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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Radarmodul zur Verwendung in
einem FM-Millimeterwellen-Radaralarmsystem
zur Verwendung an Kraftfahrzeugen.
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Ein
bekanntes Kraftfahrzeug-Radaralarmsystem besitzt eine elektronisch
abtastende Planare Arrayantenne, wie in dem US-Patent Nr. 5,008,678 offenbart
ist. Die offenbarte elektronisch abtastende Planare Arrayantenne
umfasst eine Mehrzahl von Planaren Sende- und Empfangsantennenelementen, ein
Paar von passiven phasengesteuerten Arrays, wie etwa Planare Mikrostreifen-Butler-Matrizen,
und ein Paar von elektronischen Schaltern, die kombiniert sind,
um einen Abtaststrahl zu senden und zu empfangen.
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Die
herkömmliche
elektronisch abtastende Planare Arrayantenne ist dahingehend nachteilig, dass
ihre passiven phasengesteuerten Arrays keinen relativ großen Winkelbereich
mit dem Abtaststrahl abtasten können.
Ein anderes Problem ist, dass die Planare Arrayantenne sowohl ein
Sendearray von Antennenelementen, die zum Senden eines Radarsignals
bestimmt sind, als auch ein Empfangsarray von Antennenelementen,
die zum Empfang eines Echosignals bestimmt sind, erfordert, was
Beschränkungen mit
sich bringt, die es schwierig machen, die Größe der Planaren Arrayantenne
zu verringern, und insbesondere, die Planare Arrayantenne an einem
Kraftfahrzeug zu installieren.
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Im
Allgemeinen sind phasengesteuerte Arrayradars, die eine Mehrzahl
von Strahlerelementen zum Abstrahlen eines Radarstrahls in eine
vorbestimmte Richtung umfassen, bekannt, z. B. aus der US-A-5,471,220,
die dem Oberbegriff von Anspruch 1 entspricht. In diesem Radarsystem
sind auf einem gemeinsamen Substrat Radarmodule in einer gestapelten, "sandwichartigen" Packungsanordnung
aufgebaut, in der verschiedene Schichten aneinander angrenzend angeordnet
sind, um eine kompakte Größe zu erreichen.
Die Schichten umfassen eine Antennenschicht, eine Sende/Empfangsschicht,
eine Strahlbildungsschicht und eine Mehrzahl von Verbindungsschichten.
Zum Wechseln der Richtung, in die Strahlung abgestrahlt wird, werden
wie in herkömmlichen
Radarsystemen mit phasengesteuerter Arrayantenne elektronische Phasenschieber-
und Dämpfungsvorrichtungen
für jedes
Strahlerelement der Radarantenne verwendet, was es ermöglicht,
die Phase und Amplitude der von jedem Strahlerelement abgestrahlten
elektromagnetischen Wellen unabhängig einzustellen.
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Eine
weitere Arrayantenne der herkömmlichen
phasengesteuerten Arrayantennenart ist in der
US 3,750,175 offenbart. Auch bei dieser
Antenne sind elektronische Phasenschieber vorgesehen, um die Phase
eines durch ein einzelnes Strahlerelement abgestrahlten Signals
einzustellen, so dass ein durch das Antennenelement abgestrahlter/empfangener Strahl
elektronisch abgetastet werden kann.
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In
der
EP 0 361 417 ist
ein Mikrostreifen-Arrayantennensystem offenbart, wobei jedes der
Antennenelemente als ein Strahlerarray konfiguriert ist. Jeder Strahler
eines Antennenelements ist dafür
ausgebildet, mit einer von den anderen Strahlern des Antennenelements
verschiedenen Resonanzfrequenz zu schwingen. Daher ist ein Antennenelement
dieses Antennenarraysystems in der Lage, ein Signal in einem Frequenzspektrum
abzustrahlen, das ein Vielfaches der Bandbreite eines einzelnen
Strahlers ist.
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Neuere
integrierte Hochfrequenzschaltkreise zur Verwendung in Radaralarmsystemen
an Kraftfahrzeugen zur Kollisionsverhinderung und Fahrleitung arbeiten
in einem Mikrowellen-Frequenzbereich von 1 GHz bis 3000 GHz. Es
gab einen Bedarf nach hybriden ICs mit integrierten Hoch- und Niederfrequenz-Schaltkreisen,
die in jeweiligen GHz- und MHz-Frequenzbereichen arbeiten, um ein
Packungsvolumen zu verringern und eine Moduldichte zu erhöhen zum
Zweck des Installierens einer Mehrzahl von integrierten Hochfrequenz-Schaltkreisen
(MMICs) auf einem Substrat.
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Bei
solchen hybriden ICs ist es notwendig, die integrierten Hoch- und
Niederfrequenz-Schaltkreise in einem geeigneten Layout anzuordnen,
um unerwünschte
Interferenz zwischen den integrierten Hoch- und Niederfrequenz-Schaltkreisen
zu vermeiden.
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Ein
weiteres generisches Radarmodul ist in der
EP 0 733 913 A2 offenbart,
die nach dem Prioritätstag
der vorliegenden Patentanmeldung veröffentlicht wurde.
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Es
ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Radarmodul
und eine Antennenvorrichtung bereitzustellen, die in der Lage sind,
einen relativ großen
Winkelbereich mit einem Abtaststrahl abzutasten, und die eine geringe
Größe aufweisen, die
geeignet zur Verwendung insbesondere an Kraftfahrzeugen ist.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung ist ein Radarmodul nach Anspruch 1 vorgesehen. In den Unteransprüchen sind
vorteilhafte Ausführungsformen
angegeben.
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Die
Antennenbaugruppe dient als Primärstrahler
einer defokussierten Mehrfachstrahlantenne, die einen Sekundärstrahler
aufweist, der in der Nähe des
Primärstrahlers
angeordnet ist. Die Planaren Arrayantennenelemente sind derart angeordnet,
dass sie jeweilige elektromagnetische Wellen unter einem vorbestimmten
Neigungswinkel abstrahlen.
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Die
Sende- und Empfangsbaugruppen sind in Paare von jeweils zu zwei
benachbarten der Sende- und Empfangskanäle gehörenden Sende- und Empfangsbaugruppen
gruppiert, wobei die Paare von Sende- und Empfangsbaugruppen als
monolithische integrierte Mikrowellen-Schaltkreise in einer mit einem
inerten Gas gefüllten
Packung untergebracht sind. Die Packung weist ein dielektrisches
Trennelement auf, und die in der Packung untergebrachten Sende-
und Empfangsbaugruppen sind voneinander durch das dielektrische
Trennelement getrennt.
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Vorzugsweise
umfasst das Substrat ein dielektrisches oder magnetisches Substrat,
und die Antennenbaugruppe, die gemeinsame Signalgeneratorschaltung,
die binären
Verzweigungsschaltungen, die Sende- und Empfangsbaugruppen und die
Zirkulatoren sind als Mikrostreifen auf dem dielektrischen oder
magnetischen Substrat hergestellt, und wobei die Mikrostreifen von
ausgewählten
der Antennen baugruppe, der gemeinsamen Signalgeneratorschaltung,
der binären
Verzweigungsschaltungen, der Sende- und Empfangsbaugruppen und der
Zirkulatoren getrennt auf dem dielektrischen oder magnetischen Substrat
hergestellt sind und in einer letzten Herstellungsstufe miteinander
verbunden sind. Die Mikrostreifen sind durch Metallfolie oder -drähte verbunden.
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Vorzugsweise
sind die planaren Arrayantennenelemente in zwei Gruppen unterteilt,
wobei die planaren Arrayantennenelemente einer der beiden Gruppen
und die planaren Arrayantennenelemente der anderen der beiden Gruppen
in einem ineinander greifenden Muster angeordnet sind und an jeweiligen linearen
distalen Endabschnitten von Speiseleitungen angeordnet sind, die
zu der jeweiligen Gruppe gehören
und in entgegengesetzten, um 180° voneinander
abweichenden Richtungen verlaufen.
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Vorzugsweise
umfasst die gemeinsame Signalgeneratorschaltung einen FM-Signalgenerator zum
Erzeugen eines FM-Signals, dessen Frequenz im Wesentlichen linear
variiert, und einen Frequenzvervielfacher zum Multiplizieren der
Frequenz des von dem FM-Signalgenerator erzeugten FM-Signals.
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Vorzugsweise
umfassen die zu den planaren Arrayantennenelementen gesendeten Signale
frequenzmodulierte Signale. Die Empfangsbaugruppen enthalten Mischer
zum Mischen der Echosignale von den planaren Arrayantennenelementen
mit den frequenzmodulierten Signalen, um dadurch Schwebungssignale
zu erzeugen. Die Sendebaugruppen enthalten Sendeverstärker zum
Verstärken
der Hochfrequenzsignale und Senden der verstärkten Hochfrequenzsignale zu
der Antennenbaugruppe, und die Empfangsbaugruppen enthalten Empfangsverstärker zum
Verstärken
der Echosignale und Zuführen
der verstärkten
Echosignale zu den Mischern.
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Weiterhin
ist ein Hochfrequenzmodul vorgesehen, umfassend ein Substrat, eine
Antennenbaugruppe, die eine Mehrzahl von Arrayantennenelementen
umfasst, die an einer Fläche
des Substrats unabhängig
voneinander angebracht sind, wobei die planaren Arrayantennenelemente
jeweilige Speiseleitungen aufweisen, eine Mehrzahl von integrierten monolithischen
Mikrowellen-Schaltkreisen, die an der Fläche des Substrats angebracht
sind, wobei die integrierten monolithischen Mikrowellen-Schaltkreise mit
den Speiseleitungen verbunden sind und eng beieinander angeordnet
sind. Das Hochfrequenzmodul umfasst ferner eine Mehrzahl von an
dem Substrat unabhängig
voneinander angebrachten Packungen, wobei die integrierten monolithischen
Mikrowellen-Schaltkreise jeweils in den Packungen eingeschlossen
und abgedichtet sind. Die planaren Arrayantennenelemente sind in
einer Richtung aneinander gereiht. Die integrierten monolithischen
Mikrowellen-Schaltkreise steuern/regeln die Direktivität von Strahlen,
die von den Planaren Arrayantennenelementen gesendet werden.
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Eine
Mehrzahl von Vorspannungs-Schaltkreisen ist an einer gegenüberliegenden
Fläche
des Substrats entfernt von der Antennenbaugruppe und den integrierten
monolithischen Mikrowellen-Schaltkreisen angebracht und mit den
integrierten monolithischen Mikrowellen-Schaltkreisen elektrisch
verbunden.
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Eine
Mehrzahl von Schaltkreisen ist an einer entgegengesetzten Fläche des
Substrats entfernt von der Antennenbaugruppe und den integrierten monolithischen
Mikrowellen-Schaltkreisen angebracht, zum Verarbeiten von Eingangssignalen,
die den integrierten monolithischen Mikrowellen-Schaltkreisen zugeführt werden
sollen, und von Ausgangssignalen, die von den integrierten monolithischen
Mikrowellen-Schaltkreisen zugeführt
werden.
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An
einer Fläche
des Metallsubstrats ist eine integrierte monolithische Mikrowellen-Schaltkreispackung
angebracht, umfassend ein Metallsubstrat, einen integrierten Hochfrequenz-Schaltkreis,
und ein integrierter Niederfrequenz-Schaltkreis ist an einer entgegengesetzten
Fläche
des Metallsubstrats angebracht und mit dem integrierten Hochfrequenz-Schaltkreis
elektrisch verbunden. Der integrierte monolithische Mikrowellen-Schaltkreis
umfasst ferner ein elektrisch leitfähiges Element, das sich durch
das Metallsubstrat von der einen Fläche zu der entgegengesetzten
Fläche
erstreckt, wobei der integrierte Hochfrequenz-Schaltkreis und der
integrierte Niederfrequenz-Schaltkreis durch das elektrisch leitfähige Element
elektrisch miteinander verbunden sind. Der integrierte monolithische
Mikrowellen-Schaltkreis umfasst ferner ein dielektrisches Substrat,
das an der einen Fläche
des Metallsubstrats angebracht ist, und einen an dem dielektrischen
Substrat angebrachten Anschluss zum Zuführen eines Eingangssignals
zu und eines Ausgangssignals von dem integrierten Hochfrequenz-Schaltkreis.
Das elektrisch leitfähige
Element umfasst ein plattiertes Durchgangsloch.
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Weiterhin
umfasst eine integrierte monolithische Mikrowellen-Schaltkreispackung
ein Metallsubstrat, einen an einer Fläche des Metallsubstrats angebrachten
integrierten Hochfrequenz-Schaltkreis und einen an einer entgegengesetzten
Fläche
des Metallsubstrats angebrachten Gleichspannungs-Vorspannungsschaltkreis,
der mit dem integrierten Hochfrequenz-Schaltkreis elektrisch verbunden
ist. Die integrierte monolithische Mikrowellen-Schaltkreispackung
umfasst ferner ein elektrisch leitfähiges Element, das sich durch
das Metallsubstrat von der einen Fläche zu der entgegengesetzten
Fläche
erstreckt, wobei der integrierte Hochfrequenz-Schaltkreis und der Gleichspannungs-Vorspannungsschaltkreis
durch das elektrisch leitfähige
Element elektrisch miteinander verbunden sind. Die integrierte monolithische
Mikrowellen-Schaltkreispackung umfasst ferner ein dielektrisches
Substrat, das an der einen Fläche
des Metallsubstrats angebracht ist, und einen an dem dielektrischen
Substrat angebrachten Anschluss zum Zuführen eines Eingangssignals
zu und eines Ausgangssignals von dem integrierten Hochfrequenz-Schaltkreis.
Das elektrisch leitfähige Element
umfasst ein plattiertes Durchgangsloch.
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Eine
weitere integrierte monolithische Mikrowellen-Schaltkreispackung
umfasst ein Metallsubstrat, einen integrierten Hochfrequenz-Schaltkreis,
der an einer Fläche
des Metallsubstrats angebracht ist, und einen integrierten Niederfrequenz-Schaltkreis und einen
Gleichspannungs-Vorspannungsschaltkreis, die an einer entgegengesetzten
Fläche
des Metallsubstrats angebracht sind und mit dem integrierten Hochfrequenz-Schaltkreis
elektrisch verbunden sind. Die integrierte monolithische Mikrowellen-Schaltkreispackung
umfasst ferner ein elektrisch leitfähiges Element, das sich durch
das Metallsubstrat von der einen Fläche zu der entgegengesetzten Fläche erstreckt,
wobei der integrierte Hochfrequenz-Schaltkreis und der integrierte
Niederfrequenz-Schaltkreis miteinander durch das elektrisch leitfähgie Element
elektrisch verbunden sind, und wobei der integrierte Hochfrequenz-Schaltkreis
und der Gleichspannungs-Vorspannungsschaltkreis elektrisch miteinander
durch das elektrisch leitfähige
Element verbunden sind. Die integrierte monolithische Mikrowellen-Schaltkreispackung
umfasst ferner ein dielektrisches Substrat, das an der einen Fläche des Metallsubstrats
angebracht ist, und einen an dem dielektrischen Substrat angebrachten
Anschluss zum Zuführen
eines Eingangssignals zu und eines Ausgangssignals von dem integrierten
Hochfrequenz-Schaltkreis. Jedes der elektrisch leitfähigen Elemente
umfasst ein plattiertes Durchgangsloch.
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Die
obigen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegneden
Erfindung werden deutlich aus der folgenden Beschreibung im Zusammenhang
mit den begleitenden Zeichnungen, die bevorzugte Ausführungen
der vorliegenden Erfindung beispielhaft zeigen.
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1 ist ein Blockdiagramm
eines FM-Radarsystems, das ein FM-Radarmodul gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung enthält,
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2 ist eine Planansicht einer
physikalischen Struktur des in 1 gezeigten
FM-Radarmoduls,
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3 ist eine vergrößerte Planansicht
einer Einheit von Sende- und Empfangskanälen des in 2 gezeigten FM-Radarmoduls,
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4 ist eine vergrößerte fragmentarische Planansicht
jeder Signalverzweigungsschaltung eines FM-Signalverteilers in dem
in 1 gezeigten FM-Radarmodul,
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5 ist eine Perspektivansicht
des FM-Radarsystems, das das in 1 gezeigte
FM-Radarmodul enthält,
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6 ist ein Diagramm, das
einen Neigungswinkel von Planaren Arrayantennenelementen des in 1 gezeigten Radarmoduls
zeigt,
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7 ist ein Diagramm, das
Abstände
zu echoerzeugenden Objekten zeigt, die durch das das in 1 gezeigte FM-Radarmodul
enthaltende FM-Radarsystem erfasst worden sind, sowie eine Verteilung
von durch das FM-Radarsystem abgedeckte Richtungen,
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8 ist eine Planansicht eines
MMIC eines FM-Radarmoduls,
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9 ist eine Querschnittsansicht
entlang der Linie IX-IX von 8,
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10 ist eine Planansicht
einer MMIC-Packung, die in dem in 1 gezeigten
FM-Radarmodul enthalten sein kann,
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11 ist eine Querschnittsansicht
entlang der Linie XI-XI von 10,
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12 ist eine vergrößerte fragmentarische Querschnittsansicht
jedes der Durchgangslochbereiche in der in 11 gezeigten MMIC-Packung, und
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13 ist eine vergrößerte Planansicht
des in 12 gezeigten
Durchgangslochbereichs.
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1 zeigt in Blockform ein
FM-Radarsystem, das ein FM-Radarmodul gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung enthält.
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Wie
in 1 gezeigt ist, umfasst
das FM-Radarsystem allgemein ein FM-Radarmodul 10 gemäß der vorliegenden
Erfindung und eine Hauptradarschaltung 20. Das FM-Radarsystem
ist vorzugsweise an einem Kraftfahrzeug (nicht gezeigt) installiert.
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Das
FM-Radarmodul 10 umfasst eine planare Arrayantennenbaugruppe 12 zum
Senden und Empfangen von FM-Signalen, eine Sende- und Empfangsbaugruppe 13,
eine Zirkulatorbaugruppe 14, eine FM-Signalgeneratorschaltung 18 und
einen FM-Signalverteiler 19, die alle auf einem dielektrischen
Substrat 11 angebracht sind. Das dielektrische Substrat 11 kann
durch ein magnetisches Substrat ersetzt sein.
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Das
FM-Radarmodul 10 weist eine Mehrzahl von (16 in
der gezeigten Ausführungsform)
Sende- und Empfangskanälen
A–P auf.
Die planare Arrayantennenbaugruppe 12 umfasst eine Mehrzahl
von planaren Arrayantennenelementen 12a–12p, die jeweils zu
den Sende- und Empfangskanälen
A–P gehören. Die
Sende- und Empfangsbaugruppe 13 umfasst eine Mehrzahl von
Sende- und Empfangselementen 13a–13p, die jeweils
zu den Sende- und Empfangskanälen
A–P gehören. Die
Zirkulatorbaugruppe 14 umfasst eine Mehrzahl von Zirkulatoren 14a–14p,
die jeweils zu den Sende- und Empfangskanälen A–P gehören und jeweils in Reihe mit
den planaren Arrayantennenelementen 12a–12p geschaltet sind,
und auch jeweils in Reihe mit den Sende- und Empfangselementen 13a–13p geschaltet
sind. Die FM-Signalgeneratorschaltung 18 wird von den Sende-
und Empfangskanälen
A–P geteilt.
Ein durch die FM-Signalgeneratorschaltung 18 erzeugtes
FM-Signal wird durch den FM-Signalverteiler 19 zu
den Sende- und Empfangselementen 13a–13p verteilt. Der
FM-Signalverteiler 19 umfasst eine Mehrzahl von binären Verzweigungsschaltungen
in der Form von Mikrostreifen in mehrfachen Stufen.
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Die
Sende- und Empfangselemente 13a–13p enthalten jeweilige
selektive Sendeverstärker 15a–15p,
jeweilige selektive Empfangsverstärker 16a–16p und
jeweilige Mischer 17a–17p.
Die Sende- und Empfangselemente 13a–13p in den jeweiligen Sende-
und Empfangskanälen
A–P empfangen
zu sendende FM-(frequenzmodulierte)-Signale,
die von der FM-Signalgeneratorschaltung 18 durch den FM-Signalverteiler 19 zugeführt werden.
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Die
FM-Signalgeneratorschaltung 18 umfasst einen FM-Signalgenerator 18a,
der einen spannungsgesteuerten Oszillator (VCO) zum Erzeugen und
Ausgeben eines FM-Signals mit einer Dreiecks- oder Sägezahnwellenform
umfasst, sowie einen Frequenzmultiplizierer 18b zum Multiplizieren
der Frequenz des durch den FM-Signalgenerator 18a erzeugten
FM-Signals.
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Die
Hauptradarschaltung 20 umfasst eine CPU (zentrale Prozessoreinheit) 21,
einen Kanalkontroller 22, einen Selektor 24, einen
A/D-(Analog/Digital)-Wandler 25, eine FFT-(schnelle-Fourier-Transformations)-Schaltung 26 und
einen Speicher 27.
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Das
in 1 gezeigte FM-Radarmodul 10 weist
eine in 2 gezeigte physikalische
Struktur auf. Das FM-Radarmodul 10 weist ein dielektrisches Substrat 11 auf,
das aus hochreiner Aluminiumoxidkeramik mit einer relativen Dielektrizitätskonstante von
9,7 hergestellt ist und das in Segmente unterteilt ist, die jeweils
darauf die planare Arrayantennenbaugruppe 12, die Sende-
und Empfangsbaugruppe 13, die FM-Signalgeneratorschaltung 18 und
den FM-Signalverteiler 19 in der Form von Mikrostreifenleitern tragen.
Die Sende- und Empfangsbaugruppe 13, die FM-Signalgeneratorschaltung 18 und
der FM-Signalverteiler 19 sind in einem Metallgehäuse MC fest
angebracht, wobei ihre dielektrischen Substrat-11-Segmente und Metallplatten
an ihren Rückseiten
in Kontakt gehalten sind, und wobei ihre Mikrostreifenleiter durch
Metallfolie oder -drähte
verbunden sind. Die Zirkulatorbaugruppe 14 ist auf einem
auf einer Metallplatte angeordneten Ferritsubstrat angebracht. In
einer letzten Stufe des Zusammenbauverfahrens des FM-Radarmoduls
wird die Öffnung
des Metallgehäuses
MC durch eine Metallplatte verschlossen.
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Damit
das FM-Radarmodul 10 ein Installationsvolumen für die 16 Zirkulatoren 14a–14p,
die relativ groß sind,
zur Verfügung
stellt, sind die Planare Arrayantennenbaugruppe 12, die
Sende- und Empfangsbaugruppe 13 und die Zirkulatorbaugruppe 14 in
zwei Gruppen unterteilt.
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Insbesondere
sind die Arrayantennenelemente 12a–12p in eine Gruppe
von acht planaren Arrayantennenelementen 12a–12h und
eine Gruppe von acht planaren Arrayantennenelementen 12i–12p unterteilt.
Die acht planaren Arrayantennenelemente 12a–12h der
einen Gruppe und die acht planaren Arrayantennenelemente 12i–12p der
anderen Gruppe sind in einem ineinander greifenden Muster angeordnet
und an jeweiligen linearen distalen Endabschnitten von Speiseleitungen
angeordnet, die zu den jeweiligen Gruppen gehören und in entgegengesetz ten Richtungen
verlaufen, die um 180° voneinander
abweichen. Die planaren Arrayantennenelemente 12a–12h sind
in einer Richtung senkrecht zu den linearen distalen Endabschnitten
der Speiseleitungen aufgereiht. Jedes der planaren Arrayantennenelemente 12a–12h umfasst
drei Patches, die an gegebenen Abständen entlang des linearen distalen
Endabschnitts einer der Speiseleitungen angeordnet sind.
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Die
Sende- und Empfangselemente 12a–13p sind aus acht
MMIC-(integrierte monolithische Mikrowellenschaltkreise)-Packungen 13A–13H auf
einem GaAs-Halbleitersubstrat
hergestellt. Die acht MMIC-Packungen 13A–13H sind
in zwei Gruppen unterteilt. Jede der acht MMIC-Packungen 13A–13H ist
aus den Sende- und
Empfangselementen von benachbarten zwei der 16 Sende- und
Empfangskanäle
A–P zusammengesetzt,
wie in 3 gezeigt ist,
die nur die MMIC-Packung 13A zeigt. Insbesondere ist die
in 3 gezeigte MMIC-Packung 13A aus
dem selektiven Sendeverstärker 15a,
dem selektiven Empfangsverstärker 16a und
dem Mischer 17a, die zu dem Sende- und Empfangselement 13a des
Sende- und Empfangskanals
A gehören,
sowie dem selektiven Sendeverstärker 15b,
dem selektiven Empfangsverstärker 16b und
dem Mischer 17b, die zu dem Sende- und Empfangselement 13b des
Sende- und Empfangskanals B gehören,
zusammengesetzt. Das GaAs-Halbleitersubstrat mit den MMIC-Packungen 13A–13H darauf
ist in einer Keramikpackung untergebracht, die mit einem Stickstoffgas
gefüllt
ist.
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Wie
in 3 gezeigt ist, ist
die planare Arrayantenne 12a, die aus den drei rechteckigen
Patches Pa1, Pa2,
Pa3 des Sende- und Empfangskanals A zusammengesetzt
ist, mit dem linearen distalen Endabschnitt einer Speiseleitung
FLa verbunden, deren proximaler Endabschnitt in einen Sendeendabschnitt TXOUT
und einen Empfangsendabschnitt RXIN durch den Zirkulator 14a unterteilt
ist. Die rechteckigen Patches Pa1, Pa2, Pa3 sind in einem
bestimmten Abstand entlang des linearen distalen Endabschnitts der
Speiseleitung FLa beabstandet. Der durch den Zirkulator 14a getrennte
Sendeendabschnitt TXOUT ist durch den selektiven Sendeverstärker 15a mit
einem Eingangsanschluss TXIN der MMIC-Packung 13A zum Empfang eines
FM-Signals von der FM-Signalgeneratorschaltung 18 verbunden.
Der durch den Zirkulator 14a abgetrennte Empfangsendab schnitt
RXIN ist mit einem Eingangsanschluss, d. h. einem Empfangssignal-Eingangsanschluss,
des Mischers 17a verbunden. Der andere Eingangsanschluss,
d. h. ein lokaler Oszillatoreingangsanschluss, des Mischers 17a wird
selektiv mit einem FM-Signal von dem Eingangsanschluss TXIN durch den
selektiven Empfangsverstärker 16a versorgt.
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Ähnlich ist
die planare Arrayantenne 12b, die aus den rechteckigen
Patches Pb1, Pb2,
Pb3 des Sende- und Empfangskanals B zusammengesetzt
ist, mit dem linearen distalen Endabschnitt einer Speiseleitung
FLb verbunden, deren proximaler Endabschnitt durch den Zirkulator 14b in
einen Sendeendabschnitt TXOUT und einen Empfangsendabschnitt RXIN
unterteilt ist. Die rechteckigen Patches Pb1,
Pb2, Pb3 sind in
einem bestimmten Abstand entlang des linearen distalen Endabschnitts
der Speiseleitung FLb beabstandet. Der durch den Zirkulator 14b getrennte Sendeendabschnitt
TXOUT ist durch den selektiven Sendeverstärker 15b mit dem Eingangsanschluss TXIN
der MMIC-Packung 13A zum Empfang eines FM-Signals von der
FM-Signalgeneratorschaltung 18 verbunden. Der durch den
Zirkulator 14b getrennte Empfangsendabschnitt RXIN ist
mit einem Eingangsanschluss des Mischers 17b verbunden.
Der andere Eingangsanschluss des Mischers 17b wird selektiv mit
einem FM-Signal von dem Eingangsanschluss TXIN durch den selektiven
Empfangsverstärker 16b versorgt.
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Die
selektiven Sendeverstärker 15a, 15b und
die selektiven Sendeverstärker 16a, 16b der Sende-
und Empfangskanäle
A, B sind hauptsächlich aus
Hochfrequenz-FETs
(Feld-Effekt-Transistoren) zusammengesetzt. Diese vier selektiven
Verstärker 15a, 15b, 16a, 16b verstärken intermittierend
zugeführte
Eingangssignale in Antwort auf jeweilige intermittierende Drain-Spannungen
Vd1–Vd4,
die selektiv von dem Kanalkontroller 22 der Hauptradarschaltung 20 zugeführt werden.
Die vier selektiven Verstärker 15a, 15b, 16a, 16b werden
ebenfalls mit einer konstanten Gate-Spannung Vg versorgt.
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Die
Zirkulatoren 14a, 14b werden jeweils einander
entgegengesetzten Gleichspannungs-Magnetfeldern ausgesetzt, um Signale
in gegenseitig entgegengesetzte Richtungen in den Zirkulatoren 14a, 14b zu
drehen. Die Anwendung von Gleichspannungs-Magnetfeldern in gegenseitig
entgegengesetzten Richtungen auf die Zirkulatoren 14a, 14b ist wirksam,
um diese Gleichspannungs-Magnetfelder aufzuheben und zu verhindern,
dass ein Gleichspannungs-Magnetfeld erzeugt wird.
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4 zeigt fragmentarisch in
einem vergrößerten Maßstab jede
Signalverzweigungsschaltung des FM-Signalverteilers 19 in
dem in 1 gezeigten FM-Radarmodul.
Zur Impedanzanpassung der Signalverzweigungsschaltung ist ein Dünnfilmwiderstand
R mit einem Widerstand von ungefähr
100 zwischen verzweigte Arme eines Mikrostreifenleiters der Signalverzweigungsschaltung
eingefügt.
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5 zeigt perspektivisch das
FM-Radarsystem, das das in 1 gezeigte
FM-Radarmodul 10 enthält. Wie
in 5 gezeigt ist, ist
das FM-Radarmodul 10 in einem Metallhalter 40 untergebracht und
mit einem Sekundärstrahler 30 durch
den Metallhalter 40 verbunden, wobei der Antennenaufbau 12 als
ein Primärstrahler
dient. Der Sekundärstrahler 30 weist
eine parabolische Reflexionsfläche 30a auf, und
die aus den 16 planaren Arrayantennenelementen 12a–12p zusammengesetzte
Antennenbaugruppe 12 ist in der Nähe des Brennpunkts der parabolischen
Reflexionsfläche 30a angeordnet.
FM-Signale in einem Millimeterwellenlängenbereich, die von den jeweiligen
planaren Arrayantennenelementen 12a–12p abgestrahlt werden,
werden durch die parabolische Reflexionsfläche 30a reflektiert
und unter jeweiligen unterschiedlichen Winkeln oder Richtungen in
einer horizontalen Richtung vom Sekundärstrahler 30 nach
vorn abgestrahlt. Der aus der Antennenbaugruppe 12 zusammengesetzte
Primärstrahler
und der Sekundärstrahler 30 bilden
gemeinsam eine versetzte, defokussierte Mehrfachstrahl-Parabolantenne.
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In
jedem der planaren Arrayantennenelemente 12a–12p sind
die drei rechteckigen Patches in einem bestimmten Abstand voneinander
entlang des linearen distalen Endabschnitts der Speiseleitung beabstandet.
Elektromagnetische Wellen werden unter einem bestimmten Neigungswinkel
von den jeweiligen planaren Arrayantennenelementen 12a–12p abgestrahlt.
Wie in 6 gezeigt ist,
ist insbesondere die Richtung (angedeutet durch durchgezogene Linien),
in die die elekt romagnetischen Wellen von den jeweiligen Patches
abgestrahlt werden, unter einem Neigungswinkel zu einer Linie (als
gepunktet-gestrichelte Linie angedeutet) senkrecht zu dem dielektrischen
Substrat 11 geneigt, so dass Gleichphasenflächen (angedeutet
durch gepunktete Linien) der von den jeweiligen Patches abgestrahlten
elektromagnetischen Wellen senkrecht zu der Richtung liegen, in die
sie von den jeweiligen Patches abgestrahlt werden. Die Gleichphasenflächen der
abgestrahlten elektromagnetischen Wellen werden durch eine Verzögerungszeit
bestimmt, die verursacht wird, wenn sich die Signale durch die Speiseleitungen
ausbreiten und die elektromagnetischen Wellen durch die Luft ausbreiten.
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Während in 6 zur Unterscheidung der Patches
von der Speiseleitung die Patches dicker gezeigt sind als die Speiseleitung,
ist dies nur zum Zwecke der Verdeutlichung geschehen, und tatsächlich weisen
sie dieselbe Dicke auf. Die Länge
des Speiseleitungsabschnitts, der die drei Patches jeder der acht
planaren Arrayantennenelemente einer Gruppe verbindet, ist im Wesentlichen
um eine halbe Wellenlänge
unterschiedlich von der Länge
des Speiseleitungsabschnitts, der die drei Patches jeder der acht planaren
Arrayantennenelemente der anderen Gruppe verbindet, so dass die
elektromagnetischen Wellen von den planaren Arrayantennenelementen
der beiden Gruppen unter demselben Winkel in Richtung zu dem Sekundärstrahler
hin abgestrahlt werden.
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Da,
wie in 5 gezeigt ist,
jedes der planaren Arrayantennenelemente 12a–12p die
elektromagnetische Welle unter dem Neigungswinkel, wie oben beschrieben,
abstrahlt, wird effektiv verhindert, dass das FM-Radarmodul 10,
welches eine im Vergleich zu dem Primärstrahler beträchtliche
Größe aufweist, die
elektromagnetischen Wellen stört,
die von dem Sekundärstrahler 30 abgestrahlt
werden. Demzufolge kann das FM-Radarmodul 10, welches die
Antennenbaugruppe 12 als Primärstrahler enthält, in der Nähe des Sekundärstrahlers 30 angeordnet
werden. Mit dieser Anordnung wird es ermöglicht, dass das FM-Radarmodul 10 eine
MMIC-basierte Struktur aufweist, die aus den MMIC-Packungen 13A–13H aufgebaut
ist, welche aus den Sende- und Empfangsbaugruppen 13, der
Antennenbaugruppe 12 auf dem dielektrischen Substrat zusammengesetzt
sind.
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Die
Antennenbaugruppe 12 als Primärstrahler mit einem Neigungswinkel
wird mit dem Sekundärstrahler 30 mit
der parabolischen Reflexionsfläche 30a in
der gezeigten Ausführungsform
kombiniert. Jedoch kann die Antennenbaugruppe einen Primärstrahler
ohne Neigungswinkel umfassen und kann mit einer dielektrischen Linse
kombiniert werden. Alternativ kann dann, wenn die Direktivität des Primärstrahlers
erhöht
werden soll oder ein Bereich zum Erfassen von FM-Signale reflektierenden
Objekten auf einen Bereich in der Nähe des Kraftfahrzeugs, an dem
das FM-Radarsystem installiert ist, beschränkt werden soll, der Sekundärstrahler,
etwa eine Reflexionsfläche
oder eine dielektrische Linse, weggelassen werden und die Antennenbaugruppe kann
nur planare Arrayantennenelemente umfassen.
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Wieder
zurückgehend
zu 1 wird ein von der
FM-Signalgeneratorschaltung 18 zugeführtes FM-Millimeterwellensignal
als FM-Signale verteilt, die selektiv nur in gegebenen Perioden
durch die jeweiligen selektiven Sendeverstärker 15a–15p in
den jeweiligen Sende- und Empfangskanälen A–P verstärkt werden. Insbesondere verstärken die
selektiven Sendeverstärker 15a–15p die
jeweiligen FM-Signale nur in aufeinander folgenden Perioden nach Maßgabe von
Kanalsteuer/regelsignalen, die von dem Kanalkontroller 22 zugeführt werden.
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Insbesondere
umfasst jeder der selektiven Sendeverstärker 15a–15p zwei
kaskadierte FETs (Feld-Effekt-Transistoren) und Schaltertransistoren, um
intermittierend eine Betriebs-Drain-Spannung den FETs nach Maßgabe des
Kanalsteuer/regelsignals zuzuführen,
und verstärkt
selektiv das FM-Millimeterwellensignal nur in einer Periode, in
der diesem Betriebsenergie zugeführt
werden soll. Solange bis eine Drain-Spannung zugeführt wird,
erteilt jeder der selektiven Sendeverstärker 15a–15p dem
hindurchtretenden FM-Millimeterwellensignal eine große Einfügungsdämpfung,
was praktisch die FM-Signalgeneratorschaltung 18 und den
entsprechenden der Zirkulatoren 14a–14p trennt.
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Daher
wirkt jeder der selektiven Sendeverstärker 15a–15p als
ein Schalter, der eine solche Verstärkung aufweist, dass er selektiv
die FM-Signalgeneratorschaltung 18 mit dem entsprechenden
der Zirkulatoren 14a–14p verbindet
und die FM-Signalgeneratorschaltung 18 von
dem entsprechenden der Zirkulatoren 14a–14p trennt. Die durch
den jeweiligen selektiven Sendeverstärker 15a–15p verstärkten FM-Millimeterwellensignale
werden durch die jeweiligen Zirkulatoren 14a–14p den
jeweiligen planaren Arrayantennenelementen 12a–12p zugeführt, welche
dann die FM-Millimeterwellensignale als elektromagnetische Wellen
von dem dielektrischen Substrat 11 weg zu dem Sekundärstrahler 30 hin
abstrahlen (siehe 5).
Die abgestrahlten elektromagnetischen Wellen werden durch die parabolische
Reflexionsfläche 30a des
Sekundärstrahlers 30 von
dem Kraftfahrzeug, an dem das FM-Radarsystem installiert ist, abgestrahlt.
Auf diese Weise kann die Direktivität von Signalen von den planaren
Arrayantennenelementen 12a–12p durch die selektiven
Sendeverstärker 15a–15p gesteuert/geregelt
werden.
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Einige
der als elektromagnetische Wellen von dem Kraftfahrzeug abgestrahlten
FM-Millimeterwellensignale werden durch Objekte reflektiert, wandern
zurück
und werden durch die planaren Arrayantennenelemente 12a–12p empfangen.
Die reflektierten elektromagnetischen Wellen, die durch die planaren
Arrayantennenelemente 12a–12p empfangen werden,
werden jeweils als FM-Echosignale von den Sendekanälen durch
die Zirkulatoren 14a–14p getrennt.
Die getrennten FM-Echosignale werden den jeweiligen Empfangssignal-Eingangsanschlüssen der
Mischer 17a–17p zugeführt. Die
anderen lokalen Oszillatoreingangsanschlüsse der Mischer 17a–17p werden
mit verstärkten
FM-Millimeterwellensignalen von den jeweiligen Empfangsverstärkern 16a–16p versorgt,
welche aufeinander folgend FM-Millimeterwellensignale intermittierend
nur in gegebenen Perioden nach Maßgabe von von dem Kanalkontroller 22 zugeführten Kanalsteuer/regelsignalen
verstärken. Die
selektiven Empfangsverstärker 16a–16p wirken als
jeweilige Schalter, ebenso wie die selektiven Sendeverstärker 15a–15p.
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Von
den jeweiligen Ausgangsanschlüssen der
Mischer 17a–17p ausgegebene
Schwebungssignale werden durch Ausgangsanschlüsse BTa, BTb zu dem Selektor 24 übertragen.
In dem Selektor 24 werden die Schwebungssignale durch jeweilige
Verstärker 24a–24b verstärkt, deren
Verstärkungsfaktor abhängig von
der Frequenz variiert. Die Verstärker 24a–24b werden
in einer zeitlich abwechselnden Weise durch den Kanalkontroller 22 ausgewählt, um die
verstärkten
Schwe bungssignale durch ein Koaxialkabel dem A/D-Wandler 25 zuzuführen, der
die Schwebungssignale in digitale Schwebungssignale umwandelt. Die
digitalen Schwebungssignale werden dann der FFT-Schaltung 26 zugeführt und
dadurch in ein Frequenzspektrum umgewandelt, das dann der CPU 21 zugeführt wird.
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Die
CPU 21 analysiert das Frequenzspektrum der empfangenen
FM-Echosignale, die von der FFT-Schaltung 26 zugeführt werden,
und berechnet Abstände
zu Objekten, die die FM-Echosignale in den jeweiligen Sende- und
Empfangskanälen
und daher aus jeweiligen Richtungen erzeugt haben. Typischerweise
erzeugt die CPU 21 eine zweidimensionale Karte von Hindernissen
zum Kraftfahrzeug, wie in 7 gezeigt
ist.
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8 und 9 zeigen eine MMIC-Packung eines FM-Radarmoduls
gemäß der vorliegenden
Erfindung. Wie in 8 und 9 gezeigt ist, umfasst die MMIC-Packung
ein Metallsubstrat 100, wobei an einer seiner Flächen dielektrische
Substrate 101, 102, 103, 104, 105, 130,
beispielsweise aus Aluminiumoxid, angebracht sind, und ein Paar
von MMICs 110, 120, die an der Fläche des
Metallsubstrats 100 angebracht ist. Signalausgangsanschlüsse 111, 121 sind jeweils
an den dielektrischen Substraten 101, 103 angebracht
und Signaleingangsanschlüsse 112, 122 sind
jeweils an den dielektrischen Substraten 102, 104 angebracht.
Ein Signaleingangsanschluss 131 zum Empfang eines zugeführten FM-Signals
ist an dem dielektrischen Substrat 105 angebracht. Ein durch
den Signaleingangsanschluss 131 empfangenes FM-Signal wird
in zwei FM-Signale durch eine binäre Verzweigungsschaltung in
der Form eines Mikrostreifenleiters (nicht gezeigt) auf dem dielektrischen
Substrat 130 aufgeteilt, und die beiden FM-Signale werden
durch jeweilige Strahlführungen 113, 123 den
MMICs 110, 120 zugeführt. Die MMICs 110, 120 enthalten
jeweilige selektive Sendeverstärker,
jeweilige selektive Empfangsverstärker und jeweilige Mischer
(nicht gezeigt). Die MMICs 110, 120 sind voneinander
durch ein dielektrisches Trennelement 140 getrennt, das
an dem Metallsubstrat 100 angebracht ist, um es zu ermöglichen,
dass die Resonanzfrequenz eines Hohlraums in der MMIC-Packung größer ist
als das Frequenzband des FM-Signals.
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Zu
sendende FM-Signale werden von den MMICs 110, 120 durch
die Signalausgangsanschlüsse 111, 121 den
Zirkulatoren (nicht gezeigt) zugeführt. Empfangene FM-Signale
werden von den Zirkulatoren durch die Signaleingangsanschlüsse 112, 122 den
MMICs 110, 120 zugeführt. Durch die MMICs 110, 120 erzeugte
Schwebungssignale werden durch Verbindungsdrähte 119, 129 zu
jeweiligen Ausgangsanschlüssen 115, 125 (siehe 9) gesendet, die mit den
Verbindungsdrähten 119, 129 verbunden
sind und sich durch das Metallsubstrat 100 zu einer Rückseite
desselben erstrecken, die von den MMICs 110, 120 entfernt
liegt. Die Schwebungssignale werden dann von den Ausgangsanschlüssen 115, 125 durch
jeweilige Koaxialkabel (nicht gezeigt) zu einer Hauptradarschaltung
(nicht gezeigt) geliefert. Eine Vorspannung und Verstärkungssteuer/regelsignale
werden durch Signalanschlüsse 114, 124 und
Verbindungsdrähte 117, 127 den
MMICs 110, 120 zugeführt. Die Signalanschlüsse 114, 124 werden
mit den Verbindungsdrähten 117, 127 verbunden und
erstrecken sich durch das Metallsubstrat 100 zu dessen
Rückseite,
die von den MMICs 110, 120 entfernt liegt.
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Wie
in 9 gezeigt ist, enthält die MMIC-Packung
ferner einen Deckel 150, der an dem Metallsubstrat 100 durch
einen Rahmen 141 angebracht ist. Die Anschlüsse 114, 115, 124, 125 werden an
dem Metallsubstrat 100 durch jeweilige Isolatoren 116, 118, 126, 128 gehalten,
die den durch das Metallsubstrat 110, den Deckel 150 und
den Rahmen 141 definierten Hohlraum hermetisch kapseln,
der mit einem inerten Gas gefüllt
ist. Der Deckel 150 und der Rahmen 141 sind aus
der Illustration in 8 weggelassen.
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Die
Prinzipien der vorliegenden Erfindung, die in einer Ausführung als
FM-Radarmodul beschrieben worden sind, können ebenso bei einigen anderen
verschiedenen Radarmodulen angewendet werden, einschließlich eines
AM-Radarmoduls, eines Impuls-Radarmoduls, usw.
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Das
FM-Radarmodul gemäß der vorliegenden
Erfindung bietet die folgenden verschiedenen Vorteile:
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Da
die Mehrzahl von kleinen Planaren Arrayantennenelementen derart
aufgereiht ist, dass sie von den Sende- und Empfangsbaugruppen durch
die Zirkulatoren geteilt werden, kann die Anzahl von planaren Arrayantennenelementen
in einem begrenzten Installationsvolumen vergrößert werden, was es ermöglicht,
einen relativ großen
Winkelbereich mit einem Abtaststrahl abzutasten. Die planaren Arrayantennenelemente
dienen als ein Primärstrahler
in einer versetzten defokussierten Mehrfachstrahl-Parabolantenne
zum weiten Abtasten eines Winkelbereichs und für hohe Richtungsauflösung.
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Da
die planaren Arrayantennenelemente mit den Zirkulatoren kombiniert
sind, so dass sie von den Sende- und Empfangsbaugruppen geteilt
werden, sind die verschiedenen Komponenten der Antennenbaugruppe 12 in
einer sehr dichten Konfiguration angebracht. Insbesondere sind die
selektiven Sende- und Empfangsverstärker und die Mischer in der
Form von MMICs an dem einzigen dielektrischen Substrat angebracht,
welches die als Primärstrahler
dienende Antennenbaugruppe 12 bildet. Ein abtastendes FM-Radarsystem,
das die Antennenbaugruppe 12 enthält, weist eine sehr dichte
Struktur, eine geringe Größe, geringe
Kosten und eine hohe Auflösung
auf, was es zur Verwendung an Kraftfahrzeugen geeignet macht. Das
FM-Radarsystem kann in einem weiten Bereich von Kraftfahrzeuganwendungen
verwendet werden, einschließlich
eines aktiven Fahrsteuer/regelsystems, eines Kollisionsverhinderungssystems usw.
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Die
FM-Signalgeneratorschaltung 18 und der FM-Signalverteiler 19 sind
in dem FM-Radarmodul 10 enthalten, anstatt in der Hauptradarschaltung 20.
Diese Anordnung ist wirksam zur Verringerung der Größe und Kosten
des FM-Radarsystems.
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Das
FM-Radarsystem wurde als ein Kraftfahrzeug-Radarsystem beschrieben.
Jedoch sind die Prinzipien der vorliegenden Erfindung auch anwendbar
auf ein allgemeines Kommunikationssystem, wie ein Hochfrequenz-Lokalnetzwerk
(LAN) zum Inneneinsatz.
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10 und 11 zeigen eine andere MMIC-Packung, die
in dem in 1 gezeigten
FM-Radarmodul enthalten sein kann. Wie in 10 und 11 gezeigt ist,
weist die MMIC-Packung, allgemein mit 200 bezeichnet, eine
Hybrid-IC-Struktur auf, die ein Metallsubstat 202, eine
integrierte Hochfrequenzschaltung (MMIC) 203 und ein dielektrisches
Substrat 206 aufweist, die auf einer Fläche des Metallsubstrats 202 angebracht
sind, sowie eine integrierte Niederfrequenzschaltung 204 und
eine Gleichspannungs-Vorspannungsschaltung 205 aufweist,
die an der entgegengesetzten Seite des Metallsubstrats 202 angebracht
sind. Die MMIC-Packung 200 besitzt
ebenso ein Gehäuse 212 aus
geformtem Kunstharz, Keramik oder Metall, in dem die obigen Komponenten
der MMIC-Packung 200 untergebracht sind.
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Wie
oben beschrieben wurde, ist die in einem GHz-Frequenzbereich arbeitende
integrierte Hochfrequenzschaltung 203 an einer Fläche des
Metallsubstrats 202 angebracht, und die in einem MHz- bis
GHz-Frequenzbereich arbeitende integrierte Niederfrequenzschaltung 204 und
die Gleichspannungs-Vorspannungsschaltung 205, welche elektrische
Energie sowie eine Gleichspannungs-Vorspannung der integrierten
Hochfrequenzschaltung 203 zuführt, sind an der entgegengesetzten
Fläche
des Metallsubstrats 202 angebracht. Daher weist die MMIC-Packung 200 viele
in einem begrenzten Volumen untergebrachte IC-Chips auf.
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Da
die integrierte Hochfrequenzschaltung 203 und die integrierte
Niederfrequenzschaltung 204 und die Gleichspannungs-Vorspannungsschaltung 205 voneinander
durch das Metallsubstrat 202 getrennt sind, wird verhindert,
dass sie einander stören, obwohl
sie in unterschiedlichen Frequenzbereichen arbeiten.
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Die
integrierte Hochfrequenzschaltung 203, die integrierte
Niederfrequenzschaltung 204 und die Gleichspannungs-Vorspannungsschaltung 205 weisen
Erdungsanschlüsse
auf, die zur effektiven Verhinderung von Störungen zwischen der integrierten Hochfrequenzschaltung 203,
der integrierten Niederfrequenzschaltung 204 und der Gleichspannungs-Vorspannungsschaltung 205 mit
dem Metallsubstrat 202 verbunden sind.
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Das
Metallsubstrat 202, das aus Kovar oder dergleichen hergestellt
ist, weist Ausnehmungen 202A, 202B auf, die in
einer seiner Flächen
definiert sind, und die in tegrierte Hochfrequenzschaltung 203 und
das dielektrische Substrat 206 sind jeweils in den Ausnehmungen 202A, 202B angeordnet.
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Kontaktflächen 208D, 208G, 208H sind durch
Verdampfen oder dgl. auf Isolierschichten am Boden der Ausnehmungen 202A ausgebildet
und durch jeweilige dünne
Drähte
W1, W2, W3 aus Gold oder dgl. mit jeweiligen Kontaktflächen 208A, 208B, 208C verbunden,
die an der integrierten Hochfrequenzschaltung 203 angebracht
sind.
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Die
Kontaktflächen 208G, 208H weisen Durchgangslochbereiche 207 auf,
die durch das Metallsubstrat 202 von einer Fläche zu dessen
entgegengesetzter Fläche
verlaufen. Die Durchgangslochbereiche 207 sind durch die
Feinschaltungs-Herstellungstechnik
des Halbleiter-Herstellungsprozesses hergestellt. Der integrierte
Hochfrequenzschaltkreis 203 und der integrierte Niederfrequenzschaltkreis 204 sind
elektrisch miteinander durch einen der Durchgangslochbereiche 207 verbunden,
und der integrierte Hochfrequenzschaltkreis 203 und der Gleichspannungs-Vorspannungsschaltkreis 205 sind elektrisch
miteinander durch den anderen Durchangslochbereich 207 verbunden.
Insbesondere sind Kontaktflächen
(nicht gezeigt) an der entgegengesetzten Fläche des Metallsubstrats 202 fluchtend
mit den Kontaktflächen 208G, 208H angebracht
und elektrisch mit den Kontaktflächen 208G, 208H durch die
jeweiligen Durchgangslochbereiche 207 verbunden. Der integrierte
Niederfrequenzschaltkreis 204 und der Gleichspannungs-Vorspannungsschaltkreis 205 weisen
ebenfalls jeweilige Kontaktflächen
(nicht gezeigt) auf, die durch Drähte elektrisch mit den Kontaktflächen verbunden
sind, die an der entgegengesetzten Fläche des Metallsubstrats 202 fluchtend
mit den Kontaktflächen 208G, 208H angebracht
sind. Demzufolge sind der integrierte Hochfrequenzschaltkreis 203 an
der einen Fläche
des Metallsubstrats 202 und der integrierte Niederfrequenzschaltkreis 204 und
der Gleichspannungs-Vorspannungsschaltkreis 205 an der
anderen Fläche
des Metallsubstrats 202 miteinander elektrisch in sehr
zuverlässiger
Weise durch die Durchgangslochbereiche 207 verbunden.
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Das
dielektrische Substrat 206 ist z. B. aus einer hochreinen
Aluminiumoxidkera mik hergestellt, und seine freiliegende Fläche schließt bündig mit
der Fläche
des Metallsubstrats 202.
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Eine
Kontaktfläche 208E,
ein Anschluss 208E und ein leitendes Muster 209 sind
auf der freiliegenden Fläche
des dielektrischen Substrats 206 durch Aufdampfen oder
dgl. ausgebildet. Die Kontaktfläche 208E und
die Kontaktfläche 208D sind
miteinander durch einen Draht W4 aus Gold oder dgl. verbunden, und
eine IC-Leitung 211 ist
mit dem Anschluss 208E zum Zuführen eines Eingangssignals von
einer externen Quelle zu der integrierten Hochfrequenzschaltung 203 oder
zum Abliefern eines Ausgangssignals von der integrierten Hochfrequenzschaltung 203 zu
einer externen Schaltung verbunden.
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Weil
das dielektrische Substrat 206 bündig mit dem Metallsubstrat 202,
an dem die integrierte Hochfrequenzschaltung 203 angeordnet
ist, liegt und die Kontaktfläche 208E und
der Anschluss 208E an dem dielektrischen Substrat 206 angebracht
ist, liegt der Anschluss 208E für die integrierte Hochfrequenzschaltung 203 in
einer horizontalen Ebene der integrierte Hochfrequenzschaltung 203.
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12 zeigt jeden der Durchgangslochbereiche 207 in
einem vergrößerten fragmentarischen Querschnitt.
Wie in 12 gezeigt ist,
weist der Durchgangslochbereich 207 ein von einer Fläche zu der
anderen Fläche
des Metallsubstrats 202 verlaufendes Durchgangsloch auf.
Eine Isolierschicht 213 ist an den Flächen des Metallsubstats 202 breiter
als der Durchgangslochbereich 207 abgeschieden, und ebenfalls
an der Wand des Durchgangslochbereichs. Danach ist eine leitfähige Schicht
auf der Isolierschicht 213 abgeschieden, wodurch die Kontaktflächen 208G, 208H und
ein plattiertes Durchgangsloch 214, das die Kontaktflächen 208G, 208H durch
einen kürzesten
Abstand elektrisch verbindet, erzeugt werden.
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13 zeigt in Planansicht
den in 12 gezeigten
Durchgangslochbereich 207. Wie in 13 gezeigt ist, unterliegt die Isolierschicht 213 den
Kontaktflächen 208G, 208H und
die Isolierschicht 213 mit dem darin definierten plattierten Durchgangsloch 214 ist
konzentrisch an der Wand des Durchgangslochs abgeschieden, das sich
von der einen Fläche
zu der anderen Fläche
des Metallsubstrats 202 erstreckt.
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Obwohl
jede der Kontaktflächen 208G, 208H ein
plattiertes Durchgangsloch 214 in 10 bis 13 aufweist,
können
sie eine Mehrzahl von plattierten Durchgangslöchern in Anbetracht der Zuverlässigkeit der
plattierten Durchgangslöcher
aufweisen. Daher kann das plattierte Durchgangsloch 214 durch
ein leitfähiges
Element ersetzt werden, um eine elektrische Verbindung zwischen
den Schaltungen an den entgegengesetzten Flächen des Metallsubstrats 202 bereitzustellen.
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Obwohl
bestimmte bevorzugte Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung gezeigt und im Detail beschrieben worden
sind, versteht es sich, dass verschiedene Änderungen und Modifikationen darin
durchgeführt
werden können,
ohne von dem Rahmen der angefügten
Ansprüche
abzuweichen.
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Ein
Radarmodul umfasst eine Antennenbaugruppe, eine Mehrzahl von Sende- und Empfangsbaugruppen,
eine Mehrzahl von Zirkulatoren, eine gemeinsame Signalgeneratorschaltung
und einen Signalverteiler, die alle an einem dielektrischen Substrat
angebracht sind. Die Sende- und Empfangsbaugruppen können in
jeweiligen integrierten monolithischen Mikrowellen-Schaltkreispackungen
untergebracht sein, von denen jede ein Metallsubstrat, eine an einer
Fläche
des Metallsubstrats angebrachte integrierte Hochfrequenzschaltung
und eine an einer entgegengesetzten Fläche des Metallsubstrats angebrachte
und mit der integrierten Hochfrequenzschaltung elektrisch verbundene
integrierte Niederfrequenzschaltung aufweist.