DE69018754T2

DE69018754T2 - Magnetischer Aufzeichnungsträger.

Info

Publication number: DE69018754T2
Application number: DE69018754T
Authority: DE
Inventors: Masanori Hashimoto; Michio Ishikawa; Kyuzo Nakamura; Yoshifumi Ota; Noriaki Tani
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1989-10-09
Filing date: 1990-10-08
Publication date: 1995-11-30
Anticipated expiration: 2010-10-09
Also published as: DE69018754D1; EP0422547B1; EP0422547A2; KR910008661A; EP0422547A3; KR940005350B1; JPH03125322A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Magnet-Aufzeichnungsmedium und insbesondere auf ein Längs-Magnet-Aufzeichnungsmedium mit hoher Aufzeichnungsdichte.
Ein Magnet-Aufzeichnungsmedium, auf dem ein Film aus Cr, W oder Mo oder ein Film aus einer Legierung, die im Wesentlichen aus einem dieser Metalle besteht, ist mittels Dampf-Auftragen oder Sputtern als Unterschicht auf einem unmagnetischen Substrat gebildet, und auf dem ein Co-Film oder ein Co-Legierungsfilm über der Unterschicht gebildet ist, wird allgemein als Festplatten-Medium verwendet, das zum Aufzeichnen mit hoher Dichte geeignet ist. Bei diesem Festplatten-Aufzeichnungsmedium wird der Speicherinhalt mittels eines Magnetkopfes wiedergegeben, der über dem Aufzeichnungsmedium fliegt, das sich mit hoher Geschwindigkeit dreht. In diesem Zusammenhang ist es bekannt, daß falls die Flughöhe des Magnetkopfes reduziert werden kann, die Aufzeichnungsdichte folglich zunimmt.
Übliche Festplatten-Substrate, die häufig verwendet werden sind: ein Metallsubstrat wie z.B. Al-Substrat, das eine unmagnetische metallische Auflage darauf aufweist, oder ein "AL- MITE"-Substrat oder ein Glas-Substrat.
Um eine große Anzahl von von konzentrischen Rillen auf der Oberfläche des metallischen Substrates vorzusehen, wird durch das Durchführen einer so genannten Struktur- bzw. Textur-Behandlung der Reibungskoeffizient des Aufzeichnungsmediums, als Ergebnis des Verminderns der effektiven Kontaktfläche zwischen dem Substrat und dem Magnetkopf, geringer. Zusätzlich ist es üblich mit eineni metallischen Substrat eine Platte herzustellen, die in der Magnet-Schicht eine zirkulare Magnet-Anisotropie aufweist, die in Zirkular-Richtung durch eine gute Rechteck-Form der Hystereseschleife gekennzeichnet ist. Wenn jedoch ein metallisches Substrat verwendet ist, kann die Plattenoberfläche, auf Grund von Vorsprüngen, geringen Welligkeiten oder anderen Unregelmäßigkeiten, die dem Vorhandensein von Zwischenmetallverbindungen oder Defekten zuzuschreiben sind, nicht vollständig geglättet werden. Wenn die Flughöhe des Magnetkopfes vermindert ist, erfolgt daher das so genannte Phänomen des "Kopf-Zusammenstoßes", bei dem der Magnetkopf und die Vorsprünge auf der Platte gegeneinanderstoßen, was zum Bruch des Magnet-Aufzeichnungsmediums führt. Selbst in dem Fall, daß die zuvor genannte Textur-Behandlung des Substrates angewendet wurde, können derartige Welligkeiten und Vorsprünge nicht vollständig entfernt werden und ein "Kopf-Zusammenstoß" erfolgt gleichfalls. Daher kann bei Magnet-Aufzeichnungsmedien, die ein metallisches Substrat verwenden, die Flughöhe des Magnetkopfes nicht ausreichend reduziert werden, was folglich das Ausmaß, bis zu dem die Aufzeichnungsdichte erhöht werden kann, beschränkt.
Wenn andererseits ein Glassubstrat verwendet wird, ist eine bessere Glätte erzielbar, als bei Verwendung eines metallischen Substrates. Auf Grund eines hohen Reibungskoeffizientens neigen jedoch der Magnetkopf und die Platte dazu aneinander zu haften und im Extremfall blockieren der Magnetkopf und die Platte einander, so daß die Platte nicht länger drehbar ist. Um den Reibungskoeffizienten zu vermindern, ist für das Glassubstrat ebenfalls die Textur-Behandlung bekannt. Da in diesem Fall eine Magnet-Anisotropie in Zirkular-Richtung der Platte jedoch nicht erzielbar ist, ist die Rechteck-Form der Hystereseschleife schwach, was die Platte für die Aufzeichnung mit hoher Dichte ungeeignet macht.Wenn ein Glas-Substrat verwendet wird ist weiterhin die erzielbare Koerzitivfeldstärke des Magnet-Aufzeichnungfilmes gering, und da Glas ein elektrisch isolierender Körper ist, kann er nicht mit einer Substrat- Vorspannung geladen werden, was eines der Mittel ist, um die Koerzitivfeldstärke zu erhöhen, wodurch solch eine Platte für Aufzeichnungen mit hoher Dichte ungeeignet sind.
Im Journal of Applied Physics, 61, (1937), 4025-4027 ist eine Magnet-Aufzeichnungsplatte mit einem AL-Substrat offenbart, auf dem ein autokathalytischer NiP-Filin aufgelegt ist. Dieser Film weist eine Dicke der Nickel-Schicht von 12.7x10-6 m auf, auf der eine erste Chrom-Schicht mit einer Dicke von 0.2 - 0.25x10-6m und dann eine Magnet-Schicht, die im Wesentlichen aus Cobalt besteht, mit einer Dicke von 0.05 - 0.075x10-6m vorgesehen ist. Die Magnet-Schicht ist danach mit einer Carbon-Schutzschicht versiegelt. Die Chrom-Schicht und die Magnet-Schicht sind beide auf dem Substrat mittels eines Sputter-Verfahrens aufgetragen.
In der US-A-4,735,840 ist eine Speicherplatte offenbart, die ein Glas-Substrat aufweist, das mit Chrom beschichtet ist, vorzugsweise mit einer Cobalt/Nickel-Schicht als Magnetschicht, die mit einer Schutzbeschichtung aus Carbon versiegelt ist. Auf Grund einer Textur-Behandlung in Umfangsrichtung erfolgt während des Sputterns ein zirkular anisotropisches Kristallwachstum mit einer Umfangsausrichtung, was eine verbesserte Speicherplatte ergibt, die eine reduzierte Amplitudenmodulation, eine verbesserte Rechteck-Form der Hystereseschleife, z.B. eine geringere Schaltfeldverteilung, und ein Hochleistungssystem mit verhältnismäßig geringen Produktionskosten vorsieht.
In der JP-A-63-273208 ist ein Aufzeichnungsmedium offenbart, das durch das Laminieren einer Unterleg-Schicht und einer Magnet-Schicht, die aus Cobalt, Nickel und Wolfram auf einer unmagnetischen Basis besteht und Festlegen des in der Magnet- Schicht enthaltenen Wolframgehaltes, verbessert ist. Die unmagnetische Unterleg-Schicht, die aus Chrom besteht ist durch Sputtern auf der unmagnetischen Glasbasis gebildet. Die Magnet-Schicht, die aus Cobalt, Nickel und Wolfram besteht, ist dann durch Sputtern auf der unmagnetischen Unterlegschicht gebildet, und weiterhin ist ein aus Carbon bestehender Schutzfilm auf der Magnet-Schicht auflaminiert, um das Magnet-Aufzeichnungsmedium zu bilden.
Wie zuvor erläutert, gab es vor der Erfindung kein Magnet-Aufzeichnungsmedium, das alle Bedingungen erfüllt, damit es für die Aufzeichnung mit hoher Dichte geeignet ist.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Magnet-Aufzeichnungsmedium vorzusehen, bei dem alle zuvor genannten Bedingungen erfüllt sind, damit es für die Aufzeichnung mit hoher Aufzeichnungsdichte geeignet ist, wobei diese Bedingungen: Glätte der Oberfläche, eine Form die das Vermindern des Reibungskoeffizientens ermöglicht, sogenannte zirkulare Magnet-Anisotropie in der Magnetschicht, die durch eine gute Rechteck-Form der Hystereseschleife in Zirkularrichtung gekennzeichnet ist, und eine große Koerzitivfeldstärke sind.
Das erfindungsgemäße Magnet-Aufzeichnungmedium umfaßt eine unmagnetische Substratplatte, zumindest eine Magnet-Schicht und zumindest eine Schutz-Schicht, wobei die Magnet-Schicht und die Schutz-Schicht nacheinanderfolgend auf der unmagnetischen Substratplatte ausgebildet sind, wobei die unmagnetische Substratplatte ein Glas-Substrat und zumindest einen unmagnetischen Metall-Film aufweist, der auf dem Glassubstrat vorgesehen ist, und wobei der unmagnetische Metall-Film auf dessen Oberfläche mit einer großen Anzahl feiner konzentrischer Rillen versehen ist.
Fig. 1 ist eine Perspektiv-Ansicht, die die Gesamtanordnung eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Magnet-Aufzeichnungsmedium darstellt.
Fig. 2 ist eine Schnittansicht, die entlang der Linie A-A in Fig. 1 genommen ist.
Fig.3 ist eine Darstellung, die die Beziehung zwischen der Flughöhe eines Magnetkopfes und die Häufigkeit des Zusammenstoßens des Kopfes mit einer Platte darstellt.
Das erfindungsgemäße Magnet-Aufzeichnungsmedium ist dadurch hergestellt, daß als erstes mittels Dampf-Auftragen oder Sputtern auf einem Glas-Substrat, das eine glatte Oberfläche aufweist, ein unmagnetischer Metall-Film, der im Wesentlichen aus einem der folgenden metallischen Materialien: NiP, Ti, Al, Cr, Cu, Mo, Ta, oder W oder ähnlichen, oder einer im Wesentlichen aus einem der zuvor genannten Materialen bestehenden Legierung, oder aus nichtrostendem Stahl besteht, gebildet wird, und daß dann eine Textur-Behandlung des unmagnetischen Metall- Filmes durchgeführt wird. Danach wird die Herstellung des erfindungsgemäßen Magnet-Aufzeichnungsmediums, das für Aufzeichnungen mit hoher Dichte geeignet ist, dadurch beendet, daß nacheinanderfolgend somit auf der Substratplatte mittels Dampf-Auftragen oder Sputtern in Vakuum, zuerst eine Unterschicht, die einen Film aus Cr, W, oder Mo oder einem Legierungsfilm aufweist, der im Wesentlichen aus Cr, W oder Mo besteht, dann eine Magnet-Schicht, die einen Co-Film oder eine Co-Legierungs-Film aufweist und dann eine Schutzschicht ausgebildet wird, die einen C-Film, einen SiO2-Film, einen ZrO2- Film oder dergleichen aufweist. Die Dicke des unmagnetischen Metall-Filmes liegt vorzugsweise in einem Bereich zwischen nicht weniger als 0,03 um (d.h. Mikrometer) und nicht mehr als 5 um.
Bei dem erfindungsgemäßen Magnet-Aufzeichnungsmedium, das den zuvor beschriebenen Aufbau aufweist, insbesondere den Aufbau der des zuvor beschriebenen unmagnetischen Substrates, sind die vorteilhaften Oberflächeneigenschaften des Glas-Substrates (d.h. sehr glatte Oberfläche ohne Vorsprünge und Welligkeiten) erhalten. Daher kann die Flughöhe des Magnetkopfes sehr gering sein, was zu einer Zunahme der Aufzeichnungsdichte führt. Zusätzlich werden geeignete Oberflächeneigenschaften erzielt, so daß kein Haften zwischen dem Magnetkopf und der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums erfolgt und ein Reibungskoeffizient erhalten wird, der in der Nähe dessen zur Zeit des Gleitens liegt. Weiterhin ist in der Magnet-Schicht, die auf dem unmagnetischen Metall-Film gebildet ist, durch das Durchführen der Textur-Behandlung der Oberfläche des unmagnetischen Metall- Filmes eine sogenannte zirkulare Magnet- Anisotropie erzielbar, die durch eine gute Rechteck-Form der Hystereseschleife in Zirkular-Richtung gekennzeichnet ist. Weiterhin ist noch ein Glas-Substrat, das, wenn es alleine verwendet wird, einen elektrisch isolierenden Körper bildet, elektrisch leitend herstellbar, wenn es in der erfindungsgemäßen Form einer Substratplatte verwendet wird. Daher ist durch das Aufladeverfahren des Substrates mit einer negativen Vorspannung für die Magnet-Eigenschaften des Aufzeichnungsmediums eine hohe Koerzitivfeldstärke erzielbar.
Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Magnet-Aufzeichnungsmediums wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen gemäß Figuren 1 und 2 erläutert.
Wie in Fig. 1 und 2 dargestellt, umfaßt eine unmagnetische Substratplatte 2 Magnet-Schichten 3, die auf der Substratplatte 2 ausgebildet sind, und Schutzschichten 4, die auf den Magnet-Schichten ausgebildet sind. Jede der Magnet-Schichten 3 umfaßt eine Unterschicht 5 aus einem Film aus Cr, W oder Mo oder einem Legierungsfilm, der im Wesentlichen aus Cr, W oder Mo besteht, und einer einen Co-Film oder einen Co-Legierungsfilm, der im Wesentlichen aus Co besteht, aufweisenden Haupt- Magnetschicht 6, die auf der Unterschicht 5 ausgebildet ist.
Die unmagnetische Substratplatte 2 weist ein Glas-Substrat 7 auf, das eine glatte Oberfläche aufweist und einen unmagnetischen Metall-Film 8 auf, der auf dem Glas-Substrat 7 ausgebildet ist und die eine Dicke im Bereich zwischen nicht weniger als 0,03 um und nicht mehr als 0,5 um aufweist. Dieser unmagnetische Metall-Film 8 ist aus einem der folgenden metallischen Materialien gebildet: NiP, Ti, Al, Cr, Cu, Mo, Ta oder W, oder einem Legierungsfilm, der im Wesentlichen aus einem der zuvor genannten metallischen Materialien besteht, oder nichtrostendem Stahl.
Auf der Oberfläche des unmagnetischen Metall-Filmes 8 ist eine große Anzahl konzentrischer Rillen, d.h. Textur, vorgesehen. Als Ergebnis der Textur sind kleine konzentrische Unregelmäßigkeiten (Vorsprünge und Eindrücke) ebenfalls auf der Oberfläche des Magnet-Aufzeichnungsmediums 1 ausgebildet.
Es folgt die Beschreibung der tatsächlichen Herstellung des zuvor beschriebenen Magnet-Aufzeichnungmediums. Zuerst wurden glatte Glas-Substrate, die eine Oberflächenrauhigkeit Ra (mittlere Rauhigkeit) von 0,002 um aufweisen, innerhalb einer Behandlungs-Kammer angeordnet. Nach dem Evakuieren der Behandlungs-Kammer auf 6,65x10&supmin;&sup4; Pa (5x10&supmin;&sup6; Torr) oder weniger, wurde Argon-Gas einleitet, um die Behandlungs-Kammer auf 2,66x10&supmin;¹ Pa (2x10&supmin;³ Torr) zu bringen. Mittels eines DC-Magnetron-Sputterverfahrenswurden NiP-Filme verschiedener Dicken von jeweils 0,02, 0,03, 0,1, 0,5, 1, 5 und 10 um auf den Glas-Substraten ausgebildet. Danach wurden die Glas-Substrate (auf beiden Seiten mit NiP-Filmen beschichtet) aus der Behandlungs-Kammer in die Umgebungs-Athmosphäre genommen und mittels nacheinanderfolgendem Polieren mit Polier-Bändern der Rauhigkeitsnr. 6000 ("Imperial-Lapping-Film, Teilchengröße 3 um (Mikrometer)", hergestellt von Sumito 3M Ltd. in Japan) und 15000 ("WA 15000",einer Teilchengröße von 0,3 um (Mikrometer) entsprechend, hergestellt von Nippon Micro-Coating Co., Ltd. in Japan), unter Verwendung eines Textur-Gerätes jeweils einer Textur-Behandlung ausgesetzt. Die Substrate wurden danach gewaschen und getrocknet, wodurch unmagnetische Substratplatten für das erfindungsgemäße Aufzeichnungsmedium vorgesehen wurden.
Jede dieser Substratplatten wurde im Innern der Vakuum-Behandlungskammer angeordnet. Nachdem die Vakuum-Behandlungskammer auf einen Druck von 1,33x10&supmin;&sup4; Pa (1x10&supmin;&sup6; Torr) oder darunter evakuiert wurde und die Substrattemperatur auf 280ºC erhitzt wurde, wurde Argon-Gas in die Kammer eingeleitet, um den Innendruck auf 2,66x10&supmin;¹ Pa (2x10&supmin;³ Torr) zu bringen. Dann wurde auf jeder der Substratplatten ein Cr-Film mit einer Dicke von 150 nm (1500Å) mittels eines DC-Magnetron-Sputterverfahrens ausgebildet. Dann wurde auf jeder der Substratplatten ein 20 at% Ni und 10 at% Cr aufweisender Co-Legierungsfilm (das Gleichgewicht besteht im Wesentlichen aus Co) aufeinanderfolgend zu einer Dicke von 70 nm (700 Å) ausgebildet. Das Substrat wurde auf eine negative Spannung von 300 V aufgeladen, als der Cr-Film und der CoNiCr-Film ausgebildet war. Ein Karbon-Film wurde weiterhin als Schutzschicht auf dem CoNiCr-Film mit einer Dicke von 30 nm (300 Å) ausgebildet, wodurch die Herstellung eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels des Aufzeichnungsmediums beendet ist.
Die Oberflächenbedingungen jeder der Substratplatten wurden nach der Texturbehandlung mit den verschiedenen NiP-Dicken der zuvor beschriebenen Beispielen beobachtet. Die Häufigkeit des Zusammenstoßens des Kopfes mit dem Aufzeichnungsmedium, das mit der zuvor beschriebenen Substratplatte hergestellt wurde, wurde ebenfalls beobachtet, wobei ein CSS-(Kontact-Start-und- Stop)-Testgerät verwendet wurde. Die Oberflächenbedingungen wurden visuell überprüft. Die Häufigkeit des Zusammenstoßens des Kopfes wurde durch Zählen der Anzahl der Signale, die erzeugt werden, wenn ein piezoelektrisches Element, das auf dem Magnet-Kopf angeordnet ist, mit dem Aufzeichnungsmedium zusammenstößt, das bei einer Flughöhe des Kopfes von 0,1 um sich dreht, erhalten, d.h. die Häufigkeit des Zusammenstoßens des Kopfes mit den Vorsprüngen auf der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1. dargestellt. Tabelle 1 NiP-Filmdicke (um) Oberflächenbedingungen nach Textur-Behandlung Zusammenstoßhäufigkeit des Magnetkopfes mit der Platte (Anzahl) ungleichßmäßig teilweises Abschälen fast gleichmäßig gleichmäßig, gut sehr häufig
Wie aus Tabelle 1 zu sehen ist, ist der Film, wenn die NiP- Filmdicke 0,02 um beträgt, so dünn, daß ein teilweises Abschälen erfolgt und somit eine gleichmäßig texturierte Oberfläche nicht erzielbar ist, was zu häufigem Kopf-Zusammenstoßen führt. Mit Filmdicken von 0,03 um und mehr sind jedoch gute und gleichmäßig texturierte Oberflächen erzielbar. Wenn andererseits die Filmdicken 10 um und mehr betragen, nimmt die Häufigkeit des Zusammenstoßens zwischen dem Magnetkopf und der Platte, trotz des Vorhandenseins gut und gleichmäßig texturierter Oberflächen, zu. Der Grund für diese Zunahme scheint die Tatsache zu sein, daß der NiP-Film zu dick ist, wobei die Eigenschaften der glatten Oberfläche des ursprünglichen Glas- Substrates nicht länger in den NiP-Film reflektiert (oder wiedergegeben) werden können, der auf Grund der unnormalen Größe kleine Welligkeiten oder Vorsprünge aufweist.
Von den vorhergehenden Ergebnissen ist entscheidend, das der unmagnetische Metall-Film auf dem Glas-Substrat des erfindungsgemäßen Magnet-Aufzeichnungsmediums vorzugsweise eine Dicke in dem Bereich von nicht weniger als 0,03 um und nicht mehr als 5 um aufweisen sollte.
Bestimmte erfindungsgemäße Ausführungsbeispiele, sowie Vergleichsbeispiele sind nachfolgend beschrieben.

Ausführungsbeispiel 1

Das Ausführungsbeispiel 1 ist ein Magnet-Aufzeichnungsmedium, das einen NiP-Film mit einer Dicke von 0,5 um als unmagnetischen Metall-Film aufweist und das gemäß dem zuvor beschriebenen Herstellungsverfahren hergestellt ist.

Ausführungsbeispiel 2

An Stelle eines NiP-Filmes wurde ein Ti-Film mit einer Dicke von 0,2 um ausgebildet. Die Textur-Behandlung wurde mittels Schwabbel-Bändern der Rauhigkeitsnr. 3000 ("Imperial-Lapping- Film, mit einer Teilchengröße von 5 Mikrometer", hergestellt von Sumito 3M Ltd. in Japan) und 10000 ("Imperial-Lapping- Film, mit einer Teilchengröße von 1 Mikrometer", hergestellt von Sumito 3M Ltd. in Japan) durchgeführt. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie beim Ausführungsbeispiel 1.

Vergleichsbeispiel 1

Ein glattes Glas-Substrat mit einer Oberflächenrauhigkeit Ra von 0,002 um wurde als solches als Festplatten-Substrat hergestellt.

Vergleichsbeispiel 2

Ein käuflich erhältliches Festplatten-Substrat mit einer NiP- Auflage, mit einer Dicke von 15 um auf Al, wurde als Substratplatte verwendet, wobei die Oberfläche der NiP-Auflage texturbehandelt und spiegel-geglättet wurde.
Bei Verwendung der Aufzeichnungsmedien der zuvor genannten Ausführungsbeispiele 1 und 2 und der Vergleichsbeispiele 1 und 2, wurden Messungen der Häufigkeit des Zusammenstoßens zwischen dem Magnetkopf und dem Aufzeichnungsinedium durchgeführt, als die Flughöhe des Magnetkopfes vermindert war. Die Ergebnisse sind in Fig. 3 dargestellt.
Wie aus Fig. 3 für den Fall des Vergleichsbeispieles 2 zu sehen ist, nimmt die Häufigkeit des Zusammenstoßens zwischen dem Magnetkopf und der Platte schnell zu, wenn die Flughöhe des Magnetkopfes auf weniger als 0,15 um vermindert ist. Andererseits erfolgt für den Fall der Ausführungsbeispiele 1 und 2 und dem Vergleichsbeispiel 1 kein Zusammenstoßen zwischen dem Magnet-Kopf und und der Platte bis die Flughöhe auf 0,09 um vermindert ist. Dies beruht auf der Tatsache, daß, wie zuvor am Fall des Vergleichsbeispieles 2 erläutert, das ursprüngliche mit NiP belegte Al-Substrat kleine Welligkeiten oder Vorsprünge aufweist, die auch nach der Textur-Behandlung nicht vollständig zu entfernen sind.
Als nächstes wurden die folgenden Messungen an jedem der Aufzeichnungsmedien der Ausführungsbeispiele und der Vergleichsbeispiele durchgeführt: die Koerzitivfeldstärke, wie sie mit einem Schwing-Abtast-Magnetometer gemessen wurde, die Rechteck-Form der Hystereseschleife in Zirkular-Richtung, die Reibungskoeffizienten nach 10000-fachem CSS-Test, gemessen im CSS-Testgerät, und die linearen Aufzeichnungsdichten D50 (die Aufzeichnungs-dichte, bei der das Ausgangssignal 50% beträgt), gemessen bei einer Flughöhe, in der der Magnetkopf stabil zu fliegen ist, ohne mit der Platte zusammenzustoßen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 dargestellt. Tabelle 2 Substrate Koerzitivfeldstärke (kAm-1)[(Oe)] Rechteck-Form der Hystereseschliefe in Zirkular-Richtung Reibungs-Koeffizient nach 10000-fachem CSS-Test Ausführungsbeispiel Vergleichsbeispiel * gemessener Wert bei einer Flughöhe des Magnet-Kopfes, bei der er stabil über der Platte flog. (Vergleichsbeispiel 2 bei einer Flughöhe von 0,2 um, und die Verbleibenden bei 0,10 um.) ** Kilo-Rückfluß pro Inch. *** Rückfluß pro Meter
Wie aus Tabelle 2 ersichtlich ist, sind bei Substratplatten, die durch Oberflächen aus metallischem Material und, wie bei den Ausführungsbeispielen 1, 2 und dem Vergleichsbeispiel 2, durch umfangsorientierte Textur-Behandlung bestimmt sind, die Koerzitivfeldstärken der Aufzeichnungsmedien hoch und die Rechteck-Form der Hystereseschleife in Zirkular-Richtung groß. Somit sind die Magnet-Eigenschaften, die für die Aufzeichnung mit hoher Dichte geeignet sind, erzielbar. Da jedoch, wie zuvor erläutert, es für das Vergleichsbeispiel 2 nicht möglich ist eine stabile Flughöhe sicherzustellen, ist deutlich, daß das Ausführungsbeispiel 1 die besten Eigenschaften für die Aufzeichnung mit hoher Dichte aufweist, wenn die D50 Werte verglichen werden. Zusätzlich ist im Fall des Vergleichsbeispieles 1 die Substratoberfläche zu glatt und der Reibungskoeffizient überschreitet nach dem 10000-fachen CSS-Test 2. Daher ist es hinsichtlich seiner fehlenden Haltbarkeit in praxi unmöglich das Magnet-Aufzeichnungsmedium des Vergleichsbeispieles 2 zu verwenden. Zusätzlich sind die Magnet-Eigenschaften des Aufzeichnungsmediums des Vergleichsbeispieles 1 schwach, bei dem es möglich ist, daß nur ein D50 Wert von 1422 FRPM (56 KFRP) auf Grund einer geringen Koerzitivfeldstärke zu erzielen ist, und die Hystereseschleife in Zirkularrichtung eine schwache Rechteck-Form aufweist.
Die vorhergehenden Ergebisse zeigen, daß das mit den Substratplatten gemäß der erfindungsgemäßen Aussführungsbeispiele 1 und 2 hergestellte Aufzeichnungsmedium am besten als hoch zuverlässiges Magnet- Aufzeichnungsmedium mit hoher Dichte geeignet ist.
Die zuvor beschriebenen Substratplatten sind ebenfalls als Substratplatten für Vertikal-Magnet-Aufzeichnungssysteme verwendbar, die Co-Cr oder Co-Re-P als Magnet-Aufzeichnungsschicht verwenden.
Wie zuvor beschrieben weist das erfindungsgemäße Magnet-Aufzeichnungsmedium Oberflächeneigenschaften auf, die den Betrieb des Magnet-Kopfes bei stabiler und geringer Flughöhe und mit geringem Reibungskoeffizient ermöglichen. Das erfindungsgemäße Magnet-Aufzeichnungsmedium weist ebenfalls eine zirkulare Magnet-Anisotropie, eine hohe Koerzitivfeldstärke und beste Aufzeichnungseigenschaften für hohe Dichte auf.

Claims

1. Magnet-Aufzeichnungsmedium mit einer unmagnetischen Substratplatte (2),

zumindest einer Magnet-Schicht (3), und

zumindest einer Schutz-Schicht (4),

wobei die Magnet-Schicht und die Schutz-Schicht aufeinanderfolgend auf der unmagnetischen Substratplatte ausgebildet sind,

wobei die unmagnetische Substratplatte (2) ein Glas-Substrat (7), das eine glatte Oberfläche aufweist und

zumindest einen elektrisch leitenden unmagnetischen Metall-Film (8) aufweist, der mittels Dampf-Auftragen oder Sputtern in Vakuum auf der Oberfläche des Glas- Substrates (7) aufgebracht ist,

wobei der unmagnetische Metall-Film (8) eine Dicke im Bereich von nicht weniger als 0,03 um und nicht mehr als 5 um aufweist und auf einer Oberfläche mit einer großen Anzahl dunner konzentrischer Rillen durch Textur-Behandlung versehen ist,

wobei die auf der Oberfläche des unmagnetischen Metall-Filmes (8) vorgesehene Magnet-Schicht (3)

eine Unterschicht (5), die durch Dampf-Auftrag oder Sputtern in Vakuum aufgebracht ist und aus einem Film aus Cr, W oder Mo oder einem Legierungsffim besteht, der im wesentlichen aus Cr, W oder Mo besteht, und

eine Haupt-Magnet-Schicht (6) aufweist, die durch Dampf-Auftrag oder Sputtern in Vakuum auf der Unterschicht (5) aufgebracht ist und aus einem CoFilm oder einem Co-Legierungsfilm besteht, der im wesentlichen aus Co besteht,

wobei die Schutz-Schicht (4) auf der Haupt-Magnet-Schicht (6) vorgesehen ist.