DE69003498T2 - Vorrichtung zum Infrarotnachweis. - Google Patents

Vorrichtung zum Infrarotnachweis.

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Infrarot- Detektionsvorrichtung zum Betrieb bei tiefer Temperatur. Unter "tiefer Temperatur" werden im Sinne der vorliegenden Erfindung Temperaturen zwischen 50 und 130 Kelvin (K) verstanden.
  • Derartige Infrarot-Detektionsvorrichtungen zum Betrieb bei tiefer Temperatur sind im allgemeinen mit einem Kryostatbehälter (Kryostat) verbunden, die entsprechend der Betriebstemperatur Helium, flüssigen Stickstoff oder eine Vorrichtung zur Erzeugung tiefer Temperaturen enthält. Die Detektionsvorrichtung im eigentlichen Sinne ist durch eine Vielzahl von Einheitsdetektoren, Photozellen genannt, gebildet, die einheitlich durch Techniken der Mikroelektronik auf einem für infrarote Strahlung empfindlichen Halbleitermaterial aufgebaut sind. Derartige im übrigen bekannte Materialien sind am häufigsten durch ternäre Halbleiterlegierungen der allgemeinen Formel CdxHg0,5-xTe0,5 zusammengesetzt, wobei x zwischen 0 und 0,5 liegt.
  • Die Detektoren sind über einen Kältefinger mit dem Kryostat im thermischen Austausch.
  • Die Auswertung der detektierten Photonenstrahlung geschieht mittels eines an dem Detektor im eigentlichen Sinne angebrachten Auslesekreises, der ebenfalls mit dem Kryostat im thermischen Austausch ist.
  • Die Verbindungen zwischen den Detektoren im eigentlichen Sinne und dem Auslese- und Auswertekreis geschieht im allgemeinen mit Verbindungskabeln oder sogar einer gemeinsamen Verlötung mittels Mikrokugeln aus Indium.
  • Diese letztgenannte Technik, die ein bevorzugtes Anwendungsfeld der Erfindung ist, ermöglicht die Beleuchtung der Detektionskreise über deren Rückseite, so daß dadurch die Verwendung jeglicher überladener und in der Anwendung wenig vorteilhafter Anschlüsse vermieden ist.
  • Ein solcher, aus dem an den Auslesekreis angeschlossenen Detektionskreis gebildeter Verbund wird nachfolgend in der Beschreibung Detektionseinheit genannt.
  • Im Hinblick auf den Aufbau derartiger Infrarot- Detektionsvorrichtungen sind die Detektoren im allgemeinen mit einer durch ein Fenster durchbrochenen kalten Abschirmung verbunden, die die Aufgabe eines Diaphragmas hat, um die störenden Reflexionen zu begrenzen, die entweder durch die warmen Teile des Kryostaten oder durch die Nutzstrahlung selbst erzeugt werden, nachdem sie Reflexionen und/oder Beugungen an und in dem Material des Detektionskreises und des Auswertekreises erfahren hat. Derartige Strahlungen erzeugen bei Beleuchtung der Photozellen inkoheränte elektrische Signale, die die Leistungsfähigkeit des elektro-optischen Systems herabsetzen, welches sich bei Abwesenheit derartiger störender Strahlungen der theoretischen Genauigkeit annähern würde.
  • Genauer gesagt haben die störenden Strahlungen als Hauptursache die Reflexion an den metallischen Bahnen der elektrischen Verbindungen und auf der Oberfläche des Detektionskreises selbst durch die unvermeidlichen Fehlstellen der antireflektorischen Behandlung auf der Oberfläche des Detektionskreises.
  • Wie bereits gesagt, erlaubt die Verwendung einer Diaphragma-Abschirmung zur Begrenzung dieser Phänomene das Begrenzen der seitlichen Strahlung. Sie muß jedoch auf jeden Fall auf niedrige Temperatur gebracht werden und somit mit dem Kältefinger des Kryostaten verbunden sein, um deren eigene Strahlung zu begrenzen, so daß eine sowohl mechanische als auch thermische Verbindung vorgesehen sein muß.
  • Eine derartige Ausführung ist in der unter der Nummer 88 10814 eingereichten Patentanmeldung beschrieben, die bis zu dem Anmeldetag der vorliegenden Anmeldung noch nicht veröffentlicht gewesen ist.
  • Auch wenn die Verwendung einer kalten Diaphragma- Abschirmung eine Begrenzung der störenden Strahlung erlaubt, weist sie jedoch eine gewisse Zahl von Nachteilen auf. Als erstes ist zu nennen, daß die Herstellung derartiger Teile auf mechanische und sogar hochpräzise Weise es nicht erlaubt, so kleine und so gut angeordnete Diaphragmaöffnungen herzustellen, wie es im Hinblick auf die Abmessungen des Detektors wünschenswert wäre. Weiterhin erweist sich das mechanische Verbinden der Abschirmung mit dem Kältefinger des Kryostaten im Hinblick darauf besonders schwierig, daß die Öffnung des Diaphragmas im Bereich der hinteren Seite des Detektionskreises angeordnet ist. Dies erfordert es, die Öffnung mit sehr genauen Abmessungen zu versehen, da der Detektor im allgemeinen auf einer Keramik zum sicheren Herstellen des Anschlusses angeordnet ist. Die letztere selbst ist fest mit dem Kältefinger verbunden. Es ist ebenfalls erforderlich, das Aufaddieren der seitlichen sowie vertikalen Toleranzen zu berücksichtigen, um die Öffnung ausreichend groß zu bemessen, um nicht einen Teil der Nutzstrahlung abzuschirmen. Daraus ergibt sich eine beschränkte Leistungsfähigkeit durch die Abmessung einer derartigen Öffnung sowie durch den unvermeidlichen, die Abschirmung von der hinteren Seite des Detektionskreises trennenden Abstand.
  • Weiterhin ergeben sich sowohl durch den die Abschirmung von dem Kältefinger trennenden Abstand sowie die Notwendigkeit der mechanischen Befestigung der Abschirmung an dem Kältefinger Abmessungen, die nicht nur ein schnelles Abkühlen der Abschirmung, sondern ebenfalls den Erhalt einer Temperatur der Abschirmung möglichst nahe der Detektortemperatur selbst bei Verwendung von Materialien mit einer guten thermischen Leitfähigkeit schwierig gestaltet. Weiterhin beschränkt deren mechanische Befestigung an dem Kältefinger des Kryostaten teilweise das seitliche Anbringen von Anschlüssen. Weiterhin ist durch die Abmessungen und damit verbunden der Masse einer derartigen Abschirmung die Verwendung einer Vorrichtung dieser Art bei starken Beschleunigungen durch die unvermeidlicherweise induzierten Deformationen und Vibrationen unmöglich.
  • Die vorliegende Erfindung hat das Überwinden dieser Nachteile zum Ziel. Sie hat eine Infrarot-Detektionsvorrichtung zum Ziel, die mit einer Diaphragma-Abschirmung zum Sichern der Vorrichtung vor der vorgenannten störenden Strahlung ausgestattet ist, ohne die aufgezählten Nachteile hervorzurufen.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Infrarot- Detektionsvorrichtung zum Betrieb bei tiefer Temperatur mit
  • - einem mit einem Kältefinger versehenen Kryostaten zum Herstellen eines thermischen Austausches mit einer Kältequelle,
  • - einer kalten Platte, die im wesentlichen rechtwinklig zu dem Kältefinger angeordnet ist und im thermischen Austausch mit diesem steht,
  • - einem mit einem Anschlußkreis verbundenen Auslesekreis, der über der kalten Platte befestigt ist und mit der letzteren im thermischen Austausch steht,
  • - einem Detektionskreis, der parallel zu dem Auslesekreis ist und elektrisch sowie thermisch mit dem letzteren mittels Mikrokugeln aus Indium verbunden ist und
  • - einer mit einem ein Diaphragma bildendes Fenster versehenen Abschirmung, die zwischen dem Detektionskreis und der Quelle der zu detektierenden Infrarotstrahlung angeordnet ist.
  • Diese Infrarot-Detektionsvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmung auf den Detektionskreis aufgelegt ist und einzig mit diesem im thermischen Austausch steht.
  • Die vorliegende Erfindung hat mit anderen Worten zum Ziel, den das Diaphragma der Abschirmung mit der hinteren Seite von dem Detektionskreis trennenden Abstand auf einen Abstand gleich oder nahezu null durch eine geeignete Anbringung der Abschirmung auf dem Detektionskreis zu verringern, wobei einerseits die mit einer bis jetzt bekannten mechanischen Anbringung der Abschirmungen verbundenen Nachteile und andererseits die störenden, von Reflexionen und anderen Beugungen auf dem das Diaphragma von dem Detektor trennenden Weg stammenden Strahlungen beseitigt werden.
  • Es ist vorteilhaft,
  • - daß die Abschirmung auf dem Detektionskreis durch schmale Vertiefungen auf den Kanten dieses Kreises angeordnet ist,
  • - daß die Befestigung der Abschirmung auf dem Detektionskreis durch Verklebung erfolgt,
  • - daß die Abschirmung durch Galvanoformung eines einzigen Metalles gebildet ist;
  • - daß die Abschirmung eine durch Galvanoformung von zwei oder mehreren Metallen ausgeführte Verbundstruktur aufweist; die zur Herstellung von Teilen mit kleinen Dimensionen geeignete Technik der Galvanoformung erweist sich zur Herstellung der Abschirmung gemäß der Erfindung als besonders vorteilhaft; tatsächlich würde das Befestigen einer mit mechanischen Methoden hergestellten Abschirmung, die somit auch deutlich schwerer ist, die Anwendung und wenigstens die Verwendung der Erfindung erschweren,
  • - daß die Abschirmung durch anodische Oxidation, durch Lackierung oder Beschichtung mit einem geeigneten Material geschwärzt ist.
  • Die Art und Weise, wie die Erfindung ausgeführt werden kann und die sich daraus ergebenden Vorteile treten besser anhand des Ausführungsbeispieles hervor, das in beispielhafter und nicht beschränkender Weise mit Hilfe der beigefügten Figuren folgt.
  • Fig. 1 ist eine Schnittansicht einer Detektionsvorrichtung nach dem Stand der Technik und insbesondere gemäß der Druckschrift FR-A-2 629 912 der Anmelderin.
  • Fig. 2 ist eine ähnliche Schnittansicht der Detektionsvorrichtung gemäß der Erfindung.
  • Fig. 3 ist eine perspektivische Gesamtansicht, die das Detail der Anordnung der Abschirmung auf dem Detektionskreis zeigt.
  • Fig. 4 ist eine Schnittansicht entlang der Linie IV- IV der Fig. 3.
  • In bekannter Weise ist die Infrarot-Detektionsvorrichtung in einem nicht dargestellten Kryostatbehälter eingeschlossen. Ein derartiger Behälter weist einerseits einen äußeren Metallmantel auf, der auf einer Seite mit einem den Behälter verschließenden optischen Fenster, das insbesondere für Infrarot-Strahlung transparent ist und zum Beispiel aus Germanium besteht, versehen, und auf der anderen Seite offen ist, und andererseits einer koaxial im Inneren des Behälters angeordneten Kühlhülse. Diese Hülse weist im wesentlichen zwei Teile auf, nämlich einen äußeren Teil zur Aufnahme eines Kälteerzeugers, zum Beispiel in Abhängigkeit von der erwünschten Betriebstemperatur ein flüssiges Gas wie Stickstoff oder Helium, und einen einen Kältefinger bildenden inneren Teil, wobei dieser die Form einer Röhre zur Aufnahme des Kolbens des Kälteerzeugers aufweist. Der äußere Behälter und der Kältefinger sind dicht miteinander verbunden und bilden somit ein unter Vakuum stehendes Dewargefäß.
  • Der Kältefinger 1 ist an seinem oberen Ende im Inneren des beschriebenen Kryostaten von einer senkrecht zu dem Kältefinger stehende kalten Platte (2) überhöht. Diese kalte Platte ist aus einem bei tiefer Temperatur wärmeleitfähigen Material ausgeführt, das heißt aus einem Material mit einer thermischen Leitfähigkeit von mehr als 1 Watt.Zentimeter.Kelvin (W.cm.K) in dem oben genannten Temperaturbereich. Vorteilhafterweise ist die kalte Platte aus einem keramischen Material, zum Beispiel aus Aluminiumoxid, oder sogar eventuell aus Metall ausgeführt.
  • Die kalte Platte 2 ist durch eine weitere Keramikplatte 3 überhöht, auf der die Detektionseinheit 8, 9, 10 angeordnet ist und die das Herstellen der elektrischen Verbindung zwischen der letzteren zum Beispiel mittels eines durch Siebdruck hergestellten Leiterbahnennetzes auf der Keramik gestattet.
  • Die Anschlußplatte 3 ist durch einen Auslese- und Auswertekreis 8 überhöht.
  • Schließlich ist die Einheit durch den Detektionskreis 9 im eigentlichen Sinne überhöht, der elektrisch und thermisch mittels Mikrokugeln aus Indium 10 mit dem Auslese- und Auswertekreis verbunden ist.
  • Weiterhin sind diese miteinander präzise in Kontakt stehenden Elemente mehrheitlich aus wärmeleitfähigem Material gebildet, wobei deren Temperatur sehr nahe bei der des Kältefingers ist.
  • Die metallischen Steckverbindungen 6 sind über Lötfäden 11 mit den verschiedenen elektrischen Kontakt stellen des Auslese- und Auswertekreises in Verbindung.
  • In grundlegender Weise ist eine kalte Abschirmung 12, die durch einen durchgehenden Metallrahmen gebildet ist und zwischen dem Detektionskreis und dem für Infrarot transparenten Fenster des Kryostatbehälters angeordnet ist, mechanisch und thermisch mit der kalten Platte 2 verbunden. Der Metallrahmen 12 weist ein Fenster mit zum Beispiel rechteckigem Querschnitt auf und hat die Aufgabe eines Diaphragmas. Wie bereits gesagt dient das Diaphragma zum Begrenzen der störenden, hauptsächlich von den warmen Wänden des Kryostaten und den Reflexionen der Nutzstrahlung an reflektierenden Oberflächen (metallischen Verbindungsanschlüssen usw.) herrührenden Strahlungen.
  • Die vorangehende Beschreibung bezieht sich auf den Stand der Technik und zeigt in überzeugender Weise, daß trotz der Verwendung eines gut wärmeleitenden Materials für das Diaphragma 12 ein erheblicher Temperaturunterschied zwischen dem äußeren Bereich 13 des Diaphragmas und dem Kältefinger 1 besteht. Dieser Temperaturunterschied ruft eine Emission von störenden Strahlungen durch das Diaphragma hervor, die durch den Detektionskreis 9 detektiert wird und Störungen bei der Auswertung hervorruft. Weiterhin wird, wie bereits gesagt, durch die relative Komplexität der Detektionseinheit und insbesondere der Infrarot-Detektoren im eigentlichen Sinn, der Auslese- und Auswertekreise der Anschlußplatte und der kalten Platte konstruktionsbedingt eine gewisse Anzahl von Fehlern erzeugt, die mit sich anhäufenden Toleranzen verbunden sind, und die eine teilweise Abschirmung der Nutzstrahlung hervorrufen können, wenn man nicht durch eine Überdimensionierung der Öffnung Vorsorge getroffen hat. Eine derartige, gegenüber einer bei idealer Anordnung notwendigen größeren Öffnung verliert seine Wirksamkeit ebenso wie die Abschirmung durch die Notwendigkeit der Anordnung mit einem Abstand zu der hinteren Seite des Detektionskreises 9.
  • Fig. 2 zeigt eine zu der Fig. 1 ähnliche Ansicht, bei der aber das Diaphragma gemäß der Erfindung dargestellt ist. Wie aus dieser Figur ersichtlich ist das Diaphragma 12 auf den Detektor 9 eingelassen. Dieses Einlassen des Diaphragmas auf den Detektor selbst ist in den Fig. 3 und 4 dargestellt. Im Bereich der inneren Kante der Abschirmung 12 ist eine Schulter zum Anliegen auf dem Rand des Detektors 9 eingebracht. Die Befestigung und Verbindung der Diaphragma-Abschirmung mit dem Detektor 9 erfolgt durch Verklebung, zum Beispiel mittels eines Klebstoffes des Typs EPO-TEK H70E.
  • Wie man im Detail in der Fig. 4 sehen kann, ist diese Einlassung durch den Aufbau der Abschirmung selbst ermöglicht. In der Tat weist diese im Bereich der Ränder des Diaphragmas eine Schulter auf, die auf den Kanten des Detektionskreises zur Anordnung kommt.
  • Gemäß einem vorteilhaften Merkmal der Erfindung ist die Diaphragma-Abschirmung 12 gemäß der Erfindung durch Galvanoformung hergestellt. Diese im übrigen bekannte Technik erlaubt die Herstellung von Teilen mit sehr kleinen Abmessungen bei einer hohen Präzision. Die Galvanoformung ist ein Verfahren zum Erhalt von direkt durch galvanische Ablagerung in einer Form gebildeten Teile. Weiterhin weist eine an dem Detektionskreis angebrachte Abschirmung ähnliche, nämlich leicht größere Abmessungen gegenüber dem Kreis auf, und in jeder Ausführungsform deutlich geringere als die Abschirmungen nach dem Stand der Technik, da in dem letzten Fall sie alle Bauelemente und insbesondere den Detektionskreis im eigentlichen Sinne den Auslese- und Auswertekreis, die Anschlußplatte und die kalte Platte umgeben müssen. Weiterhin ermöglicht die Wahl einer derartigen Herstellungsmethode die Herstellung von Teilen mit zwei verschiedenen Dicken wie die Diaphragma-Abschirmung gemäß der Erfindung. Tatsächlich weist der äußere Rand der letzteren eine typische Dicke von 100 Mikrometer auf, während der an dem Detektionskreis anliegende zentrale Bereich lediglich eine Dicke von 10 Mikrometer für einen rechteckigen Detektionskreis mit den Abmessungen 3 Millimeter x 8 Millimeter hat. Diese Ausgestaltung mit zwei Dicken erlaubt es, der Abschirmung bei einer minimalen Erhöhung der Masse eine gewisse Steifigkeit zu verleihen. Weiterhin erleichtert dies das Einfügen und die Anordnung der Abschirmung bei gleichzeitiger Erhöhung der Präzision der Anordnung, da diese lediglich in Bezug auf die Kanten des Detektionskreises erfolgt.
  • Es ist weiterhin möglich, ausgehend von einem Verbund mehrerer Metalle die Abschirmung gemäß der Erfindung ebenso durch eine Technik der Galvanoformung herzustellen. In diesem Fall sind die verwendeten Metalle hauptsächlich Nickel, Kupfer, Silber oder Gold, wobei die Wahl unter den Metallen in Abhängigkeit der erforderlichen Eigenschaften jeder Art der Vorrichtung (Anpassung des Ausdehnungskoeffizienten, Wärmeleitkoeffizienten) erfolgt. Wie bereits gesagt erlaubt das Verfahren der Galvanoformung gleichermaßen die Herstellung einer Abschirmung mit einer Verbundstruktur, die durch das Aufstapeln von verschiedenen Metallschichten gebildet ist.
  • Schließlich können die durch Galvanoformung und gemäß der Erfindung hergestellten Abschirmungen zum Beispiel durch anodische Oxidation geschwärzt werden, was zusätzlich noch mehr die störenden Strahlungen verringert.
  • Die vorliegende Erfindung führt zu zahlreichen Vorteilen gegenüber den bis jetzt bekannten Vorrichtungen.
  • Als erstes erlaubt der Aufbau einer derartigen Abschirmung das Aufbringen der Abschirmung auf dem Detektionskreis vor dem Einbringen der Einheit in den Kryostaten. Weiterhin erlaubt die Erfindung die Ausrichtung und Anordnung der Abschirmung bezüglich dem Detektionsbereich an einer anderen Stelle als dem Kältefinger des Kryostatbehälters. Daraus ergibt sich einerseits eine große Einfachheit und große Freiheit bei der Ausführung und andererseits eine höhere Genauigkeit der Anordnung bezüglich dem Detektionsbereich, da die Ungenauigkeiten bezüglich des Kältefingers und der Einheit der Anschlußkeramiken und dem Auslese- und Auswertekreis somit ohne störenden Einfluß sind.
  • Weiterhin erlaubt eine derartige Abschirmung, sich von seitlichen mechanischen Verbindungen zu dem Kältefinger des Kryostaten zu entledigen, so daß dieser seitliche Freiraum intakt und für jede weitere Nutzung und insbesondere Anschlußnutzung verfügbar bleibt.
  • Das Unterdrücken des Raumes zwischen der Abschirmung und dem Detektionskreis ermöglicht die vollständige Abschirmung der störenden Strahlung für den so bedeckten Teil des Kreises, so daß zu dem Erhalt von Ergebnissen nahe der theoretischen Grenze hingeführt wird.
  • Der innige Kontakt zwischen dem Detektionskreis und der Abschirmung verleiht der letzteren eine Temperatur sehr nahe der des Detektors. Dieses Ergebnis ist mit allen bis jetzt bekannten Vorrichtungen nicht erreichbar. Weiterhin stellt eine derartige, mit einer geringen Masse verbundene Vorrichtung eine schnellere Abnahme der Temperatur sicher.
  • Weiterhin erlaubt die Herstellung einer derartigen Abschirmung durch die Technik der Galvanoformung die Herstellung einer Abschirmung mit einer hochgenau festgelegten Geometrie. Weiterhin ist die Dicke der durch Galvanoformung erhaltenen Maske vollständig kontrollierbar. Schließlich ermöglicht die Herstellung einer Maske mit zwei Dickenbereichen ein Einfügen und eine Selbstausrichtung der Abschirmung auf dem Detektionskreis.
  • Die Art des Materials der Abschirmung ist gemäß dem die Abschirmung aufnehmenden System veränderbar. Man kann somit die verschiedenen Parameter, insbesondere den Ausdehnungskoeffizienten und die hohe Wärmeleitfähigkeit anpassen. Schließlich verringert die Herstellung derartiger Abschirmungen durch Galvanoformung in erheblichem Maße die Kosten und das Gewicht bei gleichzeitiger Erhöhung der Genauigkeit.

Claims (7)

1. Infrarot-Detektionsvorrichtung zum Betrieb bei einer tiefen Temperatur zwischen 50 und 130 K mit
- einem mit einem Kältefinger (1) versehenen Kryostaten zum Herstellen eines thermischen Austausches mit einer Kältequelle,
- einer kalten Platte (2), die im wesentlichen rechtwinklig zu dem Kältefinger (1) angeordnet ist und im thermischen Austausch mit diesem steht,
- einem mit einen Anschlußkreis (3) verbundenen Auslese- und Auswertekreis (8), der über der kalten Platte (2) befestigt ist und mit der letzteren im thermischen Austausch steht,
- einem Detektionskreis (9), der parallel zu dem Auslese- und Auswertekreis (8) ist und mechanisch befestigt sowie elektrisch und thermisch mit dem letzteren mittels Mikrokugeln aus Indium (10) verbunden ist und
- einer mit einem ein Diaphragma bildendes Fenster versehenen Abschirmung (12), die zwischen dem Detektionskreis (9) und der Quelle der Infrarotstrahlung angeordnet ist,
dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmung (12) auf den Detektionskreis (9) aufgelegt ist und nur mit diesem im thermischen Austausch steht.
2. Infrarot-Detektionsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmung (12) auf dem Detektionskreis (9) angeordnet ist und auf die Kanten des Kreises eingefügt ist.
3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet1 daß die Abschirmung (12) mit dem Detektionskreis (9) durch Verklebung verbunden ist.
4. Infrarot-Detektionsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmung (12) durch Galvanoformung eines einzigen Metalles gebildet ist.
5. Infrarot-Detektionsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Struktur der Abschirmung (12) nach Art eines Verbundes ist, der durch Galvanoformung mehrerer Metalle hergestellt ist.
6. Infrarot-Detektionsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die in der Struktur der Abschirmung (12) eingehenden Metalle aus der Nickel, Kupfer, Silber und Gold aufweisenden Gruppe ausgewählt sind.
7. Infrarot-Detektionsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschirmung (12) durch anodische Oxidation geschwärzt ist.
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