-
Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Halbleiterlaser und ein Verfahren
zum Herstellen desselben und, im besonderen, einen Halbleiterlaser
des Typs mit selbstpositionierendem gestuften Substrat (S3-Typ) und ein Verfahren zum Herstellen desselben.
-
Die
Struktur eines zuvor vorgeschlagenen Halbleiterlasers des S3-Typs ist in 1 der beiliegenden
Zeichnungen gezeigt.
-
In 1 sind
eine n-Typ-Mantelschicht 102, die aus n-AlGaInP gebildet ist, eine verspannte
aktive Quantenmuldenschicht 103, eine erste p-Typ-Mantelschicht 104,
die aus p-AlGaInP
gebildet ist, eine alternativ pn-dotierte (Strom)-Blockierschicht 105,
die aus AlGaInP gebildet ist, eine zweite p-Typ-Mantelschicht 106,
die aus p-AlGaInP gebildet ist, und eine Kontaktschicht 107 aus
p-GaAs der Reihe nach auf einem n-GaAs-Substrat 101 gebildet,
auf dem eine Stufe 101a mit einer geneigten Ebene ausgebildet
ist. Jeweilige Schichten 102 bis 107 auf dem n-GaAs-Substrat 101 haben
eine geneigte Ebene, die zu der geneigten Ebene der Stufe 101a jeweilig fast
parallel ist. Ferner wird die alternativ dotierte Blockierschicht 105 aufgrund
der Eigenschaft gebildet, daß die
n-Typ-Verunreinigung ohne weiteres in den flachen Abschnitt eingebaut
wird, wenn die p-Typ-Verunreinigung und die n-Typ-Verunreinigung beim
Wachsen alternativ zugeführt
werden. Im Gegensatz dazu wird die p-Typ-Verunreinigung vorzugsweise
in den Abschnitt, der zu der geneigten Ebene der Stufe 101a parallel
ist, der AlGaInP-Schicht eingebaut, die die alternativ dotierte Blockierschicht 105 darstellt,
um dadurch die p-Typ-Mantelschicht 104 zu bilden.
-
In 1 sind
die n-Typ-Mantelschicht 102 und die p-Typ-Mantelschichten 104, 106 durch
gestrichelte Linien in erste bis vierte Schichtregionen 111 bis 114 geteilt.
Die ersten bis vierten Schichtregionen 111 bis 114 sind
Abschnitte, in denen sich ein Verhältnis der Flußrate des
Materialgases der Gruppe V zu der Flußrate des Materialgases der
Gruppe III (im folgenden als "V/III-Verhältnis" bezeichnet) jeweilig
verändert,
oder Abschnitte, in denen sich die Wachstumstemperatur jeweilig
verändert.
-
Im
besonderen sind die ersten und vierten Schichtregionen 111, 114 die
Abschnitte, die mit dem hohen V/III-Verhältnis oder der niedrigen Wachstumstemperatur
gebildet werden, und die zweiten und dritten Schichtregionen 112, 113 sind
die Abschnitte, die mit dem niedrigen V/III-Verhältnis oder der hohen Wachstumstemperatur
gebildet werden. Die Erläuterung
folgt nun anhand des Beispiels der Schritte zum Verändern des
V/III-Verhältnisses
des Materialgases, wobei aber ähnliche
Vorteile und Strukturen durch das Verändern der Wachstumstemperatur
erreicht werden können.
-
Zum
Unterscheiden dient das V/III-Verhältnis zur Veränderung
von Linien, die die flachen Abschnitte und die Stufenabschnitte
der Mantelschichten 102, 104, 106 definieren,
d.h., von jeweiligen Profilen von Grenzlinien zwischen den flachen
Oberflächen
und den geneigten Ebenen der ersten bis vierten Schichtregionen 101 bis 114 (im
folgenden als "Wachstumsprofile" bezeichnet). In 1 kennzeichnen
Strichpunktlinien Wachstumsprofillinien, die die Veränderung
des Wachstumsprofils angeben.
-
Übrigens
ist in den Mantelschichten 102, 104, 106 ein
Winkel θ zwischen
dem flachen Abschnitt und der Wachstumsprofillinie in den Abschnitten
klein, die mit dem hohen V/III-Verhältnis gewachsen sind, und dieser
Winkel θ weist
eine Tendenz zur Zunahme auf, wenn das V/III-Verhältnis verringert wird.
Zum Beispiel ist ein Winkel θ01 der Wachstumsprofillinie der ersten Schichtregion 111 kleiner
als ein Winkel θ02 der Wachstumsprofillinie der zweiten Schichtregion 112,
und ein Winkel θ03 der Wachstumsprofillinie der dritten Schichtregion 113 ist
größer als ein
Winkel θ04 der Wachstumsprofillinie der vierten Schichtregion 114.
-
Es
ist herausgefunden worden, daß in
den ersten bis vierten Schichtregionen 111 bis 114 der Winkel θ zwischen
dem flachen Abschnitt und der Wachstumsprofillinie die Polarisationsebene
des Laserstrahls bei der Laseroszillation beeinflußt und daß die Polarisationsebene
zu der Wachstumslinie im wesentlichen senkrecht wird. In der Beziehung
zwischen der Strahlform des Laserstrahls und der Richtung der Polarisationsebene
wird auf der Basis der Anforderung zum Beibehalten der Kompatibilität mit den
Lasern mit anderen Strukturen verlangt, daß die Polarisationsebene in
der parallelen Richtung zu der geneigten Ebene der aktiven Schicht 103 liegen
sollte. Das heißt,
der Winkel θ muß so festgelegt
werden, um zu der geneigten Ebene der aktiven Schicht 103 etwa
90 Grad zu betragen.
-
In
dieser zuvor vorgeschlagenen Struktur wachsen in den Mantelschichten 102, 104, 106 die Abschnitte,
die großen
Einfluß auf
die Polarisationsebene haben und dicht bei der aktiven Schicht 103 liegen,
mit dem niedrigen V/III-Verhältnis,
um ihre Wachstumsprofillinien im wesentlichen senkrecht zu der geneigten
Ebene der aktiven Schicht 103 auszubilden, und auch die
Polarisationsebenen werden parallel zu dem Abschnitt der geneigten
Ebene der aktiven Schicht 103 angeordnet, indem die Abschnitte, die
wenig Einfluß auf
die Polarisationsebene haben und von der aktiven Schicht 103 weit
entfernt sind, mit dem hohen V/III-Verhältnis wachsen. Die geneigte
Ebene (Stufenabschnitt) der aktiven Schicht 103 wird im
folgenden als Streifenabschnitt bezeichnet.
-
Der
Grund dafür,
daß nicht
die gesamten Mantelschichten 102, 104, 106 mit
dem niedrigen V/III-Verhältnis
wachsen, ist der, daß es
in dem Fall, wenn das Wachsen der Schicht an dem Grenzabschnitt
zwischen dem n-GaAs-Substrat 101 und der GaAs-Kontaktschicht 107 mit
dem niedrigen V/III-Verhältnis
erfolgt, schnell zu einem Kristalldefekt an dem Grenzabschnitt zwischen
ihnen kommt, und deshalb sollte solch ein Defekt verhindert werden.
-
Einhergehend
mit der höheren
Geschwindigkeit der optischen Platte als Laserstrahleinstrahlungsobjekt
nimmt indessen die optische Leistung, die der Halbleiterlaser haben
muß, Jahr
für Jahr
zu. Ein Faktor, der die höhere
Leistung des Halbleiterlasers einschränkt, ist der Knick in der gegenwärtigen optischen
Leistungscharakteristik des Halbleiterlasers.
-
Ein
Faktor, der den Knick hervorruft, ist die Erscheinung, daß normalerweise
die Wachstumsprofillinien an den rechten und linken Abschnitten
des Streifenabschnittes nicht völlig
parallel zueinander sind. Falls die Komponenten, die die Polarisationsebene
verschieden modifizieren, an den rechten und linken Abschnitten
des Streifenabschnittes liegen, wird der Transversalmodus des Lasers
instabil.
-
Als
Verfahren zum Stabilisieren solch eines Transversalmodus ist in
der Patentanmeldungsveröffentlichung
(KOKAI) Hei 11-26884 offenbart, daß die Übergangsregion, die erscheint,
wenn die Mantelschicht mit dem niedrigen V/III-Verhältnis
auf der Mantelschicht mit dem hohen V/III-Verhältnis wächst, verwendet werden sollte.
Die Übergangsregion hat die
Eigenschaft, daß sie
bewirkt, daß die
rechten und linken Wachstumslinien des Streifenabschnittes parallel
gebildet werden, um das Knickniveau zu verbessern.
-
In 1 sind
die beiden zweiten und dritten Schichtregionen 112, 113 mit
dem niedrigen V/III-Verhältnis
gewachsen. In diesem Fall entspricht die zweite Schichtregion 112 der Übergangsregion, die
das parallele Bilden der Wachstumsprofillinien bewirkt, und die
dritte Schichtregion 113 entspricht der stabilen Region,
die erscheint, nachdem die Übergangsregion
vollendet ist. Die aktive Schicht 103 ist in der zweiten
Schichtregion 112 gebildet, die als Übergangsregion dient.
-
Um
die Charakteristik in der Klasse von 100 mW durch weiteres Verbessern
des Knickniveaus zu erreichen, ist die weitere Optimierung der Schichtstruktur
erforderlich.
-
Hauptverfahrensweisen
sind das weitere Einengen des Streifenabschnittes und das Verstärken der
Symmetrierung der Wachstumsprofile auf beiden Seiten der aktiven
Schicht 103.
-
2 der
beiliegenden Zeichnungen zeigt eine schematische Schnittansicht,
die erhalten wird, wenn die schmalere Streifenbildung und die Verstärkung der
Wachstumsprofilsymmetrierung der aktiven Schicht unter Einsatz der
Technologie nach Stand der Technik erfolgen. Um in 2 die
Symmetrierung der Wachstumsprofile der aktiven Schicht zu verstärken, wird
die aktive Schicht 103 in dem zentralen Abschnitt der Übergangsregion
vorgesehen, die mit dem niedrigen V/III-Verhältnis
wächst.
Daher werden die zwei Wachstumsprofillinien auf beiden Seiten des Streifenabschnittes
der aktiven Schicht 103 parallel.
-
Jedoch
werden in der in 2 gezeigten Struktur die folgenden
Probleme bei den Vorrichtungscharakteristiken verursacht.
-
Das
erste Problem liegt darin, daß die
Polarisationsebene des Laserstrahls, der von dem Halbleiterlaser
ausgegeben wird, zum Rotieren neigt. Normalerweise scheint die Übergangsregion 112 mit dem
niedrigen V/III-Verhältnis,
die auf der ersten Schichtregion 111 gebildet wird, die
als Wachstumsschicht mit dem hohen V/III-Verhältnis dient, keine Dicke von
etwa 0,5 μm
oder mehr zu haben. Deshalb kann, falls diese Übergangsregion oberen und unteren
Abschnitten der aktiven Region 103 zugeordnet ist, auf
einer Seite nur die Dicke von etwa 0,25 μm gegeben sein. Um die Charakteristikminderung
aufgrund der optischen Absorption des GaAs-Substrates 101 zu verhindern,
muß im
Gegensatz dazu die n-Typ-Mantelschicht 102 wenigstens
eine Dicke von 1,5 μm
haben, und deshalb wird eine Belegungsrate der Schichtregion 111 mit
dem hohen V/III-Verhältnis in
der n-Typ-Mantelschicht 102 hoch. Als Resultat ist es unmöglich, die
Polarisationsebene des Laserstrahls parallel zu dem Streifenabschnitt
der aktiven Schicht 103 beizubehalten.
-
Das
zweite Problem liegt darin, daß eine Breite
zwischen den rechten und linken Blockierschichten 105,
die zwischen der ersten p-Typ-Mantelschicht 104 und der
zweiten p-Typ-Mantelschicht 106 gebildet sind, aufgrund
der schmaleren Streifenbildung eingeengt wird und daher der Vorrichtungswiderstand
zunimmt. Die Blockierschicht 105 wird gemäß dem vorherigen
Vorschlag in der stabilisierten Region gebildet, die mit dem niedrigen
V/III-Verhältnis
wächst
und als dritte Schichtregion 113 dient. In dieser stabilisierten Region
werden die Wachstumsprofillinien in Form des Zeichens "A" gebildet, wenn die Schichtdicke zunimmt,
und somit ist eine starke Tendenz dahingehend zu verzeichnen, daß eine Breite
der geneigten Oberfläche
der p-Typ-Mantelschicht 104 verringert wird. Als Resultat
ist die Widerstandserhöhung
der p-Typ-Mantelschicht 104 zwischen den Stromblockierschichten 105,
die im oberen Ende der dritten Schichtregion 113 gebildet
sind, beträchtlich.
-
Ein
anderer Laser nach Stand der Technik ist aus dem US-Patent US-A-5
862 166 bekannt, worin ein Halbleiterlaser mit gestuftem Substrat
(stepped substrate semiconductor laser: S3-Laser)
(11) offenbart ist, mit einem gestuften
Substrat des n-Typs (60), Mantelschichten des n-Typs (61-63),
einer aktiven Schicht (64), Schichten des p-Typs (65, 66)
und einer alternierend p-n-dotierten Schicht (67a, 67b), die
als Schicht des p-Typs (67a) längs der geneigten Abschnitte
dient, und als Stromblockierschichten des n-Typs (67b) in den Regionen,
die längs
der Hauptebenen orientiert sind, bei dem in der senkrechten Ebene
zu der Bewegungsrichtung von Licht dann, wenn der Winkel zwischen
der ersten Wachstumsprofillinie der ersten Mantelschicht des p-Typs
(65) und der ersten Hauptebene θ11 ist und der Winkel zwischen der zweiten
Wachstumsprofillinie der zweiten Mantelschicht des p-Typs (67)
und der ersten Hauptebene θ12 ist, θ11 > θ12 erfüllt
wird. Eine Schicht des p-Typs (66) mit dem kleineren Wachstumsprofilwinkel θ12 ist zwischen Schichten (65) und
(67) vorgesehen.
-
Es
ist wünschenswert,
einen Halbleiterlaser vorzusehen, bei dem eine Schichtstruktur,
durch die ein Knickniveau einer optischen Leistungscharakteristik
verbessert werden kann, auf einem gestuften Substrat gebildet ist,
und ein Verfahren zum Herstellen desselben.
-
Eine
Ausführungsform
gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann einen Halbleiterlaser
vorsehen, mit: einem gestuften Substrat eines ersten Leitungstyps,
das erste Hauptebenen hat, die eine (100)-Ebene oder eine (n11)-A-Ebene exponieren,
wobei n < 7 ist
und n eine reelle Zahl ist, und eine erste geneigte Ebene, die eine (n111)-A-Ebene exponiert, wobei 2 ≤ n1 < 7
ist und n1 eine reelle Zahl ist; einer Mantelschicht
des ersten Leitungstyps, die auf dem gestuften Substrat gebildet ist;
einer aktiven Schicht, die auf der Mantelschicht des ersten Leitungstyps
gebildet ist und zweite Hauptebenen, die eine (100)-Ebene oder eine (n11)-A-Ebene
exponieren, wobei n < 7
ist und n eine reelle Zahl ist, und eine zweite geneigte Ebene,
die eine (n211)-A-Ebene exponiert, wobei 2 ≤ n2 < 7
ist und n2 eine reelle Zahl ist, über den
ersten Hauptebenen hat; einer ersten Schicht einer Mantelschicht
eines zweiten Leitungstyps, die auf der aktiven Schicht gebildet
ist; und einer alternierend pndotierten Schicht, die auf und in
Kontakt mit der ersten Schicht der Mantelschicht des zweiten Leitungstyps
gebildet ist und als zweite Schicht der Mantelschicht des zweiten
Leitungstyps in einer Region dient, die längs der zweiten geneigten Ebene
angeordnet ist, und als Stromblockierschichten des ersten Leitungstyps
in einer Region dient, die längs
der zweiten Hauptebenen angeordnet ist; bei dem in der senkrechten
Ebene zu der Bewegungsrichtung von Licht, wenn ein Winkel einer
ersten Wachstumsprofillinie zu den zweiten Hauptebenen, welche erste
Wachstumsprofillinie jeweilige Linien der unteren Seite einer oberen geneigten
Ebene und einer unteren geneigten Ebene verbindet, wobei beide geneig ten
Ebenen längs
der zweiten geneigten Ebene gebildet sind, der ersten Schicht der
Mantelschicht des zweiten Leitungstyps θ11 ist
und ein Winkel einer zweiten Wachstumsprofillinie zu den zweiten
Hauptebenen, welche zweite Wachstumsprofillinie jeweilige Linien
der unteren Seite einer oberen geneigten Ebene und einer unteren
geneigten Ebene verbindet, wobei beide geneigten Ebenen längs der
zweiten geneigten Ebene gebildet sind, der zweiten Schicht der Mantelschicht
des zweiten Leitungstyps θ12 ist, θ11 > θ12 erfüllt
wird.
-
Daher
werden in den Mantelschichten des zweiten Leitungstyps, die die
mehrschichtige Struktur haben, die über der aktiven Schicht gebildet
ist, die Stromblockierregionen auf beiden Seiten der geneigten Ebene
in der unteren Region der Mantelschicht des zweiten Leitungstyps
gebildet, worin der Winkel der Wachstumsprofillinie klein ist.
-
Folglich
wird die Neigung der Wachstumsprofillinie der Mantelschicht des
zweiten Leitungstyps, die längs
der geneigten Ebene der aktiven Schicht gebildet ist und zwischen
den Stromblockierregionen liegt, klein, aber das Wachstumsprofil
der Region zwischen den Stromblockierregionen behält auch
dann, wenn die Schichtdicke zunimmt, fast dieselbe Breite bei. Auch
wenn der Streifenabschnitt als schmaler Streifen gebildet wird,
wird deshalb die Mantelschicht des zweiten Leitungstyps zwischen den
Stromblockierregionen nicht eingeengt, und ferner wird der elektrische
Widerstand der Vorrichtung reduziert. Die Reduzierung des elektrischen
Widerstandes der Vorrichtung verhindert eine Verschlechterung des
Knickniveaus der Leistungscharakteristik.
-
Um
zu verhindern, daß die
Breite der geneigten Ebene der Mantelschicht des zweiten Leitungstyps,
die zwischen den Stromblockierregionen gebildet ist, schmal wird,
wird in einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung das Verfahren des Wachsens der Stromblockierregionen
in den stabilen Regionen mit dem niedrigen V/III-Verhältnis nicht verwendet,
sondern es kommt das Verfahren zum Bilden der Stromblockierregionen
mit dem hohen V/III-Verhältnis
oder der niedrigen Wachstumstemperatur zum Einsatz.
-
In
den Schichten, die mit dem hohen V/III-Verhältnis oder der niedrigen Wachstumstemperatur
wachsen, werden die Winkel der Wachstumsprofillinien an den Seitenabschnitten
der geneigten Ebene klein, wobei dennoch die Tendenz, daß die Breite
des Streifenabschnittes reduziert wird, wenn die Schichtdicke zunimmt,
anders als beim Wachsen der stabilen Region, das mit dem niedrigen
V/III-Verhältnis
oder der hohen Wachstumstemperatur erfolgt, klein ist. Deshalb wird
das Wachsen mit niedrigem V/III-Verhältnis auf das Wachsen mit dem
hohen V/III-Verhältnis
in der Stufe mit geringer Dicke von dem stabilen Wachsen mit dem
niedrigen V/III-Verhältnis
umgeschaltet, wobei die Reduzierung der Breite des Streifenabschnittes
nicht auffällig
ist, und dann kann die Zunahme des Vorrichtungswiderstandes dadurch
verhindert werden, indem die Stromblockierregionen unter diesen
Bedingungen durch die alternative pn-Dotierung gebildet werden.
-
Eine
Ausführungsform
gemäß einem
zweiten Aspekt der Erfindung kann ein Halbleiterlaserherstellungsverfahren
vorsehen, mit den Schritten: Bilden einer Mantelschicht eines ersten
Leitungstyps auf einem gestuften Substrat mit einer ersten geneigten
Ebene, die eine (n111)-A-Ebene exponiert,
wobei 2 ≤ n1 < 7
ist und n1 eine reelle Zahl ist, und ersten Hauptebenen,
die eine (100)-Ebene oder eine (n11)-A-Ebene exponieren, wobei n < 7 ist und n eine reelle
Zahl ist, auf beiden Seiten der ersten geneigten Ebene; Bilden einer aktiven
Schicht, die zweite Hauptebenen, die die (100)-Ebene oder die (n11)-A-Ebene exponieren,
wobei n < 7 und
n eine reelle Zahl ist, über
den ersten Hauptebenen hat, und eine zweite geneigte Ebene, die
eine (n211)-A-Ebene exponiert, wobei 2 ≤ n2 < 7
ist und n2 eine reelle Zahl ist, auf der Mantelschicht
des ersten Leitungstyps; Bilden einer ersten Schicht der Mantelschicht
eines zweiten Leitungstyps auf der aktiven Schicht durch Festlegen
eines V/III-Verhältnisses,
das ein Verhältnis
einer Quelle der Gruppe V zu einer Quelle der Gruppe III ist, auf einen
ersten Wert; Bilden einer zweiten Schicht der Mantelschicht des
zweiten Leitungstyps über
der zweiten geneigten Ebene der aktiven Schicht und Bilden von Stromblockierschichten
des ersten Leitungstyps, in Kontakt mit der ersten Schicht, über den zweiten
Hauptebenen der aktiven Schicht durch Festlegen des V/III-Verhältnisses
der Quellen auf einen zweiten Wert, der höher als der erste Wert ist, und
alternatives Einführen
eines Dotanten des zweiten Leitungstyps und eines Dotanten des ersten
Leitungstyps; und Bilden einer dritten Schicht der Mantelschicht
des zweiten Leitungstyps auf der zweiten Schicht der Mantelschicht
des zweiten Leitungstyps und den Stromblockierschichten des ersten
Leitungstyps, während
das V/III-Verhältnis
der Quellen auf dem zweiten Wert gehalten wird.
-
Eine
Ausführungsform
gemäß einem
dritten Aspekt der Erfindung kann ein Halbleiterlaserherstellungsverfahren
vorsehen, mit den Schritten: Bilden einer Mantelschicht eines ersten
Leitungstyps auf einem gestuften Substrat mit einer ersten geneigten Ebene,
die eine (n111)-A-Ebene exponiert, wobei
2 ≤ n1 < 7
ist und n1 eine reelle Zahl ist, und ersten
Hauptebenen, die eine (100)-Ebene oder eine (n11)-A- Ebene exponieren,
wobei n < 7 ist
und n eine reelle Zahl ist, auf beiden Seiten der ersten geneigten Ebene;
Bilden einer aktiven Schicht, die zweite Hauptebenen, die die (100)-Ebene
oder die (n11)-A-Ebene exponieren, wobei n < 7 und n eine reelle Zahl ist, über den
ersten Hauptebenen hat, und eine zweite geneigte Ebene, die eine
(n211)-A-Ebene exponiert, wobei 2 ≤ n2 < 7
ist und n2 eine reelle Zahl ist, auf der Mantelschicht
des ersten Leitungstyps; Bilden einer ersten Schicht der Mantelschicht
des zweiten Leitungstyps auf der aktiven Schicht durch Festlegen
einer Wachstumstemperatur auf einen ersten Wert; Bilden einer zweiten
Schicht der Mantelschicht des zweiten Leitungstyps über der
zweiten geneigten Ebene der aktiven Schicht und Bilden von Stromblockierschichten
des ersten Leitungstyps, in Kontakt mit der ersten Schicht, über den
zweiten Hauptebenen der aktiven Schicht durch Festlegen der Wachstumstemperatur
auf einen zweiten Wert, der niedriger als der erste Wert ist, und
alternatives Einführen
eines Dotanten des zweiten Leitungstyps und eines Dotanten des ersten
Leitungstyps; und Bilden einer dritten Schicht der Mantelschicht
des zweiten Leitungstyps auf der zweiten Schicht der Mantelschicht des
zweiten Leitungstyps und den Stromblockierschichten des ersten Leitungstyps,
während
die Wachstumstemperatur auf dem zweiten Wert gehalten wird.
-
In
einer Struktur, die für
die vorliegende Erfindung relevant ist, diese aber nicht speziell
verkörpert, sind
die Mantelschichten des ersten Leitungstyps, die unter der aktiven
Schicht gebildet sind, auf der gestuften Ebene des Substrates gebildet,
um wenigstens eine vierschichtige Struktur zu haben, und der Winkel
der wachstumsprofillinie der geneigten Ebene der obersten Mantelschicht
des ersten Leitungstyps zu der flachen Hauptebene wird vergrößert, indem
die Winkel der Wachstumsprofillinien der geneigten Ebenen der Mantelschichten
des ersten Leitungstyps zu der Hauptebene verändert werden, um abwechselnd
klein, groß,
klein und groß zu
sein.
-
Demzufolge
kann der Winkel der Wachstumsprofillinie der geneigten Ebene der
Mantelschicht des ersten Leitungstyps, die genau unter der aktiven Schicht
gebildet ist, im wesentlichen rechtwinklig zu dem Streifenabschnitt
der aktiven Schicht festgelegt werden. Zusätzlich sind wenigstens zwei
Schichten, die die Wachstumsprofillinie mit dem Winkel haben, der
im wesentlichen rechtwinklig zu dem Streifenabschnitt der aktiven
Schicht ist, in den Mantelschichten des ersten Leitungstyps alternierend
vorgesehen. Deshalb kann in den Mantelschichten des ersten Leitungstyps
eine Gesamtschichtdicke der Schichten, die die Wachstumsprofillinie
haben, die zu dem Streifenabschnitt der aktiven Schicht im wesentlichen nicht
rechtwinklig wird, viel mehr als nach Stand der Technik reduziert
werden. Als Resultat wird die Rotation der Polarisationsebene des
Laserstrahls unterdrückt,
und somit wird das hohe Knickniveau der Leistungscharakteristik
des Halbleiterlasers beibehalten.
-
Beispielhaft
wird nun Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen genommen, in denen:
-
1 (oben
beschrieben) eine Schnittansicht ist, die ein erstes Beispiel für einen
zuvor vorgeschlagenen Halbleiterlaser des S3-Typs
zeigt;
-
2 (oben
beschrieben) eine Schnittansicht ist, die ein zweites Beispiel für einen
zuvor vorgeschlagenen Halbleiterlaser des S3-Typs
zeigt;
-
3, 4, 5 und 6 Schnittansichten
in der senkrechten Ebene zu der Bewegungsrichtung von Licht sind,
die Schritte zum Bilden des Halbleiterlasers des S3-Typs gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigen; und
-
7 eine
Schnittansicht in der senkrechten Ebene zu der Bewegungsrichtung
von Licht ist, die ein anderes Beispiel für eine Schichtstruktur des Halbleiterlasers
des S3-Typs
gemäß der Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
-
3 bis 6 sind
Schnittansichten, die Schritte zum Bilden des Halbleiterlasers des
S3-Typs gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigen.
-
3 zeigt
einen Querschnitt einer Struktur, worin n-Typ-Mantelschichten auf einem Substrat
mit einer Niveaudifferenz gebildet sind. Diese Struktur wird durch
folgendes Verfahren gebildet.
-
Zuerst
wird ein n-GaAs-Substrat 1, dessen Hauptebene von einer
(100)-Ebene mit einem Winkel von 6 Grad hin zu einer (111)-A-Ebene
versetzt ist und das einen Durchmesser von 2 Zoll hat, vorbereitet.
Als n-Typ-Verunreinigung wird Silizium in das n-GaAs-Substrat 1 mit
der Konzentration von etwa 4 × 1018 cm–3 dotiert.
-
Eine
Niveaudifferenz wird auf der Hauptebene gebildet, indem ein streifenförmiges Resist
(nicht gezeigt) auf der Hauptebene des n-GaAs-Substrates 1 gebildet
wird und dann der Abschnitt, der nicht mit dem Resist bedeckt ist,
unter Einsatz einer fluorwasserstoffhaltigen Lösung bis in eine Tiefe von
etwa 0,5 μm
geätzt
wird. Falls die Hauptebene, die mit dem Resist bedeckt ist, als
obere Hauptebene 1a defi niert ist und die Hauptebene, die
durch das Ätzen
erscheint, als untere Hauptebene 1b definiert ist, wird eine
geneigte Ebene 1c, die eine Ebenenrichtung von ungefähr einer
(411)-A-Ebene hat
und eine Breite von etwa 1,15 μm
hat, an der Grenze zwischen der oberen Hauptebene 1a und
der unteren Hauptebene 1b gebildet. Diese geneigte Ebene 1c hat
die Form eines Streifens, der sich zum Beispiel in einer <011>-Richtung erstreckt.
-
Das
Resist seinerseits wird von dem n-GaAs-Substrat 1 entfernt,
und dann wird eine Pufferschicht 2, die aus n-GaAs gebildet
wird und eine Dicke von 1,0 μm
hat, auf der oberen Hauptebene 1a, der unteren Hauptebene 1b und
der geneigten Ebene 1c des n-GaAs-Substrates 1 gebildet.
In der Pufferschicht 2 erscheint eine geneigte Ebene 2a mit
der Ebenenrichtung von ungefähr
einer (411)-A-Ebene auf der geneigten Ebene 1c des n-GaAs-Substrates 1.
-
Die
GaAs-Schicht, die die Pufferschicht 2 bildet, wird durch
das MOVPE-Verfahren unter Verwendung von Triethylgallium (TEGa:
Ga(C2H5)3) als Galliummaterialgas und Arsin (AsH3) als Arsenmaterialgas gebildet. In diesem
Fall wird die Wachstumsrate auf 1 μm/Stunde festgelegt, und das
V/III-Verhältnis wird
auf 100 festgelegt. Beim Wachsen der GaAs-Schicht wird die n-Typ-Verunreinigung
unter Verwendung von Disilan (Si2H6) als Dotierungsmaterial des n-Typs eingeführt. Die
n-Typ-Verunreinigungskonzentration in der Pufferschicht 2 wird
auf etwa 5 × 1017 cm–3 festgelegt.
-
Eine
Vielzahl von Schichten von der Pufferschicht 2 bis zu einer
Kontaktschicht 14, die später beschrieben ist, wird insgesamt
durch das MOVPE-Verfahren kontinuierlich gebildet, und zwar unter den
Bedingungen einer Substrattemperatur von 680 °C, einem Wachstumsluftdruck
von 50 Torr, einer Wachstumseffektivität von 80 μm/mol und einer Gesamtgasflußrate von
8 slm. Die Gasquelle zum Wachsen dieser Schichten wird der Wachstumsatmosphäre unter
Verwendung von Wasserstoff als Trägergas zugeführt.
-
Dann
wird eine untere Zwischenschicht 3 aus GaInP und mit einer
Schichtdicke von 0,1 μm
auf der Pufferschicht 2 gebildet. Dieses GaInP wird unter den
Bedingungen des V/III-Verhältnisses
von 500 und einer Wachstumsrate von 1 μm/Stunde gebildet. Damit GaInP
wächst,
werden TEGa und Trimethylindium (TMIn: In(CH3)3) als Quellengas der Gruppe III verwendet
und wird auch Phosphin (PH3) als Quellengas
der Gruppe V verwendet. Ferner wird Disilan als Dotant des n-Typs
verwendet, um die Verunreinigungskonzentration in der unteren Zwischenschicht 3 auf
etwa 1×1018 cm18 zu bringen.
Eine geneigte Ebene 3a, die zu der geneigten Ebene 2a der
Pufferschicht 2 parallel ist, wird in der unteren Zwischenschicht 3 gebildet.
-
Zusätzlich werden
erste bis vierte n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 aus
n-AlGaInP der Reihe nach auf der unteren Zwischenschicht 3 gebildet,
während
die Bedingungen verändert
werden. Eine Schichtdicke der ersten n-Typ-Mantelschicht 4 beträgt 0,3 μm, eine Schichtdicke
der zweiten n-Typ-Mantelschicht 5 beträgt 1,0 μm, eine Schichtdicke
der dritten n-Typ-Mantelschicht 6 beträgt 0,3 μm, und eine Schichtdicke der
vierten n-Typ-Mantelschicht 7 beträgt 0,25 μm.
-
Beim
Wachsen der ersten bis vierten n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 werden
Trimethylaluminium (TMAl: Al(CH3)3), TEGa und TMIn als Quellengas der Gruppe
III verwendet und wird Phosphin als Quellengas der Gruppe V verwendet,
und ferner wird Disilan als n-Typ-Dotant verwendet. Die n-Typ-Verunreinigungskonzentration
in den ersten bis vierten n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 wird
auf 5×1017 cm–3 festgelegt.
-
Die
ersten bis vierten n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 haben
obere geneigte Ebenen 4a bis 7a, die zu der geneigten
Ebene 1c des n-GaAs-Substrates 1 jeweilig fast
parallel sind, und haben auch flache Oberflächen, die zu den Hauptebenen 1a, 1b des n-GaAs-Substrates 1 parallel
sind und mit diesen geneigten Ebenen 4a bis 7a jeweilig
verbunden sind.
-
Das
V/III-Verhältnis
zum Wachsen der ersten n-Typ-Mantelschicht 4 wird auf einen
hohen Wert von 270 gesetzt; das V/III-Verhältnis zum Wachsen der zweiten
n-Typ-Mantelschicht 5 wird auf einen niedrigen wert von
etwa 110 gesetzt; das V/III-Verhältnis zum
Wachsen der dritten n-Typ-Mantelschicht 6 wird auf einen
hohen Wert von etwa 270 gesetzt; und das V/III-Verhältnis zum
Wachsen der vierten n-Typ-Mantelschicht 7 wird auf einen
niedrigen Wert von etwa 110 gesetzt.
-
Falls
die ersten bis vierten n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 kontinuierlich
wachsen, während das
V/III-Verhältnis
auf diese Weise verändert
wird, werden Profile der Grenzlinien zwischen den flachen Oberflächen und
den geneigten Ebenen 4a bis 7a in den ersten bis
vierten n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 (Wachstumsprofile)
jeweilig verändert.
-
Veränderungen
der Profile der Grenzlinien zwischen den unteren flachen Oberflächen und
den geneigten Ebenen 4a bis 7a in den ersten bis
vierten n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 (untere
Wachstumsprofile) sind als untere Wachstumsprofillinien gegeben,
die auf der rechten Seite von 3 jeweilig durch
Strichpunktlinien gekennzeichnet sind. Ferner sind Veränderungen
der Profile der Grenzlinien zwischen den oberen flachen Oberflächen und
den geneigten Ebenen 4a bis 7a in den ersten bis
vierten n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 (obere Wachstumsprofile)
als obere Wachstumsprofillinien gegeben, die auf der linken Seite
von 3 jeweilig durch Strichpunktlinien gekennzeichnet
sind. In diesem Fall sind mit unteren flachen Oberflächen Flächen gemeint,
die zu der unteren Hauptebene 1b des n-GaAs-Substrates 1 parallel
sind, und mit den oberen flachen Oberflächen sind Flächen gemeint,
die zu der oberen Hauptebene 1a des n-GaAs-Substrates 1 parallel
sind.
-
Mit
anderen Worten: die untere Wachstumsprofillinie der ersten n-Typ-Mantelschicht 4 ist
eine Linie, die eine Linie der unteren Seite der geneigten Ebene 4a der
ersten n-Typ-Mantelschicht 4 und
eine Linie der unteren Seite der geneigten Ebene 3a verbindet. Ähnlich sind
die unteren Wachstumsprofillinien der zweiten bis vierten n-Typ-Mantelschichten 5 bis 7 definiert.
Auch mit anderen Worten ausgedrückt:
die obere Wachstumsprofillinie der ersten n-Typ-Mantelschicht 4 ist
eine Linie, die eine Linie der oberen Seite der geneigten Ebene 4a der
ersten n-Typ-Mantelschicht 4 und eine Linie der oberen
Seite der geneigten Ebene 3a verbindet. Ähnlich sind
die oberen Wachstumsprofillinien der zweiten bis vierten n-Typ-Mantelschichten 5 bis 7 definiert.
-
Wenn
hierbei angenommen wird, daß ein Winkel
zwischen der unteren Wachstumsprofillinie und der unteren flachen
Oberfläche
auf θ1, θ3 in den ersten und dritten n-Typ-Mantelschichten 4, 6 festgelegt
ist, die jeweilig mit dem hohen V/III-Verhältnis wachsen, und daß ein Winkel
zwischen der unteren Wachstumsprofillinie und der unteren flachen
Oberfläche
auf θ2, θ4 in den zweiten und vierten n-Typ-Mantelschichten 5, 7 festgelegt
ist, die jeweilig mit dem niedri gen V/III-Verhältnis wachsen, sind die Größenbeziehungen
zwischen diesen Winkeln θ1, θ2, θ3 und θ4 gegeben als θ1 < θ2, θ2 > θ3, θ3 < θ4.
-
Ferner
wirkt in der zweiten n-Typ-Mantelschicht 5, die eine Dicke
von 1,0 μm
hat und mit dem niedrigen V/III-Verhältnis gebildet wird, die Region, die
eine Dicke von etwa 0,5 μm
ab Beginn des Wachstums erreicht, als Übergangsregion, und ihre untere
Wachstumsprofillinie und ihre obere Wachstumsprofillinie werden
zu der geneigten Ebene 5a fast rechtwinklig, und die Region,
die eine anschließende
Dicke von etwa 0,5 μm
erreicht, wirkt als stabile Region, und ein Abstand der Wachstumsprofillinien
auf beiden Seiten der geneigten Ebene 5a wird ziemlich
schmal.
-
Die
erste n-Typ-Mantelschicht 4 und die dritte n-Typ-Mantelschicht 6 werden
mit dem hohen V/III-Verhältnis
gebildet, und ihre Winkel θ1, θ3 zwischen den Wachstumsprofillinien auf
beiden Seiten dieser geneigten Ebenen 4a, 6a und
den geneigten Ebene 4a, 6a sind im wesentlichen
nicht rechtwinklig. Eine Schichtdicke der ersten und dritten n-Typ-Mantelschichten 4, 6 beträgt jedoch
insgesamt etwa 0,6 μm
und beläuft
sich damit auf ungefähr
32 % der Gesamtschichtdicke der n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 und
ist kleiner als nach Stand der Technik. Deshalb kann die Situation
eliminiert werden, daß die
ersten und dritten n-Typ-Mantelschichten 4, 6,
die Wachstumsprofillinien mit solch einer Neigung haben, die Polarisationsebene
des Laserstrahls rotieren.
-
Da
eine Dicke der vierten n-Typ-Mantelschicht 7, die mit dem
niedrigen V/III-Verhältnis
auf der dritten n-Typ-Mantelschicht 6 gebildet
wird, die mit dem hohen V/III-Verhältnis gebildet
ist, 0,25 μm beträgt, bilden
die untere wachstumsprofillinie und die obere Wachstumsprofillinie
der vierten n-Typ-Mantelschicht 7 im wesentlichen einen
rechten Winkel (d.h., sie sind rechtwinklig) zu der geneigten Ebene 7a.
Der "im wesentlichen
rechte Winkel" ist
ein Winkel, der ausgehend von 90 Grad innerhalb des Bereiches von ± 15 Grad,
jedoch vorzugsweise von ± 10
Grad liegt.
-
Nachdem
die n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 wie oben beschrieben
gebildet sind, wie in 4 gezeigt, wird eine verspannte
aktive Quantenmuldenschicht 8 auf der vierten n-Typ-Mantelschicht 7 gebildet,
und dann werden darauf sequentiell eine erste p-Typ-Mantelschicht 9 und
eine zweite p-Typ-Mantelschicht 10 gebildet.
-
Die
verspannte aktive Quantenmuldenschicht 8 hat eine streifenförmige obere
geneigte Ebene 8a, die zu der geneigten Ebene 7a der
vierten n-Typ-Mantelschicht 7 parallel ist und eine Breite
von 1,15 μm
hat. Auch die ersten und zweiten p-Typ-Mantelschichten 9, 10 haben
obere geneigte Ebenen 9a, 10a, die zu der geneigten
Ebene 8a der verspannten aktiven Quantenmuldenschicht 8 jeweilig
parallel sind.
-
Die
verspannte aktive Quantenmuldenschicht 8 hat eine erste
Barrierenschicht 8b, eine erste Muldenschicht 8c,
eine zweite Barrierenschicht 8d, eine zweite Muldenschicht 8e,
eine dritte Barrierenschicht 8f, eine dritte Muldenschicht 8g und
eine vierte Barrierenschicht 8h, die zum Beispiel in der Reihenfolge
auf der vierten n-Typ-Mantelschicht 7 gebildet sind.
-
Die
ersten bis vierten Barrierenschichten 8b, 8d, 8f, 8h sind
aus einer (Al0,5Ga0,5)0,5In0,5P-Schicht gebildet,
die mit einer Wachstumsrate von 1 μm/Stunde gebildet wird und eine
Schichtdicke von 5 nm hat. Damit diese (Al0,5Ga0,5)0,5In0,5P-Schicht wächst, werden TMAl, TEGa und
TMIn als Quellengas der Gruppe III eingesetzt und wird Phosphin
als Quellengas der Gruppe V eingesetzt.
-
Die
ersten bis dritten Muldenschichten 8c, 8e, 8g sind
aus einer Ga0,42In0,58P-Schicht
gebildet, die mit dem V/III-Verhältnis von
330 und der Wachstumsrate von 1 μm/Stunde
gebildet wird und eine Schichtdicke von 5 nm hat. Damit diese Ga0,42In0,58P-Schicht
wächst,
werden TEGa und TMIn als Quellengas der Gruppe III eingesetzt und
wird Phosphin als Quellengas der Gruppe V eingesetzt.
-
In
diesem Fall hat die verspannte aktive Quantenmuldenschicht 8 nicht
den Vorteil, daß sie als
Schicht mit hohem V/III-Verhältnis
das Wachstumsprofil verändern
kann, da ihre Schichtdicke dünn ist.
-
Ferner
ist sowohl die erste p-Typ-Mantelschicht 9 als auch die
zweite p-Typ-Mantelschicht 10 aus einer p-AlGaInP-Schicht gebildet,
die mit dem V/III-Verhältnis
von 110 und der Wachstumsrate von 2,2 μm/Stunde gebildet wird. Damit
diese p-AlGaInP-Schicht wächst,
werden TMAl, TEGa und TMIn als Quellengas der Gruppe III eingesetzt,
wird Phosphin als Quellengas der Gruppe V eingesetzt und wird Diethylzink
(DEZ: (C2H5)Zn)
als p-Typ-Dotant eingesetzt. Das DEZ-Gas wird mit einer Flußrate eingeleitet,
die ein Verhältnis
von 0,1 zu der Flußrate des
Quellengases der Gruppe III hat. Die p-Typ-Verunreinigungskonzentration
in den ersten und zweiten p-Typ-Mantelschichten 9, 10 wird
in den geneigten Ebenen 9a, 10a jeweilig auf 7×1017 cm–3 festgelegt und wird
in den flachen Oberflächen
auf 1,2×1017 cm–3 festgelegt.
-
Auf
diese Weise werden die erste p-Typ-Mantelschicht 9 und
die zweite p-Typ-Mantelschicht 10 unter denselben Bedin gungen
gebildet. In diesem Fall ist die erste p-Typ-Mantelschicht 9 in
der Übergangsregion
angeordnet, die mit dem niedrigen V/III-Verhältnis über der dritten n-Typ-Mantelschicht 6 gebildet
ist, die mit dem hohen V/III-Verhältnis gebildet wird. Winkel
der Wachstumsprofillinien auf beiden Seiten der geneigten Ebene 9a sind
mit den Winkeln θ4 der Wachstumsprofillinien auf beiden Seiten der
geneigten Ebene 7a der vierten n-Typ-Mantelschicht 7 identisch
und bilden im wesentlichen einen rechten Winkel zu der geneigten
Ebene 8a der verspannten aktiven Quantenmuldenschicht 8.
Als Resultat kann die verspannte aktive Quantenmuldenschicht 8 im
Zentrum der Übergangsregion
positioniert sein, die mit dem niedrigen V/III-Verhältnis gebildet
wird.
-
Im
Gegensatz dazu ist die zweite p-Typ-Mantelschicht 10 eine
stabile Schicht, die von der dritten n-Typ-Mantelschicht 6,
die mit dem hohen V/III-Verhältnis
gebildet wird, um 0,5 μm
oder mehr entfernt ist, wird ein Abstand zwischen den Wachstumsprofillinien
auf beiden Seiten der geneigten Ebene 10a hin zu der oberen
Position allmählich
eingeengt, und somit bilden die Winkel der Wachstumsprofillinien
auf beiden Seiten der geneigten Ebene 10a im wesentlichen
keinen rechten Winkel zu der geneigten Ebene 8a der verspannten
aktiven Quantenmuldenschicht 8. Da eine Schichtdicke der
zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 jedoch nahezu 0,1 μm beträgt, ist
eine Breite der geneigten Ebene 10a geringfügig schmaler
als eine Breite der geneigten Ebene 9a der ersten p-Typ-Mantelschicht 9,
wird aber nicht so schmal, um die Stromdurchgangsregion wesentlich
einzuengen.
-
Als
nächstes
wird, wie in 5 gezeigt, eine dritte p-Typ-Mantelschicht 11 aus
AlGaInP mit einer Dicke von 1,1 μm
auf der zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 gebildet.
-
Um
die dritte p-Typ-Mantelschicht 11 zu bilden, werden TMAl,
TEGa und TMIn als Quellengas der Gruppe III eingesetzt, wird Phosphin
als Quellengas der Gruppe V eingesetzt, wird das V/III-Verhältnis auf
270 erhöht
und wird die Wachstumsrate auf 2,2 μm/Stunde festgelegt und werden
DEZ als p-Typ-Dotierungsquelle
und H2Se als n-Typ-Dotierungsquelle alternativ
zugeführt,
bis die Schichtdicke 0,35 μm
erreicht. Daher kann die dritte p-Typ-Mantelschicht 11 nur
auf der geneigten Ebene 10a der zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 gebildet
werden, bis die Schichtdicke ab dem Boden 0,35 μm erreicht. Im Gegensatz dazu
inkorporiert AlGaInP, das auf dem flachen Abschnitt der zweiten
p-Typ-Mantelschicht 10 wächst, außer dem p-Typ-Dotanten viele
n-Typ-Dotanten, um im wesentlichen den n-Typ aufzuweisen. Solches
n-Typ-AlGaInP mit einer Schichtdicke von 0,35 μm wird als n-Typ-Stromblockierschichten 12a, 12b beiderseits
der Schräge 10a aufgetragen.
-
Die
Erscheinung, daß AlGaInP,
das auf diese Weise durch die alternative Zufuhr des n-Typ-Dotanten
und des p-Typ-Dotanten
wächst,
in der geneigten Ebene den p-Typ und in der flachen Oberfläche den n-Typ
aufweist, ist auf die Abhängigkeit
der Einbauraten des n-Typ-Dotanten und des p-Typ-Dotanten von der
Ebenenrichtung zurückzuführen.
-
Daher
wird die dritte p-Typ-Mantelschicht 11, die zu der geneigten
Ebene 10a parallel ist und deren stoffliche p-Typ-Verunreinigungskonzentration
auf 7×1017 cm–3 festgelegt wird, auf
der geneigten Ebene 10a der zweiten p-Typ-Mantel schicht 10 gebildet, während die
n-Typ-Stromblockierschichten 12a, 12b, deren stoffliche
n-Typ-Verunreinigungskonzentration auf 6×1017 cm–3 festgelegt
wird, auf der flachen Oberfläche
der zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 gebildet wird.
-
Wenn
AlGaInP in einer Dicke von 0,35 μm gebildet
wird, während
der n-Typ-Dotant und der p-Typ-Dotant auf diese Weise alternativ
umgeschaltet werden, und dann AlGaInP in einer Dicke von 0,75 μm gebildet
wird, während
nur DEZ kontinuierlich als Dotant zugeführt wird, vergrößert die
dritte p-Typ-Mantelschicht 11 nicht nur die Schichtdicke
auf der geneigten Ebene 10a der zweiten p-Typ-Mantelschicht 10,
sondern sie wird auch auf den n-Typ-Stromblockierschichten 12a, 12b gebildet. Deshalb
ist die p-Typ-Halbleiterschicht auf und unter den n-Typ-Stromblockierschichten 12a, 12b vorhanden,
und somit existiert ein pnp-Übergang über beiden
Seiten der geneigten Ebene 8a der verspannten aktiven Quantenmuldenschicht 8.
-
In
der dritten p-Typ-Mantelschicht 11 wird die p-Typ-Verunreinigungskonzentration
in den flachen Regionen auf den n-Typ-Stromblockierschichten 12a, 12b auf
1,2×1017 cm–3 festgelegt und wird
die p-Typ-Verunreinigungskonzentration in der Region der geneigten
Ebene 11a, die zwischen diesen flachen Regionen gebildet
ist, auf 7×1017 cm–3 festgelegt.
-
Falls
angenommen wird, daß ein
Winkel zwischen der unteren Wachstumsprofillinie, die an der Grenze
zwischen der geneigten Ebene 11a der dritten p-Typ-Mantelschicht 11 und
der unteren flachen Oberfläche
erscheint, und der unteren flachen Oberfläche θ12 ist
und ferner ein Winkel zwischen der unteren Wachstumsprofillinie,
die an der Grenze zwischen der geneigten Ebene 10a der
zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 und der unteren flachen Oberfläche erscheint,
und der unteren flachen Oberfläche θ11 ist, wird θ12 kleiner
als θ11, Im besonderen wird der Winkel θ12 der Wachstumsprofillinie der dritten p-Typ-Mantelschicht 11,
die mit dem hohen V/III-Verhältnis
gebildet wird, kleiner als der Winkel θ11 der
Wachstumsprofillinien der ersten und zweiten p-Typ-Mantelschichten 9, 10,
die mit dem niedrigen V/III-Verhältnis
gebildet werden, wobei dennoch die Tendenz, daß die Breite der geneigten
Ebene 11a bei Erhöhung
der Schichtdicke reduziert wird, in solch einer dritten p-Typ-Mantelschicht 11 anders
als in der zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 klein ist. Als
Resultat wird, falls die dritte p-Typ-Mantelschicht 11 durch
Erhöhen
des V/III-Verhältnisses
in der Stufe mit der kleinen Dicke gebildet wird, bevor die Reduzierung der
Streifenbreite der geneigten Ebene 10a der zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 auffällig wird,
die Region, durch die der Strom fließt, nicht eingeengt, und somit kann
die Erhöhung
des Vorrichtungswiderstandes verhindert werden.
-
Mit
anderen Worten, die untere Wachstumsprofillinie der zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 entspricht
einer Linie, die die Linie der unteren Seite der geneigten Ebene 10a der
zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 und die Linie der unteren
Seite der geneigten Ebene 9a verbindet. Auch die untere
Wachstumsprofillinie der dritten p-Typ-Mantelschicht ist ähnlich definiert.
Mit anderen Worten: die obere Wachstumsprofillinie der zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 entspricht
zusätzlich
einer Linie, die die Linie der oberen Seite der geneigten Ebene 10a der
zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 und die Linie der oberen
Seite der geneigten Ebene 9a verbindet.
-
Auch
die obere Wachstumsprofillinie der dritten p-Typ-Mantelschicht 11 ist ähnlich definiert.
-
Indessen
liegt ein optimaler Punkt an der Position in der Dickenrichtung
der Stromblockierschichten 12a, 12b. Die Verfahrensweise,
daß die
Stromblockierschichten 12a, 12b auf der ersten p-Typ-Mantelschicht 9 durch
Weglassen der zweiten p-Typ-Mantelschicht 10 gebildet werden,
um die verspannte aktive Quantenmuldenschicht 8 zu erreichen,
kann nicht zur Anwendung kommen, da im Gegenteil durch solch eine
Verfahrensweise die Temperaturcharakteristik gemindert wird.
-
Als
nächstes
werden, wie in 5 gezeigt, eine obere Zwischenschicht 13 und
eine Kontaktschicht 14 der Reihe nach auf der dritten p-Typ-Mantelschicht 11 gebildet.
-
Die
obere Zwischenschicht 13 wird aus einer p-GaInP-Schicht gebildet,
die mit dem V/III-Verhältnis
von 100 gebildet wird und eine Schichtdicke von 0,1 μm hat. Damit
die GaInP-Schicht wächst,
werden TEGa und TMIn als Quellengas der Gruppe III eingesetzt, wird
Phosphin als Quellengas der Gruppe V eingesetzt und wird DEZ als
p-Typ-Dotierungsquelle eingesetzt. Weiterhin wird eine geneigte
Ebene 13a, die zu der geneigten Ebene 11a der
dritten p-Typ-Mantelschicht 11 parallel ist, in der oberen Schicht 13 gebildet,
und die p-Typ-Verunreinigungskonzentration in der Region der geneigten
Ebene 13a wird auf 7×1017 cm–3 festgelegt.
-
Dann
wird die Kontaktschicht 14, die auf der oberen Zwischenschicht 13 gebildet
wird, aus einer p-GaAs-Schicht gebildet, die mit dem V/III-Verhältnis von
100 gebildet wird und eine Schichtdicke von 1 μm hat. Damit die GaAs-Schicht
wächst,
wird TEGa als Quellengas der Gruppe III eingesetzt, wird Arsin als Quellengas
der Gruppe V eingesetzt und wird DEZ als p-Typ-Dotierungsquelle
eingesetzt. Ferner wird eine geneigte Ebene 14a, die zu
der geneigten Ebene 13a der oberen Zwischenschicht 13 parallel
ist, in dieser Kontaktschicht 14 gebildet, und die p-Typ-Verunreinigungskonzentration
in der Region der geneigten Ebene 14a wird auf 2×1018 cm–3 festgelegt.
-
Bei
den obigen Schritten wird der Winkel der Wachstumsprofillinie durch
das Verändern
des V/III-Verhältnisses
geändert.
In diesem Fall kann der Winkel der Wachstumsprofillinie geändert werden,
indem die Wachstumstemperatur verändert wird, während das
V/III-Verhältnis
fast konstant gehalten wird. Diese Wachstumstemperatursteuerung
erfolgt so, daß dann,
falls der Winkel der Wachstumsprofillinie zu der flachen Oberfläche verringert
wird, die Wachstumstemperatur auf einen niedrigen Wert gesetzt wird
und dann, falls der Winkel der Wachstumsprofillinie zu der flachen
Oberfläche
vergrößert wird,
die Wachstumstemperatur auf einen hohen Wert gesetzt wird. So wird
die Wachstumstemperatur zum Beispiel um 10 °C relativ abgesenkt, statt das
V/III-Verhältnis auf
270 zu erhöhen.
-
Nachdem
die Bildung der Halbleiterschichten durch das obige MOVPE-Verfahren
vollendet ist, wie in 6 gezeigt, wird eine Elektrode
der n-Seite 15 aus Au/AuGe auf einer unteren Fläche des n-GaAs-Substrates 1 gebildet,
und dann wird eine Elektrode der p-Seite 16 aus Au/Zn/Au
auf der Kontaktschicht 14 gebildet.
-
Gemäß dem in 6 gezeigten
Halbleiterlaser werden beim Bilden der n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 die
Schritte zum Erhöhen
und Verringern des V/III-Verhältnisses
der Quellengase oder die Schritte zum Erhöhen und Verringern der Wachstumstemperatur
in wenigstens zwei Perioden verändert, wie
in 6 gezeigt. Da zwei Schichten vorhanden sind, die
ein nahezu senkrechtes Wachstumsprofil zu der geneigten Ebene 8a der
verspannten aktiven Quantenmuldenschicht 8 haben, kann
deshalb die Rotation der Polarisationsebene des Laserstrahls, der
von der verspannten aktiven Quantenmuldenschicht 8 ausgegeben
wird, auch dann unterdrückt
werden, wenn die Gesamtdicke der n-Typ-Mantelschichten 4 bis 7 auf
1,5 μm festgelegt
wird. Da zusätzlich
die verspannte aktive Quantenmuldenschicht 8 in der Übergangsregion
A der Halbleiterschichten gebildet ist, die mit dem niedrigen V/III-Verhältnis gebildet
werden, erscheinen die Wachstumsprofillinien auf beiden Seiten des
Streifenabschnittes 8a in der senkrechten Richtung zu der
geneigten Ebene 8a. Als Resultat ist es möglich, eine
höhere
Knickausgabe als nach Stand der Technik einzuhalten.
-
Ferner
werden in dem obigen Halbleiterlaser die Stromblockierschichten 12a, 12b im
Anfangsstadium des Wachsens der dritten p-Typ-Mantelschicht 11 gebildet,
die mit dem hohen V/III-Verhältnis
gebildet wird. In der Halbleiterschicht, die mit dem hohen V/III-Verhältnis gebildet
wird, wird der Winkel θ12 der Wachstumsprofillinien auf beiden Seiten
der geneigten Ebene 11a zu der flachen Oberfläche verringert, wodurch
dennoch die Veränderung
der Streifenbreite der geneigten Ebene 11a reduziert werden
kann. Auch wenn die Breite der geneigten Ebene des Streifens 8a,
die als Lichtemissionsregion der verspannten aktiven Quantenmuldenschicht 8 dient,
auf etwa 1,15 μm
eingeengt wird, wird deshalb der Vorrichtungswiderstand nicht erhöht, und
es ist auch möglich,
das Knickniveau mehr als nach Stand der Technik zu erhöhen.
-
Falls
zum Beispiel in der in 2 gezeigten Struktur nach Stand
der Technik die Resonatorlänge auf
900 μm festgelegt
wird und die Streifenbreite der verspannten aktiven Quantenmuldenschicht 103 auf 1,15 μm festgelegt
wird, beläuft
sich die Abweichung der Polarisationsebene von dem Streifenabschnitt der
verspannten aktiven Quantenmuldenschicht 103 auf einen
Winkel von 12 Grad, und auch der Vorrichtungswiderstand beträgt 18 Ω.
-
Falls
in der Struktur gemäß der Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung die Resonatorlänge in der Richtung, die zu
dem Blatt in 6 senkrecht ist, auf 900 μm festgelegt
wird und die Streifenbreite der verspannten aktiven Quantenmuldenschicht
auf 1,15 μm
festgelegt wird, beläuft
sich die Abweichung der Polarisationsebene von dem Streifenabschnitt der
verspannten aktiven Quantenmuldenschicht im Gegensatz dazu auf einen
Winkel von 0 Grad, und ferner beträgt der Vorrichtungswiderstand 10 Ω. Daran
ist zu erkennen, daß die
Charakteristiken im Vergleich zum Stand der Technik verbessert werden können.
-
Übrigens
können
die Hauptebenen 1a, 1b des obigen n-GaAs-Substrates 1 aus
der (100)-Ebene oder der (n11)-A-Ebene gebildet sein (n < 7; n ist eine reelle
Zahl). Ferner kann die geneigte Ebene 1c, die auf der Hauptebene
des n-GaAs-Substrates 1 gebildet wird, aus der (n111)-Ebene gebildet sein (2 ≤ n1 < 7;
n1 ist eine reelle Zahl). Als Resultat wird
die flache Oberfläche
der verspannten aktiven Quantenmuldenschicht 8, die über dem
n-GaAs-Substrat 1 gebildet wird, die (100)-Ebene oder die
(n11)-A-Ebene sein (n < 7),
und weiterhin wird die geneigte Ebene die (n211)-Fläche sein
(2 ≤ n2 < 7;
n2 ist eine reelle Zahl).
-
In
der Halbleiterschichtstruktur des Halbleiterlasers können, wie
in 7 gezeigt, die Pufferschicht 2, die untere
Zwischenschicht 3 und die obere Zwischenschicht 13 weggelassen
werden. Ferner können
bei dem obigen Beispiel beim Bilden der n-Typ-Mantelschichten die
Schritte zum Erhöhen
und Verringern des V/III-Verhältnisses
der Quellengase oder die Schritte zum Erhöhen und Verringern der Wachstumstemperatur
in wenigstens 2 Perioden verändert
werden. Die n-Typ-Mantelschichten können aus sechs oder mehr Schichten
konstruiert werden, indem diese Schritte in drei oder mehr Perioden
wiederholt werden.
-
Da
gemäß einer
Struktur, welche die vorliegende Erfindung nicht speziell verkörpert, die
Winkel der Wachstumsprofillinien der geneigten Ebenen der n-Typ-Mantelschichten,
die auf dem gestuften Substrat gebildet werden, verändert werden,
wie oben beschrieben, um einen kleinen, großen, kleinen und großen Winkel
zu wiederholen, können
die Regionen, in denen die Wachstumsprofillinien zu dem Streifenabschnitt
der aktiven Schicht im wesentlichen nicht senkrecht werden, dünn gebildet
werden. Deshalb kann die Rotation der Polarisationsebene des Laserstrahls
unterdrückt
werden, und somit kann das Knickniveau verbessert werden.
-
Ferner
werden gemäß einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung die Stromblockierschichten auf den flachen
Oberflächen
auf beiden Seiten der geneigten Ebene der p-Typ-Mantelschicht auf dem Boden der Region
gebildet, in der die geneigte Ebene der auf der aktiven Schicht
gebildeten p-Typ-Mantelschicht
nicht schmal ausgebildet ist. Auch wenn die geneigte Ebene der aktiven
Schicht als schmaler Streifen gebildet wird, kann deshalb die Situation
eliminiert werden, daß die
Stromblockierschichten bewirken, daß die p-Typ- Mantelschicht schmaler wird. Als Resultat
kann der Vorrichtungswiderstand verringert werden, und daher kann
das Knickniveau verbessert werden.