DE696374C

DE696374C - Kuehlvorrichtung fuer die Saugleitung von Diffusionspumpen

Info

Publication number: DE696374C
Application number: DE1938S0130856
Authority: DE
Inventors: Dipl-Ing Heinz Otto Mueller
Original assignee: Siemens and Halske AG; Siemens AG
Current assignee: Siemens and Halske AG; Siemens AG
Priority date: 1938-02-16
Filing date: 1938-02-16
Publication date: 1940-09-19

Description

Kühlvorrichtung für die Saugleitung von Diffusionspumpen Zur Herstellung eines Hochvakuums, beispielsweise in elektrischen Gleichrichtergefäßen oder in Elektronenmikroskopejn, be= dient man sich im allgemeinen einer Diffusionspumpe. Um zu verhindern, daß aus einer solchen Pumpe Quecksilber- oder Öldampf in den Rezipienten eindringt, hat man sog. Kühlfallen vorgesehen, in denen der aus der Pumpe stammende Quecksilber- :oder Öldampf kondensiert wird. Es bereitet gewisse Schwierigkeiten, derartige aus Glas bestehende Kühlfallen in die Pumpleitung einzuschalten, wenn diese aus Metall besteht. Durch die Anwendung der Erfindung können diesle Schwierigkeiten vermieden werden.
Gemäß .der Erfindung besteht die Kühlvorrichtung für die Saugleitung von Diffusionspumpen zur Kondensation des aus der Pumpe in den Rezipienten vordringenden Quecksilber- oder Öldampfes aus einem dünnwandigen Rohr, das' außenseitig für den Durchtritt eines Kühlmittels in bekannter Weise ummantelt ist und in dessen. Innerem ein das Röhr erfüllender metallischer Rippenkörper angeordnet ist. Der Rippenkörper kann aus in der Mitte verbundenen Rippen bestehen, an denen die Quecksilber- oder Öl= dämpfeavorbeistreichen und bis zur Kondensation abkühlen. Zum Schutz gegen Oxydationen kann der zweckmäßig ,aus Kupfer bestehende Körper vernickelt werden. Zum Zwecke guter Kühlung der Quecksilber- oder Öldämpfe muß der Abstand klein und die Oberfläche der Rippen groß gehalten werden, während andererseits eine zu starke Drosselwirkung in der Hochvakuumleitung vermieden werden muß. Als optimaler Rippenabstand hat sich !ein solcher von etwa 5 ... i o mm erwiesen.
Die Erfindung ist in der Zeichnung in einem axialen und in einem radialen Schnitt dargestellt.
In den Figuren ist das dünnwandige Röhr;' das in die Saugleitung der Diffusionspumpe geschaltet wird, mit a bezeichnet. Zur Aufnahme des Kühlmittels dient ein Kühlmantel b, die Zuführung und Ableitung des Kühlmittels erfolgt .durch die Rohrstutzen c. Man kann als Kühlmittel beispielsweise Wasser verwenden. Lediglich in den Fällen, in denen das Röhr a aus Eisen besteht, empfilehlt es sich, eine wasserstoffionenfreie Flüssigkeit zu verwenden, da bekanntlich die Wasserstoffionen dies Kühlwassers die Fähigkeit haben, durch Eisenwände hindurchzudiffundieren. Im Innern des Rohres a ist ein Körperd angeordnet, der aus parallelen, mit einem Steg verbundenen Kupferrippen besteht und zweckmäßig vernickelt wird. Um zu erreichen, daß das kondensierte Quecksilber oder öl in die Pumpe zurückfließt, wird man die Kühlvorrichtung derart in die Pumpeinrichtung einbauen, daß ihre Längsachse eine geringe NTeigung von etwa 2° aufweist, oder es wird auf der Seite des Rezipienten innen ein ringförmiger Vorsprung e vorgesehen, der das Eindringen des Quecksilbers oder öls in den Rezipienten verhindert.
Kühlvorrichtungen gemäß der Erfindung können grundsätzlich bei der Evakuierung beliebiger =Gefäße angewendet werden. Bei der Herstellung eines Hochvakuums in Elektronenmikroskopen ergibt sich bei Verwendung von Quecksilberpumpen noch der be-`"sondere Vorteil, daß durch eine .entsprechende Anordnung der Kühlvorrichtung das Quecksilber noch vor dem zwischen Pumpe und Elektronenmikroskop befindlichen Federkörper kondensiert wird, so daß dessen verhältnismäßig leicht durch Amalgambildung zerstörbare Lötverbindungen sicher geschützt sind.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Kühlvorrichtung für die Saugleitung von Diffusionspumpen zur Kondensation des aus der Pumpe in 'den Rezipienten, vordringenden Quecksilber- oder öldampfes, gekennzeichnet durch ein dünnwandiges Rohr (a), das außenseitig für den Durchtritt eines Kühlmittels in bekannter Weise ummantelt ist und in dessen Innerem ein das Rohr erfüllender metallischer Rippenkörper (d) angeordnet ist.
2. Kühlvorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Rippenkörper aus einem den Querschnitt des Rohres in zwei Hälften unterteilenden Steg und damit fest verbundenen, senkrecht zum Steg und untereinander parallel liegenden Rippen besteht.
3. Kühlvorrichtung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Rippenkörper aus zweckmäßig vernickeltem Kupfer besteht.