DE69513316T2 - Hallelement zum Erfassen eines Magnetfeldes senkrecht zum Substrat - Google Patents
Hallelement zum Erfassen eines Magnetfeldes senkrecht zum SubstratInfo
- Publication number
- DE69513316T2 DE69513316T2 DE69513316T DE69513316T DE69513316T2 DE 69513316 T2 DE69513316 T2 DE 69513316T2 DE 69513316 T DE69513316 T DE 69513316T DE 69513316 T DE69513316 T DE 69513316T DE 69513316 T2 DE69513316 T2 DE 69513316T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- detecting
- substrate
- magnetic field
- hall element
- field perpendicular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N52/00—Hall-effect devices
- H10N52/101—Semiconductor Hall-effect devices
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03866794A JP3583458B2 (ja) | 1994-03-09 | 1994-03-09 | ホール素子 |
JP03866894A JP3588476B2 (ja) | 1994-03-09 | 1994-03-09 | ホール素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69513316D1 DE69513316D1 (de) | 1999-12-23 |
DE69513316T2 true DE69513316T2 (de) | 2000-05-11 |
Family
ID=26377942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69513316T Expired - Lifetime DE69513316T2 (de) | 1994-03-09 | 1995-03-08 | Hallelement zum Erfassen eines Magnetfeldes senkrecht zum Substrat |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5548151A (de) |
EP (1) | EP0671773B1 (de) |
DE (1) | DE69513316T2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102020120803B3 (de) | 2020-08-06 | 2022-01-13 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Hall-Sensor |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE308761T1 (de) | 1998-03-30 | 2005-11-15 | Sentron Ag | Magnetfeldsensor |
HU222164B1 (hu) * | 2000-02-04 | 2003-04-28 | Tibor Gajdár | Mágneses réteggel ellátott jegy és ehhez illeszkedő jegykiadó, jegykezelő és jegyellenőrző berendezés |
DE10144268B4 (de) * | 2001-09-08 | 2015-03-05 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Messung der Stärke einer Vektorkomponente eines Magnetfeldes |
DE10240404A1 (de) * | 2002-09-02 | 2004-03-18 | Austriamicrosystems Ag | Hall-Sensor und Verfahren zu dessen Betrieb |
JP4624787B2 (ja) * | 2002-09-10 | 2011-02-02 | メレクシス テッセンデルロ エヌヴィ | ホール素子を備える磁界センサ |
US6903429B2 (en) * | 2003-04-15 | 2005-06-07 | Honeywell International, Inc. | Magnetic sensor integrated with CMOS |
DE102005051306A1 (de) * | 2004-10-28 | 2006-06-08 | Denso Corp., Kariya | Vertikale Hallvorrichtung und Verfahren zur Einstellung der Offsetspannung einer vertikalen Hallvorrichtung |
DE102006017910A1 (de) * | 2006-04-18 | 2007-10-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vertikales Hall-Sensorelement |
US9013167B2 (en) | 2010-11-09 | 2015-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Hall effect device having voltage based biasing for temperature compensation |
DE102011002580A1 (de) * | 2011-01-12 | 2012-07-12 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Hall-Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
US9222991B2 (en) * | 2012-06-22 | 2015-12-29 | Infineon Technologies Ag | Vertical hall device comprising a slot in the hall effect region |
EP2746799B1 (de) | 2012-12-20 | 2016-04-20 | Nxp B.V. | Halbleiter-Magnetfeldsensoren |
US9548443B2 (en) | 2013-01-29 | 2017-01-17 | Allegro Microsystems, Llc | Vertical Hall Effect element with improved sensitivity |
US9164155B2 (en) | 2013-01-29 | 2015-10-20 | Infineon Technologies Ag | Systems and methods for offset reduction in sensor devices and systems |
US9099638B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-08-04 | Allegro Microsystems, Llc | Vertical hall effect element with structures to improve sensitivity |
KR102019514B1 (ko) * | 2013-06-28 | 2019-11-15 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 반도체 기반의 홀 센서 |
US9291648B2 (en) | 2013-08-07 | 2016-03-22 | Texas Instruments Incorporated | Hybrid closed-loop/open-loop magnetic current sensor |
US9312473B2 (en) | 2013-09-30 | 2016-04-12 | Allegro Microsystems, Llc | Vertical hall effect sensor |
US9605983B2 (en) | 2014-06-09 | 2017-03-28 | Infineon Technologies Ag | Sensor device and sensor arrangement |
US9823168B2 (en) | 2014-06-27 | 2017-11-21 | Infineon Technologies Ag | Auto tire localization systems and methods utilizing a TPMS angular position index |
GB2531536A (en) | 2014-10-21 | 2016-04-27 | Melexis Technologies Nv | Vertical hall sensors with reduced offset error |
DE102018106037B4 (de) | 2018-03-15 | 2023-03-30 | Infineon Technologies Ag | Mehr-Kontakt-Hall-Platte und Verfahren zum Betreiben derselben |
DE102019004060B3 (de) | 2019-06-11 | 2020-05-07 | Tdk-Micronas Gmbh | lsolierte Hallsensorstruktur |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH662905A5 (de) * | 1983-12-19 | 1987-10-30 | Landis & Gyr Ag | Integrierbares hallelement. |
CH668146A5 (de) * | 1985-05-22 | 1988-11-30 | Landis & Gyr Ag | Einrichtung mit einem hallelement in integrierter halbleitertechnologie. |
-
1995
- 1995-02-07 US US08/385,058 patent/US5548151A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-03-08 EP EP95301517A patent/EP0671773B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-03-08 DE DE69513316T patent/DE69513316T2/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102020120803B3 (de) | 2020-08-06 | 2022-01-13 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Hall-Sensor |
US11662400B2 (en) | 2020-08-06 | 2023-05-30 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev | Hall sensor with hall elements measuring magnetic field components perpendicularly to the substrate surface |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5548151A (en) | 1996-08-20 |
EP0671773A2 (de) | 1995-09-13 |
EP0671773A3 (de) | 1996-04-10 |
EP0671773B1 (de) | 1999-11-17 |
DE69513316D1 (de) | 1999-12-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69513316D1 (de) | Hallelement zum Erfassen eines Magnetfeldes senkrecht zum Substrat | |
DE59107105D1 (de) | Anordnung zum Detektieren eines bewegten ferromagnetischen Elements | |
DE69925573D1 (de) | Magnetischer F?hler hergestellt auf einem halbleitenden Substrat | |
DE69502512T2 (de) | Magnetischer Lagesensor mit Hallsonde | |
DE69810797D1 (de) | Magnetische vorrichtung zum erfassen einer fahrzeugposition | |
DE69315544T2 (de) | Integrierter Beschleunigungsmesser mit zum Substrat paralleler Messachse | |
DE69219750D1 (de) | Magnetoresistiver Fühler für schwache Magnetfelder | |
DE69316099D1 (de) | Magnetoresistiver Sensor mit antiferromagnetischer Schicht zur Austausch-Vormagnetisierung | |
DE3852348D1 (de) | Gegenstand zum Schützen eines Substrats. | |
DE69417504T2 (de) | Vorrichtung zum nachweis von oberflächenfehlern | |
DE69121747D1 (de) | Einrichtung zum Halten eines Substrats | |
DE59109165D1 (de) | Anordnung zum Messen eines flussarmen Magnetfeldes | |
DE69736463D1 (de) | Vorrichtung zum erfassen eines magnetfeldes | |
DE69516215T2 (de) | Magneto-Widerstandseffekt-Dünnfilmmagnetkopf | |
DE69304878T2 (de) | Halbleitersensor zum Erfassen einer physikalischen Grösse | |
ATE240880T1 (de) | Abgabeeinrichtung einer zusammensetzung mit konzentrationsgradienten | |
DE69218883D1 (de) | Schaltung zum Detektieren eines Magnetfeldes | |
DE59808799D1 (de) | Linearlager mit einer Einrichtung zum Messen | |
DE69617826D1 (de) | Anordnung zum Markieren der Position | |
DE69520642T2 (de) | Permanentmagnetanordnung mit einem magnetoresistiven MR Sensorelement | |
DE59403060D1 (de) | Sensoreinrichtung zum Sensieren einer Bedrohung | |
DE59304760D1 (de) | Anordnung zur geometrieerfassung mit hall-elementen | |
DE69116736T2 (de) | System zum Messen eines Magnetfeldes mit Hilfe eines Supraleitermagnetwiderstandselementes | |
ATE187584T1 (de) | Anordnung zum dichten umschliessen eines substrates | |
DE29609570U1 (de) | Schaltung zum Erfassen des Aussertrittfallens eines Schritt- oder Synchronmotors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Representative=s name: LEINE WAGNER DR. HERRGUTH, 30163 HANNOVER |