DE69128164T2 - Verfahren und Apparat zur Detektion von Lageabweichungen - Google Patents

Verfahren und Apparat zur Detektion von Lageabweichungen

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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3368017B2 (ja) * 1993-10-29 2003-01-20 キヤノン株式会社 位置検出装置及びそれを用いた半導体素子の製造方法
JPH07135168A (ja) * 1993-11-11 1995-05-23 Canon Inc アライメント方法及びそれを用いた位置検出装置
JPH1022213A (ja) * 1996-06-28 1998-01-23 Canon Inc 位置検出装置及びそれを用いたデバイスの製造方法
JPH11241908A (ja) 1997-12-03 1999-09-07 Canon Inc 位置検出装置及びそれを用いたデバイスの製造方法
US6856392B1 (en) 1998-11-09 2005-02-15 Canon Kabushiki Kaisha Optical element with alignment mark, and optical system having such optical element
US6724479B2 (en) * 2001-09-28 2004-04-20 Infineon Technologies Ag Method for overlay metrology of low contrast features
US7573580B2 (en) * 2003-11-17 2009-08-11 Asml Holding N.V. Optical position measuring system and method using a low coherence light source
CN101206995B (zh) * 2006-12-20 2010-05-19 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 监测晶圆托盘平整性的方法
JP5812599B2 (ja) * 2010-02-25 2015-11-17 キヤノン株式会社 情報処理方法及びその装置
CN109373892A (zh) * 2018-08-14 2019-02-22 武汉船用机械有限责任公司 一种基于机器视觉的辅助划线系统及其运行方法
US20200402871A1 (en) * 2019-06-24 2020-12-24 Magic Leap, Inc. Polymer patterned disk stack manufacturing

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4037969A (en) * 1976-04-02 1977-07-26 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Zone plate alignment marks
US4326805A (en) * 1980-04-11 1982-04-27 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Method and apparatus for aligning mask and wafer members
US4514858A (en) * 1983-03-15 1985-04-30 Micronix Partners Lithography system
US4870289A (en) * 1987-09-25 1989-09-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Apparatus for controlling relation in position between a photomask and a wafer
JP2546364B2 (ja) * 1988-02-16 1996-10-23 キヤノン株式会社 位置合わせ装置
EP0358514B1 (de) * 1988-09-09 2000-12-13 Canon Kabushiki Kaisha Vorrichtung und Gerät zur Positionsdetektion
EP0358511B1 (de) * 1988-09-09 2001-07-18 Canon Kabushiki Kaisha Vorrichtung zur Detektion der Positionsrelation zwischen zwei Objekten
JP2704002B2 (ja) * 1989-07-18 1998-01-26 キヤノン株式会社 位置検出方法
US5225892A (en) * 1990-02-05 1993-07-06 Canon Kabushiki Kaisha Positional deviation detecting method

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