten Ausführungsform ist die Pumpe eine mehrstufige Pumpe. Folglich wird das Fluid, das aus dem Auslass der ersten Pumpenstufe entleert wird, in den Einlass der hinteren Pumpenstufe gesaugt, die, gesehen in Drehrichtung der Rotoren, um 180 Grad versetzt ist. Folglich hat die Pumpe in der Drehrichtung eine verhältnismäßig einheitliche Temperaturverteilung, wobei die Temperatur, gesehen in Richtung der Rotorachse, allmählich zur hinteren Stufenseite zunimmt. Das heißt, die Temperatur nimmt zu, wenn der Kompressionsgrad des inneren Fluids zunimmt. Mit anderen Worten bei der mehrstufigen Pumpe hat die Seite des Auslasses 73 eine hohe Temperatur, während die Seite des Einlasses 72 eine niedrige Temperatur hat. Demnach ist ein Temperatursteuersystem vorgesehen, das die Temperaturdifferenz zwischen dem Einlass 72 und dem Auslass 73 auf einen vorgegebenen Bereich steuert. Das heißt, zum Übertragen der Wärme aus der Nähe des Auslasses 73 in die Nähe des Einlasses 72 ist eine Mehrzahl von Wärmerohren 71 parallel in der Umfangwand 75 des Pumpengehäuses 70 angeordnet, die die Arbeitskammern 91 umgeben.
Wenn die Pumpe so beschaffen ist, dass die Rotoren die Arbeitskammern um die Drehachse verschieben, ist die Pumpe eine mehrstufige Pumpe, die sich in Achsrichtung der Rotoren erstreckt, dann kann das Wärmeübertragungssystem angewendet werden, das sich in Achsrichtung der Rotoren erstreckt. Die Erfindung ist jedoch nicht darauf oder hierdurch beschränkt. In dem Fall, in dem die Pumpe keine mehrstufige Pumpe ist, kann ein System zum Übertragen von Wärme von der Auslassseite zur Ansaugseite angewendet werden, die in der Drehrichtung des Rotors versetzt sind. Zum Beispiel können in dem Pumpengehäuse Heizrohre eingebettet sein, die so bogenförmig gekrümmt sind, dass sie sich in der Drehrichtung der Rotoren erstrecken, oder es ist im Pumpengehäuse ein Umlaufweg für ein Fluid mit hoher Wärmeleitfähigkeit ausgebildet. Diese Systeme können geeignet miteinander verbunden sein, um die Kompressionswärme von der Auslassseite zur Ansaugseite wirksam zu übertragen. Zusätzlich kann das Temperatursteuersystem in der Rotorseite statt im Pumpengehäuse eingebettet sein.
Wirkung (-en) der Erfindung
Die Verdrängungspumpe der Erfindung hat ein Steuersystem zum Steuern der Temperatur der Arbeitskammern, die sich auf der Seite des Ansaugeinlasses befinden. Daher kann Wärme zweckmäßig auf die Seite des Einlasses übertragen werden. Folglich kann auf der Ansaugseite der Pumpe die Temperatur auf einen Wert gesteuert werden, bei dem es zum Beispiel schwierig ist, feste Produkte aus dem Reaktionsgas zu bilden.
Ferner wird in dem Fall, in dem das obige Temperatursteuersystem das Wärmeübertragungssystem ist, das in dem Pumpengehäuse und/oder den Rotoren vorgesehen ist, um Wärme aus der Nähe des Auslasses in die Nähe des Einlasses zu übertragen, die Kompressionswärme auf der Auslassseite wirksam verwendet, was es unnötig macht, Energie von außen zuzuführen.
Ferner hat das Wärmeübertragungssystem eine gute Wartung und Zuverlässigkeit in dem Fall, in dem das Wärmeübertragungssystem in der Umfangswand des Pumpengehäuses vorgesehen ist, das die Arbeitskammern umgibt, und kann die Kompressionswärme auf der Auslassseite hochwirksam auf die Ansaugseite übertragen werden.

Claims

Pumpe, die folgendes umfasst: ein Pumpengehäuse (10, 50, 60, 70) mit einer inneren Kammer (11, 91), einem Einlass (12) und einem Auslass (13), die mit der inneren Kammer (11, 91) in Verbindung stehen und ein Temperatursteuersystem (40) zum Steuern der Temperatur, dadurch kennzeichnet, dass die Pumpe eine Verdrängerpumpe mit Rotoren (21, 22; 81, 82) ist, die im Pumpengehäuse (10, 50, 60, 70) aufgenommen sind und verschiebbare Arbeitskammern bilden, die mit dem Pumpengehäuse zusammenarbeiten und in Richtung der Achse der Rotoren (21, 22; 81, 82) verschiebbar sind vom Einlass (12) zum Auslass (13) zusammen mit einem darin enthaltenen Fluid, wobei die verschiebbaren Arbeitskammern ein zunehmendes Volumen in einem Verschiebungsintervall haben, das mit dem Einlass (12) in Verbindung steht, während ein abnehmendes Volumen in einem Verschiebungsintervall mit dem Auslass (13) in Verbindung steht, wobei das Temperatursteuersystem (40) ein Wärmeübertragungssystem (41, 51; 61, 62) ist, das wenigstens in einem von dem Pumpengehäuse (10, 50, 60, 70) und den Rotoren (21, 22; 81,82) vorgesehen ist, um Wärme aus der Nähe des Auslasses (13) in die Nähe des Einlasses (12) zu übertragen.
Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Wärmeübertragungssystem (41, 51, 61, 62) in der die Arbeitskammern (11, 91) umgebenden Umfangswand des Pumpengehäuses (10, 50, 60, 70) vorgesehen ist.
Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Temperatursteuersystem eine Mehrzahl von Wärmerohren (41) enthält, wobei in jedem von ihnen eine vorgegebene Flüssigkeit und ein Gas von herabgesetztem Druck abgedichtet vorgesehen sind.
Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Temperatursteuersystem (40) wenigstens eine Wärmeleitungsfluidkammer (51) enthält, in der ein Wärmeleitungsfluid abgedichtet eingefüllt ist.
Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Temperatursteuersystem einen Kühler (62) und eine Heizeinrichtung (61) enthält.
Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, eine Temperaturdifferenz zwischen den Arbeitskammern (31, 32) auf der Seite des Einlasses und der Seite des Auslasses in einem vorgegebenen Bereich liegt, der durch das Temperatursteuersystem (40) gesteuert wird.