DE69214976D1 - Verfahren einer Verarbeitung von Vakuumdruckinformation in einer Vakuumeinheit zur Versagensvorkenntnis - Google Patents

Verfahren einer Verarbeitung von Vakuumdruckinformation in einer Vakuumeinheit zur Versagensvorkenntnis

Info

Publication number
DE69214976D1
DE69214976D1 DE69214976T DE69214976T DE69214976D1 DE 69214976 D1 DE69214976 D1 DE 69214976D1 DE 69214976 T DE69214976 T DE 69214976T DE 69214976 T DE69214976 T DE 69214976T DE 69214976 D1 DE69214976 D1 DE 69214976D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
failure detection
pressure information
vacuum
processing
vacuum pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69214976T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69214976T2 (de
Inventor
Shigeru Sugano
Mitsuhiro Saito
Shigekazu Nagai
Yoshiharu Ito
Takashi Takebayashi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP03028956A external-priority patent/JP3129457B2/ja
Priority claimed from JP2891991A external-priority patent/JP2953797B2/ja
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE69214976D1 publication Critical patent/DE69214976D1/de
Publication of DE69214976T2 publication Critical patent/DE69214976T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/08Means for indicating or recording, e.g. for remote indication
    • G01L19/12Alarms or signals
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00Vacuum gauges
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25BTOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/005Vacuum work holders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)
DE69214976T 1991-02-22 1992-02-19 Verfahren einer Verarbeitung von Vakuumdruckinformation in einer Vakuumeinheit zur Versagensvorkenntnis Expired - Fee Related DE69214976T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03028956A JP3129457B2 (ja) 1991-02-22 1991-02-22 故障予知機能を備えた真空制御装置
JP2891991A JP2953797B2 (ja) 1991-02-22 1991-02-22 真空ユニットにおける圧力値設定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69214976D1 true DE69214976D1 (de) 1996-12-12
DE69214976T2 DE69214976T2 (de) 1997-05-28

Family

ID=26367065

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69214976T Expired - Fee Related DE69214976T2 (de) 1991-02-22 1992-02-19 Verfahren einer Verarbeitung von Vakuumdruckinformation in einer Vakuumeinheit zur Versagensvorkenntnis

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5475619A (de)
EP (1) EP0500064B1 (de)
KR (1) KR950005892B1 (de)
AU (1) AU641307B2 (de)
DE (1) DE69214976T2 (de)
TW (1) TW212232B (de)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4234169A1 (de) * 1992-10-12 1994-04-14 Leybold Ag Verfahren zum Betrieb einer trockenverdichteten Vakuumpumpe sowie für dieses Betriebsverfahren geeignete Vakuumpumpe
JP3652397B2 (ja) * 1995-02-21 2005-05-25 三星テクウィン株式会社 部品搭載方法および搭載装置
US5677480A (en) * 1995-02-24 1997-10-14 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Method and system for assessing the operating condition of a pressure regulator in a corrosive gas distribution system
US5755550A (en) * 1995-09-21 1998-05-26 Fingerhut Corporation Vacuum depalletizer apparatus and method
KR100234360B1 (ko) * 1995-09-25 1999-12-15 윤종용 반도체 장치를 위한 진공장치
JP3358464B2 (ja) * 1996-10-11 2002-12-16 松下電器産業株式会社 電子部品実装方法
US5714678A (en) * 1996-11-26 1998-02-03 American Air Liquide Inc. Method for rapidly determining an impurity level in a gas source or a gas distribution system
KR100253092B1 (ko) * 1997-12-05 2000-06-01 윤종용 반도체 제조설비의 진공 흡착 장치
IL142802A (en) * 2000-04-27 2015-01-29 Enzo Therapeutics Inc Use of one or more HBV antigens for the preparation of oral pharmaceutical preparations for the treatment of a person with active HBV infection or hepatocellular carcinoma
DE102004042825B3 (de) * 2004-08-28 2006-01-05 J. Schmalz Gmbh Verfahren zum Betreiben einer Unterdruckhandhabungseinrichtung
US7931447B2 (en) 2006-06-29 2011-04-26 Hayward Industries, Inc. Drain safety and pump control device
US10030647B2 (en) 2010-02-25 2018-07-24 Hayward Industries, Inc. Universal mount for a variable speed pump drive user interface
US20110209320A1 (en) * 2010-02-26 2011-09-01 Abb Inc. Vision Guided Robotic Grommet Installation
WO2011145186A1 (ja) * 2010-05-19 2011-11-24 Necディスプレイソリューションズ株式会社 フィルタ目詰まり検出装置
AU2014228186B2 (en) 2013-03-15 2019-11-07 Hayward Industries, Inc. Modular pool/spa control system
CN103196626B (zh) * 2013-03-22 2015-06-10 北京长城电子装备有限责任公司 语音播报型数字压力检测系统
US9574714B2 (en) * 2013-07-29 2017-02-21 Nordson Corporation Adhesive melter and method having predictive maintenance for exhaust air filter
CN104111140B (zh) * 2014-07-16 2016-09-28 上海理工大学 汽车关门冲击气压的检测装置
US11720085B2 (en) 2016-01-22 2023-08-08 Hayward Industries, Inc. Systems and methods for providing network connectivity and remote monitoring, optimization, and control of pool/spa equipment
US10272014B2 (en) 2016-01-22 2019-04-30 Hayward Industries, Inc. Systems and methods for providing network connectivity and remote monitoring, optimization, and control of pool/spa equipment
EP3438680B1 (de) * 2016-03-31 2022-07-27 Beijing Const Instruments Technology Inc. Verfahren und vorrichtung zur detektion der umschaltwerte eines druckschalters
US10718337B2 (en) 2016-09-22 2020-07-21 Hayward Industries, Inc. Self-priming dedicated water feature pump
CN114812924A (zh) * 2022-04-12 2022-07-29 兰州空间技术物理研究所 一种真空计高精度数采显示交互设备

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4266905A (en) * 1979-04-20 1981-05-12 Board Of Regents For Education Of The State Of Rhode Island Apparatus for acquiring workpieces from a storage bin or the like
IT1136119B (it) * 1980-02-05 1986-08-27 Cir Spa Divisione Sasib Metodo e dispositivo per il controllo elettropneumatico della permeabilita all aria delle bacchette filtro destinate alla fabbricazione di sigarette con filtro
DE3008372C2 (de) * 1980-03-05 1985-01-24 Gerhard 7262 Althengstett Kurz Vorrichtung zur Anzeige eines allmählichen Druckänderungsverlaufs
US4378523A (en) * 1980-10-02 1983-03-29 Torr Vacuum Products, Inc. Metering and control system
US4430886A (en) * 1982-01-15 1984-02-14 Nordson Corporation Method and apparatus for sensing clogged nozzle
FR2523934A1 (fr) * 1982-03-24 1983-09-30 Saint Gobain Isover Procede et dispositif de prehension de colis
US4459843A (en) * 1982-07-06 1984-07-17 Durham La Moyne W Apparatus and method for testing containers
NL8401150A (nl) * 1984-04-11 1985-11-01 Douwe Egberts Tabaksfab Drukmeting in vacuumpakken.
GB2184850B (en) * 1985-12-02 1989-01-05 Honda Motor Co Ltd Method of detecting cylinder pressure and cylinder pressure detection device in internal combustion engine
AT392158B (de) * 1986-09-09 1991-02-11 Voest Alpine Ag Einrichtung zum ueberwachen des zustandes von hydraulik-, schmier- oder kuehlfluessigkeiten
JPH07274B2 (ja) * 1986-11-28 1995-01-11 株式会社東芝 吸着検出装置
JP2862535B2 (ja) * 1986-12-18 1999-03-03 エスエムシ−株式会社 真空発生用ユニツト
US4815313A (en) * 1987-11-16 1989-03-28 Abbott Laboratories Syringe pressure calibration reference
JP2547630B2 (ja) * 1988-12-19 1996-10-23 三洋電機株式会社 電気掃除機
DE3913584A1 (de) * 1989-04-25 1990-10-31 Walter Westenberger Verfahren und anordnung zur ueberwachung des spritzvorgangs bei spritzpistolen
DE58903237D1 (de) * 1989-05-23 1993-02-18 Siemens Ag Verfahren zur bestimmung des brennraumdruckes in einem zylinder einer brennkraftmaschine mit einem drucksensor.
GB2235915B (en) * 1989-08-24 1994-04-06 Smc Corp Method of and apparatus for detecting predicted failure in fluid-pressure system
US5060174A (en) * 1990-04-18 1991-10-22 Biomechanics Corporation Of America Method and apparatus for evaluating a load bearing surface such as a seat

Also Published As

Publication number Publication date
KR950005892B1 (ko) 1995-06-02
KR920016829A (ko) 1992-09-25
EP0500064A2 (de) 1992-08-26
AU1116992A (en) 1992-09-10
US5475619A (en) 1995-12-12
TW212232B (de) 1993-09-01
AU641307B2 (en) 1993-09-16
DE69214976T2 (de) 1997-05-28
EP0500064B1 (de) 1996-11-06
EP0500064A3 (en) 1993-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69214976D1 (de) Verfahren einer Verarbeitung von Vakuumdruckinformation in einer Vakuumeinheit zur Versagensvorkenntnis
DE68926483D1 (de) Verfahren zur Verarbeitung hierarchischer Daten
DE69418367T2 (de) Verfahren zur Detektion einer Szenenänderung
DE69329554T2 (de) Verfahren zur identifizierung von objekten unter verwendung von datenverarbeitungstechniken
DE69214410D1 (de) Verfahren zur ueberwachung eines dialysegeraet
DE69531942D1 (de) Verfahren zur verarbeitung von seismologischen daten
DE69613455D1 (de) Vielfachfrequenzverfahren und -anordnung zur Identifizierung von metallischen Objekten in einer Hintergrundumgebung
DE69225090D1 (de) Verfahren zur Ermittlung eines verrauschten Nutzsignals
DE3484135D1 (de) Verfahren zur umsetzung eines bildes von einer laufenden- oder lauflaengendarstellung in einer bitkarte.
DE3484136D1 (de) Verfahren zur umsetzung einer bitkarte eines bildes in einer lauflaengen- oder laufendendarstellung.
DE69224679D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von multidimensionalen Daten
DE69330682D1 (de) Verfahren zur Erkennung von Fehlzündungen
DE59304051D1 (de) Verfahren zur kurvenfahrterkennung
DE69129732D1 (de) Verfahren zur Positionsdetektion
DE69300078T2 (de) Verfahren zur Eichung eines Paares von Sensoren in einem Dialysatkreislauf.
ATA224591A (de) Verfahren zur verarbeitung von signalen
DE58903650D1 (de) Verfahren zur interruptverarbeitung in einer datentverarbeitungsanlage.
DE69225511T2 (de) Verfahren zur Verarbeitung von Formdaten
DE69331864T2 (de) Verfahren zur Verarbeitung eines radiographischen Silberhalogenidelements
DE69213654T2 (de) Verfahren zur Verarbeitung seismischer Daten
DE68927988T2 (de) Graphisches Verfahren zur Verarbeitung von Mehrfachdatenblöcken
DE59602876D1 (de) Verfahren und schaltungsanordnung zur überwachung einer datenverarbeitungsschaltung
DE69324448D1 (de) Verfahren zur Verarbeitung eines photothermographischen Elements
DE59603161D1 (de) Verfahren zur bestimmung einer zuverlässigkeits-kenngrösse eines responsiven systems sowie ein entsprechendes system zur signalverarbeitung
DE69033034D1 (de) Verfahren zur differenzierung von partikeln basierend auf einer dynamisch änderlichen schwelle

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee