DE68925139T2 - Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen der Position - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen der Position

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6359144A (ja) * 1986-08-29 1988-03-15 Canon Inc ロ−カルエリアネツトワ−クの回線監視方式
JPH0267903A (ja) * 1988-09-02 1990-03-07 Canon Inc 光量調節装置
JP2756331B2 (ja) * 1990-01-23 1998-05-25 キヤノン株式会社 間隔測定装置
JP2862307B2 (ja) * 1990-02-05 1999-03-03 キヤノン株式会社 位置ずれ検出方法
US5225892A (en) * 1990-02-05 1993-07-06 Canon Kabushiki Kaisha Positional deviation detecting method
DE69128164T2 (de) * 1990-05-01 1998-04-02 Canon Kk Verfahren und Apparat zur Detektion von Lageabweichungen
DE102013203211A1 (de) * 2012-06-15 2013-12-19 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Vorrichtung zur interferentiellen Abstandsmessung

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4037969A (en) * 1976-04-02 1977-07-26 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Zone plate alignment marks
US4360273A (en) * 1980-02-14 1982-11-23 Sperry Corporation Optical alignment of masks for X-ray lithography
US4631416A (en) * 1983-12-19 1986-12-23 Hewlett-Packard Company Wafer/mask alignment system using diffraction gratings
JPS61111402A (ja) * 1984-11-06 1986-05-29 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 位置検出装置

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