DE69023522T2 - Elektrostatische Haltevorrichtung. - Google Patents

Elektrostatische Haltevorrichtung.

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DE69023522T2
DE69023522T2 DE1990623522 DE69023522T DE69023522T2 DE 69023522 T2 DE69023522 T2 DE 69023522T2 DE 1990623522 DE1990623522 DE 1990623522 DE 69023522 T DE69023522 T DE 69023522T DE 69023522 T2 DE69023522 T2 DE 69023522T2
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N13/00Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect

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  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine elektrostatische Haltevorrichtung, die elektrostatische Kräfte einsetzt, um einen Körper in einem Gefäß in einem stationären Schwebezustand, also mechanisch nicht unterstützt, zu halten.
  • Im Verlauf der neueren Forschung und Entwicklung von neuartigen Materialien wurde vorgeschlagen, neuartige Materialien nicht auf der Erde, sondern im Weltraum zu entwickeln, wo die äußerst geringen Gravitationskräfte bedeuten, daß Rohstoffe oder Artikel an einem Punkt im Raum in einem stationären, berührungsfreien Zustand gehalten werden können, um ein Aufheizen, Schmelzen, Erstarren oder andere Vorgänge an dem Material durchzuführen. Die Realisierung dieses Vorschlages erfordert die Entwicklung nicht nur von Techniken zum Halten eines Körpers in einem stationären, berührungsfreien Zustand, sondern auch von Techniken zum Aufheizen oder Schmelzen eines solchen Körpers.
  • Eine der Techniken zum Halten eines Körpers in einem stationären Schwebezustand ist es, ein elektrostatisches Feld zu verwenden. Praktische elektrostatische Positionierer, die dieses Konzept verwenden, wurden vorgeschlagen.
  • Solche bekannten elektrostatischen Positionierer sind beispielsweise in dem US-Patent Nr. 4.521.854 und in einem Artikel mit dem Titel "Development of an electrostatic positioner for space material processing" ("Entwicklung einer elektrostatischen Positioniervorrichtung für Materialbearbeitung im Weltraum") in REVIEW OF SCIENTICFIC INSTRUMENTS, Bd. 56, Nr.2, Februar 1985, S.307-317 offenbart worden. In einem typischen, in Fig. 1 gezeigten Beispiel sind ein Paar von schüsselförmigen Elektroden 1 vertikal voneinander beabstandet angeordnet, um zwischen sich ein elektrisches Feld zu erzeugen, wobei eine Gleichstrom-Energiequelle 2 verwendet wird. Bei einem anderen, in Figur 2 gezeigten Beispiel sind vier kugelförmige Elektroden 3 an den Eckpunkten eines Tetraeders angeordnet und entsprechend mitt unabhängigen Gleichstrom-Energiequellen 4 verbunden, um in dem durch die Elektroden 3 definierten Tetraeder ein elektrisches Feld aufzubauen. Die Spannung der Energiequelle 2 oder 4 wird so gesteuert, daß eine Abweichung in der Position des geladenen Körpers in dem durch die Elektroden 1 oder 3 definierten Feld kompensiert und korrigiert wird.
  • Die oben beschriebene Vorrichtung, bei der das elektrische Feld durch lediglich Anlegen von Gleichstrom an die Elektroden 1 oder 3 erzeugt wird, bedarf einer Überwachung jeglicher Abweichung bezüglich der Position des geladenen Körpers durch eine Videokamera oder dergl. und eine Steuerung der Energiequelle 2 oder 4, so daß der Körper als Reaktion auf das beobachtete Ergebnis mit einer kurzen Reaktionszeit in seine gewünschte Position zurückgeführt wird. Dies führt zu technischen Schwierigkeiten beim Steuern der Position des geladenen Körpers und beim Halten des Körpers im stationären Zustand.
  • In dem zwischen den schüsselförmigen Elektroden 1 aufgebauten elektrischen Feld existieren keine Haltekräfte zum Festhalten des Körpers in seitlicher Richtung. Solche seitlichen Haltekräfte sind selbst bei dem durch die kugelförmigen Elektroden 3 aufgebauten Feld schwach.
  • Es besteht somit das Problem, daß der angehobene Körper anfällig für eine Ablenkung oder seitliches Ausbrechen ist.
  • Um diese Probleme zu bewältigen, wurde eine Vorrichtung vorgeschlagen, bei der gitterförmige Elektroden verwendet werden (japanische Patentanmeldung Nr. 296782/1988). Beispielsweise sind, wie in Figur 3 gezeigt, zwei Paare von parallelen, stabartigen Elektroden 5 so angeordnet, daß sie sich gegensietig senkrecht schneiden, wodurch sie einen Raum in Form eines Würfels definieren. Jedes Paar von Elektroden 5 ist mit einer Wechselstrom-Energiequelle 6 oder einer Wechselstrom-Energiequelle, bei der dem Wechselstrom eine Gleichstromkomponente überlagert ist, verbunden.
  • Eine solche elektrostatische Positioniervorrichtung, die eine gerade Anzahl von stabförmigen Elektroden 5 aufweist, welche einen kubischen Raum definieren und mit einer Wechselstrom-Energiequelle 6 verbunden sind, weist anders als die schüsselförmige oder kugelförmige Elektroden 1 oder 3 verwendende Vorrichtung sowohl Spannungs- als auch Frequenzeinstellmittel auf, so daß sie eine verbesserte Fähigkeit zur Positionssteuerung des schwebenden Körpers biete. Der Bereich oder die Zone der wirkungsvollen Positionssteuerung des schwebenden Körpers ist jedoch klein, so daß es noch immer schwierig ist, den Körper auf stabile Weise in einem stationären Schwebezustand zu halten.
  • Ein weiterer Typ einer elektrostatischen Positioniervorrichtung ist in einem Artikel in REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, Vol. 57, No. 9, 1986, S.2250-2253 veröffentlicht, auf dem der Oberbegriff von Anspruch 1 aufbaut, und der "Fluorescence Spectrometer for a Single Electrodynamically Levitated Particle" ("Fluoreszenzspektrometer für ein einzelnes, elektrodynamisch in einen Schwebezustand versetztes Partikel") betitelt ist. Dieser Artikel beschreibt eine Anhebevorrichtung, die eine erste, ringförmige Elektrode und obere und untere zweite Elektroden, die auf der durch die Ringelektrode definierten Achse auf jeder Seite des Ringes liegen, umfaßt. Eine Wechselspannung, der eine Gleichstromkomponente überlagert sein kann, wird zwischen den Elektroden angelegt.
  • Es ist das Ziel der Erfindung, eine elektrostatische Haltevorrichtung zu schaffen, die einen weiten Bereich oder Zone aufweist, in dem die Position des schwebenden Körpers wirkungsvoll auf stabile Weise gesteuert werden kann.
  • Gemäß der Erfindung ist eine elektrostatische Haltevorrichtung zum Festhalten einer geladenen Probe im Raum, ohne sie physikalisch zu berühren, dadurch gekennzeichnet, daß sie vier erste Elektroden, die einen Raum definieren und um eine hypothetische Mittelachse in zwei einander zugeordneten, diagonal gegenüberliegenden Paaren angeordnet sind, wenigstens zwei zweite Elektroden, die auf der Mittelachse liegen, eine Wechselstrom-Energiequelle, mit deren entsprechenden Anschlüssen die zwei Paare erster Elektroden verbunden sind, und eine mit den zweiten Elektroden verbundene Gleichstrom-Energiequelle, die so ausgebildet ist, daß an diese eine Spannung angelegt wird, deren Polarität gleich jener der Probe ist, umfaßt, wodurch während des Betriebes die geladene Probe stabil an einem Punkt auf der Mittelachse zwischen den zweiten Elektroden gehalten wird.
  • Bei einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Elektroden an den Eckpunkten eines Quadrates angeordnet sind, wenn man entlang der Mittelachse blickt. Die ersten Elektroden sind vorzugsweise länglich und erstrecken sich parallel zueinander und zu der Mittelachse.
  • Weitere Einzelheiten der Erfindung werden aus der nachfolgenden Beschreibung bestimmter bevorzugter Ausführungsformen klar, die unter Bezugnahme auf die Figuren 4 bis 13 der beigefügten Zeichnungen gegeben wird, von denen zeigen:
  • Figur 4 eine Seitenansicht einer ersten Ausführungsform der Erfindung;
  • Figur 5 eine ebene Ansicht, welche die Bewegung einer Probe in der in Figur 4 gezeigten Ausführungsform zeigt;
  • Figur 6 eine weitere Ansicht, die ein anderes Bewegungsmuster der Probe zeigt;
  • Figur 7 eine Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform der Erfidnung;
  • Figur 8 eine ebene Ansicht, welche die Beweglichkeit der ersten Elektroden bei der in Figur 7 dargestellten Ausführungsform zeigt;
  • Figur 9 eine ebene Ansicht, welche die Form der konvex gebogenen Oberfläche der in der in Figur 7 gezeigten Ausführungsform verwendeten ersten Elektroden zeigt;
  • Figur 10 eine Seitenansicht einer dritten Ausführungsform der Erfindung;
  • Figur 11 eine geschnittene Seitenansicht einer in der in Figur 10 dargestellten Ausführungsform verwendeten ersten Elektrode;
  • Figur 12 eine Ansicht einer ersten Modifikation der in Figur 10 dargestellten dritten Ausführungsform; und
  • Figur 13 eine Ansicht einer zweiten Modifikation der in Figur 10 dargestellten dritten Ausführungsform.
  • Durch alle Figuren werden die selben Bezugszeichen verwendet, um ähnliche Teile zu bezeichnen.
  • Zuerst wird nun unter Bezugnahme auf die Figuren 4, 5 und 6 eine erste bevorzugte Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
  • Ein Ursprung O und eine vorzugsweise vertikal durch den Ursprung O führende Mittelachse 7 sind im Raum definiert. Vier erste, zylinderförmige Elektroden 8, 9, 10 und 11 sind parallel zu der Achse 7 und an Positionen angeordnet, die von der Achse 7 gleich weit beabstandet sind und die Eckpunkte eines Quadrates bilden, wenn man entlang der Mittelachse 7 blickt. Zwei zweite, sphärische Elektroden 12 und 13 liegen auf der Achse 7, sind vertikal voneinander beabstandet, liegen aber in dem durch die ersten Elektroden 8 bis 11 definierten Raum. Die zwei Paare einander gegenüberliegender Elektroden 8, 9, 10 und 11 sind mit entsprechenden Anschlüssen einer Wechseltrom-Energiequelle 14 verbunden. Die zweiten Elektroden 12 und 13 sind mit einer Gleichstrom-Energiequelle 15 verbunden. Das Bezugszeichen 16 bezeichnet eine elektrisch geladene Probe.
  • Die Wechselstrom-Energiequelle kann einen reinen Wechselstrom oder einen Wechselstrom mit einem diesem überlagerten Gleichspannungsanteil liefern.
  • Die Wechselstrom-Energiequelle 14 wird so gesteuert daß die Frequenz der Quelle 14 von einem niedrigen Niveau in der Größenordnung von 1 Hz bis zu einem höheren Niveau in der Größenordnung von Hunderten Hz verändert werden kann, in Abhängigkeit von der Masse, dem Ladung, dem Druchmesser und dergl. der Probe 16.
  • Wenn den zylindrischen ersten Elektroden 8-11 von der Quelle 14 eine Wechselspannung zugeführt wird, werden die Polaritäten der Elektrodenpaare 8, 9 und 10, 11 abwechselnd vertauscht, so daß wie in den Figuren 5 und 6 gezeigt, elektrische Kraftlinien 17 zwischen den Elektroden 8-11 erzeugt werden. Weil die elektrischen Feldlinien auf die Achse 7 zu gekrümmt sind, neigt die geladene Probe 16 dazu, sich der der Achse 7 zu nähern, während sie mit einer Frequenz ungefähr gleich der der Wechselstrom-Energiequelle 14 entlang der elektrischen Kraftlinien 17 schwingt, wie in Figur 5 gezeigt; alternativ kann sie bei ihrer Annäherung an die Achse 7 eine Spiralbewegung annehmen, wie in Figur 6 gezeigt. Schließlich wird die Probe 16 in einem stationären Zustand auf der Mittelachse 7 gehalten. Ein Gleichstrompotential, das die gleiche Polarität aufweist wie die der geladenen Probe 16, wird durch die Gleichstrom- Energiequelle 15 an die zweiten Elektroden 12 und 13 angelegt, so daß eine Coulombkraft (das heißt, eine elektrische Abstoßungskraft) auf die Probe 16 zwischen den zweiten Elektroden 12 und 13 wirkt. Die so erzeugte Coulombkraft steht im Gleichgewicht mit der Masse der Probe 16, und die Probe 16 wird in einem stationären Schwebezustand gehalten und somit auch in Richtung der Mittelachse 7 stabilisiert.
  • Unter Bezugnahme auf die Figuren 7, 8 und 9 wird als nächstes eine zweite Ausführungsform der Erfindung beschrieben, bei der die ersten Elektroden 18-21 in Form von Säulen mit halbkreisförmigem Querschnitt vorliegen. Jede erste Elektrode weist eine konvex gekrümmte Oberfläche 23, die nach innen zu dem durch die ersten Elektroden 18-21 definierten Raum weist, und eine flache Oberfläche 24, die von dem Raum 22 weg weist, auf. Die ersten Elektroden 18-21 sind so angeordnet, daß sie in zueinander senkrechten Richtungen r&sub1; und r&sub2; radial gegenüber der Mittelachse 7 beweglich sind.
  • Bei der zweiten Auisführungsform werden die selben Effekte erreicht wie bezüglich der ersten Ausführungsform oben beschrieben. Die halbkreisförmige Querschnittsform der ersten Elektroden 18-21 bei der zweiten Ausführungsform wird deshalb eingesetzt, weil die äußere Hälfte der zylindrischen ersten Elektroden 8-11 bei der ersten Ausführungsform in Figur 5 und 6 unnötig ist. Die Form der ersten Elektroden bei der zweiten Ausführungsform trägt zu Einsparungen bei - Größe und Gewicht bei, ohne die Wirksamkeit, mit der die Probe 16 in einem stationären Schwebezustand gehalten wird, nachteilig zu beeinflussen.
  • Außerdem können, weil die ersten Elektroden 18-21 der zweiten Ausführungsform so angeordnet sind, daß sie unabhängig beweglich sind, elektrische Kraftlinien mit den Elektroden 18-21 in unterschiedlichen Abständen von der Mittelachse 7 erzeugt werden. Wenn die Probe 16 einen relativ großen Durchmesser aufweist, werden die Abstände zwischen den ersten Elektroden 18-21 erhöht, so daß zwischen den Elektroden 18-21 eine hohe Spannung angelegt werden kann; demzufolge können die elektrostatischen Kräfte erhöht werden, um die Probe 16 zu halten. Wenn die vier ersten Elektroden 18-21 nicht beweglich sind, können zwischen den ersten Elektroden Entladungen auftreten, wenn die Spannung hoch ist, und die an die Elektroden angelegte Spannung muß abgesenkt werden, um den elektrischen Zusammenbruch aufzuhalten. Bei der zweiten Ausführungsform unterdrückt oder verhindert ein Vergrößern der Abstände zwischen den vier ersten Elektroden elektrische Entladungen und beseitigt die Notwendigkeit, die angelegte Spannung abzusenken, um eine Entladung zu beenden. Daher kann eine zum Anheben der Probe ausreichende elektrostatische oder elektrische Kraft leicht aufrecht erhalten werden.
  • Bei der zweiten Ausführungsform kann der Querschnitt der ersten Elektroden die Form eines Halbmondes oder eines Kreissektors aufweisen. Die konvex gekrümmte Oberfläche jeder der ersten Elektroden 18-21 kann durch eine Kurve definiert werden, die eine durch die Gleichung
  • r&sub1; -r&sub2; = ±R²
  • ausgedrückte orthogonale Hyperbel ist, wobei R eine Hälfte des Abstandes zwischen den gegenüberliegenden konvexen Oberflächen der ersten Elektroden ist, wie in Figur 9 gezeigt.
  • Die ersten Elektroden können so gestaltet und konstruiert sein, daß nur eine Elektrode jedes Paares von gegenüberliegenden Elektroden beweglich ist.
  • Bei der dritten, in Figur 10 dargestellten Ausführungsform sind die ersten Elektroden 26, 27, 28 und 29 mit Wärme abgebenden Abschnitten ähnlich wie Metall- oder Graphitheizern versehen, die Wärme abgeben, wenn ihnen durch einen elektrischen Strom Energie zugeführt wird. Wahlweise sind Heizelemente 46, die Wärme abgeben, wenn ihnen durch einen elektrischen Strom Energie zugeführt wird, innerhalb der ersten Elektroden 26-29 angeordnet, wie in Figur 11 gezeigt. Die Wärme abgebenden Abschnitte oder Heizelemente 46 sind mit einer Gleichstromoder Wechselstrom-Heizenergiequelle 30 verbunden.
  • Es sollte bemerkt werden, daß eine Last 31 zwischen den ersten Elektroden 31 und der Wechselstrom-Energiequelle 14 eingebaut ist, um eine Impedanz zu liefern, die ausreicht, um zu verhindern, daß der Strom von der Hezenergiequelle 30 in die Wechselstrom-Energiequelle 14 fließt.
  • Die dritte Ausführungsform kann die selben Effekte erzielen wie die, welche durch die anderen Ausführungsformen erzielt werden. Weiterhin erzeugen die ersten Elektroden 26-29, weil ein Strom von der Heizenergiequelle durch sie strömt, durch ihren eigenen Widerstand Wärme, und diese Wärme wird auf die Probe 16 übertragen, um sie zu erwärmen oder zu schmelzen. In einer Gasatmosphäre erfolgt die Wärmeübertragung durch Konvektion und Strahlung. In einem Vakuum, wie etwa dem Weltraum, wird die Wärme hauptsächlich durch Strahlung auf die Probe 16 übertragen.
  • Die Last 31 ist angeordnet, um eine gewisse Impedanz zu erzeugen, die von dem Typ der verwendeten Heizenergiequelle 30 abhängt, und ist in die Wechselstrom-Energiequelle 14 eingebaut, um jeglichen nachteiligen Effekt wegen des Fließens des Stromes von der Heizenergiequelle 30 zu beseitigen.
  • Somit dienen die ersten Elektroden 26-29 auch als Heizquellen, was die Gestaltung und den Aufbau eines Heizofens vereinfacht, indem die Notwendigkeit von Abschirm- und Kühlmitteln für die ersten Elektroden 26-29 beseitigt wird.
  • Figur 12 zeigt eine erste Modifikation der dritten Asführungsform, bei der anstelle eines direkten Aufheizens der ersten Elektroden 26-29 selbst Heizquellen 48 in Form von Lasern oder dergl. zum Richten von Heizstrahlen 47, wie etwa Laserstrahlen oder dergl., auf die Probe 16 außerhalb des durch die ersten Elektroden 26-29 definierten Raumes 22 angeordnet sind. Diese Modifikation kann die selben Effekte erreichen wie die durch die unmodifizierte dritte Ausführungsform erreichten.
  • Figur 13 zeigt eine zweite Modifikation der dritten Ausführungsform, bei der die ersten Elektroden 26-29 transparent und aus durch Sputtern, Ionen-Plattieren oder Backen mit einer transparenten, leitenden Beschichtung etwa NESA-coat, z.B. SnO&sub2;, InO&sub3;+SnO&sub2; oder TiO&sub2;, beschichtetem Quarzglas 49 hergestellt sind. Halbkugelförmige Reflektoren 51 werden verwendet, um Wärmestrahlen 47 von den Wärmequellen 48 auf die Probe 16 zu leiten. Die zweite Modifizierung kann die selben Effekte erzielen wie die durch die unmodifizierte dritte Ausführungform erreichten, und weist eine verbesserte Wirksamkeit beim Übertragen von Wärme auf dieProbe 16 auf, weil die Strahlen 47 nicht von den ersten Elektroden 26-29 abgeschirmt werden, welche für die Strahlen 47 transparent sind.

Claims (7)

1. Elektrostatische Haltevorrichtung zum Festhalten einer geladenen Probe im Raum ohne sie physikalisch zu berühren, dadurch gekennzeichnet, daß sie vier erste Elektroden (8, 9, 10, 11; 18, 19, 20, 21; 26, 27, 28, 29; 32; 43, 44, 45) umfaßt, die einen Raum definieren und um eine hypothetische Mittelachse (7) in zwei einander zugeordneten, diagonal gegenüberliegenden Paaren angeordnet sind, wenigstens zwei zweite Elektroden (12, 13; 34, 35), die auf der Mittelachse (7) liegen, eine Wechselstrom-Energiequelle (14), mit deren entsprechenden Anschlüssen die zwei Paare erster Elektroden verbunden sind, und eine mit den zweiten Elektroden verbundene Gleischstrom-Energiequelle, die so ausgebildet ist, daß an diese eine Spannung angelegt wird, deren Polarität dieselbe wie die der Ladung der Probe ist, wodurch während des Gebrauchs die geladene Probe (16) stabil an einem Punkt auf der Mittelachse (7) zwischen den zweiten Elektroden gehalten wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die vier ersten Elektroden (8, 9, 10, 11; 18, 19, 20, 21; 26, 27, 28, 29) an den Eckpunkten eines Quadrates angeordnet sind, betrachtet entlang der Mittelachse (7).
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Elektroden (18, 19, 20, 21) konvex gewölbte Oberflächen (23) aufweisen, die zu der Mittelachse (7) zeigen.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Elektrode jedes einander diagonal gegenüberliegenden Paares von ersten Elektroden (18, 19 und 20, 21) entlang der zugeordneten Diagonale des Quadrates beweglich ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Elektroden (26, 27, 28, 29) so ausgebildet sind, daß sie Wärme abgeben, wenn an sie ein elektrischer Strom angelegt wird.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch wenigstens eine Strahlungswärmequelle (48), die so angeordnet ist, daß sie Strahlungswärme auf die geladene Probe (16) richtet.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Reflektoren (51) vorhanden und so angeordnet sond, daß sie Wärme von der Wärmequelle (48) auf die geladene Probe (16) reflektieren, und daß die ersten Elektroden (26, 27, 28, 29) im wesentlichen durchlässig für Strahlungswärme sind.
DE1990623522 1989-02-23 1990-02-22 Elektrostatische Haltevorrichtung. Expired - Lifetime DE69023522T2 (de)

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DE69023522D1 DE69023522D1 (de) 1995-12-21
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DE (1) DE69023522T2 (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013203555B3 (de) * 2013-03-01 2014-07-03 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Elektrostatischer Levitator sowie Messsystem mit einem elektrostatischen Levitator

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4521854A (en) * 1982-10-29 1985-06-04 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Closed loop electrostatic levitation system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013203555B3 (de) * 2013-03-01 2014-07-03 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Elektrostatischer Levitator sowie Messsystem mit einem elektrostatischen Levitator

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EP0384751B1 (de) 1995-11-15
EP0384751A2 (de) 1990-08-29
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EP0384751A3 (de) 1991-07-17

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