DE602005000965T2 - Laser mit Kühlwassereinheit - Google Patents

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Yuji Minamitsuru-gun Nishikawa
Hiroyuki Gotenba-shi Yoshida
Hisatada Minamitsuru-gun Machida
Akihiko Minamitsuru-gun Nishio
Ryusuke Minamitsuru-gun Miyata
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    • H01S3/02Constructional details
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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Laser, der zirkulierendes Kühlwasser verwendet und insbesondere betrifft sie einen Laser, bei dem die Art der Steuerung für das Kühlwasser verbessert ist.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • Wie allgemein bekannt, wird zirkulierendes Kühlwasser verwendet, um eine Überhitzung eines Lasermediums zu vermeiden, die im Betrieb eines Lasers oder während der Laseroszillation auftreten kann. 1 zeigt schematisch den Aufbau eines solchen Lasers nach dem Stand der Technik. Wie gezeigt, ist ein Laseroszillator 1 eine Vorrichtung für eine Laseroszillation, indem Energie von einer Laserenergieversorgung 3 aufgenommen wird. Die Energieversorgung 3 wird von einem Steuerteil 2 gesteuert. Das Steuerteil 2 schickt einen Laserausgangsbefehl an die Energieversorgung 3, so dass der Laseroszillator 1 den Laserstrahl ausgibt.
  • Der ausgehende Laserstrahl wird beispielsweise für eine Laserbearbeitung verwendet. Wenn das Steuerteil 2 einen Laserstoppbefehl an die Energieversorgung 3 sendet, stoppt der Laseroszillator 1 mit der Laseroszillation, um die Ausgabe des Laserstrahls zu stoppen. An diesem Punkt kann der Laserausgangsbefehl zwei Befehlstypen enthalten, das heißt einen für eine kontinuierliche Oszillation und einen für eine gepulste Oszillation. In dieser Beschreibung wird auch im letzteren Fall die Situation, in der die gepulste Oszillation wiederholt wird, als „während der Laseroszillation" bezeichnet. Das Steuerteil 2 hat ein nicht gezeigtes Handbetätigungsteil, beispielsweise ein Bedienfeld mit einer Taste, einer Anzeige und einer Tastatur, die in dem Steuerteil 2 in bekannter Weise angeordnet sind. Somit kann eine Bedienungsperson das Steuerteil 2 bedienen, um Befehle für das Steuerteil 2 auszugeben.
  • Wie bekannt ist, erzeugt, während der Laseroszillator 1 den Laserstrahl ausgibt, das gasförmige oder feste Lasermedium Wärme und die Temperatur des Mediums und eines umgebenden Bauteils wird erhöht. Daher hat die Lasereinheit einen Kanal für Kühlwasser (nachfolgend zirkulierendes Kühlwasser genannt), das innerhalb des Laseroszillators 1 strömt. Durch Zirkulierenlassen des Kühlwassers in dem Kanal kann eine Überhitzung des Lasermediums und des umgebenden Bauteils vermieden werden und die Temperatur während der Laseroszillation kann stabil gemacht werden.
  • Um das zirkulierende Kühlwasser zu führen, wird eine Wasserfördervorrichtung 10 verwendet. Die Wasserfördervorrichtung 10 wird von einer Antriebseinheit 4 betätigt, die vom Steuerteil 2 gesteuert wird. Die Wasserfördervorrichtung 10 und die Antriebseinheit 4 werden beispielsweise durch eine Kombination aus Pumpe und Antriebsinverter für die Pumpe gebildet. Das zirkulierende Kühlwasser wird einem Tank 12 entnommen und von der Wasserfördervorrichtung 10 geliefert. Das gelieferte Wasser wird in zwei Ströme aufgeteilt. Das Wasser eines der Ströme wird gereinigt, indem es einen Filter 11 für das Kühlwasser durchströmt und strömt in den Laseroszillator 1. Das Wasser nimmt Wärme des Lasermediums und des umgebenden Bauteils auf und strömt dann in einen Wärmetauscher 13.
  • Das zirkulierende Kühlwasser wird zu dem Tank 12 zurückgeführt, nachdem das zirkulierende Kühlwasser einen Wärmetausch mit Primärkühlwasser in dem Wärmetauscher 13 durchgeführt hat.
  • Das Primärkühlwasser wird der Lasereinheit von einem Einlass 20 zugeführt und strömt in einem Kanal, der nicht derjenige für das zirkulierende Kühlwasser ist. Sodann führt das Primärkühlwasser den Wärmetausch mit dem zirkulierenden Kühlwasser durch und strömt über einen Auslauf 21 aus dem Laser. Mit anderen Worten, innerhalb des Wärmetauschers 13 sind Kanäle für das zirkulierende Wasser und das Primärkühlwasser voneinander getrennt. Das Primärkühlwasser und das zirkulierende Kühlwasser vermischen sich nicht.
  • Andererseits wird das Wasser eines anderen Stromes, der unterschiedlich zu den obigen beiden Strömen ist, dem Tank 12 zurückgeführt, nachdem Metallionen in dem Wasser etc. entfernt wurden, indem der Strom durch ein Ionentauscherharz 14 geführt wurde. Auf diese Weise kann das zirkulierende Wasser in einem Kanal oder Kreis zirkulieren.
  • Es sei festzuhalten, dass, während die Wasserfördervorrichtung 10 läuft und das Kühlwasser zirkuliert, das zirkulierende Wasser zum Kühlen des Laseroszillators 1 von dem Filter 11 oder dem Ionentauscherharz 14 gereinigt wird; wenn die Vorrichtung 10 jedoch angehalten wird, wird das zirkulierende Wasser nicht länger gereinigt und kühlt den Laseroszillator 1 nicht.
  • Im Betrieb des Lasers, der ein derartiges Kühlsystem verwendet, wird im Stand der Technik ein Betriebsablauf gemäß 2 verwendet. Zuerst ist vor dem Starten des Lasers die Wasserfördervorrichtung 10 in einem Stoppzustand und das Kühlwasser zirkuliert nicht (oder ist in einem gestoppten Zustand). Ausgehend von diesem Zustand wird zur Zeit A1 die Wasserfördervorrichtung 10 durch einen Befehl von der Bedienungsperson aktiviert, um das Kühlwasser zirkulieren zu lassen (oder um den Zustand in einen Förderzustand zu ändern). Danach wird die Laseroszillation zu einer Zeit B1 durch einen Befehl von der Bedienungsperson gestartet und wird zu einer Zeit C1 durch einen anderen Befehl von der Bedienungsperson gestoppt. Weiterhin wird zu einer Zeit D1 die Wasserfördervorrichtung 10 ebenfalls durch einen Befehl von der Bedienungsperson gestoppt, so dass die Zirkulation des Kühlwassers gestoppt wird (oder zu dem Zustand des gestoppten Zustands zurückgekehrt wird).
  • In vielen Fällen wird ein so betriebener Laser nicht weiter betrieben und daher verbleibt das Kühlwasser bis unmittelbar vor dem Start der nächsten Laseroszillation in dem gestoppten Zustand. Nachdem eine Zeitperiode vom Stoppen zum Neustarten der Zirkulation des Kühlwassers verstrichen ist oder zu einer Zeit A2 wird die Wasserfördervorrichtung 10 wieder durch den Befehl von der Bedienungsperson aktiviert, so dass das Kühlwasser erneut zirkuliert. Danach werden zu den Zeiten B2, C2 und D2 die Laseroszillation, der Stopp der Oszillation und der Stopp der Zirkulation des Wassers entsprechend durchgeführt, wie oben beschrieben, was zu dem gestoppten Zustand führt.
  • Laser, wie sie oben beschrieben werden, sind aus der JP-A-03283684 bekannt.
  • Das Problem in diesem Fall ist, dass dann, wenn die Vorrichtung 10 gestoppt wird, das zirkulierende Wasser nicht länger vom Filter 11 oder dem Ionentauscherharz 14 gereinigt wird und den Laseroszillator 1 wie oben beschrieben nicht kühlt. Wenn daher eine Zeitperiode des gestoppten Zustands relativ lang ist, kann am Filter 11 oder im Ionentauscherharz 14 Schimmel auftreten und Bakterien können sich in dem stehenden Wasser ausbreiten, was die Qualität des Kühlwassers verschlechtern kann. Wenn die Laseroszillation unter einer Bedingung aktiviert wird, in der die Qualität des Kühlwassers verschlechtert ist, kann der Laserausgang abnehmen.
  • Bislang wurde eine einfache Technik zum ökonomischen Vermeiden des Schimmelwachstums am Filter oder im Ionentauscherharz, so dass die Qualität des Kühlwassers nicht verschlechtert wird, in veröffentlichten Druckschriften nicht gefunden.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Folglich ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Laser zu schaffen, um ökonomisch das Wachstum von Schimmel am Filter oder dem Ionentauscherharz und die Qualitätsverschlechterung des Kühlwassers zu vermeiden, die in einer Ruhezeit der Laseroszillation auftreten kann.
  • Die vorliegende Erfindung beabsichtigt, die obigen Probleme zu lösen, indem das Kühlwasser während der Ruhezeit der Laseroszillation intermittierend zirkuliert wird.
  • Genauer gesagt, die vorliegende Erfindung schafft einen Laser, der aufweist: einen Kühlwasserkreislauf zum Kühlen eines Lasermediums; eine Wasserfördervorrichtung zum Fördern des Kühlwassers derart, dass das Kühlwasser in dem Kreislauf zirkuliert; eine Steuervorrichtung zur Steuerung der Förderung durch die Wasserfördervorrichtung; eine Reinigungsvorrichtung, die in dem Kreislauf angeordnet ist, um das im Kreislauf zirkulierende Kühlwasser zu reinigen, wobei die Steuervorrichtung die Wasserfördervorrichtung derart steuert, dass während einer Periode der Laseroszillation die Fördervorrichtung das Kühlwasser kontinuierlich fördert; und während einer Ruhezeit der Laseroszillation die Fördervorrichtung das Kühlwasser intermittierend derart fördert, dass zwischen einem Förderzustand, in dem das Kühlwasser in dem Kreislauf zirkuliert und einem Stoppzustand gewechselt wird, in dem das Kühlwasser in dem Kreislauf nicht zirkuliert.
  • Der Laser kann weiterhin einen Wärmetauscher aufweisen, der in dem Kreislauf angeordnet ist, sowie eine Leitung zum Strömenlassen von Primärkühlwasser im Wärmetausch mit dem Kühlwasser im Wärmetauscher. Vom ökonomischen Gesichtspunkt her ist es bevorzugt, dass der Strom von Primärkühlwasser in dem Förderzustand während der Ruhezeit der Laseroszillation gestoppt ist.
  • Es ist bevorzugt, dass die Wasserfördervorrichtung das Kühlwasser mit dem Ein- bis Zwanzigfachen des Volumens eines Tanks, der in dem Kreislauf für das Kühlwasser angeordnet ist, innerhalb höchstens 48 Stunden in dem Förderzustand während der Ruhezeit der Laseroszillation fördert.
  • Es ist bevorzugt, dass die Reinigungsvorrichtung ein Partikelfilter mit einer Maschengröße gleich oder kleiner als 25 Mikrometer ist.
  • Die Wasserfördervorrichtung kann in das Gehäuse des Lasers eingebaut sein. Alternativ kann die Wasserfördervorrichtung außerhalb des Gehäuses des Lasers angeordnet sein.
  • Der Stoppzustand kann zu dem Förderzustand gewechselt werden, wenn eine erste vorbestimmte Zeitdauer seit dem Beginn des Stoppzustandes verstrichen ist. Auch kann der Förderzustand in den Stoppzustand gewechselt werden, wenn eine zweite vorbestimmte Zeitdauer seit dem Beginn des Förderzustands verstrichen ist.
  • Der Laser kann weiterhin eine Messvorrichtung aufweisen zur Messung einer elektrischen Leitfähigkeit des Kühlwassers und ein Ionentauscherharz in dem Kreislauf zum Entfernen von Metallionen aus dem Kühlwasser. In diesem Fall ist es bevorzugt, wenn die Steuervorrichtung die Wasserfördervorrichtung so steuert, dass eine Flussrate durch das Ionentauscherharz derart ist, dass die von der Messvorrichtung gemessene elektrische Leitfähigkeit des Kühlwassers einen bestimmten oberen Grenzwert nicht überschreitet. Dieser obere Grenzwert ist vorteilhafterweise gleich 3 Mikrosiemens/cm.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
  • Die obigen und weiteren Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich besser aus der folgenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen hiervon unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung, wobei:
  • 1 eine Darstellung eines Beispiels des Aufbaus eines Lasers nach dem Stand der Technik ist;
  • 2 eine Darstellung des Betriebsablaufs des Lasers von 1 ist;
  • 3 eine Grafik ist, die das Bakterienwachstum während einer Förderstoppperiode und die Abnahme von Bakterien nach Wiederaufnahme der Wasserförderung zeigt;
  • 4 eine Grafik ist, die die Änderung der Bakterienanzahl während der intermittierenden Förderung pro Tag des Wassers anzeigt;
  • 5 eine Grafik ist, die eine Abhängigkeit einer asymptotischen Anzahl von Bakterien auf einer Filtermaschengröße zeigt, wenn die intermittierende Förderung des Wassers pro Tag für eine lange Zeitdauer durchgeführt wird;
  • 6 eine Darstellung ist, die den Betriebsablauf eines Lasers zeigt, bei dem das Kühlwasser während einer Ruhezeit der Laseroszillation zirkuliert.
  • 7 eine Darstellung ist, die den schematischen Aufbau eines Lasers gemäß einer Ausführungsform der Erfindung zeigt;
  • 8 eine Darstellung ist, die einen schematischen Aufbau eines Lasers gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 9 eine Darstellung ist, die den Betriebsablauf des Lasers von 7 zeigt;
  • 10 ein Flussdiagramm ist, um den Prozess eines intermittierenden Fördermodus der Ausführungsform der Erfindung zu erläutern; und
  • 11 eine Darstellung ist, die den schematischen Aufbau einer Lasereinheit gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der Erfindung zeigt, bei der eine Wasserfördervorrichtung außerhalb eines Gehäuses des Lasers liegt.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
  • 3 ist eine Grafik, die eine Beziehung zwischen der Anzahl von Bakterien und der Zirkulation des Kühlwassers angibt. Genauer gesagt, ein experimentelles Ergebnis des Bakterienwachstums, wenn das Kühlwasser nicht zirkuliert oder während der Förderstoppzeitdauer und der Abnahme von Bakterien nach Wiederaufnahme der Wasserzirkulation. In dieser Grafik gibt die Abszisse die Zeit an, nachdem die Förderung des Kühlwassers gestoppt wurde und die Ordinate gibt die Anzahl von Bakterien pro Einheitsvolumen des Kühlwassers (a.u.) an. Mit anderen Worten, die Grafik gibt die Änderung der Bakterienanzahl an, die durch mikroskopische Untersuchung erkannt wurde. Anhand der Grafik lassen sich die folgenden Punkte verstehen:
    • (1) Die Anzahl von Bakterien nimmt ab dem Förderstopp des Wassers bis zur Wiederaufnahme der Förderung oder nach 72 Stunden zu
    • (2) Insbesondere steigt die Anzahl von Bakterien nach 48 Stunden nach Förderstopp merklich an.
    • (3) Die Anzahl von Bakterien nimmt nach Wiederauf nahme der Förderung oder der Zirkulation des Kühlwassers ab.
  • 4 ist eine Grafik, die ein experimentelles Ergebnis der Änderung der Bakterienanzahl im Laser angibt. In der Grafik gibt die Abszisse die Anzahl von Tagen seit Beginn des Experiments an und die Ordinate die Anzahl von Bakterien (gezählt als Anzahl von Bakterienkolonien; nachfolgend wird auch die Kolonienummer verwendet). Mit anderen Worten, die Grafik gibt auch eine Änderung der erkannten Anzahl von Bakterien an. Anhand der Grafik lassen sich die folgenden Punkte verstehen:
    • (4) Wenn die Förderung einmal am Tag durchgeführt wird, erreicht die Anzahl von Bakterien eine konstante asymptotische Anzahl.
    • (5) Die konstante asymptotische Anzahl hängt von der Filtermaschengröße ab. Wenn die Filtermaschengröße kleiner (oder die Masche feiner ist), ist die asymptotische Anzahl niedriger.
  • Wie oben beschrieben, kann dann, wenn die Förderung einmal am Tag durchgeführt wird, das Bakterienwachstum entsprechend der Filtermaschengröße begrenzt werden. In diesem Zusammenhang zeigt 5 eine Grafik, die eine Beziehung zwischen der Filtermaschengröße und der asymptotischen Anzahl von Bakterienkolonien (oder die Anzahl von Bakterien in einem stationären Zustand) zeigt, wenn die Förderung einmal am Tag oder intermittierend durchgeführt wird.
  • Zusätzlich kann durch das Experiment verstanden werden, dass die Anzahl von Bakterien nicht gesteuert werden kann, wenn diese Anzahl größer als 8.000 pro Einheit ist. Das heißt, in einem Zustand, in dem die Förderung des Kühlwassers einmal am Tag durchgeführt wird, ist die obige asymptotische Anzahl von Bakterien schwierig zu ermitteln, wenn die Anzahl von Bakterienkolonien 8.000 pro Einheit übersteigt. Wie in 5 gezeigt, ist die Filtermaschengröße entsprechend „Bakterienanzahl von 8.000 pro Einheit" 25 μm. Mit anderen Worten, in dem Zustand, in dem die Förderung intermittierend einmal am Tag durchgeführt wird, kann das Bakterienwachstum begrenzt werden, indem ein Filter mit einer Maschengröße unter 25 μm verwendet wird.
  • Ein einfacher Weg, die Qualitätsverschlechterung des Kühlwassers während der Zeitdauer des Förderstopps zu vermeiden, ist eine kontinuierliche Zirkulation, in der die Wasserfördervorrichtung betrieben wird, selbst wenn der Laser nicht in Gebrauch ist.
  • Das heißt, in einem Prozess gemäß 6 kann dann, wenn das Kühlwasser stets zirkuliert, die Qualität des Kühlwassers in gutem Zustand gehalten werden, wodurch der Schimmelwachstum am Filter oder im Ionentauscherharz vermieden werden kann. Ganz offensichtlich ist diese Vorgehensweise jedoch nicht ökonomisch. Daher wird nachfolgend eine Ausführungsform beschrieben, mit der das Kühlwasser ökonomisch und ausreichend gereinigt werden kann.
  • Eine Ausführungsform gemäß der Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die 710 beschrieben. Ein Bauteil, welches das gleiche ist, wie es in 1 beschrieben wurde, wird mit dem gleichen Bezugszeichen wie in 1 versehen und eine nochmalige Beschreibung des Bauteils wird – wenn passend – weggelassen.
  • In 7 ist ein schematischer Aufbau eines Lasers gemäß einer Ausführungsform der Erfindung gezeigt. Im Vergleich von 7 mit 1 ist offensichtlich, dass der Aufbau des Lasers gleich wie bei einem herkömmlichen Laser sein kann. Jedoch wird anstelle des Steuerteils 2 von 1 ein Steuerteil 30 verwendet, da der Steuerinhalt für die Wasserfördervorrichtung 10 anders ist, wie nachfolgend beschrieben wird.
  • Genauer gesagt, ein Laseroszillator 1 ist eine Vorrichtung zum Oszillierenlassen eines Laserstrahls bei Leistungsaufnahme von einer Laserleistungsversorgung 3. Die Leistungsversorgung 3 wird von einer Steuervorrichtung oder dem Steuerteil 30 gesteuert. Das Steuerteil 30 schickt einen Laserausgangsbefehl an die Energieversorgung 3, so dass der Laseroszillator 1 schwingt und den Laserstrahl ausgibt. Der ausgegebene Laserstrahl wird beispielsweise für eine Laserbearbeitung verwendet.
  • Wenn das Steuerteil 30 einen Laserstoppbefehl an die Energieversorgung 3 sendet, stoppt der Laseroszillator 1 mit der Laserschwingung, um die Ausgabe des Laserstrahls zu stoppen. An diesem Punkt kann der Laserausgangsbefehl zwei Befehlstypen enthalten, nämlich für kontinuierliche Oszillation und gepulste Oszillation. Wie oben beschrieben, wird auch der letztere Fall die Situation, bei der die gepulste Oszillation wiederholt wird, als „während der Laseroszillation" bezeichnet. Das Steuerteil 30 hat ein nicht gezeigtes manuelles Bedienteil, beispielsweise ein Bedienfeld mit einer Taste, einer Anzeige und einer Tastatur, die am Steuerteil 30 in bekannter Weise angeordnet sind. Daher kann eine Bedienungsperson das Steuerteil 30 bedienen, um von dem Steuerteil 30 Befehle auszugeben.
  • Die Lasereinheit hat einen Kanal, um innerhalb des Laseroszillators 1 Kühlwasser strömen zu lassen, um eine Überhitzung des Lasermediums und eines umgebenden Bauteils zu vermeiden. Um das zirkulierende Kühlwasser zu führen, wird eine Wasserfördervorrichtung 10 verwendet, die von einer Antriebseinheit 4 betätigt wird, die von einem Steuerteil 30 gesteuert wird. Die Wasserfördervorrichtung 10 und die Antriebseinheit 4 werden beispielsweise durch eine Kombination aus einer Pumpe und einem Antriebsinverter für die Pumpe gebildet. Das zirkulierende Kühlwasser wird einem Tank 12 entnommen und von der Wasserfördervorrichtung 10 geliefert. Das gelieferte Wasser wird in zwei Strömungen aufgeteilt. Wie unter Bezugnahme auf 1 beschrieben, wird das Wasser in einem der Ströme gereinigt, indem es durch eine Reinigungsvorrichtung oder einen Filter 11 für das Kühlwasser geführt wird und strömt dann in den Laseroszillator 1. Das Wasser nimmt Wärme vom Lasermedium und dem umgebenden Bauteil auf und strömt dann in einen Wärmetauscher 13.
  • Das zirkulierende Kühlwasser wird nach einem Wärmetausch mit Primärkühlwasser in dem Wärmetauscher 13 im Tank 12 zurückgeführt.
  • Wie oben beschrieben wird das Primärkühlwasser dem Laser von einem Einlass 20 zugeführt und dann erfährt das Wasser einen Wärmetausch mit dem zirkulierenden Kühlwasser und strömt aus dem Laser durch einen Auslass 21 heraus.
  • Das Wasser der anderen Strömung der beiden obigen Strömungen wird, nachdem Metallionen etc. aus dem Wasser entfernt wurden, indem es durch ein Ionentauscherharz 14 geführt wird, dem Tank 12 zurückgeführt. Der Grund für die Entfernung von Metallionen ist, dass alle Metallionen sich nicht in dem Kühlwasser lösen können, wenn viele Metallionen in dem Wasser enthalten sind (oder die elektrische Leitfähigkeit des Wassers hoch ist), so dass sich die Metallionen am Wärmetauscher oder dem Partikelfilter niederschlagen können, was zu einem Leistungsabfall beim Wärmetausch oder einer Abnahme der Flussrate des Kühlwassers durch Einschränkungen des Kanals führt.
  • Der Leistungsabfall beim Wärmetausch kann Fehlfunktionen des Laseroszillators verursachen. Auch kann die Abnahme der Strömungsrate des Kühlwassers eine geeignete Steuerzeit T1 ändern, die vorab unter Verwendung der Strömungsrate berechnet wurde. Es wurde experimentell herausgefunden, dass die elektrische Leitfähigkeit des Kühlwassers geringer als 3 μS/cm sein muss, um das System permanent betreiben zu können. Als einfacher Weg, um die elektrische Leitfähigkeit geeignet aufrecht zu erhalten, kann eine Überwachungseinheit 16 zur Messung der elektrischen Leitfähigkeit des Wassers und eine Alarmvorrichtung zur Anzeige, wenn der Messwert einen bestimmten Schwellenwert von weniger als 3 μS/cm übersteigt, verwendet werden.
  • Um weiterhin die Qualität des Wassers geeignet aufrecht zu erhalten, kann ein elektromagnetisches Ventil 15 stromaufwärts oder stromabwärts des Ionentauscherharzes 14 angeordnet werden. Wenn die elektrische Leitfähigkeit des Kühlwassers, die von der Überwachungseinheit 16 gemessen wird, größer als der vorbestimmte Schwellenwert ist, wird das elektromagnetische Ventil 15 geöffnet, um das Wasser in das Harz 14 zu leiten, so dass die elektrische Leitfähigkeit abgesenkt wird. Wenn die von der Überwachungseinheit 16 gemessene elektrische Leitfähigkeit des Kühlwassers geringer als der vorbestimmte Schwellenwert ist, wird das elektromagnetische Ventil 15 geschlossen, so dass kein Wasser in das Harz 14 geführt wird und die elektrische Leitfähigkeit nicht weiter abgesenkt wird.
  • Das Kühlwasser strömt und zirkuliert somit in dem Kanal des Kreislaufs. Eine derartige Ausgestaltung ist rein exemplarisch und kann auf verschiedene Weise abgeändert werden. Beispielsweise kann der Auslass 21 am Kreislauf angeordnet werden oder die Anordnungen von Harz und Filter können getauscht werden.
  • Das Ionentauscherharz und der Partikelfilter sind Beispiele von Bestandteilen, die in einem Reinigungsmittel für das Kühlwasser enthalten sind. Allgemein gesagt, können auch andere Arten von Reinigungsmitteln angeordnet werden. Der Wärmetauscher kann auch einen anderen Aufbau haben, der Wärmetausch mit Umgebungsluft durchführen kann, und nicht den Aufbau, der das Primärkühlwasser verwendet. Weiterhin kann die Wasserfördervorrichtung außerhalb des Lasers angeordnet werden, wie nachfolgend beschrieben wird.
  • Nachfolgend wird die Arbeitsweise des Lasers beschrieben. 9 zeigt ein Zeitdiagramm eines Beispiels eines Vorgangs bei der Arbeitsweise. Die Arbeitsweise von einer Zeit A1 bis D1 kann die gleiche wie die oben beschriebene Arbeitsweise betreffend dem Stand der Technik sein. Beispielsweise wird die Wasserfördervorrichtung 10 durch einen Befehl von der Bedienungsperson zu einer Zeit A1 aktiviert und dann beginnt die Laseroszillation zu einer Zeit B1. Danach wird die Laseroszillation bei einer Zeit C1 gestoppt und die Wasserfördervorrichtung 10 wird zu einer Zeit D1 ebenfalls gestoppt. Danach wird angenommen, dass die Laseroszillation für eine ziemlich lange Zeit gestoppt wird (beispielsweise aufgrund von Sommerferien). Zusätzlich ist es ökonomisch vorteilhaft, die Strömung des Primärkühlwassers in dem Kanal zu stoppen, wenn die Laseroszillation gestoppt wird.
  • Der Steuerteil 30 aktiviert an diesem Punkt oder zu dieser Zeit D1 einen Timer im Laser. Nach Verstreichen einer vorbestimmten Dauer R1, die unter 48 Stunden liegt, gibt der Steuerteil 30 einen Betriebsbefehl an die Wasserfördervorrichtung 10, ohne dass irgendein Befehl von der Bedienungsperson empfangen wird. Bei Empfang des Betriebsbefehls beginnt die Wasserfördervorrichtung 10 automatisch wieder mit der Förderung von Kühlwasser. An diesem Punkt kann die Förderung von Primärkühlwasser neu gestartet werden.
  • Aus Gründen der Verständlichkeit sei ein j-ter Startbefehl für eine automatische Wasserförderung während der Ruhezeit der Laseroszillation als „Förderstartbefehl j" bezeichnet. Somit wird zu der ersten Zeit (j = 1) der „Förderstartbefehl 1" ausgegeben.
  • Nach einer Zeitdauer T1, die die Wasserfördervorrichtung benötigt, das Kühlwasser mit einem vorbestimmten Volumen zu zirkulieren, das um das Einfache größer und kleiner als das Zwanzigfache des Volumens des Tanks 12 ist, gibt der Steuerteil 30 einen Stoppbefehl an die Wasserfördervorrichtung 10, ohne irgendeinen Befehl von der Bedienungsperson zu empfangen. Wenn das Primärkühlwasser verwendet wird, ist es ökonomisch vorteilhaft, die Strömung des Primärkühlwassers zur gleichen Zeit zu stoppen.
  • Aus Gründen der Einfachheit wird ein k-ter Stoppbefehl für die automatische Wasserförderung während der Ruhezeit der Laseroszillation als „Förderstoppbefehl k" bezeichnet. Somit wird zum ersten Zeitpunkt (k = 1) der „Förderstoppbefehl 1" ausgegeben.
  • Ein Zyklus, der den Start und den Stopp der automatischen Wasserförderung während der Ruhezeit der Laseroszillation enthält, ist somit abgeschlossen. Danach wird eine Abfolge einschließlich des ähnlichen Ausgangsbefehls durch den Steuerteil 30 durchgeführt, ohne irgendeinen Befehl von der Bedienungsperson zu erhalten. Mit anderen Worten, die Abfolge schreitet wie folgt voran: Förderstoppbefehl 1 → Verstreichen einer Zeitdauer R2 → Förderstartbefehl 2 → Verstreichen einer Zeitdauer T2 → Förderstoppbefehl 2 → Verstreichen einer Zeitdauer R3 → Förderstoppbefehl 3 → Verstreichen einer Zeitdauer T3 → Förderstoppbefehl 3 → ...
  • In dem obigen Beispiel gibt, nachdem der Förderstoppbefehl 3 ausgegeben worden ist, die Bedienungsperson von Hand den Förderstartbefehl ein, um die Wasserförder vorrichtung 10 zu aktivieren. In diesem Fall wird die Abfolge zurückgesetzt (oder ein Timer im Steuerteil 30 wird zurückgesetzt). Danach werden zu Zeiten B2 bzw. C2 bzw. D2 die Laseroszillation bzw. der Stopp der Laseroszillation bzw. der Stopp der Wasserfördervorrichtung ähnlich wie oben sequentiell durchgeführt. Danach startet der Timer in dem Steuerteil 30 erneut und die obige Abfolge für die Ruhezeit der Laseroszillation startet neu.
  • Wenn bei dieser Ausführungsform die Wasserfördervorrichtung 10 dem Stopp der Laseroszillation gemäß gestoppt wird, wird die Abfolge für die Ruhezeit der Laseroszillation derart durchgeführt, dass der Förderzustand und der gestoppte Zustand abwechselnd wiederholt werden. Diese Abwechslung wird fortgeführt, bis die Bedienungsperson die Abfolge stoppt, indem beispielsweise ein Unterbrechungsvorgang durchgeführt wird. Durch geeignet Vorabbestimmung der Parameter der Abfolge R1, T1, R2, T2, ... können verschiedene Nachteile, die durch die lange Ruhezeit der Laseroszillation hervorgerufen werden, beispielsweise eine Verschlechterung der Kühlwasserqualität, mit relativ geringem Energieverbrauch vermieden werden.
  • Die Zeitparameter R1, R2, R3, R4, ... und T1, T2, T3, T4, ..., die in der Ausführungsform verwendet werden, können auf verschiedene Arten vorab bestimmt werden und optimale Werte können je nach Auslegungsanforderungen bestimmt werden. Als ein Beispiel zur Vereinfachung der Abfolge können R1 = R2 = R3 = R4 = ... = ein Konstantwert (eine erste konstante Zeitdauer), T1 = T2 = T3 = T4 = ... = ein Konstantwert (eine zweite konstante Zeitdauer) oder eine Kombination hiervon möglich sein.
  • Wird weiterhin die Charakteristik der obigen Änderung der Bakterienanzahl mit in Betracht gezogen, ist es bevorzugt, dass die Zeitparameter R1, R2, R3, R4, ... und T1, T2, T3, T4, ... so bestimmt werden, dass die Wasserfördervorrichtung das Kühlwasser mit einem Volumen gleich dem Volumen des Tanks 12 innerhalb höchstens 48 Stunden fördert, auch während der Ruhezeit der Laseroszillation. An diesem Punkt ist die geringere Flussrate des Kühlwassers vom ökonomischen Standpunkt her bevorzugt. Weiterhin wird die Effizienz bei der Wachstumsbegrenzung der Bakterien nicht erhöht, wenn die Flussrate extrem hoch ist. In diesem Zusammenhang hat die Flussrate für das Kühlwasser im wesentlichen einen oberen Grenzwert. Als eine Richtgröße für den oberen Grenzwert ist ein Fördervolumen pro 48 Stunden möglich, das weniger als das Zwanzigfache des Volumens des Timers 12 beträgt. Ganz offensichtlich ist es möglich, das Fördervolumen einzustellen, indem die Leistung der Pumpe eingestellt wird.
  • Die Werte der Parameter R1, R2, R3, R4, ... und T1, T2, T3, T4, ... werden vorab in einem Speicher des Steuerteils 30 eingegeben und eine Abfolgedurchführvorrichtung im Steuerteil 30 führt die Abfolge unter Verwendung der Werte durch. Ein bekannter Steuerschaltkreis, der in der Lage ist, eine derartige Abfolge betreffend die obige Zeitplanung durchzuführen, kann als Abfolgedurchführvorrichtung verwendet werden. Alternativ kann, wenn der Steuerteil 30 eine CPU enthält, eine Software zur Durchführung der obigen Abfolge verwendet werden. Ein Beispiel der Abfolge ist in 10 gezeigt, wo R1 = R2 = ... = R (erste konstante Zeitdauer) und T1 = T2 = ... = T (zweite konstante Zeitdauer) gilt. Der Schlüsselpunkt im Betrieb bei jedem Schritt der Abfolge wird nachfolgend erläutert.
  • Das Programm zur Durchführung der Abfolge wird jedesmal dann aktiviert, wenn die Bedienungsperson manuell den Förderstoppbefehl eingibt.
  • Schritt S1
  • Ein Flag F, das den automatischen zeitweiligen Fördermodus angibt, ist auf „1" gesetzt (das heißt der zeitweilige Fördermodus ist gültig).
  • Schritt S2
  • Der Timer wird gelöscht und auf Null gesetzt.
  • Schritt S3
  • Der gelöschte Timer wird gestartet.
  • Schritt S4
  • Das Flag F wird überprüft. Wenn F = 1, geht der Ablauf zum Schritt S5 weiter. Wenn F = 0, wird der Prozess beendet. Das Flag F wird durch eine manuelle Betätigung durch die Bedienungsperson auf „0" geändert (der zeitweilige Fördermodus ist ungültig), wenn die Laseroszillation neu gestartet werden soll.
  • Schritt S5
  • Es wird überprüft, ob der Timer > R. Wenn Timer > R, geht der Ablauf zum Schritt S5 weiter. Ansonsten kehrt der Ablauf zum Schritt S4 zurück.
  • Schritt S6
  • Die Wasserfördervorrichtung wird aktiviert, um den „Förderzustand" zu veranlassen.
  • Schritt S7
  • Der Timer wird gelöscht.
  • Schritt S8
  • Der Timer wird gestartet.
  • Schritt S9
  • Das Flag F wird überprüft. Wenn F = 1, geht der Ablauf zum Schritt S10 weiter. Wenn F = 0, wird der Ablauf beendet.
  • Schritt S10
  • Es wird überprüft, ob der Timer > T. Wenn Timer > T, kehrt der Ablauf zum Schritt S2 zurück, nachdem die Wasserfördervorrichtung gestoppt wurde (Schritt S11). Wenn Timer < T, kehrt der Ablauf zum Schritt S9 zurück.
  • Die obige Abfolge wird wiederholt, um das Wasser zeitweilig beispielsweise während der Nacht, dem Wochenende oder in den Sommerferien zu fördern, das heißt, wenn der Betrieb des Lasers gestoppt ist. Daher kann eine Verschlechterung der Wasserqualität, das Bakterienwachstum und/oder die Erzeugung von Schimmel vermieden oder verringert werden. Weiterhin benötigt die Abfolge weniger Energieverbrauch (üblicherweise elektrische Leistung) und ist somit vom ökonomischen her vorteilhaft im Vergleich zu einer Abfolge, bei der die Wasserfördervorrichtung 10 kontinuierlich läuft.
  • Wenn die Bedienungsperson das Flag F von „1" auf „0" ändert, beispielsweise nach den Ferien, wird diese Änderung nach dem Schritt S4 oder S9 erkannt und der Laser wird in einem normalen Modus betrieben (das heißt, der zeitweilige Fördermodus ist ungültig). Sodann wird der normale Betrieb des Lasers einschließlich der Laseroszillation und der Förderung des Kühlwassers beispielsweise durch eine manuelle Eingabe seitens der Bedienungsperson gestartet. Nachdem der normale Betrieb geendet hat und die Bedienungsperson die Laseroszillation und die Förderung des Wassers gestoppt hat, wird das Programm zur Durchführung der obigen Abfolge gestartet und der zeitweilige Fördermodus wird gültig (F = 1). Dieser Zyklus wird wiederholt.
  • Abschließend sei eine Gestaltung von Vorrichtungen betreffend die Wasserförderung, insbesondere die Wasserfördervorrichtung 10 kurz erläutert. In der Ausgestaltung gemäß 7 sind die Antriebseinheit 4 für die Wasserfördervorrichtung, die Wasserfördervorrichtung 10, der Filter 11 für das Kühlwasser, der Tank 12, der Wärmetauscher 13, das Ionentauscherharz 14 und Leitungen, die die Verbindungen dazwischen bilden, im Laser angeordnet und der Einlass 20 und der Auslass 21 für das Primärkühlwasser dienen als eine Grenze zwischen Laser und dessen Außenseite. Ein so ausgestalteter Laser kann daher sperrig sein. Insbesondere kann es angenehmer sein, wenn die Wasserfördervorrichtung 10, die eine Pumpe oder dergleichen verwendet, außerhalb des Gehäuses des Lasers liegt.
  • 11 zeigt ein Beispiel, bei dem Wasserfördervorrichtung außerhalb liegt. In 11 ist die Grenze zwischen dem Gehäuse des Lasers und dessen Außenseite durch eine gestrichelte Linie angegeben. Wie gezeigt, liegen die Antriebseinheit 4 und die Wasserfördervorrichtung 10 außerhalb des Gehäuses des Lasers 100 (mit der gestrichelten Linie dargestellt). Ein Einlass 101 und ein Auslass 102 des Gehäuses des Lasers vermögen das Kühlwasser in den Kanal im Gehäuse des Lasers durch den Einlass 101 und den Auslass 102 hinein und hier heraus strömen zu lassen.
  • Obgleich der Filter 11, der Tank 12, der Wärmetauscher 13 und das Ionentauscherharz 14 in 11 nicht gezeigt sind, so liegen diese Komponenten ebenfalls außerhalb des Gehäuses des Lasers. Die Beschreibung der Arbeitsweise einschließlich der zeitweiligen Förderung wird weggelassen, da sie ähnlich zum obigen Beispiel ist.
  • Bei dem Laser gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Verschlechterung der Wasserqualität, die während der Ruhezeit der Laseroszillation auftreten kann, durch eine zeitweilige Förderung des Wassers vermieden. Daher kann die Zuverlässigkeit des Lasers auf ökonomische Weise verbessert werden.
  • Obgleich die Erfindung unter Bezugnahme auf bestimmte Ausführungsformen beschrieben wurde, die zum Zweck der Darstellung gewählt wurden, versteht sich, dass eine Vielzahl von Abwandlungen durch einen Fachmann gemacht werden kann, ohne vom Umfang der Erfindung abzuweichen.

Claims (10)

  1. Laser, umfassend: einen Kühlwasserkreislauf zum Kühlen eines Lasermediums; eine Wasserfördervorrichtung (10) zum Fördern des Kühlwassers derart, dass das Kühlwasser in dem Kreislauf zirkuliert; eine Steuervorrichtung (30) zum Steuern der Förderung durch die Wasserfördervorrichtung (10); eine Reinigungsvorrichtung (11), die in dem Kreislauf angeordnet ist, um das im Kreislauf zirkulierende Kühlwasser zu reinigen; dadurch gekennzeichnet, dass die Steuervorrichtung (30) die Wasserfördervorrichtung (10) derart steuert, dass während einer Periode der Laseroszillation die Fördervorrichtung (10) das Kühlwasser kontinuierlich fördert; und während einer Ruhezeit der Laseroszillation die Fördervorrichtung das Kühlwasser intermittierend derart fördert, dass zwischen einem Förderzustand, in dem das Kühlwasser in dem Kreislauf zirkuliert, und einem Stoppzustand gewechselt wird, in dem das Kühlwasser in dem Kreislauf nicht zirkuliert.
  2. Laser nach Anspruch 1, ferner umfassend einen Wärmetauscher (13), der in dem Kreislauf angeordnet ist, und eine Leitung zum Strömen lassen von Primärkühlwasser im Wärmetausch mit dem Kühlwasser im Wärmetauscher (13), wobei der Strom des Primärkühlwassers in dem Förderzustand während der Ruhezeit der Laseroszillation gestoppt ist.
  3. Laser nach Anspruch 1, wobei die Wasserfördervorrichtung (10) das Kühlwasser, das das ein- bis zwanzigfache des Volumens eines in dem Kreislauf für das Kühlwasser angeordneten Tanks (12) aufweist, in dem Förderzustand während der Ruhezeit der Laseroszillation innerhalb von höchstens 48 Stunden fördert.
  4. Laser nach Anspruch 1, wobei die Reinigungsvorrichtung (11) ein Partikelfilter mit einer Maschengröße gleich oder kleiner als 25 Mikrometer ist.
  5. Laser nach Anspruch 1, wobei die Wasserfördervorrichtung (10) in ein Gehäuse des Lasers eingebaut ist.
  6. Laser nach Anspruch 1, wobei die Wasserfördervorrichtung (10) außerhalb eines Gehäuses des Lasers angeordnet ist.
  7. Laser nach Anspruch 1, wobei von dem Stoppzustand zu dem Förderzustand gewechselt wird, wenn eine erste vorbestimmte Zeitdauer seit dem Beginn des Stoppzustands verstrichen ist.
  8. Laser nach Anspruch 1, wobei von dem Förderzustand zu dem Stoppzustand gewechselt wird, wenn eine zweite vorbestimmte Zeitdauer seit dem Beginn des Förderzustands verstrichen ist.
  9. Laser nach Anspruch 1, ferner umfassend eine Messvorrichtung (16) zum Messen einer elektrischen Leitfähigkeit des Kühlwassers und ein Ionentauscherharz in dem Kreislauf zum Entfernen von Metallionen aus dem Kühlwasser, wobei die Steuervorrichtung (30) die Wasserfördervorrichtung (10) steuert, um eine Flussrate durch das Ionentauscherharz (14) so zu steuern, dass die von der Messvorrichtung (16) gemessene elektrische Leitfähigkeit des Kühlwassers einen vorbestimmten oberen Grenzwert nicht überschreitet.
  10. Laser nach Anspruch 9, wobei der obere Grenzwert gleich 3 Mikrosiemens/cm ist.
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