DE60218250T2 - Interferometrische Analyse eines optischen Bauteils mittels orthogonalem Filter - Google Patents

Interferometrische Analyse eines optischen Bauteils mittels orthogonalem Filter Download PDF

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Description

  • ERFINDUNGSHINTERGRUND
  • Erfindungsgebiet
  • Die Prinzipien der vorliegenden Erfindung betreffen im allgemeinen das Gebiet der optischen Netzwerkanalyse und insbesondere ein System und Verfahren zum Ermitteln der optischen Charakteristika einer zu testenden optischen Komponente.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Ein optischer Netzwerkanalysator ist ein essentielles Werkzeug zum Ermitteln von optischen Charakteristika von optischen Komponenten, wie etwa Bragg-Gittern. Die optischen Charakteristika, welche von einem optischen Netzwerkanalysator ermittelt werden, können den Reflexionsgrad und den Transmissionsgrad einer bestimmten zu testenden optischen Komponente mit zwei oder mehreren Eingängen umfassen. Die optischen Charakteristika (z. B. die Reflektion oder Transmission) einer zu testenden optischen Komponente werden durch eine Transferfunktion beschrieben und werden üblicherweise durch die Messung der Amplitude und Phase von optischen Signalen ermittelt, die von der Komponente reflektiert oder durch die Komponente durchgelassen werden. Die Charakteristika der Phasenantwort einer zu testenden optischen Komponente werden oft durch Gruppenverzögerung oder Dispersion beschrieben.
  • Die meisten herkömmlichen Meßtechniken für Gruppenverzögerung wurden für optische Netzwerkanalysatoren entwickelt, die nicht-durchgehend stimmbare Laserquellen verwenden. Eine nicht-durchgehend stimmbare Laserquelle ist eine Laserquelle, die über einen vorbestimmten Bereich von Frequenzen in diskreten Frequenzschritten gestimmt werden kann. Eine übliche Technik zum Messen der Amplitude, Phase und Gruppenverzögerung besteht darin, einen elektrischen Stimulus in Form von Leistungs- oder Phasenmodulation an ein optisches Signal anzulegen und dann die elektrische Antwort des übertragenen oder reflektier ten optischen Signals mittels einer bekannten phasenempfindlichen elektrischen Detektionsvorrichtung, z. B. eines Lock-in-Verstärkers oder eines elektrischen Netzwerkanalysators, zu messen. Ein Problem bei dieser Technik liegt darin, daß die Messung der Gruppenverzögerung indirekt ist und die Genauigkeit der Messung einschränkt. Zusätzlich benötigt die Technik eine lange Meßzeit, um ein genaues Ergebnis zu erhalten. Daher ist eine langfristige Stabilität der Testanordnung nötig, um die Technik effektiv zu nutzen.
  • Durchgehend bzw. kontinuierlich stimmbare Laserquellen sind jedoch kürzlich verfügbar geworden. Eine durchgehend stimmbare Laserquelle kann durchgehend einen vorbestimmten Bereich von Frequenzen ohne Frequenzsprünge oder Modenwechsel durchlaufen. Die Verfügbarkeit von durchgehend stimmbaren Laserquellen hat es ermöglicht, interferometrische Verfahren zur Messung der optischen Charakteristika von optischen Komponenten zu entwickeln. Die interferometrischen Verfahren basieren auf direkten Messungen der Phasenunterschiede zwischen interferierenden optischen Signalen. Üblicherweise wird eine Fourieranalyse einer Heterodyn-Schwebungsfrequenz verwendet, welche direkt mit der durchlaufenden optischen Frequenz einer durchgehend stimmbaren Laserquelle verknüpft ist, um die optischen Charakteristika einschließlich der Gruppenverzögerung zu messen. Ein Problem bei den interferometrischen Verfahren mittels Fourieranalyse liegt darin, daß der Frequenzdurchlauf einer durchgehend stimmbaren Laserquelle nicht gleichförmig ist. Die Nicht-Gleichförmigkeit des Frequenzdurchlaufs führt zu einer ähnlichen Nicht-Gleichförmigkeit der resultierenden Schwebungsfrequenz, welche eine Ungewißheit bei der Berechnung der optischen Charakteristika auf dem Weg der Fourieranalyse einführt. Was benötigt wird, ist eine Technik zur Ermittlung der optischen Charakteristika des durchgehend stimmbaren Lasers mit minimaler Ungewißheit.
  • ERFINDUNGSABRISS
  • Die Prinzipien der Erfindung ermitteln optische Charakteristika einer optischen Komponente. Um das Problem der Verwendung von stimmbaren Laserquellen mit nicht gleichförmigen Frequenzdurchläufen zur Messung von optischen Charakteristika von optischen Komponenten zu lösen, kann ein optischer Netzwerkanalysator oder optisches Testsystem verwendet werden, der oder das Komponenten zur Amplituden- und Phasenberechnung, wie etwa orthogonale Filter, verwendet, um die optischen Charakteristika einer zu testenden optischen Vorrichtung („device under test" = DUT) zu berechnen. Die optischen Charakteri stika können Amplitude, Phase und Gruppenverzögerung umfassen. Der optische Netzwerkanalysator kann ein Interferometer umfassen, um das optische DUT zu messen, und einen Prozessor umfassen, der die gemessenen optischen Signale mittels der orthogonalen Filter verarbeitet. Die orthogonalen Filter umfassen einen konphasischen (sog. „in -phase") und einen Quadratur-Filter. Ein Referenz-Interferometer kann weiter vorgesehen sein, um die optische Frequenz und/oder Amplitude des stimmbaren Lasers zu messen. Amplitude und Phase werden aus den Heterodyn-Schwebungssignalen berechnet, welche von den Interferometern erzeugt werden, und eine Gruppenverzögerung wird basierend auf der berechneten Phase berechnet.
  • Eine Ausführung umfaßt ein System und Verfahren zur Messung von optischen Charakteristika einer zu testenden optischen Vorrichtung (DUT). Das System umfaßt eine Lichtquelle zum Erzeugen eines optischen Signals, welches an das optische DUT angelegt wird. Ein Referenz-Interferometer und ein Test-Interferometer sind optisch an die Lichtquelle gekoppelt. Eine Recheneinheit wird an die Interferometer gekoppelt und verwendet die orthogonalen Filter bei der Ermittlung der optischen Charakteristika des optischen DUT. Die optischen Charakteristika können eine Reflexions-Transferfunktion, eine Transmissions-Transferfunktion und Gruppenverzögerung umfassen. Durch die Verwendung der Prinzipien der vorliegenden Erfindung kann die Ungewißheit bei der Berechnung der optischen Charakteristika des optischen DUT minimiert werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist ein Blockdiagramm eines optischen Netzwerkanalysators, der konfiguriert ist, Reflexionsgrad-Messungen durchzuführen, in Ubereinstimmung mit den Prinzipien der vorliegenden Erfindung;
  • 2 stellt den Frequenzdurchlauf einer idealen, bezüglich der Zeit durchgehend stimmbaren Laserquelle dar;
  • 3 stellt das AC-gekoppelte Heterodyn-Schwebungssignal dar, wenn eine ideale, durchgehend stimmbare Laserquelle verwendet wird;
  • 4 stellt eine Phasenfunktion des Heterodyn-Schwebungssignals von 3 dar;
  • 5 stellt das AC-gekoppelte Heterodyn-Schwebungssignal dar, wenn eine durchgehend stimmbare Laserquelle verwendet wird, welche Frequenzen bezüglich der Zeit nicht gleichförmig durchläuft;
  • 6 stellt eine Phasenfunktion des Heterodyn-Schwebungssignals von 5 dar;
  • 7 ist ein beispielhaftes Blockdiagramm zur Verarbeitung der optischen Signale, welche von den optischen Detektoren gemäß 1 gemessen werden;
  • 8 stellt ein Heterodyn-Schwebungssignal dar, wie es vom optischen Netzwerkanalysator von 1 ausgebildet wird;
  • 9 stellt eine Filterfunktion zur konphasischen Detektion von Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von 8 dar;
  • 10 stellt eine Filterfunktion zur Quadratur-Detektion der Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von 8 dar;
  • 11 ist ein beispielhaftes Blockdiagramm zur Anwendung der Filterfunktionen zum Ermitteln von Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von 8 in dem Zeitbereich;
  • 12A12D stellen orthogonale Filter in den Zeit- und Frequenzbereichen dar, wie sie in 11 angewandt werden;
  • 13 ist ein weiteres beispielhaftes Blockdiagramm zur Berechnung von Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von 8 in dem Frequenzbereich;
  • 14 stellt eine Transferfunktion eines positiven Frequenz-Bandpaßfilters dar, welcher bei einer Kreisfrequenz zentriert ist, um Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von 8 zu berechnen;
  • 15 ist ein weiteres beispielhaftes Blockdiagramm zur Berechnung von Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von 8 in dem Frequenzbereich mittels der Transferfunktion von 14;
  • 16A und 16B stellen Graphen von konphasischen bzw. Quadratur-Filtern dar, welche zur Berechnung von Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von 8 verwendet werden, wobei 16B eine Hilbert-Transformation darstellt;
  • 17 ist ein weiteres beispielhaftes Blockdiagramm zur Berechnung von Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von 8 mittels der Hilbert-Transformation von 16B;
  • 18 stellt eine All-Pass-Filter-Transferfunktion mit positiver Frequenz dar, welche verwendet wird, um Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von 8 zu berechnen;
  • 19 stellt eine Zeit-Frequenz-Umwandlungsfunktion dar;
  • 20 ist ein beispielhaftes Blockdiagramm, welches eine einfache Umwandlung vom Zeit- zum Frequenzbereich darstellt;
  • 21 ist ein beispielhaftes Blockdiagramm zur Berechnung einer Transferfunktion und Gruppenverzögerung des optischen DUT mittels eines Phasen-Subtraktionsverfahrens;
  • 22 ist ein anderes beispielhaftes Blockdiagramm zur Berechnung einer Transferfunktion des optischen DUT mittels eines Ableitungsverhältnis-Verfahrens, welches zudem Gruppenverzögerung aufweist; und
  • 23 ist ein weiteres beispielhaftes Blockdiagramm zur Berechnung einer Transferfunktion und Gruppenverzögerung des optischen DUT, welches ein Taktungsverfahren verwendet.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEISPIELHAFTEN AUSFÜHRUNGEN DER ERFINDUNG
  • Stimmbare Laserquellen, wie sie gegenwärtig verfügbar sind, durchlaufen Frequenzen in einer nicht gleichförmigen Weise. Ein Heterodyn-Schwebungssignal mit einer Schwebungsfrequenz, das von einem Interferometer zur Messung optischer Komponenten erzeugt wird, wird durch die Nicht-Gleichförmigkeit des Durchlaufs der stimmbaren Laserquelle beeinflußt. Übliche Abweichungen des Heterodyn-Schwebungssignals aufgrund der Nicht-Gleichförmigkeit des Durchlaufs sind wesentlich größer als diejenigen, die durch die gemessene Dispersion der optischen Komponente hervorgerufen werden. Bei der Charakterisierung von optischen Komponenten umfassen typische optische Meßsysteme oder optische Netzwerkanalysatoren zwei Interferometer, ein nicht-dispersives Referenz-Interferometer und ein Test-Interferometer, welches die optische Komponente, oder zu testende Vorrichtung (DUT), die gemessen wird, umfaßt. Das Referenz-Interferometer wird zur Messung des nicht gleichförmigen Durchlaufs der stimmbaren Laserquelle verwendet, wobei die Messung des nicht gleichförmigen Durchlaufs zu Kompensation der Messung von dem Test-Interferometer verwendet wird. Heterodyn-Schwebungssignale von den beiden Interferometern können sich in der Frequenz, Phase und Amplitude unterscheiden. Die Präzision der Amplituden- und Phasendetektion des Schwebungssignals von den Interferometern bestimmt die Genauigkeit der Charakterisierung der optischen Komponente.
  • Bei der Berechnung von optischen Charakteristika der optischen Komponente werden die Heterodyn-Schwebungssignale aus den Interferometern verwendet, um die optische Frequenz der stimmbaren Laserquelle und eine Reflexions- oder Transmissions-Transferfunktion, einschließlich der Amplitude und Phase, des optischen DUT zu berechnen. Bei der Ermittlung der Amplituden- und Phasencharakteristika des Heterodyn-Schwebungssignals können orthogonale Filter verwendet werden. Die orthogonalen Filter werden durch konphasische und Quadratur-Filter oder andere verwendbare orthogonale Filter in dem Zeit- und/oder Frequenzbereich ausgebildet. Die Reflekions- oder Transmissions-Transferfunktionen und die Gruppenverzögerung der optischen Komponente können aus der Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals ermittelt werden. Die Reflektions- oder Transmissions-Charakteristika können mittels verschiedener rechnerischer Verfahren, einschließlich Subtraktion, Division und Taktung, ermittelt werden.
  • Mit Bezug auf 1 wird ein optischer Netzwerkanalysator 102 nach der vorliegenden Erfindung gezeigt. Der Analysator mißt die optischen Charakteristika der zu testenden optischen Vorrichtung 104. Insbesondere ermittelt der Analysator die Amplitude der Reflexions-Transferfunktion und die Gruppenverzögerung des optischen DUT 104. Als ein Beispiel kann das optische DUT ein Bragg-Fasergitter sein, obwohl das optische DUT irgendeine optische Komponente sein kann. Der optische Netzwerkanalysator berechnet die Amplitude und Phase der Transferfunktion des optischen DUT in einer effizienten Weise mittels eines interferometrischen Verfahrens, welches auf orthogonalen Filtern von AC-gekoppelten Heterodyn-Schwebungssignalen basiert. Die Gruppenverzögerung wird aus der Phasenantwort ermittelt.
  • Der optische Netzwerkanalysator 102 umfaßt ein Referenz-Interferometer 106, ein Test-Interferometer 108 und eine Verarbeitungseinheit 110. Wie in 1 darstellt ist, sind das Referenz- und das Test-Interferometer 106 und 108 als Michelson-Interferometer konfiguriert, um die Reflexions-Charakteristika des optischen DUT 104 zu messen. Andere Arten von Interferometern könnten jedoch statt dessen verwendet werden. Die Interferometer 106 und 108 können beispielsweise als Mach-Zehnder-Interferometer konfiguriert werden, um die Transmissions-Charakteristika des optischen DUT 104 zu messen. Alternativ kann, anstatt ein Referenz-Interferometer zu verwenden, ein optischer oder elektronischer Zähler, wie er im Stand der Technik bekannt ist, verwendet werden, um die Phase der durchgehend stimmbaren Laserquelle zu detektieren. Das Referenz- und das Test-Interferometer 106 und 108 verwen den beide eine durchgehend stimmbare Laserquelle 112. Die durchgehend stimmbare Laserquelle 112 ist konfiguriert, um ein optisches Signal mit einer Frequenz zu erzeugen, die durchgehend einen vorbestimmten Bereich von Frequenzen in einer nicht gleichförmigen Weise durchläuft. Das heißt, daß die Änderungsrate der Frequenz des optischen Signals, welches von der stimmbaren Laserquelle erzeugt wird, sich mit der Zeit ändert, während der vorbestimmte Bereich von Frequenzen durchlaufen wird.
  • Wie unten detailliert erläutert ist, wird die Transferfunktion des optischen DUT 104 berechnet, indem die Amplituden- und Phasenänderungen eines AC-gekoppelten Heterodyn-Schwebungssignals aus dem Test-Interferometer 108, die vom optischen DUT 104 hervorgerufen werden, gemessen werden. Das Heterodyn-Schwebungssignal wird aus einem optischen Eingangssignal hergestellt, welches von der durchgehend stimmbaren Laserquelle 112 erzeugt wird. Wegen der Nicht-Gleichförmigkeit des Frequenzdurchlaufs der Laserquelle sind jedoch die Änderungen der optischen Frequenz des optischen Eingangssignals nicht gleichförmig. Die Nicht-Gleichförmigkeit führt unerwünschte Frequenz-/Phasenänderungen in das Heterodyn-Schwebungssignal ein. Das Referenz-Interferometer 106 und die Verarbeitungseinheit 110 bilden einen optischen Frequenzzähler, der die unerwünschten Phasenänderungen mißt, die durch den nicht gleichförmigen optischen Frequenzdurchlauf des optischen Eingangssignals hervorgerufen werden. Alternative optische Frequenzzähler, wie sie im Stand der Technik bekannt sind, können verwendet werden. Das Referenz-Interferometer 106 erzeugt ein Referenz-Heterodyn-Schwebungssignal, welches die Phasenänderungen umfaßt, die durch die Nicht-Gleichförmigkeit des Frequenzdurchlaufs der stimmbaren Laserquelle hervorgerufen werden. Zusätzlich kann das Referenz-Heterodyn-Schwebungssignal eine Amplitude aufweisen, welche von der stimmbaren Laserquelle hervorgerufen wird. Das Referenz-Heterodyn-Schwebungssignal wird dann detektiert, um die unerwünschten Phasenänderungen zu messen. Da die gemessenen Phasenänderungen beiden Interferometern 106 und 108 gemein sind, können die Verzerrungen aufgrund des nicht gleichförmigen Frequenzdurchlaufs von dem Heterodyn-Schwebungssignal, das vom Test-Interferometer 108 erzeugt wird, mittels des Referenz-Heterodyn-Schwebungssignals von dem Referenz-Interferometer 106 entfernt werden.
  • Das Referenz-Interferometer 106 des optischen Netzwerkanalysators 102 umfaßt die durchgehend stimmbare Laserquelle 112, einen optischen Koppler 114, Faraday-Spiegel 116 und 118 und einen Referenz-Detektor 120. Diese Komponenten des Referenz-Interferometers 106 sind miteinander durch optische Fasern 122, 124, 126 und 128 verbunden. Die optische Faser 122 verbindet die stimmbare Laserquelle mit dem optischen Koppler 114, während die optische Faser 126 den Referenz-Detektor 120 mit dem optischen Koppler 114 verbindet. Auf ähnliche Weise verbindet die optische Faser 124 den optischen Koppler 114 mit dem Faraday-Spiegel 118, während die optische Faser 128 den optischen Koppler 114 mit dem Faraday-Spiegel 116 verbindet. Der optische Koppler 114 und die optischen Fasern 122, 124, 126 und 128 sind Einmoden(SM)-Komponenten. Die Länge der optischen Faser 128 unterscheidet sich von der Länge der optischen Faser 124 um den Abstand ΔLR, der eine Verzögerung in das Referenz-Interferometer 106 einführt, und definiert seinen freien Spektralbereich (FSR = „free spectral range").
  • Im Betrieb erzeugt die stimmbare Laserquelle 112 durchgehend ein optisches Signal in einem Durchlaufbereich von Frequenzen. Als ein Beispiel kann die stimmbare Laserquelle 112 Frequenzen in einem Wellenlängenbereich von ungefähr 140 nm, beginnend bei einer Wellenlänge von 1470 nm oder einer Wellenlänge von 1510 nm, durchlaufen. Das optische Signal, welches von der stimmbaren Laserquelle 112 erzeugt wird, wird zu dem optischen Koppler 114 durch die optische Faser 122 übertragen. Der optische Koppler 114 teilt dann das optische Signal in zwei optische Signale, so daß die geteilten optischen Signale zu den Faraday-Spiegeln 116 und 118 durch die optischen Fasern 128 bzw. 124 übertragen werden. Das optische Signal, welches durch die optische Faser 128 übertragen wird, wird durch den Faraday-Spiegel 116 am Ende der optischen Faser 128 zurück zu dem optischen Koppler 114 reflektiert. Ähnlich wird das optische Signal, welches durch die optische Faser 124 übertragen wird, durch den Faraday-Spiegel 118 am Ende der optischen Faser 124 zurück zu dem optischen Koppler 114 reflektiert. Die Faraday-Spiegel 116 und 118 reflektieren das Licht in jeweils im wesentlichen orthogonalen Polarisationszuständen, was sicherstellt, daß die zurückkehrenden optischen Signale nahezu denselben Polarisationszustand aufweisen.
  • Wegen des zusätzlichen Abstands, der von dem optischen Signal in der optischen Faser 128 zurückgelegt wird, unterscheidet sich zu einem gegebenen Zeitpunkt die Frequenz des zurückkehrenden optischen Signals in der optischen Faser 128 von der Frequenz des zurückkehrenden optischen Signals in der optischen Faser 124. Wie in 1 dargestellt ist, wird die Frequenz des zurückkehrenden optischen Signals in der optischen Faser 124 mit ν1 bezeichnet und die Frequenz des zurückkehrenden optischen Signals in der optischen Faser 128 mit ν1 bezeichnet. Angenommen, die stimmbare Laserquelle 112 durchläuft den vorbestimmten Frequenzbereich mit einer Rate von γ so können die optischen Frequenzen ν1 und ν2 ausgedrückt werden als: ν1 = γt + ν0 ν2 = γt – γτ + ν0, wobei ν0 die anfängliche optische Frequenz der einstellbaren Laserquelle ist, und τ die Umlauf-Verzögerung in der Länge ΔLR der optischen Faser 128 ist. Die Umlauf-Verzögerung τ ist definiert als:
    Figure 00090001
    wobei n der Brechungsindex der optischen Faser 128 ist und c die Lichtgeschwindigkeit im Vakuum ist. Nimmt man an, daß die Durchlaufrate γ konstant ist, so ist die Frequenzdifferenz zwischen den zurückkehrenden optischen Signalen in den optischen Fasern 124 und 128: Δν = γτ.
  • Es wird angenommen, daß das Referenz-Interferometer 106 nicht-dispersiv ist, d. h., daß τ nicht von der optischen Frequenz der optischen Signale abhängt. Alternativ kann das Referenz-Interferometer 106 dispersionskompensiert sein. Die Phasendifferenz zwischen den beiden reflektierten Signalen kann ausgedrückt werden als: θ = 2πΔνt + θ0 = 2πγτt + θ0,wobei 2πΔν die Kreisfrequenzdifferenz ist.
  • Die zurückkehrenden optischen Signale in den optischen Fasern 124 und 128 werden an dem optischen Koppler 114 kombiniert und durch die optische Faser 126 zu dem Referenz-Detektor 120 übertragen. Wenn es kombiniert wird, interferiert das optische Signal, das von der optischen Faser 124 zurückkehrt, mit dem optischen Signal, das von der optischen Faser 128 zurückkehrt. Die Intensität des interferierenden optischen Signals, welche an dem Referenz-Detektor beobachtet wird, kann ausgedrückt werden als: I = I0 + I0cos(2πγτt + θ0)unter der Annahme, daß der Polarisationszustand der zurückkehrenden optischen Signale der gleiche ist. Der Ausdruck I0cos(2πγτt + θ0) definiert das Heterodyn-Schwebungssignal, das von den zurückkehrenden optischen Signalen erzeugt wird. An dem Referenz-Detektor 120 wird das Heterodyn-Schwebungssignal AC-gekoppelt, indem die DC-Komponente des Signals entfernt wird. Das AC-gekoppelte Heterodyn-Schwebungssignal wird zu der Verarbeitungseinheit 110 zur Signalverarbeitung (d. h. zur Ermittlung der Gruppenverzögerung des optischen DUT 104) übertragen.
  • Das Test-Interferometer 108 des optischen Netzwerkanalysators 102 umfaßt die durchgehend stimmbare Laserquelle 112, einen optischen Koppler 130, einen Spiegel 132, das optische DUT 104 und einen DUT-Detektor 134. Ähnlich zu dem Referenz-Interferometer 106 sind die Komponenten des Test-Interferometers 108 miteinander durch optische Fasern 136, 138, 140 und 142 verbunden. Die optische Faser 140 verbindet die stimmbare Laserquelle 112 mit dem optischen Koppler 130, während die optische Faser 136 den DUT-Detektor 134 mit dem optischen Koppler 130 verbindet. Ähnlich verbindet die optische Faser 142 den optischen Koppler 130 mit dem Spiegel 132, der ein Goldspiegel sein kann, während die optische Faser 138 den optischen Koppler mit dem optischen DUT 104 verbindet. Eine zusätzliche Polarisationssteuerung kann in einem der Äste verwendet werden, um die Polarisationszustände der zurückkehrenden optischen Signale abzugleichen. Der optische Koppler 130 und die optischen Fasern 136, 138, 140 und 142 sind ebenfalls Einmoden(SM)-Komponenten. Die Länge der optischen Faser 138 unterscheidet sich von der Länge der optischen Faser 142 um den Abstand ΔLD, der eine Verzögerung in das Test-Interferometer einführt und seinen freien Spektralbereich definiert.
  • Die Arbeit des Test-Interferometers 108 ähnelt der Arbeit des Referenz-Interferometers 106. Die Umlaufverzögerung τT bei dem Test-Interferometer 108 ist jedoch aufgrund der Dispersion innerhalb des optischen DUT 104 von der Frequenz des optischen Signals von der stimmbaren Laserquelle 112 abhängig, oder, mathematisch ausgedrückt, τT = τT(ν). Zusätzlich hängt die Amplitude des Heterodyn-Schwebungssignals von Transmissions- oder Reflexionseigenschaften des DUT ab. Die Amplituden- und die Phasenantwort des optischen DUT 104 können abgeleitet werden, indem Änderungen der Phase und Amplitude des Heterodyn-Schwebungssignals, die an dem DUT-Detektor 134 beobachtet werden, gemessen werden.
  • Die Phase des Heterodyn-Schwebungssignals des Test-Interferometers 108 wird durch Nicht-Gleichförmigkeit des Durchlaufs der stimmbaren Laserquelle 112 modifiziert. Das heißt, daß die Tatsache, daß die einstellbare Laserquelle Frequenzen in einer nicht-gleichförmigen Weise bezüglich der Zeit durchläuft, eine zusätzliche Phasenverschiebung in die Phase des Heterodyn-Schwebungssignals, welches an dem DUT-Detektor 134 des Test-Interferometers 108 detektiert wird, einführt. Dasselbe Phänomen existiert bei dem Referenz-Interferometer 106. Daher enthalten beide Interferometer Information über den nicht-gleichförmigen Frequenzdurchlauf der einstellbaren Laserquelle 112. Der Effekt des nicht-gleichförmigen Frequenzdurchlaufs der stimmbaren Laserquelle wird unten mit Bezug auf die 26 beschrieben.
  • Angenommen, daß die einstellbare Laserquelle 112 eine ideale einstellbare Laserquelle ist, die durchgehend den vorbestimmten Frequenzbereich (d. h., optische C- und L-Bänder) gleichförmig bezüglich der Zeit durchläuft, so ist die Änderung der Frequenz bezüglich der Zeit des optischen Signals, welches von der Laserquelle erzeugt wird, linear, wie in 2 dargestellt ist. Im Ergebnis ist, wenn die zu testende Vorrichtung keine Dispersion aufweist, das resultierende AC-gekoppelte Heterodyn-Schwebungssignal dann eine reine Sinuskurve mit konstanter Frequenz, wie sie in 3 gezeigt ist. Die Phase ϕ(t) des Heterodyn-Schwebungssignals ist linear, wie in 4 dargestellt ist.
  • Bei der stimmbaren Laserquelle 112 jedoch, welche Frequenzen nicht-gleichförmig durchläuft, schwankt die Frequenz der Frequenz der Heterodyn-Schwebungsfrequenz, wie in 5 dargestellt ist. Im Ergebnis ist die Phase ϕ(t) nicht-linear, wie in 6 dargestellt ist. Daher sind Änderungen der Phase des Heterodyn-Schwebungssignals an dem DUT-Detektor 134 und an dem Referenz-Detektor 120 stark durch die Nicht-Gleichförmigkeit der einstellbaren Laserquelle beeinflußt. Die Phasenänderungen aufgrund der dispersiven Charakteristika des optischen DUT 104, welche an dem DUT-Detektor 134 beobachtet werden, sind ununterscheidbar von Phasenänderungen, welche von der Nicht-Gleichförmigkeit des Durchlaufs der stimmbaren Laserquelle 112 hervorgerufen werden, und werden von diesen dominiert.
  • Der optische Netzwerkanalysator 102 löst das Problem, daß Phasenänderungen durch den nicht-gleichförmigen Frequenzdurchlauf der stimmbaren Laserquelle 112 erzeugt werden, indem er die Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von dem Referenz-Interferometer 106 ermittelt, um die Nicht-Gleichförmigkeit des Durchlaufs der stimmbaren Laserquelle 112 effektiv zu „kompensieren". Diese Kompensation führt zur Wiederherstellung der wahren linearen optischen Frequenzskala, wie sie in klassischen Netzwerkanalysatoren ausgeführt wird. Die Qualität des optischen Netzwerkanalysators hängt von der Präzision der wiederhergestellten Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) ab.
  • Vier beispielhafte Ausführungen von orthogonalen Filtern werden angegeben, um die Amplitude und die Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) aus dem Referenz- und dem Test-Interferometer 106 und 108 zu berechnen. Die vier Ausführungen der orthogonalen Filter umfassen: (i) konphasische und Quadratur-Filterung in dem Zeitbereich unter Verwendung von Konvolution, (ii) konphasische und Quadratur-Filterung in dem Frequenzbereich, (iii) einseitige Filterung und (iv) All-Pass-Filterung unter Verwendung von Hilbert-Transformationen.
  • Die 7 ist ein beispielhaftes Blockdiagramm 700 zur Messung und Verarbeitung der Heterodyn-Schwebungssignale s(t), welche von dem Referenz- und dem Test-Interferometer 106 und 108 von 1 erzeugt werden. Die optischen Fasern 126 und 136 sind optisch mit dem Referenz-Detektor 120 bzw. dem DUT-Detektor 134 gekoppelt. Der Referenz-Detektor 120 und der DUT-Detektor 134 sind mit Vorverstärkern 705a und 705b gekoppelt. Die Vorverstärker sind weiter mit Analog-Digital(A/D)-Wandlern 710a und 710b gekoppelt, die ebenfalls mit der Verarbeitungseinheit 110 gekoppelt sind. Die Verarbeitungseinheit 110 kann einen Referenz-Prozessor 715a, um Daten von dem Referenz-Detektor 120 zu verarbeiten, und einen Test-Prozessor 715b, um Daten von dem DUT-Detektor 134 zu verarbeitet, umfassen. Jeder der Prozessoren 715a und 715b ist mit einem gemeinsamen Prozessor 715c gekoppelt. Die Prozessoren 715a, 715b und 715c können mit internem Speicher 720a, 720b bzw. 720c (gemeinsam 720) gekoppelt sein. Alternativ kann der Speicher 720 extern zu den Prozessoren 715a715c sein.
  • Im Betrieb empfangen der Referenz- und der DUT-Detektor 120 und 134 optische Signale von dem Referenz- und dem Test-Interferometer 106 und 108 (nicht gezeigt) und wandeln die optischen Signale in elektrische Signale um. Die elektrischen Signale können Heterodyn-Schwebungssignale repräsentieren, welche von den Interferometern 106 und 108 erzeugt wurden. Die elektrischen Signale werden zu der Verarbeitungseinheit 110 übertragen, um die Heterodyn-Schwebungssignale zu verarbeiten und die Transferfunktion und Gruppenverzögerung des optischen DUT 104 zu berechnen.
  • Die Vorverstärker 705a und 705b empfangen die elektrischen Signale von dem Referenz- und dem DUT-Detektor 120 bzw. 134. Die Vorverstärker 705a und 705b können verwendet werden, um die elektrischen Signale zu filtern und/oder zu skalieren. Die A/D-Wandler 710a und 710b wandeln die analogen Signale, die von den Vorverstärkern 705a und 705b empfangen werden, in digitale Signale um. Die digitalen Signale werden von den A/D-Wandlern 710a und 710b durch die Prozessoren 715a bzw. 715b empfangen, um die Amplitude und Phase der Heterodyn-Schwebungssignale, die von dem Referenz- und dem Test-Interferometer 106 und 108 erzeugt werden, zu berechnen. Das Amplituden- und das Phasensignal können mittels orthogonaler Filter berechnet werden und werden von dem gemeinsamen Prozessor 715c empfangen, der die Transferfunktion und die Gruppenverzögerung des optischen DUT 104 berechnet. Es versteht sich, daß die Verarbeitungseinheit 110 alternativ ein einzelner Prozessor zur Durchführung der Berechnungen sein kann. Die Prozessoren 715a715c können Allzweckprozessoren oder spezialisierte Prozessoren sein, wie etwa digitale Signalprozessoren (DSP). Alternativ können andere digitale Vorrichtungen als Prozessoren, wie etwa programmierbare Logikgatter-Arrays, in der Verarbeitungseinheit 110 verwendet werden, um die Berechnungen durchzuführen. In einer anderen Ausführung kann die Verarbeitungseinheit 110, anstatt die analogen Signale in digitale Signale umzuwandeln, die Transferfunktion mittels analoger Komponenten ermitteln.
  • Um die Heterodyn-Schwebungssignale s(t) besser zu verstehen, welche von den Interferometern 106 und 108 empfangen werden, und besser zu verstehen, wie die Heterodyn- Schwebungssignale in der Verarbeitung der Transferfunktion des optischen DUT 104 verwendet werden, wird die folgende Beschreibung angegeben. Eine Frequenzdifferenz zwischen den interferierenden optischen Wellen, welche das Heterodyn-Schwebungssignal entstehen läßt, beträgt Δν = fB = γτT, wobei γ die optische Frequenz-Durchlaufrate ist und τT die Umlauf-Verzögerung des Test-Interferometers 108 ist. Bei dem Referenz-Interferometer 106 ist τR unabhängig von der optischen Frequenz (d. h. τT(ν) = τT = konstant). Bei dem Test-Interferometer 108 kann sich τT mit der optischen Frequenz, welche von der stimmbaren Laserquelle 112 erzeugt wird, ändern, um Information über dispersive Eigenschaften des optischen DUT 104 bereitzustellen. Im allgemeinen ist die Durchlaufrate γ nicht konstant (d. h. γ = γ(t)). Daher ändert sich die Heterodyn-Schwebungsfrequenz mit der Zeit und der optischen Frequenz. Die Heterodyn-Schwebungsfrequenz kann berechnet werden durch:
    Figure 00130001
  • Das Referenz- und das Test-Interferometer 106 und 108 können verwendet werden, um zwischen den Phasenänderungen der Heterodyn-Schwebungsfrequenz aufgrund des nicht-gleichförmigen Durchlaufs der stimmbaren Laserquelle 112 und aufgrund der Dispersion des optischen DUT 104 zu unterscheiden. Das Heterodyn-Schwebungssignal, welches von dem Test-Interferometer 108 gemessen wird, ändert sich nicht nur in der Frequenz sondern auch in der Amplitude, wenn sich Reflexionsgrad oder Transmissionsgrad eines optischen DUT 104 mit der optischen Frequenz ändern. Daher weisen die gemessenen Signale einen Oszillationscharakter mit einer modulierten Amplitude und Frequenz (Phase) auf. Die Präzision, mit der die Amplitude und die Phase des Heterodyn-Schwebungssignals detektiert werden, bestimmt die Leistungsfähigkeit des optischen Komponentenanalysators.
  • Die 8 stellt ein beispielhaftes Heterodyn-Schwebungssignal s(t) 800 von dem DUT-Interferometer mit einer veränderlichen Amplitude und Frequenz dar. Die veränderliche Amplitude, angezeigt durch die Hülle 805, weist eine minimale Amplitude a1 und eine maximale Amplitude a2 auf, wobei a1 < a2. Die veränderliche Frequenz des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) weist eine maximale Frequenz f1 und eine minimale Frequenz f2 auf wobei f1 > f2.
  • Orthogonale Filter können verwendet werden, um das Heterodyn-Schwebungssignal s(t) der 8 zu messen. Insbesondere können orthogonale Filter verwendet werden, um die Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) wiederherzustellen. Eine spektrale Komponente eines Signals bei einer Frequenz f0 kann ermittelt werden, indem eine Korrelation des Signals bei der Frequenz f0 mit einem Signal, welches sich periodisch mit der Frequenz f0 variiert (d. h. mit cos(2πf0t)), berechnet wird. Die spektrale Komponente kann berechnet werden als:
    Figure 00140001
  • Das breitere Spektrum von Frequenzen kann detektiert werden, indem eine periodisch variierende Funktion gewählt wird, die sich nicht von –∞ bis +∞ erstreckt, sondern die durch eine Hülle h(t) begrenzt ist, welche für spätere Zeitwerte nach Null abfällt.
  • Die erste beispielhafte Ausführung des orthogonalen Filters umfaßt konphasische und Quadratur-Filter in dem Zeitbereich, wie sie in 9 und 10 angegeben sind. Die 9 stellt einen konphasischen Filter zum Detektieren eines Frequenzbandes, welches um f0 zentriert ist, dar. Die Funktion in 9 wird durch p(t) = h(t)cos(2πf0t) beschrieben. Die Hülle 905 wird durch eine Funktion h(t) beschrieben. Da die Korrelation des Heterodyn-Schwebungssignals mit der Funktion p(t) das ursprüngliche Heterodyn-Schwebungssignal s(t) wiederherstellt, ohne seine Phase zu verändern, beschreibt die Filterfunktion p(t) den konphasischen Filter. Die konphasische Komponente des Heterodyn-Schwebungssignals kann daher berechnet werden durch:
    Figure 00140002
  • Die 10 stellt einen Quadratur-Filter dar, der zur Detektion eines Frequenzbandes, welches um f0 zentriert ist, verwendet werden kann. Der Quadratur-Filter wird in einer ähnlichen Weise wie der konphasische Filter definiert. Die Phasenverschiebung von π/2 wird erreicht, indem die Kosinusfunktion des konphasischen Filters durch eine Sinusfunktion ersetzt wird. Die Hülle h(t) ist dieselbe wie die Hülle 905 des konphasischen Filters, wodurch dieselbe spektrale Antwort des konphasischen Filters 900 beibehalten wird. Die Gleichung q(t) = h(t)sin(2πf0t) beschreibt den Quadratur-Filter. Die Korrelation des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) mit der Funktion q(t) verschiebt die Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) um π/2:
    Figure 00140003
    wobei y(t) die Quadratur-Komponente des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) ist. Sobald die konphasische und die Quadratur-Komponente bekannt sind, so können die Amplitude und Phase des eingehenden Signals berechnet werden als:
    Figure 00140004
    und φ(t) = arctan(y(t)/x(t))(Phase).
  • Man sollte beachten, daß für den gewählten konphasischen Filter p(t) und den Quadratur-Filter q(t) Korrelation dasselbe ist wie Konvolution, mit Ausnahme des Vorzeichens von q(t). Da das Vorzeichen in dem instantanen Vorgang des Ermittelns der optischen Charakteristika unwichtig ist, kann entweder Korrelation oder Konvolution verwendet werden.
  • Die 11 ist ein beispielhaftes Blockdiagramm zum Berechnen von Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) in dem Zeitbereich. Der konphasische Filter p(t) wird mit dem Heterodyn-Schwebungssignal s(t) bei 1105a konvoluiert, um ein Zeitbereich-Signal x(t) zu erzeugen, wobei das Zeitbereich-Signal die konphasische Komponente des Heterodyn-Schwebungssignals ist. Der Quadratur-Filter q(t) wird mit dem Heterodyn-Schwebungssignal s(t) 1105b konvoluiert, um ein Zeitbereich-Signal y(t) zu erzeugen, wobei y(t) die Quadratur-Komponente des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) ist. Die Quadratur-Signale x(t) und y(t) werden von der Funktion 1110 verwendet, um die Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) zu erzeugen.
  • In dem Zeitbereich wird der konphasische Filter p(t) mathematisch als ein Produkt der Hüllenfunktion h(t) und cos(2πf0t) dargestellt. p(t) = h(t)cos(2πf0t) = h(t)cos(ω0t),wobei ω0 die Kreisfrequenz ist. Die obige Gleichung kann umgeschrieben werden als:
    Figure 00150001
  • Die zweite beispielhafte Ausführung des orthogonalen Filters umfaßt konphasische und Quadratur-Filter in dem Frequenzbereich. Angenommen, daß die Fourier-Transformierte von h(t) durch H(ω) dargestellt wird, d. h. F[h(t)] = H(ω), so gilt
    Figure 00150002
  • Die Funktion H(ω – ω0) stellt einen Bandpaßfilter dar, welcher bei der Kreisfrequenz ω0 zentriert ist. Die Form des Bandpaßfilters wird eindeutig durch die Hüllenfunktion h(t) in der Zeitbereich-Darstellung des Filters definiert. Es sollte klar sein, daß je schmaler die Hülle h(t) in dem Zeitbereich ist, desto breiter ist der Filter H(ω) in dem Frequenzbereich. Wegen dieser Zeit-Frequenz-Beziehung führt die Wahl der schnell abfallenden Hülle h(t) in den 910 zu dem breiten Durchlaßband in dem Frequenzbereich.
  • Ein analoger Vorgang wird verwendet, um den Quadratur-Filter Q(ω) abzuleiten, bei dem: Q(ω) = –½jH(ω + ω0) + ½jH(ω – ω0).
  • Der Quadratur-Filter Q(ω) stellt dieselbe Frequenzantwort H(ω – ω0) bereit, die Phase ist jedoch um π/2 verschoben. Da der konphasische Filter p(t) reell und gerade ist, ist die Fourier-Transformierte P(ω) auch reell und gerade. Der Quadratur-Filter q(t) ist reell und ungerade, weshalb die Fourier-Transformierte Q(ω) ungerade und imaginär ist.
  • Die 12A und 12B sind die Zeit- und Frequenzbereich-Darstellungen des konphasischen Filters jeweils in dem Zeit- bzw. in dem Frequenzbereich. Die 12C und 12D stellen den Quadratur-Filter in dem Zeit- bzw. in dem Frequenzbereich dar.
  • Bei der Implementierung der orthogonalen Filter in dem Frequenzbereich wird das Heterodyn-Schwebungssignal: (i) in den Frequenzbereich transformiert, (ii) mittels P(ω) und Q(ω) gefiltert und (iii) in den Zeitbereich zurücktransformiert. Ein Grund zur Implementierung der orthogonalen Filter in dem Frequenzbereich liegt darin, daß die Berechnungen in dem Frequenzbereich, welche Addition und Multiplikation umfassen, rechnerisch schneller und effizienter als Berechnungen in dem Zeitbereich sind, welche Konvolution umfassen. Die Zeit-Frequenz- und die Frequenz-Zeit-Umwandlung werden durchgeführt, weil Konvolution in dem Frequenzbereich als Multiplikation durchgeführt werden kann. Dieser Vorgang wird in 13 in Form eines Blockdiagramms 1300 dargestellt und bildet eine weitere beispielhafte Ausführung zur Berechnung der Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t). Das Heterodyn-Schwebungssignal s(t) wird durch die Fourier-Transformation 1305 in den Frequenzbereich S(ω) transformiert. Das Heterodyn-Schwebungssignal S(ω) in dem Frequenzbereich wird durch einen konphasischen Filter P(ω) 1310a und einen Quadraturphasen-Filter Q(ω) 1310b gefiltert, um Signale X(ω) bzw. Y(ω) zu erzeugen. Die Signale X(ω) und Y(ω) werden von dem Frequenzbereich zurück in den Zeitbereich über eine inverse Fourier-Transformation 1315a und 1315b transformiert. Die Zeitbereich-Signale x(t) und y(t), welche aus den inversen Fourier-Transformationvorgängen resultieren, werden von der Funktion 1110 empfangen. Die Funktion 1110 berechnet die Zeitbereich-Amplitude r(t) und -Phase ϕ(t) des Heterodyn-Schwebungssignals s(t).
  • Die dritte beispielhafte Ausführung der orthogonalen Filter umfaßt einseitige Filterung. Die orthogonalen Filter können durch eine Transferfunktion T(ω) dargestellt werden, welche reelle und imaginäre Teile aufweist, die durch P(ω) bzw. Q(ω) definiert sind. Mathematisch kann die Transferfunktion T(w) beschrieben werden als T(ω) = P(ω) – jQ(ω).
  • Der Ausgang z(t) des einseitigen Filters ist, in Antwort auf das Heterodyn-Schwebungssignal s(t), imaginär. Das Signal x(t) ist der reelle Anteil des Ausgangs z(t), während das Signal y(t) der imaginäre Anteil von z(t) ist, wobei z(t) als z(t) = x(t) – jy(t) dargestellt werden kann. Die Signale x(t) und y(t) liegen in Quadratur (d. h. 90 Grad aus der Phase).
  • Der Ausgang z(t) ist ein analytisches Signal bezogen auf x(t) und kann ausgedrückt werden als z(t) = r(t)exp(jϕ(t)),wobei die Amplitude
    Figure 00170001
    und die Phase φ(t) = arctan( y(t) / x(t)). Üblicherweise ist das Vorzeichen der Phase ϕ(t) unwichtig. Die Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) kann als der Betrag von z(t) und das Argument von z(t) erhalten werden, was als r(t) = |z(t)| und ϕ(t) = arg(z(t)) ausgedrückt wird. Durch die Verwendung von Ausdrücken für P(ω) und Q(ω) kann die Transferfunktion T(ω) mittels der Funktion H(ω) ausgedrückt werden. Daher wird die Transferfunktion T(ω) eindeutig durch H(ω – ω0) beschrieben und, wie zuvor, als ein Bandpaßfilter dargestellt, welcher bei der Kreisfrequenz ω0 zentriert ist. Die Transferfunktion, oder der Filter, F(ω) arbeitet jedoch nur auf den positiven Frequenzen, während die negativen Frequenzen unterdrückt werden (d. h. einseitige Filterung). In dem Zeitbereich ist die Funktion t(t) komplex, wobei ihr reeller und ihr imaginärer Anteil durch den konphasischen Filter p(t) und den Quadratur-Filter q(t) beschrieben werden. Die Transferfunktion T(ω) ist in 14 dargestellt.
  • Die 15 ist ein weiteres beispielhaftes Blockdiagramm zum Berechnen der Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t). Das Heterodyn-Schwebungssignal s(t) wird durch die Fourier-Transformation 1305 in den Frequenzbereich S(ω) transformiert. Das Heterodyn-Schwebungssignal S(ω) wird von einer Transferfunktion T(ω) 1505 empfangen und gefiltert, um das Signal Z(ω) zu erzeugen. Das Signal Z(ω) wird über die inverse Fourier-Transformation 1315 zu dem Zeitbereich transformiert. Die Funktion 1110 erzeugt die Amplitude r(t) und die Phase ϕ(t) des Heterodyn-Schwebungssignals s(t).
  • Die vierte beispielhafte Ausführung des orthogonalen Filters umfaßt die Durchführung von All-Pass-Filterung. Die All-Pass-Filter sind Spezialfälle von orthogonalen Filtern. Die Durchlaufrate des stimmbaren Lasers schwankt üblicherweise um irgendeine nominale Durchlaufrate γ, was dazu führt, daß die Heterodyn-Schwebungsfrequenz um γτT schwankt, wobei τT eine Umlauf-Verzögerung des Test-Interferometers 108 ist. Daher ist die natürliche Wahl für die Filterart ein Bandpaßfilter. Ein All-Pass-Filter kann jedoch auch berücksichtigt werden. Beim Implementieren eines All-Pass-Filters kann der Quadratur-Filter q(t) durch eine Hilbert-Transformation implementiert werden. In den 16A und 16B sind orthogonale All-Pass-Filter in dem Frequenzbereich gezeigt, wobei der konphasische und der Quadratur-Filter dargestellt werden. Wie gezeigt wird, ist der konphasische Filter P(ω) reell und gerade. Es wird gezeigt, daß der Quadratur-Filter Q(ω) imaginär und ungerade ist. Das beispielhafte Blockdiagramm für die orthogonalen All-Pass-Filter in dem Frequenzbereich ist dasselbe wie das von 13. Wie zuvor bleibt das Heterodyn-Schwebungssignal s(t) unverändert, nachdem es durch den konphasischen Filter verarbeitet wurde. Die Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) wird durch den Quadratur-Filter Q(ω) für alle Frequenzen um π/2 verschoben. Das resultierende Signal y(t) kann in dem Zeitbereich mittels der Hilbert-Transformation erhalten werden:
    Figure 00180001
  • Die 17 ist ein anderes beispielhaftes Blockdiagramm zur Berechnung der Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) mittels der Hilbert-Transformation. Wie gezeigt ist, wird das Heterodyn-Schwebungssignal direkt durch die Funktion 1110 und über die Hilbert-Transformation 1405 empfangen. Die Hilbert-Transformation 1405 führt die Quadratur-Filterung an dem Heterodyn-Schwebungssignal s(t) durch, so daß die Funktion 1110 die Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) berechnen kann.
  • Die Transferfunktion des All-Pass-Filters T(ω) nimmt eine einfache Form an. Der All-Pass-Filter unterdrückt die negativen Frequenzen, während er die positiven Frequenzen unverändert läßt. Dies kann aus 18 ersehen werden, indem die Transferfunktion so gezeigt wird, daß sie Null für die negativen Frequenzen und Eins für die positiven Frequenzen annimmt.
  • An diesem Punkt wurden verschiedene Verfahren zur Berechnung (d. h. Wiederherstellung) der Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals s(t) mittels der vier beispielhaften Ausführungen der orthogonalen Filter gezeigt, umfassend (i) konphasische und Quadratur-Filterung in dem Zeitbereich mittels Konvolution, (ii) konphasische und Quadratur-Filterung in dem Frequenzbereich, (iii) einseitige Filterung und (iv) All-Pass-Filterung mittels Hilbert-Transformation. Sobald die Amplituden- und Phaseninformation des Heterodyn-Schwebungssignals mittels orthogonaler Filter (einer beliebigen Art) von den beiden Interferometern 106 und 108 berechnet sind, können die optischen Charakteristika der zu testenden Vorrichtung berechnet werden. Wie in 1 gezeigt ist, kann sowohl das Referenz- Interferometer 106 wie das Test-Interferometer 108 verwendet werden, um Amplituden- und Phaseninformation zu erzeugen. Die erzeugten Amplituden- und Phasensignale sind: rR(t) (Amplitude des Heterodyn-Schwebungssignals von dem Referenz-Interferometer 106), ϕR(t) (Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von dem Referenz-Interferometer 106), rT(t) (Amplitude des Heterodyn-Schwebungssignals von dem Test-Interferometer 108) und ϕT(t) (Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von dem Test-Interferometer 108).
  • Da das Referenz-Interferometer 106 nicht-dispersiv oder für Dispersion kompensiert ist, ist die wiederhergestellte Phase proportional zu der optischen Frequenz. Alle 2π Radiant an Phasenänderung entsprechen der Änderung an optischen Frequenz, die gleich dem freien Spektralbereich (FSR) des Interferometers ist. Daher gibt die Funktion ϕR(t) eine eindeutige Umwandlung zwischen Zeit und optischer Frequenz an.
    Figure 00190001
    wobei ν die optische Frequenz ist, und τR ist die Verzögerung in dem Referenz-Interferometer 106.
  • Die 19 ist eine beispielhafte Umwandlungskurve oder -funktion 1900 zur Umwandlung zwischen der Zeit und der optischen Frequenz. Die Umwandlungskurve 1900 ist nicht gleichförmig und beschreibt die Nicht-Gleichförmigkeit der stimmbaren Laserquelle. Die 20 stellt ein einfaches Blockdiagramm eines Verfahrens 2000 für eine Umwandlung von dem Zeitbereich zu dem optischen Frequenzbereich dar.
  • Die Umwandlung von dem Zeitbereich zum optischen Frequenzbereich kann durch eine Wellenlängen-Zählvorrichtung durchgeführt werden. Insbesondere kann die Umwandlung durch das Referenz-Interferometer durchgeführt werden. Das Heterodyn-Schwebungssignal s(t) von dem Referenz-Interferometer 106 kann auch für die Taktung der Akquisition des Heterodyn-Schwebungssignals von dem Test-Interferometer 108 verwendet werden. In dieser Ausführung wird das Heterodyn-Schwebungssignal von dem Test-Interferometer in gleichen optischen Frequenz-Zuwächsen abgetastet. Daher hängen die von den orthogonalen Filtern wiederhergestellten Signale von der optischen Frequenz ν ab. Die wiederhergestellten Signale r(ν) und ϕ(ν) sind die Amplitude bzw. die Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von dem Test-Interferometer 106.
  • Drei beispielhafte Verfahren zur Ermittlung der optischen Charakteristika der zu testenden Vorrichtung, einschließlich: (i) Amplitude r(ν), (ii) Phase θ(ν) und (iii) Gruppenverzögerung τg(ν), werden gezeigt, welche die Heterodyn-Schwebungssignale s(t), die von dem Referenz- und dem Test-Interferometer 106 und 108 erzeugt werden, verwenden. Diese Ver fahren umfassen (i) Phasen-Subtraktion (ii) Ableitungsverhältnis (d. h. Division) und (iii) Taktung.
  • Die 21 zeigt ein beispielhaftes Blockdiagramm 2100, welches das Phasen-Subtraktionsverfahren zur Berechnung der Gruppenverzögerung des optischen DUT 104 verwendet. Wie gezeigt ist, wird die Phase ϕR(t), die von dem Referenz-Interferometer 106 erzeugt wird, mit α = τTR gewichtet und von der Test-Phase ϕT, die von dem Test-Interferometer 108 erzeugt wird, subtrahiert. Die Subtraktion entfernt alle Nicht-Gleichförmigkeit des Durchlaufs, die mit Phasen-Störungen der stimmbaren Laserquelle verknüpft ist. Im Ergebnis weist die Phase θ(t) wesentliche Information über die Dispersion auf. Die Phase θ(t) wird in eine optische Frequenzfunktion θ(ν) umgewandelt und wird dann abgeleitet, um die Gruppenverzögerung τg(ν) zu erhalten. Die Amplitude rT(t) wird auch in eine Funktion rT(ν) in dem optischen Frequenzbereich umgewandelt.
  • Die 22 ist ein beispielhaftes Blockdiagramm 2200, welches das Ableitungsverhältnis-Verfahren zur Berechnung der Gruppenverzögerung des optischen DUT 104 verwendet. Die Phasenfunktionen ϕT(t) und ϕR(t) werden durch Differenzierer 2205a bzw. 2205b abgeleitet und durch einen Dividierer 2210 dividiert. Das Verfahren der Division entfernt Nicht-Gleichförmigkeit des Durchlaufs, die mit Störungen verknüpft sind. Die resultierende Funktion ist gleich der Gruppenverzögerung τg(t) nach der Multiplikation mit τR. Die Gruppenverzögerung τg(t) und die Amplitude rT(t) werden durch die Umwandlungsfunktion 2000 von den Zeitfunktionen in die optischen Frequenzfunktionen umgewandelt.
  • Die 23 ist ein beispielhaftes Blockdiagramm 2300, welches das Taktungsverfahren zur Berechnung der Gruppenverzögerung τg(ν) des optischen DUT 104 verwendet. Das Heterodyn-Schwebungssignal s(t) des Referenz-Interferometers kann verwendet werden, um die Akquisition des Heterodyn-Schwebungssignals von dem Test-Interferometer 108 zu takten. Eine solche Implementierung führt dazu, daß das Signal gleichförmig in dem optischen Frequenzbereich ν abgetastet wird. Die orthogonalen Filter werden verwendet, um die optischen Frequenzfunktionen ϕT(ν) und rT(ν) wiederherzustellen. Die Gruppenverzögerung τg(ν) wird erhalten, indem die Ableitung 2015,
    Figure 00200001
    der Phase des Heterodyn-Schwebungssignals von dem Test-Interferometer 108 berechnet wird.
  • Die vorangegangene Beschreibung ist diejenige von beispielhaften Ausführungen zur Implementierung der Prinzipien der vorliegenden Erfindung, und der Schutzumfang der Erfindung sollte nicht notwendigerweise durch diese Beschreibung beschränkt sein. Der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird statt dessen durch die folgenden Ansprüche definiert.

Claims (13)

  1. System zum Messen optischer Charakteristika einer zu testenden optischen Vorrichtung (DUT) (104), das folgendes umfaßt: eine Lichtquelle (112) zum Erzeugen eines optischen Eingangssignals mit einer in der Zeit variierenden Frequenz, wobei Änderungen in der Frequenz des optischen Eingangssignals nicht gleichförmig sind; ein Test-Interferometer (108), welches optisch mit der Lichtquelle (112) gekoppelt ist, um das optische Eingangssignal zu empfangen, wobei das Test-Interferometer (108) das optische DUT (104) enthält und ein Heterodyn-Schwebungssignal in Antwort darauf erzeugt, daß das optische DUT (104) durch das optische Eingangssignal beleuchtet wird; ein Referenz-Interferometer (106), welches eine Referenzphase des optischen Eingangssignals ermittelt; orthogonale Filter zum Berechnen der Amplitude und der Phase des Heterodyn-Schwebungssignals; und Mittel zum Berechnen der optischen Charakteristika des DUT (104) basierend auf der Amplitude und der Phase des Heterodyn-Schwebungssignals und der Referenzphase des optischen Eingangssignals.
  2. System nach Anspruch 1, bei dem die optischen Charakteristika mindestens eines der folgenden Charakteristika umfassen: eine Reflexions-Transferfunktion, eine Transmissions-Transferfunktion, und Gruppenverzögerung.
  3. System nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die Lichtquelle (112) eine stimmbare Laserquelle ist.
  4. System nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem das Referenz-Interferometer (106) nicht-dispersiv oder dispersionskompensiert ist.
  5. System nach Anspruch 1, bei dem die orthogonalen Filter in mindestens einer der folgenden Weisen ausgeführt sind: konphasischer und Quadratur-Filter im Zeitbereich, konphasischer und Quadratur-Filter im Frequenzbereich, ein einseitiger Filter, und ein All-Pass-Filter unter Verwendung einer Hilbert-Transformation.
  6. Verfahren zum Messen optischer Charakteristika einer zu messenden optischen Vorrichtung (DUT) (104), das folgendes umfaßt: Erzeugen eines optischen Eingangssignals mit einer in der Zeit variierenden Frequenz, wobei die Änderungen in der Frequenz des optischen Eingangssignals nicht gleichförmig sind; Beleuchten des optischen DUT mit dem optischen Eingangssignal; Messen eines Heterodyn-Schwebungssignals, welches in Antwort darauf, daß das optische DUT (104) durch das optische Eingangssignal beleuchtet wird, erzeugt wird; Berechnen der Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals unter Verwendung orthogonaler Filter; Ermitteln einer Referenzphase des optischen Eingangssignals; und Berechnen der optischen Charakteristika basierend auf der Amplitude und Phase des Heterodyn-Schwebungssignals und der Referenzphase des optischen Eingangssignals.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, bei dem die Antwort von dem optischen DUT (104) auf das optische Eingangssignal mindestens eine Reflexionsantwort oder eine Transmissionsantwort ist.
  8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, bei dem die Referenzphase des optischen Eingangssignals verwendet wird, um eine optische Frequenz des optischen Eingangssignals zu berechnen.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, bei dem die optische Frequenz verwendet wird, um eine wahre optische Frequenzskala zu ermitteln.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, das ferner das Anzeigen der optischen Charakteristika des optischen DUT (104) auf der wahren optischen Frequenzskala umfaßt.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 10, bei dem die orthogonalen Filter in mindestens einer der folgenden Weisen ausgeführt sind: konphasischer und Quadratur-Filter im Zeitbereich, konphasischer und Quadratur-Filter im Frequenzbereich, ein einseitiger Filter, und ein All-Pass-Filter unter Verwendung einer Hilbert-Transformation.
  12. Verfahren nach Anspruch 6, bei dem die optischen Charakteristika mindestens eines der folgenden Charakteristika umfassen: eine Reflexions-Transferfunktion, eine Transmissions-Transferfunktion, und Gruppenverzögerung.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, bei dem die Berechnung der Gruppenverzögerung mindestens einen der folgenden Vorgänge umfaßt: Subtraktion der Referenzphase von der Phase des Heterodyn-Schwebungssignals, und Division der Phase des Heterodynsignals durch die Referenzphase.
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JP (1) JP2003106944A (de)
DE (1) DE60218250T2 (de)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BRPI0400231A (pt) * 2004-01-13 2005-09-13 Fiberwork Comunicacoees Optica Medidor de parâmetros ópticos e método de caracterização de parâmetros ópticos de dispositivo ópticos multi-portas
EP1721138A1 (de) * 2004-02-26 2006-11-15 Agilent Technologies, Inc., A Delaware Corporation Interferometrische bestimmung der transfer-funktion
US7305158B2 (en) * 2004-04-15 2007-12-04 Davidson Instruments Inc. Interferometric signal conditioner for measurement of absolute static displacements and dynamic displacements of a Fabry-Perot interferometer
US7492463B2 (en) 2004-04-15 2009-02-17 Davidson Instruments Inc. Method and apparatus for continuous readout of Fabry-Perot fiber optic sensor
US20050259270A1 (en) * 2004-05-21 2005-11-24 The Regents Of The University Of California Fiberoptic fabry-perot optical processor
WO2006068875A2 (en) * 2004-12-14 2006-06-29 Luna Innovations Inc. Compensating for time varying phase changes in interferometric measurements
EP1681540A1 (de) * 2004-12-21 2006-07-19 Davidson Instruments, Inc. Mehrkanalarrayprozessor
US7864329B2 (en) * 2004-12-21 2011-01-04 Halliburton Energy Services, Inc. Fiber optic sensor system having circulators, Bragg gratings and couplers
US20060274323A1 (en) * 2005-03-16 2006-12-07 Gibler William N High intensity fabry-perot sensor
KR100719892B1 (ko) * 2005-03-23 2007-05-18 광주과학기술원 다중모드광섬유의 모드간 차등지연시간 측정장치
US7609385B2 (en) * 2005-08-18 2009-10-27 Alcatel-Lucent Usa Inc. Method and apparatus for characterization of the response of optical devices
JP2007071790A (ja) * 2005-09-08 2007-03-22 Saitama Univ Memsの動作診断装置及び動作診断方法
US7639368B2 (en) * 2005-09-13 2009-12-29 Halliburton Energy Services, Inc. Tracking algorithm for linear array signal processor for Fabry-Perot cross-correlation pattern and method of using same
US7684051B2 (en) 2006-04-18 2010-03-23 Halliburton Energy Services, Inc. Fiber optic seismic sensor based on MEMS cantilever
EP2021747B1 (de) 2006-04-26 2018-08-01 Halliburton Energy Services, Inc. Faseroptischer seismischer mems-sensor mit von schwenkbalken getragener masse
US7515276B2 (en) * 2006-07-26 2009-04-07 Luna Innovations Incorporated High resolution interferometric optical frequency domain reflectometry (OFDR) beyond the laser coherence length
US8115937B2 (en) * 2006-08-16 2012-02-14 Davidson Instruments Methods and apparatus for measuring multiple Fabry-Perot gaps
US7787128B2 (en) * 2007-01-24 2010-08-31 Halliburton Energy Services, Inc. Transducer for measuring environmental parameters
WO2008105322A1 (ja) * 2007-02-28 2008-09-04 Nippon Telegraph And Telephone Corporation 光リフレクトメトリ測定方法および装置
US9221056B2 (en) * 2007-08-29 2015-12-29 Canon U.S. Life Sciences, Inc. Microfluidic devices with integrated resistive heater electrodes including systems and methods for controlling and measuring the temperatures of such heater electrodes
US8306773B2 (en) 2007-08-29 2012-11-06 Canon U.S. Life Sciences, Inc. Microfluidic devices with integrated resistive heater electrodes including systems and methods for controlling and measuring the temperatures of such heater electrodes
US8380457B2 (en) * 2007-08-29 2013-02-19 Canon U.S. Life Sciences, Inc. Microfluidic devices with integrated resistive heater electrodes including systems and methods for controlling and measuring the temperatures of such heater electrodes
US8180216B2 (en) * 2007-12-20 2012-05-15 Verizon Patent And Licensing Inc. Latency measurement in optical networks
JP5194963B2 (ja) * 2008-04-03 2013-05-08 株式会社ニコン 波形解析装置、波形解析プログラム、干渉計装置、パターン投影形状測定装置、及び波形解析方法
KR101522318B1 (ko) 2010-10-14 2015-05-27 파이버소닉스 인크. 간섭계 시스템
CN102749035B (zh) * 2012-06-29 2015-04-15 浙江睿思特智能科技有限公司 光纤光栅位移传感器及传感方法
CN104792502B (zh) * 2015-04-29 2017-12-08 重庆大学 一种测量弱光纤光栅反射率的方法
JP7074311B2 (ja) * 2017-08-30 2022-05-24 国立研究開発法人産業技術総合研究所 光学的距離測定装置および測定方法
US11026575B2 (en) 2018-01-23 2021-06-08 Amo Development, Llc Methods and systems of optical coherence tomography with fiducial signal for correcting scanning laser nonlinearity
JP7020385B2 (ja) * 2018-11-29 2022-02-16 日本電信電話株式会社 位相測定方法、信号処理装置、およびプログラム
WO2020261391A1 (ja) * 2019-06-25 2020-12-30 三菱電機株式会社 信号処理装置、信号処理方法及びレーダ装置
CN110601754B (zh) * 2019-09-02 2022-03-04 东南大学 一种基于微波光子下变频的光器件光谱响应测试装置及方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4856899A (en) * 1985-12-20 1989-08-15 Yokogawa Electric Corporation Optical frequency analyzer using a local oscillator heterodyne detection of incident light
US4905244A (en) * 1986-09-26 1990-02-27 United States Department Of Energy Heterodyne laser spectroscopy system
US5062703A (en) * 1988-01-21 1991-11-05 Hewlett-Packard Company Method and apparatus for measuring the length of, or distances to discontinuities in, an optical transmission medium
US4921347A (en) * 1988-01-25 1990-05-01 Hewlett-Packard Company Method and apparatus for calibrating a lightwave component measurement system
US5202745A (en) * 1990-11-07 1993-04-13 Hewlett-Packard Company Polarization independent optical coherence-domain reflectometry
US5293213A (en) * 1992-08-12 1994-03-08 Klein Uwe K A Utilization of a modulated laser beam in heterodyne interferometry
JP3222562B2 (ja) * 1992-08-25 2001-10-29 株式会社東芝 光ネットワークアナライザ
DE4333423C2 (de) 1993-09-30 1997-04-10 Fraunhofer Ges Forschung Interferometrisches Verfahren und Interferometer mit einem Diodenlaser
US5801830A (en) * 1996-02-14 1998-09-01 Wavelinq, Inc. Apparatus and associated methods of detecting optical carriers and measuring characteristics thereof
FR2745082B1 (fr) * 1996-02-16 1998-04-30 Univ Geneve Procede et dispositif de mesure de la dispersion de polarisation d'une fibre optique
US5780843A (en) * 1996-07-16 1998-07-14 Universite Laval Absolute optical frequency calibrator for a variable frequency optical source
US6312373B1 (en) * 1998-09-22 2001-11-06 Nikon Corporation Method of manufacturing an optical system
US6434176B1 (en) * 1999-02-05 2002-08-13 Zygo Corporation Frequency stabilized laser system
US6204924B1 (en) * 1999-02-23 2001-03-20 Exfo Electro-Optical Engineering Inc. Method and apparatus for measuring polarization mode dispersion of optical devices
US6359692B1 (en) * 1999-07-09 2002-03-19 Zygo Corporation Method and system for profiling objects having multiple reflective surfaces using wavelength-tuning phase-shifting interferometry
DE60001353T2 (de) * 2000-11-17 2003-06-26 Agilent Technologies Inc Polarisationsdispersionsmessverfahren für optische Geräte und Vorrichtung dazu
US6486961B1 (en) * 2001-05-08 2002-11-26 Agilent Technologies, Inc. System and method for measuring group delay based on zero-crossings

Also Published As

Publication number Publication date
EP1286150A3 (de) 2004-04-14
US20030053068A1 (en) 2003-03-20
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US6900896B2 (en) 2005-05-31

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