DE68925139D1 - Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen der Position - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen der Position

Info

Publication number
DE68925139D1
DE68925139D1 DE68925139T DE68925139T DE68925139D1 DE 68925139 D1 DE68925139 D1 DE 68925139D1 DE 68925139 T DE68925139 T DE 68925139T DE 68925139 T DE68925139 T DE 68925139T DE 68925139 D1 DE68925139 D1 DE 68925139D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
determining
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE68925139T
Other languages
English (en)
Other versions
DE68925139T2 (de
Inventor
Kenji Saitoh
Masakazu Matsugu
Yukichi Niwa
Noriyuki Nose
Minoru Yoshii
Shigeyuki Suda
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of DE68925139D1 publication Critical patent/DE68925139D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE68925139T2 publication Critical patent/DE68925139T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7049—Technique, e.g. interferometric

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE1989625139 1988-02-16 1989-02-16 Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen der Position Expired - Fee Related DE68925139T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63033203 1988-02-16
JP63334733A JP2546364B2 (ja) 1988-02-16 1988-12-29 位置合わせ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE68925139D1 true DE68925139D1 (de) 1996-02-01
DE68925139T2 DE68925139T2 (de) 1996-06-13

Family

ID=26371854

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1989625139 Expired - Fee Related DE68925139T2 (de) 1988-02-16 1989-02-16 Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen der Position

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0333326B1 (de)
JP (1) JP2546364B2 (de)
DE (1) DE68925139T2 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6359144A (ja) * 1986-08-29 1988-03-15 Canon Inc ロ−カルエリアネツトワ−クの回線監視方式
JPH0267903A (ja) * 1988-09-02 1990-03-07 Canon Inc 光量調節装置
JP2756331B2 (ja) * 1990-01-23 1998-05-25 キヤノン株式会社 間隔測定装置
US5225892A (en) * 1990-02-05 1993-07-06 Canon Kabushiki Kaisha Positional deviation detecting method
JP2862307B2 (ja) * 1990-02-05 1999-03-03 キヤノン株式会社 位置ずれ検出方法
EP0455443B1 (de) * 1990-05-01 1997-11-12 Canon Kabushiki Kaisha Verfahren und Apparat zur Detektion von Lageabweichungen
DE102013203211A1 (de) * 2012-06-15 2013-12-19 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Vorrichtung zur interferentiellen Abstandsmessung

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4037969A (en) * 1976-04-02 1977-07-26 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Zone plate alignment marks
US4360273A (en) * 1980-02-14 1982-11-23 Sperry Corporation Optical alignment of masks for X-ray lithography
US4631416A (en) * 1983-12-19 1986-12-23 Hewlett-Packard Company Wafer/mask alignment system using diffraction gratings
JPS61111402A (ja) * 1984-11-06 1986-05-29 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 位置検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0333326A3 (en) 1989-10-11
JPH0235304A (ja) 1990-02-05
JP2546364B2 (ja) 1996-10-23
DE68925139T2 (de) 1996-06-13
EP0333326B1 (de) 1995-12-20
EP0333326A2 (de) 1989-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69031262D1 (de) Verfahren und Gerät zum Erfassen der Transduktorlage
DE69027616D1 (de) Gerät und Verfahren zum Bestimmen von Konturen und Linien
DE68918937D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum ausgleich der bewegung in steigrohren.
DE68928192D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Positionsdetektion
DE69012439D1 (de) Tragbare Parkzeitmessvorrichtung und Verfahren zum Betreiben derselben.
DE3877815D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen von fluessigkeit.
DE69125447D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Positionieren von Wandlern
DE3582671D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum festklemmen.
DE3673917D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum absoluten wegmessen.
DE69033872D1 (de) Messgerät und Verfahren
DE68910535D1 (de) Vorrichtung und verfahren zum gefrieren.
DE69532249T2 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen der herzschlagfrequenz
DE69016818D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Aufwickeln.
DE69113434D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum funkenerosionsbearbeiten.
DE3684594D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen der blickrichtung.
DE69025139D1 (de) Verfahren und Gerät zur Abstandsmessung und Gerät zum Festellen der relativen Lage
DE59200979D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum feststellen der krümmungsmittelachse.
DE68908435D1 (de) Vorrichtung und verfahren zum kristallziehen.
DE3771416D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum mikroloeten.
DE69106344D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum palettisieren.
DE58903845D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum reinigen von gegenstaenden.
DE68902271D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erfassung des verdrahtungsmusters.
DE69415389D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der relativen Position mehrerer Objekte
DE58909535D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Lenken von bewegten Objekten
DE69123527D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Berechnen der vorhergesagten mittleren thermischen Sensibilität

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee