DE69028322T2 - Positionsdetektor - Google Patents

Positionsdetektor

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Gerät zum Aufrechterhalten eines festen Abstandes zwischen zwei Objekten, z.B. des Abstandes zwischen einem Magnetkopf und einer Platte. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Gerät zum Aufrechterhalten einer festgelegten Neigung zwischen den beiden Objekten wie auch des Abstandes zwischen diesen.
  • Ein Gerät zum Aufrechterhalten eines festen Abstandes zwischen einem Meßgerät und einem zu messenden Objekt ist in Fig. 1 dargestellt. In der Figur bezeichnet Bezugszeichen "a" eine Laserlichtquelle, wie einen He-Ne-Laser; "b" bezeichnet gepaarte Lichtempfangsmittel und "c" die Oberfläche eines zu messenden Objekts.
  • Von der Lichtquelle "a" emittiertes Licht trifft auf die zu messende Oberfläche "c" auf. Das reflektierte Licht trifft das Elementenpaar b1 und b2 des Lichtempfangsmittels "b". Wenn die Oberfläche "c" so liegt, wie in durchgezogener Linie in der Figur bezeichnet, ist das Ausgangssignal des Elementes b1 groß. Wenn sie so liegt, wie in der Figur strichpunktiert angezeigt, ist das Ausgangssignal des Elementes b2 groß. Ein Vertikalabstand zwischen dem Lichtaufnahmemittel "b" und der Fläche "c" kann aus den Ausgangssignalen des Elementenpaares b1 und b2 ermittelt werden.
  • Nach dem Stand der Technik muß die Lichtquelle "a" bezüglich der Fläche "c" des zu messenden Objekts schräggestellt werden, damit das reflektierte Licht auf das Lichtempfangsmittel gerichtet ist. Um die Meßgenauigkeit zu erhöhen, sollte vorzugsweise auch der Winkel θ des von der Lichtquelle emittierten Lichtes erhöht werden. Zu diesem Zweck muß der Abstand zwischen der Lichtquelle "a" und dem Lichtempfangsmittel "b" erhöht werden. Das Lichtempfangsmittel "b" besteht aus den beiden Elementen b1 und b2 und neigt dazu, etwas sperrig zu sein. Infolge dieser beiden Faktoren wird der Positionsdetektor notwendigerweise sperrig. Die Neigung der Fläche "c" erzeugt häufig einen großen Meßfehler.
  • Ein bekanntes Gerät zum Korrigieren der Neigung der zu messenden Oberfläche ist gemäß Fig. 2 aufgebaut. Lichtempfangselemente b3 und b4 haben die gleiche Größe und sind mit gleichem Abstand von einer Lichtquelle "a" angeordnet. Um die Neigung der Oberfläche "c" zu korrigieren, wird die Oberfläche so bewegt, daß die Differenz zwischen den beiden Ausgangssignalen der Elemente b3 und b4 auf Null gebracht wird.
  • Dieses Gerät kann jedoch den Abstand zwischen den Lichtempfangselementen und der zu messenden Oberfläche nicht messen. Damit ist keines der bekannten Geräte in der Lage, gleichzeitig den Abstand zwischen den Lichtempfangselementen und der zu messenden Oberfläche und die Neigung der Oberfläche korrekt zu bestimmen.
  • US-A-4 358 960 offenbart einen optischen Annäherungsfühler. US- A-4 488 813 offenbart einen optischen Fühler mit Reflektivitätsausgleich.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Positionsdetektor geschaffen, welcher umfaßt:
  • mindestens ein lichtemittierendes Mittel zum Bestrahlen einer Fläche eines zu messenden Objektes;
  • zwei Lichtempfangsmittel zum Empfangen von durch die Oberfläche reflektiertem Licht, wobei sich ein erster Abstand von einem der Lichtempfangsmittel zu dem lichtemittierenden Mittel (von einem zweiten Abstand von dem anderen Lichtempfangsmittel zu dem Lichtemissionsmittel, parallel zu der Oberfläche gemessen, unterscheidet, wenn der Detektor im Gebrauch ist, und ein Lichtempfangsbereich eines Lichtempfangsmittels sich von dem des anderen unterscheidet, so daß die Lichtempfangsmittel voneinander unterschiedliche Lichtmengen empfangen und daraus unterschiedliche Ausgangssignale erzeugen;
  • Rechenmittel, um eine Korrekturgröße zur Korrektur der Abstände zwischen der Oberfläche und den Lichtempfangsmitteln zu errechnen, wobei die Korrekturgröße errechnet wird, indem die Ausgangssignale der Lichtempfangsmittel miteinander verglichen werden; und
  • Bewegungsmittel, um die Abstände zwischen der Oberfläche und den Lichtempfangsmitteln entsprechend der Korrekturgröße zu korrigieren.
  • Andere Ziele, Merkmale und Vorteil der Erfindung werden beim sorgfältigen Lesen der nachfolgenden detaillierten Beschreibung im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen offenbar, in welchen:
  • Fig. 1 ein erläuterndes Schaubild einer Anordnung eines üblichen Positionsdetektors ist, der fähig ist, eine Distanz von einem Lichtempfangsmittel zur Oberfläche eines zu messenden Objekts zu korrigieren;
  • Fig. 2 ein erläuterndes Schaubild ist, das eine Anordnung eines anderen üblichen Positionsdetektors zeigt, der fähig ist, eine Neigung einer Meßoberfläche zu korrigieren;
  • Fig. 3 ist ein Schaubild, das schematisch und in Blockform eine erste Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt, in der ein erfindungsgemäßer Positionsdetektor in eine optomagnetische Aufzeichnungs/Wiedergabe-Vorrichtung aufgenommen ist;
  • Fig. 4 eine Querschnittsansicht längs Linie I-I der Fig. 3 ist;
  • Fig. 5 eine graphische Darstellung ist, die eine Beziehung zwischen einem Ausgangsleistungssignal P jedes Lichtempfangsmittels und einem Abstand H von dem Lichtempfangsmittel zur Oberfläche eines zu messenden Objekts zeigt;
  • Fig. 6 ein Schaltbild ist, das ein in der Aufzeichnungs/Wiedergabe-Vorrichtung nach Fig. 3 benutztes Rechenmittel zeigt;
  • Fig. 7 ein Schaubild ist, das eine zweite Ausführung eines erfindungsgemäßen Positionsdetektors zeigt, bei dem das Lichtempfangsmittel Dreieckform aufweist;
  • Fig. 8 ein Schaubild ist, das eine dritte Ausführung eines erfindungsgemäßen Positionsdetektors zeigt, bei dem das Lichtempfangsmittel trapezförmig ist;
  • Fig. 9 eine graphische Darstellung ist, die eine Beziehung zwischen einem Ausgangsleistungssignal P jedes Lichtempfangsmittels und einem Abstand H von dem Lichtempfangsmittel zur Oberfläche eines zu messenden Objekts in der Ausführung nach Fig. 8 zeigt; und
  • Fig. 10 ein Schaubild ist, das eine vierte Ausführung eines erfindungsgemäßen Positionsdetektors zeigt, bei dem ein einziges lichtemittierendes Mittel für zwei Lichtempfangsmittel vorhanden ist.
  • Eine erste Ausführung der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug auf Fig. 3 beschrieben. In der Ausführung ist ein erfindungsgemäßer Positionsdetektor in einer optomagnetischen Aufzeichnungs/Wiedergabe-Vorrichtung aufgenommen.
  • In Fig. 3 bezeichnet Bezugszeichen 1 einen Magnetkopfabschnitt zum Entwickeln eines externen Magnetfeldes; 2 einen Optikkopf- Abschnitt zum Emittieren eines Laserstrahles und Erfassen eines reflektierten Laserstrahles; 3 einen Servosteuerabschnitt, um einen Fokusservo in dem Optikkopf-Abschnitt zu bewirken; 4 eine Platte mit einer zu messenden Oberfläche,9b und 9c Photodetektoren; und 6 ein Rechenmittel zum Errechnen einer Korrekturgröße aus einer Differenz zwischen den Ausgangssignalen der beiden Photodetektoren 5 und 5'.
  • In dem Magnetkopfabschnitt 1 ist ein Magnetkopf 11 an einer Plattenfeder 13 befestigt, der zusammen mit einer Magnetbetätigerwicklung 12 als Bewegungsmittel dient. Beide Enden der Plattenfeder 13 sind durch einen Klotz 14 gehalten. Damit wird der Magnetkopf 11 zu einer Neutralstelle hin vorgespannt. Ein Joch 15 und ein Magnet 16 sind an einem Klotz 14 befestigt. Das Bewegungsmittel 12 ist in einem durch das Joch 15 und den Magneten 16 gebildeten Magnetkreis angeordnet.
  • Der Magnetkopf 11 ist mit einem damit integralen Tragtisch 11' versehen. Ein Photodetektor 9, der ein Lichtemissionsmittel 9a und ein Paar Lichtempfangsmittel 9b und 9c enthält, ist an dem Magnetkopf 11 angeordnet. Der Magnetkopf 11 ist in Radialrichtung der Platte zu dem Lichtemissionsmittel 9a geneigt. Ein von dem Lichtemissionsmittel 9a emittierter Lichtstrahl wird durch die Oberfläche 4a der Platte 4 reflektiert und erreicht die Lichtempfangsmittel 9b, 9c.
  • Wie in Fig. 4 gezeigt, sind die Lichtempfangsmittel 9b und 9c, von oben betrachtet, jeweils in rechtwinkliger Form ausgebildet, und haben verschieden großen Abstand von dem Lichtemissionsmittel 9a. Ein Kreis 9d bezeichnet einen Beleuchtungsbereich, der die Lichtempfangselemente 9b und 9c enthält; damit fällt der von dem Lichtemissionsmittel 9a emittierte und von der zu messenden Fläche 4 reflektierte Lichtstrahl in den Bereich des Kreises 9d. Der Radius des Kreises 9d vergrößert sich proportional zu einer Erhöhung des Abstandes H zwischen dem Lichtempfangsmittel 9a und der zu messenden Fläche 4a (siehe Fig. 3). Das von dem Lichtemissionsmittel 9a emittierte Licht wird durch den Bereich 9d der zu messenden Fläche 4a reflektiert und fällt auf die Lichtempfangsmittel 9b und 9c auf. Jedes Lichtempfangsmittel 9b, 9c erzeugt ein Ausgangssignal, das von der Intensität des aufgenommenen reflektierten Lichtes abhängt, und führt es dem Rechenmittel 9 zu. Dann legt das Rechenmittel 6 einen Ansteuerstrom an das Bewegungsmittel 12 an. Der Ansteuerstrom wird Null, wenn der Abstand zwischen dem Magnetkopf 11 und einem vertikalen Magnetfilm 4a der Platte 4 den optimalen Wert erreicht. Die Polarität und der Pegel des Antriebsstromes wechseln und verändern sich entsprechend dem Versatz des Kopfes in Vertikalrichtung. Das wird nachfolgend im einzelnen beschrieben.
  • Wie vorher angeführt, bestrahlt das Lichtemissionsmittel 9a des Photodetektors 9 die zu messende Fläche 4 innerhalb des Kreisbereiches 9d, dessen Radius von dem Abstand H von der Platte 4 abhängt (Fig. 4). Ein Teil des von der Platte 4 reflektierten Lichtes fällt auf die Lichtempfangsmittel 9b und 9c und wird durch diese erfaßt, welche dann wiederum Ausgangssignale erzeugen, die die Mengen des empfangenen Lichtes wiedergeben.
  • In dem Optikkopf-Abschnitt 2 wird ein von einem Halbleiterlaser 21 emittierter Lichtstrahl durch einen Strahlteiler 22 ausgesendet und mittels einer Objektivlinse 23 zur Platte 4 hin kondensiert. Ein durch den vertikalen Magnetfilm 4a der Platte 4 reflektierter Laserstrahl wird durch ein Plattensubstrat 4b hindurchgelassen, durch die Objektivlinse 23 gesammelt und dann mittels des Strahlteilers 22 zu einem Brennpunktfehler-Erfassungsabschnitt 24 gerichtet. Der Brennpunktfehler-Erfassungsabschnitt 24 erzeugt, beispielsweise durch ein Astigmatismus- Verfahren, ein Fokusfehlersignal, und gibt es an den Servosteuerabschnitt 3 aus. Die Objektivlinse 23 ist an einer Objektivbetätigerwicklung 25 befestigt. Die Objektivlinse 23 wird entsprechend der Richtung und Größe eines der Betätigerwicklung 25 zugeführten Antriebsstromes in Richtung des Pfeiles B in Fig. 3 bewegt.
  • In dem Servosteuerabschnitt 3 erzeugt die Servoeinheit 31 ein Servosignal unter Benutzung eines Fokusfehlersignals als anliegendem Eingangssignal, und gibt es an eine Fokusansteuereinheit 32 aus. Die Einheit 32 erzeugt einen Ansteuerstrom für den Fokusservo, der sich entsprechend dem Servosignal ändert und legt ihn an die Betätigerspule 25 an. Die Betätigerspule 25 bewegt die Objektivlinse entsprechend dem daran anliegenden Ansteuerstrom in der Richtung zum Korrigieren eines Fokusfehlers. Auf diese Weise wird die Servosteuerung so durchgeführt, daß ein fester Abstand zwischen der Platte 4 und der Objektivlinse 23 eingehalten wird.
  • Eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen dem Ausgangssignal P jedes Lichtempfangsmittels 9b und 9c und dem Abstand H zwischen der Platte 4 und dem Photodetektor ist in Fig. 5 gezeigt. In der graphischen Darstellung stellt die Ordinate die Ausgangsleistung P des Lichtempfangsmittels und die Abszisse den Abstand H dar. Eine Kurve 1 bezeichnet die Veränderung der Ausgangsleistung P des Lichtempfangsmittels 9b, das sich dicht an dem Lichtemissionsmittel 9a befindet. Theoretisch sollte die Ausgangsleistung P größer werden, wenn der Abstand H zwischen dem Photodetektor und der zu messenden Fläche kleiner wird. Tatsächlich fällt sie jedoch abrupt ab, wenn der Abstand H zu kurz wird. Wenn H = 0, trifft kein reflektiertes Licht auf dem Photodetektor mehr auf, und P = 0. Der Grund dafür liegt darin, daß, wenn der Photodetektor sich zu nahe an der zu messenden Fläche befindet, das reflektierte Licht kaum auf dem Lichtempfangsmittel auftrifft. Dementsprechend beginnt die Kurve 1 am Ursprung 0, erreicht einen Spitzenwert bei Ho und fällt dann allmählich ab.
  • Eine Kurve 2 bezeichnet eine Veränderung der Ausgangsleistung P des Lichtempfangsmittels 9c, das weiter vom Lichtemissionsmittel 9a entfernt liegt. Das Profil der Kurve 2 ähnelt dem der Kurve 1, ist jedoch insgesamt nach rechts verschoben, da der Abstand des Lichtempfangsmittels vom Lichtemissionsmittel 9a größer ist. Der Lichtempfangsbereich des Lichtempfangsmittels 9c ist größer als der des Lichtempfangsmittels 9b, da die Menge des durch das Lichtempfangsmittel 9c empfangenen reflektierten Lichtes im wesentlichen gleich der durch das Lichtempfangsmittel 9b empfangenen Lichtmenge ist (und dementsprechend der Spitzenwert der Kurve 1 im wesentlichen gleich dem der Kurve 2 ist). Eine Differenz zwischen den Kurven 1 und 2 erzeugt eine S-förmige Kurve 3. Durch Benutzen des Wertes der so erhaltenen Kurve 3 für ein Servosignal wird der Magnetkopf 11 so bewegt, daß ein fester Abstand zwischen dem Magnetkopf 11 und der zu messenden Fläche 4 eingehalten wird. Wenn in diesem Falle die Position des Magnetkopfes 11 gegenüber dem Photodetektor 9 so ausgewählt wird, daß sich ein optimaler Abstand zwischen dem Magnetkopf 11 und der zu messenden Fläche ergibt, wird immer ein zum Aufzeichnen von Daten auf den vertikalen Magnetfilm 4a ausreichendes Magnetfeld sichergestellt, auch wenn sich der Vertikalabstand infolge Schwingens der Platte in Vertikalrichtung zu verändern droht.
  • Eine Schaltanordnung nach Fig. 6 wird als arithmetisches Rechenmittel 6 benutzt. Hier wird das Ausgangssignal des Lichtempfangsmittels 9b an die nichtinvertierende Eingangsklemme eines Komparators 61 angelegt, während das Ausgangssignal des Lichtempfangsmittels 9c an dessen invertierende Eingangsklemme angelegt wird. In einem normalen Servozustand erzeugt der Komparator 61 ein für die Differenz zwischen den Ausgangsleistungen der Lichtempfangsmittel 9b und 9c repräsentatives Ausgangssignal. Das Ausgangssignal des Komparators 61 wird einem Fokussperr-Erfassungsmittel 62 zugeführt, das ein Operationsverstärker sein kann. Das Mittel 62 überwacht konstant das Servosignal, wie es durch die Kurve 3 wiedergegeben wird. Wenn das Servosignal in einem Servo-Einzugsbereich ist, schaltet das Fokussperr-Erfassungsmittel 62 einen Schalter 63 an und schaltet den Schalter 64 aus. Eine Rampenspannung V wird invertiert, einer Kraftantriebs-Stromquelle 65 eingegeben und über den Schalter 64 an das Bewegungsmittel 12 angelegt. Der Grund, warum die Rampenspannung invertiert wird, ist, daß die Richtung des Magnetkopf-Servo entgegengesetzt zu der des Servo für das optische System liegt.
  • Das Einziehen des Servosignals wird zuerst beschrieben. Zum Beginnen wird die Rampenspannung VR in einem offenen Schleifenzustand eingegeben (d.h. in einem Zustand, in der der Schalter 63 abgeschaltet ist) und durch den Schalter 64 an das Bewegungsmittel 12 angelegt. Durch Anlegen der Rampenspannung VR wird das Bewegungsmittel 12 zwangsweise zu einem Punkt bewegt, an dem es sich weiter von der zu messenden Fläche 4 entfernt befindet. Dann wird es allmählich zu der zu messenden Fläche 4 hin bewegt. Wenn erfaßt wird, daß das Fokussperr-Erfassungsmittel 62 in einen Fokus-Einzugsbereich fällt, wird der Schalter 64 abgeschaltet und gleichzeitig der Schalter 63 eingeschaltet, um die Schleife zu schließen. Für das Einziehen des Servos für das optische System wird die Objektivlinse 23 allmählich von einer am weitestens von der Platte entfernten Stelle zu der Platte hin bewegt, wobei eine Rampenspannung die umgekehrte Polarität zu der der Rampenspannung VR hat. Ein Null-Überquerungspunkt des Fokus-Fehlersignals oder seine Annäherung wird in gleichartiger Weise erfaßt, und der Servobetrieb eingezogen. Aus diesem Grund wird die Rampenspannung für das Servoeinziehen des optischen Systems invertiert, wenn es für das Servoeinziehen des Magnetkopfes angewendet wird.
  • Alternativ wird ohne Fokussperr-Erfassungsmittel 62 zum Zeitpunkt des Servoeinziehens des optischen Systems der Schalter 63 eingeschaltet, während der Schalter 64 abgeschaltet ist. Der Grund für diese alternative Anordnung ist der, daß der Einzugspunkt des Servos für das optische System nicht immer mit dem optimalen Servoeinzugspunkt des Magnetkopfes zusammenfällt, jedoch eine hohe Wahrscheinlichkeit besteht, daß diese optimalen Servoeinzugspunkte zusammenfallen.
  • Demzufolge wird der Magnetkopf 11 in Richtung des Pfeils A in Fig. 3 bewegt, um dadurch den Abstand zwischen dem Magnetkopf 11 und der zu messenden Fläche 4 auf einem festen Wert zu halten.
  • Es ist möglich, das Ansteuersignal direkt von der Fokus-Servoeinheit 31 an das Bewegungsmittel 12 anzulegen. In diesem Fall muß eine Maßnahme getroffen werden für eine Abweichung der Frequenzcharakteristik, die durch eine Gewichtungsungleichheit des optischen Kopfes gegenüber dem Magnetkopf verursacht wird, und für einen Versatz der Neutralposition infolge einer Ermüdung der Plattenfeder 13 und dergleichen. Es wird hier bemerkt, daß in der vorliegenden Erfindung das Fokus-Servosystem für das optische System sich von dem Steuersystem zum Aufrechterhalten des Abstandes zwischen dem Magnetkopf und der Platte auf einen festen Wert unterscheidet. Wegen dieses Merkmals ist der Positionsdetektor nach der vorliegenden Erfindung frei von einem Versetzen des Neutralpunktes infolge Federermüdung und der Abweichung der Frequenzcharakteristik infolge Gewichtungsungleichheit.
  • Fig. 7 ist ein Schaubild, das eine zweite Ausführung eines Positionsdetektors gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt. Bei diesem Beispiel nimmt das Lichtempfangsmittel 9b und 9c jeweils den oberen bzw. unteren Abschnitt eines gleichschenkligen Dreiecks ein. Das Dreieck ist so angeordnet, daß seine Spitze näher zum Lichtemissionsmittel 9a liegt. Die Lichtempfangsmittel 9b und 9c sind von unterschiedlicher Größe bezüglich der Lichtempfangsbereiche und ihre Abstände zu dem Lichtemissionsmittel 9a, in Horizontalrichtung gesehen. Dementsprechend ist ein derartiger Positionsdetektor wie der in der Ausführung nach Fig. 3 betreibbar und kann deshalb ein Servosignal zum Aufrechterhalten des Abstandes zwischen dem Photodetektor 9 und der zu messenden Fläche 4 auf einen festen Wert erzeugen.
  • Fig. 8 ist ein Schaubild, das eine dritte Ausführung eines Positionsdetektors nach der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Lichtempfangsmittel 9b und 9c bilden im zusammengebauten Zustand ein Trapezoid mit einer Oberseite, die näher an dem Lichtemissionsmittel 9a liegt. Die untere Seite des dreieckigen Lichtempfangsmittels 9b und die Spitze des dreieckigen Lichtempfangsmittels 9c liegen dem Lichtempfangsmittel 9a zugewendet. Die Mitte des Lichtempfangsbereiches des Lichtempfangsmittels 9b befindet sich dichter an dem Lichtemissionsmittel 9a als die des Lichtempfangsmittels 9c. Dementsprechend vermindert sich die Ausgangsleistung des Lichtempfangsmittels 9b so, wie in der Kurve 1 in Fig. 9 gezeigt. Wie dargestellt, steigt sie steil bis zu einem Spitzenwert an und fällt dann allmählich ab. Die Ausgangsleistung des Lichtempfangsmittels 9c, wie durch eine Kurve 2 angezeigt, steigt sanft an bis zum Erreichen eines Spitzenwertes und fällt steil ab. Eine Differenz der Kurven 1 und 2 erzeugt eine S-förmige Kurve 3, die der Kurve 3 in Fig. 5 ähnelt.
  • Fig. 10 ist ein Schaubild, das eine vierte Ausführung eines Positionsdetektors nach der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie gezeigt, wird ein einziges Lichtemissionsmittel 5a verwendet, das an einem Grundteil 8 befestigt ist. Zwei Lichtempfangsmittel 5b und 5b', die sich an unterschiedlichen vertikalen Niveaus befinden, sind an einander gegenüber liegenden Seiten des Lichtemissionsmittels 5a angeordnet.
  • Bei Anwendung bei dem optomagnetischen Aufzeichnungs/Wiedergabe-Gerät nach Fig. 3 sind die Photodetektoren vorzugsweise in zum Radius der optischen Platte senkrecht liegenden Richtungen angeordnet. Sonst könnte oder könnten, wenn sich der Magnetkopf 11 längs des Radius der zu messenden Fläche der Platte 4 nach außen bewegt, das Lichtemissionsmittel oder die Lichtempfangsmittel des Photodetektors über den Umfang der Platte hinaus bewegen. In diesem Fall würde der Betrieb verschlechtert, da das Licht außen an der Platte vorbeistrahlte und das Lichtempfangsmittel das Licht nicht empfangen könnte.
  • Es wird Bezug genommen auf die Anmeldung Nr. 90 312 161.4 (EP- A-0 447 713), aus der die vorliegende Anmeldung ausgeschieden wurde.

Claims (1)

1. Positionsdetektor, welcher umfaßt:
mindestens ein lichtemittierendes Mittel (9a,5a) zum Bestrahlen einer Fläche (4a) eines zu messenden Objektes (4);
zwei Lichtempfangsmittel (9b,9c;5b,5b') zum Empfangen von durch die Oberfläche reflektiertem Licht, wobei sich ein erster Abstand von einem der Lichtempfangsmittel zu dem lichtemittierenden Mittel (9a, 5a) von einem zweiten Abstand von dem anderen Lichtempfangsmittel zu dem Lichtemissionsmittel (9a, 5a), gemessen parallel zu der Oberfläche (4a), unterscheidet, wenn der Detektor im Gebrauch ist, und ein Lichtempfangsbereich eines Lichtempfangsmittels sich von dem des anderen unterscheidet, so daß die Lichtempfangsmittel voneinander unterschiedliche Lichtmengen empfangen und unterschiedliche Ausgangssignale daraus erzeugen;
Rechenmittel (6), um eine Korrekturgröße zur Korrektur der Abstände zwicshen der Oberfläche (4a) und den Lichtempfangsmitteln (9b,9c;5b,5b') zu errechnen, wobei die Korrekturgröße errechnet wird, indem die Ausgangssignale der Lichtempfangsmittel (9b,9c;5b,5b') miteinander verglichen werden; und
Bewegungsmittel (12), um die Abstände zwischen der Oberfläche (4a) und den Lichtempfangsmitteln (9b,9c;5b,5b') entsprechend der Korrekturgröße zu korrigieren.
DE69028322T 1990-02-08 1990-11-07 Positionsdetektor Expired - Fee Related DE69028322T2 (de)

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JP2027190A JPH0782654B2 (ja) 1990-02-08 1990-02-08 位置検出器
JP2027189A JPH0782653B2 (ja) 1990-02-08 1990-02-08 位置検出器

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Publication Number Publication Date
DE69028322D1 DE69028322D1 (de) 1996-10-02
DE69028322T2 true DE69028322T2 (de) 1997-03-20

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