DE69723808T2 - Differenz-Schaltungsarchitektur mit geringer Interferenz für integrierte Bildebene-Matrizen mit zwei Farbbereichen - Google Patents

Differenz-Schaltungsarchitektur mit geringer Interferenz für integrierte Bildebene-Matrizen mit zwei Farbbereichen Download PDF

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DE69723808T2
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Richard H. Carpinteria Wyles
William H. Goleta Frye
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers
    • H01L27/14649Infrared imagers
    • H01L27/14652Multispectral infrared imagers, having a stacked pixel-element structure, e.g. npn, npnpn or MQW structures

Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung betrifft allgemein Brennebenen-Detektorgruppenanordnungen und insbesondere die Betrachtung von Brennebenen-Detektorgruppenanordnungen, welche integrierte fotovoltaische Detektoren verwenden, um gleichzeitig Infrarotstrahlung (IR) innerhalb zweier Spektralbänder zu detektieren (d.h. „Zweifarben-Detektoren").
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Eine wünschenswerte Art eines Fotodetektors ist ein Zweifarben-Infrarotstrahlungs-Detektor (IR-Detektor), welcher eine Empfindlichkeit in zwei Spektralbändern hat. Die Spektralbänder können kurzwellige Infrarotstrahlung (SWIR), Infrarotstrahlung mittlerer Wellenlänge (MWIR), langwellige Infrarotstrahlung (LWIR) sowie sehr langwellige Infrarotstrahlung (VLWIR) umfassen. Eine Gruppenanordnung von Zweifarben-Infrarotdetektoren kann in einer Anzahl von Abbildungsanwendungen verwendet werden, bei welchen es notwendig ist, gleichzeitig Strahlung innerhalb zweier Spektralbänder aus einer Szenerie innerhalb eines Blickfeldes der Gruppenanordnung zu detektieren. Beispielsweise kann die Gruppenanordnung LWIR und MWIR oder LWIR und SWIR detektieren.
  • Diesbezüglich sei auf das ebenso wie die vorliegende Erfindung übertragene US-Patent Nr. 5,113,076 Bezug genommen, das am 12. Mai 1992 an E. F. Schulte erteilt wurde und den Titel „Two Terminal Multi-band Infrared Radiation Detector" trägt. Bei dieser Art von Geräten wird das Detektieren eines bestimmten Wellenlängenbandes durch Schalten einer Vorspannungsquelle erreicht.
  • Es sei auch auf das ebenfalls übertragene US-Patent Nr. 5,149,956 Bezug genommen, das am 22. September 1992 an P. R. Norton erteilt wurde und den Titel „Two-Color Radiation Detector Array and Methods of Fabricating Same" trägt, sowie auf das ebenfalls übertragene US-Patent Nr. 5,380,669, welches am 10. Januar 1995 an P. R. Norton erteilt wurde und den Titel „Method of Fabricating a Two-Color Radiation Detector Using LPE Crystal Growth" trägt. Weiter kann in diesem Zusammenhang Bezug genommen werden auf das ebenfalls auf den Inhaber der vorliegenden Erfindung übertragene US-Patent 5,457,331, das am 10. Oktober 1995 an K. Kosai und G. R. Chapman übertragen wurde und den Titel „Dual Bank Infrared Radiation Detector Optimized for Fabrication in Compositionally Graded HgCdTe" trägt.
  • Von besonderem Interesse sind hier Detektoren, welche in der Lage sind, gleichzeitig elektromagnetische Energie innerhalb der zwei interessierenden Spektralbänder zu detektieren.
  • Eine herkömmliche Schaltung zur Unterscheidung der Ausgänge von zwei gleichzeitig aktiven fotovoltaischen Strahlungsdetektoren ist in 1 dargestellt. Die zwei Detektoren sind gegeneinander geschaltet (d.h., Anode gegen Anode) und sind als ein Langwellendetektor (LW-Detektor), welcher einen Fotostrom ILW erzeugt, und ein Mittelwellenlängendetektor (MW-Detektor) ausgelegt, der einen Fotostrom IMW erzeugt. Die Kathode des Langwellendetektors ist über einen Widerstand mit einem Integrationskondensator CLW verbunden, der wiederum mit einem Schalter (nicht dargestellt) verbunden ist, der durch ein Langwellen-Auslese- und Rückstell-Steuersignal gesteuert wird. Ein Langwellen-Vorspannungssteuerungssignal ist an die Gateelektrode des LW-Transistors gelegt. Die Anoden der beiden Detektoren, nämlich des LW-Detektors und des MW-Detektors, sind über einen Transistor mit einem Integrationskondensator CMW verbunden, der wiederum mit einem nicht dargestellten Schalter verbunden ist, der durch ein Mittelwellen-Auslese- und -Rückstell-Steuersignal gesteuert wird. Ein MW-Vorspannungs-Steuersignal ist an die Gateelektrode des MW-Transistors gelegt. Die dargestellte Schaltung soll unmittelbar das LW-Fotostromsignal auslesen und das MW-Fotostromsignal durch Subtrahieren der LW-Komponente von der MW-Komponente unter Verwendung einer Stromschleifentechnik ableiten.
  • Ein Nachteil dieses Lösungsansatzes besteht darin, daß die parasitäre Kapazität (Cparasitic) der Schaltung einen wesentlichen Betrag von spektralem Nebensprechen oder spektraler Interferenz in das Fotostromsignal einführt, das durch die Subtraktion abgeleitet wird. Bekannte Lösungsversuche zur Überwindung dieser Begrenzung leiden an vergrößerter Störung und vergrößerter Kompliziertheit der Schaltung.
  • Die US-A-5523570 offenbart eine Eingangsschaltung für eine Zweiband-Brennebenen-Detektoranordnung mit doppelter direkter Injektion, wobei die Schaltung eine gleichzeitige und gesonderte Integration des Stromes von zwei Sensoren vorsieht, welche einen Knotenpunkt gemeinsam haben. Die Sensoren sind solche mit konstanter Spannung und variablem Strom, beispielsweise HgCdTe-Infrarot-Fotodioden. Die Sensor-Vorspannungen sind unabhängig einstellbar. Eine mehrfache Integration des Signales von einem Sensor kann innerhalb einer Integrationszeit des anderen Sensors vorgenommen werden. Die Schaltung dient zur Betrachtung von Zweiband-Brennebenen-Infrarotdetektoranordnungen und kann dazu eingesetzt werden, die Information von mehr als zwei Detektoren zu verarbeiten.
  • ZIELE DER ERFINDUNG
  • Es ist das vornehmliche Ziel der vorliegenden Erfindung, eine unterscheidende Ausleseschaltung für die Verwendung mit Zweifarben-Strahlungsdetektoren zu schaffen, welche die vorstehenden und weitere Probleme überwindet.
  • Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Gruppenanordnung von Zweifarben-Strahlungsdetektor-Einheitszellen oder -Pixeln zu schaffen, von denen jede bzw. jedes mit einer Fotostrom-Differenzbildungsschaltung gekoppelt ist und Schaltungsmittel zur Unterdrückung von spektraler Interferenz oder spektralem Nebensprechen enthält.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorstehend angegebenen und weitere Probleme werden überwunden und die Ziele der Erfindung werden erreicht durch Verfahren und Einrichtungen gemäß den Ausführungsformen dieser Erfindung.
  • Die Erfindung richtet sich auf eine integrierte Zweifarben-Brennebenenbetrachtungs-Detektorgruppenanordnung, welche aus Zeilen und Spalten von Fotodetektoren besteht, welche jeweils in der Lage sind, gleichzeitig Fotoströme zu integrieren, welche aus der Erfassung von zwei Spektralbändern resultieren. Eine Ausleseschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung führt eine Subtraktionsfunktion durch und enthält einen ladungsdetektierenden Differenzialverstärker in einer Anordnung von einem Verstärker je Spalte. Der Verstärker arbeitet mit Schaltungsmitteln zusammen, welche in jeder Einheitszelle angeordnet sind. Die Subtraktionsfunktion dient zur Erzeugung eines gesonderten Band-1-Signales gegenüber einem Band-2-Signal und einem (Band 1 + Band 2)-Signal, welche durch jeden gleichzeitig zwei Farben erfassenden Detektor erzeugt werden.
  • Ein bemerkenswerter Vorteil der offenbarten Schaltungsausführung besteht darin, daß sie ein niedriges spektrales Nebensprechen oder eine niedrige spektrale Interferenz zwischen den beiden Spektralbändern bedingt. Dies wird mit einer verhältnismäßig einfachen Schaltungsgestaltung erreicht, welche weiter einen Betrieb mit niedriger Störung bietet und das Problem einer hohen spektralen Interferenz, großer Störungen, eines komplexen Schaltungsaufbaus und/oder Kombinationen dieser Nachteile überwindet, wie sie bei bekannten Schaltungsarten eigentümlich sind.
  • Gemäß einem Verfahren nach der Erfindung und einer Schaltungsanordnung zur Durchführung des Verfahrens wird ein neuartiger Betrieb eines gleichzeitig aktiven Zweifarbendetektros angegeben. Der Zweifarbendetektor ist von einer Art, welche eine erste Fotodiode enthält, die an einem gemeinsamen Schaltungsknotenpunkt mit einer zweiten Fotodiode verbunden ist. Ein zweiter Schlaltungsknotenpunkt oder Anschlußpunkt der ersten Fotodiode ist mit einem ersten Kondensator gekoppelt und der gemeinsame Schaltungsknotenpunkt ist mit einem zweiten Kondensator gekoppelt.
  • Ein erster Schritt des Verfahrens ist während eines ersten Teiles einer Integrationsperiode wirksam und bewirkt einen Kurzschluß der ersten Fotodiode, während im zweiten Kondensator ein Fotostrom integriert wird, der nur durch die zweite Fotodiode erzeugt wird. Ein zweiter Schritt des Verfahrens, der während eines zweiten Teiles der Integrationsperiode durchgeführt wird, beseitigt den Kurzschluß und integriert in dem zweiten Kondensator einen Fotostrom, der durch die erste Fotodiode erzeugt wird, sowie den Fotostrom, der durch die zweite Fotodiode erzeugt wird, während gleichzeitig in dem ersten Kondensator der Fotostrom integriert wird, der nur durch die erste Fotodiode erzeugt wird.
  • Das Verfahren enthält weiter, während eines ersten Teiles einer Ausleseperiode, welche auf die Integrationsperiode folgt, die Schritte a) des Koppelns des ersten Kondensators mit einer Ausleseschlatung; b) der Speicherung und Verstärkung eines ersten Potentials in der Ausleseschaltung, das aus der Integration des Fotostromes in dem ersten Kondensator resultiert; und während eines zweiten Teiles der Ausleseperiode, c) die Ankopplung des zweiten Kondensators an die Ausleseschaltung; d) das Subtrahieren eines zweiten Potentials, das aus der Integration des Fotostroms in dem zweiten Kondensator von dem gespeicherten ersten Potential resultiert, in der Ausleseschaltung, zur Erzeugung, eines Differenzpotentials; und e) Verstärken des Diffenenzpotentials in der Ausleseschaltung.
  • Ein weiterer Schritt bewirkte eine Tastung und Festhaltung des verstärkten ersten Potentials und in einem nach Wünsch vorgesehenen Schritt ist eine Tastung und Festhaltung des verstärkten Differnzpotentials vorgesehen.
  • In der gegenwärtig bevorzugten Ausführungsform befinden sich die Zweifarbendetektoren jeweils innerhalb einer Gruppenanordnung von Einheitszellen, beispielsweise einer Brennebenen-Detektorgruppenanordnung. Die Gruppenanordnung von Einheitszellen ist in Zeilen und Spalten organisiert und jede Einheitszelle in einer Spalte ist schaltbar mit einer der Ausleseschaltungen verbunden. Jede der Ausleseschaltungen enthält einen neuartigen ladungsdetektierenden Differnezialverstärker.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die oben dargelegten und weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich noch deutlicher im Zuge der Lektüre der detaillierten Beschreibung der Erfindung in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen. In diesen stellen dar:
  • 1 ein vereinfachtes schematisches Schaltbild einer herkömmlichen, gleichzeitig aktiven Zweifarben-Einheitszelle;
  • 2A ein schematisches Schaltbild einer Zweifarben-Einheitszelle gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 2B ein Zeitdiagramm, welches die Wirkungsweise der Schaltungsanordnung gemäß 2A erläutert;
  • 3A ein schematisches Schaltbild einer je Spalte vorgesehenen Ausleseschaltung mit einem ladungsdetektierenden Differenzialverstärker gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung;
  • 3B ein Zeitdiagramm, welches die Arbeitsweise der Schaltungsanordnung gemäß 3A erläutert;
  • 3C ein vereinfachtes schematisches Schaltbild der je Spalte vorgesehenen Ausleseschaltung von 3A; und
  • 4 ein Grafik, welche ein MW-Ausgangssignal über der LW-Integrationszeit wiedergibt und den niedrigen Pegel eines spektralen Nebensprechens oder einer spektralen Interferenz aufzeigt, der mit der Schaltungsanordnung nach der Erfindung erreicht wird.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Die Schaltung nach der Erfindung soll mit gleichzeitig aktiven Zweifarbendetektoren einer Art betrieben werden, welche zwei Signalströme erzeugt: einen Band-1-Strom und einen (Band 1 + Band 2)-Summenstrom. Diese besondere Zweifarben-Detektorkonstruktion wird vorgezogen, da sie leichter herstellbar ist als viele andere Konstruktionen. Nachfolgend bezieht sich "Band 1" auf langwellige Strahlung (LW) und "Band 2" bezieht sich auf mittelwellige Strahlung (MW). Die Erfindung ist jedoch nicht auf irgendwelche besonderen Spektralbänder beschränkt und die genannte Nomenklatur soll nicht den Umfang der Erfindung beschränken. Tatsächlich umfassen die Spektralbereiche, welche in anderen Ausführungsformen der Erfindung ausgewertet werden können, ohne daß hierauf ein Beschränkung vorliegt, den sichtbaren Bereich (annähernd 0,4 bis 0,8 μm), den kurzwelligen Infrarotbereich (SWIR annähernd 0,8 bis 3 μm), den mittelwelligen Infrarotbereich (MWIR, annähernd 3 bis 8 μm), den langwelligen Infrarotbereich (LWIR, annähernd 8 bis 12 μm), den sehr langwelligen Infrarotbereich (VLWIR, annähernd 12 bis 20 μm) und den fernen Infrarotbereich (FIR, annähernd 20 bis 2000 μm). UV-Detektoren können auch von der Lehre nach der vorliegenden Erfindung profitieren.
  • Ein Zweifarbendetektor 1 ist schematisch innerhalb des in unterbrochenen Linien gezeichneten Blockes von 2A dargestellt, welche eine Einheitszelle 10 gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt. Ein vereinfachtes Zeitdiagramm für die Einheitszelle von 2A ist in 2B gezeigt. Es versteht sich, daß die Einheitszelle 10 eine charakteristische Zelle aus einer Vielzahl identischer Einheitszellen ist, welche in horizontalen Reihen oder Zeilen und vertikalen Spalten innerhalb einer Brennebenen-Gruppenanordnung (FPA) geordnet sind. In der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Einheitszellen längs jeder Spalte der Brennebenen-Gruppenanordnungen der Reihe nach Zeile um Zeile mit einer ladungsdetetktieren den Differenzialverstärkerschaltung einer Art gekoppelt, wie sie in 3A dargestellt ist. Beispielsweise sind für eine Brennebenen-Gruppenanordnung mit N Zeilen oder Reihen und M, Spalten M der ladungsdetektierenden Diffenenzialverstärkerschaltungen vorgesehen, deren Ausgänge typischerweise der Reihe nach im Multiplexverfahren an einen Auslesebus der Brennebenen-Gruppenanordnung gelegt werden. In dieser Weise werden sämtliche Einheitszellen aus einer ersten Zeile oder der Zeile i gleichzeitig durch die M ladungsdetektierenden Differenzialverstärkungsschaltungen verarbeitet und dann der Reihe nach von der Brennebenen-Gruppenanordnung ausgegeben, während sämtliche der Einheitszellen von der nächsten Zeile oder Reihe (Reihe i + 1) gleichzeitig ihre Eingänge an die M ladungsdetektierenden Differenzialverstärkerschaltungen geben und diese Eingänge eine Verarbeitung dort erfahren.
  • In der Einheitszelle 10, welche in 2A gezeigt ist, sind der LW-Detektor (Band-1-Detektor) und der MW-Detektor (Band-2-Detektor) gegeneinander geschaltet (d. h. Anode zu Anode). Der LW-Detektor erzeugt den Fotostrom ilw in Abhängigkeit der langwelligen Infrarotstrahlung (λ1), und der MW-Detektor erzeugt gleichzeitig den Fotostrom imw in Abhängigkeit von der mittelwelligen Infrarotstrahlung (λ2). Die Kathode des LW-Detektors ist über den Transistor M1 mit einem Integrationskondensator C1 verbunden, der wiederum an einen Auslesetransistor M2 angeschlossen ist. Der Ausgang des Transistors M2 ist ein integrierter LW-Fotostrom, der in den ladungsdetektierenden Differnzialverstärker 22 der Einheitszellen-Ausleseschaltung 20 eingegeben wird, welche in 3A gezeigt ist. Ein LW-Vorspannungsteuersignal wird an die Gateelektrode des Transistors M1 gelegt und ein Auslese-LW-Zeitgabesignal wird an die Gateelektrode des Transistors M2 geführt. Die Anoden sowohl des LW-Detektors als auch des MW-Detektors sind über einen Transistor M3 mit einem Integrationskondensator C2 verbunden, der seinerseits mit einem Auslesetransistor M4 verbunden ist. Der Ausgang des Transistors M4 ist ein integrierter (LW + MW)-Fotostrom der in den ladungsdetektierenden Differnenzialverstärker 22 der Einheitszellen-Ausleseschaltung 22 von 3A eingegeben wird. Ein MW-Vorspannungssteuersignal wird an die Gateelektrode des Transistors M3 gelegt und ein Auslese-MW-Zeitgabesignal wird der Gateelektrode des Transistors M4 zuge führt. Die Kathode des MW-Detektors kann an das Detektor-Substratpotential gelegt sein.
  • Im einzelnen ist zu sagen, daß der LW-Fotostrom von dem LW-Detektor durch den MOS-Feldeffekttransistor (MOSFET) M1 fließt, der als herkömmlicher Direkt-Injektionspuffer wirkt, und in dem Kondensator C1 integriert wird. Gleichzeitig fließt der (LW + MW)-Fotostrom von dem MW-Detektor und dem LW-Detektor durch den MOSFET M3 (ein weiterer Direkt-Injektionspuffer) und wird in dem Kondensator C2 integriert. Die Detektorvorspannungen und die Zeitsteuerung der Integrationszeiten für die beiden Detektoren werden durch die Signale gesteuert, welche zu den Gateelektroden der beiden Puffertransistoren geführt werden, im einzelnen die LW- und MW-Vorspannungssteuerungssignale. Es ist möglich, den MW-Fotostom alleine, und nicht den LW-Fotostrom während bestimmter Abschnitte der Gesamtintegrationszeit zu integrieren. Dies geschieht durch Zuführung geeigneter Signale zu den Gateelektroden der Puffertransistoren M1 und M3. Beispielsweise kann die LW-Fotodiode ausgeschaltet werden, indem ein geeigneter Steuersignalpegel an die Gateelektrode des Transistors M1 gelegt wird. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein zusätzlicher Transistor M5, der parallel zu dem LW-Detektor geschaltet ist, nur dann eingeschaltet sein, wenn der MW-Detektor integriert. Das Einschalten des Transistors M5 bewirkt das Anlegen eines Kurzschlusses um den LW-Detektor und damit wirkungsmäßig eine Null-Vorspannung desselben. Bei einer Null-Vorspannung und unter der Annahme, daß die LW-Fotodiode durch den Transistor M1 ausgeschaltet worden ist, summieren sich keine anomalen Leckströme oder andere Ströme zu dem MW-Fotostrom. Dies hat das Ergebnis, das der im Kondensator C2 integrierte Strom nur der MW-Fotostrom ist. Diese Anordnung vermindert ein spektrales Nebensprechen oder eine spektrale Interferenz und bietet weitere Vorzüge.
  • Der Transistor M2 stellt die Spannung am Kondensator C1 zu Beginn einer Integrationsperiode zurück und dient zum Auslesen des integrierten LW-Ladungssignales zu dem je Spalte vorgesehenen ladungsdetektierenden Differenzialverstärker 20, wel cher in 3A gezeigt ist. Der Transistor M4 erfüllt dieselbe Funktion für den Kondensator C2.
  • Wie man aus dem Zeitdiagramm von 2B erkennen kann, kann die MW-Integrationsperiode bedeutend länger sein, als die LW-Integrationsperiode, welche dann innerhalb der MW-Integrationsperiode gelegen ist. Obwohl nur eine LW-Integrationsperiode gezeigt ist, kann innerhalb der MW-Integrationsperiode, falls gewünscht ein Mehrzahl von LW-Integrationsperioden vorgesehen sein. Die LW-Integrationsperiode wird durch Ausschalten des Transistors M5 initiiert, indem das Null-Vorspannungs-LW-Detektorsignal auf niedrigen Pegel gebracht wird. Dies beseitigt den Kurzschluß um den LW-Detektor herum und ermöglicht es, daß der LW-Fotostrom im Kondensator C1 (und auch im Kondensator C2 integriert wird).
  • Die gegenwärtig bevorzugte Ausführungsform des je Spalte vorgesehenen ladungsdetektierenden Differenzialverstärkers (CSDA) 20 ist in 3A dargestellt. Der CSDA-Differenzialverstärker 20 besteht aus einer ladungsdetektierenden Verstärkerschaltung 22, einem Haltekreis 24 (gegebenenfalls vorgesehen) und einer Tast- und Halteschaltung (S/H) 26. Der ladungsdetektierende Differenzialverstärker 20 ist eine kapazitiv gekoppelte Verstärkerschaltung mit dualen Eingängen, welche präzis den Unterschied zwischen den Ladungssignalen mißt, die zu verschiedenen Zeiten an die zwei Eingangsanschlüsse InputMW und InputLW gelegt werden. Der CSDA-Differenzialverstärker 20 stellt eine Verbesserung gegenüber der Schaltung dar, die in dem ebenfalls übertragenen US-Patent 5,043,820 (27. August 1991) mit dem Titel "Focal Plane Array Readout Employing One Capacitive Feedback Transimpedance Amplifier for Each Column", von R.H. Wyles et al. beschrieben ist, wobei die Offenbarung dieser Schrift hier in der Gesamtheit durch Bezugnahme einbezogen sei.
  • Es sein nun auch auf 2A Bezug genommen. Der CSDA-Differenzialverstärker 20 arbeitet in einer zweistufigen Folge. Zuerst wird das LW-Signal von der Einheitszelle (Kondensator C1) über den Transitor M2 abgelesen und in den Eingang Input LW eingegeben und das resultierende LW-Spannungssignal vom Ausgang des Verstärkers 22 und der Halteschaltung 24 wird in dem LW-Teil der Tastungs- und Haltungsschaltung 26 gespeichert. Als nächstes wird das (LW + MW)-Signal von der Einheitszelle (Kondensator C2) über den Transistor M4 abgelesen und in den Eingang Input MW eingegeben. Der ladungsdetektierende Differenzialverstärker 22 erzeugt an seinem Ausgang das Differenzsignal ((LW + MW) – LW = MW). Das Differenz-Spannungssignal wird in dem MW-Teil der Tastungs- und Halteschaltung 26 gespeichert. Die Ladungssubtraktion kann mit hoher Präzision durchgeführt werden, wenn der Verstärkungsgewinn der offen Schleife des ladungsdetektierenden Differenzialverstärkers 22 sehr hoch gemacht wird (beispielsweise 500 bis 1000), und wenn die beiden Kondensatoren Cfbl und Cfbm so hergestellt sind, daß sie im wesentlichen gleichen Wert haben (beispielsweise 1 pF).
  • Es sein jetzt auch 3B betrachtet. Der Ablesungszyklus beginnt eine bestimmte Zeit, nachdem die Einheitszellen ihre Signale integriert haben, wobei die aufintegrierten Signalladungen in den Kondensatoren C1 und C2 innerhalb jeder Einheitszelle gespeichert sind. Die Transistoren M2 und M4 sind ausgeschaltet, wodurch die integrierte Ladung im Kondensator C1 bzw. C2 gehalten wird. Zuerst werden der Verstärker 22 und der Haltekreis 24 zurückgesetzt oder rückgestellt, wenn die Transistoren M8 und mM13 durch die Signale ϕRSTAMP bzw. ϕCLAMP zurückgestellt werden. Die Transistoren M6 und M7 werden durch die Signale ϕRSTUCL bzw. ϕRSTUCM ebenfalls jeweils eingeschaltet, um die Vertikal-Einheitszellen-Busleitungen (Input MW und Input LW) auf die Einheitszellen-Rücksetzspannungen VRSTUCL bzw. VRSTUCM zu treiben. Diese Busleitungen sind gemeinsam an jede Einheitszelle 10 innerhalb der Spalte angeschlossen. Auf diese Weise wird der Eingang Input LW auf die Rücksetzspannung für den Kondensator C1 getrieben und der Eingang Input MW wird auf die Rücksetzspannung für den Kondensator C2 getrieben. Die Transistoren M8, M13 und M6 werden dann ausgeschaltet und der Transistor M7 bleibt eingeschaltet, was den Verstärker 22 in den ladungsdetektierenden Betrieb für den Eingang Input LW bringt. Der Transistor M2 wird durch das Signal (read LW) eingeschaltet, wodurch das integrierte LW-Ladungssignal zu dem Eingang Input LW gegeben wird.
  • Nachdem sich die Verstärkerschaltkreise beruhigt haben, erscheint das LW-Spannungssignal, das an dem Kondensator Cfbl auftritt, in gleicher Weise an dem Kondensator Cfbm. Das Auftreten eines gleichen LW-Spannungssignales auch an dem Kondensator Cfbm ist wichtig für die nachfolgende Ladungssubtraktionsoperation, wie in Kürze beschrieben wird. Das LW-Spannungssignal, welches an dem Ausgangsknotenpunkt (No) des Verstärkers 22 auftritt, wird dann getastet und in dem Kondensator Chold 1 für eine spätere Auslesung über die gegebenenfalls vorgesehene Halteschaltung 24 und ein Übertragungsgatter gespeichert, das aus parallelgeschalteten MOSFET-Transistoren M18 und M19 mit N- und P-Kanal besteht.
  • Zu dieser Zeit ist der Transistor M7 ausgeschaltet und der Transistor M6 ist eingeschaltet. Dies bringt den Verstärker 22 in einen ladungsdetektierenden Betrieb für den Eingang Input MW. Der Transistor M4 (2A) wird durch das READ-MW-Signal eingeschaltet, wodurch das (LW + MW) Ladungssignal an den Eingang Input MW des Verstärkers 22 geliefert wird. Das (LW + MW)-Signal wird dann von dem LW-Signal subtrahiert, das zuvor in der Rückkopplungskapazität Cfbm gespeichert worden war, so daß als Differenzsignal ein Potential erzeugt wird, daß die Größe des integrierten MW-Fotostromes allein reflektiert. Nachdem sich die Schaltung beruhigt hat, wird das resultierende verstärkte Spannungssignal (MW allein) an dem Schaltungsknotenpunkt No getastet und über die gegebenenfalls vorgesehene Halteschaltung 24 und das Übertragungsgatter aus den Transistoren M16 und M17 in dem Kondensator Choldm festgehalten. An diesen Punkt können die Signale in den Kondensatoren Choldl und Choldm von der Brennebenen-Gruppenanordnung (FPA) unter Verwendung herkömmlicher Multiplexverfahren ausgelesen werden und zu einer geeigneten Schaltung geliefert werden, um eine gewünschte Art oder gewünschte Arten der Signalverarbeitung und/oder Bildbearbeitung durchzuführen.
  • 3C ist ein vereinfachtes schematisches Schaltbild der je Spalte vorgesehenen Ausleseschaltung von 3A und zeigt die Verbindung der Rückkopplungskapazitäten relativ zu dem Eingangsknotenpunkt (Ni) des Spannungsverstärkers hohen Verstärkungsgewinns (AMP). Es sei bemerkt, daß die MW-Tastungs- und Halteschaltung nur wunschgemäß vorgesehen ist, da das MW-Signal auch unmittelbar an dem Ausgangspunkt No des Verstärkers 22 abgelesen werden kann. Ein "Auto-Null-Kondensator" Cazl bewirkt, daß die Spannung an dem Eingang Input LW auf dem Rücksetzpegel während des Ablesezyklus konstant bleibt, so daß die ganze LW-Spannung, welche in der Einheitszelle integriert worden ist, dem Kondensator Cfbl aufgeprägt wird. Der Kondensator Cazm führt dieselbe Funktion für das MW-Signal aus. Die Kondensatoren Cpchgl (Vorladung LW) und Cpchgm (Vorladung MW) sind nach Belieben vorgesehene Kondensatoren, welche eine Gleichstrompegel-Verschiebungsfunktion an dem Ausgang des Verstärkers 22 unter der Steuerung des Signales ϕPCHGAMP (Voraufladung der Verstärker) durchführen. Wird es verwendet, so wird das ?PCHGAMP-Signal einmal je Zeilenausleseperiode geschaltet. Die Transistoren M9 und M10 bilden eine Kaskadenverstärker-Treiberschaltung, wobei die Gateelektrode des Transistors M9 der Eingangsknotenpunkt (Ni) des Verstärkers ist. Die Transistoren M11 und M12 bilden eine Strom-Source-Last für den Verstärker. Der Kondensator Cbl hat die Funktion eines Bandbegrenzungskondensators (Filterkondensators). Der Transistor M14 hat die Funktion eines nach Belieben vorgesehenen Source-Folgepuffers und kann vorgesehen sein, wenn der Haltekreis 24 verwendet wird oder auch nicht. Im allgemeinen kann der Haltekreis 24 verwendet werden, um die Störung zu reduzieren, welche aus dem Vorhandensein eines Vestärkerrücksetzstörungssockels resultiert. Der Transistor M15 ist die Strom-Source-Last für den Transistor M14.
  • 4 ist eine Grafik, welche ein Beispiel der spektralen Nebensprechdaten oder Interferenzdaten zeigt, wie sie mit der in den 2A und 3A offenbarten Schaltungsanordnung erreicht werden. Die Daten zeigen deutlich einen niedrigen Pegel des spektralen Nebensprechens oder der spektralen Interferenz in dem MW-Signal, das aus der Ladungssubtraktionsoperation abgeleitet wird.
  • Es sei darauf hingewiesen, daß 3A eine mögliche Konfiguration der Schaltungsanordnung nach der Erfindung verdeutlicht und daß eine Anzahl von Modifikationen der dargestellten Schaltungen vom Fachmann in Betracht gezogen wird. Das heißt, daß beispielsweise eine Anzahl von äquivalenten Schaltungsarchitekturen zur Verwirk lichung der (nach Belieben vorgesehenen) Gleichstrompegel-Verschiebungsschaltung (Cpchgl und Cpchgm), der Verstärkertreiberschaltung (M9 und M10), der Verstärker-Strom-Source-Belastungsschaltung (M15), der (nach belieben vorgesehenen) Halteschaltung 22, der (nach Belieben vorgesehenen) Source-Folge-Pufferschaltung (M14), des LW-Tastungs- und Haltekreises (M18, M19, Choldl, M21), und der (nach Belieben vorgesehenen) MW-Tastungs- und Halteschaltung (M16, M17, Choldm, M20) gegeben ist. Es wird somit deutlich, daß die Erfindung in der Weise ausgeübt werden kann, daß nur die Versträrkertreiberschaltung (M9 und M10) und die zugehörigen Eingangs- und Rücksetzschaltungen einschließlich der Rückkopplungskapazitäten Cfbl und Cfbm, der Verstärker-Strom-Source-Belastungsschaltung (M11 und M12) und der LW-Tastungs- und Halteschaltung (M18, M19, Choldl, M21) vorgesehen sind.
  • Es ist weiter zu erkennen, daß zwar die Erfindung im Zusammenhang mit einer Zweifarben-Fotodetektorarchitektur beschrieben worden ist, die Lehren der vorliegenden Erfindungen aber ebensogut mit geeigneten Modifikationen auf Fotodetektorarten anwendbar sind, welche in der Lage sind, drei oder mehr Spektralbänder zu detektieren. Außerdem ist die Lehre nach der Erfindung auf Strahlungsdetektoren anwendbar, welche eine einzige Einheitszelle aufweisen, und auch auf lineare Gruppenanordnungen von Einheitszellen.

Claims (6)

  1. Verfahren zum Betrieb eines gleichzeitig aktiven Zweifarben-Detektors einer Art, bei der eine erste Photodiode (LW) zum Detektieren eines ersten Spektralbandes an einem gemeinsamen Schaltungspunkt mit einer zweiten Photodiode (MW) zum Detektieren eines von dem ersten Spektralband verschiedenen zweiten Spektralbandes verbunden ist und ein zweiter Schaltungspunkt der ersten Photodiode (LW) mit einer ersten Kapazität (C1) gekoppelt ist und der gemeinsame Schaltungspunkt mit einer zweiten Kapazität (C2) gekoppelt ist, mit folgenden Schritten: Abschalten und Null-Vorspannen der ersten Photodiode (LW) bei gleichzeitigem Integrieren eines Photostromes (IMW), der nur durch die zweite Photodiode (MW) erzeugt wird, während eines ersten Teiles einer Integrationsperiode; und Einschalten und Entfernen der Null-Vorspannung des ersten Photodetektors (LW) und Integrieren eines Photostromes (ILW), der durch die erste Photodiode (LW) erzeugt wird, und des Photostromes (IMW), der durch die zweite Photodiode (MW) erzeugt wird, bei gleichzeitigem Integrieren des Photostromes (ILW), der nur durch die erste Photodiode (LW) erzeugt wird, während eines zweiten Teiles der Integrationsperiode; gekennzeichnet durch folgende Schritte: Koppeln der ersten Kapazität (C1) mit einer Ausleseschaltung (20) während eines ersten Teiles einer Ausleseperiode, welche der Integrationsperiode folgt; Speichern und Verstärken eines ersten Potentials in der Ausleseschaltung (20), welches aus dem integrierten Photostrom an der ersten Kapazität (C1) resultiert; Koppeln der zweiten Kapazität (C2) mit der Ausleseschaltung (20) während eines zweiten Teiles der Ausleseperiode; Subtrahieren eines zweiten Potentials, das aus dem integrierten Photostrom an der zweiten Kapazität (C2) resultiert, von dem gespeicherten ersten Potential in der Ausleseschaltung (20) zur Erzeugung eines Differenzpotentials; und Verstärken des Differenzpotentials in der Ausleseschaltung (20).
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Speicherns und Verstärkens des ersten Potentials einen Schritt des Tastens und Festhaltens des verstärkten ersten Potentials umfaßt.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem der Schritt des Verstärkens des Differenzpotentials einen Schritt des Tastens und Festhaltens des verstärkten Differenzpotentials umfaßt.
  4. Fokalebenen-Gruppenanordnung mit einer Anzahl gleichzeitig aktiver Zweifarben-Detektor-Einheitszellen (1, 10), welche in Reihen und Spalten von Einheitszellen angeordnet sind, wobei jede Einheitszelle folgendes enthält: eine erste Photodiode (LW) zum Detektieren eines ersten Spektralbandes, welche mit einer zweiten Photodiode (MW) zum Detektieren eines von dem ersten Spektralband verschiedenen zweiten Spektralbandes an einem gemeinsamen Schaltungspunkt verbunden ist, wobei ein zweiter Schaltungspunkt der ersten Photodiode mit einer ersten Kapazität (C1) gekoppelt ist und der gemeinsame Schaltungspunkt mit einer zweiten Kapazität (C2) gekoppelt ist; und einen ersten Schalter (M5), der zwischen den gemeinsamen Schaltungspunkt und den genannten zweiten Schaltungspunkt geschaltet ist und so ausgebildet ist, daß er einen Kurzschluß um die erste Photodiode (LW) herum in seinem Schließzustand erzeugen kann und in seinem Öffnungszustand den genannten gemeinsamen Schaltungspunkt und den genannten zweiten Schaltungspunkt voneinander trennt; wobei dieser erste Schalter (M5) während eines ersten Teils einer Integrationsperiode in der Weise wirksam ist, daß er einen Kurzschluß um die erste Photodiode herum erzeugt, was eine Integration eines nur von der zweiten Photodiode erzeugten Photostromes an der zweiten Kapazität ermöglicht, und wobei der erste Schalter während mindestens eines zweiten Teiles der Integrationsperiode in der Weise wirksam ist, daß er den erzeugten Kurzschluß beseitigt und eine Integration eines durch die erste Photodiode erzeugten Photostromes und des durch die zweite Photodiode erzeugten Photostromes an der zweiten Kapazität ermöglicht, während er gleichzeitig eine Integration des nur durch die erste Photodiode erzeugten Photostromes an der ersten Kapazität ermöglicht; dadurch gekennzeichnet, daß sie weiter folgendes enthält: eine Anzahl von Ausleseschaltungen (20), welche jeweils einen Verstärker (AMP) enthalten wobei einzelne der Ausleseschaltungen schaltbar mit einzelnen der Einheitszellen innerhalb einer Spalte von Einheitszellen gekoppelt sind; wobei die Einheitszelle weiter einen zweiten Schalter (M2) enthält, der während eines ersten Teiles einer Ausleseperiode, welche auf die Integrationsperiode folgt, wirksam ist und die erste Kapazität mit einer der Mehrzahl von Ausleseschaltungen koppelt, welche mit einer Spalte gekoppelt ist, welche die Einheitszelle enthält, wobei die Ausleseschaltung ein Speicherschaltungselement (Cfbl) zur Speicherung eines ersten Potentials enthält, das aus dem integrierten Photostrom an der ersten Kapazität resultiert und wobei das Speicherschaltungselement mit einem Eingang des Verstärkers gekoppelt ist, in welchem das erste Potential verstärkt wird; und wobei die Einheitszelle weiter einen dritten Schalter (M4) enthält, der während eines zweiten Teils der Ausleseperiode betrieben wird und der die zweite Kapazität mit der Ausleseschaltung koppelt, welche mit der Spalte gekoppelt ist, welche die Einheitszelle enthält, wobei die Ausleseschaltung ein zweites Potential, das aus dem integrierten Photostrom an der zweiten Kapazität resultiert, von dem gespeicherten ersten Potential subtrahiert, um ein Differenzpotential zu erzeugen.
  5. Fokalebenen-Gruppenanordnung nach Anspruch 4, bei welcher die Ausleseschaltung weiter einen Tastungs- und Haltekreis (26) enthält, der das verstärkte erste Potential speichert.
  6. Fokalebenen-Gruppenanordnung nach Anspruch 5, bei welcher der Tastungs- und Haltekreis (26) weiter das verstärkte Differenzpotential speichert.
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