DE60200387T2 - Funkfrequenzfilter - Google Patents

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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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    • H03H7/01Frequency selective two-port networks
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
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  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Filters And Equalizers (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft hauptsächlich einen Radiofrequenzfilter zur Verwendung bei einer Ausrüstung für mobile Kommunikation, wie z. B. einem Mobiltelefon.
  • In letzter Zeit reichte mit Zunahme des Bedarts an Mobilkommunikationsausrüstungen, wie z. B. einem Mobiltelefon, die Bandbreite des dafür verwendeten Frequenzbandes nicht mehr aus, was zu einer Verschiebung zu einem Frequenzband höherer Frequenz führte. Somit ist es für eine Mobilkommunikationsausrüstung, wie z. B. Mobiltelefone, ertorderlich, dass sie kompatibel mit einer höheren Frequenz sind. Vor allem weisen die für sie verwendeten Radiofrequenzfilter eine niedrigere relative Bandbreite auf und ihre Komponenten-Schaltkreiselemente müssen eine höhere örtliche Genauigkeit sicherstellen.
  • Ein herkömmlicher Radiofrequenzfilter hat im allgemeinen eine Struktur, wie sie in 5 dargestellt ist. Die Struktur ist wie folgt:
    • (1) Eine erste Masseelektrode 502 ist auf der oberen Oberfläche der ersten dielektrischen Schicht 501 ausgebildet, und eine zweite dielektrische Schicht 503 ist auf die Masseelektrode 502 laminiert.
    • (2) Zwei Resonatorelektroden 504a und 504b sind auf der oberen Oberfläche der dielektrischen Schicht 503 ausgebildet, und eine dritte dielektrische Schicht 505 ist auf die Resonatoren 504a und 504b laminiert.
    • (3) Eine erste Übertragungselektrode 506a, eine zweite Übertragungselektrode 506b, eine dritte Übertragungselektrode 506c, eine erste Kondensatorelektrode 507a und eine zweite Kondensatorelektrode 507b sind auf der oberen Oberfläche der dielektrischen Schicht 505 ausgebildet, und eine vierte dielektrische Schicht 508 ist auf diese Elektroden laminiert.
    • (4) Eine zweite Masseelektrode 509 ist auf der oberen Oberfläche der dielektrischen Schicht 508 ausgebildet, und eine fünfte dielektrische Schicht 510 ist auf die Masseelektrode 509 laminiert.
    • (5) Anschlusselektroden 511a, 511b, 511c, 511d, sind auf der seitlichen Oberfläche der dielektrischen Schicht 510 ausgebildet.
  • Hier sind die Resonatorelektrode 504a und die Kondensatorelektrode 507a, sowie die Resonatorelektrode 504b und die Kondensatorelektrode 507b jeweils so vorgesehen, dass sie wenigstens teilweise einander via der dielektrischen Schicht 505 gegenüberliegen. Wie in 5 gezeigt ist, sind die Übertragungselektrode 506a, die Kondensatorelektrode 507a, die Übertragungselektrode 506b, die Kondensatorelektrode 507b und die Übertragungselektrode 506c in dieser Reihenfolge zwischen den Anschlusselektroden 511c und 511d ausgebildet, so dass sie eine Übertragungsleitung bilden. Weiterhin ist die Anschlusselektrode 511a zum Zwecke der Erdung mit den Masseelektroden 502 und 509 verbunden. Weiterhin ist die Anschlusselektrode 511b zum Zwecke der Erdung mit den Masseelektroden 502 und 509 und mit jedem Ende der Resonatorelektrode 504a und 504b verbunden.
  • Bei einem herkömmlichen Radiofrequenzfilter mit der oben beschriebenen Struktur sind die Resonatorelektroden 504a und 504b in einer Dreiplattenstruktur ausgebildet, wobei sie zwischen zwei Masseelektroden 502 und 509 eingebettet sind. Die Resonatorelektroden 504a und 504b, von denen jeweils ein Ende jeder Elektrode geerdet ist, wirken als ein Viertel-Wellenlängenresonator, d. h., als ein serieller Resonator. Weiterhin sind diese Resonatoren teilweise den Kondensatoren 507a bzw. 507b via der dielektrischen Schicht 505 gegenüberliegend vorgesehen und wirken als ein Parallelplattenkondensator. Speziell sind zwei serielle Resonatoren, mit einer geendeten Erde, über dem Parallelplattenkondensator parallel zur Übertragungsleitung zwischen den Anschlusselektroden 511c und 511d geschaltet. Folglich wirkt dieser Filter wie ein Bandsperrfilter, der Anschlusselektroden 511c und 511d als Eingangs- bzw. Ausgangsanschlüsse aufweist.
  • Bei einem herkömmlichen Radiofrequenzfilter, der die obige Struktur und Arbeitsweise aufweist, wird jede Elektrode durch eine Mehrzahl von Elektrodenschichten mit vorbestimmten Messungen innerhalb dielektrischer Schichten gebildet. Nach dem Elektrodenschicht-Ausbildungsprozess, der durch einen Dielektrische-Schicht-Sinterprozess gefolgt wird, wird durch Messungen ein Filter mit einer vorbestimmten Frequenzcharakteristik ausgewählt. Da aber neuere Anlagen höhere Frequenzen aufweisen, was bewirkt; dass die relative Bandbreite der Frequenzcharakteristik des Filters schmäler wer den muss, werden Elektrodenschichten benötigt, die eine höhere Maßgenauigkeit aufweisen. Mit einem solchen herkömmlichen Herstellungsprozess ist es aber schwierig, die erforderten Charakteristiken zu erreichen. Da darüber hinaus Elektrodenschichten in den meisten Fällen unter Verwendung von Siebdrucktechniken hergestellt wurden, gab es ein Problem des Verschlechterns der Maßgenauigkeit, wie z. B. durch "Verwischen beim Drucken". Daher ist das herkömmliche Verfahren nicht in der Lage, die Elektrodenabmessungen zu reduzieren und dabei gleichzeitig eine hohe Maßgenauigkeit aufrechtzuerhalten, und daher beschränkt hinsichtlich der Verkleinerung der Filtergrößen.
  • In der US-A-5 400 000 wird ein Radiofrequenzfilter beschrieben, wobei eine spezielle Frequenzcharakteristik durch die Dicke und die dielektrische Konstante einer dielektrischen Schicht innerhalb des Filters bestimmt wird. Weiterhin kann die Frequenzcharakteristik durch das Schneiden von Ablenkelektroden angepasst werden. Bei diesem Filterherstellungsvertahren sind alle Schichten, einschließlich der Elektrodenschichten, der dielektrischen Schicht und der oberen und unteren Schutzschichten, laminiert und werden erhitzt, um die Filtervorrichtung zu bilden.
  • Roshen W. A. beschreibt in "Effect of Finite Thickness of Magnetic Substrate on Planar Inductors" in IEEE Transactions on Magnetics, Band 26, Nr. 1, Seiten 270 bis 275, Januar 1990, den Einfluss der Substratdicke und der magnetischen Permeabilität auf die Induktivität eines planaren Induktors.
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Verfahren zum Anpassen eines Radiofrequenzfilters an die erwünschten Frequenzcharakteristiken bereitzustellen.
  • Diese Aufgabe wird durch die Merkmale von Anspruch 1 gelöst.
  • Weitere Ausführungsformen sind der Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
  • Der Radiofrequenzfilter, der gemäß der vorliegenden Erfindung erhalten wird, umfasst eine Induktionskomponente, eine Kapazitätskomponente und eine Widerstandskomponente, und hat eine Konfiguration, wie sie nachfolgend beschrieben wird.
  • Ein Leitermuster wird auf der Oberfläche einer dielektrischen Schicht ausgebildet, wobei wenigstens eine Induktionskomponente oder Kapazitätskomponente oder Widerstandskomponente gebildet wird.
  • Eine Regulierschicht wird gebildet, um wenigstens einen Teil des Leitermusters abzudecken und dient dazu, die Frequenzcharakteristik (Frequenzkennlinie) des Filters einzustellen.
  • Das Leitermuster wird gewöhnlich auf der Obertäche der dielektrischen Schicht ausgebildet und danach gesintert.
  • Die vorliegende Erfindung weist die folgenden Eigenschaften auf.
    • (1) Durch Ausbilden einer Regulierschicht mit einem dielektrischen Material ist es möglich, den Frequenzregulierbereich durch Ändern der effektiven dielektrischen Konstante zu erhöhen.
    • (2) Durch Ausbilden einer Regulierschicht mit einem magnetischen Material ist es möglich, den Frequenzregulierbereich durch Ändern der effektiven Permeabilität zu erhöhen.
    • (3) Durch Bilden eines Leiters auf der oberen Oberfläche der Regulierschicht, die auf dem dielektrischen Material oder dem magnetischen Material ausgebildet ist, ist es möglich, die Änderung der effektiven dielektrischen Konstante oder effektiven Permeabilität zu verstärken.
    • (4) Durch Erden der Regulierschicht gemäß (3) ist es möglich, die Änderung der effektiven dielektrischen Konstante oder effektiven Permeabilität weiter zu verstärken.
    • (5) Durch Bilden einer dielektrischen Schicht zwischen dem Leitermuster und der Regulierschicht ist es möglich, den Zusammenbruch oder die Beschädigung von Elektroden, die nicht reguliert werden sollen, zu vermeiden.
    • (6) Die Anpassung kann durch Ändern der Fläche der Regulierschicht für jedes Leitermuster des Anpassungsobjekts reguliert werden.
    • (7) Die Frequenz kann höher eingestellt werden, indem ein Teil der Regulierschicht entfernt wird.
    • (8) Die Frequenz kann niedriger eingestellt werden, indem ein Teil der Regulierschicht auf ihr hinzugefügt wird.
    • (9) Der Wert der Kapazität des Kondensators kann eingestellt werden, indem wenigstens ein Paar von Interdigitalelektroden im Leitermuster ausgebildet wird.
    • (10) Der Wert der Induktivität des Induktors kann eingestellt werden, indem das Leitermuster gebildet wird, wobei die Linienbreite und/oder der Linienabstand nicht mehr als 60 μm betragen dürten.
    • (11) Unter Verwendung von Tiefdrucktechniken zum Ausbilden des Leitermusters ist es möglich, den Filter so herzustellen, dass er eine kleine Größe aufweist und einstellbar ist.
    • (12) Unter Verwendung von Dünnfilmtechniken zum Ausbilden des Leitermusters ist es möglich, den Filter so herzustellen, dass er eine kleine Größe aufweist und einstellbar ist.
  • Die vorliegende Erfindung, die eine wie oben beschriebene Konfiguration aufweist, kann einen Radiofrequenzfilter kleiner Größe bereitstellen, durch den die erwünschte Frequenzkennlinie selbst bei einem Frequenzband im Bereich höherer Frequenzen bei einer einfachen Konfiguration leicht erreicht werden kann.
  • 1 ist ein Konfigurationsdiagramm eines Radiofrequenzfilters bei der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung.
  • 2 ist ein Konfigurationsdiagramm eines Radiofrequenzfilters bei der Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung.
  • 3 ist ein Konfigurationsdiagramm eines Radiofrequenzfilters bei der Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung.
  • 4 ist ein Konfigurationsdiagramm eines Radiofrequenzfilters bei der Ausführungsform 4 der vorliegenden Erfindung.
  • 5 ist ein Konfigurationsdiagramm eines Radiofrequenzfilters bei einem herkömmlichen Beispiel.
  • Die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
  • (Ausführungsform 1)
  • 1 ist ein Konfigurationsdiagramm eines Radiofrequenzfilters gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung. Beim Radiofrequenzfilter der vorliegenden Ausführungsform ist die Masseelektrode 102 auf der unteren Oberfläche des Dielektrikums 101 ausgebildet, und Anschlusselektroden 103a, 103b, 103c, 103d, 103e, 103f sind so ausgebildet, dass sie um die Seite des Dielektrikums 101 herum angeordnet sind und teilweise bis zu dessen Oberseite geführt sind. Weiterhin sind auf der oberen Oberfläche des Dielektrikums 101 eine erste Übertragungselektrode 104, eine zweite Übertragungselektrode 105, eine dritte Übertragungselektrode 106, eine erste Interdigitalelektrode 107a, 107b, eine zweite Interdigitalelektrode 108a/108b ausgebildet. Weiterhin ist eine dielektrische Schicht 109 auf die Oberseite dieser Elektrode laminiert, auf welcher dielektrische Regulierschichten 110a bzw. 110b ausgebildet sind, so dass sie wenigstens teilweise durch die erste Interdigitalelektrode 107a, 107b und die zweite Interdigitalelektrode 108a, 108b überlappt werden. Ein Ende der ersten Übertragungselektrode 104 und ein Ende der zweiten Übertragungselektrode 105 sind mit der Anschlusselektrode 103a verbunden. Darüber hinaus ist ein Ende der ersten Interdigitalelektrode 107a mit dem anderen Ende der zweiten Übertragungselektrode 105 übertragen, und die AAnschlusselektrode 103d ist mit der anderen Elektrode der ersten Interdigitalelektrode 107b verbunden. Auf ähnliche Weise sind das andere Ende der ersten Übertragungselektrode 104 und ein Ende der dritten Übertragungselektrode 106 mit der Anschluss elektrode 103c verbunden. Weiterhin ist die zweite Interdigitalelektrode 108a mit dem anderen Ende der dritten Übertragungselektrode 106 verbunden, und die Anschlusselektrode 103f ist mit der dritten Interdigitalelektrode 108b verbunden. Weiterhin sind die Anschlusselektroden 103b, 103d, 103e und 103f alle zum Zwecke der Erdung mit der Masseelektrode 102 verbunden.
  • Die Arbeitsweise eines Radiofrequenzfilters mit der oben beschriebenen Konfiguration wird nun beschrieben.
  • Die Interdigitalelektroden 107a/107b sind nahe beieinander vorgesehen, ohne miteinander in Kontakt zu stehen. Sie wirken als ein Interdigitalkondensator, dessen Kapazität durch die Dimension der Elektrode, die Anzahl der Elektroden, dem Abstand zwischen den Elektroden und der dielektrischen Konstante des Dielektrikums 101 bestimmt wird. Die Interdigitalelektroden 108a/108b funktionieren auf die gleiche Weise. Weiterhin wirkt die Übertragungselektrode 105 als ein Induktor, dessen Induktivität proportional zur charakteristischen Impedanz ist, die durch die Form und Abmessungen der Übertragungsleitung, und der dielektrischen Konstante des Dielektrikums 101 bestimmt wird. Die Übertragungselektrode 106 funktioniert auf die gleiche Weise. Insbesondere sind ein serieller Resonator, der die als Induktor wirkende Übertragungselektrode 105 umfasst, und die als Kondensator wirkende Interdigitalelektrode 107a/107b parallel mit der Übertragungsleitung 104 geschaltet. Die Übertragungselektrode 106 und die Interdigitalelektroden 108a/108b funktionieren auf die gleiche Weise. Der serielle Resonator, der parallel mit der Übertragungsleitung geschaltet ist, besitzt einen Abschwächungspol. Folglich wirkt der Radiofrequenzfilter der vorliegenden Erfindung als ein Bandsperrfilter mit zwei Abschwächungspolen, bei welchem die Anschlusselektrode 103a bzw. die Anschlusselektrode 103c als Eingangs- bzw. Ausgangsanschluss fungieren.
  • Die dielektrische Schicht 109 schützt jede Elektrode, die auf der oberen Oberfläche des Dielektrikums 101 ausgebildet ist, wobei sie deren Zerbrechen oder Beschädigung verhindert. Dielektrische Regulierschichten 110a und 110b sind so ausgebildet, dass sie die Interdigitalelektroden 107a/107b bzw. 108a/108b bedecken. Folglich wird die effektive dielektrische Konstante des bedeckten Abschnitts im Vergleich mit dem nicht bedeckten Abschnitt größer, was ihre Kapazitäten erhöht. Weiterhin wird ein Dielektrikum als Material für die dielektrischen Regulierschichten 110a und 110b verwendet, dessen Sinter temperatur niedriger als die Sintertemperatur für das Dielektrikum 101 und die dielektrische Schicht 109 ist. Auf diese Weise kann die dielektrische Regulierschicht im abschließenden Sinterprozess gebildet werden. Dadurch wird es möglich, die Frequenzcharakteristik nach dem Herstellen des Radiofrequenzfilters anzupassen. Zum Beispiel konnte für den Fall, dass ein Reaktionsharz verwendet wird, experimentell bestätigt werden, dass die Kapazität des Interdigitalkondensators um 20% erhöht wird.
  • (Ausführungsform 2)
  • 2 ist ein Konfigurationsdiagramm des Radiofrequenzfilters gemäß der Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung. Der Unterschied des Radiofrequenzfilters gemäß der vorliegenden Ausführungsform gegenüber der Ausführungsform 1 besteht in der Position, in der die dielektrische Regulierschicht ausgebildet wird. Bei der vorliegenden Ausführungsform werden die dielektrischen Regulierschichten 210a und 210b so ausgebildet, dass sie wenigstens mit einem Teil der Transmissionselektroden 105 und 106 auf der oberen Oberfläche der dielektrischen Schicht 109 überlappt werden, wie in 2 gezeigt. In diesem Fall kann die Frequenzcharakteristik des Radiofrequenzfilters durch Ändern der dielektrischen Konstante dieser Übertragungselektroden angepasst werden, wodurch die Induktivität des Induktors angepasst wird.
  • Im Fall des Radiofrequenzfilters der vorliegenden Erfindung kann eine magnetische Regulierschicht anstelle einer dielektrischen Regulierschicht gebildet werden. In diesem Fall ist es möglich, den Bereich zu erhöhen, in dem die Induktivität angepasst werden kann. Im Fall der Radiofrequenzfilter gemäß der Ausführungsformen 1 und 2 kann eine leitende Regulierschicht anstelle einer dielektrischen Regulierschicht gebildet werden. Auch in diesem Fall ist es möglich, den Bereich zu erhöhen, in dem die Kapazität oder die Induktivität anpassbar ist.
  • (Ausführungsform 3)
  • 3 ist ein Konfigurationsdiagramm des Radiofrequenzfilters gemäß der Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung. Bei dem in 3 gezeigten Radiofrequenzfilter der vorliegenden Ausführungsform sind anstelle der dielektrischen Regulierschichten von Ausführungsform 1 leitende Regulierschichten 310a und 310b vorgesehen, welche unter Verwendung der Anschlusselektroden 303d und 303f geerdet sind. Abgesehen von diesem Unterschied liegt die gleiche Konfiguration vor wie bei der Ausführungsform 1. In 3 sind dielektrische leitende Regulierschichten 310a und 310b auf den Interdigitalelektroden ausgebildet, und die Kondensatoren sind anteilsmäßig zur Fläche, die durch die Interdigitalelektrode eingenommen wird, hinzugefügt. Dadurch ist es möglich, den Bereich zu erhöhten, in dem die Kapazität anpassbar ist.
  • (Ausführungsform 4)
  • 4 ist ein Konfigurationsdiagramm des Radiofrequenzfilters der Ausführungsform 4 der vorliegenden Erfindung. Beim in 4 gezeigten Radiofrequenzfilter der vorliegenden Erfindung sind anstelle von dielektrischen Regulierschichten, wie bei der Ausführungsform 2, leitende Regulierschichten 410a und 410b so vorgesehen, dass sie wenigstens teilweise durch die Übertragungselektroden 105 und 106 auf der oberen Oberfläche der dielektrischen Schicht 109 überlappt werden. Weiter sind sie unter Verwendung der Masseelektrode 403e geerdet, wie 4 zeigt. Abgesehen davon ist die Konfiguration dieselbe, wie bei der Ausführungsform 2. In diesem Fall weisen die Elektroden 105 und 106 eine Dreiplattenstruktur auf, und ihr elektromagnetisches Feld konzentriert sich zwischen die Masseelektrode 102 und die leitenden Schichten 410a und 410b. Folglich ist es möglich, die effektive dielektrische Konstante in der Nähe der Übertragungselektroden zu erhöhen und den Bereich zu vergrößern, in dem die Induktivität angepasst werden kann.
  • Bei jeder der oben beschriebenen Ausführungsformen wird ferner bevorzugt, dass die Frequenz durch das Erhöhen oder Verringern der Fläche der dielektrischen Schicht angepasst wird, die auf der oberen Oberfläche jeder Elektrode ausgebildet ist, um die Elektrode zu schützen. In diesem Fall besteht ein Vorteil darin, dass das Herstellungsverfahren für den Radiofrequenzfilter reduziert werden kann.
  • Da die oben beschriebenen Radiofrequenzfilter Übertragungselektroden und Interdigitalelektroden aufweisen, ist es weiter möglich, die Elektrodenschicht als eine einzige Schicht darzustellen und die Radiofrequenzfilter dadurch herzustellen, dass eine Tiefdrucktechnik oder eine Dünnfilmtechnik verwendet wird. Folglich kann beim Radiofre quenzfilter der vorliegenden Erfindung jede Elektrode so gebildet werden, dass die Linienbreite und der Linienabstand nicht mehr als 60 μm betragen. Dadurch ist es möglich, den Radiofrequenzfilter kleiner und dünner herzustellen, als dies bei einem herkömmlichen Radiofrequenzfilter der Fall ist.
  • Weiter ist beim seriellen Resonator bei jeder der oben beschriebenen Ausführungsformen ein Ende mit der Übertragungsleitung zwischen dem Eingangsanschluss und dem Ausgangsanschluss verbunden, und das andere Ende ist geerdet. Dadurch fungiert der Radiofrequenzfilter bei jeder der oben beschriebenen Ausführungsformen als ein Bandsperrfilter. Weiter ist es unter Hinzunahme der unten beschriebenen Bedingungen möglich, dass der Filter auch anders als ein Bandsperrfilter wirkt.
  • Da jeder der zwei seriellen Resonatoren einen Dämpfungspol (Abschwächungspol) aufweist, ist die Impedanz kapazitiv, wenn die Frequenz niedriger als die Resonanzfrequenz ist, und induktiv, wenn sie höher ist. Wenn die Frequenz zwischen den beiden Resonanzfrequenzen liegt, löschen sich folglich die Reaktanzkomponenten der zwei Resonatoren gegenseitig aus. In diesem Fall sind die Form und Abmessungen der zweiten Übertragungselektrode 105 und der ersten Interdigitalelektroden 107a/107b, und der dritten Übertragungselektrode 106 und der zweiten Interdigitalelektroden 108a/108b so festgelegt, dass die Reaktanzkomponenten verschwinden oder nahezu verschwinden. Dann wirkt der Radiofrequenzfilter als ein Bandpassfilter mit einem Durchlassbereich, der im Bandbereich zwischen den zwei Resonanzfrequenzen liegt.
  • Bei einem solchen Bandpassfilter ist es möglich, die Frequenzcharakteristik des Filters nach dem Herstellen des Filters anzupassen. Weiterhin ist es beim Herstellungsvertahren von Mobilkommunikationseinrichtungen, wie z. B. Mobiltelefonen, möglich, die Frequenzcharakteristik des Filters nach dem Zusammenbau der Schaltungskomponenten anzupassen. Folglich kann die Ausbeute bezüglich der Herstellung der Anlage verbessert werden.
  • Die vorliegende Erfindung mit einer Konfiguration, wie oben beschrieben, stellt einen Radiofrequenzfilter kleiner Größe bereit, durch den die erwünschte Frequenzcharakteristik mit einer einfachen Konfiguration selbst in einem Frequenzband höherer Frequenzen erreicht werden kann.

Claims (9)

  1. Verfahren zum Herstellen eines Radiofrequenzfilters, wobei das Radiofrequenzfilter eine dielektrische Schicht (101), ein Leitermuster, das auf einer Oberfläche der dielektrischen Schicht (101) ausgebildet ist, umfasst, wobei das Leitermuster wenigstens eine Induktions-Komponente (105, 106), eine Kapazitäts-Komponente (107a, 107b, 108a, 108b) und/oder eine Widerstands-Komponente umfasst, die eine Filterschicht bilden, gekennzeichnet durch: Ausbilden einer Regulierschicht (110a, 110b, 210a, 210b, 310a, 310b, 410a, 410b) auf dem bereits fertiggestellten Filter, um ausgewählte Teile des Leitermusters abzudecken und die Frequenzkennlinie des Filters auf vorgegebene Werte einzustellen.
  2. Verfahren zum Herstellen eines Radiofrequenzfilters nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine schützende dielektrische Schicht (109) auf der Filterschicht ausgebildet ist und die Regulierschicht (110a, 110b, 210a, 210b, 310a, 310b, 410a, 410b) auf der schützenden dielektrischen Schicht (109) ausgebildet ist.
  3. Verfahren zum Herstellen eines Radiofrequenzfilters nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem Prozess des Fertigsinterns zum Ausbilden der Regulierschicht (110a, 110b, 210a, 210b, 310a, 310b, 410a, 410b) eine niedrigere Temperatur als zum Ausbilden der Filterschicht eingesetzt wird.
  4. Verfahren zum Herstellen eines Radiofrequenzfilters nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein dielektrisches Material, ein magnetisches Material oder ein elektrisch leitendes Material als Regulierschicht (110a, 110b, 210a, 210b, 310a, 310b, 410a, 410b) eingesetzt wird.
  5. Verfahren zum Herstellen eines Radiofrequenzfilters nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Größe von Regulierschicht-Komponenten (110a, 110b, 210a, 210b, 310a, 310b, 410a, 410b) entweder durch das Entfernen oder das Hinzufügen von Teilen der Komponenten (110a, 110b, 210a, 210b, 310a, 310b, 410a, 410b) angepasst wird.
  6. Verfahren zum Herstellen eines Radiofrequenzfilters nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Paar Interdigitalelektroden eingesetzt wird, um die Kapazitätskomponente (107a, 107b, 108a, 108b) des Leitermusters auszubilden.
  7. Verfahren zum Herstellen eines Radiofrequenzfilters nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Leitermuster so ausgebildet wird, dass es wenigstens eine Linienbreite und einen Linienabstand von nicht mehr als 60 μm hat.
  8. Verfahren zum Herstellen eines Radiofrequenzfilters nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Leitermuster mit einer Tiefdrucktechnik ausgebildet wird.
  9. Verfahren zum Herstellen eines Radiofrequenzfilters nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das Leitermuster mit einer Dünnfilm-Ausbildungstechnik ausgebildet wird.
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