DE60226111T2 - Dielektrisches filter und antennenweiche - Google Patents

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DE60226111T2
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dielectric
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resonator
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resonator electrodes
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Yasuhiro Sugaya
Toru Katano-shi Yamada
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/20Frequency-selective devices, e.g. filters
    • H01P1/201Filters for transverse electromagnetic waves
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    • H01P1/20327Electromagnetic interstage coupling
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    • HELECTRICITY
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    • H01P1/213Frequency-selective devices, e.g. filters combining or separating two or more different frequencies
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P11/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
    • H01P11/007Manufacturing frequency-selective devices

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein dielektrisches Filter für eine Hochfrequenz-Funkkommunikationsvorrichtung, wie beispielsweise ein Mobiltelefon, und insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung ein dielektrisches Filter, das streifenlinienförmige Resonatorelektroden, die elektromagnetisch miteinander gekoppelt sind, umfasst, die auf einem dielektrischen Substrat vorhanden sind.
  • Hintergrund der Technik
  • Dielektrische Filter wurden in der letzten Zeit als Hochfrequenzfilter in Mobiltelefonen verwendet, und sie müssen insbesondere eine reduzierte Gesamtgröße und Dicke aufweisen. Zum gegenwärtigen Zeitpunkt liegt der Fokus auf einem flachen Mehrschichtfilter anstatt auf einem koaxialen Filter.
  • Das Dokument US-A-5497130 offenbart ein Sendeleitungsfilter, das Folgendes umfasst: einen dielektrischen Körper; eine erste Masseelektrode, die auf einer äußeren Fläche des dielektrischen Körpers vorhanden ist; einen ersten Resonator, der in dem dielektrischen Körper vorhanden ist, der einen Endabschnitt, der mit der ersten Masseelektrode kurzgeschlossen wird, einen Kurzschluss-Endabschnitt, sowie erste und zweite gegenüberliegende Hauptflächen aufweist; einen zweiten Resonator, der in dem dielektrischen Körper vorhanden ist und leitend mit dem ersten Resonator verbunden ist, wobei der zweite Resonator einen Endabschnitt, der mit der ersten Masseelektrode kurzgeschlossen wird, einen offenen Endabschnitt, sowie erste und zweite gegenüberliegende Hauptflächen aufweist; eine erste Kopplungseinstell-Elektrode, die eine Hauptfläche aufweist und in dem dielektrischen Körper so angeordnet ist, dass die Hauptfläche der ersten Kopplungseinstell-Elektrode einem Abschnitt der ersten Hauptfläche des ersten Resonators und einem Abschnitt der ersten Hauptfläche des zweiten Resonators gegenüberliegt. In diesem herkömmlichen dielektrischen Filter sind die Leitermuster auf die ungebrannte Folie unter Verwendung einer Silberpaste als Leiterpaste aufgedruckt.
  • In Bezug auf die relevanten Zeichnungen wird ein herkömmliches flaches dielektrisches Mehrschichtfilter erläutert.
  • 17 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung des herkömmlichen flachen dielektrischen Mehrschichtfilters. Das dielektrische Filter, das eine dargestellte Schichtenstruktur aufweist, umfasst sechs dielektrische Substrate 1a bis 1f. Eine Abschirmelektrode 2a ist auf der oberen Fläche des dielektrischen Substrates 1b ausgebildet. Eine Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 3 ist auf der oberen Fläche des dielektrischen Substrates 1c ausgebildet. Resonatorelektroden 4a und 4b sind auf der oberen Fläche des dielektrischen Substrates 1d ausgebildet. Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 5a und 5b sind auf der oberen Fläche des dielektrischen Substrates 1e ausgebildet. Eine Abschirmelektrode 2b ist auf der oberen Fläche des dielektrischen Substrates 1f ausgebildet.
  • Endelektroden 6a und 6b als Masseanschlüsse sind jeweils sowohl auf der rechten Seite als auch auf der linken Seite ausgebildet. Eine Endelektrode 7 ist auf der Rückseite als ein Masseanschluss, der mit den jeweiligen offenen Enden der Abschirmelektroden 2a und 2b und den Resonatorelektroden 4a und 4b verbunden ist, ausgebildet. Eine Endelektrode 8, die auf der Vorderseite der dielektrischen Substrat-Schichtenstruktur vorhanden ist, ist an einem Ende mit dem jeweiligen Kurzschlussende der Resonatorelektroden 4a und 4b verbunden, und sie ist an dem anderen Ende mit den Abschirmelektroden 2a und 2b verbunden. Die Endelektroden 9a und 9b auf der linken Seite und auf der rechten Seite sind jeweils mit den Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 5a und 5b verbunden und arbeiten auf diese Weise als Eingangs-/Ausgangsanschlüsse.
  • Die Resonatorelektroden, die Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode und die Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden des flachen dielektrischen Mehrschichtfilters werden mit gedruckten Mustern einer leitenden Paste hergestellt und weisen dementsprechend kaum eine einheitliche Dicke auf.
  • 18 ist eine Querschnittsdarstellung der dielektrischen Substrate 1c und 1d, die in 1 dargestellt sind. Wie dies dargestellt ist, sind die Resonatorelektroden 4a und 4b in der Mitte dick und weisen zu den Kanten hin eine sich verringernde Dicke auf. Wenn die dielektrischen Substrate laminiert werden, können die Elektroden, die durch Bedrucken bereitgestellt werden, an ihrer Kante geschärft werden. An den Kanten wird ein Hochfrequenzstrom konzentriert. Dadurch wird ein Q-Faktor der Resonatorelektrode reduziert, und auf diese Weise weist das Filter eine verschlechterte Leistung auf. Die Leiterpaste, die hauptsächlich Metallstaub enthält, kann bei Durchführen des Siebdruckes eine wellenförmige Oberfläche aufgrund einer Siebdruckmasche aufweisen, wodurch die Leistung des Filters verschlechtert wird.
  • Die Resonatorelektroden, die Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode und die Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden des flachen dielektrischen Mehrschichtfilters sind auf den jeweiligen Flächen der keramischen Substrate eines identischen Materials vorhanden, das eine identische dielektrische Konstante aufweist. Da sich dementsprechend ein Strom in einem Resonator, ein essentielles Element des dielektrischen Filters, an jeder Kante der Resonatorelektroden 4a und 4b konzentriert, erhöht der Strom einen Leiterverlust, und verringert auf diese Weise den Q-Faktor des Resonators und die Leistung des dielektrischen Filters.
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, dieses Problem zu lösen und ein dielektrisches Filter bereitzustellen, das kostengünstig hergestellt wird, einen verbesserten Q-Faktor aufweist und einen geringen Verlust sowie eine hohe Dämpfung aufweist.
  • Diese Aufgabe wird durch die Leistungsmerkmale, wie diese in den unabhängigen Ansprüchen dargelegt sind, erfüllt. Weitere vorteilhafte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden in den abhängigen Ansprüchen dargelegt.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Ein dielektrisches Filter umfasst Resonatorelektroden, die aus Metallfolie hergestellt sind undmiteinander elektromagnetisch gekoppelt sind, eine Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode zum Koppeln der Resonatorelektroden, eine Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektrode zum Eingeben und Ausgeben eines Signals in die/aus den Resonatorelektroden, und dielektrische Substrate, auf denen die Resonatorelektroden, die Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode und die Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden vorhanden sind. In dem Filter weist jede Resonatorelektrode eine einheitliche Dicke auf, wodurch ein hoher Q-Faktor eines Resonators, ein geringer Verlust und eine hohe Dämpfung erzielt wird.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 1.
  • 2A ist eine Querschnittsdarstellung der dielektrischen Substrat-Schichtenstruktur an einer Linie 2A-2A in 1.
  • 2B ist eine vergrößerte Querschnittsdarstellung einer Resonatorelektrode.
  • 2C ist eine perspektivische Darstellung eines dielektrischen Substrates eines Resonators, das eine Resonatorelektrode umfasst, die darauf vorhanden ist und einen breiten Abschnitt aufweist.
  • Die 3A bis 3F illustrieren eine Vorgehensweise des Herstellens eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 2.
  • Die 4A und 4B illustrieren eine Vorgehensweise des Herstellens des dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 2.
  • Die 5A und 5F illustrieren eine Vorgehensweise des Herstellens des dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 1 der Erfindung.
  • Die 6A und 6D illustrieren eine Vorgehensweise des Herstellens des dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 2 der Erfindung.
  • 7 ist ein schematisches Blockdiagramm einer Kommunikationsvorrichtung, die einen Antennen-Duplexer in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 3 der Erfindung umfasst.
  • 8 ist eine Querschnittsdarstellung eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 6.
  • Die 9A bis 9C illustrieren eine Vorgehensweise des Herstellens eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 7.
  • Die 10A bis 10C illustrieren eine Vorgehensweise des Herstellens eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 7.
  • 11 ist eine Querschnittsdarstellung eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 8.
  • 12 ist eine Querschnittsdarstellung eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 9.
  • 13 ist eine Querschnittsdarstellung eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 10.
  • Die 14A und 14B sind schematische Diagramme, die Profile eines Stroms in einer Elektrode des Filters in Übereinstimmung mit den Ausführungsformen und eines Stroms in einer Elektrode eines herkömmlichen Filters darstellen.
  • 15 ist eine Draufsicht, die die Form der Resonatorelektroden in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 4 der Erfindung darstellt.
  • 16 ist ein Blockdiagramm einer Kommunikationsvorrichtung, die einen Antennen-Duplexer in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 12 umfasst.
  • 17 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung des herkömmlichen dielektrischen Filters.
  • 18 ist eine Querschnittsdarstellung einer Resonatorelektrode, die in dem herkömmlichen dielektrischen Filter vorhanden ist.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • (Ausführungsform 1)
  • 1 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung des dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 1. Das dielektrische Filter, das eine grundlegende Anordnung ähnlich der, die in 17 dargestellt ist, aufweist, umfasst sechs dielektrische Substrate 11a bis 11f. Das dielektrische Resonatorsubstrat 11d, das Resonatorelektroden enthält, ist ein keramisches Substrat, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist, es kann jedoch auch ein Harzsubstrat oder ein mit Harz zusammengesetztes Substrat, das Harzmaterial und ein anorganisches Füllmittel enthält, sein.
  • Ein dielektrisches Abschirmelektroden-Substrat 11b umfasst eine Abschirmelektrode 12a auf der oberen Fläche davon. Ein dielektrisches Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Substrat 11c weist eine Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 13 auf der oberen Fläche davon auf. Das dielektrische Resonator-Substrat 11d umfasst Resonatorelektroden 14a und 14b, die aus einer Folie, die Gold, Silber oder Kupfer aufweist, hergestellt ist und eine Dicke von 10 μm bis 400 μm aufweist, auf der oberen Fläche davon. Jede Resonatorelektrode weist einen Querschnitt mit einer vierseitigen Form mit abgerundeten Ecken auf. Ein dielektrisches Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Substrat 11e umfasst Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 15a und 15b auf der oberen Fläche davon. Ein dielektrisches Abschirmelektroden-Substrat 11f umfasst eine Abschirmelektrode 12b auf der oberen Fläche davon. Die dielektrischen Substrate 11a bis 11f werden zusammen in einer Schichtenanordnung laminiert und bilden auf diese Weise ein dielektrisches Filter.
  • Ähnlich dem herkömmlichen dielektrischen Filter sind die Endelektroden 16a und 16b auf der linken Seite und der rechten Seite davon vorhanden. Die Endelektroden 19a und 19b sind als Eingangs-/Ausgangsanschlüsse sowohl auf der linken Seite als auch auf der rechten Seite vorhanden und jeweils mit den Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 15a und 15b verbunden. Die Endelektroden 17 und 18 sind auf der Vorderseite und auf der Rückseite der laminierten dielektrischen Substrate vorhanden.
  • Das Filter in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung weist eine Anordnung der Resonatorelektroden auf. Die Resonatorelektroden 14a und 14b sind aus Metallfolie hergestellt, die Gold, Silber oder Kupfer auf der oberen Fläche des dielektrischen Resonatorsubstrates 11d enthält, wie dies in 1 dargestellt ist.
  • 2A ist eine Querschnittsdarstellung der dielektrischen Substrate 11c, 11d und 11e an einer Linie 2A-2A in 1. Die Resonatorelektroden 14a und 14b aus Metallfolie, die Gold, Silber oder Kupfer enthält, sind auf der oberen Fläche des dielektrischen Resonatorsubstrates 11d positioniert, dessen Herstellungsverfahren zu einem späteren Zeitpunkt ausführlicher beschrieben wird. Darüber hinaus sind die Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 13 und die Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 15a und 15b mit aufgedruckten Mustern aus einer Leiterpaste jeweils auf den oberen Flächen des dielektrischen Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Substrates 11c und des Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Substrates 11e vorhanden. Die Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 13 und die Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 15a und 15b können aus derselben Metallfolie wie die Resonatorelektroden 14a und 14b hergestellt sein.
  • Jede der Resonatorelektroden 14a und 14b dieser Ausführungsform kann einen Querschnitt mit abgerundeten Ecken und einer runden Kante für eine verbesserte elektrische Leistung aufweisen. Die abgerundeten Ecken und die runde Kante können einen Radius von 1 μm oder mehr aufweisen. Die Resonatorelektroden 14a und 14b weisen einen Querschnitt eines Rechteckes mit abgerundeten Ecken auf, die mit einem Streifen aus einem elektrischen Elektrodenrahmen durch chemisches Ätzen oder elektrolytisches Polieren zu einer gewünschten Elektrodengröße ausgebildet wird. Es wird stärker bevorzugt, dass die Resonatorelektroden 14a und 14b einem Oberflächenpolieren oder einer Metall-Beplankung unterzogen werden können, um glatte Oberflächen aufzuweisen, die eine Oberflächenrauhigkeit von 0,5 μm bis 0,01 μm aufweisen.
  • Die Resonatorelektroden 14a und 14b bilden bei ihrer Herstellung aus der Metallfolie, die eine glatte Oberfläche besitzt, den Resonator aus, der einen verbesserten Q-Faktor aufweist, wodurch folglich ein Beitrag zu dem geringeren Verlust und der besseren Dämpfungseigenschaft des dielektrischen Filters geleistet wird.
  • Die Resonatorelektroden 14a und 14b sind nicht auf die Form eines einheitlichen breiten Streifens beschränkt, wie dieser in 1 dargestellt ist, sondern sie können auch in Übereinstimmung mit einer erforderlichen Eigenschaft in einer T-Form angeordnet sein, die einen breiten Abschnitt 14aw oder 14ab aufweist, wie dies in 2C dargestellt ist.
  • In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung umfasst das Filter die Steifenelektrode aus der Metallfolie, die eine Dicke von 10 μm bis 400 μm aufweist. In dem dielektrischen Filter, das bei einer Hochfrequenz arbeitet, fließt ein Hochfrequenzstrom nicht einheitlich durch die Dicke der Elektroden sondern wird möglicherweise in einem Bereich in der Nähe seiner Oberfläche zu den Elektroden intensiviert. Der Leiter des Resonators weist eine Dicke auf, die größer ist als die Dicke des Bereiches, eine Oberflächendicke. Die Streifenelektrode, bei der ein Hochfrequenzstrom entlang der oberen und der unteren Flächen fließt, weist eine Dicke auf, die zweimal so groß wie die Dicke des Leiters ist. Es wird dementsprechend bevorzugt, dass, wenn die Oberflächentiefe im Wesentlichen von 1 μm bis 3 μm bei einer Frequenz von GHz reicht, die Metallfolie eine Dicke von 10 μm oder mehr aufweist, was größer als das Zweifache der Tiefen ist. Bei dem Resonator steigt der Q-Faktor so lange an, bis eine Dicke von 100 μm erreicht wird, und der Faktor bleibt bei einer Dicke von 200 μm unverändert oder wird in Übereinstimmung mit Experimenten sogar ein wenig erhöht. Das dielektrische Filter wird dick, da der Streifen, den es enthält, dick wird. In Übereinstimmung mit den voranstehenden Überlegungen kann die Metallfolie vorzugsweise eine Dicke von 400 μm oder weniger aufweisen.
  • Die Metallfolie der Resonatorelektroden, die Kupfer und Silber enthält, mit einer Dicke von 100 μm, stellt einen Q-Faktor von 280 bereit. Die Resonatorelektroden, die durch ein bekanntes Aufdruckverfahren zu einer Dicke von 40 μm ausgebildet werden, weisen den Q-Faktor 240 auf. Dementsprechend stellt die Metallfolie in dieser Ausführungsform den Resonator mit dem verbesserten Q-Faktor bereit.
  • (Ausführungsform 2)
  • Die 3A bis 3F illustrieren ein Verfahren zum Herstellen eines dielektrischen Resonatorsubstrates 27, einem essentiellen Element eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 2.
  • 3A ist eine Querschnittsdarstellung des Substrates an einer Linie 3A-3A der Draufsicht von 3B. Identische Muster einer ätzresistiven Schicht 22 sind durch Photolithographie auf beiden, auf der oberen und auf der unteren Oberfläche einer Metallfolie 21, die Gold, Silber oder Kupfer enthält, vorhanden. Die Metallfolie 21 wird, wenn sie von beiden Seiten geätzt wird und anschließend die Oberfläche durch einen chemischen oder einen elektrolytischen Prozess poliert wird, als ein Elektrodenrahmen 24 fertiggestellt, der Resonatorelektroden 23 aufweist, wie dies in 3B dargestellt ist. Der Elektrodenrahmen 24 umfasst Positionierungsführungen 25 auf den innenliegenden Seiten davon. Der Elektrodenrahmen 24 kann durch Spritzgießen hergestellt werden.
  • 3C illustriert einen Querschnitt des Elektrodenrahmens 24. Anschließend wird der Elektrodenrahmen 24 auf eine dielektrische Folie 26 platziert und von beiden Seiten, von der oberen Seite und von der unteren Seite aus, zusammengepresst, wie dies in 3D durch die Pfeile dargestellt ist. Als ein Ergebnis, das in 3E dargestellt ist, wird der Elektrodenrahmen 24 in der dielektrischen Folie 26 eingebettet. Anschließend wird die Folie in die dielektrische Resonatorsubstrate 27 unterteilt, wie dies in 3F dargestellt ist.
  • Die 4A und 4B illustrieren eine Vorgehensweise des Herstellens eines dielektrischen Filters, wobei das dielektrische Resonatorsubstrat 27 (identisch mit dem Substrat 11d, das in 1 dargestellt ist) Resonatorelektroden 14a und 14b aus Metallfolie besitzt. Die Vorgehensweise wird beschrieben, wobei gleiche Elemente durch die gleichen Referenznummern wie die, die in 1 dargestellt sind, bezeichnet werden.
  • In 4A werden ein keramisches dielektrisches Schutz-Substrat 11a als eine Schutzschicht, ein keramisches dielektrisches Abschirmelektrodensubstrat 11b mit einer Schutzelektrode 12a, ein dielektrisches Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Substrat 11C mit einer Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 13, ein keramisches dielektrisches Resonatorsubstrat 11d mit Resonatorelektroden 14a und 14b aus Metallfolie, die darin eingebettet sind, die durch die in den 3A bis 3F dargestellte Vorgehensweise hergestellt werden, ein keramisches dielektrisches Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Substrat 11e mit Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator- Elektroden 15a und 15b und ein keramisches dielektrisches Abschirmelektroden-Substrat 11f mit einer Abschirmelektrode 12b übereinander laminiert und in eine Richtung zusammengedrückt, die durch die Pfeile bezeichnet wird. Dadurch wird eine dielektrische Substrat-Anordnung 28 bereitgestellt, die in 4B dargestellt wird. Die dielektrische Substrat-Anordnung 28 wird in einer reduzierenden Atmosphäre bei einer Temperatur von 900°C gebrannt, um ein geschichtetes keramisches dielektrisches Filter hervorzubringen.
  • In Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform kann jedes keramische dielektrische Substrat, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist, aus einer Bi-Ca-Nb-O-Basis, einer Ba-Ti-O-Basis [Zr(Mg, Zn, Nb)]TiO4 + MnO2-Basis und einem gemischten dielektrischen Ba-Nd-Ti-O-Material hergestellt sein. Ein Abschnitt der keine Kapazitanz bildet, kann aus einem Forsterit- oder einem Aluminium-Borosilikat-Glas hergestellt sein.
  • Ausführungsform 1 der Erfindung
  • Die Ausführungsform 1 der Erfindung wird von der Ausführungsform 2 dahingehend unterschieden, dass ein dielektrisches Substrat, das eine Resonatorelektrode aus einer Metallfolie, die darin eingebettet ist, umfasst, aus einem zusammengesetzten Material hergestellt ist, das wärmehärtendes Harz, wie beispielsweise Epoxyharz und ein anorganisches Füllmaterial wie beispielsweise Al2O3-Pulver oder MgO-Pulver enthält.
  • Das wärmehärtende Harz des zusammengesetzten Materials kann nicht nur aus Epoxyharz sondern auch aus Phenolharz und Cyanatharz hergestellt sein.
  • Die 5A bis 5F sind schematische Diagramme, die im Wesentlichen ein Verfahren in Übereinstimmung mit dieser Ausführungsform illustrieren. Wie dies in 5A dargestellt ist, werden ein keramisches dielektrisches Schutz-Substrat 31a als eine Schutzschicht in Form einer ungebrannten Folie (green sheet), ein keramisches dielektrisches Abschirmelektroden-Substrat 31b in Form einer ungebrannten Folie (green sheet) mit einer Abschirmelektrode 32a und ein dielektrisches Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Substrat 31c in Form einer ungebrannten Folie (green sheet) mit einer Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 33 übereinander laminiert und in Richtungen, die durch die Pfeile dargestellt werden, zusammengepresst. Die laminierten Substrate werden anschließend bei ungefähr 900°C gebrannt, um einen ersten dielektrischen Block 34, der in 5B dargestellt ist, zu entwickeln. Anschließend werden, wie dies in 5C dargestellt ist, ein keramisches dielektrisches Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Substrat 36 in Form einer ungebrannten Folie (green sheet) mit Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 35a und 35b und ein keramisches dielektrisches Abschirmelektroden-Substrat 37 in Form einer ungebrannten Folie (green sheet) mit einer Abschirmelektrode 32b laminiert und zusammengepresst. Die laminierten Substrate werden anschließend bei ungefähr 900°C gebrannt, um einen zweiten dielektrischen Block 38, der in 5D dargestellt ist, zu entwickeln.
  • Anschließend wird ein dielektrisches zusammengesetztes Resonatorsubstrat 40, das durch die Prozesse, die in den 3A bis 3F beschrieben werden, hergestellt wird, das Resonatorelektroden 39a und 39b, die darin eingebettet sind, zwischen den ersten dielektrischen Block 34 und den zweiten dielektrischen Block 38 platziert, wie dies in 5E dargestellt ist, und in Richtungen, die durch die Pfeile dargestellt sind, zusammengepresst. Das Substrat 40 enthält die Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 35a und 35b, die auf der unteren Oberfläche davon eingebettet sind. Die Substrate werden bei einer Temperatur im Bereich zwischen 150 bis 200°C zum Aushärten des zusammengesetzten Materials erhitzt, wodurch der erste dielektrische Block 34, das zusammengesetzte dielektrische Resonatorsubstrat 40 und der zweite dielektrische Block 38 dazu veranlasst werden, miteinander verbunden zu werden, um ein dielektrisches Filter bereitzustellen, das in 5F dargestellt ist.
  • Um eine Leistung des Filters zu verbessern, kann das zusammengesetzte dielektrische Resonatorsubstrat 40 einen hohen Gehalt an keramischem dielektrischem Pulver enthalten, das eine hohe dielektrische Konstante als den anorganischen Füllstoff aufweist, der nicht nur aus Al2O3 und MgO sondern auch aus Bi-Ca-Nb-O, Ba-Ti-O, [Zr(Mg, Zn, Nb)]TiO4 + MnO2 und Ba-Nd-Ti-O-Mischungen ausgewählt wird.
  • Die Resonatorelektroden 39a und 39b aus einer Metallfolie dieser Ausführungsform ermöglichen, da sie in dem zusammengesetzten Substrat, das Harz enthält, eingebettet sind, dass das dielektrische Filter durch einfache Prozesse, die in den 5A bis 5F dargestellt sind, hergestellt wird.
  • Der anorganische Füllstoff in dem zusammengesetzten Material in dieser Ausführungsform kann vorzugsweise ungefähr zu 70% bis 90% enthalten sein, so dass das zusammengesetzte Material eine identische thermische Ausdehnung wie das keramische Material aufweist.
  • Um die dielektrische Konstante des zusammengesetzten Materials zu erhöhen, kann der Füllstoff noch zu einem höheren Grad enthalten sein. Für eine Bondingstärke kann der Füllstoff zu einem geringeren Grad als wie der voranstehend beschriebene Bereich enthalten sein.
  • Der Resonator besitzt den Q-Faktor, der signifikant durch die Elektroden aus Metallfolie, die einen hohen Leiter-Q-Faktor aufweist, und das dielektrische Substrat, das einen hohen Q-Material-Faktor aufweist, erhöht wird.
  • Das dielektrische Filter von Ausführungsform 1 der Erfindung umfasst die Resonatorelektroden 39a und 39b, die in dem dielektrischen Material eingebettet sind, die eine niedrige dielektrische Konstante aufweisen. Jede Elektrode berührt das Material, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist, an seinen oberen und unteren Oberflächen und berührt das Material, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist, an ihren Seiten.
  • Das dielektrische Filter von Ausführungsform 1 der Erfindung weist eine Elektrode wie beispielsweise eine Kondensatorkopplungs-Elektrode oder eine Eingangs-/Ausgangselektrode in dem Material einer hohen dielektrischen Konstante auf, weist jedoch selbst dann denselben Vorteil auf, wenn das Material der hohen dielektrische Konstante die Elektrode nicht enthält. Um die Elektrode zu integrieren, wird das dielektrische Material zusammen mit der Elektrode gebrannt. Das dielektrische Material, und zwar ein LTCC-(low temperature co-fired ceramic) Material, das zusammen mit der Elektrode gebrannt werden kann, weist jedoch im Wesentlichen einen niedrigen Q-Faktor auf (den Material-Q-Faktor). In Übereinstimmung mit der Ausführungsform 2 der Erfindung sind die Resonatorelektroden so angeordnet, dass sie in direkten Kontakt mit einem bei einer hohen Temperatur gebrannten keramischen Material kommen, das einen hohen Q-Faktor aufweist, jedoch nicht zusammen mit der Elektrode gebrannt werden kann. Das dielektrische Material versieht beim Ausschließen der Elektrode das dielektrische Filter mit dem Vorteil des HTCC-Materials, das heißt, dem hohen Q-Material-Faktor.
  • Ausführungsform 2 der Erfindung
  • Ein dielektrisches Filter in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung wird durch das folgende Verfahren hergestellt. Wie dies in 6A dargestellt ist, wird ein Elektrodenrahmen 24, der durch die Vorgehensweise, die in den 3A bis 3F dargestellt ist, hergestellt wird, durch Druck-Bonding mit einem zusammengesetzten Material 41 verbunden, das dieselbe Dicke aufweist, wie der Elektrodenrahmen 24. Als ein Ergebnis, das in 6B dargestellt ist, werden Öffnungen 42 in dem Elektrodenrahmen 24 mit dem zusammengesetzten Material 41 gefüllt, wodurch auf diese Weise ein zusammengesetztes Elektrodensubstrat 43 gebildet wird.
  • Anschließend wird ein dielektrisches Substrat 44 aus keramischem Material, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist, in Form einer ungebrannten Folie (green sheet) auf die obere Oberfläche eines zweiten dielektrischen Blockes 38 in Form einer ungebrannten Folie, der durch die Vorgehensweise, die in 5C dargestellt wird, hergestellt wird, platziert und unter derselben Bedingung wie die der Ausführungsform 1 der Erfindung gebrannt, um einen dritten dielektrischen Block 45 zu entwickeln. Wie dies in 6C dargestellt wird, wird ein dielektrisches zusammengesetztes Resonatorsubstrat 46, das von dem zusammengesetzten Elektrodensubstrat 43 getrennt ist, zwischen dem dritten dielektrischen Block 45 und einem ersten dielektrischen Block 34 platziert, der durch die in 5B dargestellte Vorgehensweise hergestellt wird. Anschließend werden sie zusammengepresst, um ein dielelektrisches Filter auszubilden, das in 6D dargestellt ist. Das Filter enthält das dielektrische Substrat 44, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist, das zwischen den Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 35a und 35b und den Resonatorelektroden 39a und 39b positioniert ist, und weist dementsprechend einen verbesserten Q-Faktor auf, obgleich es durch einen kostengünstigen Prozess hergestellt wird. Bei dem Resonator wird der Q-Faktor signifikant durch die Elektroden aus Metallfolie, die einen hohen Q-Faktor aufweisen und das dielektrische Substrat, das einen hohen Material-Q-Faktor aufweist, erhöht.
  • Das dielektrische Filter der Ausführungsform 2 der Erfindung umfasst die Resonatorelektroden 39a und 39b, die in dem dielektrischen Material eingebettet sind, das eine niedrige dielektrische Konstante aufweist. Jede Elektrode berührt das Material, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist an ihren oberen und unteren Oberflächen und berührt das Material, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist, an ihren Seiten.
  • Anstelle des zusammengesetzten Substrates 43 kann das Filter dieser Ausführungsform durch ein Verfahren, ein Verfahren in dem Prozess, der in 6C dargestellt ist, des Bereitstellens der Resonatorelektroden 39a und 39b direkt auf der oberen Oberfläche des dritten dielektrischen Blockes 45, des Füllens der Öffnungen 42 des Elektrodenrahmens 24 mit flüssigem Harz, wie beispielsweise Epoxy-, Phenol-, Cyanat-, Poly-Phenylenphthalat- oder Poly-Phenylenätherharz als Klebstoff und durch anschließendes Bonding des dielektrischen Blockes 34 von oben hergestellt werden. Sie können mit einer Paste aus Glassplitt anstelle des Harzklebstoffes miteinander durch Bonding verbunden werden, womit die Öffnungen 2 des Elektrodenrahmens 24 gefüllt werden, und bei ungefähr 900°C gebrannt werden, um glasversiegelt zu werden.
  • In den Prozessen, die in den 3A bis 3E und den 6A und 6B dargestellt sind, wird eine Vielzahl von Resonatorelektroden mit einem Mal in dem Elektrodenrahmen erhalten. In den anderen Prozessen wird jedes dielektrische Filter für eine einfache Erläuterung illustriert.
  • Die Resonatorelektrode aus Metallfolie der voranstehend beschriebenen Ausführungsformen wird auf ihrer Oberfläche durch Au, Ag oder Cu poliert oder Metallbeplankung unterzogen, um eine durchschnittliche Oberflächenrauhigkeit in dem Bereich von 0,5 bis 0,01 μm zu erzielen. Die Resonatorelektrode weist, da sie eine glättere Oberfläche als die Elektrode aufweist, die durch einen herkömmlichen Aufdruckprozess mit Leiterplaste hergestellt wird und eine durchschnittliche Oberflächenrauhigkeit im Bereich von 1 bis 3 μm aufweist, einen erhöhten Q-Faktor auf und verbessert auf diese Weise die Leistung des Filters.
  • Das dielektrische Filter der Ausführungsform 2 der Erfindung weist eine Elektrode, wie beispielsweise eine Kondensatorkopplungs-Elektrode oder eine Eingangs-/Ausgangselektrode in dem Material einer hohe dielektrischen Konstante auf, weist jedoch denselben Vorteil selbst dann auf, wenn das Material der hohen dielektrischen Konstante nicht die Elektrode enthält. Um die Elektrode zu integrieren, wird das dielektrische Material zusammen mit der Elektrode gebrannt. Das dielektrische Material, das heißt, ein LTCC-(low temperature co-fired ceramic) Material, das zusammen mit der Elektrode gebrannt werden kann, weist jedoch einen im Wesentlichen niedrigen Q-Faktor (den Material-Q-Faktor) auf. In Übereinstimmung mit der Ausführungsform 2 der Erfindung werden die Resonatorelektroden so angeordnet, dass sie direkt mit einem HTCC-(high temperature co-fired ceramic) Material in Kontakt kommen, das einen hohen Q-Faktor aufweist, jedoch nicht zusammen mit der Elektrode gebrannt werden kann, und weist dementsprechend einen hohen Q-Faktor auf. Das dielektrische Material stellt beim Ausschließen der Elektrode dem dielektrischen Filter den Vorteil des HTCC-(high temperature co-fired ceramic) Materials, das heißt, den hohen Material-Q-Faktor bereit.
  • Der Resonator der Ausführungsform 4 enthält ein Paar der Resonatorelektroden aus Metallfolie liefert dem Filter jedoch denselben Effekt beim Integrieren von drei oder mehr Resonatorelektroden.
  • Die herkömmliche Resonatorelektrode, die mit einem aufgedruckten Muster aus Leiterpaste ausgebildet wird, ist hinsichtlich ihrer Dicke beschränkt. Die Resonatorelektrode dieser Ausführungsform, die aus Metallfolie hergestellt ist, weist, da sie durch einen photolithographischen Prozess und einen Ätzprozess hergestellt werden kann, eine gewünschte Dicke entsprechend den gewünschten Eigenschaften auf und verfügt über einen reduzierten Leiterverlust. Das Filter mit der Elektrode ermöglicht, dass eine Kommunikationsvorrichtung kleine Abmessungen und eine hohe Leistung aufweist.
  • Ausführungsform 3 der Erfindung
  • Diese Ausführungsform betrifft einen Antennen-Duplexer 65, der das dielektrische Filter der Ausführungsformen 1 und 2 als ein Sendefilter 62 oder ein Empfängerfilter 61 zum Trennen eines Signals in ein empfangenes Signal und in ein gesendetes Signals in einer Kommunikationsvorrichtung 67 wie beispielsweise ein Mobiltelefon enthält. Wie dies in 7 dargestellt ist, sind die dielektrischen Filter der voranstehend beschriebenen Ausführungsform mit den jeweiligen Enden einer Abgleichungsschaltung 266 verbunden, die einen Antennenanschluss 63 aufweist, der mit einer Antenne 64 verbunden ist. Dadurch wird ein koaxialer Resonator beseitigt, der einen großen Raum einnimmt, und der allgemeinhin in einem Antennen-Duplexer verwendet wird. Der Antennen-Duplexer dieser Ausführungsform weist insgesamt reduzierte Abmessungen auf.
  • Der Antennen-Duplexer dieser Ausführungsform kann, da er das dielektrische Filter enthält, das eine Resonatorelektrode hat, die aus einer Metallfolie hergestellt ist, zu einer kleineren Größe und zu der verbesserten Leistung der Kommunikationsvorrichtung wie beispielsweise dem Mobiltelefon beitragen.
  • Die Resonatorelektrode des dielektrischen Filters in dem Antennen-Duplexer weist, da sie eine Oberfläche besitzt, die durch Polieren oder Metallbeplankung geglättet worden ist, einen hohen Q-Faktor auf.
  • Die Resonatorelektrode des dielektrischen Filters in dem Antennen-Duplexer wird mit einem Elektrodenrahmen hergestellt, der durch die Prozesse des Versehens mit einer Fotomaske und des Ätzens beider Oberflächen einer Folie der Metallfolie, die Gold, Silber oder Kupfer enthält, und des anschließenden Abrundens seiner Kanten und Ecken durch chemisches oder elektrolytisches Polieren hergestellt wird. Als Ergebnis kann die Resonatorelektrode die abgerundeten Kanten und Ecken aufweisen.
  • (Ausführungsform 6)
  • 8 ist eine Querschnittsdarstellung eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 6. Das dielektrische Filter, das eine ähnliche grundlegende Anordnung aufweist, wie die, die in 17 dargestellt ist, umfasst sechs dielektrische Substrate 111a bis 111f.
  • Elektroden in dem dielektrischen Filter können unter Verwendung desselben leitfähigen Materials wie dem des herkömmlichen Filters hergestellt werden. Jede Elektrode in dieser Ausführungsform weist einen rechteckförmigen Querschnitt auf, wie dies in der Querschnittsdarstellung von 8 zum Zwecke einer einfachen Erläuterung dargestellt ist. Der Querschnitt kann eine beliebige geeignete Form aufweisen, wie beispielsweise eine Spulenform, wie dies in 18 dargestellt ist und kann durch Aufdrucken eines Musters aus leitfähiger Paste bereitgestellt werden.
  • Das obere dielektrische Abschirmelektrodensubstrat 111b umfasst eine Abschirmelektrode 112a auf der oberen Oberfläche davon. Das Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Substrat 111c umfasst eine Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 113 auf der oberen Oberfläche davon. Das dielektrische Resonatorsubstrat 111d umfasst Resonatorelektroden 114a und 114b auf der oberen Oberfläche davon. Das dielektrische Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Substrat 111e umfasst Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 115a und 115b auf der oberen Oberfläche davon. Das untere dielektrische Abschirmelektrodensubstrat 111f umfasst eine Abschirmelektrode 112b auf der oberen Oberfläche davon. Die Substrate 111b bis 111f werden mit dem Schutzsubstrat 111a, das am weitesten oben liegt, zusammen laminiert, um das dielektrische Filter dieser Ausführungsform bereitzustellen. Das Schutzsubstrat 111a kann aus einem anderen Material als dem dielektrischen Material hergestellt sein, so beispielsweise aus einem organischen Material, das die Abschirmelektroden vor umgebenden Bedingungen schützen kann.
  • Das dielektrische Filter dieser Ausführungsform, die in 8 dargestellt ist, weist Endelektroden, wie dies in 17 dargestellt ist, auf der linken Seite und auf der rechten Seite davon auf, was nicht illustriert und erläutert wird.
  • Das dielektrische Filter dieser Ausführungsform umfasst eine Anordnung der Substrate. Wie dies in 8 dargestellt ist, ist jedes des oberen dielektrischen Abschirmelektrodensubstrates 111b, des Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Substrates 111c, des dielektrischen Resonatorsubstrates 111d und des dielektrischen Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Substrates 111e aus Materialien hergestellt, die unterschiedliche dielektrische Konstanten aufweisen, so ein erstes dielektrisches Material, das eine relativ hohe dielektrische Konstante aufweist (im Folgenden als ein Material mit hoher dielektrischer Konstante bezeichnet), und ein zweites dielektrisches Material 117, das eine niedrigere dielektrische Konstante als die erste dielektrische Konstante aufweist (dementsprechend im Folgenden als ein Material mit niedriger dielektrischer Konstante bezeichnet). Insbesondere werden das Material mit hoher di elektrischer Konstante und das Material mit niedriger dielektrischer Konstante abwechselnd entlang einer quer verlaufenden Richtung angeordnet.
  • Dementsprechend befindet sich das Material mit hoher dielektrischer Konstante 116 in der Mitte einer jeden Resonatorelektroden 114a und 114b in dem dielektrischen Filter. Das Material mit niedriger dielektrischer Konstante 117 befindet sich an einer äußeren Seite einer jeden Resonatorelektrode 114a und 114b. Dadurch werden elektrische Stromlinien einheitlich auf die Resonatorelektroden 114a und 114b positioniert. Die Linien sind in einem herkömmlichen dielektrischen Filter in der Nähe eines jeden Endes der Elektroden verstreut. Eine Stromdichte durch die Resonatorelektroden 114a und 114b reduziert, da sie einheitlich ist, einen Leiterverlust der Resonatorelektroden 114a und 114b und reduziert auf diese Weise einen Verlust in dem dielektrischen Filter.
  • In dem dielektrischen Filter dieser Ausführungsform wird jeder überlappte Bereich zwischen den Resonatorelektroden 114a und 114b und der Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 113 und jeder überlappte Bereich zwischen den Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 115a und 115b und der Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 113 mit dem Material mit niedriger dielektrischer Konstante 117 befüllt. Dadurch können Kapazitanzen und Eigenschaften des Filters auf einfache Weise ausgelegt werden.
  • (Ausführungsform 7)
  • Die 9A bis 9C illustrieren Prozesse zum Herstellen eines zusammengesetzten dielektrischen keramischen Substrates in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 7. Wie dies in 9A dargestellt ist, werden abwechselnd nicht gebrannte Folien (green sheets) 121a und 121b, die aus einem keramischen Bi-Ca-Nb-O-Material, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist, hergestellt sind, und nicht gebrannte Folien (green sheets) 122a, 122b und 122c, die aus einem Forsterit-basierten keramischen Material, das eine niedrige dielektrische Konstante aufweist, hergestellt sind, laminiert. Jede der nicht gebrannten Folien 121a und 122b umfasst keramische nicht gebrannte Schichten, die eine Dicke von einigen wenigen Mikrometern bis zu Hunderten von Mikrometern aufweisen, die durch ein Streichverfahren mit Rakel mit einem Aufschlämmung ent haltenen Pulver aus dielektrischem Material und organischem Bindemittel hergestellt werden.
  • Ein zusammengesetzter keramischer dielektrischer Block 123 (im Folgenden als Block aus ungebrannter Folie (green sheet) bezeichnet), der ungebrannten Folien (green sheets) 121a und 122b wird entlang der Linien A-A, B-B, C-C und D-D aufgeschnitten, wie dies in 9B dargestellt ist. Dadurch werden vier zusammengesetzte keramische dielektrische ungebrannte Substrate 124 bis 127 bereitgestellt, wie dies in 9C dargestellt ist. Jedes Substrat umfasst zwei unterschiedliche dielektrische keramische Materialien, ein keramisches Material, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist und ein keramisches Material, das eine niedrige dielektrische Konstante aufweist.
  • Die 10A bis 10C sind perspektivische Darstellungen, die die letzteren Prozesse des Herstellens des dielektrischen Filters dieser Ausführungsform illustrieren. Wie dies in 10A dargestellt ist, ist eine obere Abschirmelektrode 131a auf der oberen Oberfläche des keramischen dielektrischen ungebrannten Substrates 124 vorhanden. Eine Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 132 ist auf der oberen Oberfläche des keramischen dielektrischen ungebrannten Substrates 125 vorhanden. Resonatorelektroden 133a und 133b, bei denen ein Ende als ein Kurzschlussende und das andere Ende als ein offenes Ende ausgebildet ist, sind auf der oberen Oberfläche des keramischen dielektrischen ungebrannten Substrates 126 vorhanden. Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 134a und 134b sind auf der oberen Fläche des keramischen dielektrischen ungebrannten Substrates 127 vorhanden. Sie werden zusammen laminiert und an den jeweiligen Seiten davon mit einem keramischen ungebrannten Schutzsubstrat 136 und einem keramischen dielektrischen ungebrannten Substrat 137 bedeckt, das eine untere Abschirmelektrode 131b, die darauf vorhanden ist, enthält, wie dies in 10B dargestellt ist. Sie werden anschließend zusammengepresst und bei einer vorgegebenen Temperatur gebrannt, wodurch das dielektrische Filter bereitgestellt wird, das in 10C dargestellt ist.
  • Das ungebrannte Schutzsubstrat 136 und das keramische dielektrische ungebrannte Substrat 137 mit der unteren Abschirmelektrode 131b, die in den 10A bis 10C dargestellt sind, sind aus demselben Material wie das keramische Material 122a hergestellt, das die niedrige dielektrische Konstante aufweist. Sie können aus einem keramischen Material hergestellt sein, das eine hohe dielektrische Konstante aufweist. Bei der Resonatorelektrode in dem dielektrischen Filter dieser Ausführungsform ist ein Ende das Kurzschlussende und das andere Ende ist das offene Ende, bei ihr können jedoch auch beide Enden offen sein.
  • Die keramischen dielektrischen ungebrannte Substrate 124, 125, 126 und 127 dieser Ausführungsform, die in den 9A bis 9C und in den 10A bis 10C dargestellt sind, sind mit den Scheiben des Blockes aus ungebrannter Folie 123 zu einer gewünschten Dicke ausgebildet. Die Substrate können mit den jeweiligen Blöcken aus ungebrannter Folie ausgebildet werden, wobei jeder zwei unterschiedliche dielektrische Materialien aufweist. Die Abschnitte der hohen dielektrischen Konstante in jedem keramischen dielektrischen ungebrannten Substrat können voneinander unterschiedliche Breiten im Querschnitt aufweisen. Dadurch wird ermöglicht, dass das dielektrische Filter flexibel gestaltet werden kann.
  • Die Elektroden, die auf den dielektrischen ungebrannten Substraten vorhanden sind, können mit aufgedruckten Mustern aus einer leitfähigen Paste oder geätzten Metallfolien hergestellt sein. Die keramischen dielektrischen ungebrannten Substrate können mit den Elektroden unter diesen Bedingungen gebrannt werden.
  • Die voranstehend beschriebene Vorgehensweise der Ausführungsform 7 wird erläutert, wobei der Block der ungebrannten Folie (green sheet) 123 in die keramischen dielektrischen ungebrannten Substrate 124, 125, 126 und 127 unterteilt wird, die anschließend mit den Elektroden versehen werden, laminiert und gebrannt werden. Die Vorgehensweise kann modifiziert werden, wobei die keramischen dielektrischen ungebrannten Substrate 124, 125, 126 und 127, die von dem Block ungebrannter Folie 123 erhalten werden, erst gebrannt und anschließend mit den Elektroden versehen werden. Durch die modifizierte Vorgehensweise wird verhindert, dass die Substrate während des Brennens Risse bekommen.
  • Die gebrannten keramischen dielektrischen Substrate in der modifizierten Vorgehensweise können mit einem Klebstoff durch Bonden miteinander verbunden werden, der von dem wärmehärtenden Harz, dem zusammengesetzten Material, das wärme härtenden Harz und einen anorganischen Füllstoff enthält und einem Glassplitt ausgewählt wird und das eine niedrige Schmelztemperatur und Ähnliches aufweist.
  • Wie dies voranstehend beschrieben worden ist, umfasst das dielektrische Filter dieser Ausführungsform die laminierten zusammengesetzten dielektrischen Substrate, die aus zusammengesetzten Materialien hergestellt sind, die unterschiedliche relative dielektrische Konstanten aufweisen. Dementsprechend kann das dielektrische Filter Substrate umfassen, die aus dem zusammengesetzten dielektrischen Substrat und dem dielektrischen Substrat, das eine einzige relative dielektrische Konstante aufweist, entsprechend einer gewünschten Form und gewünschten Eigenschaften ausgewählt werden.
  • (Ausführungsform 8)
  • 11 ist eine Querschnittsdarstellung eines dielektrischen Filters in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 8. Das dielektrische Filter der Ausführungsform 8 unterscheidet sich von dem dielektrischen Filter der Ausführungsform 6 durch eine modifizierte Anordnung einer Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 143 auf einem dielektrischen Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Substrat 111c und von Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 145a und 145b auf einem dielektrischen Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Substrat 111e. Wie dies in 11 dargestellt ist, sind beide Enden der Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode 143 und ein Ende einer jeden Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektroden 145a und 145b in einem Material mit einer hohen dielektrischen Konstante 116 angeordnet. Durch diese Anordnung wird ermöglicht, dass Kondensatorabschnitte, die Kapazitanzen aufweisen, in dem Material mit der hohen dielektrischen Konstante angeordnet werden können, wodurch auf diese Weise die Kapazitanzen auf den Kondensatorabschnitten in dem dielektrischen Filter erhöht werden.
  • (Ausführungsform 9)
  • 12 illustriert ein dielektrisches Filter in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 9, die dielektrische Substrate 111a bis 111f umfasst, die eine Konstruktion mit drei Platten aufweisen, die aus einem zusammengesetzten Material, einschließlich einem Material mit einer hohen dielektrischen Konstante 116 und einem Material mit einer niedrigen dielektrischen Konstante 117 hergestellt sind. Die dielektrischen Substrate werden, da sie mit einem aufgeschnittenen Block aus ungebrannter Folie (green sheet) ausgebildet werden, durch eine einfache Vorgehensweise hergestellt.
  • (Ausführungsform 10)
  • 13 illustriert ein dielektrisches Filter der Ausführungsform 10. Das Filter umfasst ein Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Substrat 11c und ein dielektrisches Resonatorsubstrat 111d, die aus einem zusammengesetzten Material einschließlich einem Material mit einer hohen dielektrischen Konstante 116 und einem Material mit einerniedrigen dielektrischen Konstante 117 hergestellt sind. Das Filter umfasst des Weiteren ein dielektrisches Schutzsubstrat 111a, ein oberes dielektrisches Abschirmelektroden-Substrat 111b, ein dielektrisches Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Substrat 111e und ein unteres dielektrisches Abschirmelektroden-Substrat 111f, die aus dem Material mit einer niedrigen dielektrischen Konstante 117 hergestellt sind. Diese Anordnung dieser Ausführungsform unterdrückt Probleme wie die Entstehung von Rissen, die nach dem Brennen verursacht werden, aufgrund einer Differenz von Kontraktion zwischen unterschiedlichen dielektrischen Materialien, verglichen mit der voranstehend beschriebenen Ausführungsform, bei der alle dielektrischen Substrate aus einem einzelnen Block erhalten werden.
  • Die 14A und 14B illustrieren Profile eines Stroms, der in einem herkömmlichen dielektrischen Filter fließt und eines Stroms, der in dem dielektrischen Filter der Ausführungsformen in dem Querschnitt der Resonatorelektrode fließt. Elektrische Stromlinien, die im Allgemeinen in Richtung zu beiden Seiten der Resonatorelektrode ausgerichtet sind, die in einem einzelnen dielektrischen Material in dem herkömmlichen dielektrischen Filter eingebettet ist, sind durch die Anordnung dieser Ausführungsform gleichmäßig entlang der Breitenrichtung ausgerichtet. Dadurch wird ermöglicht, dass der Strom gleichmäßig durch den Querschnitt der Resonatorelektrode fließt.
  • Ausführungsform 4 der Erfindung
  • Ein dielektrisches Filter in Übereinstimmung mit der Ausführungsform 4 der vorliegenden Erfindung ist im Wesentlichen identisch mit dem dielektrischen Filter der voranstehend beschriebenen Ausführungsformen mit Ausnahme einer Anordnung einer Resonatorelektrode.
  • Die Resonatorelektrode des dielektrischen Filters der voranstehend beschriebenen Ausführungsformen weist eine rechteckförmige Form mit einer einheitlichen Breite auf. Die Resonatorelektroden 163a und 163b dieser Ausführungsform besitzen breite Abschnitte 163aw und 163bw an jeweiligen offenen Enden davon, wie dies in 15 dargestellt ist. Die breiten Abschnitte 163aw und 163bw sind in der Form so ausgelegt, dass sie die Eigenschaften des Filters bestimmen.
  • Wie dies in der Zeichnung der Ausführungsform dargestellt ist, ist bei einer jeden der Resonatorelektroden 163a und 163b die Mitte auf einem Material mit einer hohen dielektrischen Konstante ausgebildet, und die beiden Enden einschließlich der breiten Abschnitte 163aw und 163bw sind auf einem Material mit einer niedrigen dielektrischen Konstante ausgebildet. Diese Anordnung stellt das Filter mit demselben Vorteil wie die voranstehend beschriebenen Ausführungsformen bereit.
  • In dieser Ausführungsform umfasst das Filter zwei Resonatorelektroden und kann drei oder mehr Resonatorelektroden aufweisen, wobei bei jeder jeweils die Mitte und die beiden Kanten in den dielektrischen Materialien mit den unterschiedlichen dielektrischen Konstanten ausgebildet sind.
  • (Ausführungsform 12)
  • Die Ausführungsform 12 betrifft einen Antennen-Duplexer 256, der ein dielektrisches Filter der Ausführungsform 4 als ein Sendefilter 261 oder als ein Empfängerfilter 261 zum Trennen eines Signals in ein empfangenes Signals und in ein gesendetes Signal in einer Kommunikationsvorrichtung 267 wie beispielsweise ein Mobiltelefon umfasst. Wie dies in 16 dargestellt ist, umfasst der Antennen-Duplexer 256 die dielektrischen Filter der voranstehend beschriebenen Ausführungsformen, die mit den jeweiligen Enden einer Abgleichungsschaltung 266, die einen Antennenanschluss 263, der mit einer Antenne 264 verbunden ist, aufweist, verbunden sind. Durch diese Anordnung wird ein koaxialer Resonator beseitigt, der einen großen Raum einnimmt, und der allgemeinhin in einem herkömmlichen Antennen-Duplexer verwendet wird. Der Antennen-Duplexer dieser Ausführungsform weist insgesamt reduzierte Abmessungen auf.
  • Der Antennen-Duplexer dieser Ausführungsform kann, da er das dielektrische Filter enthält, das eine Resonatorelektrode hat, die aus einer Metallfolie hergestellt ist, zu einer kleineren Größe und zu der verbesserten Leistung der Kommunikationsvorrichtung wie beispielsweise dem Mobiltelefon beitragen.
  • Die Resonatorelektroden, die Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektroden und die Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensatorelektroden dieser Ausführungsform können mit einem aufgedruckte Muster aus leitfähiger Paste, die Gold, Silber oder Kupfer enthält, hergestellt sein.
  • Die Resonatorelektroden, die Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektroden und die Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensatorelektroden dieser Ausführungsform können aus einer Metallfolie hergestellt sein, die im Wesentlichen Gold, Silber oder Kupfer enthält.
  • Das erste dielektrische Material ist nicht darauf beschränkt, aus einer Bi-Ca-Nb-O-Mischung zu bestehen, sondern kann aus einer Gruppe von keramischen Materialien einschließlich Ba-Ti-O und Zr(Mg, Zn, Nb)Ti-Mn-O ausgewählt werden. Das zweite dielektrische Material ist Forsterit durch die gesamten Ausführungsformen hinweg, es kann jedoch auch ein auf Aluminium-Borosilikat-Glas basierendes keramisches Material sein.
  • Das dielektrische Filter der Ausführungsformen kann ein keramisches Material aus Bi-Ca-Nb-O, Ba-Ti-O oder Zr(Mg, Zn, Nb)Ti-Mn-O als das erste dielektrische Material und ein keramisches Material aus einem Forsterit- oder Aluminium-Borosilikat-Glas als das zweite dielektrische Material sein, und weist dementsprechend eine verbesserte Betriebszuverlässigkeit und Materialeigenschaften auf.
  • Das dielektrische Filter kann durch die folgenden Prozesse hergestellt werden:
    • (a) Verbinden des ersten dielektrischen Materials in Form einer ungebrannten Folie (green sheet) mit dem zweiten dielektrischen Material in Form einer ungebrannten Folie, das eine niedrigere dielektrische Konstante als das erste dielektrische Material in einer quer verlaufenden Richtung aufweist, um den zusammengesetzten, keramischen dielektrischen Block als ungebrannte Folie bereitzustellen;
    • (b) Schneiden des zusammengesetzten, keramischen dielektrischen Blockes als ungebrannte Folie in quer verlaufender Richtung, um zusammengesetzte dielektrische Substrate in Form einer ungebrannten Folie (green sheet) bereitzustellen, die das erste dielektrische Material und das zweite dielektrische Material enthalten; und
    • (c) Bereitstellen einer oberen Abschirmelektrode, einer Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode, von Resonatorelektroden und einer Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektrode auf den jeweiligen oberen Oberflächen der zusammengesetzten dielektrischen Substrate in Form einer ungebrannten Folie (green sheet) und anschließendes Laminieren und Brennen der zusammengesetzten dielektrischen Substrate unter spezifischen Bedingungen.
  • Diese Prozesse ermöglichen, dass die dielektrischen Substrate und die Elektroden auf einfache Weise mit einem Mal gebrannt werden können.
  • Industrielle Anwendbarkeit
  • Ein dielektrisches Filter der vorliegenden Erfindung umfasst Resonatorelektroden, die aus einer Metallfolie hergestellt ist, die eine einheitliche Dicke aufweisen, elektromagnetisch miteinander gekoppelt sind und glatte Oberflächen aufweisen. Das Filter wird auf diese Weise kostengünstig hergestellt, weist einen verbesserten Q-Faktor auf und weist einen geringen Verlust und eine hohe Dämpfung auf.
  • Das dielektrische Filter der vorliegenden Erfindung ermöglicht, dass eine Kommunikationsvorrichtung wie beispielsweise ein Mobiltelefon, das das Filter enthält, eine kleine Größe und eine hohe Leistung aufweist.
  • 11a–11f
    DIELEKTRISCHE SUBSTRATE
    12a, 12b
    ABSCHIRMELEKTRODE
    13
    ZWISCHENSTUFEN-KOPPLUNGSKONDENSATOR-ELEKTRODE
    14a, 14b
    RESONATORELEKTRODE
    15a, 15b
    EINGANGS-/AUSGANGS-KOPPLUNGSKONDENSATOR-ELEKTRODE
    14aw, 14bw
    BREITER ABSCHNITT
    21
    METALLFOLIE
    23
    RESONATORELEKTRODE
    24
    ELEKTRODENRAHMEN
    26
    DIELEKTRISCHE FOLIE
    27
    DIELEKTRISCHES RESONATOR-SUBSTRAT
    28
    DIELEKTRISCHE SUBSTRATANORDNUNG
    31a
    KERAMISCHES DIELEKTRISCHES SCHUTZSUBSTRAT
    31b
    KERAMISCHES DIELEKTRISCHES ABSCHIRMELEKTRODEN-SUBSTRAT
    32a
    ABSCHIRMELEKTRODE
    31c
    KERAMISCHES DIELEKTRISCHES ZWISCHENSTUFEN-KOPPLUNGSKONDENSATOR-SUBSTRAT
    33
    ZWISCHENSTUFEN-KOPPLUNGSKONDENSATOR-ELEKTRODE
    34
    DIELEKTRISCHER BLOCK
    35a, 35b
    EINGANGS-/AUSGANGS-KOPPLUNGSKONDENSATOR-ELEKTRODE
    36
    KERAMISCHES DIELEKTRISCHES EINGANGS-/AUSGANGS-KOPPLUNGSKONDENSATOR-SUBSTRAT
    37
    KERAMISCHES DIELEKTRISCHES ABSCHIRMELEKTRODEN-SUBSTRAT
    38
    DIELEKTRISCHER BLOCK
    39a, 39b
    RESONATORELEKTRODE
    40
    ZUSAMMENGESETZTES DIELEKTRISCHES RESONATOR-SUBSTRAT
    41
    ZUSAMMENGESETZTES MATERIAL
    42
    ÖFFNUNG
    43
    ZUSAMMENGESETZTES ELEKTRODENSUBSTRAT
    44
    DIELEKTRISCHES SUBSTRAT
    45
    DIELEKTRISCHER BLOCK
    46
    ZUSAMMENGESETZTES DIELEKTRISCHES RESONATOR-SUBSTRAT
    111a
    SCHUTZSUBSTRAT
    111b
    OBERES DIELEKTRISCHES ABSCHIRMELEKTRODEN-SUBSTRAT
    111c
    DIELEKTRISCHES ZWISCHENSTUFEN-KOPPLUNGSKONDENSATOR-SUBSTRAT
    111d
    DIELEKTRISCHES RESONATOR-SUBSTRAT
    111e
    DIELELEKTRISCHES EINGANGS-/AUSGANGS-KOPPLUNGSKONDENSATOR-SUBSTRAT
    111f
    UNTERES DIELEKTRISCHES ABSCHIRMELEKTRODEN-SUBSTRAT
    112a, 112b
    ABSCHIRMELEKTRODE
    113
    ZWISCHENSTUFEN-KOPPLUNGSKONDENSATOR-ELEKTRODE
    114a, 114b
    RESONATORELEKTRODE
    115a, 115b
    EINGANGS-/AUSGANGS-KOPPLUNGSKONDENSATOR-ELEKTRODE
    116
    MATERIAL MIT HOHER DIELEKTRISCHER KONSTANTE
    117
    MATERIAL MIT HOHER DIELEKTRISCHER KONSTANTE
    121a, 121b
    UNGEBRANNTE FOLIE
    122a, 122b, 122C
    UNGEBRANNTE FOLIE
    123
    KERAMISCHER ZUSAMMENGESETZTER DIELEKTRISCHER BLOCK
    124
    KERAMISCHES DIELEKTRISCHES UNGEBRANNTES SUBSTRAT
    125
    KERAMISCHES DIELEKTRISCHES UNGEBRANNTES SUBSTRAT
    126
    KERAMISCHES DIELEKTRISCHES UNGEBRANNTES SUBSTRAT
    127
    KERAMISCHES DIELEKTRISCHES UNGEBRANNTES SUBSTRAT
    131a
    OBERE ABSCHIRMELEKTRODE
    131b
    UNTERE ABSCHIRMELEKTRODE
    132
    ZWISCHENSTUFEN-KOPPLUNGSKONDENSATOR-ELEKTRODE
    133, 133b
    RESONATORELEKTRODE
    134a, 134b
    EINGANGS-/AUSGANGS-KOPPLUNGSKONDENSATOR-ELEKTRODE
    136
    KERAMISCHES UNGEBRANNTES SCHUTZSUBSTRAT
    137
    KERAMISCHES DIELEKTRISCHES UNGEBRANNTES SUBSTRAT
    143
    ZWISCHENSTUFEN-KOPPLUNGSKONDENSATOR-ELEKTRODE
    145a, 145b
    EINGANGS-/AUSGANGS-KOPPLUNGSKONDENSATOR-ELEKTRODE
    163a, 163b
    RESONATORELEKTRODE
    163aw, 163bw
    BREITER ABSCHNITT

Claims (24)

  1. Dielektrisches Filter, das umfasst: Resonatorelektroden (39a, 39b), die elektromagnetisch miteinander gekoppelt sind; eine Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode (33) zum Koppeln der Resonatorelektroden; eine Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektrode (35a, 36b) zum Eingeben und Ausgeben eines Signals in die/aus den Resonatorelektroden; und dielektrische Substrate (31c, 36, 40), auf denen die Resonatorelektroden, die Zwischenstufen-Kopplungskondensator-Elektrode und die Eingangs-/Ausgangs-Kopplungskondensator-Elektrode vorhanden sind; dadurch gekennzeichnet, dass die Resonatorelektroden (39a, 39b) aus Metallfolie bestehen; ein erstes dielektrisches Substrat (40) der dielektrischen Substrate, auf dem die Resonatorelektroden vorhanden sind, eine niedrigere Dielektrizitätskonstante hat als ein zweites dielektrisches Substrat (31c) der dielektrischen Substrate; die Resonatorelektroden (39a, 39b) wenigstens eine Fläche haben, die mit dem zweiten dielektrischen Substrat in Kontakt ist; und beide Seiten jeder der Resonatorelektroden (39a, 39b) mit dem ersten dielektrischen Substrat (40) in Kontakt sind.
  2. Dielektrisches Filter nach Anspruch 1, wobei jede der Resonatorelektroden (39a, 39b) ein Kurzschlussende an einem Ende und ein offenes Ende am anderen Ende hat.
  3. Dielektrisches Filter nach Anspruch 2, wobei jede der Resonatorelektroden (39a, 39b) einen breiten Abschnitt (163aw, 163bw) an ihrem offenen Ende hat.
  4. Dielektrisches Filter nach Anspruch 1, wobei jede der Resonatorelektroden (39a, 39b) offene Enden an beiden Enden hat.
  5. Dielektrisches Filter nach Anspruch 4, wobei jede der Resonatorelektroden (39a, 39b) einen breiten Abschnitt (163aw) hat, der an wenigstens einem der offenen Enden derselben vorhanden ist.
  6. Dielektrisches Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Metallfolie wenigstens Gold, Silber oder Kupfer enthält.
  7. Dielektrisches Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei jede der Resonatorelektroden (39a, 39b) einen Querschnitt mit einer vierseitigen Form hat und die Ecken bogenförmig abgerundet sind.
  8. Dielektrisches Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Resonatorelektroden (39a, 39b) jeweils Dicken zwischen 10 μm und 400 μm haben.
  9. Dielektrisches Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei jeweilige Flächen der Resonatorelektroden (39a, 39b) poliert sind oder einen Metallüberzug aufweisen.
  10. Dielektrisches Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die Resonatorelektroden (39a, 39b) jeweilige durchschnittliche Oberflächenrauhigkeiten von 0,5 μm bis 0,01 μm haben.
  11. Verfahren zum Herstellen eines dielektrischen Filters, das die folgenden Schritte umfasst: Bereitstellen von Resonatorelektroden (39a, 39b),; Ausbilden eines dielektrischen Resonatorsubstrats (40); und Laminieren des dielektrischen Resonatorsubstrats mit einem anderen dielektrischen Substrat, auf dem sich eine leitende Schicht befindet, um ein laminiertes dielektrisches Substrat auszubilden; dadurch gekennzeichnet, dass die Resonatorelektroden (39a, 39b) aus Metallfolie bestehen; und der Schritt des Ausbildens des dielektrischen Resonatorsubstrats (40) das Einbetten der Resonatorelektroden darin einschließt.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei die Metallfolie wenigstens Gold, Silber oder Kupfer enthält.
  13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, wobei der Schritt des Bereitstellens der Resonatorelektroden (39a, 39b) die folgenden Teilschritte einschließt: Versehen der Metallfolie (21) mit einer Fotomaske (22) an beiden Oberflächen derselben; Ätzen der Metallfolie durch die Fotomaske hindurch; und Ausbilden eines Elektrodenrahmens (24), indem die geätzte Metallfolie durch chemisches oder elektrolytisches Polieren so bearbeitet wird, dass sie eine Kante hat, die abgerundet oder bogenförmig ist.
  14. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, wobei der Schritt des Bereitstellens der Resonatorelektroden (39a, 39b) den folgenden Teilschritt einschließt: Einbetten der Resonatorelektroden in ein keramisches dielektrisches Resonatorsubstrat (27, 40) in Form einer ungebrannten Folie (green sheet).
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, wobei der Schritt des Ausbildens des laminierten dielektrischen Substrats die folgenden Teilschritte einschließt: Laminieren eines keramischen dielektrischen Resonatorsubstrats in Form einer ungebrannten Folie (green sheet), in das die Resonatorelektroden eingebettet sind, zwischen einem keramischen dielektrischen Substrat in Form einer ungebrannten Folie (green sheet) mit einer leitenden Schicht darauf und einem keramischen dielektrischen Abschirmelektrodensubstrat in Form einer ungebrannten Folie (green sheet); und Brennen des laminierten keramischen dielektrischen Resonatorssubstrats in Form einer ungebrannten Folie, des laminierten keramischen dielektrischen Substrats in Form einer ungebrannten Folie und des laminierten keramischen dielektrischen Abschirmelektrodensubstrats in Form einer ungebrannten Folie.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, wobei der Schritt des Ausbildens des dielektrischen Substrats die folgenden Teilschritte einschließt: Laminieren eines keramischen dielektrischen Resonatorsubstrats (40) in Form einer ungebrannten Folie (green sheet), in dem die Resonatorelektroden (39a, 39b) eingebettet sind, zwischen gebrannten keramischen dielektrischen Substraten (34, 38); und Brennen des laminierten keramischen dielektrischen Resonatorsubstrats in Form einer ungebrannten Folie (green sheet).
  17. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, wobei der Schritt des Bereitstellens der Resonatorelektroden die folgenden Teilschritte einschließt: Einbetten der Resonatorelektroden in ein Harzsubstrat, das wärmehärtendes Harz enthält; und Aushärten des Harzsubstrats durch Erhitzen.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, wobei das Harzsubstrat ein zusammengesetztes Substrat ist, das anorganisches Füllmittel enthält.
  19. Verfahren nach Anspruch 17, wobei der Schritt des Ausbildens des laminierten dielektrischen Substrats den folgenden Teilschritt einschließt: Laminieren des Harzsubstrats und eines keramischen dielektrischen Abschirmelektrodenssubstrats.
  20. Antennen-Duplexer, der umfasst: einen Antennenanschluss (63); ein erstes Filter (62), das das dielektrische Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 10 enthält und mit dem Antennenanschluss gekoppelt ist; und ein zweites Filter (61), das mit dem Antennenanschluss gekoppelt ist.
  21. Antennen-Duplexer, der umfasst: einen Antennenanschluss (63), und ein erstes und ein zweites Filter (61, 62), die jeweils das dielektrische Filter nach einem der Ansprüche 1 bis 10 enthalten und jeweils mit dem Antennenanschluss gekoppelt sind.
  22. Antennen-Duplexer, der umfasst: einen Antennenanschluss (63); ein erstes Sendefilter (62), das das mit dem Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 19 hergestellte dielektrische Filter enthält und mit dem Antennenanschluss gekoppelt ist; und ein zweites Filter (61), das mit dem Antennenanschluss gekoppelt ist.
  23. Antennen-Duplexer, der umfasst: einen Antennenanschluss (63); ein erstes und ein zweites Filter (61, 62), die jeweils das mit dem Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 19 hergestellte dielektrische Filter enthalten und jeweils mit dem Antennenanschluss gekoppelt sind.
  24. Kommunikationsvorrichtung, die den Antennen-Duplexer (65) nach einem der Ansprüche 20 bis 23 umfasst.
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