DE69309587T2

DE69309587T2 - Drehkatoden - Röntgenröhre

Info

Publication number: DE69309587T2
Application number: DE69309587T
Authority: DE
Inventors: Akihiro Daikoku; Hiroshi Horikawa; Tetsuhiko Ikeshima; Masao Inoue; Yutaro Kimura; Ikuo Konishi; Shigekazu Sakabe; Hiromichi Tonami; Akinori Yamasaki
Original assignee: Shimadzu Corp; Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Shimadzu Corp; Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1992-09-18
Filing date: 1993-06-29
Publication date: 1997-09-11
Anticipated expiration: 2013-06-30
Also published as: EP0732724A2; EP0732724B1; US5631944A; EP0588002B1; DE69309587D1; JP3256579B2; DE69329428T2; JPH0698882A; DE69329428D1; US5481585A; EP0588002A1; EP0732724A3; US5592526A; US5548629A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Fig. 1 zeigt eine Schnittansicht einer gattungsgemäßen Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre, welche zum Beispiel in der japanischen Patentoffenlegungsschrift 115738/83 offenbart ist. In der gleichen Fig. ist ein Vakuumbehälter 1 über einen Stützsockel 2 auf dem Fußboden installiert. Der Vakuumbehälter 1 hat die Gestalt eines Ringes, der in der Mitte mit einer Subjekteinführöffnung 4 zum Hindurchbefördern eines Subjekts 3 ausgestattet ist. In seinem Inneren wird einem Hochvakuum mittels einer Vakuumpumpe 5 aufrechterhalten. Eine Fanganode 6 und ein Kathodenabschnitt 7 sind mit einem vorbestimmten Abstand im Inneren des Vakuumbehälters 1 angeordnet, wobei der Kathodenabschnitt 7 mit Bürsten 8 und 9 in Verbindung steht. Damit der aus der Abnutzung der Bürsten 8 und 9 resultierende Staub sich nicht zu dem Kathodenabschnitt 7 bewegen kann, ist zwischen den Bürsten 8, 9 und dem Kathodenabschnitt 7 eine Abschirmplatte 75 vorgesehen, an der eine Hochspannung von etwa -70 kV angelegt wird.
Die Fanganode 6 dient der Erzeugung von Röntgenstrahlung wenn ein von dem Kathodenabschnitt 7 emmitierter Elektronenstrahl auf ihr aufprallt. Sie ist ringförmig gebildet und um eine Drehachse a drehbar. Genauer gesagt ist die Fanganode 6 über ein Stützelement 10 an einem Fangrotor 11 befestigt. Der Fangrotor 11 wird im kontaktlosen Zustand mittels eines Magneten 12 gestützt, welcher für ein magnetisches Schweben sorgt, und erhält mittels einer (nicht dargestellten) Antriebseinrichtung ein Drehmoment, so daß er sich um die Drehachse a dreht. Im Betrieb wird von außen über eine Bürste 13 an den Fangrotor 11 eine Hochspannung von etwa +70 kV angelegt.
In der Nähe des Fangrotors 11 ist ein Aufsetzlager 14 angebracht, um den Fangrotor 11 zu stützen, wenn die Stromquelle für den magnetischen Schwebmagneten 12 ausgeschaltet worden ist oder wenn es unmöglich geworden ist, den Magneten 12 richtig zu steuern. Während der Normaldrehung des Fangrotors 11 steht das Aufsetzlager 14 mit selbigem Rotor nicht in Kontakt.
Andererseits ist der Kathodenabschnitt 7 ringförmig ausgebildet und dient als Mechanismus zur Erzeugung von Ladungspartikeln. Er ist an einen Kathodenabschnitt-Rotor 15 befestigt. Der Kathodenabschnitt-Rotor 15 wird im kontaktlosen Zustand mittels eines Magneten 16 zum magnetischen Schweben gestützt, der innerhalb des Rotors 15 angebracht ist, und erhält ein Rotationsdrehmoment von einer (nicht dargestellten) Antriebseinrichtung, so daß er sich um die Drehachse a in die dem Fangrotor 11 entgegengesetzte Richtung dreht. Folglich dreht sich der Kathodenabschnitt 7 in die der Fanganode 6 entgegengesetzte Richtung. Desweiteren ist ein Röntgenstrahlungsfenster 17 vorgesehen und in der Nähe des Fensters 17 ein Spaltrohr 18 und ein zur Drehachse a koaxialer ringförmiger Detektor 19 angebracht.
In der Nähe des Kathodenabschnitt-Rotors 15 ist ein Aufsetzlager 20 vorgesehen, das die gleiche Funktion wie die des Aufsetzlagers 14 besitzt. Zwischen der Bürste 13 und der Fanganode 6 ist eine Abschirmplatte 76 angeordnet, damit der aus der Abnutzung der Bürste 13 resultierende Staub sich nicht zu der Fanganode 6 bewegen kann. Die Bezugszeichen 21 und 22 bezeichnen jeweils eine Bürste zum Setzen eines kathodenseitigen Rotors 23 und eines anodenseitigen Rotors 24 auf Erdpotential. Die Bezugszeichen 77 bis 81 bezeichnen jeweils einen elektrischen Isolator zur Isolation einer Hochspannung. Zwischen dem anodenseitigen Rotor 24 und der Fanganode 6 ist ein Isolationsmaterial 82 vorgesehen, wobei zwischen dem kathodenseitigen Rotor 23 und dem Kathodenabschnitt 7 ein Isolationsmaterial 83 vorgesehen ist.
Die folgende Beschreibung ist nunmehr für die Arbeitsweise der in Fig. 1 dargestellten herkömmlichen Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre vorgesehen.
Zunächst prallt ein von dem Kathodenabschnitt 7 emittierter Elektronenstrahl auf einen Brennpunkt 25 der Fanganode 6 auf. Vom Brennpunkt 25 erzeugte Röntgenstrahlung 26 tritt durch das Röntgenstrahlungsfenster 17, durchläuft danach das Subjekt 3 und tritt daraufhin in den ringförmigen Detektor 19 ein. Die Ausgabedaten des Detektors 19 werden zu einem (nicht dargestellten) Computer zur Bildwiederherstellung mittels einer (nicht dargestellten) Datensammlungsschaltung übertragen und gemäß einem vorbestimmten Wiederherstellungsprogramm in eine koaxiale Tomographie des Subjektes 3 umgewandelt.
Da in einer wie oben aufgebauten herkömmlichen Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre die magnetischen Schwebmagneten 12 und 16 an der Außenseite des Vakuumbehälters 1 angeordnet sind, wird der Spalt zwischen jedem der Magneten 12 und 16 und dem dadurch angezogenen Objekt groß. Daher ist es notwendig, daß die Magnete 12 und 16 fest sind. Das bedeutet, daß sich die Größe, das Gewicht und der Energieverbrauch der Ausrüstung der Drehkathodenröntgenröhre vergrößern.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre zu schaffen, die das Weglassen von Bauteilen, eine Vereinfachung des Aufbaus und eine Verringerung in der Größe der Bauteile und ferner eine Verringerung ihrer Größe, ihres Gewichts und ihren Kosten erlaubt.
Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre zu schaffen, die betreffend der Bearbeitungsgenauigkeit der Bauteile geringere Anforderungen und ferner eine leichte und kostengünstige Herstellung von Bauteilen erlaubt.
Noch ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre hoher Verläßlichkeit vor schaffen, die dazu fähig ist, den Gesamtwirkungsgrad im Vergleich zur bestehenden Ausrüstung zu verbessern.
Die Aufgabe der Erfindung wird mittels den im Patentanspruch 1 bestimmten Merkmalen gelöst. Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung werden in den Unteransprüchen bestimmt.
Im folgenden wird die Erfindung durch Ausführungsbeispiele unter Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen weiter veranschaulicht.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Schnittansicht zur Darstellung einer herkömmlichen Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre;
Fig. 2 eine Schnittansicht zur schematischen Darstellung einer Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Ausführungsbeispiel 1 der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3 eine teilweise vergrößerte Ansicht aus Fig. 2;
Fig. 4 eine Detailansicht der in Fig. 2 dargestellten Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre;
Fig. 5 ein Aufbauschaubild, welches schematisch darstellt, in welcher Weise ein Ausgangssignal vom Detektor verarbeitet wird;
Fig. 6 ein Flußdiagramm zur Darstellung von Abläufen einer Verformungs-Korrektur-Schaltung;
Fig. 7 ein Blockschaltbild zur Darstellung des Aufbaus der Verformungs-Korrektur-Schaltung;
Fig. 8 ein Blockschaltbild zur Darstellung der Einzelheiten einer Vervielfachungsschaltung;
Fig. 9 ein Aufbaubild, welches darstellt, in welcher Weise ein Magnet zum magnetischen Schweben montiert ist.

Ausführungsbeispiel 1

Zunächst wird eine Beschreibung des Ausführungsbeispiels 1 unter Bezugnahme auf Fig. 2 und 3 geliefert. Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht zur Darstellung einer Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß dem Ausführungsbeispiel 1 der vorliegenden Erfindung und Fig. 3 ist eine teilweise vergrößerte Ansicht aus Fig. 2, wobei die gleichen oder denen aus Fig. 1 entsprechenden Abschnitte mit den gleichen Bezugszeichen wie in Fig. 1 versehen sind und deren Erklärungen weggelassen werden. Fig. 2 und 3 zeigen einen Vakuumbehälter 1, der aus einem Außenring 1a, einem Innenring 1b und zwei Seitenplatten 1c zusammengesetzt ist. Innerhalb des Vakuumbehälters 1 ist ein aus Aluminium oder ähnlichem hergestelltes scheibenartiges Drehelement 28 angeordnet, und Anziehungsgegenstände 29, die aus magnetischem Material hergestellt sind, sind an dem Drehelement 28 befestigt. Desweiteren sind gegenüber den Anziehungsgegenständen 29 Magnete 30 zum magnetischen Schweben an den Seitenplatten 1c des Vakuumbehälters 1 jeweils durch eine Innenplatte 61 angebracht.
Ein magnetischer Schwebmechanismus wird durch die Anziehungsobjekte 29 und die magnetischen Schwebmagnete 30 aufgebaut. Das Drehelement 28 ist um seine Drehachse a mittels des magnetischen Schwebmechanismus drehbar gelagert. An der bezogen auf den Vakuumbehälter 1 einer Subjekteinführöffnung 4 entgegengesetzten Seite sind Statoren 31 angeordnet, die an dem Außenring 1a des Vakuumbehälters 1 befestigt sind. Innerhalb des Vakuumbehälters 1 ist ein aus Aluminium oder ähnlichem gebildeter Rotor 32 in enger Nähe zu den Statoren 31 angeordnet. Durch die Statoren 31 und den Rotor 32 wird eine Antriebseinrichtung gebildet.
Ein Kathodenabschnitt 7 ist an dem Drehelement 28 befestigt und dreht sich zusammen mit dem Drehelement 28 um die Drehachse a. Ein in gegenüberliegender Beziehung zu dem Kathodenabschnitt 7 angeordnete ringartige Fanganode 6 ist an einer Seitenplatte 1c des Vakuumbehälters 1 mit einem elektrischen Isolator 33 befestigt. Innerhalb des Kathodenabschnitts 7 ist ein Heizfaden 34 für die Emission von Thermoelektronen untergebracht, und ein Stromerzeugungsabschnitt 35 zum Versorgen des Heizfadens 34 mit elektrischem Strom ist an der bezogen auf das Drehelement 28 dem Kathodenabschnitt 7 entgegengesetzten Seite angeordnet. Der Stromerzeugungsabschnitt 35 ist aus einem Elektromagnet 36 und einer Stromerzeugungsspule 37 zusammengesetzt. In der Nähe des Stromerzeugungsabschnitts 35 ist ein Stromleitungsabschnitt 38 zum Aufbringen einer Hochspannung zwischen der Fanganode 6 und dem Kathodenabschnitt 7 angeordnet, wobei die Spannung von einer Hochspannungsversorgung 39 geliefert wird. Ein Röntgenstrahlungsfenster 40 ist an dem Innenring 1b des Vakuumbehälters 1 befestigt. Die Ausrüstung der Drehkathodenröntgenröhre kann sich beim Betreiben eines Neigungsmechanismus um ein Subjekt 3 neigen.
Im folgenden wird die Funktionsweise des in Fig. 2 und 3 veranschaulichten Ausführungsbeispiels 1 der vorliegenden Erfindung aufgezeigt. Das Drehelement 28 wird von dem magnetischen Schwebmechanismus gestützt und um die Drehachse a mittels der Antriebseinrichtung gedreht. In diesem Zustand wird der Heizfaden 34 mittels eines von dem Stromerzeugungsabschnitt 35 gelieferten elektrischen Stromes geheizt, wobei, wenn eine von der Hochspannungsversorgung 39 vorgesehene Spannung zwischen der Fanganode 6 und dem Kathodenabschnitt 7 aufgebracht wird (die Fanganode 6 wird unter Hochspannung und der Kathodenabschnitt 7 im wesentlichen unter Erdpotential gesetzt), Thermoelektronen von dem Kathodenabschnitt 7 emittiert werden und gegen einen Brennpunkt 25 an der Fanganode 6 prallen. Von dem Brennpunkt wird Röntgenstrahlung 26 erzeugt, die von dem ringartigen Röntgenstrahlungsfenster 40 abgestrahlt wird. Weitere Funktionsweisen entsprechen dem Stand der Technik, so daß sie hier weggelassen wurden.
Im folgenden werden die Merkmale des Ausführungsbeispiels 1 detailliert beschrieben. Da, wie in Fig. 2 und 3 dargestellt ist, der Röntgenstrahlungsdurchtrittsabschnitt des Röntgenstrahlungsfensters 40 dünnwandig ist und eine Dicke von 4 bis 5 mm hat, wird der Vakuumbehälter 1 mittels Verstärkungsbalken 84 verstärkt, so daß der Umgebungsdruck von den Seitenplatten 1c an diesem Abschnitt nicht anliegt. Acht Verstärkungsbalken 84 sind an jeder Seitenplatte 1c des ringartigen Vakuumbehälters 1 vorgesehen, so daß insgesamt sechzehn Balken 84 vorgesehen sind. Jedoch ist es allein mit den Verstärkungsbalken 84 unmöglich, den Einfluß des Umgebungsdruckes vollständig zu verhindern. Da desweiteren die Subjekteinführöffnung 4 in dem Vakuumbehälter 1 vorhanden ist und selbiger Behälter mit einem Außendurchmesser von 1400 mm und einem Innendurchmesser von 800 mm groß dimensioniert ist, ist es schwierig, die Bearbeitungsgenauigkeit der Außenund Innenringe 1a und 1b und der beiden Seitenplatten 1c, wie auch ihre Montagegenauigkeit zu verbessern, was mitunter dazu führt, daß eine zusätzliche Kraft an dem Röntgenstrahlungsfenster 40 anliegt.
Angesichts der obigen Punkte ist ein Fügeabschnitt 90 mit einer Fläche 85, die senkrecht auf der Drehachse des Drehelementes 28 steht, und einer zylindrischen Fläche 86, die parallel zu der Drehachse steht, zwischen dem Röntgenstrahlungsfenster 40 und dem Innenring 1b vorgesehen, wobei desweiteren eine Stirnseitendichtung 87 vorgesehen ist. Folglich können atmosphärische Verformungen, sowie Bearbeitungs- und Montagefehler in Richtung der Drehachse mittels einer Axialdichtung 89 aufgenommen werden, während Bearbeitungs- und Montagefehler in senkrechter Richtung zur Drehachse mittels Stirnseitendichtungen 87 und 88 aufgenommen werden können, so daß keine zusätzliche Kraft an dem Röntgenstrahlungsfenster 40 anliegt. Es ist notwendig, den Fügeabschnitt 90 und den Innenring 1b herzustellen, und dabei Materialien zu verwenden, deren thermische Ausdehnungskoeffizienten zueinander nahe verwandt sind, so daß die Größe des Spaltes, in welchen die Axialdichtung 89 angeordnet wird, sich nicht stark bei Temperaturänderungen ändern kann.
Im Falle des Aufbringens einer Hochspannung von annähernd 120 bis 130 kV wird der gesamte Vakuumbehälter 1 auf das Erdpotential, der Kathodenabschnitt 7 annähernd unter das Erdpotential (wie später beschrieben wird) und die Fanganode 6 unter Hochspannung gesetzt. Für den Fall, daß die Fanganode 6 auf das Erdpotential und der Kathodenabschnitt 7 unter negative Hochspannung gesetzt wird, oder für den Fall, daß zur Herstellung einer neutralen Erdung die Fanganode 6 auf +60 bis +65 kV und der Kathodenabschnitt 7 auf -60 bis -65 kV gesetzt wird, ist es notwendig, zwischen dem Kathodenabschnitt 7 und dem Rotor 32 zu isolieren. Dies ist nötig, weil andererseits eine Entladung auftreten würde, da der Rotor 32 und der Vakuumbehälter 1 nahe beieinander sind. Da bei diesem Aufbau nur die Fanganode 6 der Abschnitt ist, bei dem gegen Hochspannung isoliert werden sollte, ist es möglich, die Leistung zu stabilisieren und die Senkung von Kosten zu erreichen.
Ein elektrischer Isolator 33 wird an einer Seitenplatte 1c des Vakuumbehälters 1 angebracht, dann wird ein ringförmiger Kühlring 94 an dem Isolator 33 und die Fanganode 6 wird an dem Ring 94 angebracht. Die Fanganode 6 ist derart geneigt befestigt, daß die Röntgenstrahlung 26 dem Subjekt 3 entgegentritt. Da der elektrische Isolator 33 an der Seitenplatte 1c in einer Lage montiert ist, in welcher ein Verstärkungsbalken 84 zum Verhindern einer atmosphärischen Verformung der Seitenplatte 1c vorhanden ist, wird die Lage der Fanganode 6 nicht vom Umgebungsdruck beeinflußt, was die Erzeugung einer hochgenauen drehenden Röntgenstrahlung ermöglicht. Das Innere des Kühlringes 94 ist mit einem Kühlmedium gefüllt, welches in elektrischer Isolationseigenschaft überlegen ist. Das Kühlmedium absorbiert die Wärme der Fanganode 6, tritt dann durch ein (nicht dargestelltes) Kühlmittelrohr, erfährt ein Wärmeaustausch mittels eines (nicht dargestellten) Radiators, der an der Außenseite des Vakuumbehälters 1 montiert ist, und kehrt daraufhin zu dem Kühlring 94 zurück. Das Kühlmittelrohr ist ebenfalls aus einem in elektrischer Isolationseigenschaft überlegenen Material gebildet.
Ein Heizfaden 34 zur Erzeugung von Thermoelektronen ist im Inneren des Kathodenabschnitts 7 angebracht und bildet eine Elektronenlinse zum Bündeln der erzeugten Elektronen auf den Brennpunkt 25 der Fanganode 6. Da der Heizfaden 34 im Verlauf seiner Lebensdauer aufgrund des Vakuumverdampfens dünner wird, und was schließlich zum Brechen führt, wird Rücksicht genommen, um ein einfaches Ersetzen des Kathodenabschnitts 7 zu ermöglichen. Genauer gesagt ist ein (nicht dargestellter) Flansch in einer dem Kathodenabschnitt 7 entsprechenden Lage an einer Seitenplatte 1c vorgesehen, um ein Ersetzen des Kathodenabschnitts 7 zu erlauben, ohne die gesamte Seitenplatte 1c zu entfernen. Um desweiteren einen Drehausgleich zu erhalten, sind mehrere Kathodenabschnitte der gleichen Gestalt derart angebracht, daß im Falle einer Unterbrechung eines Heizfadens die Verbindung gewechselt werden kann, um einen anderen Heizfaden mit elektrischem Strom zu versorgen.
Wie in Fig. 3 dargestellt ist, teilt das Drehelement 28 das Innere des Vakuumbehälters 1 in zwei Abschnitte, wobei in einem von diesen der Röntgenstrahlung erzeugende Kathodenabschnitt 7 und die Fanganode 6 angeordnet ist, während in dem anderen der Stromerzeugungsabschnitt 35 und der die Gasentwicklung auslösende Stromleitungsabschnitt 38 angeordnet sind. Daher ist es möglich, den Kathodenabschnitt 7 und die Fanganode 6 in einem Hochvakuumzustand zu erhalten. Durch die Anordnung einer Vakuumpumpe 5 und der Fanganode 6 an der Seite des Kathodenabschnitts 7 wird dies effektiver erreicht. Die Vakuumpumpe 5 ist in einer Position angeordnet, in der sie das Subjekt 3 zum Zeitpunkt des Neigens nicht stört. Eine zusätzliche Vakuumpumpe kann beispielsweise an der Seite des Stromerzeugungsabschnittes 35, etc., angeordnet werden. Da das Drehelement 28 aus einem elektrisch leitfähigem Material, wie beispielsweise Aluminium, hergestellt ist, ist es möglich, das Auftreten von Entladungen zwischen der in einen Hochspannungszustand gebrachten Fanganode 6 und beispielsweise dem Stromerzeugungsabschnitt 35, etc., zu vermeiden, wodurch eine stabile Röntgenstrahlung erreicht werden kann.
Wie in Fig. 2 dargestellt ist, weist der Stromleitungsabschnitt 38 folgendes auf: stromleitende Kathoden 91, die jeweils aus einem Wolframdraht mit 0,22 mm Durchmesser gebildet werden, 28 mm lang und in verschiedenen Positionen am ganzen Umfang des Vakuumbehälters 1 angebracht sind, und eine stromleitende Anode 92 mit einem Radius von 3,5 mm ist in einer umgebenden Beziehung zu der stromleitenden Kathode 91 überall am gesamten Umfang des Behälters 1 angeordnet. Die stromleitenden Kathoden 91 besitzen einen (nicht dargestellten) stromleitenden Heizfaden, der mittels einer externen Stromversorgung 93 beheizt wird, wodurch Thermoelektronen von der stromleitenden Kathode 91 emittiert werden. Die stromleitende Anode 92 ist im Durchmesser ungefähr 1 m groß, wobei die Anode 92 geteilt und nicht als einstückiger Körper aufgebaut ist, da eine thermische Ausdehnung aufgrund des von dem Elektronenaufprall und der Strahlung des stromleitenden Heizfadens verursachten Temperaturanstieges nicht vernachlässigbar ist. Desweiteren besitzt die stromleitende Anode 92 auf ihrer Oberfläche eine schwarze Beschichtung, um ein leichtes strahlungsweises Entweichen von Wärme zur Seite des Vakuumbehälters 1 zu erlauben. Als stromleitender Heizfaden wird gewöhnlich ein Thermoelektronen emittierendes Material, wie beispielsweise Wolfram oder thoriumlegiertes Wolfram, eingesetzt, wobei aber diesbezüglich keine spezielle Eingrenzung stattfinden soll, wenn nur das verwendete Material eine Elektronen emittierende Quelle ist.
Da die stromleitende Anode 92 im Vakuum schwebt, wird die Perveanz zwischen den stromleitenden Kathoden 91 und der stromleitenden Anode 92 einhundertmal höher gesetzt als die Perveanz zwischen dem Kathodenabschnitt 7 und der Fanganode 6, wobei der Betrieb in einem begrenzten Raumladungsbereich ausgeführt wird, wodurch es ermöglicht wird, das Potential der Anode 92, nämlich das Potential des Drehabschnitts, auf einen Wert von unter einigen einhundert Volt zu drücken. Folglich ist es nicht nur möglich, eine Vakuumentladung zwischen dem benachbarten Vakuumbehälter 1 und dem Rotor 32 zu unterdrücken, sondern auch die Schwankung einer jeweils zwischen dem Kathodenabschnitt 7 und der Fanganode 6 angelegten Potentialdifferenz zu reduzieren, wodurch eine gute Bildqualität erreicht werden kann. Desweiteren kann die durch einen elektronischen Schock verursachte Wärmeerzeugung der stromleitenden Anode 92 verhindert werden. In diesem Ausführungsbeispiel, bei dem die stromleitenden Kathoden 91 und die stromleitende Anode 92 in der obigen Weise aufgebaut und angeordnet sind, war eine Potentialdifferenz zwischen den beiden 180 V und einen Leitungsstrom war 200mA.
Mehrere zehn Stromerzeugungsspulen 37 sind an dem Drehelement 28 in gleichen Abständen um den gesamten Umfang befestigt und mit den Heizfäden verbunden. Mehrere Elektromagnete 36 sind jeweils mit einem Flansch 95 an einer Seitenplatte 1c des Vakuumbehälters 1 in entsprechenden Positionen zu den Stromerzeugungsspulen 37 befestigt. Der Stromerzeugungsabschnitt 35 wird durch jeden Elektromagneten 36 und Stromerzeugungsspule 37 gebildet. Die Spulen 37 sind jeweils in einer solchen Weise angeordnet, daß sie zwischen den Polstücken des zugehörigen Elektromagnets 36 durchtreten, wobei die Spulen 37 mit der Drehung des Drehelementes 28 die Magnetfelder der Elektromagneten 36 durchqueren, um elektrischen Strom zu erzeugen. Ein Jochabschnitt eines jeden Elektromagneten 36 ist vakuumversiegelt und reicht durch den Flansch 95, wobei sich sein Spulenabschnitt in der Luft befindet. Somit wird berücksichtigt, daß das Austreten von Gas aufgrund der Wärmeerzeugung während der Erregung der Spule in der Luft ausgeführt wird.
Somit werden die magnetischen Felder, die auf die Stromerzeugungsspulen 37 übertragen werden, nur durch die Elektromagneten 36 und ohne die Hilfe von Dauermagneten erzeugt. In einem Stromerzeugungssystem, das Dauermagneten in Kombination mit Elektromagneten verwendet, kann die von einem Wirbelstrom verursachte Wärmeerzeugung nur über die Drehzahl des Drehelementes 28 gesteuert werden, so daß der Temperaturanstieg im Vakuum die Gasentwicklung verursacht, worauf die entstehende Röntgenstrahlung instabil wird. Dies ist unerwünscht. Andererseits ist es in dem nur die Elektromagnete 36 verwendenden Stromerzeugungssystem aufgrund der Herstellung von elektrischen Strömen in den in der Flußrichtung einander gegenüberliegenden Elektromagneten 36 ermöglicht, den Heizfäden zu erlauben, sich nicht einzuschalten, wobei nur den Stromerzeugungsspulen 37 erlaubt wird, eine Temperaturerhöhung aufgrund eines Wirbelstromes aufzuzeigen, wodurch eine Beschleunigung der Vakuumentleerung gestattet wird.
Um die Intensität der entstehenden Röntgenstrahlung 26 konstant zu halten, ist es notwendig, einen zwischen dem Kathodenabschnitt 7 und der Fanganode 6 fließenden elektrischen Strom zu erfassen und ihn konstant zu machen. Schließlich ist es effektiv, die in jeder Stromerzeugungsspule 37 erzeugte Spannung einzustellen, und dadurch den elektrischen Strom im Heizfaden 34 zu steuern. Die Einstellung der in der Spule 37 erzeugten Spannung kann mittels Erfassung eines von dem elektrischen Strom in der Spule 37 induzierten magnetischen Wechselfeldes unter Verwendung eines an der von der Spule 37 durchdrungenen Fläche vorgesehenen Hall-Elementes (ein Element zur Erfassung eines magnetischen Feldes, nicht dargestellt) erfolgen, um sie konstant zu machen. Da insbesondere die Spule 37 im Vakuum angeordnet ist, wird sie nicht mit Luft gekühlt, worauf die Spule 37 einen großen Anstieg ihrer Temperatur aufgrund der von dem elektrischen Widerstand oder dem Wirbelstrom induzierten Wärmeerzeugung aufzeigt. Ein solcher Temperaturanstieg erhöht den elektrischen Widerstand des Heizfadens 34, senkt den elektrischen Strom in dem Heizfaden und verringert die Intensität der Röntgenstrahlung 26, wobei das Hall-Element beim Erreiche einer stabilen Röntgenstrahlung 26 sehr wirksam ist.
Da sämtliche Erfordernisse an die Elektromagnete 36 sich darauf belaufen, daß die Elektromagnete im Inneren angeordnet und an den Vakuumbehälter 1 befestigt werden sollen, ist es ebenfalls möglich, die Magnete 30 zum magnetischen Schweben als Elektromagnete 36 wirken zu lassen.
Wie in Fig. 3 dargestellt ist, sind die magnetischen Schwebmagnete 30 im Inneren des Vakuumbehälters 1 angeordnet. Deshalb können die Magnete 30 und die Anziehungsobjekte 29 ohne die Wand des Behälters 1 jeweils einander direkt gegenüber gestellt sein, so daß der Spalt zwischen den beiden enger wird. Folglich ist es für die Magnete 30 nicht länger notwendig, stark zu sein, wodurch deren Größe und Gewicht sowie der Energieverbrauch reduziert werden. Um atmosphärische Verformungen des Vakuumbehälters 1 zu vermeiden, werden die Magnete 30 an den Innenplatten 61 angebracht, die mechanisch von dem Behälter 1 getrennt sind. Desweiteren ragt ein Ende der Innenplatten 61 dem Drehelement 28 entgegen, um einen Vakuumtrennungsaufbau vorzusehen, so daß das von den Magneten 30 erzeugte Gas sich nicht zu der Fanganode 6 und dem Kathodenabschnitt 7 bewegen kann. Die Innenplatten 61 werden aus einem Material mit einer hohen magnetischen Permeabilität gebildet, so daß die Thermoelektronen von dem Kathodenabschnitt 7 nicht durch das von den Magneten 30 austretende magnetische Streufeld abgelenkt werden können.
Die gegenüberliegenden Flächen eines jeden Anziehungsobjektes 29 und magnetischen Schwebmagneten 30 sind jeweils relativ zu der Drehachse a um 456 geneigt. Daher ist es mit nur einem Magnet 30 möglich, das Drehelement 28 sowohl in Richtung der Achse a als auch in der dazu senkrechten Richtung zu bewegen, was bedeutet, daß es nicht länger erforderlich ist, magnetische Schwebmagnete zur Bewegung in Richtung der Drehachse a und in der dazu senkrechten Richtung zu verwenden.
Wie in Fig. 3 dargestellt ist, sind die Anziehungsobjekte 29 an der Verbindung zwischen dem Drehelement 28 und dem Rotor 32 befestigt. Das Drehelement 28 und der Rotor 32 werden aus einem Material mit geringer Steifigkeit, wie beispielsweise Aluminium, gebildet, wobei somit den Anziehungsobjekten 29 die Aufgabe zufällt, das Drehelement 28 und den Rotor 32 zu verstärken. Desweiteren befindet sich an der Rückseite des Rotors 32 ein Rotorrückseitenjoch 32a, welches einstückig mit jedem der Anziehungsobjekte 29 ist.
Wie in Fig. 4 dargestellt ist, ist nicht ein einzelner Magnet 30 zum magnetischen Schweben an dem gesamten Umfang vorgesehen, sondern es werden insgesamt zwölf solcher Magnete in einer aufgeteilten Weise verwendet. Als Ergebnis wird jeder Magnet 30 kleiner und ist somit leichter zu handhaben.
Die magnetischen Schwebmagnete 30 können in ihren Montierpositionen fein eingestellt werden. Genauer gesagt, werden beim Montieren der Magnete 30 zunächst alle Magnete 30 an den Innenplatten 61 mit Bolzen 62 befestigt, wie in Fig. 9(a) dargestellt ist. In diesem Fall werden Montieröffnungen 63 verwendet, die, wie in Fig. 9(b) dargestellt ist, senkrecht länglich sind und eine Feineinstellung der Montierposition jedes Magneten 30 erlauben, wodurch eine Feineinstellung des Spaltes zwischen dem Magneten 30 und dem dazu gehörenden Anziehungsobjekt 29 erlaubt wird. Die Innenplatten wurden einem Stirnflächensenken unterworfen, um die Köpfe der Bolzen 62 in ihnen aufzunehmen. Nach der Beendigung des Montierens aller Magnete 30 zum magnetischen Schweben werden die Innenplatten 61 an den Seitenplatten 1c des Vakuumbehälters 1 befestigt.
Wie in Fig. 4(b) dargestellt ist, ist die Anzahl der Magnete 30 im unteren Abschnitt höher (insgesamt acht) und im oberen Abschnitt geringer (insgesamt vier). Dies ist so, weil sich die Anziehungskomponente der in der unteren Position angebrachten Magnete 30 in eine Richtung wendet, um das Drehelement 28 entgegen der Schwerkraft nach oben zu ziehen, während sich die Anziehungskomponente der in der oberen Position angebrachten Magnete 30 in eine Richtung (gleich der Richtung der Schwerkraft) wendet, um das Drehelement 28 nach unten zu ziehen. Insbesondere zum magnetischen Schweben eines solchen schweren Objektes wie das Drehelement 28 ist ein derartiger Unterschied in der Anzahl der Magnete 30 sehr wirksam.
Obwohl in Fig. 3 sowohl die Joch- als auch die Spulenabschnitte 30a und 30b der magnetischen Schwebmagneten im Inneren des Vakuumbehälters 1 angeordnet sind, kann ein Aufbau aufgegriffen werden, bei dem nur die Jochabschnitte 30a im Inneren des Vakuumbehälters 1 und die Spulenabschnitte 30b außerhalb des Behälters 1 angeordnet sind. Da die Spulenabschnitte 30b Gas entwickeln, ist es möglich, den Grad des Vakuums zu erhöhen.
Fig. 4 zeigt eine detaillierte Ansicht der in Fig. 2 dargestellten Ausrüstung der Drehkathodenröntgenröhre. In Fig. 4 ist (a) eine Vorderansicht und (b) ist eine Seitenansicht. Es gibt Konstruktionselemente, die nicht in Fig. 4, aber in Fig. 2 und 3 dargestellt sind. In Fig. 4 sind insgesamt acht kontaktlose Verschiebungszähler 41 in enger Nähe zu Schrägflächen 29a der Anziehungsobjekte 29 angeordnet. Die kontaktlosen Verschiebungszähler 41 sind dazu da, die Positionen der Objekte 29 zu erfassen, wodurch der Zustand des magnetischen Schwebens des Drehelementes 28 erfaßt wird. Die erfaßten Signale von den Zählern 41 werden mittels einer Magnetsteuerschaltung 53 (siehe Fig. 5) verarbeitet, um die Magnete 30 zu steuern. Somit messen die kontaktlosen Verschiebungszähler 41 Verschiebungen der Schrägflächen 29a und folglich kann die Position des Drehelementes 28 in Richtung der Drehachse a und deren Position in der dazu senkrechten Richtung mit einem Verschiebungszähler 41 erfaßt werden; das bedeutet, daß es nicht notwendig ist, kontaktlose Verschiebungszähler 41 zur Messung in Richtung der Drehachse a beziehungsweise zur Messung in der dazu senkrechten Richtung vorzusehen. Die Seitenplatten 1c des Vakuumbehälters 1 werden mit Bleidrahtdurchtrittsabschnitten 42 gebildet (siehe Fig. 5).
Die kontaktlosen Verschiebungszähler 41 können an die Innenplatten 61 montiert werden, wodurch es ermöglicht wird, die Feineinstellung der Montierpositionen der Zähler 41 zu erleichtern.
Wie in Fig. 4(b) dargestellt ist, sind Aufsetzlager 60 derart angeordnet, daß sie sich mit der Mittelachse von der Drehachse a des Drehelementes 28 unterscheiden, womit sie sich von den herkömmlichen Aufsetzlagern unterscheiden (siehe jene mit 14 und 20 in Fig. 1 bezeichneten). Da die Ausrüstung der Drehkathodenröntgenröhre eine große, in der Mitte ausgebildete Subjekteinführöffnung 4 besitzt, erfordert die herkömmliche Einrichtung die Verwendung von Aufsetzlagern mit einem großen Durchmesser. Obwohl es notwendig ist, eine große Anzahl (16 in diesem Ausführungsbeispiel) von Aufsetzlagern 60 zu verwenden, wie in Fig. 4 dargestellt ist, kann im Vergleich zu der Verwendung eines oder zweier Lager mit großem Durchmesser eine Verringerung in Größe, Gewicht und Kosten erreicht werden. Die Funktion der Aufsetzlager 60 ist die gleiche wie beim Stand der Technik, was bedeutet, daß sie das Stützen des Drehelementes 28 bewirken, wenn die Stromquelle des magnetischen Schwebmechanismus ausgeschaltet wurde.
Die Aufsetzlager 60 können an die Innenplatten 61 montiert werden, wodurch es ermöglicht wird, die Feineinstellung der Montierpositionen der Lager 60 zu erleichtern.
Fig. 6 zeigt ein Flußdiagramm zur Darstellung der Abläufe einer Verformungskorrekturschaltung zur Korrektur von durch Bearbeitungsfehler, Gravitationsverformungen, etc. verursachten Verformungen des Drehelementes 28. Vor der Ausführung der in diesem Flußdiagramm gezeigten Abläufe wird eine (nicht dargestellte) Spannvorrichtung mit einem einen Schwerpunkt anzeigenden Punkt, der eine Schwerpunktlage des Drehelementes 28 anzeigt, in der Mitte des Drehelementes 28 montiert. Diese Spannvorrichtung wird nach der Entfernung des Innenringes 1b des Vakuumbehälters 1 montiert. Desweiteren wird ein (nicht dargestellter) Hilfssensor zum Erfassen der Lage des Schwerpunktes montiert.
Im folgenden wird auf die Abläufe der Schritte S1 bis S4 Bezug genommen, die vor dem Betrieb (Betrieb zum Erhalt der koaxialen Tomographie) der Ausrüstung der Drehkathodenröntgenröhre zum Erhalt einer koaxialen Tomographie des Subjektes ausgeführt werden. Zunächst werden ein Ausgangssignal A1 von den kontaktlosen Verschiebungsmessern 41 und ein Ausgangssignal A2 von dem oben erwähnten Hilfssensor eingebracht (Schritt S1). Das Ausgangssignal A1 enthält eine Verformungsgröße des Drehelementes 28, während das Ausgangssignal A2 eine solche Verformungsgröße nicht enthält. Daher kann die Verformungsgröße mittels Subtraktion der beiden Ausgangssignale errechnet werden (Schritt S2). Diese Verformungsgröße wird beispielsweise in dem Speicherabschnitt eines Speichers mit wahifreiem Zugriff (RAM) gespeichert (Schritt S3). Dann werden die Abläufe der Schritte S1 bis S3 ausgeführt, während das Drehelement 28 schrittweise, beispielsweise pro Schritt um 16, gedreht wird, wobei eine Verformungsgröße in einer Umdrehung gespeichert wird (Schritt S4). Danach werden die Spannvorrichtung und der Hilfssensor zurückbewegt.
Als nächstes wechselt der Betriebsfluß zu einem die Schritte S5 bis S9 umfassenden Betrieb zum Erhalt der koaxialen Tomographie. Dieser Betrieb wird mittels der in Fig. 7 dargestellten Verformungskorrekturschaltung 53 ausgeführt. Zunächst wird ein Drehwinkelsignal 28a, das einen Drehwinkel des Drehelementes 28 anzeigt, von einer Drehwinkelerfassungseinrichtung oder einem Kodierer aufgenommen (Schritt S5), der später beschrieben wird,. Da die Möglichkeit besteht, daß der Kodierer einen Zählfehler erzeugt, wird dieser Zählfehler mittels eines Ursprungswinkelsignals korrigiert, das einmal pro Umdrehung des Drehelementes 28 erzeugt wird (Schritte S5 und S6). Auf diese Weise wird ein exakter Drehwinkel des Drehelementes 28 erhalten, womit ein Speicherabschnitt 48 auf eine dem Drehwinkel entsprechende Verformungsgröße zugegreift (Schritt S7). Diese Verformungsgröße wird in ein Steuersignal umgewandelt, welches die Größe für die magnetischen Schwebmagnete 30 mittels eines Rechenabschnittes 47 korrigiert (Schritt S8). Das die Größe korrigierende Steuersignal wird dem Ausgangssignal eines Schwerpunktlagenberechnungsabschnittes 44 hinzugefügt, wobei dieses Signal dann an einen Schwebmagnetensteuerabschnitt 70 ausgegeben wird (Schritt S9). Desweiteren wird ein Ausgangssignal von dem Steuerabschnitt 70 mittels eines Verstärkers 45 verstärkt und dann den magnetischen Schwebmagneten 30 zugeführt.
Wie in Fig. 2 und 4 dargestellt ist, sind die Statoren 31 außerhalb des Außenringes 1a des Vakuumbehälters 1 angeordnet, das heißt, auf der bezogen auf den Behälter 1 der Subjekteinführöffnung 4 entgegengesetzten Seite. Im Vergleich zu herkömmlichen Einrichtungen, bei welchen die Statoren auf den Seitenplatten 1c des Behälters 1 angeordnet sind, ist diese Einrichtung in den folgenden Punkten vorteilhaft. Die Dicke (Abstand b in Fig. 2) der Ausrüstung der Drehkathodenröntgenröhre kann gering gestaltet werden, wobei es deshalb möglich ist, den Bewegungsbereich (einen Winkelbereich, der die Drehung der Ausrüstung der Drehkathodenröntgenröhre um das Subjekt 3 erlaubt) des Neigungsmechanismus zu vergrößern. Andererseits ist sogar im Vergleich zu dem Fall, bei dem die Statoren auf dem Innenring 1b des Vakuumbehälters 1 angeordnet sind, die Subjekteinführöffnung 4 größer, wodurch es deshalb möglich ist, sogar ein großes Subjekt 3 zu untersuchen; außerdem wird der Bewegungsbereich des Neigungsmechanismus breiter. Es ist ebenfalls möglich, das Ganze bei Aufrechterhaltung der Subjekteinführöffnung 4 zu vergrößern, und die Statoren innerhalb des Innenringes 1b anzuordnen, da aber die Röntgenstrahlung erzeugende Position eine Außenposition annimmt, treten Mißstände auf, wie beispielsweise ein geringer Nutzwirkungsgrad der Röntgenstrahlung.
Die Form der Statoren 31 ist anders als die herkömmliche Form nicht kreisförmig, sondern gewölbt, wie in Fig. 4(b) dargestellt ist. Zusammen mit dem Rotor 32 in dem Vakuumbehälter 1 stellen die Statoren 31 einen linearen Induktionsmotor dar. Unter Berücksichtigung der Steuerung des Schwebens des Drehelementes 28 und zum Schutz seiner Exzentrizität seiner Drehmitte, ist es notwendig, daß die Statoren 31 in zwei oder mehr Positionen (zwei in der senkrechten Richtung) in gleichen Abständen angeordnet werden.
Wie in Fig. 3 dargestellt ist, ist die Dicke des Außenringes 1a in dem Abschnitt, in dem das Jochteil jeden Stators 31 positioniert ist, geringer als in dem Abschnitt, in dem ein solches Jochteil nicht vorhanden ist. Folglich kann die Antriebskraft des Motors an dem dünneren Abschnitt erhöht werden, während eine erforderliche Festigkeit an dem dickeren Abschnitt beibehalten wird.
Wie in Fig. 4(b) dargestellt ist, ist in dem Drehelement 28 eine Vielzahl von Erfassungsöffnungen 50 ausgebildet, und, wie in Fig. 4(a) dargestellt ist, ein Lichtsender 51 und ein Photosensor 52 sind an beiden Seiten der Erfassungsöffnungen 50 angeordnet. Sobald eine Erfassungsöffnung 50 an dem Zwischenraum zwischen dem Lichtsender 51 und dem Photosensor 52 in Übereinstimmung mit dem Drehwinkel des Drehelementes 28 eintrifft, erreicht das Licht des Lichtsenders 51 den Photosensor 52, während, wenn keine Erfassungsöffnung 50 an dem Zwischenraum vorhanden ist, das Licht des Lichtsenders 51 den Photosensor 52 nicht erreicht. Durch Verarbeitung eines von dem Photosensor 52 vorgesehenen Ausgangssignals ist es ermöglicht worden, einen Drehwinkel des Drehelementes 28 von seiner Ursprungsposition oder seine Drehgeschwindigkeit zu erfassen. Somit bilden die Erfassungsöffnungen 50, der Lichtsender 51 und der Photosensor 52 einen großen auf der Drehachse a des Drehelementes 28 zentrierten Kodierer. Dessen Erfassungsgenauigkeit ist aufgrund einer großen Entfernung von der Achse a zu jeder Erfassungsöffnung 50 sehr hoch, wobei die Zuverlässigkeit ebenfalls hoch ist, weil es sich um eine kontaktlose Ausführung handelt.
Wie in Fig. 5 dargestellt ist, wird ein Ausgangssignal von dem oben beschriebenen Kodierer durch einen Photosensorenverstärker 54 verstärkt, wobei es danach mittels einer Vervielfachungsschaltung 55 verachtfacht wird. Fig. 8 zeigt ein Blockschaltbild, bei welchem die Einzelheiten der Vervielfachungsschaltung 55 dargestellt sind. Das Ausgangssignal von dem Kodierer wird zunächst einem Phasenvergleicher 56 zugeführt, der wiederum eine Spannung ausgibt, die proportional zu einer Phasendifferenz zwischen zwei Eingangssignalen ist. Ein Ausgangssignal von dem Phasenvergleicher 56 wird mittels eines Filters 57 gefiltert und danach mittels eines Spannungs-Frequenz-Umwandlers 58 in einen Impuls mit einer zur Spannung proportionalen Frequenz umgewandelt.
Da die Verstärkung des Phasenvergleichers 56, etc. richtig geregelt wird, hat der Impuls eine bezogen auf das Ausgangssignal des Kodierers verachtfachte Frequenz. Diese verachtfachte Signal wird einer Frequenzteilungsschaltung 59 zugeführt, die wiederum ein Impuls bei jeder Zählung von acht Impulsen ausgibt. Folglich besitzt der Ausgangsimpuls der Frequenzteilungsschaltung 59 eine Frequenz, die der des Kodiererausgangssignals gleich ist. Dieser Ausgangsimpuls wird an den Phasenvergleicher 56 zurückgeführt, der wiederum eine Spannung ausgibt, die zu einer Phasendifferenz zwischen dem Kodiererausgangssignal und dem Ausgangssignal von der Frequenzteilungsschaltung 59 proportional ist, was dazu führt, daß das Verhältnis zwischen der Frequenz des Kodiererausgangssignals und jener des verachtfachten Signals genau 8 wird.

Ausführungsbeispiel 2

Obwohl in Ausführungsbeispiel 1 die Anziehungskraft, die in die Richtung wirkt, in die das Drehelement 28 hochgezogen wird, mittels Aufteilung der Anzahl der magnetischen Schwebmagnete 30 erhöht wird, kann die gleiche Wirkung auch durch eine Vergrößerung der Abmessung der im unteren Abschnitt angeordneten Magnete 30 erzielt werden.

Claims

1. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre mit einem ringförmigen hohlen Vakuumbehälter (1), einer im Inneren des Vakuumbehälters befestigten ringförmigen Fanganode (6), einem der Fanganode in gegenüberliegender Beziehung im Inneren des Vakuumbehälters drehbar angeordneten ringförmigen Drehelement (28), mindestens einem an dem Drehelement an der der Fanganode gegenüberliegenden Seite angebrachten Kathodenabschnitt (7), einem Röntgenstrahlungsfenster (40) zum Hindurchtreten der an der Fanganode erzeugten Röntgenstrahlung und einem magnetischen Schwebmechanismus mit einem Magnet (30) zum magnetischen Schweben, dadurch gekennzeichnet, daß das Röntgenstrahlungsfenster (40) an einem Innenring (1b) des Vakuumbehälters (1) montiert ist und zumindest ein Jochabschnitt (30a) des Magneten (30) im Inneren angeordnet und an dem Vakuumbehälter (1) befestigt ist, wobei die Ausrüstung desweiteren ein Anziehungsobjekt (29) aufweist, das mit einem an der Rückseite eines Rotors (32) eines Drehantriebsmechanismus vorhandenen Rotorrückseiten joch (32a) einstückig ist, wobei das Objekt als Verstärkungsmaterial für das Drehelement dient.

2. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 1, wobei das Anziehungsobjekt (29) ein Ring in der Gestalt eines Stumpfes eines Kegels ist.

3. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 1, wobei auch ein Spulenabschnitt (30b) des Magneten (30) zum magnetischen Schweben in dem Vakuumbehälter (1) eingerichtet ist.

4. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 2, wobei ein kontaktloser Verschiebungszähler (41) zum Ermitteln einer Position des Drehelementes (28) eine Verschiebung der schrägen Fläche des Anziehungsobjektes (29) mißt, wodurch die Verschiebungen in jeweils der Drehachsenrichtung und der Radiusrichtung des Drehelementes durch einen Verschiebungszähler erfaßbar sind.

5. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 1, wobei der Magnet (30) zum magnetischen Schweben in einer Mehrzahl so vorgesehen ist, daß die Anzahl oberer anziehender Magnete größer als die Anzahl unterer anziehender Magnete ist.

6. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 1, wobei der Magnet (30) zum magnetischen Schweben in einer Mehrzahl so vorgesehen ist, daß die oberen anziehenden Magnete größer als die unteren anziehenden Magnete sind.

7. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 2, gekennzeichnet durch mindestens ein Aufsetzlager (60) zum Stützen der konischen Fläche des Anziehungsobjektes (29) aufweist.

8. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen an dem Vakuumbehälter (1) befestigten Elektromagneten (36), eine Stromerzeugungsspule (37), die an dem Drehelement (28) befestigt ist, um sich mit diesem zusammen zu drehen und dadurch das durch den Elektromagneten zur Herstellung von elektrischem Strom erzeugte Magnetfeld zu durchtreten, und einer Heizfadenstromversorgungseinrichtung, die einen elektrischen Strom einem Heizfaden (34) in dem Kathodenabschnitt (7) zuführt.

9. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 8, gekennzeichnet durch einen magnetischen Felddetektor, der an dem Vakuumbehälter (1) befestigt ist und ein in der Stromerzeugungsspule auf der Grundlage eines sie durchfließenden elektrischen Stromes erzeugtes magnetisches Feld erfaßt.

10. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 8, wobei ein gemeinsamer Magnet für sowohl den Elektromagneten als auch den Schwebmagneten verwendet wird.

11. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 8, wobei nur ein Jochabschnitt des Elektromagneten in dem Vakuumbehälter (1) angeordnet ist.

12. Ausrüstung einer Drehkathodenröntgenröhre gemäß Anspruch 8, wobei ein Raum in dem Vakuumbehälter (1) durch das Drehelement (28) in zwei Teile aufgeteilt ist, wobei in einem von diesen die Fanganode (6) und der Kathodenabschnitt (7) und in dem anderen der Stromleitungsabschnitt und die Heizfadenstromversorgungseinrichtung eingerichtet ist.