DE69500841T2

DE69500841T2 - Anode für einen flachen bildschirm

Info

Publication number: DE69500841T2
Application number: DE69500841T
Authority: DE
Inventors: Marie-Dominique Bruni
Original assignee: Pixtech SA
Current assignee: Pixtech SA
Priority date: 1994-07-26
Filing date: 1995-07-25
Publication date: 1998-02-12
Anticipated expiration: 2015-07-26
Also published as: EP0720776A1; JPH09503337A; DE69500841D1; FR2723254A1; EP0720776B1; WO1996003765A1; FR2723254B1; US5785570A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anode für einen flach-ebenen Anzeige- bzw. Bildschirm sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Anode für einen flachen Bildschirm. Sie eignet sich insbesondere zur Herstellung von Anschlußverbindungen von Leuchtstoffelementen einer Anode eines Farbbildschirms, wie beispielsweise eines Mikrospitzen- Farbbildschirms.
Fig. 1 zeigt den Aufbau eines flachen Bildschirms vom Mikrospitzen-Typ, auf welchen sich die Erfindung bezieht.
Ein derartiger Mikrospitzen-Bildschirm besteht im wesentlichen aus einer Kathode 1 mit Mikrospitzen 2 und einem Gitter 3, das mit öffnungen bzw. Ausnehmungen 4 entsprechend den Stellen der Mikrospitzen 2 versehen ist. Die Kathode 1 ist einer Kathodolumineszenzanode 5 gegenüberstehend angeordnet, deren Glassubstrat 6 die Oberfläche des Bildschirms bildet.
Das Funktionsprinzip und der detaillierte Aufbau eines derartigen Mikrospitzen-Bildschirms sind in der Amerikanischen Patentschrift 4 940 916 des Commissariat l'Energie Atomique (Franz osische Atomenergiebehörde) beschrieben.
Die Kathode 1 ist spaltenförmig organisiert und besteht aus auf einem Glassubstrat 10 angeordneten Kathodenleitern in maschenförmiger Anordnung, ausgehend von einer Leiterschicht. Die Mikrospitzen 2 sind auf einer auf den Kathodenleitern aufgebrachten Widerstandsschicht 11 hergestellt und sind innerhalb von durch die Kathodenleiter definierten Maschen angeordnet. Fig. 1 zeigt teilweise das Innere einer Masche, wobei die Kathodenleiter in dieser Figur nicht sichtbar sind. Die Kathode 1 ist dem Gitter 3 zugeordnet, das seinerseits zeilenförmig organisiert ist. Der Schnittpunkt zwischen einer Zeile des Gitters 3 und einer Spalte der Kathode 1 definiert ein Pixel.
Bei dieser Vorrichtung findet ein zwischen der Kathode 1 und dem Gitter 3 erzeugtes elektrisches Feld Anwendung zur Extraktion von Elektronen aus den Mikrospitzen 2 in Richtung auf Leuchtstoffelemente 7 der Anode 5. Die Anode 5 ist mit abwechselnden Streifen bzw. Bändern von Leuchtstoffelementen 7 versehen, deren jeder jeweils einer Farbe (Blau, Rot, Grün) entspricht. Diese Streifen sind untereinander voneinander durch ein Isoliermittel 8 getrennt. Die Leuchtstoffelemente 7 sind auf Elektroden 9 aufgebracht, welche aus entsprechenden Streifen einer durchsichtigen Leiterschicht, wie beispielsweise Indium und Zinnoxid (ITO), bestehen. Die Gesamtheiten von blauen, roten und grünen Streifen werden alternierend bezüglich der Kathode 1 vorgespannt bzw. mit Spannung beaufschlagt, derart, daß aus den Mikrospitzen 2 eines Pixels des Kathoden-Gitter-Gebildes extrahierte Elektronen abwechselnd in Richtung zu den gegenüberstehenden Leuchtstoffelementen 7 jeder der Farben gelenkt werden.
Die Steuerung der Auswahl des Leuchtstoffs 7 (Leuchtstoff 79 in Fig. 1), der mit den von den Mikrospitzen 2 der Kathode 1 ausgehenden Elektronen bombardiert werden soll, bedingt eine selektive Steuerung der Vorspannung der Leuchtstoffelemente 7 der Anode 5, aufeinanderfolgend für jede Farbe.
Fig. 2 veranschaulicht schematisch ein herkömmliches Anodengebilde nach dem Stande der Technik. Diese Figur zeigt in perspektivischer Teilansicht eine in herkömmlichen Techniken ausgeführte Anode 5. Für zwei (7g, 7b) der drei Farben von Leuchtstoffen 7 sind Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfade 12 und 13 vorgesehen. Diese Bahnen bzw. Pfade sind mit Kontakten 15, 16 verbunden, die ihrerseits zur Verbindung mittels elektrischer Leitungen 17 und 18 mit einem (nicht dargestellten) Steuersystem bestimmt sind. Die Kontaktierung der Leuchtstoffe 7r der dritten Farbe erfolgt mittels Anschlüssen 20 mit Spitzen bzw. Stiften 19, auf Kontaktbereichen 14, die jeweils an dem einen Ende jedes der Leuchtstoffstreifen 7r der entsprechenden Farbe vorgesehen sind. Für die Aufbringung bzw. Abscheidung der Leuchtstoffe 7g, 7b, 7r auf den Anodenleiterstreifen, welchen sie zugeordnet sind, findet ein und dieselbe Technik Anwendung. Tatsächlich werden die Leuchtstoffe 7 in drei aufeinanderfolgenden Kataphoresestufen (jeweils eine je Farbe) aufgebracht bzw. abgeschieden. Es ist daher erforderlich, daß die jeweils jeder Farbe zugeordneten Anodenleiterstreifen selektiv angeregt bzw. sensibilisiert werden können.
Die Anwendung von Anschlußverbindungen mit Spitzen bzw. Stiften erfordert Vielfach-Verbindungsanschlüsse, was den Aufbau der Anode kompliziert und insbesondere ihre Betriebszuverlässigkeit beeinträchtigt. Außerdem ziehen die herkömmlichen Verfahren einen hohen Verbrauch an kostspieligen Metallen, insbesondere an Gold, nach sich, und zwar infölge sowohl der Struktur der Anode wie ihres Herstellungsverfahrens.
Die vorliegende Erfindung hat sich zum Ziel gesetzt, den Nachteilen und Unzuträglichkeiten der vorhandenen Techniken dadurch abzuhelfen, daß eine Anode für einen flach-ebenen Anzeige- bzw. Bildschirm vorgeschlagen wird, welche die Verbindungen zwischen den Reihen von Anodenleitern und dem Steuersystem vereinfacht. Die Erfindung strebt auch eine Vereinfachung der Herstellung einer derartigen Anode und insbesondere der Aufbringung bzw. Abscheidung der Leuchtstoffe an, indem die gleichen Verbindungen sowohl für den Betrieb der Anode wie für die Aufbringung bzw. Abscheidung der Leuchtstoffe verwendet werden können. Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht ferner in der Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung einer derartigen Anode, das den Verbrauch an kostspieligen Metallen verringert.
Zur Erreichung dieser Ziele sieht die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer Anode für einen flachebenen Anzeige- bzw. Bildschirm vor, welches die folgenden Phasen umfaßt:
1) Herstellung auf einem Substrat von drei Reihen von Anodenleitern in Form paralleler alternierender Bänder bzw. Streifen, von zwei ersten Zwischenverbindungsbahnen bzw.
-pfaden der beiden ersten Reihen von Anodenleitern, von zwei ersten einzigen gemeinsamen elektrischen Anschlußkontakten zu den zwei betreffenden ersten Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfaden, sowie von Anschlußkontakten einer dritten Reihe von Anodenleitern;
2) Aufbringen einer Isolierschicht und Erzeugen von Ausnehmungen bzw. öffnungen in dieser Isolierschicht zur Aufnahme von Leuchtstoffen in Ausrichtung mit den Anodenleitern, sowie von Fenstern in Ausrichtung mit den Anschlußkontakten;
3) Erzeugen einer dritten Zwischenverbindungsbahn und eines dritten einzigen gemeinsamen elektrischen Anschlußkontakts zu der dritten Zwischenverbindungsbahn; sowie
4) Aufbringungen bzw. Abscheidungen von Leuchtstoffen auf den Anodenleitern in den Öffnungen bzw. Ausnehmungen der Isolierschicht.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, daß die erste Phase die Ausfüllung der Fenster mit einem Leitermaterial umfaßt.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfaßt die erste Phase die folgenden Stufen:
- ganzflächige Aufbringung einer Anodenleiterschicht auf einem Glassubstrat; sowie
- Ätzen gemäß einem Linienmuster zur Bildung der drei Reihen von Anodenleiterstreifen bzw. -bändern in der Anodenleiterschicht sowie der zwei ersten Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfade sowie der Anschlußkontakte.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, daß das Verfahren des weiteren die Stufe der Aufbringung einer Leiterschicht auf wenigstens zwei Seiten des Umfangs der Platte umfaßt.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, daß die dritte Phase des weiteren die Stufe der Aufbringung eines Leitermaterials als Auffüllung in den Fenstern umfaßt.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, daß die Ausfüllung der Fenster durch autokatalytische (stromlose) Abscheidung erfolgt.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, daß die dritte Zwischenverbindungsbahn und der dritte Anschlußkontakt durch ganzflächige Aufbringung eines organometallischen Vorläufermaterials, Bestrahlen dieses Vorläufermaterials mit Hilfe eines Lasers und Entfernen des nicht bestrahlten Vorläufermaterials mittels eines geeigneten Lösungsmittels erzeugt wird.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, daß die vierte Phase der Aufbringung von Leuchtstoffen in der Durchführung einer kataphoretischen Abscheidung in drei Stufen besteht, wobei aufeinanderfolgend die Anodenleiterstreifen der drei Farben mit Hilfe der elektrischen Anschlußkontakte, mit welchen die entsprechenden Streifen jeweils verbunden sind, angeregt werden.
Die vorliegende Erfindung sieht auch eine Anode für einen flach-ebenen Anzeige- bzw. Bildschirm des Typs mit drei Reihen von alternierenden parallelen Anodenleiterstreifen vor, wobei die Anode für jede Reihe von Anodenleiterstreifen einen einzigen elektrischen Anschlußkontakt aufweist und jeder Anschlußkontakt jeweils vermittels Leiterbahnen bzw. -pfaden von ein und demselben Oberflächenniveau der Anode zugänglich ist.
Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist die Anode für jede Reihe von Anodenleiterstreifen eine mit einem Anschlußkontakt versehene Zwischenverbindungsbahn der Leiterstreifen auf, wobei sämtliche Anschlußkontakte auf. derselben Seite der Anode angeordnet sind.
Diese und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden in der folgenden Beschreibung spezieller, nicht einschränkender Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungsfiguren im einzelnen beschrieben; in der Zeichnung
sollen die zuvor beschriebenen Figg. 1 und 2 den Stand der Technik und das gestellte Problem erläutern,
Fig. 3 zeigt in Ansicht von unten eine erfindungsgemäße Anode für einen Flachbildschirm,
Figg. 4 bis 6 veranschaulichen schematisch eine Durchführungsart einer ersten Phase des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Flachbildschirm-Anode,
Figg. 7A bis 7E veranschaulichen schematisch eine Durchführungsweise einer zweiten Phase des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Flachbildschirm-Anode,
Figg. 8A bis 8F zeigen in schematischer Schnittansicht eine Durchführungsart einer dritten Phase des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Flachbildschirm- Anode, und
Figg. 9a bis 9C veranschaulichen schematisch eine Durchführungsart einer vierten und letzten Phase des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Flachbildschirm- Anode.
Fig. 3 veranschaulicht in schematischer Draufsicht eine Anode 5 eines flach-ebenen Anzeige- bzw. Bildschirms. Wie ersichtlich, sind Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfade 12, 13 und 21 sowie Anschlußkontaktbereiche 15, 16 und 22 jeweils für jede der drei Reihen von Anodenleitern 9g, 9b bzw. 9r, wie sie; jeweils einer Farbe (Grün, Blau, Rot) von Leuchtstoffen 7g, 7b bzw. 7r zugeordnet sind, vorgesehen. Die Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfade sind auf zwei unterschiedlichen Niveaus ausgebildet. Zwei erste Bahnen bzw. Pfade 12 und 13 sind direkt auf oder von dem die Schicht der Anodenleiter 9 bildenden Material gebildet. Eine dritte Bahn 21 wird nach Zwischenaufbringung einer Isolierschicht 8 erzeugt. Die Leuchtstoffe 7g, 7b und 7r sind in Öffnungen 23 abgeschieden, welche in dieser Isolierschicht 8 in Ausrichtung mit Anodenleitern 9g, 9b und 9r innerhalb der Nutzoberfläche des Bildschirms vorgesehen sind. Die Anschlußkontakte 15, 16 und 22 gestatten nicht nur die Aktivierung der jeweils gewünschten Reihe von Anodenleitern 9g, 9b oder 9r bei der Abscheidung der Leuchtstoffe 7, sondern gleichzeitig auch eine beträchtliche Vereinfachung der Anschlußverbindungen der Anode 5 mit dem Steuersystem. Nunmehr reicht ein einziger Anschlußkontakt je Farbe für die Spannungsbeaufschlagung der Anode 5 während des Betriebs des flach-ebenen Bildschirms.
Die Figg. 4 bis 6 veranschaulichen ein Ausführungsbeispiel einer ersten Phase bzw. Stufe des erfindungsgemäßen Verfahrens. Diese erste Phase besteht im wesentlichen in der Herstellung der zur Aufnahme der Leuchtstoffelemente bestimmten Anodenleiter 9 sowie von zwei ersten Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfaden der beiden ersten Reihen von Anodenleitern 9g und 9b.
Während einer ersten Etappe (in Fig. 4 perspektivisch dargestellt) bringt man auf ein Glassubstrat 6 eine durchsichtige leitende Schicht, beispielsweise auf der Basis von Indium und Zinnoxid (ITO), auf, die zur Bildung der Anodenleiter 9 bestimmt ist.
Fig. 5B ist eine Schnittansicht im Schnitt längs der Linie A-A', die in der Draufsicht von Fig. 5A gestrichelt gezeigt ist. Eine zweite Stufe (Figg. 5A und 5B) besteht in der Aufbringung einer Leiterschicht 24. Diese Leiterschicht 24 besteht vorzugsweise aus einer dünnen Haft- bzw. Verankerungsschicht 24A, auf welcher eine Metallschicht 24B abgeschieden wird. Diese Schicht 24 wird auf wenigstens zwei Rändern der Oberfläche der ITO-Schicht aufgebracht. In der Praxis erfolgt die Aufbringung auf drei Rändern, damit die nachfolgend hergestellten drei Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfade sich auf der gleichen Seite der Anode 5 befinden. Die Breite dieser Schicht 24 ist solcherart, daß sie die Nutzoberfläche der Anode 5 nicht abdeckt. Dies ermöglicht eine merkbare Einsparung an den diese Schicht 24 bildenden Materialien.
Die Figg. 6B, 6C und 6D sind Schnittansichten im Schnitt längs den Linien B-B', C-C' bzw. D-D', die in der Draufsicht von Fig. 6A gestrichelt angedeutet sind. Während einer dritten Stufe (Figg. 6A bis 6D) ätzt man die Schichten 24 und 9 in solcher Weise, daß gleichzeitig drei Reihen alternierender Bänder bzw. Streifen 9g, 9r und 9b von Anodenleitern, zwei Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfade 12 und 13 der beiden ersten Reihen 9g, 9b sowie Anschlußkontakte 14 für jeden der Streifen der dritten Reihe 9r gebildet werden. Außerdem wird auch ein Anschlußkontakt 15 bzw. 16 auf jeder der Zwischenverbindungsbahnen 12 bzw. 13 gebildet. In Fig. 6A ist als gestrichelte Linie 24 die Innenbegrenzung der in der vorhergehenden Stufe aufgebrachten Schicht 24 angedeutet. Die Anodenleiterstreifen bzw. -bänder 9g und 9b sind an ihren einen Enden über die Nutzoberfläche des Bildschirms hinaus verlängert, zur Verbindung mit den Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfaden 12 oder 13. Die Anschlußkontakte 14, 15 und 16 werden vorzugsweise auf ein und derselben Seite der Anode 5 herausgeführt.
Am Ende dieser ersten Phase verfügt man über Anodenleiter 9 aus ITO sowie über zwei Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfade 12 und 13, und über Anschlußkontakte 14, 15, 16 aus Metall oder einem anderen Material hoher Leitfähigkeit.
Gemäß einer vereinfachten Variante der vorliegenden Erfindung wird in dieser ersten Phase nicht die Metallschicht 24 aufgebracht. Hierbei wird dann die Struktur aus den Anodenleiterstreifen 9r, 9b, 9g, den Zwischenverbindungsbahnen 12, 13 und den Anschlußkontakten 14, 15, 16 direkt in der durchsichtigen Leiterschicht 9 erzeugt.
Die Figg. 7A bis 7E veranschaulichen aufeinanderfolgende Stufen einer zweiten Phase des erfindungsgemäßen Verfahrens.
Fig. 7A ist eine Schnittansicht im Schnitt längs der Linie C-C', die in den Figg. 6A und 7B strichpunktiert angedeutet ist. Fig. 7B ist eine Draufsicht, welche einen Teil der Fig. 6A wiedergibt. Die Figg. 7C, 7D und 7E sind jeweils Schnittansichten im Schnitt längs der Linien C-C', D-D' bzw. E-E', die in Fig. 7B jeweils gestrichelt angedeutet sind.
Während einer ersten Etappe (Fig. 7A) bringt man auf dem aus der ersten Phase hervorgegangenen Stapel eine Schicht 8 aus einem isolierenden Material auf.
Diese Isolierschicht 8 wird sodann während einer zweiten Stufe geätzt, zur Bildung von Öffnungen 23 in Ausrichtung mit den Anodenleitern 9 innerhalb der Nutzoberfläche der Anode 5. Diese Ätzung bildet gleichzeitig auch Fenster 25 und 26 in Ausrichtung mit den Anschlußkontakten 15 und 16 sowie Fenster 27 in Ausrichtung mit den Anschlußkontakten 14.
Die Figg. 8A bis 8F veranschaulichen zwei Stufen einer dritten Phase des erfindungsgemäßen Verfahrens. Sie zeigen Schnittansichten im Schnitt längs der Linien C-C', D-D' und E-E' der Darstellung aus Fig. 78. Die Figg. 8A und 8D sind Schnittansichten im Schnitt längs der Linie C-C', die Figg. 8B und 8E Schnittansichten im Schnitt längs der Linie D-D', und die Figg. 8C und 8F Schnittansichten im Schnitt längs der Linie E-E'.
Während einer ersten Stufe (Figg. 8A bis 8C) erfolgt, ausgehend von dem aus der zweiten Phase hervorgegangenen Stapel, eine Ausfüllung 28 sämtlicher Fenster 25, 26 und 27, die in Ausrichtung mit den Anschlußkontakten 15, 16 (Fig. 8C) und 14 (Fig. 8B) erzeugt worden waren. Diese Stufe besteht in der Durchführung einer autokatalytischen (stromlosen) Abscheidung aus einem Bad, welches das Metall, das abgeschieden werden soll, in der Form eines Salzes enthält. Der Vorteil einer derartigen Abscheidung besteht darin, daß sie selektiv ist und nur auf den leitenden Oberflächen der Fenster 25, 26 und 27 erfolgt, ohne Ausfüllung der Ausnehmungen 23, deren Oberfläche aus ITO besteht (Fig. 8A). Die Anwendung einer derartigen Abscheidung im Rahmen der Erfindung gestattet die Erzielung nennenswerter Einsparungen an dem die Füllungen 28 bildenden Material, bei dem es sich beispielsweise um Gold handeln kann.
Eine zweite Stufe (Figg. 8D bis 8F) besteht in der Herstellung einer in einem Anschlußkontakt 22 (Fig. 8F) mündenden Zwischenverbindungsbahn 21 von Anodenleitern 9r der dritten Reihe von Streifen. Zu diesem Zweck verbindet man die offenliegenden Oberflächen der Füllungen 28r, in Ausrichtung mit den Anschlußkontakten 14, miteinander. Diese zweite Stufe kann beispielsweise mittels einer ganzflächigen Aufbringung eines Leitermaterials 29 erfolgen, das sodann zur Bildung der Bahn 21 und des Anschlußkontakts 22 geätzt wird. Das Material 29 muß relativ bezüglich dem Material der Füllung 28 selektiv ätzbar sein.
Man erhält so für jede der drei Reihen von Anodenleiterstreifen 9g, 9b und 9r eine Zwischenverbindungsbahn 12, 13 und 21, die vermittels der Füllungen 28g, 28b und 28r sowie der Anschlußkontakte 15, 16 und 14 eine einzige abstufungsfreie Anschlußverbindung für die Spannungsbeaufschlagung der ein und derselben Farbe zugeordneten Anodenleiter gestattet.
Gemäß einer vereinfachten Abwandlung der vorliegenden Erfindung, bei welcher in der ersten Phase die verschiedenen Muster der Streifen, der Leiterbahnen und der Anschlußkontakte direkt in der durchsichtigen Leiterschicht 9 erzeugt werden, kann die erste oder Füllstufe dieser dritten Phase entfallen. Man nimmt dann direkt die Herstellung der Zwischenverbindungsbahn 21 und ihres Anschlußkontakts 22 vor. Dies kann beispielsweise mittels Siebdruck erfolgen, wobei das Siebdruckmaterial in die Ausnehmungen 27 in Kontakt mit den Anschlußkontakten 14 eindringt.
Die Figg. 9A bis 9C veranschaulichen eine vierte und letzte Phase des erfindungsgemäßen Verfahrens, das einer Phase der Aufbringung von Leuchtstoffen 7 entspricht. Diese Phase umfaßt die Stufen herkömmlicher Verfahren für die Aufbringung von Leuchtstoffen. Diese Abscheidung von Luminophoren erfolgt in drei aufeinanderfolgenden Kataphoresestufen. Jede Stufe entspricht der Aufbringung von Leuchtstoffen einer Farbe, durch geeignete Anregung einer Reihe von Anodenleitern 9. So beginnt man beispielsweise in einer ersten Stufe (Fig. 9A) mit der Aufbringung grüner Leuchtstoffe 79 in den Ausnehmungen 23, in welchen die Anodenleiter 99 bloßliegen, indem man diese Anodenleiter 99 über die eventuelle Füllung 28g, den Anschlußkontakt 15 und die Zwischenverbindungsbahn 12 erregt (mit Spannung beaufschlagt). Sodann wiederholt man in einer zweiten Stufe (Fig. 9B) diesen Arbeitsgang mit den blauen Leuchtstoffen 7b, indem man die Anodenleiter 9b über die Füllung 28b, den Anschlußkontakt 16 und die Zwischenverbindungsbahn 13 erregt bzw. beaufschlagt. Schließlich bringt man in einer dritten Stufe (Fig. 9C) rote Leuchtstoffe 7r auf, indem man die Anodenleiter 9r über den Anschlußkontakt 22, die Zwischenverbindungsbahn 21, die Füllungen 28r und die Anschlußkontakte 14 beaufschlagt.
Man erhält so eine Anode 5 der Art, wie sie in Fig. 3 dargestellt ist.
Das vorstehend beschriebene Verfahren gestattet die Schaffung der Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfade für die Leuchtstoffstreifen jeder Farbe, die gleichzeitig für die Aufbringung der Leuchtstoffe und für die Vorspannung bzw. Spannungsbeaufschlagung der Anode 5 im Betrieb des Bildschirms dienen. Man vermeidet so den Rückgriff auf eine Spitzen- bzw. Steckverbindung und vereinfacht die Verbindungen zwischen der Anode und dem Steuersystem. Außerdem ist das erfindungsgemäße Verfahren besonders sparsam an den abzuscheidenden Materialien.
Im folgenden wird nunmehr ein spezielles Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Anode beschrieben, wobei für jede Stufe sowohl die verwendeten Materialien wie die angewandten speziellen Verfahren angegeben werden. Für bestimmte Stufen werden Abwandlungen auf der Grundlage eines anderen Materials angeführt.

Phase 1

Stufe 1: Ganzflächige Abscheidung einer durchsichtigen Leiterschicht 9, beispielsweise auf der Basis Indium und Zinnoxid, auf einem Substrat 6.
Stufe2: Aufbringung, beispielsweise mittels Siebdruck, einer Schicht 24B aus Gold (Variante 1) bzw. aus Nickel (Variante 2), mit Zwischenschaltung einer dünnen Haft- bzw. Verankerungsschicht 24A, beispielsweise aus Chrom, auf drei Seiten des Plattenumfangs.
Stufe 3: Ätzen von in drei Reihen von Streifen 9g, 9b und 9r organisierten Anodenleitern 9, von Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfaden 12 und 13 und von Anschlußkontakten 15 und 16 der beiden ersten Reihen, sowie von Anschlußkontakten 14 der dritten Reihe. Diese Ätzung ist beispielsweise eine chemische Ätzung von mittels Lichtdruckverfahren hergestellten Mustern.

Phase 2

Stufe 1: Ganzflächige Aufbringung einer Isolierschicht 8. Hierbei handelt es sich beispielsweise um eine chemische Abscheidung von Siliziumoxid (SiO&sub2;) in der Dampfphase (CVD) bei Normaldruck.
Stufe 2: Ätzen der Isolierschicht 8 zur Bildung der öffnungen bzw. Ausnehmungen 23 zur Aufnahme von Leuchtstoffen in Ausrichtung mit den Anodenleitern 9, sowie von Fenstern 25, 26 und 27 in Ausrichtung mit den Anschlußkontakten 15, 16 bzw. 14. Diese Ätzung erfolgt beispielsweise mittels Trifluormethan (CHF&sub3;)-Plasma.

Phase 3

Stufe 1: Autokatalytische (stromlose) Abscheidung von Gold (Variante 1) oder von Kupfer (Variante 2) zum Füllen der Fenster 25, 26 und 27 mit einem leitenden Material.
Variante 1: Diese Abscheidung erfolgt beispielsweise in einem Bad auf der Basis von Sulfiten (Natriumsulfit (Na&sub2;SO&sub3;), Natriumgolddisulfit (Na&sub3;Au(SO&sub3;)&sub2;)) oder auf Cyanid-Basis (KAUCN&sub2;) als Quelle für die abzuscheidenden Metall-Ionen, mit Formaldehyd (HCHO), Hypophosphit oder anderen Bestandteilen als Reduktionsmittel und mit Äthylendiamintetraessigsäure (EDTA) als Komplexbildner für die Metall-Ionen.
Variante 2: Diese Abscheidung erfolgt beispielsweise in einer alkalischen Lösung auf der Basis von Kupfersalzen (Kupfersulfaten und Chloriden) als Quelle für abzuscheidende Metall-Ionen, mit Formaldehyd (HCHO) als Reduktionsmittel, und mit Äthylendiamintetraessigsäure (EDTA) oder Tartraten als Komplexbildner für die Metall-Ionen.
In diesen beiden Varianten wird den Lösungen vorzugsweise ein pH-Regler (NaOH oder anderweitige Stoffe) und andere Zusätze zur Verbesserung der Arbeitsweise (Geschwindigkeit etc.) der Abscheidung und zur Verbesserung der Stabilität der Bäder zugesetzt. Derartige Zusätze können beispielsweise Natriumcyanid (NaCN) im Falle eines Bads zur Kupferabscheidung sein, oder Kaliumbromid (KBr), 1-2-Diaminäthan, Ammoniumchlorid (NH&sub4;Cl), Natriumcitrat oder anderweitige Stoffe im Falle eines Bads zur Goldabscheidung.
Stufe 2: Ganzflächige Aufbringung einer Schicht 29 eines organo metallischen Vorläufermaterials. Danach lokalisierte Bestrahlung dieser Schicht 29 mittels Laser-Griffel, entsprechend dem Verlauf einer Zwischenverbindungsbahn 21 zwischen den freiliegenden Oberflächen der in den Fenstern 27 gebildeten Füllungen 28r. Danach Entfernung der Schicht 29 an den nicht vom Laser bestrahlten Bereichen, durch Auflösen mittels eines geeigneten Lösungsmittels Die erhaltene Abtragungsdicke wird durch die Abmessung des Strahls, die Leistungsstärke des Lasers (beispielsweise in Größenordnung von Watt), die Art der Unterlage der Schicht 29 und die Geschwindigkeit der Abtastung bestimmt.
Variante 1: Als organometallisches Vorläufermaterial 29 wird eine Lösung von Palladiumacetatpulver (Pd(CH&sub3;COO)&sub2;) in Chloroform (HCCl&sub3;) verwendet.
Variante 2: Der verwendete organometallische Vorläufer 29 ist Kupferformiat (Cu(HCOO)&sub2;).
Diese Vorläufer können bei Temperaturen im Bereich von 300 bis 500 ºC, was der Anwendung angepaßt ist, beispielsweise mittels eines "Eximer"-Lasers oder eines Argon-Lasers zersetzt werden, deren Strahlung im UV- oder im sichtbaren Bereich liegt.
Diese zweite Stufe kann auch durch eine einfache Siebdruckbehandlung ersetzt werden.

Phase 4

Stufe 1: Kataphoretische Abscheidung von grünen Leuchtstoffen 7g, mit Anregung der Anodenleiter 99 der ersten Reihe.
Stufe 2: Kataphoretische Abscheidung von blauen Leuchtstoffen 7b, mit Erregung der Anodenleiter 9b der zweiten Reihe.
Stufe 3: Kataphoretische Abscheidung von roten Leuchtstoffen 7r, mit Erregung der Anodenleiter 9r der dritten Reihe.
Gemäß einer Abwandlung des erfindungsgemäßen Verfahrens kann zwischen den Phasen 1 und 2 eine autokatalytische (stromlose) Abscheidung beispielsweise von Gold oder Kupfer zwischengeschaltet werden, zur eventuellen Verstärkung der Dicke der Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfade 12 und 13, vorder Abscheidung der Isolierschicht 8.
Gemäß einer anderen Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt die Stufe 2 der Phase 1, d. h. die Aufbringung der Schicht 24 entlang dem Umfang, durch Laser-Ätzung eines organometallischen Vorläufermaterials, wie beispielsweise Palladiumacetat.
Des weiteren kann jedes Material oder jeder Bestandteil durch einen oder mehrere Bestandteile mit ihrer bestimmungsgemäßen Verwendung angepaßten Eigenschaften ersetzt werden. Ebenso kann jeweils jedes Abscheidungs- und Ätzverfahren durch eine (trockene oder feuchte) Ätzung, welche die gleiche Funktion erfüllt, ersetzt werden.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung einer Anode (5) eines flachebenen Anzeige- bzw. Bildschirms, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren die folgenden Phasen umfaßt:

(1) Herstellung auf einem Substrat (6) von drei Reihen von Anodenleitern (9) in Form paralleler alternierender Bänder bzw. Streifen (9g, 9b, 9r), von zwei ersten Zwischenverbindungsbahnen bzw. Pfaden (12, 13) der beiden ersten Reihen von Anodenleitern (9g, 9b), von zwei ersten einzigen gemeinsamen elektrischen Anschlußkontakten (15, 16) zu den zwei betreffenden ersten Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfaden, sowie von Anschlußkontakten (14) einer dritten Reihe von Anodenleitern (9r);

(2) Aufbringen einer Isolierschicht (8) und Erzeugen von Ausnehmungen bzw. öffnungen (23) in dieser Isolierschicht (8) zur Aufnahme von Leuchtstoffen (7) in Ausrichtung mit den Anodenleitern (9), sowie von Fenstern (25, 26, 27) in Ausrichtung mit den Anschlußkontakten (15, 16, 14);

(3) Erzeugen einer dritten Zwischenverbindungsbahn (21) und eines dritten einzigen gemeinsamen elektrischen Anschlußkontakts (22) zu der dritten Zwischenverbindungsbahn; sowie

(4) Aufbringungen bzw. Abscheidungen von Leuchtstoffen (7) auf den Anodenkeitern (9) in den öffnungen bzw. Ausnehmungen (23) der Isolierschicht (8).

2. Verfahren zur Herstellung einer Anode eines flach-ebenen Anzeige- bzw. Bildschirms nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Phase die Ausfüllung der Fenster (25, 26, 27) mit einem Leitermaterial umfaßt.

3. Verfahren zum Herstellen einer Anode eines flach-ebenen Anzeige- bzw. Bildschirms nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Phase die folgenden Stufen umfaßt:

- ganzflächige Aufbringung einer Anodenleiterschicht (9) auf einem Glassubstrat (6); sowie

- Ätzen gemäß einem Linienmuster zur Bildung der drei Reihen von Anodenleiterstreifen bzw. -bändern (9b, 9g, 9r) in der Anodenleiterschicht (9) sowie der zwei ersten Zwischenverbindungsbahnen bzw. -pfade (12, 13) sowie der Anschlußkontakte (15, 16, 14).

4. Verfahren zur Herstellung einer Anode eines flach-ebenen Anzeige- bzw. Bildschirms nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren des weiteren die Stufe der Aufbringung einer Leiterschicht auf wenigstens zwei Seiten des Umfangs der Platte umfaßt.

5. Verfahren zur Herstellung einer Anode eines flachen Bildschirms gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte Phase des weiteren die Stufe der Aufbringung eines Leitermaterials als Auffüllung (28g, 28b, 28r) in den Fenstern (25, 26, 27) umfaßt.

6. Verfahren zur Herstellung einer Anode nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet daß die Ausfüllung (28) der Fenster (25, 26, 27) durch autokatalytische (stromlose) Abscheidung erfolgt.

7. Verfahren zur Herstellung einer Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte Zwischenverbindungsbahn (21) und der dritte Anschlußkontakt (22) durch ganzflächige Aufbringung eines organometallischen Vorläufermaterials (29), Bestrahlen dieses Vorläufermaterials mithilfe eines Lasers und Entfernen des nicht bestrahlten Vorläufermaterials mittels eines geeigneten Lösungsmittels erfolgt.

8. Verfahren zur Herstellung einer Anode eines flachebenen Bildschirms nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die vierte Phase der Aufbringung von Leuchtstoffen (7g, 7b, 7r) in der Durchführung einer kataphoretischen Abscheidung in drei Stufen besteht, wobei aufeinanderfolgend die Anodenleiterstreifen (9g, 9b, 9r) der drei Farben mit Hilfe der elektrischen Anschlußkontakte (15, 16, 22), mit welchen die entsprechenden Streifen jeweils verbunden sind, angeregt werden.

9. Anode (5) für einen flach-ebenen Anzeige- bzw. Bildschirm des Typs mit drei Reihen von alternierenden parallelen Anodenleiter-Streifen (9g, 9b, 9r), dadurch gekennzeichnet, daß sie für jede Reihe von Anodenleiterstreifen (9g, 9b, 9r) einen einzigen elektrischen Anschlußkontakt (15, 16, 22) aufweist, wobei jeder Anschlußkontakt jeweils vermittels Leiterbahnen bzw. -pfaden (12, 13, 21) von ein und demselben oberflächenniveau der Anode (5) zugänglich ist.

10. Anode für einen flach-ebenen Bildschirm nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß sie für jede Reihe von Anodenleiterstreifen (9g, 9b, 9r) eine mit einem Anschlußkontakt (15, 16, 21) versehene Zwischenverbindungsbahn (12, 13, 21) der Leiterstreifen (9g, 9b, 9r) aufweist, wobei sämtliche Anschlußkontakte auf derselben Seite der Anode angeordnet sind.