DE60223570T3

DE60223570T3 - Verfahren zur herstellung von beschichteten gegenständen mit einer niedrigen emissivität sowie hoher farbstablität

Info

Publication number: DE60223570T3
Application number: DE60223570.7T
Authority: DE
Inventors: Grzegorz Stachowiak
Original assignee: Guardian Industries Corp
Current assignee: Guardian Industries Corp
Priority date: 2001-09-13
Filing date: 2002-09-10
Publication date: 2018-05-30
Anticipated expiration: 2022-09-11
Also published as: EP1427679B2; ES2296982T5; PL368031A1; CA2459355A1; CA2459355C; WO2003022770A1; US20030194489A1; DE60223570D1; US6730352B2; PL205564B1; DE60223570T2; ES2296982T3; EP1427679B1; EP1427679A1; US6605358B1

Description

Diese Erfindung betrifft low-E beschichtete Gegenstände, die ungefähr dieselben Farbcharakteristiken haben, wenn sie mit dem bloßen Auge betrachtet werden, sowohl vor als auch nach der Wärmebehandlung (wie z.B. dem thermischen Tempern), und entsprechenden Verfahren. Derartige Gegenstände können in bestimmten Ausführungsformen folgendes kombinieren: 1.) hohe sichtbare Transmissionscharakteristiken, 2.) Widerstandsfähigkeit vor und / oder nach Wärmebehandlung, und / oder 3.) einen niedrigen ΔE* Wert, welcher für die Farbstabilität bei der Wärmebehandlung (Heat Treatment, HT) indikativ ist. Derartige beschichtete Gegenstände können monolithisch verwendet werden, in Isolierglaseinheiten (IG), laminierten Fenstereinheiten, Fahrzeugwindschutzscheiben und / oder anderen Fahrzeug- oder Architekturanwendungen.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Niedrig emissive (low-emissivity, low-E) Beschichtungssysteme sind aus dem Stand der Technik bekannt. Beispielsweise offenbart das vom selben Anmelder gehaltene US Patent mit der Nummer 5,376,455: Glas/Si₃N₄/NiCr/Ag/NiCr/Si₃N₄. Leider ist das low-E Beschichtungssystem des '455 Patents nicht ausreichend farbpassend (matchable) nach der Wärmebehandlung mit seinem nicht wärmebehandelten Gegenstück.
Der Bedarf für ein wesentliches Zueinanderpassen (d.h. vor Wärmebehandlung gegenüber nach der Wärmebehandlung) ist bekannt. Glassubstrate werden häufig in großen Mengen produziert und auf Maß geschnitten, um die Anforderungen einer bestimmten Situation zu erfüllen, wie etwa ein neues Bürogebäude mit mehreren Fenstern und Türen, den Anforderungen für Fahrzeugfenster etc. Es ist in derartigen Anwendungen häufig wünschenswert, dass einige der Fenster und / oder Türen wärmebehandelt werden (d.h. getempert, wärmegestärkt oder wärmegebogen), während dies bei anderen nicht notwendig ist. Bürogebäude verwenden häufig Isolierglaseinheiten und / oder Laminate aus Sicherheitsgründen und / oder zur thermischen Kontrolle. Es ist wünschenswert, dass die Einheiten und / oder Laminate, welche wärmebehandelt sind, im Wesentlichen zu ihren nicht wärmebehandelten Gegenstücken passen (beispielsweise hinsichtlich der Farbe, Reflektion, und / oder ähnlichem, zumindest von der Glasseite aus gesehen) für architektonische und / oder ästhetische Zwecke. Darüber hinaus kann, in bestimmten beispielhaften aber nicht begrenzten Fällen, eine gute Haltbarkeit nach der Wärmebehandlung (beispielsweise Kratzbeständigkeit und / oder chemische Beständigkeit) den Bedarf der Kantenbeseitigung reduzieren, um somit die Fensterherstellungskosten zu reduzieren.
Das vom selben Anmelder gehaltene US Patent Nummer 5,688,585 offenbart einen Gegenstand mit Solar-Control-Beschichtung umfassend: Glas/Si₃N₄/NiCr/Si₃N₄. Ein Ziel des '585 Patents ist es ein Sputter beschichtetes Schichtsystem bereitzustellen, das nach Wärmebehandlung farbmäßig zu seinem nicht wärmebehandelten Gegenstück passt. Während die Beschichtungssysteme des '585 Patents exzellent für ihre angedachten Zwecke geeignet sind, leiden sie an bestimmten Nachteilen. Insbesondere tendieren sie dazu relativ hohe Emissivitäts- und / oder Schichtwiderstandswerte zu haben (beispielsweise da keine Silberschicht (Ag) in dem '585 Patent offenbart ist).
Es war im Stand der Technik bisher möglich ein Zueinanderpassen in Systemen zu erreichen, die anders sind als das zuvor erwähnte '585 Patent, aber nur zwischen zwei unterschiedlichen Schichtsystemen, von denen Eines wärmebehandelt war und das Andere nicht. Die Notwendigkeit zwei unterschiedliche Schichtsysteme zu entwickeln und zu verwenden, um ein Zueinanderpassen zu erreichen, führt zu zusätzlichen Herstellungskosten und Logistikanforderungen, die nicht wünschenswert sind.
Die US Patente mit den Nummern 6,014,872 und 5,800,933 (siehe Beispiel B) offenbaren ein wärmebehandelbares low-E Schichtsystem umfassend: Glas/TiO_2/Si₃N₄/NiCr/Ag/NiCr/Si₃N₄. Leider ist dieses low-E Schichtsystem, wenn wärmebehandelt, nicht ungefähr farbmäßig passend zu seinem nicht wärmebehandelten Gegenstück (wenn von der Glasseite aus betrachtet). Dies liegt daran, dass dieses low-E Schichtsystem einen ΔE* (Glasseite) Wert von mehr als 4,1 hat (d.h. für Beispiel B beträgt Δɑ*_G 1,49; Δb *_G ist 3,81 und ΔL* (Glasseite) ist nicht gemessen; unter Verwendung von Gleichung (1) unten muss dann ΔE* auf der Glasseite zwangsläufig größer als 4,1 sein und ist möglicherweise sogar viel größer als das.
Das US Patent Nummer 5,563,734 offenbart ein low-E Beschichtungssystem umfassend: Substrat/TiO₂ /NiCrN_x/Ag/NiCrN_x/Si₃N₄. Leider wurde festgestellt, dass wenn hohe Stickstoff (N) Flussraten verwendet werden, wenn die NiCrN_x Schichten gebildet werden (siehe die hohe N-Flussrate von 143 sccm in Tabelle 1 des '734 Patents; was sich in etwa 22 sccm/kW übersetzt) die resultierenden beschichteten Gegenstände nicht farbstabil bei Wärmebehandlung sind (d.h. sie tendieren dazu hohe ΔE* Werte (Glasseite) von mehr als 6,0 zu haben). Mit anderen Worten, wenn einer Wärmebehandlung ausgesetzt, würde das low-E Schichtsystem des '734 Patents nicht ungefähr farbmäßig zu seinem nicht wärmebehandelten Gegenstück passen (wenn von der Glasseite aus betrachtet). Darüber hinaus tendieren die Schichtsysteme des '734 Patents dazu keine gute Haltbarkeit nach Wärmebehandlung zu haben, da sie leicht zerkratzt werden, und zwar aufgrund des hohen Stickstoffgasflusses, der beim Herstellen derselben verwendet wird.
Die WO 01/40131 betrifft Isolierglaseinheiten und Laminate mit Sputter beschichteten Schichtsystemen, welche wärmebehandelbar und mit dem nicht wärmebehandelten Gegenstück passend sind. Der funktionale Teil des beschriebenen Schichtsystems umfasst zwei Schichten von Nickel oder einer Nickellegierung, welche im Wesentlichen frei von einem Nitrid oder Oxid sind und welche eine metallische Schicht von Silber sandwichartig umfassen.
Darüber hinaus ist es manchmal wünschenswert für einen beschichteten Gegenstand hohe sichtbare Transmissionscharakteristiken zu haben und / oder gute Haltbarkeit (mechanisch und / oder chemisch). Leider tendieren bestimmte bekannte Schritte, die genommen werden um die sichtbaren Transmissionscharakteristiken zu verbessern und / oder die Haltbarkeit vor der Wärmebehandlung dazu die Haltbarkeit nach Wärmebehandlung zu verschlechtern. Somit ist es häufig schwierig eine Kombination von hoher sichtbarer Transmission und guter Haltbarkeit zu erreichen.
Im Anbetracht des oben gesagten, wird dem Fachmann klar sein, dass ein Bedarf für eine low-E Beschichtung oder ein Schichtsystem besteht, das nach einer Wärmebehandlung im Wesentlichen hinsichtlich Farbe und / oder Reflektion (wie mit dem bloßen menschlichen Auge von der Glasseite aus betrachtet) zu seinem nicht wärmebehandelten Gegenstück passt. Mit anderen Worten, im Stand der Technik existiert ein Bedarf für eine zueinander passende low-E Beschichtung oder Schichtsystem. Im Stand der Technik existiert auch ein Bedarf für ein wärmebehandelbares System, das folgendes kombinieren kann: 1.) hohe sichtbare Transmissionscharakteristiken, 2.) gute Haltbarkeit vor und / oder nach Wärmebehandlung und / oder 3.) einen niedrigen ΔE* Wert, welcher indikativ für die Farbstabilität bei der Wärmebehandlung ist.
Es ist ein Ziel dieser Erfindung eine oder mehrere der oben aufgeführten Bedarfe zu erfüllen und / oder andere Anforderungen, welche dem Fachmann klarer werden, nach dem er die folgende Offenbarung gelesen hat.
Dieses Ziel wird durch das Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Gegenstands in Übereinstimmung mit Anspruch 1 gelöst.
Ein Vorteil dieser Erfindung ist es eine low-E Beschichtung oder ein Schichtsystem bereitzustellen, das eine gute Farbstabilität bei Wärmebehandlung (HT) hat.
Ein weiterer Vorteil dieser Erfindung ist es eine zueinander passende low-E Beschichtung oder Schichtsystem bereitzustellen.
Ein weiterer Vorteil dieser Erfindung ist es eine low-E Beschichtung oder ein Schichtsystem bereitzustellen, das hohe sichtbare Transmissionscharakteristiken, gute Haltbarkeit vor und / oder nach Wärmebehandlung und / oder einen niedrigen ΔE* Wert kombiniert, welcher für die Farbstabilität bei Wärmebehandlung indikativ ist. Diese Kombination kann in bestimmten beispielhaften, nicht beschränkenden Ausführungsformen dieser Erfindung erreicht werden, in dem eine Beschichtung bereitgestellt wird, die zumindest eine Barriereschicht umfasst, die zumindest teilweise nitriert ist und welche wärmebehandelbar ist. In dieser Hinsicht umfasst eine beispielhafte Beschichtung oder Schichtsystem eine Infrarot (IR) reflektierende Schicht von Ag, die zwischen ersten und / oder zweiten Metall umfassenden, teilweise nitrierten Barriereschichten aus oder umfassend NiCrN_x sandwichartig umfasst ist. In bestimmten Ausführungsformen ist nur eine der Barriereschichten teilweise nitriert (wie z.B. die erste Barriereschicht aus oder umfassend NiCrN_x, und die zweite Barriereschicht aus oder umfassend NiCr). Hierin bedeutet und umfasst der Begriff „nitriert“ sowohl vollständig nitriert als auch nur teilweise nitriert.
Ein weiterer Vorteil dieser Erfindung ist es eine Beschichtung oder ein Schichtsystem bereitzustellen, welches designed wird, in dem die Nitrierung von zumindest einer Barriereschicht angepasst wird und die Schichtdicke (die Schichtdicken) angepasst wird, um eine Beschichtung oder ein Schichtsystem zu erreichen, das in der Lage ist hohe sichtbare Transmissionscharakteristiken, gute Haltbarkeit und / oder einen niedrigen ΔE* Wert zu kombinieren, welcher indikativ für einen Gegenstand ist, der wenn er wärmebehandelt ist, im Wesentlichen zu seinem nicht wärmebehandelten Gegenstück passt.
Ein weiterer Vorteil dieser Erfindung ist es eine oder mehrere der oben aufgeführten Ziele zu erreichen.
Diese Erfindung wird nun im Hinblick auf bestimmte Ausführungsformen derselben, wie sie in den folgenden Zeichnungen dargestellt sind, beschrieben, wobei:
Figurenliste

1 eine seitliche, teilgeschnittene Querschnittsansicht einer Ausführungsform eines Schichtsystems ist, das in Übereinstimmung mit dieser Erfindung hergestellt ist;
2 eine teilgeschnittene Querschnittsansicht einer Isolierglaseinheit ist, wie sie durch diese Erfindung angedacht ist, in der das Schichtsystem von 1 verwendet werden kann;
4 ein Graph ist, der den Stickstoffgasfluss für die Barriereschicht der Unterschicht (d.h. der unteren) gegenüber der Farbstabilität der Glasseite bei Wärmebehandlung aufzeigt (d.h. ΔE* (Glasseite)), und zeigt, dass die Farbstabilität bei Wärmebehandlung abnimmt und dazu führt, dass sich ΔE* erhöht (d.h. schlechter wird), wenn der Stickstofffluss sich erhöht;

3 ein Graph ist, der den Stickstoffgasfluss für die Barriereschicht der Überschicht (d.h. der oberen) gegen die Farbstabilität der Glasseite bei Wärmebehandlung (d.h. ΔE* (Glasseite)) zeigt, und darstellt, dass die Farbstabilität bei Wärmebehandlung abnimmt, in dem ΔE* erhöht wird (d.h. schlechter wird), wenn sich der Stickstofffluss erhöht.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG VON BESTIMMTEN BEISPIELHAFTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN DER ERFINDUNG
Bestimmte Ausführungsformen dieser Erfindung bieten eine Beschichtung oder ein Schichtsystem, das in Anwendungen, wie etwa als Isolierglaseinheit oder monolithische Fenstereinheiten verwendet werden kann, in Gebäudefenstern, in Fahrzeugfenstern (wie etwa Windschutzscheiben, Rückscheiben etc.) und / oder anderen geeigneten Anwendungen. Bestimmte Ausführungsformen dieser Erfindung bieten ein Schichtsystem, das eine hohe sichtbare Transmission, gute Haltbarkeit (mechanisch und / oder chemisch) vor und / oder nach Wärmebehandlung und eine gute Farbstabilität bei Wärmebehandlung kombiniert. Es wird hierin gezeigt werden, wie bestimmte Schichtstapel überraschend diese einzigartige Kombination ermöglichen.
Hinsichtlich der Farbstabilität haben bestimmte Ausführungsformen dieser Erfindung eine exzellente Farbstabilität (d.h. einen niedrigen Wert von ΔE* oder einen niedrigen Wert von Δɑ*, wobei das Δ indikativ für die Änderung im Hinblick auf eine Wärmebehandlung ist) bei Wärmebehandlung (beispielsweise thermisches Tempern, Biegen oder thermisches Wärmestärken) monolithisch und / oder im Zusammenhang mit Zwei-Scheiben-Umgebungen, wie etwa als Isolierglaseinheiten oder Windschutzscheiben. Derartige Wärmebehandlungen benötigen häufig, dass das beschichtete Substrat auf Temperaturen von zumindest etwa 1100°F (593°C) erwärmt wird und bis zu 1450°F (788°C) [mehr bevorzugt von etwa 1100 - 1200°F und am meisten bevorzugt von 1150 - 1200°F] für eine ausreichende Zeitdauer um das Endresultat sicherzustellen (wie z.B. das Tempern, Biegen und / oder Wärmestärken). Bestimmte Ausführungsformen dieser Erfindung kombinieren (i) Farbstabilität bei Wärmebehandlung, und (ii) die Verwendung einer Silber umfassenden Schicht für eine selektive IR Reflektion. Bestimmte Ausführungsformen dieser Erfindung kombinieren (i) und (ii) zusammen mit (iii) einer hohen sichtbaren Transmission, (iv) gute Haltbarkeit und / oder (v) einer Farbe in dem blau-grünen Quadranten (d.h. dem dritten Quadranten) der CIE LAB Farbtafel, wenn auf einem klaren und / oder grünen Glassubstrat aufgebracht, obwohl diese Erfindung sicherlich auch im Zusammenhang mit anderen Farben verwendet werden kann: Bestimmte Ausführungsformen dieser Erfindung kombinieren (i) bis (v), zusammen mit (vi) niedrig emissiven Charakteristiken.
1 ist eine seitliche Querschnittsansicht eines beschichteten Gegenstands der in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform dieser Erfindung hergestellt ist. Der beschichtete Gegenstand umfasst Substrat 1 (beispielsweise ein klares, grünes, bronzefarbenes, graues, blaues oder blau-grünes Glassubstrat von etwa 1,0 - 12,0 mm Dicke), erste dielektrische Schicht 3 (beispielsweise aus oder umfassend Siliziumnitrid (wie beispielsweise Si₃N₄), Titandioxid, Tantalumpentaoxid, Zirkonoxid, Siliziumzirkonnitrid, Zinnoxid, Siliziumoxid, Siliziumdioxid oder Siliziumoxidnitrid), erste Metall umfassende, teilweise nitrierte Barriereschicht 5 von NiCrN_x, IR reflektierende Schicht 7 aus Ag, zweite oder überliegende Metall umfassende Barriereschicht 9 (aus oder umfassend Ni, NiCr, Cr), und eine zweite oder überliegende dielektrische Schicht 11 (beispielsweise aus oder umfassend Siliziumnitrid (wie beispielsweise Si₃N₄), Titandioxid, Tantalumpentaoxid, Siliziumzirkonnitrid, Zirkonoxid, Zinnoxid, Siliziumoxid, Siliziumdioxid oder Siliziumoxidnitrid). Eine oder mehrere Schichten unter oder über dem dargestellten Beschichtungssystem können ebenfalls bereitgestellt werden. Somit, während die Beschichtung oder das Schichtsystem „auf“ oder „getragen von“ Substrat 1 ist (direkt oder indirekt), können eine oder mehrere weitere Schichten dazwischen bereitgestellt werden. Somit kann z.B. das Schichtsystem der 1 als „auf“ dem Substrat 1 angesehen werden, obwohl weitere andere Schichten dazwischen vorgesehen sein können (beispielsweise kann eine TiO₂ Schicht zwischen Substrat 1 und dielektrischer Schicht 3 vorgesehen sein, wenn die Schicht 3 Siliziumnitrid umfasst). Zusätzlich wird der Fachmann erkennen, dass die Beschichtung oder das Schichtsystem 3 - 11 von 1 wie dargestellt vorgesehen sein kann oder alternativ kann es ein oder mehrmals auf sich selbst wiederholt werden, und somit einen doppelten oder dreifachen Silberschichtstapel bilden.
Die IR reflektierende Schicht 7 ist aus oder umfassend Ag Metall, obwohl es möglich ist, dass eine kleine Menge an Oxidation bei dieser Schicht auftreten könnte. Somit ist Schicht 7 nicht mehr als etwa 10% oxidiert, mehr bevorzugt nicht mehr als etwa 1% oxidiert und am meisten bevorzugt nicht mehr als 0,5% oxidiert in bestimmten Ausführungsformen dieser Erfindung.
Überraschend wurde festgestellt, dass durch Steuerung des Stickstoff (N) Flusses, der während des Sputterns der Barriereschicht 5 verwendet wird, und / oder durch Steuern der Dicke (der Dicken) der Schichten 5 und / oder 9, ein resultierender beschichteter Gegenstand erreicht werden kann, der hohe sichtbare Transmission, gute Haltbarkeit vor und / oder nach Wärmebehandlung und gute Farbstabilität bei Wärmebehandlung kombiniert. Beispielsweise kann durch Steuern des Ausmaßes, in dem die Barriereschicht 5 nitriert ist (aufgrund des N-Gasflusses während des Sputterns) auf niedrige bis moderate Niveaus und / oder durch Steuern der Dicke derselben bei den niedrig bis moderaten Gasflussniveaus ein resultierender beschichteter Gegenstand mit einem niedrigeren ΔE* Wert erreicht werden. Die unten angegebenen Beispiele zeigen, rein beispielhaft und ohne einschränkend zu wirken, die überraschend negative Feststellung, dass die Farbstabilität abnimmt (d.h. ΔE* erhöht sich) und / oder die Haltbarkeit nach der Wärmebehandlung abnimmt, bei hohen N₂-Gasflüssen für die Barriereschicht. Es wurde jedoch überraschend festgestellt, dass durch teilweises Nitrieren von einer der Barriereschichten (beispielsweise aus Haltbarkeitsgründen, wie etwa der Verbesserung der Kratzbeständigkeit und / oder der chemischen Beständigkeit) bei niedrigeren N₂-Gasflüssen, viel niedrigere und somit bessere ΔE* Werte erreichbar sind (siehe beispielsweise die 3 - 4) und / oder eine bessere Haltbarkeit nach Wärmebehandlung erreichbar ist. In bestimmten Ausführungsformen dieser Erfindung ist eine der Barriereschichten teilweise nitriert, während die andere Barriereschicht dies nicht ist (d.h. die andere Barriereschicht umfasst einen im Wesentlichen metallischen Anteil).
Wenn die Barriereschichten 5, 9 NiCr umfassen (ob nitriert oder nicht), können die jeweiligen Mengen von Ni und Cr, nach Gewichtsprozent, 80/20 Nickel/Chrom sein, 90/10 Ni/Cr, 50/50 NiCr, oder jede andere geeignete Menge. Der Fachmann wird erkennen, dass andere Materialien für die Barriereschichten 5, 9 verwendet werden können (beispielsweise andere Ni umfassende Legierungen können verwendet werden, Niobium oder Niobiumoxid kann verwendet werden, etc.). Eine beispielhafte Vorrichtung, welche verwendet werden kann um die Beschichtungssysteme dieser Erfindung zu bilden, ist ein konventionelles Sputter Beschichtungssystem, wie etwa der G-49 Mehrfachkammer-Flachglas-Sputter-Beschichter für große Flächen, der von Airco, Inc. produziert wird.
Wenn die Barriereschichten 5 und 9 NiCr umfassen (ob nitriert oder nicht), können die Metalle dieser Schichten darüber hinaus aus Ni und / oder Cr bestehen, oder alternativ kann ein Sputtering-Target, das beim Bilden der Schichten 5 und / oder 9 verwendet wird, Inconel oder Haynes 214 Legierung sein, welche nach Gewicht im Wesentlichen aus (als eine nominelle Zusammensetzung) folgenden Elementen besteht:

Element Gewicht %

Ni 75,45

Fe 4,00

Cr 16,00

C 0,04

Al 4,50

Y 0,01
2 zeigt die Beschichtung oder das Schichtsystem 22 von 1, wie es auf einer Oberfläche #2 einer Isolierglasfenstereinheit verwendet wird. Um das „Innere“ der Isolierglaseinheit von ihrer „Außenseite“ zu unterscheiden, ist die Sonne 19 schematisch an der Außenseite dargestellt. Die Isolierglaseinheit umfasst eine äußere Glasscheibe oder Platte 21 und eine innere Glasscheibe oder Platte 23. Hierin vorgestellte beschichtete Gegenstände können somit aus einer der zwei Scheiben der Isolierglaseinheit (d.h. der beschichteten) bestehen, oder alternativ der gesamten Isolierglaseinheit, umfassend beide Scheiben. Diese zwei Glassubstrate (beispielsweise Floatglas mit 1 mm bis 12 mm Dicke) sind an ihren peripheren Kanten durch ein konventionelles Dichtmittel 25 abgedichtet und mit einem konventionellen Trockenmittelstreifen 27 versehen. Die Scheiben werden dann in einem konventionellen Fenster oder Türrückhalterahmen 29 gehalten (in geschnittener schematischer Form gezeigt). Durch Abdichten der peripheren Kanten der Glasscheiben und durch Ersetzen der Luft in dem Isolationsraum (oder Kammer) 30 mit einem Gas wie etwa Argon, wird eine typische, hoch isolierende Isolierglaseinheit gebildet. Optional kann der Isolationsraum 30 bei einem Druck sein, der geringer ist als der atmosphärische Druck in bestimmten alternativen Ausführungsformen, obwohl dies natürlich nicht in allen Ausführungsformen notwendig ist. Entweder die innere Wand 24 oder 26 (oder beide) können mit einem Schichtsystem oder einer Beschichtung (siehe z.B. 1) gemäß dieser Erfindung versehen sein. In dieser dargestellten Ausführungsform von 2 wurde die innere Wand 24 (d.h. die Oberfläche #2) der äußeren Glasscheibe 21 mit einem Sputter beschichteten Schichtsystem gemäß 1 versehen.

Wieder zurückkehrend auf 1, während verschiedene Dicken in Übereinstimmung mit einem oder mehreren der Ziele und / oder Anforderungen, die hierin diskutiert wurden, verwendet werden können, gemäß bestimmter beispielhafter Ausführungsformen dieser Erfindung, sind die bevorzugten Dicken und Materialien für die jeweiligen Schichten auf dem Glassubstrat 1 wie folgt: Tabelle 1 (Dicken)

Schichtmaterial	Bevorzugter Bereich (Ǻ)	Mehr bevorzugt (Ǻ)	Am meisten bevorzugt (Ǻ)
Si₃N₄ (Schicht 3)	300 - 700 Ǻ	400 - 550 Ǻ	450 - 550 Ǻ
NiCrN_x (Schicht 5)	3 - 30 Ǻ	5 - 15 Ǻ	8 - 9 Ǻ
Ag (Schicht 7)	40 - 120 Ǻ	50 - 100 Ǻ	60 - 80 Ǻ
NiCr (Schicht 9)	3 - 30 Ǻ	3 - 12 Ǻ	6 - 7 Ǻ
Si₃N₄ (Schicht 11)	350 - 700 Ǻ	400 - 600 Ǻ	450 - 550 Ǻ

Wie aus der oben gezeigten Tabelle 1 zu sehen ist, wurde die unterliegende Barriereschicht 5 nitriert und die oberliegende Barriereschicht 9 ist in bestimmten Ausführungsformen dieser Erfindung nicht nitriert. Unerwarteterweise wurde festgestellt, dass durch Steuern des Ausmaßes der Nitrierung für die Barriereschicht 5 zu niedrigen bis moderaten Niveaus dies in einer Beschichtung resultieren kann, die eine stark verbesserte Farbstabilität bei Wärmebehandlung hat (d.h. einen niedrigen ΔE* Wert) (siehe beispielsweise die 3 - 4). Eine solche Nitrierung kann außerdem die Haltbarkeit nach Wärmebehandlung verbessern. Noch weiter wurde in bestimmten beispielhaften, nicht beschränkenden Ausführungsformen festgestellt, dass bestimmte Dicken der oben liegenden dielektrischen Schicht 11 in verbesserten ΔE* Werten resultieren können, wenn die unterliegende dielektrische Schicht 3 etwa 0 bis 25% dünner ist als die oberliegende dielektrische Schicht 11, mehr bevorzugt von etwa 5 bis 15% dünner und am meisten bevorzugt etwa 8 bis 10% dünner ist. Es wird angenommen, dass ein oder mehrere dieser Merkmale in einem Zueinanderpassen oder niedrigen ΔE* Werten resultieren (wird weiter unten erläutert), die mit bestimmten Ausführungsformen dieser Erfindung assoziiert sind (d.h. eine verbesserte Stabilität bei Wärmebehandlung). Jede zuvor erwähnte Kombination eines low-E Systems mit einer guten Stabilität (Farbe und / oder Haltbarkeit) bei Wärmebehandlung wird als neu und erfinderisch angesehen.
In bestimmten beispielhaften Ausführungsformen resultiert die Stabilität bei Wärmebehandlung in einem erheblichen Zueinanderpassen zwischen wärmebehandelten und nicht wärmebehandelten Versionen der Beschichtung oder des Schichtsystems. Mit anderen Worten, in monolithischen und / oder Isolierglasanwendungen erscheinen in bestimmten Ausführungsformen dieser Erfindung zwei Glassubstrate, die dasselbe Beschichtungssystem tragen (Eine wärmebehandelt nach der Auftragung und die Andere nicht wärmebehandelt) dem bloßen menschlichen Auge als im Wesentlichen gleich aussehend, wenn sie von der Glasseite des Produkts betrachtet werden (d.h. wenn durch zumindest ein Substrat von Glas geschaut wird, bevor die Beschichtung betrachtet wird). In bestimmten Ausführungsformen dieser Erfindung wurde festgestellt, dass das Zueinanderpassen (während es in monolithischen Anwendungen erreichbar ist) in Isolierglas- und / oder Laminatanwendungen sogar verbessert werden kann.
Der Wert ΔE* ist wichtig beim Bestimmen ob nach der Wärmebehandlung ein Zueinanderpassen, oder ein im Wesentlichen Zueinanderpassen, vorliegt oder nicht im Zusammenhang mit dieser Erfindung. Farbe wird hierin unter Bezugnahme auf die konventionellen Δɑ*, Δb* Werte beschrieben, welche in bestimmten Ausführungsformen dieser Erfindung beide negativ sind, um eine Farbe in dem gewünschten, im Wesentlichen neutralen Farbbereich bereitzustellen, der zu dem blau-grünen Quadranten tendiert. Für rein beispielhafte Zwecke ist der Begriff Δɑ* anzeigend, um wie viel sich der Farbwert Δɑ* aufgrund einer Wärmebehandlung ändert.
Der Begriff ΔE* (und ΔE) ist im Stand der Technik wohlbekannt und wird zusammen mit verschiedenen Techniken zum Bestimmen desselben, in ASTM 2244-93 beschrieben, sowie in Hunter et al., „The Measurement of Appearance", 2. Ausgabe, Kapitel 9, Seite 162 ff. [John Wiley & Sons, 1987]. Wie im Stand der Technik verwendet, ist ΔE* (und ΔE) eine Art um adäquat die Änderung (oder das Fehlen einer Änderung) in der Reflektion und / oder Transmission (und somit auch in dem Farberscheinen) eines Gegenstands nach oder aufgrund einer Wärmebehandlung auszudrücken. ΔE kann durch die „ab“ Technik berechnet werden oder durch die Hunter Technik (die durch die Verwendung eines Index „H“ angezeigt wird). ΔE entspricht der Hunter Lab L, a, b Skalierung (oder L_h, a_h, b_h). Ähnlich entspricht ΔE* der CIE LAB Skalierung L*, a*, b*. Beide werden als nützlich angesehen und als äquivalent für die Zwecke dieser Erfindung. Beispielsweise, wie in Hunter et al. angegeben, der oben zitiert wurde, können die rechtwinkligen Koordinaten/Skalierungstechniken (CIE LAB 1976) verwendet werden, die als die L*, a*, b* Skalierung bekannt sind, wobei:

L* (CIE 1976) Helligkeitseinheiten sind
a* (CIE LAB 1976) rot-grün Einheiten sind
b* (CIE LAB 1976) gelb-blau Einheiten sind
und der Abstand ΔE* zwischen L*₀ a*₀ b*₀ und L*₁a*₁ b*₁ ist:

{\begin{matrix} Δ E * = & [{(Δ L *)}^{2} + {(Δ a *)}^{2} + {(Δ b *)}^{2}] \end{matrix}}^{1 / 2}

Δ L * = L *_{1} - {L*}_{0}

Δ a * = a *_{1} - a *_{0}

Δ b * = b *_{1} - b *_{0}

1976

_h

In bestimmten Ausführungsformen dieser Erfindung haben die Schichtsysteme hierin, die auf klaren, monolithischen Glassubstraten bereitgestellt werden (beispielsweise 4 mm dicke Glassubstrate für rein beispielhafte Bezugszwecke) eine Farbe vor Wärmebehandlung wie folgt, wenn von der Glasseite des beschichteten Gegenstand aus betrachtet (R_G%): Tabelle 2: Farbe (R_G) vor Wärmebehandlung

Allgemein Bevorzugt

a* 0,0 bis -0,5 0,0 bis -2,0

b* -1,0 bis -10,0 -5,0 bis -9,0
Nach der Wärmbehandlung haben in bestimmten Ausführungsformen dieser Erfindung Schichtsysteme, die auf klaren, monolithischen Glassubstraten vorgesehen sind, Farbcharakteristiken von ΔE* und Δɑ* wie folgt, wenn sie von der Glasseite (G) des beschichteten Gegenstands betrachtet werden (im Gegensatz zu der Schichtseite): Tabelle 3: Farbcharakteristiken (ΔE*_G) nach Wärmebehandlung

Allgemein mehr bevorzugtam meisten bevorzugt

ΔE*_G <= 3,5 <= 3,0 <= 2,6

Δɑ*_G <= 2,0 <= 1,0 <= 0,7
Dementsprechend haben, wie es oben in Tabelle 3 gezeigt ist, beschichtete Gegenstände gemäß dieser Erfindung einen ΔE* Wert (Glasseite) von nicht mehr als 3,5, mehr bevorzugt nicht mehr als 3,0 und sogar am meisten bevorzugt nicht mehr als 2,6 (und am meisten bevorzugt <= 2,0). Wenn dieser breitere Bereich erreicht wird, folgt daraus ein Zueinanderpassen.
BEISPIELE 1 - 15 (Nitrieren der Barriereschicht (Schichten))
Einige der folgenden fünfzehn beispielhaften beschichteten Gegenstände (jeder angelassen und wärmebehandelt) wurden in Übereinstimmung mit dieser Erfindung hergestellt.
Diese Beispiele werden im Folgenden „Beispiele gemäß der Erfindung“ bezeichnet und sind die Beispiele 12 - 13. Die verbleibenden Beispiele 1 - 10 und 14 und 15sind nur Vergleichsbeispiele, welche nicht durch die Ansprüche gedeckt sind. Für 1 - 8 und 15 war das Schichtsystem: Glas/Si₃N_4/NiCrN_x/Ag/NiCrN_x/Si₃N₄ (siehe beispielsweise 1; N-Gasfluss während des Sputterns von sowohl der Barriereschichten 5 und 9, um dieselben zu nitrieren). Für jedes der Beispiele 12 - 14 war das Schichtsystem: Glas/Si₃N_4/NiCrN_x/Ag/NiCr/Si₃N₄ (siehe beispielsweise 1; aber kein N-Gasfluss wurde während des Sputterns der obersten Barriereschicht 9). Für jedes der Beispiele 9 - 10 war das Schichtsystem hingegen: Glas/Si₃N_4/NiCr/Ag/NiCr/Si₃N₄ (siehe beispielsweise 1; aber kein N-Gasfluss während des Sputterns von den Barriereschichten 5, 9). Es wird unten gezeigt werden, dass die Beispiele 9 - 10 (kein N-Gasfluss für die Schichten 5, 9) eine fehlende Haltbarkeit aufweisen relativ zu den Beispielen, wo N-Gasfluss während des Sputterns von einem oder mehreren der Barriereschichten verwendet wurde. Darüber hinaus wird gezeigt werden, dass durch Steuern des N-Gasflusses während des Sputterns von einem oder beiden Barriereschichten der ΔE* Wert der resultierenden Beschichtung oder des resultierenden Schichtsystems verbessert werden kann (d.h. reduziert werden kann). In jedem dieser Beispiele war das Substrat ein im Wesentlichen klares, 4 mm dickes Kalk-Natron-Silicat-Glas, und jedes Beispiel war monolithisch (keine Isolierglaseinheit). Die Beschichter-/Prozesseinstellungen, unter Verwendung eines BOC in-line Sputter-Beschichters (BOC ILS) für die Beispiele war wie folgt:
Die IR reflektierende Schicht 7 und die dielektrischen Schichten 3, 11 waren in allen fünfzehn Beispielen konstant. In jedem der Beispiele 1 - 15 war die Ag Schicht 7 metallisch (unter Verwendung eines metallischen ebenen Ag Targets gesputtert), etwa 79 Ǻ dick, wurden bei einer Leistung von etwa 2,95 kW, 465 V gesputtert, wurden unter Verwendung eines Ar-Gasflusses von 30 sccm/kW gesputtert und einem Druck von etwa 2,7 mTorr, und bei einer Einstellung von 100 IPM (ein Durchlauf) für die Liniengeschwindigkeit, wobei das Target auf eine 0,75" Öffnung maskiert war, und einen Flächenwiderstandswert von etwa R_S = 16 Ohms/square hatte. Bei jedem der Beispiele 1 - 15 war die unterliegende Si₃N₄ Schicht 3 etwa 470 Ǻ dick, und wurde unter Verwendung eines Si C-Mag Targets gesputtert (Al Gehalt von etwa 10%), wurde bei einer Leistung von etwa 1kW, 485V gesputtert, unter Verwendung eines Gasflusses von 40 sccm/kW Ar und 40 sccm/kW N und bei einem Druck von etwa 2,5 mTorr, bei einer Einstellung von 55 IPM (8 Durchläufe) für die Liniengeschwindigkeit. Bei jedem der Beispiele 1 - 15 war die überliegende Si₃N₄ Schicht 11 etwa 510 Ǻ dick, und unter Verwendung eines Si C-Mag Targets gesputtert (Al Gehalt von etwa 10%), wurde bei einer Leistung von etwa 1 kW, 485 V gesputtert unter Verwendung eines Gasflusses von 40 sccm Ar und 40 sccm N, bei einer Einstellung von 50 IPM (8 Durchläufe) für die Liniengeschwindigkeit.

Somit unterscheiden sich die Beispiele 1 - 15 darin, dass die Barriereschicht (Schichten) 5 und / oder 9 in unterschiedlicher Weise abgelagert/gesputtert wurden (beispielsweise mit unterschiedlichen N-Flüssen und / oder in unterschiedlichen Dicken). Beim Sputtern der Barriereschichten 5 und 9 in den Beispielen 1 - 15 wurden planare Ni:Cr (80/20) Sputter Targets verwendet und ein Gasfluss von 30 sccm Ar wurde verwendet. Allerdings wurde der Stickstoff (N) Gasfluss (sccm/kW Leistung), die Liniengeschwindigkeit und die Leistung bei den verschiedenen Beispielen 1 - 15 variiert, um die unterschiedlichen unten angegebenen Dicken für die Barriereschichten 5, 9 zu erreichen. Es wird angemerkt, dass in der unten stehenden Tabelle 4 „Bar.“ für Barriereschicht steht (Bar. 5 steht beispielsweise für die unterliegende Barriereschicht 5, während Bar. 9 für die oberliegende oder zweite Barriereschicht 9 in 1 steht). Darüber hinaus steht in Tabelle 4 „Dicke“ für die Dicke in Ǻ und „Bar. N₂ F1.“ steht für Stickstoffgasfluss (sccm/kW in Leistung) während des Sputterns der relevanten Barriereschicht. Tabelle 4: Beispiele 1 - 15 (abgelagert mittels Sputtering)

Beispiel #	Bar. 5 Mat' 1	Bar. 5 Dicke	Bar. 5 N₂ Fl.	Bar. 9 Mat' 1	Bar. 9 Dicke	Bar. 9 N₂Fl.
1	NiCrN_x	12 Ǻ	8 sccm/kW	NiCrN_x	9 Ǻ	8 sccm/kW
2	NiCrN_x	9 Ǻ	8 sccm/kW	NiCrN_x	6 Ǻ	8 sccm/kW
3	NiCrN_x	6 Ǻ	16 sccm/kW	NiCrN_x	3 Ǻ	16 sccm/kW
4	NiCrN_x	9 Ǻ	16 sccm/kW	NiCrN_x	6 Ǻ	16 sccm/kW
5	NiCrN_x	9 Ǻ	32 sccm/kW	NiCrN_x	6 Ǻ	32 sccm/kW
6	NiCrN_x	12 Ǻ	32 sccm/kW	NiCrN_x	9 Ǻ	32 sccm/kW
7	NiCrN_x	6 Ǻ	32 sccm/kW	NiCrN_x	3 Ǻ	32 sccm/kW
8	NiCrN_x	12 Ǻ	16 sccm/kW	NiCrN_x	9 Ǻ	16 sccm/kW
9	NiCr	6 Ǻ	0 sccm/kW	NiCr	3 Ǻ	0 sccm/kW
10	NiCr	9 Ǻ	0 sccm/kW	NiCr	6 Ǻ	0 sccm/kW
12	NiCrN_x	9 Ǻ	8 sccm/kW	NiCr	6 Ǻ	0 sccm/kW
13	NiCrN_x	9 Ǻ	8 sccm/kW	NiCr	6 Ǻ	0 sccm/kW
14	NiCrN_x	9 Ǻ	16 sccm/kW	NiCr	6 Ǻ	0 sccm/kW
15	NiCrN_x	6 Ǻ	8 sccm/kW	NiCrN_x	6 Ǻ	8 sccm/kW

Nachdem sie wie oben angegeben auf ein Glassubstrat gesputtert wurden, wurden die Beispiele 1 - 15 sowohl vor als auch nach der Wärmebehandlung getestet und es wurde festgestellt, dass sie monolithisch (d.h. nicht in einer Isolierglaseinheit) die folgenden Charakteristiken haben, wobei die Wärmebehandlung thermisches Tempern des monolithischen Produkts in einem konventionellen Ofen bei etwa 1150°F für 10 Minuten war (beachte: in Tabelle 5 und hierin sind die a* und b* Farbkoordinatenwerte in Übereinstimmung mit CIE LAB 1976, III. CIE-C 2 Grad Observer Technique). Der III. C, 2 Grad Standard wurde ebenfalls für die sichtbare Transmission, etc., verwendet. Außerdem sollte beachtet werden, dass der „Tapetest“ in Übereinstimmung mit dem Militär Standard, MIL-A-A-113, durchgeführt wurde, welcher hiermit durch in Bezugnahme mit aufgenommen wird, um die Haftung zu testen. Der Säurekochtest wurde für eine Stunde durchgeführt um die chemische Beständigkeit zu testen. Hinsichtlich des Säurekochtests, dem Tapetest, dem Bürstentest und dem Kratztest werden die Resultate in einer progressiven Skalierung von 0 bis 5 angezeigt, wobei 0 das beste Resultat ist und 5 das schlechteste. Insbesondere bedeutet 0 keine Änderung oder Beschädigung (alles basierend auf einer sichtbaren Beobachtung), 1 bedeutet kaum sichtbare Änderung, 2 bedeutet kleine Änderung, 3 bedeutet ein offensichtlicherer Schaden als 2 aber immer noch im begrenzten Umfang, 4 bedeutet, dass ein schwererer Schaden sichtbar ist als bei 3, der aber in seiner Fläche begrenzt ist, und 5 bedeutet ein erheblicher Schaden bis zu einem kompletten Versagen/einer kompletten Auflösung. Tabelle 5: Charakteristiken der Beispiele 1 - 15 (monolithisch)

Beispiel Nummer 1
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	73,57	77,12
a*_T:	-2,35	-2,74
b*_T:	-0,97	-1,78
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	8,04	6,86
L*_G:	34,06	31,48
a*_G:	-0,96	-0,60
b*_G:	-7,92	-8,06
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		2,6
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,36
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_FY (%):	3,62	3,53
a*_F:	5,30	3,38
b*_F:	-6,00	-6,52
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	15,50	12,60
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	1	0
Säurekochen:	0	0
Kratztest:	2	1

Beispiel Nummer 2
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung ärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	75,12	79,52
a*_T:	2,25	-2,53
b*_T:	-0,81	-0,78
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	7,97	7,05
L*_G:	33,92	31,92
a*_G:	-1,11	-1,10
b*_G:	-7,38	-7,79
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		2,0
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,01
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	3,89	3,88
a*_F:	4,24	1,45
b*_F:	-6,16	-8,05
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	16,70	12,90
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	1	1
Säurekochen:	0	0
Kratztest:	2	2

Referenzbeispiel Nummer 3
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	79,35	81,96
a*_T:	-2,07	-1,90
b*_T:	-0,17	-0,44
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	7,72	7,31
L*_G:	33,39	32,50
a*_G:	-1,32	-1,72
b*_G:	-6,43	-6,80
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		1,0
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,4
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	4,59	4,77
a*_F:	2,19	0,31
b*_F:	-5,80	-7,33
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	17,20	14,30
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	1	3
Säurekochen:	0	1
Kratztest:	2,5	2

Referenzbeispiel Nummer 4
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	75,91	76,81
a*_T:	-2,03	-2,52
b*_T:	-0,75	-2,32
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	8,21	8,68
L*_G:	34,42	35,36
a*_G:	-1,71	-1,84
b*_G:	-6,60	-4,48
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		2,3
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,13
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	4,20	4,20
a*_F:	2,79	0,73
b*_F:	-5,31	-4,80
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	16,50	18,20
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	0	1
Säurekochen:	0	5
Kratztest:	2	2

Referenzbeispiel Nummer 5
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	76,42	62,90
a*_T:	-2,23	-1,56
b*_T:	-0,02	-0,85
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	8,29	21,69
L*_G:	34,57	53,70
a*_G:	-0,96	-0,96
b*_G:	-7,80	-7,80
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		19,1
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_FY (%):	3,96	17,83
a*_F:	4,38	4,38
b*_F:	-8,64	-8,64
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	17,20	n/a
Tapetest:	0	5
Bürsten Test:	1	5
Säurekochen:	0	5
Kratztest:	0	5

Referenzbeispiel Nummer 6
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	74,35	69,44
a*_T:	-2,22	-2,09
b*_T:	-0,78	-4,55
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	8,46	14,35
L*_G:	34,91	44,74
a*_G:	-1,41	-0,97
b*_G:	-6,97	3,40
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		14,3
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,44
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	3,85	10,70
a*_F:	4,46	2,70
b*_F:	-6,7	5,45
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	16,30	n/a
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	0	2
Säurekochen:	0	5
Kratztest:	3	2

Referenzbeispiel Nummer 7
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	79,08	77,88
a*_T:	-1,72	-2,27
b*_T:	-0,44	-2,16
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	7,81	10,17
L*_G:	33,59	38,14
a*_G:	-2,38	-2,19
b*_G:	-5,88	-1,72
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		6,2
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,19
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	4,83	6,97
a*_F:	0,1	-0,46
b*_F:	-4,20	-2,68
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	16,70	22,70
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	0	4
Säurekochen:	0	5
Kratztest:	2	2

Referenzbeispiel Nummer 8
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	74,04	71,55
a*_T:	-2,29	-2,27
b*_T:	-0,67	-3,36
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	8,36	10,73
L*_G:	34,72	39,12
a*_G:	-1,01	-1,46
b*_G:	-7,67	-1,14
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		7,9
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,45
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	3,72	6,92
a*_F:	5,26	2,06
b*_F:	-7,58	0,84
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	15,50	25,80
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	0	0
Säurekochen:	0	4
Kratztest:	2	2

Referenzbeispiel Nummer 9
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	78,92	81,94
a*_T:	-2,10	-2,27
b*_T:	-0,13	0,07
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	7,82	7,37
L*_G:	33,61	32,63
a*_G:	-1,25	-1,33
b*_G:	-6,53	-6,68
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		1,0
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,08
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	4,58	4,91
a*_F:	2,51	-0,35
b*_F:	-6,55	-6,74
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	17,40	10,30
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	1	5
Säurekochen:	0	5
Kratztest:	0,5	2,5

Referenzbeispiel Nummer 10
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	76,00	78,81
a*_T:	-2,27	-2,42
b*_T:	0,07	-0,94
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	8,74	7,28
L*_G:	35,49	32,43
a*_G:	-1,42	-1,38
b*_G:	-7,00	-7,23
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		3,1
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,04
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	4,02	4,28
a*_F:	4,11	0,74
b*_F:	-10,71	-6,76
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	16,40	12,80
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	0	4
Säurekochen:	0	5
Kratztest:	2	2

Beispiel Nummer 12 gemäß der Erfindung
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	76,4	79,9
a*_T:	-2,5	-2,8
b*_T:	0,3	-0,6
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	8,5	7,4
L*_G:	35,0	32,7
a*_G:	-0,6	-0,8
b*_G:	-8,3	-7,9
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		2,4
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,2
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	3,9	3,9
a*_F:	5,7	1,8
b*_F:	-12,2	-10,8
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	16,7	13,2
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	0	0
Säurekochen:	0	3
Kratztest:	2,5	1,5

Beispiel Nummer 13 gemäß der Erfindung
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	76,7	79,4
a*_T:	-2,7	-3,0
b*_T:	0,5	-0,7
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	8,0	7,5
L*_G:	34,0	32,9
a*_G:	-0,2	-0,4
b*_G:	-8,2	-8,1
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		1,2
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,2
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	3,9	3,9
a*_F:	6,1	2,7
b*_F:	-8,6	-11,2
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	17,1	n/a
Tapetest:	n/a	n/a
Bürstentest:	n/a	n/a
Säurekochen:	n/a	n/a
Kratztest:	n/a	n/a

Referenzbeispiel Nummer 14
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	75,5	79,1
a*_T:	-2,3	-2,6
b*_T:	-0,5	-1,2
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	8,3	7,4
L*_G:	34,6	32,8
a*_G:	-1,2	-1,3
b*_G:	-7,5	-7,0
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		1,9
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,1
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_F Y (%):	3,9	4,2
a*_F:	4,6	1,2
b*_F:	-8,6	-7,6
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	16,6	13,5
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	0	2
Säurekochen:	0	3
Kratztest:	2	3,5

Referenzbeispiel Nummer 15 gemäß der Erfindung
Wert/Messung	vor Wärmebehandlung	nach Wärmebehandlung
Transmission (TY) %:	77,7	81,4
a*_T:	-2,3	-2,8
b*_T:	0,1	-0,7
Reflektion wie von der Glasseite aus betrachtet: R_G Y (%):	7,9	6,8
L*_G:	33,7	31,4
a*_G:	-0,5	-0,5
b*_G:	-8,0	-7,9
ΔE* (d.h. von der Glasseite (G)):		2,4
Δɑ*_G (absoluter Wert):		0,0
Reflektion wie von der Film-/Beschichtungsseite (F): R_FY (%):	4,2	4,1
a*_F:	4,4	1,3
b*_F:	-8,7	-8,7
R_S (Flächenwiderstand in Ohm/square)	17,0	13,3
Tapetest:	0	0
Bürsten Test:	0	2
Säurekochen:	0	3
Kratztest:	2	2

Wie aus dem obigen erkannt werden kann, kann man erkennen, dass jedes der Beispiele 1 - 4 und 12 - 15 gute Ergebnisse hinsichtlich sowohl (a) gutem Zueinanderpassen hatte, da, wie von der Glasseite (G) des jeweiligen Gegenstands aus betrachtet, ΔE* nicht größer als 2,5 war und bevorzugterweise nicht größer als 2,0 war; (b) eine hohe sichtbare Transmission von zumindest 70% (sogar mehr bevorzugt zumindest 74% in bestimmten Ausführungsformen) hatte; und (c) eine gute Haltbarkeit im Hinblick auf die Gesamtergebnisse des Tapetests, des Bürstentests, des Säurekochentests und / oder des Kratztests sowohl vor als auch nach der Wärmebehandlung. Es ist am wünschenswertesten beschichtete Gegenstände zu haben, welche in allen drei (a) - (c) dieser Bereiche zufrieden stellende Werte haben. Darüber hinaus wurde jedes der Beispiele 1 - 4 und 12 - 15 als wärmebehandelbar angesehen, da die Beschichtung bei der Wärmebehandlung nicht beschädigt wurde (d.h. keinerlei Abpellen, Nadellöcher, Risse oder Eintrübungen). Leider hatten die Beispiel 5 - 8 schlechte Ergebnisse im Hinblick auf das Zueinanderpassen (d.h. sehr hohe ΔE* Werte von der Glasseite aus). Die schlechten Ergebnisse hinsichtlich des Zueinanderpassens (vor gegenüber nach Wärmebehandlung), die mit den Beispielen 5 - 8 assoziiert sind, werden als ein Ergebnis von (i) der Barrierenschichtdicke und / oder (ii) der hohen Stickstoff (N) Gassfluss angesehen, die während der Ablagerung dieser Barriereschicht (Schichten) verwendet wurden. Beispielsweise verwendeten die Beispiele 1 - 2 (die die beste Gesamtkombination von Haltbarkeit und Zueinanderpassen vor gegenüber nach Wärmebehandlung aufweisen) jeweils 8 sccm/kW Stickstofffluss beim Sputtern der Barriereschicht (Schichten), während die Beispiel 5 - 7 (schlechtes Zueinanderpassen vor gegenüber nach Wärmebehandlung) einen viel höheren Stickstoffgasfluss von 32 sccm/kW während der Ablagerung der Barriereschicht verwendeten. Ein Vergleich der Beispiele 3 - 4 mit dem Beispiel 8 zeigt, dass die Dicke der Barriereschicht (Schichten) ebenfalls wichtig ist (d.h. bei einer gegebenen Stickstoffflussrate von 16 sccm/kW führt die geringe Dicke der Barriereschicht in den Beispielen 3 - 4 dazu, dass diese beschichteten Gegenstände zueinander passen vor gegenüber nach Wärmebehandlung, während die höheren Dicken der Barriereschicht (Schichten) in Beispiel 8 verursachen, dass dieser letztere beschichtete Gegenstand einen zu hohen Wert von ΔE* von 7,9 hat und somit ein schlechtes Zueinanderpassen aufweist). Die Beispiele 9 - 10 hatten ein gutes Zueinanderpassen aber eine schlechte Haltbarkeit (beispielsweise schlechte Ergebnisse beim Bürstentest); wobei angenommen wird, dass dies aufgrund der Tatsache ist, dass kein Stickstofffluss während des Sputterns der Barriereschichten vorlag. Allerdings zeigen die Beispiele 12 - 14 (Stickstofffluss während des Sputterns der unteren Barriereschicht 5 aber nicht während des Sputterns der oberen Barriereschicht 9) das gute Ergebnisse hinsichtlich des Zueinanderpassens und der Haltbarkeit erreicht werden können, wenn nur eine (beispielsweise die untere) der Barriereschichten absichtlich nitriert wird (d.h. gemäß dieser Erfindung kann ist Stickstofffluss für die gegenüberliegenden Barriereschichten 5, 9 asymmetrisch). Dementsprechend wird erkannt werden, dass durch Steuern des Stickstoffflusses während des Sputterns von einem oder beiden Barriereschichten 5, 9 die Kombination von hoher Transmission, einem Zueinanderpassen und / oder einer guten Haltbarkeit erreicht werden kann, was eine erhebliche Verbesserung gegenüber dem Stand der Technik darstellt. Das Steuern der Dicke der Barriereschicht wurde ebenfalls als ein wichtiger Faktor beim Reduzieren der ΔE* Werte gezeigt und somit beim Bereitstellen eines guten Zueinanderpassens.
Beispielsweise und ohne Einschränkung zu bezwecken, kann ein gutes Zueinanderpassen mit einer hohen sichtbaren Transmission und / oder einer guten Haltbarkeit sowohl vor als auch nach der Wärmebehandlung erreicht werden, wenn der Stickstofffluss während des Sputterns der unteren Barriereschicht 5 von 0 - 16sccm/kW beträgt, mehr bevorzugt von 4 - 12 sccm/kW (am meisten bevorzugt 6 - 10 sccm/kW), und der Stickstofffluss während des Sputterns der oberen Barriereschicht 9 von 0 - 16 sccm/kW ist, mehr bevorzugt von 0 - 8 sccm/kW ist und am meisten bevorzugt von 0 - 4 sccm/kW ist. Überraschenderweise wurde festgestellt, dass ein moderater N₂-Fluss während des Sputterns der Barriereschicht (Schichten) die am meisten haltbaren beschichteten Gegenstände kombiniert mit einem Zueinanderpassen erzeugt. In Ausführungsformen dieser Erfindung ist die untere Barriereschicht 5 unter Verwendung eines Stickstoffflusses gesputtert, während dies bei der oberen Schicht 9 nicht der Fall ist (d.h. die obere Barriereschicht 9 ist metallisch, wie beispielsweise NiCr, in bestimmten Ausführungsformen). Darüber hinaus können die zwei Barriereschichten 5, 9 ungefähr dieselbe Dicke in bestimmten Ausführungsformen haben, während sie in anderen Ausführungsformen von unterschiedlicher Dicke sein können (die obere Barriereschicht 9 kann dünner sein und / oder weniger nitriert sein).
Überraschend wurde ebenfalls festgestellt, dass das Steuern der Dicke der dielektrischen Schicht (Schichten) 3 und / oder 11 zum guten Zueinanderpassen und / oder zur guten Haltbarkeit beitragen kann. Insbesondere wurde festgestellt, dass ein gutes Zueinanderpassen (d.h. einer Farbstabilität bei der Wärmebehandlung) erreicht werden kann, wenn die obere dielektrische Schicht (wenn Siliziumnitrid) 11 etwa 510 Ǻ dick ist, oder etwas mehr als dies. Die untere dielektrische Schicht (wenn Siliziumnitrid) 3 wird dann bei einer Dicke von etwa 5 - 20%, mehr bevorzugt etwa 10%, weniger als die der oberen dielektrischen Schicht 11 bereitgestellt. Während andere Dicken dieser Schichten natürlich in verschiedenen Ausführungsformen dieser Erfindung verwendet werden können, wurden diese bestimmten Dicken als besonders geeignet festgestellt. Darüber hinaus wurde festgestellt, dass, wenn Siliziumnitrid verwendet wird, vollständig nitrierte Siliziumnitridschichten 3, 11 stabilere Beschichtungen erzeugen. Allerdings können in anderen Ausführungsformen Si-reiche Siliziumnitrid Schichten verwendet werden und / oder andere Stöchimetrien im Hinblick auf diese dielektrischen Schichten.
Von den oben angegebenen Beispielen kann gesehen werden, dass monolithische beschichtete Gegenstände gemäß bestimmter Ausführungsformen dieser Erfindung vorzugsweise eine sichtbare Transmission (TY %) von zumindest etwa 65% vor und / oder nach Wärmebehandlung haben, mehr bevorzugt von zumindest etwa 70% vor und / oder nach Wärmebehandlung und am meisten bevorzugt von zumindest etwa 75% nach Wärmebehandlung. Isolierglaseinheiten haben ähnliche Transmissionswerte gemäß bestimmter Ausführungsformen dieser Erfindung. Zusätzlich haben monolithische beschichtete Gegenstände gemäß bestimmter Ausführungsformen dieser Erfindung vorzugsweise einen glasseitigen Reflektionswert (R_G Y %) von nicht mehr als 10%, und mehr bevorzugt nicht mehr als 8% vor und / oder nach Wärmebehandlung. Darüber hinaus haben Beschichtungen gemäß bestimmter Ausführungsformen dieser Erfindung einen Flächenwiderstand R_S von nicht mehr als etwa 20 Ohm/Quadrat vor und / oder nach Wärmebehandlung und am meisten bevorzugt nicht mehr als etwa 15 Ohm/Quadrat nach Wärmebehandlung (low emissivity/emittance Werte sind hiermit verbunden). Zusätzlich ist in bestimmten Ausführungsformen dieser Erfindung die Barriereschicht 5 nicht mehr als 75% nitriert, mehr bevorzugt nicht mehr als 50% nitriert.
Die 3 - 4 zeigen die Ergebnisse von bestimmten Beispielen in Bezug auf Stickstoffgasfluss für eine Barriereschicht gegenüber der Stabilität bei Wärmebehandlung auf (d.h. ΔE* (Glasseite)). Insbesondere zeigt 4 den Stickstoffgasfluss für die Unterschicht (d.h. die untere) Barriereschicht 5 gegenüber der Farbstabilität der Glasseite nach Wärmebehandlung (d.h. ΔE* (Glasseite)), und zeigt, dass sich die Farbstabilität bei der Wärmebehandlung verschlechtert (d.h. ΔE* erhöht sich) wenn der Stickstoffgasfluss während des Sputterns der Barriereschicht 5 zunimmt. In einer ähnlichen Weise zeigt 3 den Stickstoffgasfluss für die Barriereschicht 9 der Überschicht gegenüber der glasseitigen Farbstabilität nach Wärmebehandlung (d.h. ΔE* (Glasseite)), und zeigt, dass die Farbstabilität bei Wärmebehandlung sich verschlechtert (d.h. ΔE* sich erhöht), wenn der Stickstoffgasfluss während des Sputterns der Barriereschicht 9 sich erhöht. Dementsprechend kann erkannt werden, dass extrem hohe Stickstoffgasflüsse in bestimmten Beispielen nicht erwünscht sind, wenn dieselben dazu führen, dass ΔE* unerwünscht hoch wird.
Bestimmte Begriffe werden häufig in der Glasbeschichtungstechnik verwendet, insbesondere wenn die Eigenschaften und Solar-Management-Charakteristiken von beschichtetem Glas definiert werden. Derartige Begriffe werden hierin in Übereinstimmung mit ihrer wohlbekannten Bedeutung verwendet. Beispielsweise, wie hierin verwendet:
Die Intensität von reflektiertem Licht sichtbarer Wellenlänge, d.h. „Reflektion“, wird definiert durch ihren Prozentsatz und als R_xY oder R_x angegeben (d.h. der Y-Wert, der in der unten zitierten ASTM E-308-85 angegeben ist), wobei „X“ entweder „G“ für Glasseite ist oder „F“ für Filmseite. „Glasseite“ (beispielsweise „G“) bedeutet, wie von der Seite des Glassubstrats gegenüber derjenigen gesehen, auf welcher sich die Beschichtung befindet, während „Filmseite“ (d.h. „F“) bedeutet, von der Seite des Glassubstrats aus gesehen, auf welcher sich die Beschichtung befindet.
Farbcharakteristiken werden hierin unter Verwendung der CIE LAB a*, b* Koordinaten und Skalierung gemessen und bezeichnet (d.h. dem CIE a*b* Diagramm, III. CIE-C, 2° Observer). Andere ähnliche Koordinaten können äquivalent verwendet werden, wie beispielsweise der Index „h“ um die konventionelle Verwendung der Hunter Lab Skalierung anzuzeigen, oder dem III. CIE-C, 10° Observer, oder die CIE LUV u*v* Koordinaten. Diese Skalierungen werden hierin gemäß ASTM D-2244-93 „Standard Test Method for Calculating of Color Differences From Instrumentally Measured Color Coordinates" 9/15/93 definiert, wie es durch den ASTM E-308-85, Annual Book of ASTM Standards, Volume 06/01 angegeben ist, dem „Standard Method for Computing the Colors of Objects by 10 Using the CIE System" und / oder wie es im IES LIGHTING HANDBOOK 1981, Reference Volume angegeben ist.
Die Begriffe „Emission“ und „Transmission“ sind im Stand der Technik wohlbekannt und hierin gemäß ihrer wohlbekannten Bedeutung verwendet. Somit bedeutet hierin beispielsweise der Begriff „Transmission“ (Transmittance) die solare Transmission, welche sich aus der Transmission des sichtbaren Lichts (TY) zusammensetzt, der Transmission der Infrarotstrahlung und der Transmission der ultravioletten Strahlung. Die gesamtsolare Energie Transmission (TS) wird dann üblicherweise als ein gewichteter Mittelwert dieser anderen Werte charakterisiert. Hinsichtlich dieser Transmissionen wird die sichtbare Transmission, wie sie hierin verwendet wird, durch den Standard CIE Illuminant C, 2 Grad Observer Technik bei 380 - 720 nm charakterisiert; nahes Infrarot ist 720 - 2.500 nm; Ultraviolett ist 300 - 800 nm und Gesamt-Solar ist 300 - 2500 nm. Für die Zwecke der Emission wird jedoch ein bestimmter Infrarotbereich verwendet (d.h. 2.500 - 40.000 nm).
Die sichtbare Transmission kann unter Verwendung von bekannten, konventionellen Techniken gemessen werden. Beispielsweise unter Verwendung eines Spektrophotometers, wie beispielsweise einem Perkin Elmer Lambda 900 oder einem Hitachi U4001, kann eine spektrale Kurve der Transmission erhalten werden. Die sichtbare Transmission wird dann unter Verwendung der zuvor erwähnten ASTM 308/2244-93 Methodologie kalkuliert. Eine geringere Anzahl an Wellenlängenpunkten als vorgeschrieben kann falls gewünscht verwendet werden. Eine andere Technik zur Messung der sichtbaren Transmission ist es einen Spektrometer zu verwenden, wie etwa einen kommerziell erhältlichen Spectrogard Spektrophotometer, der von der Pacific Scientific Corporation hergestellt wird. Dieses Gerät misst und gibt die sichtbare Transmission direkt an. Wie hierin angegeben und gemessen, verwendet die sichtbare Transmission (d.h. der Y Wert in dem CIE Tristumulus System, ASTM E-308-85) die III. C., 2 Grad Observer Technik.
Ein weiterer hierin verwendeter Begriff ist „Flächenwiderstand“ (Sheet Resistance). Der Flächenwiderstand (R_S) ist im Stand der Technik ein wohlbekannter Begriff und wird hierin in Übereinstimmung mit seiner wohlbekannten Bedeutung verwendet. Er wird in Ohm/Quadrat-Einheiten angegeben. Allgemein gesagt, bezieht sich dieser Begriff auf den Widerstand in Ohm für jedes Quadrat eines Schichtsystems auf einem Glassubstrat gegenüber einem elektrischen Strom, der durch das Schichtsystem geleitet wird. Der Flächenwiderstand ist indikativ wie gut die Schicht oder das Schichtsystem Infrarotenergie reflektiert und wird somit häufig zusammen mit der Emission als ein Messwert für diese Charakteristik angegeben. Der „Flächenwiderstand“ kann beispielsweise konventionell unter Verwendung eines 4-Punkt Proben Ohmmeters gemessen werden, wie etwa einer wegwerfbaren 4-Punkt Widerstandsmessprobe mit einem Kopf von Magnetron Instruments Corporation, Model M-800, der von Signatone Corporation of Santa Clara, Kalifornien produziert wird.
Die Begriffe „chemische Haltbarkeit“ oder „chemisch haltbar“ werden hierin synonym mit dem Begriff des Standes der Technik „chemische Widerstandsfähigkeit“ oder „chemische Stabilität“ verwendet. Die chemische Haltbarkeit wird durch Kochen einer 2" x 5" großen Probe eines beschichteten Glassubstrats in etwa 500 cc einer 5% Salzsäurelösung für eine Stunde bestimmt (d.h. bei etwa 220°F) (d.h. dem oben erwähnten Säurekochtest). Die Probe wird als den Test bestehend angesehen (und somit wird das Schichtsystem als „chemisch Widerstandsfähig“ angesehen oder wird als „chemisch haltbar“ angesehen oder als eine „chemische Beständigkeit“ aufweisend angesehen), wenn das Schichtsystem der Probe eine Bewertung von 3 oder besser bekommt und keine Nadellöcher aufweist, die größer als etwa 0,003" im Durchmesser sind nach diesem Kochtest für eine Stunde.
„Mechanische Haltbarkeit“ wie hierin verwendet, wird durch die folgenden Tests definiert. Der Test verwendet einen Pacific Scientific Abrasion Tester (oder ein äquivalentes Gerät) bei dem eine 2" x 4" x 1" Nylon Bürste zyklisch über das Schichtsystem in 500 Zyklen unter Verwendung eines 150 gr. Gewichts geführt wird und an einer 6" x 17" Probe angewandt wird (d.h. dem oben angegebenen Bürstentest). In diesem Test, wenn keine erheblichen, bemerkbaren Kratzer erscheinen, wenn unter sichtbarem Licht mit dem bloßen Auge betrachtet, wird der Test als bestanden angesehen und der Gegenstand wird als „mechanisch beständig“ betrachtet und würde als „mechanisch haltbar“ angesehen (d.h. wenn er oben einen Wert von 2 oder besser hat).
Die Begriffe „Wärmebehandlung“ und „Wärme behandeln“, wie sie hierin verwendet werden, bedeuten erhitzen des Gegenstands auf eine Temperatur, die ausreichend ist, um ein thermisches Tempern, Biegen, oder Wärmestärken des Glas umfassenden Gegenstands zu ermöglichen. Diese Definition umfasst z.B. das Erwärmen eines beschichteten Gegenstands auf eine Temperatur von zumindest etwa 1100°F (beispielsweise auf eine Temperatur von etwa 550°C - 900°C) für eine ausreichende Dauer, um ein Tempern oder Wärmebiegen zu ermöglichen.
Nach Kenntnis der obigen Offenbarung werden dem Fachmann andere Merkmale, Modifikationen und Verbesserungen einfallen. Derartige andere Merkmale, Modifikationen und Verbesserungen werden daher als ein Teil dieser Erfindung angesehen, deren Rahmen durch die folgenden Ansprüche bestimmt werden soll.

Claims

Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Gegenstandes, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: Ablagern von zumindest einer ersten dielektrischen Schicht auf einem Glassubstrat; Ablagern eines Schichtsystems auf der ersten dielektrischen Schicht, wobei das Schichtsystem eine Infrarot (IR) reflektierende Metallschicht aus Silber umfasst, die zwischen und im Kontakt mit ersten und zweiten Metall enthaltenden Schichten angeordnet ist, wobei zumindest die unterste Schicht der ersten und zweiten Metall enthaltenden Schichten NiCrN_x umfasst, das zu einem gewissen Grad nitriert ist, und wobei die oberste Schicht der ersten und zweiten Metall enthaltenden Schichten metallisch ist, und Steuern der Stickstoffgasströmung während des Sputtern der Metall enthaltenden Schicht umfassend NiCrN_x, so dass die Stickstoffgasströmung 4-12 sccm/kW beträgt; und Ablagern von zumindest einer zweiten dielektrischen Schicht über dem Schichtsystem; wobei vor einer Wärmebehandlung das Glassubstrat mit dem Schichtsystem darauf einen Flächenwiderstand R_S von nicht mehr als 20 Ohm/Quadrat hat, und Wärmebehandlung des Substrates mit dem Schichtsystem darauf, so dass auf Grund dieser Wärmebehandlung das resultierende Substrat mit dem Schichtsystem darauf einen ΔE* Wert (Glasseite) von nicht mehr als 3,5 hat.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Wärmebehandlung das thermische Tempern des Substrates mit dem Schichtsystem darauf umfasst.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Ablagern Sputtern umfasst.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Schichtsystem von dem Substrat nach Außen die folgenden Dicken umfasst: a) erste Silizium Nitrid umfassende Schicht: 300 - 700 Ångström b) NiCrN_x Schicht (die erste Metall enthaltende Schicht): 5 - 15 Ångström c) Silberschicht (die IR reflektierende Schicht): 40 - 120 Ängström d) NiCr Schicht (die zweite Metall enthaltende Schicht): 3 - 12 Ångström e) zweite Silizium Nitrid enthaltende Schicht: 350 - 700 Ångström.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei auf Grund der Wärmebehandlung das resultierende Substrat mit dem Schichtsystem darauf einen Δ E* Wert (Glasseite) von nicht mehr als 3,0 hat und einen Δ a* Wert (Glasseite) von nicht mehr als 2,0.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei zumindest die unterste Metall enthaltende Schicht nitriert ist, aber nicht zu mehr als 75 % nitriert ist.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die zumindest die unterste Metall enthaltende Schicht nicht zu mehr als 50 % nitriert ist.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Stickstoffgasfluss 6 - 10 sccm/kW beträgt.