DE602004001403T2

DE602004001403T2 - Abgedichtete schleuse für eine in-line vakuumbeschichtungsanlage

Info

Publication number: DE602004001403T2
Application number: DE602004001403T
Authority: DE
Inventors: Stephane Coolen; Eric Silberberg; Didier Marneffe; Bernard D'hondt; Claudio De Felice
Original assignee: USINOR SA
Current assignee: USINOR SA
Priority date: 2003-05-23
Filing date: 2004-04-19
Publication date: 2006-12-28
Anticipated expiration: 2024-04-20
Also published as: US20060236942A1; ES2267064T3; BRPI0411157B1; RU2005137556A; PL1627096T3; EP1627096A1; EP1627096B1; EP1479789A1; DE602004001403D1; WO2004104264A1; CN1795288B; BRPI0411157A; JP2007501328A; JP4536725B2; ATE331822T1; PT1627096E; CA2524938C; US7931750B2; RU2335577C2; CA2524938A1

Description

Gegenstand der Erfindung
Diese Erfindung betrifft eine verbesserte Dichtungsschleuse am Einlauf und/oder Auslauf einer Anlage zum Aufbringen einer dünnen Beschichtung unter Vakuum auf ein flaches, sich fortbewegendes Produkt, vorzugsweise ein Metallband (Kohlenstoffstahl, Edelstahl usw.)
Stand der Technik
Im Inneren einer Vakuumbeschichtungskammer (Druck in der Größenordnung von 10^–5 mbar) können zahlreiche Verfahren zum Einsatz kommen: Reinigung, Beschichtung(en) usw.
In der Stahl- und Metallindustrie sind Anlagen zur metallischen (Reinmetall, Legierungen, Oxide) oder organischen Durchlaufbeschichtung unter Vakuum aus mehreren Gründen von zunehmendem Interesse.
Zunächst bieten sie die Möglichkeit einer sehr einfachen Entwicklung neuer Produkte. Derzeit ist die Beschichtung von Stahlbändern in der industriellen Praxis auf Tauchüberzugsverfahren oder Elektrolyseverfahren beschränkt, wobei es sich hier um herkömmliche Verfahren handelt. Die Zahl der so erhaltenen Produkte ist sehr begrenzt. Die industrielle Nutzung von Vakuumbeschichtungsanlagen, deren Prinzip heute bei Pilotanlagen ausgereift ist, sollte die Herstellung von Dutzenden neuer Produkte ermöglichen.
Vom Standpunkt des Umweltschutzes aus betrachtet, ist zwar das Verfahren der Tauchbeschichtung relativ sauber, ausgenommen die Herstellung von Rohsteinen, aber das Elektrolyseverfahren erfordert chemische Nachbehandlungen wie Filterung, Regeneration, Schlammaufbereitung usw. In allen Fällen entstehen durch die Oberflächenvorbehandlung Abwässer in Form von Bädern und Schlämmen, die aufbereitet werden müssen. Dagegen ist die Vakuumbeschichtung mit oder ohne Plasma ein Trockenverfahren. Man braucht nur die Trockenabfälle, die durch die Oberflächenreinigung entstehen, und die Beschichtungsverluste rückzugewinnen.
Dichtungsschleusen, die der Abtrennung einer Vakuumbeschichtungskammer von den übrigen Teilen der Anlage, wie Ab- und Aufwicklung usw. dienen, sind bekannt. Die Schleuse ist ein Anlagenteil, das für die Phase der industriellen Vermarktung unbedingt beherrscht werden muss. Nach dem Stand der Technik werden Schleusenausführungen beschrieben (US-A-3 158 507, US-A-3 367 667, US-A-3 467 399, US-A-3 868 106, US-A-4 501 428, US-A-5 000 114, EP-A-0 535 568, US-A-5 842 855, US-A-5 865 932). Die meisten dieser Ausführungen haben noch nicht zu einer effektiven industriellen Nutzung geführt.
Um Lecks am schwachen Punkt, der durch die Einlauf- oder Auslaufschleuse gebildet wird, vorzubeugen, vermeidet man meist die Verwendung einer Schleuse. In der Glasindustrie verwendet man die Batchbeschichtung von Platten mit Standardabmessungen. In der Kunststoffindustrie erfolgt das Wickeln direkt in der Vakuumkammer.
Ein Beispiel einer Ein-/Auslaufschleuse 5 für eine Vakuumbeschichtungskammer ist in 1 dargestellt. In dieser Schleuse sind 9 Rollen 10, 11, 12... im Zickzack angeordnet und begrenzen 7 Unterkammern 20, 21, 22... Jede dieser Unterkammern ist mit einem Pumpensystem 3 verbunden. Durch die Gesamtheit der Pumpensysteme 3 erhält man von Kammer zu Kammer 20, 21, 22... ein zunehmendes Vakuum, dessen Wert in der letzten Unterkammer bis zu 10^–5 mbar erreichen kann. Die Zickzackanordnung ist für eine geringe Rollenzahl und die Kompaktheit der Schleuse vorteilhaft. Außerdem bildet das Band einen Bogen, wenn es durch die Rollen läuft, so dass über die Breite des Bandes eine Abdichtung erfolgt, die im Vergleich zu einem einfachen Rollenspalt deutlich verbessert ist. So wird ein größerer Abstand zwischen zwei Rollen tolerierbar.
Außerdem befindet sich jede Rolle in einer Aufnahme, die mit der horizontalen – je nach Fall unteren oder oberen – Wand der Kammer verbunden ist, die sich gegenüber der Rolle befindet. An dieser Stelle wird das Leck auf den Abstand oder das Spiel zwischen Rolle und der Aufnahme begrenzt. Es bleiben auch Lecks zwischen den Flanken der zylinderförmigen Rollen und den Seitenwänden der Kammer bestehen.
Um schließlich die Aufrechterhaltung der Abdichtung in jeder Unterkammer sicherzustellen, ist es notwendig, dass der Auflagedruck zwischen dem Band und den Rollen, die der Abdichtung einer Unterkammer dienen, mindestens gleich der Druckdifferenz zwischen der besagten Unterkammer und ihrer Umgebung ist. Andernfalls besteht die Gefahr, dass sich das Band von der Rolle abhebt. Um dieses Problem zu vermeiden, ist es angebracht, auf das Band einen ausreichenden Zug auszuüben, um den bestehenden Druckunterschied zwischen zwei aufeinander folgenden Unterkammern aufzunehmen.
Für eine industrielle Nutzung im Falle eines Durchlaufverfahrens sind eine Reihe von Problemen nach dem Stand der Technik zu lösen. Zunächst stellt sich das Problem der Instandhaltbarkeit des Werkzeugs. Das Band muss einfach in die Schleuse eingefädelt werden können. Außerdem hat der Kasten, der die Vakuumkammer bildet, eine begrenzte Höhe und ist daher schlecht zugänglich. Nach dem derzeitigen Stand der Technik sollte die Kammer zum Beispiel vollständig abgebaut werden, um den Zustand der Rollenoberflächen zu überprüfen.
Ein weiteres Problem besteht im Verlust des Vakuums, der mit den Lecks in der Schleuse zusammenhängt, was sich auf die Pumpenleistungen auswirkt. Daraus folgt ein hoher Stromverbrauch und hohe Investitionen in die Pumpenanlage.
Ein geringer oder fehlender Wärmeaustausch per definitionem im Vakuumbereich des Kastens bedeutet, dass die Rollen auf der Vakuumseite keiner Dehnung unterworfen sind. In der Tat ist die bloße unebene Auflage nicht ausreichend, um die Wärmeleitung zwischen dem heißen Band und den Rollen auf der Vakuumseite sicherzustellen. Dagegen kommt es zu einer Ausdehnung der Rollen durch Wärmeaustausch auf der Luftseite, die sich gegebenenfalls auf die äußere Hülle des Kastens ausweitet. Diese Dehnung der Rollen über ihre Länge erhöht die Gefahr eines Festfressens durch Kontakt der Rollen mit den Seitenwänden der Kammer. Die Verformung wirkt sich jedoch nicht auf den äußeren Bereich des Kastens auf der Luftseite aus, sofern dieser mit dem Bereich auf der Vakuumseite verbunden ist, der sich nicht ausdehnt.
Ziele der Erfindung
Diese Erfindung hat die Aufgabe, eine Dichtungsschleuse am Ein-/Auslauf für eine Anlage zur Vakuumbeschichtung eines Flachprodukts zu liefern, die nicht die Nachteile nach dem Stand der Technik aufweist.
Die Erfindung hat insbesondere die Aufgabe, eine Dichtungsschleuse zu liefern, die bei einer Durchlaufvakuumbeschichtungsanlage für metallische Flachprodukte wie Kohlenstoffstahl- oder Edelstahlbänder eingesetzt werden kann.
Die Erfindung hat zusätzlich die Aufgabe, eine Schleuse zu liefern, die einfach instand zu halten ist (Einfädeln des Bandes, Zugang zu den Rollen usw.).
Die Erfindung hat außerdem die Aufgabe, eine Schleuse zu liefern, die es ermöglicht, bessere Pumpleistungen bei geringerem Stromverbrauch in einer möglichst kleinen Anlage zu erzielen.
Die Erfindung hat außerdem die Aufgabe, der Gefahr eines Festfressens der Rollen durch die Ausdehnung der teilweise im Vakuum befindlichen Metallteile vorzubeugen.
Schließlich hat die Erfindung noch die Aufgabe, einer schnelleren Abnutzung der Rollen mit einem zusätzlichen Gummiüberzug vorzubeugen.
Wichtigste charakteristische Elemente der Erfindung
Ein erster Gegenstand dieser Erfindung betrifft eine Dichtungsschleuse für eine Kammer zur Vakuumbeschichtung eines Bandes, vorzugsweise aus Metall, im Durchlauf, die einen abnehmbaren unteren Deckel und einen abnehmbaren oberen Deckel aufweist, mit einer Mehrzahl von Metallrollenpaaren, zwischen denen das Band durchläuft und die in einer Aufnahme gehalten werden, die am gegenüberliegenden Deckel in einem Abstand befestigt ist, der ein erstes Leck definiert, wobei durch zwei beliebige aufeinander folgende Rollenpaare eine Unterkammer begrenzt wird, die durch ein mit der besagten Kammer verbundenes Pumpaggregat auf einem bestimmten Druck gehalten wird, der niedriger als Luftdruck ist, dadurch gekennzeichnet, dass:

– die Rollen in Lager eingebaut sind, die mit den besagten Deckeln verbunden sind und ebenfalls austauschbar sind;
– die Achsen der Rollen eines Rollenpaares in der gleichen senkrechten Ebene liegen, und dadurch, dass diese Rollen unterschiedliche Durchmesser aufweisen; wobei die Rolle mit kleinerem Durchmesser abwechselnd oben und unten angeordnet ist, wenn man von einem gegebenen Rollenpaar zum benachbarten Paar übergeht;
– die Aufnahmen zur Abstützung zweier Rollen desselben Rollenpaares eine seitliche Verlängerung zur Mitte hin aufweisen, deren Abstand von der Seitenfläche der besagten Rollen ein zweites Leck definiert.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind die Rollen mit kleinerem Durchmesser mit Gummi oder Elastomer einer gewissen Dicke überzogen.
Auf vorteilhafte Weise sind die Rollen mit größerem Durchmesser Rollen, deren Kontaktfläche mit dem Band aus Metall besteht und die Durchlauflinie des Bandes festlegt.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind zwei Rollen eines Rollenpaares in Querrichtung in Bezug auf die Bewegung des Bandes versetzt, so dass eine Rolle in Bezug auf die andere auf jeder Seite der Schleuse übersteht.
Auf besonders vorteilhafte Weise wird die Abdichtung jeder Unterkammer der Schleuse zwischen dem Band und der Lauffläche der beiden Rollen durch eine Vorspannung der gummiüberzogenen Rolle auf der Rolle mit Metallfläche sichergestellt, wobei gleichzeitig der Durchlauf des Bandes und das Zusammendrücken des Gummis oder Elastomers um das Band ermöglicht wird.
Immer noch auf vorteilhafte Weise wird der Winkel der Richtungsänderung des Bandes durch das Verhältnis der Durchmesser der Rollen eines Rollenpaares bestimmt und beträgt weniger als 10°.
Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung ist, dass der geringste Druck in einer Unterkammer weniger als 10^–4 mbar beträgt, vorzugsweise 10^–5 mbar.
Vorzugsweise ist der Abstand oder das Spiel, das das erste Leck festlegt, von der maximalen Breite des Bandes abhängig, während der Abstand, der das zweite Leck festlegt, im Wesentlichen konstant und geringer als 0,3 mm ist, vorzugsweise 0,2 mm.
Ein zweiter Gegenstand dieser Erfindung betrifft eine Vorrichtung vom Typ Anlage zum Aufbringen einer dünnen metallischen oder organischen Beschichtung unter Vakuum auf ein flaches metallurgisches oder Stahlprodukt, das sich mit einer Geschwindigkeit von mindestens 10m/min fortbewegt, vorzugsweise ein Kohlenstoffstahl- oder Edelstahlband, die eine Dichtungsschleuse wie vorstehend beschrieben am Einlauf und/oder am Auslauf umfasst.
Kurzbeschreibung der Figuren
Die bereits vorstehend erwähnte 1 zeigt eine Schnittansicht einer Dichtungsschleuse für eine Vakuumbeschichtungskammer gemäß dem Stand der Technik.
2 zeigt eine vertikale Längsschnittansicht einer Dichtungsschleuse für eine Vakuumbeschichtungskammer gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung. 2 zeigt ebenfalls die beiden ausklappbaren Deckel.
3 zeigt eine Draufsicht der Dichtungsschleuse für die Vakuumbeschichtungskammer aus 2.
4 zeigt eine vertikale Querschnittansicht der Schleuse aus 2.
Beschreibung einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung
Die 2 und 3 zeigen ein Beispiel einer Einlauf-/Auslaufschleuse für eine Vakuumbeschichtungskammer gemäß dieser Erfindung. Das Metallband 1 läuft von links in die Schleuse ein und verlässt sie auf der rechten Seite. In diesem Fall umfasst die Kammer 5 4 einander gegenüberliegende Rollenpaare 10, 10', 11, 11'..., zwischen denen das Band eingefädelt ist. Diese Rollenpaare begrenzen Unterkammern 20, 21, 22, in denen jeweils unterschiedliche Drücke herrschen, die zum Beispiel im Fall einer Einlaufschleuse nach und nach abnehmen. Bei einer Auslaufschleuse liegt der Fall umgekehrt.
Um die Instandhaltung der Kammer und den Zugang zu den Rollen zu ermöglichen, ist es gemäß der Erfindung vorgesehen, dass die Rollenlager 30, 30' ... ausklappbar sind und, je nach Anordnung der betreffenden Rolle unten oder oben mit dem unteren Deckel 6 oder dem oberen Deckel 7 der Kammer verbunden sind. Es ist auch vorgesehen, dass die beiden Deckel 6 und 7 in senkrechter Richtung mittels (nicht dargestellter) Zylinder ausreichend geöffnet werden können. So ist bei einer Wartungsmaßnahme ein einfacher Zugang zu den Rollen oder den Lagern möglich. Ein weiterer Vorteil liegt in der leichten Einfädelbarkeit des Bandes.
Ein bestimmte Zahl von Teilen wurde konstruiert, um die Dichtigkeit der Kammer bei jedem Rollenpaar zu verbessern.
Zunächst ist die Rolle mit kleinerem Durchmesser 10', 11', 12' mindestens über ihre ganze Kontaktfläche mit einem Gummi- oder Elastomerüberzug versehen. So legt die Metallrolle bei jedem Rollenpaar die Durchlauflinie des Bandes fest, während die Position der Rolle mit Gummiüberzug am Anfang eingestellt wird, damit diese mit ausreichendem Druck auf die entsprechende Metallrolle drückt, wobei sich der Gummi verformt, um das Profil des Bandes anzunehmen (siehe 4). So wird die Abdichtung auf der Bandoberfläche über die gesamte Breite und an den Seiten des Bandes durch das Zusammendrücken des Bandes zwischen dem Gummi und der bloßen Metallrolle sichergestellt.
Auf vorteilhafte Weise kann vorgesehen werden, dass die Rollen 10, 10' ... auf jeder Seite des Bandes 1 abwechselnd unterschiedliche Durchmesser (zum Beispiel 300 bzw. 250 mm) aufweisen. So läuft das Band nicht geradlinig durch (die Durchlauflinie wird gebrochen). Da der Verschleiß sich auf den größeren Berührungswinkel konzentriert, wird der Verschleiß der Rolle mit Gummiüberzug minimiert. Da die Rollen jedoch paarweise fluchten und das Band zwischen ihnen durchgepresst wird, hat man den Vorteil, dass es nicht mehr erforderlich ist, sich um eine Beanspruchung von ΔP zwischen der Atmosphäre und der ersten Vakuum-Unterkammer zu sorgen, so dass in diese mehr gepumpt werden kann. Außerdem ist der auf das Band ausgeübte Zug nicht für die Aufrechterhaltung der Dichtigkeit der einzelnen Vakuum-Unterkammern in Höhe des Bandes kritisch.
Zudem werden die Rollen auf der Seite des ihnen gegenüberliegenden Deckels 6, 7 in einer Aufnahme 40, 40', 41, 41'... gehalten. Diese Anordnung ermöglicht es, Lecks zu minimieren, die unter anderem vom Spiel zwischen der Aufnahme und der Rolle abhängen, wie nachfolgend erläutert wird.
In der Tat werden gemäß der Erfindung die Probleme mit Lecks und Wärmedehnung bei den Seitenwänden gelöst:

– indem einerseits die oberen (40'...) und unteren (40,...) Aufnahmen der Rollen seitlich durch eine Rückkehr zur Mitte (9, 9') verlängert werden, wie in 4 dargestellt ist, und
– andererseits die Rollen jedes Paares (10, 10'...) über die Breite der Kammer gegeneinander versetzt angeordnet werden.

So weist jede der beiden Rollen auf der Seitenfläche einen Überstand in Bezug auf die jeweils andere Rolle auf. Diese Anordnung ermöglicht die Positionierung der geänderten Aufnahme (40, 40'...) wie oben beschrieben. Es ist festzustellen, dass sich die geänderte Aufnahme für beide Rollen konstruktionsbedingt in Querrichtung nicht auf der gleichen Seite befindet. Bei jeder Rolle hat das Lager, das der geänderten Aufnahme entspricht, eine Doppelfunktion:

– Aufnahme der Wärmedehnung der betreffenden Rolle;
– Aufrechterhaltung eines konstanten seitlichen Spiels, d.h. unabhängig von der besagten Dehnung, oder anders ausgedrückt, unabhängig von der tatsächlichen Länge der Rollen. Das seitliche Leck, d.h. das Leck entlang der Seitenfläche der Rolle, ist daher unabhängig von der Wärmedehnung. Die Abdichtung erfolgt nicht mehr auf der Flanke, sondern auf der Lauffläche der Rolle.

Für einen Betrieb mit laminarer Strömung und Molekularströmung ist es angebracht, den Weg des Gases bei der Kammer so weit wie möglich zu verlängern. Beim Molekularbetrieb müssen die Pumpen so nah wie möglich an der Quelle sein und die Querschnitte 8 so groß wie möglich sein (3 und 4).
Die verbesserten Eigenschaften der Schleuse für eine Vakuumbeschichtungskammer gemäß der Erfindung weisen daher die folgenden Vorteile auf:

– Die Instandhaltung wird erleichtert und ist aufgrund der Verwendung von ausklappbaren Rollenbänken weniger kostspielig.
– Die Pumpleistungen werden verbessert; der Stromverbrauch sowie die Investitionen in Anlagen werden dank der verbesserten Abdichtung reduziert (versetzte Anordnung der Rollen eines Rollenpaares, Verformung der gummiüberzogenen Rollen).
– Die Probleme der Differenzialdehnung der Metallteile durch das Vakuum werden durch die Verwendung von geänderten Aufnahmen in Form von Sockeln gelöst, die das Lager aufnehmen und in Form eines Rings verlängert sind, der teilweise die Lauffläche verdeckt, sowie durch versetzte Anordnung der Rollen.
– Durch unterschiedliche Rollendurchmesser wird der Verschleiß der Metallrolle gefördert und der des Polymers minimiert.

Claims

Dichtungsschleuse (5) für eine Kammer zur Vakuumbeschichtung eines Bandes, vorzugsweise aus Metall, im Durchlauf (1), die einen abnehmbaren unteren Deckel (6) und einen abnehmbaren oberen Deckel (7) aufweist, mit einer Mehrzahl von Metallrollenpaaren (10, 10'; 11, 11'...), zwischen denen das Band (1) durchläuft und die in einer Aufnahme (40, 40'; 41, 41';...) gehalten werden, die am gegenüberliegenden Deckel (6, 7) in einem Abstand befestigt ist, der ein erstes Leck definiert, wobei durch zwei beliebige aufeinander folgende Rollenpaare eine Unterkammer (20, 21, 22...) begrenzt wird, die durch ein mit der besagten Kammer verbundenes Pumpaggregat (3) auf einem bestimmten Druck gehalten wird, der niedriger als Luftdruck ist, dadurch gekennzeichnet, dass: – die Rollen in Lager (30, 30'...) eingebaut sind, die mit den besagten Deckeln (6, 7) verbunden sind und ebenfalls austauschbar sind; – die Achsen der Rollen eines Rollenpaares in der gleichen senkrechten Ebene liegen, und dadurch, dass diese Rollen unterschiedliche Durchmesser aufweisen; wobei die Rolle mit kleinerem Durchmesser (10', 11'...) abwechselnd oben und unten angeordnet ist, wenn man von einem gegebenen Rollenpaar zum benachbarten Paar übergeht; – die Aufnahmen (40, 40'; 41, 41') zur Abstützung zweier Rollen desselben Rollenpaares eine seitliche Verlängerung (9, 9') zur Mitte hin aufweisen, dessen Abstand von der Seitenfläche der besagten Rollen ein zweites Leck definiert.
Dichtungsschleuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Rollen mit kleinerem Durchmesser (10', 11'...) mit Gummi oder Elastomer einer gewissen Dicke überzogen sind.
Dichtungsschleuse nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Rollen mit größerem Durchmesser (10, 11...) Rollen sind, deren Kontaktfläche mit dem Band (1) aus Metall besteht und die Durchlauflinie des Bandes festlegt.
Dichtungsschleuse nach einem der Ansprüche 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Rollen eines Rollenpaares in Querrichtung in Bezug auf die Bewegung des Bandes versetzt sind, so dass eine Rolle in Bezug auf die andere auf jeder Seite der Schleuse übersteht.
Dichtungsschleuse nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdichtung jeder Unterkammer der Schleuse zwischen dem Band und dem Tisch der beiden Rollen durch eine Vorspannung der gummiüberzogenen Rolle auf der Rolle mit Metallfläche sichergestellt wird, wobei gleichzeitig der Durchlauf des Bandes und das Zusammendrücken des Gummis oder Elastomers um das Band ermöglicht wird.
Dichtungsschleuse nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel der Richtungsänderung des Bandes durch das Verhältnis der Durchmesser der Rollen eines Rollenpaares bestimmt wird und weniger als 10° beträgt.
Dichtungsschleuse nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der geringste Druck in einer Unterkammer (20, 21, 22 ...) weniger als 10^–4 mbar beträgt, vorzugsweise 10^–5 mbar.
Dichtungsschleuse nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand, der das erste Leck festlegt, von der maximalen Breite des Bandes abhängig ist.
Dichtungsschleuse nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand, der das zweite Leck festlegt, im Wesentlichen konstant und geringer als 0,3 mm ist, vorzugsweise 0,2 mm.
Vorrichtung vom Typ Anlage zum Aufbringen einer dünnen metallischen oder organischen Beschichtung unter Vakuum auf ein flaches metallurgisches oder Stahlprodukt, das sich mit einer Geschwindigkeit von mindestens 10m/min fortbewegt, vorzugsweise ein Kohlenstoffstahl- oder Edelstahlband, die eine Dichtungsschleuse (5) nach einem der vorstehenden Ansprüche am Einlauf und/oder am Auslauf umfasst.