DE69803517T2 - Stabilisierte wässrige Wasserstoffperoxydlösung - Google Patents

Stabilisierte wässrige Wasserstoffperoxydlösung

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Description

    1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine stabilisierte wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid und genauer eine wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid, welche eine kleine Menge eines Metallelements wie Tantal und Niob oder mindestens einen Bestandteil, ausgewählt aus der aus Zirkonylnitratpentahydrat, Zirkoniumdinitratoxiddihydrat, Zirkoniumsulfattetrahydrat, Ammoniumzirkoniumcarbonat und Natriumhexafluorozirkonat bestehenden Gruppe umfaßt, und eine hervorragende Lagerstabilität und Wärmestabilität aufweist.
  • 2. Beschreibung des Stands der Technik
  • Wasserstoffperoxid ist ein anorganisches industrielles Material, das als Oxidationsmittel einsetzbar ist. Wasserstoffperoxid wurde verbreitet zum Bleichen von Fasern und Papierbrei (pulp), als Germizide, in organischen synthetischen Reaktionen und in den vergangenen Jahren zum Reinigen von Wafers in der Elektronikindustrie eingesetzt. Verschiedene Stabilisatoren werden einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid allgemein zugesetzt, um die Abnahme der Konzentration von Wasserstoffperoxid während des Transports und der Lagerung vor der Verwendung der Lösung für die obigen Anwendungen zu verhindern. Die Konzentration von Wasserstoffperoxid in einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid nimmt hauptsächlich deswegen ab, weil Wasserstoffperoxid durch verschiedene metallische Verunreinigungen katalytisch zersetzt wird, die in der Lösung enthalten sind.
  • Um die Zersetzung von Wasserstoffperoxid durch Maskieren (oder Versiegeln) dieser Metalle, die Wasserstoffperoxid katalytisch zersetzen, zu verhindern, werden der Lösung anorganische Salze wie Pyrophosphate und Stannate oder organische Verbindungen wie organische Chelatisierungsmittel und organische Säuren zugesetzt. Eine einführende Beschreibung der Zersetzung von Wasserstoffperoxid, der Elemente und der Verbindungen, die die katalytische Aktivität zur Zersetzung von Wasserstoffperoxid zeigen, und Verfahren zur Stabilisierung einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid können "Hydrogen Peroxide" herausgegeben von Reinhold Publishing Company, New York (1955), Seiten 447 bis 539 entnommen werden.
  • Typische Beispiele für die verbreitet verwendeten anorganischen Stabilisatoren schließen Phosphate, Pyrophosphate und Stannate ein. Diese Stabilisatoren werden wegen ihrer niedrigen Preise in großen Mengen verwendet. Von diesen Stabilisatoren müssen Phosphate einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid in großen Mengen zugesetzt werden, da die einzelne Verwendung eines Phosphats nur eine begrenzte Wirkung für die Stabilisierung von Wasserstoffperoxid zeigt, obwohl die Zersetzung von Phosphaten durch Wasserstoffperoxid gering ist.
  • In den vergangenen Jahren waren Lösungen zur Behandlung von Wafers in der Elektronikindustrie, Lebensmittelzusätze und Germizide die Hauptanwendungsgebiete für Wasserstoffperoxid. Eine Verminderung der Stabilisatormenge ist für alle dieser Anwendungen erforderlich. Wenn eine eine große Menge eines Stabilisators enthaltende Lösung nach der Verwendung verdampft wird, steigt die Menge an Rückstand, und die Verwendung eines Stabilisators in einer großen Menge ist nicht bevorzugt.
  • Pyrophosphate, die als wirksam zum Maskieren von metallischen Verunreinigungen angesehen werden, haben den Nachteil, daß sich Pyrophosphate in einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid bei hohen Temperaturen zu Orthophosphorsäure zersetzen, wodurch die Wirkung der Maskierung von Metallverunreinigungen auf das von Phosphaten gezeigte Niveau abnimmt.
  • Stannate haben den Nachteil, daß eine übermäßige Herauslösung von Aluminium stattfindet, wenn Stannate in einem aus Aluminium hergestellten Gefäß gelagert werden, und das herausgelöste Aluminium verursacht auch die Ausfällung der Stannate selbst. Daher können Stannate nicht für praktische Anwendungen eingesetzt werden.
  • Als organische Chelatverbindungen, die als wirksam angesehen werden, werden in der japanischen Patentveröffentlichungs Showa 50(1975)-36838 beispielsweise Chelatverbindungen beschrieben, die von Phosphonsäure abgeleitet sind, wie Ethylendiamintetramethylen(phosphonsäure), Ethylendiamintetraessigsäure und Nitrilotriessigsäure. Von diesen Chelatverbindungen weisen Ethylendiamintetraessigsäure und Nitrilotriessigsäure den Nachteil auf, daß die stickstoffhaltigen Verbindungen während einer langen Zeit durch Wasserstoffperoxid zersetzt werden, wodurch eine Abnahme des stabilisierenden Effekts verursacht wird, obwohl diese Verbindungen in der Anfangszeit der Verwendung einen wirksamen Stabilisierungseffekt zeigen und nicht für die Verwendung während einer langen Zeit geeignet sind.
  • Von Phosphonsäure abgeleitete Chelatverbindungen korrodieren die Materialien von Tanks und Gefäßen während der Lagerung deutlich, wobei Herauslösen von Metallverunreinigungen verursacht wird, die eine Aktivität zur Zersetzung von Wasserstoffperoxid aufweisen, obwohl diese Chelatverbindungen eine große Fähigkeit zur Verhinderung der Zersetzung von Wasserstoffperoxid zeigen. Daher muß eine große Menge eines Korrosionsinhibitors für Metalle wie Natriumnitrat und Ammoniumnitrat in Kombination verwendet werden. Dies verursacht denselben Nachteil wie oben beschrieben dahingehend, daß die Menge des Rückstands nach der Verdampfung erhöht wird, und die Lösung kann nur für begrenzte Anwendungen eingesetzt werden. Darüber hinaus haben diese organischen Chelatverbindungen einen weiteren Nachteil dahingehend, daß diese Verbindungen teuer sind und die Produktionskosten sich erhöhen.
  • Als weitere organische Verbindungen, die als Stabilisator verwendet werden, sind zahlreiche organische Verbindungen wie organische Hydroxylverbindungen, Diglycolsäuren, organische Sulfonsäuren, Acylierungsprodukte von Phosphorsäure, Phenanthrolin, Aminotriazine und Acetoanilid bekannt. Diese organischen Verbindungen weisen jedoch Nachteile dahingehend auf, daß die einzelne Verwendung dieser Verbindungen einen kleinen Stabilisierungseffekt zeigt, und das diese Verbindungen durch Oxidation mit Wasserstoffperoxid zersetzt werden und der Effekt der Stabilisierung verloren geht. Daher können diese Verbindungen nicht praktisch eingesetzt werden, insbesondere wenn die Lösung während einer langen Zeit gelagert werden muß oder eine hohe Konzentration an Wasserstoffperoxid aufweist.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Entwicklung eines Stabilisators, der nicht durch die Konzentration von Wasserstoffperoxid in der wäßrigen Lösung beeinträchtigt wird, zu der der Stabilisator gegeben wird, und die langanhaltende Stabilisierung einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid durch Zugabe des Stabilisators in einer kleinen Menge ermöglicht, und als Ergebnis in der Bereitstellung einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid, die einen kleinen Verlust durch Zersetzung zeigt und eine hervorragende Wärmestabilität aufweist.
  • Als Ergebnis von intensiven Untersuchungen zur Lösung der obigen Probleme wurde gefunden, daß Wasserstoffperoxid sich nicht zersetzte, wenn Tantal, Zirkonium oder Niob, unter verschiedenen Metallelementen, enthaltende Verbindungen zu einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid gegeben werden, und daß dieser Zustand der unterdrückten Zersetzung von Wasserstoffperoxid lange anhielt. Die vorliegende Erfindung wurde auf der Basis dieses Wissens vervollständigt.
  • Dementsprechend stellt die vorliegende Erfindung eine stabilisierte wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid bereit, umfassend mindestens ein Metallelement, ausgewählt aus der Gruppe, die besteht aus Tantal und Niob oder mindestens einen Bestandteil, der ausgewählt wird aus der aus Zirkonylnitratpentahydrat, Zirkoniumdinitratoxiddihydrat, Zirkoniumsulfattetrahydrat, Armoniumzirkoniumcarbonat und Natriumhexafluorozirkonat bestehenden Gruppe.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • In der vorliegenden Erfindung zeigt eine wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid fang anhaltende Stabilität und weist eine hervorragende Wärmestabilität auf durch Stabilisieren der wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid durch Zugabe von mindestens einem Metallelement, das ausgewählt wird aus der Gruppe, die besteht aus Tantal und Niob oder mindestens einem Bestandteil, ausgewählt aus der aus Zirkonylnitratpentahydrat, Zirkoniumdinitratoxiddihydrat, Zirkoniumsulfattetrahydrat, Ammoniumzirkoniumcarbonat und Natriumhexafluorozirkonat bestehenden Gruppe, die keine Aktivität zur Zersetzung von Wasserstoffperoxid zeigen, wenn sie einzeln verwendet werden. Von diesen drei Metallelementen, die eine stabilisierende Wirkung auf eine wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid aufweisen, sind Niob und Tantal bevorzugt, und Tantal ist bevorzugter.
  • Erfindungsgemäß wird ein/eine eines dieser Metallelemente enthaltendes Ion oder Verbindung zu einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid gegeben. Zwei oder mehr dieser Elemente enthaltende Ionen oder Verbindungen können ebenfalls zugesetzt werden, falls notwendig.
  • Erfindungsgemäß können die obigen Metallelemente wie oben beschrieben in Form von Ionen oder Verbindungen verwendet werden, die Sauerstoff enthalten, wie Hydroxide und Oxide, anorganische Verbindungen wie Sulfate, Nitrate, Borate, Phosphate und Carbonate und organische Verbindungen wie Acetate, Oxalate und Citrate. Die Metallelemente in all diesen Formen zeigen einen hervorragenden Stabilisierungseffekt auf eine wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid.
  • Die Form der Tantal als Metallelement enthaltenden Spezies ist erfindungsgemäß nicht besonders beschränkt und kann in geeigneter Weise aus Ionen, wasserlöslichen Verbindungen und sauren Lösungen ausgewählt werden, die einheitlich mit einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid gemischt werden können, nachdem sie zu dieser Lösung gegeben wurden. Erfindungsgemäß schließen bevorzugte Beispiele Tantalfluorid und Natriumoctafluorotantalat ein.
  • Da zahlreiche Tantalverbindungen, die als Metallelement enthaltende Spezies verwendet werden, eine geringe Löslichkeit in Wasser und Wasserstoffperoxid zeigen, können diese Verbindungen in einer anorganischen Säure gelöst werden, die Wasserstoffperoxid in einer wäßrigen Lösung nicht zersetzt, wie Salpetersäure und Schwefelsäure. Die hergestellte Lösung wird auf eine geeignete Konzentration eingestellt und einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid zugesetzt.
  • Erfindungsgemäß liegt die Menge an zur wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid als Metallelement zugegebenem Tantal im Bereich von 0,01 bis 50 ppm nach Gewicht, bevorzugt im Bereich von 0,05 bis 50 ppm nach Gewicht, bevorzugter 0,7 bis 20 ppm nach Gewicht, am meisten bevorzugt 1 bis 10 ppm nach Gewicht.
  • Wenn die Menge geringer ist als die obige untere Grenze, kann eine ausreichende Stabilität nicht erzielt werden. Wenn die Menge die obige obere Grenze übersteigt, nimmt die Stabilität eher ab, die Kosten erhöhen sich, und die Menge an Rückstand wird erhöht. Daher sind solche Mengen nicht bevorzugt.
  • Metallische Verunreinigungen, die Wasserstoffperoxid katalytisch zersetzen, sind in praktisch verwendeten wäßrigen Lösungen von Wasserstoffperoxid enthalten. Die obige Menge an Tantal variiert im allgemeinen in Abhängigkeit von der Konzentration dieser Verunreinigungen.
  • Ähnlich wie bei den Tantal als Metallelement enthaltenden Spezies ist die Form der Niob als Metallelement enthaltenden Spezies erfindungsgemäß nicht besonders beschränkt und kann in geeigneter Weise aus Ionen, wasserlöslichen Verbindungen und sauren Lösungen ausgewählt werden, die gleichmäßig mit einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid gemischt werden können, nachdem sie zu der Lösung gegeben wurden. Erfindungsgemäß schließen bevorzugte Beispiele Nioboxid in Schwefelsäure, Niobcarbonat in Salpetersäure, Niobhydrogenoxalat in Oxalsäure, Kaliumheptrafluoroniobat und Kaliumheptafluorooxoniobathydrat ein.
  • Da zahlreiche Niobverbindungen, die als Metallelement verwendet werden, eine geringe Löslichkeit in Wasser und Wasserstoffperoxid zeigen, ähnlich wie die als Metallelement verwendeten Tantalverbindungen, können diese Verbindungen in einer anorganischen Säure gelöst werden, die Wasserstoffperoxid in einer wäßrigen Lösung nicht zersetzt, wie Salpetersäure und Schwefelsäure. Nioboxid in Schwefelsäure, das oben angegeben wird, ist ein Beispiel für solche Fälle. Die hergestellte Lösung wird auf eine geeignete Konzentration eingestellt und zu einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid gegeben.
  • Erfindungsgemäß liegt die Menge an zur wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid gegebenem Niob als Metallelement praktisch im Bereich von 0,01 bis 50 ppm nach Gewicht, bevorzugt im Bereich von 0,10 bis 30 ppm nach Gewicht, bevorzugter 0,3 bis 20 ppm nach Gewicht, am meisten bevorzugt 0,7 bis 3 ppm nach Gewicht, obwohl ähnlich wie bei der Menge von als Metallelement verwendetem Tantal die Menge nicht allgemein angegeben werden kann, da die Menge in Abhängigkeit von den Konzentrationen von Metallverunreinigungen variiert die Wasserstoffperoxid in der wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid katalytisch zersetzen.
  • Ähnlich wie die Menge an als Metallelement verwendetem Tantal kann eine ausreichende Stabilität nicht erzielt werden, wenn die Menge an Niob geringer ist als die obige untere Grenze. Wenn die Menge an Niob die obige obere Grenze überschreitet, nimmt die Stabilität eher ab, die Kosten erhöhen sich, die Menge an Rückstand erhöht sich. Daher sind solche Mengen nicht bevorzugt.
  • Ähnlich wie die Tantal oder Niob als Metallelement enthaltende Spezies ist die Form der Zirkonium als Metallelement enthaltenden Spezies erfindungsgemäß nicht besonders beschränkt und kann in geeigneter Weise aus Ionen, wasserlöslichen Verbindungen und saure Lösungen ausgewählt werden, die gleichmäßig mit einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid gemischt werden können, nachdem sie zu der Lösung gegeben wurden. Erfindungsgemäß schließen bevorzugte Beispiele Zirkonylnitratpentahydrat, Zirkoniumdinitratoxiddihydrat, Zirkoniumsulfattetrahydrat, Amoniumzirkoniumcarbonat und Natriumhexafluorozirkonat ein.
  • Ähnlich wie beiden obigen Metallelementen können Verbindungen mit einer kleinen Löslichkeit in Wasser und Wasserstoffperoxid wie Zirkonylhydroxid, Zirkonyloxide, Acetate wie Zirkoniumacetat und Oxalate wie Zirkoniumoxalat in einer anorganischen Säure gelöst werden, die Wasserstoffperoxide in einer wäßrigen Lösung nicht zersetzt, wie Salpetersäure und Schwefelsäure.
  • Erfindungsgemäß liegt die Menge an als Metallelement zu einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid gegebenem Zirkonium praktisch im Bereich von 0,01 bis 50 ppm nach Gewicht, bevorzugt im Bereich von 0,05 bis 20 ppm nach Gewicht, bevorzugter 0,3 bis 10 ppm nach Gewicht, am meisten bevorzugt 0,7 bis 3 ppm, obwohl ähnlich wie bei den Mengen von als Metallelemente verwendetem Tantal oder Niob die Menge nicht allgemein angegeben werden kann, da die Menge in Abhängigkeit von den Konzentrationen der Metallverunreinigungen variiert, die Wasserstoffperoxid in der wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid katalytisch zersetzen.
  • Ähnlich wie bei den Mengen von als Metallelement verwendetem Tantal oder Niob kann eine ausreichende Stabilität nicht erhalten werden, wenn die Menge an Zirkonium geringer ist als die obige untere Grenze. Wenn die Menge an Zirkonium die obige obere Grenze übersteigt, nimmt die Stabilität eher ab, die Kosten erhöhen sich und die Menge an Rückstand wird erhöht. Daher sind solche Mengen nicht bevorzugt.
  • Wenn die Tantal, Niob oder Zirkonium als Metallelement enthaltende Spezies zu einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid gegeben wird, kann die wasserlösliche Spezies direkt als Flüssigkeit oder Feststoff zugegeben werden. Die das Metallelement enthaltende Spezies kann auch in Form einer Stammlösung zugegeben werden, die durch Lösen des Metallelements in Wasser, Wasserstoffperoxid oder einer anorganischen Säure hergestellt wird, die Wasserstoffperoxid nicht zersetzt, wie Salpetersäure und Schwefelsäure. Die das Metallelement enthaltende Spezies kann auch in Kombination mit anderen Stabilisatoren oder Hilfsstabilisatoren zugegeben werden. Verbindungen mit einer kleinen Löslichkeit in Wasser und Wasserstoffperoxid können zugegeben werden, nachdem die Verbindungen in einer anorganischen Säure oder organischen Säure gelöst wurden, die Wasserstoffperoxid nicht zersetzt, wie oben beschrieben, und die hergestellte Lösung wird auf eine geeignete Konzentration eingestellt.
  • Die Konzentration von Wasserstoffperoxid, die in der erfindungsgemäßen wäßrigen Lösung verwendet wird, ist nicht auf den allgemeinen Bereich der Konzentrationen in kommerziell verfügbaren wäßrigen Lösungen von Wasserstoffperoxid beschränkt, d. h. 1 bis 90 Gew.-%. Es ist bevorzugt, daß eine wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid, die durch Zugabe eines Ions oder einer Verbindung von Tantal, Niob oder Zirkonium stabilisiert wird, eine Konzentration von Wasserstoffperoxid im Bereich von 20 bis 70 Gew.-% aufweist.
  • Erfindungsgemäß werden als anorganische Säuren und organische Säuren, die zum Lösen der Verbindungen von Tantal, Niob oder Zirkonium mit einer kleinen Löslichkeit in Wasser und Wasserstoffperoxid verwendet werden Säuren verwendet, die Wasserstoffperoxid nicht zersetzen und ausgewählt werden aus anorganischen Säuren wie Salpetersäure, Schwefelsäure, Fluorwasserstoffsäure und Salzsäure, und organischen Säuren wie Benzoesäure, Zitronensäure, Oxalsäure, Salicylsäure und Essigsäure, und können einzeln oder als Kombination von zwei oder mehr Typen eingesetzt werden.
  • Die Menge der obigen Säure variiert in Abhängigkeit von der zu lösenden Verbindung und kann nicht allgemein angegeben werden. Eine geeignete Menge kann ausgewählt werden, da die Verwendung in einer überschüssigen Menge die Stabilität von Wasserstoffperoxid verschlechtert.
  • Erfindungsgemäß können anorganische Säuren, die Wasserstoffperoxid nicht zersetzen, wie Salpetersäure, Schwefelsäure, Fluorwasserstoffsäure und Salzsäure zu einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid in einer gewünschten Menge zugegeben werden in Übereinstimmung mit dem Verwendungszweck der Lösung wie Oberflächenbehandlung von Metallen.
  • Mittel zum Einstellen des pH wie Borate, isotonische Mittel wie Natriumchlorid und Hilfsstabilisatoren wie Natriumsilikat und Magnesiumsilikat können zu einer wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid einzeln oder als Kombination gegeben werden.
  • Wie oben beschrieben kann die wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid gemäß der vorliegenden Erfindung nunmehr ohne die Verwendung verschiedener üblicher Stabilisatoren für eine wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid in Kombination stabilisiert werden.
  • Als Zusammenfassung der Vorteile der vorliegenden Erfindung wird eine wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid mit einer hervorragenden Lagerstabilität und Wärmestabilität bereitgestellt durch Zugabe einer kleinen Menge eines Ions oder einer Verbindung von Tantal, Niob oder Zirkonium als Metallelemente enthaltende Spezies zu der Lösung.
  • Die Additive werden in sehr kleinen Mengen verwendet und sind weniger Kostspielig als üblicherweise verwendete organische Chelatverbindungen. Daher sind die Additive wirtschaftlich vorteilhafte Stabilisatoren.
  • Beispiele
  • Die vorliegende Erfindung wird genauer unter Bezug auf ein Beispiel und Vergleichsbeispiele beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist jedoch durch das Beispiel und die Vergleichsbeispiele nicht beschränkt.
  • Beispiel 1
  • Stabilisierte wäßrige Lösungen von Wasserstoffperoxid wurden hergestellt durch Zugabe von 0,05 bis 50 ppm nach Gewicht von Tantal, Niob (jeweils unter Verwendung einer entsprechenden Standardlösung von 1000 ppm zur Atomabsorbtionsanalyse, hergestellt von Kanto Kagaku Co., Ltd.) und 1 ppb nach Gewicht jeweils von Eisen und Chrom mit der Aktivität zur Zersetzung von Wasserstoffperoxid (jeweils unter Verwendung einer entsprechenden Standardlösung von 1000 ppm für die Atomabsorbtionsanalyse, hergestellt von Kanto Kagaku Co., Ltd.) zu einer kommerziellen 31,2 gewichtsprozentigen wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid (hergestellt von Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. und Konto Kagaku Co., Ltd., Reagenz-Grad für die Elektronikindustrie), und die Stabilität der hergestellten Lösung wurde in Übereinstimmung mit der Methode zur Messung der Stabilität von industriellem Wasserstoffperoxid erhalten, beschrieben in Kapitel 5.5 des japanischen Industriestandards K-1463 (1971). In dieser Methode wird eine spezifische Menge einer Probe in einen Meßkolben aus einem Hartglas gegeben, und der Meßkolben wurde während 5 Stunden in einem siedenden Wasserbad erhitzt, während die Markierungslinie unter die Wasseroberfläche plaziert wird. Die Konzentration von Wasserstoffperoxid in der Probe vor und nach der Wärmebehandlung werden durch die Titration unter Verwendung einer 1/10 N Kaliumpermanganatlösung erhalten (japanischer Industriestandard K-1463, Kapitel 5.4.2). Die Restfraktion von Wasserstoffperoxid nach 5 Stunden wird in Übereinstimmung mit der folgenden Gleichung erhalten, und die erhaltene Zahl wird zur Beurteilung der Stabilität verwendet.
  • Stabilität H = J'/J · 100
  • H: Stabilität (%)
  • J': Konzentration an Wasserstoffperoxid (%) nach Erhitzen während 5 Stunden
  • J: Konzentration an Wasserstoffperoxid (%) vor dem Erhitzen
  • Die Ergebnisse der Stabilitätstests sind in Tabelle 1 gezeigt. Tabelle 1-1 Tabelle 1-2
  • Wie aus Tabelle 1 klar hervorgeht, ist die Tantal als Metallelement enthaltende Spezies von den obigen als Stabilisator verwendeten beiden Spezies am hervorragendsten.
  • Vergleichsbeispiel 1
  • Eine wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid wurde hergestellt durch Zugabe von 1 ppb nach Gewicht jeweils von Eisen und Chrom mit einer Aktivität zur Zersetzung von Wasserstoffperoxid (jeweils unter Verwendung einer entsprechenden Standardlösung von 1000 ppm für die Atomabsorbtionsanalyse, hergestellt von Kanto Kagaku Co., Ltd.) zu einer kommerziellen wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid, die in Beispiel 1 verwendet wurde, und ohne Zugabe irgendeines den stabilisierenden Effekt zeigende Metallelements wurde der Stabilitätstest in Übereinstimmung mit demselben Verfahren wie in Beispiel 1 durchgeführten durchgeführt. Als Ergebnis wurde gefunden, daß die Stabilität 96,5% war.
  • Vergleichsbeispiel 2
  • Eine wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid wurde hergestellt durch Zugabe von 1 ppb nach Gewicht jeweils von Eisen und Chrom mit einer Aktivität zur Zersetzung von Wasserstoffperoxid (jeweils unter Verwendung einer entsprechenden Standardlösung von) 1000 ppm für die Atomabsorbtionsanalyse, hergestellt von Konto Kagaku Co., Ltd.) zu einer kommerziellen wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid, die in Beispiel 1 verwendet wurde, und nach Zugabe von 1 ppm nach Gewicht zu Natriumhydrogenpyrophosphat, das ein üblicherweise verwendeter Stabilisator für Wasserstoffperoxid ist, wurde der Stabilitätsfest für die hergestellte Lösung in Übereinstimmung mit denselben Verfahren wie denen in Beispiel 1 durchgeführten durchgeführt. Als Ergebnis wurde gefunden, daß die Stabilität 97,4% war.
  • Vergleichsbeispiel 3
  • Eine wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid wurde hergestellt durch Zugabe von 1 ppb nach Gewicht jeweils von Eisen und Chrom mit einer Aktivität zur Zersetzung von Wasserstoffperoxid (jeweils unter Verwendung einer entsprechenden Standardlösung von 1000 ppm für die Atomabsorbtionsanalyse, hergestellt von Konto Kagaku Co., Ltd.) zu einer kommerziellen wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid, die in Beispiel 1 verwendet wurde, und nach Zugabe von 1 ppm nach Gewicht Salpetersäure wurde der Stabilitätstest der hergestellten Lösung in Übereinstimmung mit denselben Verfahren durchgeführt, die in Beispiel 1 durchgeführt wurden. Als Ergebnis wurde gefunden, daß die Stabilität 97,3% war.

Claims (6)

1. Stabilisierte wäßrige Lösung von Wasserstoffperoxid, umfassend mindestens ein Metallelement, das ausgewählt wird aus der Gruppe, bestehend aus Tantal und Niob, oder mindestens einen Bestandteil, der ausgewählt wird aus der aus Zirkonylnitratpentahydrat, Zirkoniumdinitratoxiddihydrat, Zirkoniumsulfattetrahydrat, Ammoniumzirkoniumcarbonat und Natriumhexafluorozirkonat bestehenden Gruppe.
2. Lösung nach Anspruch 1, welche das Metallelement in Form eines Ions oder einer Verbindung umfaßt, die das Metallelement enthält.
3. Lösung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Konzentration des Metallelements in der wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid im Bereich von 0,01 bis 50 ppm nach Gewicht liegt.
4. Lösung nach Anspruch 3, wobei die Konzentration an Tantal in der wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid im Bereich von 0,05 bis 50 ppm nach Gewicht liegt.
5. Lösung nach Anspruch 1, wobei die Konzentration von Zirkonium in der wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid im Bereich von 0,05 bis 20 ppm nach Gewicht liegt.
6. Lösung nach Anspruch 3, wobei die Konzentration an Niob in der wäßrigen Lösung von Wasserstoffperoxid im Bereich von 0,10 bis 30 ppm nach Gewicht liegt.
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