DE60128921T2 - Verfahren zur herstellung von aluminiumoxynitrid - Google Patents

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Aluminiumoxinitrid.
  • Wie in der Technik bekannt ist, ist Aluminiumoxinitrid mit einer chemischen Zusammensetzung Al23-1/3xO27+xN5-x, 0,429 ≤ x ≤ 2 (AlON) ein keramisches Material, das einen weiten Bereich von Verwendungen aufgrund seines verhältnismäßig hohen Grades von Transparenz über den Wellenlängenbereich von etwa 0,2 μm bis hinauf zu 5 μm hat. Folglich kann AlON in Anwendungsfällen eingesetzt werden, welche Durchlässigkeitseigenschaften und Abbildungseigenschaften im sichtbaren Wellenlängenbereich und Infrarotwellenlängenbereich erfordern. Diese Anwendungen umfassen sowohl zivile als auch militärische Anwendungsfälle, beispielsweise transparente Gehäuse für Dampflampen, optische Fenster, ballistische Waffen, Abtastfenster, Uhrkristalle und transparente Kuppeln für optische Abbildungssysteme in Flugkörpern, beispielsweise solche, wie sie bei Infrarot-Wärmesuchkopfraketen anzutreffen sind.
  • Zusätzlich kann Aluminiumoxinitrid, da es einen verhältnismäßig hohen Grad von Festigkeit aufweisen kann, auch als eine Schutzschranke für Systeme dienen, welche bestimmten anspruchsvollen Umgebungsbedingungen ausgesetzt sein können. Beispielsweise kann Aluminiumoxinitrid als ein Fenster oder eine Kuppe für einen äußeren Teil einer Rakete ausgebildet sein.
  • Die Eigenschaften von Aluminiumoxinitrid oder AlON und verschiedene Arten der Herstellung von AlON und transparenter Körper daraus werden in der Veröffentlichung "Phase Relations and Reaction Sintering of Transparent Cubic Aluminium Oxynitride Spinel (AlON)" von J.W. McCauley und N.D. Corbin auf den Seiten 476 bis 479 von Journal of the American Ceramic Society, Band 62, September bis Oktober 1979 und in der Veröffentlichung "Aluminum Oxynitride Spinel: A Review" von N.D. Cor bin auf den Seiten 143 bis 154 von Journal of the European Ceramic Society, Band 5, 1989, beschrieben.
  • AlON kann durch einen Prozess synthetisch hergestellt werden, welcher manchmal als carbothermische Nitrierung bezeichnet wird. Im allgemeinen wird bei diesem Prozess Aluminiumoxid (Al2O3) mit Kohlenstoff (C) gemischt, und diese Mischung lässt man unter einer stickstoffhaltigen Atmosphäre, beispielsweise Distickstoff (N2) bei hohen Temperaturen, beispielsweise etwa 1600 bis 1850°C reagieren. Die spezifischen Reaktionen, welche in dem Prozess ablaufen, werden in den Gleichungen 1 und 2 angegeben. 23Al2O3 + 15C + 5N2 → 18Al2O3 + 10AlN + 15CO↑ (1) (9+1/3x)Al2O3 + (5-x)AlN → Al23-1/3xO27+XN5-x (2)
  • Wie in Gleichung 1 aufgezeigt ist, reagieren ein Teil des Aluminiumoxid, des Kohlenstoff und des Stickstoff zur Bildung von Aluminiumnitrid und es wird Kohlenmonoxid erzeugt. Diese Reaktion kann bei etwa 1650 bis 1750°C ablaufen. Das gebildete Aluminiumnitrid reagiert dann mit dem Aluminiumoxid, beispielsweise bei etwa 1750 bis 1850°C zur Bildung von AlON. Die Synthese von AlON durch carbothermische Nitrierung beispielsweise durch herkömmliche chargenweise Verarbeitung, kann bis zu etwa 20 bis 30 Stunden bis zur Vervollständigung dauern.
  • Die EP 0 284 222 A beschreibt einen Reaktor, in welchem Granulate eines Ausgangspulvers, welches mit einem Reaktionsgas reagieren soll, durch einen Stapel von Tabletts gehalten sind. Wenn Aluminiumoxinitrid hergestellt werden soll, dann ist das Reaktionsgas Stickstoff. Das Gas wird in den Reaktor über einen Einlassanschluss eingeführt und wird zu jedem Tablett oder in jeden Trog durch einen Ausschnitt im oberen Teil einer Seitenwand des Troges eingeführt, so dass das Gas über die Granulate in den Trog strömt. Das Reaktionsgas diffundiert in die Granulate hinein, um die Reaktion auszulösen. Gas als Nebenprodukt und nicht reagiert habendes Reaktionsgas werden über einen Durchgang abgegeben, der durch Öffnungen in den gestapelten Tabletts oder Trögen und einen Auslassanschluss gebildet ist. Die Reaktion ist eine Reduktionsnitrierung von Aluminiumoxid.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung von Aluminiumoxinitrid geschaffen, wobei das Verfahren folgendes umfasst: Bereitstellen einer Kammer; Einführen von Aluminiumoxidpartikeln und Kohlenstoffpartikeln in die Kammer; Reagierenlassen der Aluminiumoxidpartikel und der Kohlenstoffpartikel, welche in die Kammer eingeführt sind, während gleichzeitig Stickstoffgas über die Aluminiumoxidpartikel und Kohlenstoffpartikel in der Kammer geleitet wird, welche sich auf einer Temperatur befindet, welche so gewählt ist, dass die Aluminiumoxidpartikel, die Kohlenstoffpartikel und der Stickstoff in Aluminiumoxinitrid übergeht; und Abführen des Aluminiumoxinitrids aus der Kammer, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass die Reaktion ausgeführt wird, während die Aluminiumoxidpartikel und die Kohlenstoffpartikel innerhalb der Kammer gemischt werden.
  • Durch ein solches Verfahren können große Mengen von Aluminiumoxinitrid in praktischer Weise hergestellt werden.
  • In einer Ausführungsform umfasst das Verfahren einen chargenweisen rotierenden Prozess oder einen halbkontinuierlichen rotierenden Prozess, bei welchem eine Reaktionsmischung während der Reaktion verteilt oder umgewälzt wird. Das Verteilen der Reaktionsmischung kann die Reaktionszeit verkürzen, zur Bildung einer gleichförmigeren AlON-Verbindung führen und die Herstellung eines frei fließenden AlON-Pulvers führen, jeweils im Vergleich zu der herkömmlichen carbothermischen Nitrierung, wodurch beispielsweise niedrigere Herstellungskosten erreicht werden.
  • Zusätzlich kann der halbkontinuierliche Prozess die Zeit verkürzen, welche zur Synthese vielfacher Chargen von AlON benötigt wird, beispielsweise durch Vermindern der Zeit, die zum Hochheizen des Ofens auf die Reaktionstemperatur benötigt wird, der Zeit, die für die Abkühlung des Ofens erforderlich ist, und der Zeit, die für das Wiederaufladen des Reaktionsraumes und zur Entfernung des gebildeten AlON aus dem Reak tionsraum benötigt wird. Der halbkontinuierliche Prozess ermöglicht auch eine einfache Handhabung der Reaktionsstoffe und der Produkte.
  • Ausführungsformen der Erfindung können eines oder mehrere der folgenden Merkmale enthalten. Das Mischen der Partikel umfasst das Rotierenlassen der Kammer. Das Verfahren umfasst weiter das Kühlen des Aluminiumoxinitrids, das Entfernen des Aluminiumoxinitrids aus der Kammer und das Einführen einer zweiten Mischung mit Aluminiumoxid und Kohlenstoff in die Kammer. Das Verfahren umfasst weiter die Bildung des Aluminiumoxinitrids zu einer transparenten Struktur. Die Formung des Aluminiumoxinitrids umfasst die Herstellung eines grünen Körpers, der Aluminiumoxinitrid enthält, und das Sintern des grünen Körpers. Das Verfahren umfasst weiterhin das isostatische Pressen des gesinterten grünen Körpers unter Einwirkung von Wärme. Das Aluminiumoxinitrid enthält Al23-1/3xO27+XN5-x, worin 0,249 ≤ x ≤ 2 ist.
  • Die Kammer kann eine Ausgangsöffnung aufweisen und das Entfernen des Aluminiumoxinitrids kann das Zurückziehen eines Kolbens innerhalb der Kammer umfassen, so dass das Aluminiumoxinitrid durch die Auslassöffnung herausfließen kann.
  • In einer anderen Ausführungsform der Erfindung umfasst eine kontinuierliche Methode der Herstellung von Aluminiumoxinitrid das Erhitzen einer Kammer, das kontinuierliche Einführen einer Reaktionsmischung mit Aluminiumoxidpartikeln und Kohlenstoffpartikeln in die Kammer, das Mischer der Partikel innerhalb der Kammer und das kontinuierliche Erzeugen des Aluminiumoxinitrids. Der kontinuierliche Prozess kann ähnliche Vorteile wie der halbkontinuierliche Prozess bieten.
  • Die Erfindung wird nun beispielsweise unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben.
  • BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist ein Blockdiagramm eines Verfahrens zur Herstellung einer Aluminiumoxinitridstruktur (AlON);
  • 2 ist eine schematische Abbildung einer Ausführungsform eines Systems zur Herstellung von AlON;
  • 3A und 3B sind aufgeschnittene perspektivische Ansichten und Ausführungsformen von Reaktionsbehältern;
  • 4 ist eine schematische Abbildung einer Ausführungsform eines Systems zur Herstellung von AlON mit einem Kolben in einer vorgeschobenen Position;
  • 5 ist eine schematische Abbildung einer Ausführungsform eines Systems zur Herstellung von AlON mit einem Kolben in zurückgezogener Position;
  • 6 ist eine schematische Abbildung der Ausführungsform eines Systems zur Herstellung von AlON; und
  • 7 ist eine schematische Abbildung einer Ausführungsform wiederum eines anderen Systems zur Herstellung AlON.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
  • 1 zeigt ein Verfahren zur Herstellung einer AlON-Struktur, beispielsweise einer AlON-Kuppel. Allgemein wird AlON-Pulver durch Reagierenlassen von Al2O3 und Kohlenstoff in einer Stickstoffatmosphäre bei hohen Temperaturen gebildet. Das hergestellte AlON-Pulver wird zur Entfernung von Kohlenstoff, welcher nicht reagiert hat, kalziniert und gemahlen, um die Partikelgröße des AlON-Pulvers zu vermindern. Das gemahlene AlON wird dann sprühgetrocknet, um ein Agglomerat der AlON-Partikel zu bilden und ein fließfähiges Pulver zu erzeugen, das in zweckmäßiger Weise in eine Form eingegossen werden kann, um einen grünen Körper herzustellen. Der grüne Körper, welcher annähernd die Abmessungen der Struktur hat, wird durch kaltes isostatisches Pressen gebildet. Nach dem Pressen wird der grüne Körper erhitzt, um organisches Material zu entfernen, und gesintert, um die Struktur zu verdichten, und wird dann weiter durch isostatisches Heißpressen verdichtet. Die Struktur wird dann vergütet und durch Schleifen und Polieren einer Endbearbeitung unterzogen, um die endgültigen Toleranzen der Struktur zu erreichen.
  • Es sei nun auf 2 Bezug genommen. Das AlON-Pulver wird hier durch einen chargenweisen Rotationsprozess gebildet. Ein Chargen-Rotationssystem 10 enthält einen Ofen 20, eine zylindrische Graphitkammer, hier einen Reaktionsbehälter 30 innerhalb des Ofens 20 und ein Strömungsrohr 35 zur Abgabe von Stickstoffgas in den Reaktionsbehälter 30 hinein. Der Reaktionsbehälter 30 ist mit einem Antriebsmotor 40 über eine Antriebswelle 50 verbunden, so dass der Motor 40 die Reaktionskammer 30 in Umdrehung versetzen kann. Die Reaktionskammer 30 enthält auch eine Anzahl von Mischleisten oder Hebeleisten 60 (in den 3A und 3B gezeigt) an der Innenfläche der Reaktionskammer 30. Die Hebeleisten 60 sind Rippen oder Erhebungen, welche einstückig an der Reaktionskammer 30 gebildet sind und sich gerade oder spiralig über die Länge der Reaktionskammer 30 erstrecken. Der Ofen 20 und die Reaktionskammer 30 sind von Firma Centorr Vacuum Industries, Nashua, NH, erhältlich.
  • Allgemein ist festzustellen, dass dann, wenn sich die Reaktionskammer 30 dreht, die Hebeleisten 60 die Verteilung einer Reaktionsmischung 70 aus Aluminiumoxid und Kohlenstoff innerhalb der Reaktionskammer 30 unterstützen, indem sie die Reaktionsmischung 70 anheben und bewirken, dass sie innerhalb der Reaktionskammer 30 herabfällt. Es ist davon auszugehen, dass das Umwälzen der Mischung 70 während des Reaktionsprozesses frisches, noch nicht reagiert habendes Mischungsmaterial 70 gegenüber dem Stickstoff freisetzt, wodurch die Diffusion von Stickstoff unterstützt wird und die Reaktionszeit, welche zur Bildung von AlON benötigt wird, abgekürzt wird.
  • Die Reaktionsmischung 70 wird durch Mischen von Aluminiumoxid mit Kohlenstoff gebildet. Typische Reaktionsmischungen enthalten zwischen etwa 4,5 bis etwa 8 Gewichtsprozent Kohlenstoff und, noch zweckmäßiger, zwischen etwa 4,5 Gewichtsprozent bis etwa 6,5 Gewichtsprozent Kohlenstoff. Das Aluminiumoxid ist ein Gamma-Al2O3, welches beispielsweise von Firma Condea Vist, Tucson, AZ, erhältlich ist, doch können auch andere Formen von Aluminiumoxid, beispielsweise etwa Alpha-Al2O3 verwendet werden. Der Kohlenstoff ist reiner (trockener) Kohlenstoffruß, beispielsweise Monarch 880, welches von Firma Cabot Corp., Billerica, MA, erhältlich ist. Andere Qualitäten von Kohlenstoffruß können auch eingesetzt werden. Vorzugsweise ist der Feuchtigkeitsgehalt und der Gehalt an flüchtigen Mitteln für das Aluminiumoxid und den Kohlenstoff genau bekannt, so dass der Kohlenstoffgehalt in der Mischung 70 innerhalb vorbestimmter Grenzen gesteuert werden kann.
  • Eine homogene Mischung von Aluminiumoxid und Kohlenstoff ist vorzuziehen, so dass eine gleichförmige Zusammensetzung des AlON erzeugt werden kann. Das Aluminiumoxid und der Kohlenstoff können trocken durch Mischen in einer Mischeinrichtung gemischt werden, können (trocken oder feucht) in einer Kugelmühle behandelt werden und/oder können in einem Mischer geschüttelt werden (beispielsweise in einem Farbenmischer). Vorzugsweise ist der Kohlenstoff eine Kohlenstofftinte, welche bequem zu handhaben ist und gute Mischeigenschaften mit dem Aluminiumoxid aufweist. Die Kohlenstofftinte wird durch Mischen von Kohlenstoffruß mit Wasser oder einem organischen Lösungsmittel, beispielsweise Methanol, Ethanol und Propanol, gebildet. Ein Dispersionsmittel, beispielsweise Disperbyk 190 oder 191, welches beispielsweise von Firma BYK-Chemie erhältlich ist, wird zu der Tinte hinzugegeben, um eine Benetzung des Kohlenstoffrußes zu bewirken und das Halten des Kohlenstoffrußes in der Suspension zu unterstützen. Kohlenstofftinte ist auch im Handel erhältlich, beispielsweise von Firma Sun Chemical, Winston-Salem, NC, und Firma Borden Chemical Inc., Cincinnati, OH. Vorzugsweise wird die Kohlenstofftintenlösung gebildet und/oder verdünnt, um eine Lösung herzustellen, welche zwischen etwa 5 und etwa 10 Gewichtsprozent Kohlenstoff aufweist, so dass für eine gleichförmige Benetzung des Aluminiumoxid Sorge getragen ist.
  • Das Aluminiumoxid und die Kohlenstofftinte werden in einem Kegelmischer mit einem Intensivierungsblatt oder einem Intensivierungsstab für etwa 30 bis 90 Minuten gemischt, oder jedenfalls bis die Reaktionsmischung 70 fertig gemischt und gleichförmig ist. Eine typische Charge für die Mischung ist 15 kg, doch ist die Chargengröße eine Funktion der verwendeten Ausrüstung. Die Flüssigkeit (beispielsweise Wasser und Lösungsmittel) wird durch Verdampfen vor dem Beladen der Reaktionskammer 30 entfernt, vorzugsweise in demselben Kegelmischer, der für die Bereitung der Mischung verwendet wurde. Alternativ kann die Mischung aus Aluminiumoxid und Kohlenstofftinte sprühgetrocknet werden, um ein frei fließendes Pulver vor der Beladung zu bilden. Eine Charge der Reaktionsmischung 70, beispielsweise etwa 500 g wird dann in den Reaktionsraum 30 durch Entfernen einer Abschlusskappe (nicht dargestellt) von dem Reaktionsraum 30 eingebracht, der Reaktionsraum 30 wird geladen und die Abschlusskappe wird wieder auf den Reaktionsraum 30 aufgesetzt.
  • Nach Einbringen einer Ladung der Reaktionsmischung 70 in den Reaktionsraum 30 wird der Reaktionsraum 30 luftleer gemacht und mit hochreinem Stickstoffgas gespült. Im allgemeinen muss die Stickstoffgas-Strömungsrate ausreichend sein, um örtliche Konzentrationen von Kohlenmonoxid oder Kohlendioxid daran zu hindern, die AlON-Reaktion zu vergiften. Geeignete Gasströmungsraten hängen von der Größe des Reaktionsraumes und der Masse der Mischung 70, welche verarbeitet wird, ab. Für Mischungen 70 von etwa 5 bis etwa 20 kg sind die Stickstoff-Strömungsraten etwa 2 bis etwa 20 l/min.
  • Der Reaktionsraum 30 wird dann durch Einschalten des Antriebsmotors 40 in Umdrehung versetzt und die Reaktionsmischung 70 wird erhitzt. Die Reaktionsgeschwindigkeit beträgt etwa 2 bis 50 U/min. Die Wirkung der Rotation besteht darin, dass die Aluminiumoxid- und Kohlenstoffpartikel in der Kammer verteilt werden und das Stickstoffgas um die dispergierten Partikel herumströmen kann und dadurch die Reaktion zwischen den Aluminiumoxid- und Kohlenstoffpartikeln und dem Stickstoff erleichtert wird. Demgemäß sollte die Rotationsgeschwindigkeit hoch genug sein, um die Reaktionsmischung 70 innerhalb des Reaktionsraumes 30 zu verteilen, jedoch nicht so rasch, dass die Reaktionsmischung 70 innerhalb des Reaktionsraumes 30 zentrifugiert wird, wodurch verhindert würde, dass die Reaktionsmischung umgewälzt wird. Die Reaktionsmischung 70 wird in der Kammer mit einer Aufheizgeschwindigkeit von mehr als 10 bis 20°C/min auf eine Durchdringungstemperatur von etwa 1700 bis 1900°C, vorzugsweise etwa 1825°C erhitzt. Die Behandlungszeit oder Durchdringungszeit beträgt etwa 10 bis 30 Minuten, vorzugsweise etwa 15 Minuten. Nachdem die Reaktionsmischung 70 bei der vorbestimmten Durchdringungstemperatur während der vorbestimmten Durchdringungszeit reagiert hat, wird der Ofen 20 ausgeschaltet und die Reaktionsmischung 70, welche nun AlON-Pulver ist, lässt man abkühlen, was typischerweise etwa vier Stunden dauert. Das abgekühlte AlON-Pulver wird aus dem Reaktionsraum 30 entfernt und eine andere Charge der Reaktionsmischung 70 wird in den Reaktionsraum 30 eingebracht, um eine weitere Charge von AlON herzustellen.
  • Das umlaufende System 10, welches oben beschrieben wurde, ist also ein Teil eines Chargenprozesses. Jede Charge von AlON-Pulver wird durch Einbringen der Reaktionsmischung 70 in den Reaktionsraum 30, Erhitzen der Mischung 70, Abkühlen der Mischung 70 und Entfernen des gebildeten AlON aus dem Reaktionsraum 30, hergestellt. Für jede Charge von AlON-Pulver, welche hergestellt wird, wird der Ofen 20 aufgeheizt und abgekühlt.
  • Bei einem anderen Verfahren zur Herstellung von AlON wird das AlON-Pulver durch einen halbkontinuierlichen Umlaufprozess hergestellt, bei welchem der Ofen auf einer konstanten Durchdringungstemperatur oder Reaktionstemperatur für mehrfache Chargen von AlON gehalten wird. Es sei auf 4 Bezug genommen. Ein halbkontinuierliches rotierendes System 100 enthält einen Ofen 110, einen Zuführungstrichter 140, einen Graphit-Reaktionsraum 120 innerhalb eines Ofens 110, einen Antriebsmotor 130 und einen Sammeltrichter 160. Der Ofen 110 enthält einen Stickstoffeinlass 112 und einen Stickstoffauslass 114. Wenn sich der Ofen 110 im Betrieb befindet, fließt das Stickstoffgas von dem Einlass 112 durch den Reaktionsraum 120 und wird über den Auslass 114 abgelassen. Der Zuführungstrichter 140 enthält ein Ventil 145 und dient zur Zufuhr einer Reaktionsmischung 150 (ähnlich der Mischung 70) zu dem Reaktionsraum 120. Der Reaktionsraum 120, welcher ähnlicher Konstruktion wie der Reaktionsraum 30 ist, ist von dem Zuführungstrichter 140 nach abwärts geneigt und ist innerhalb des Ofens 110 mittels eines Antriebsmotors 130 in Umdrehung versetzbar. Der Reaktionsraum 120 enthält einen Graphitkolben 125, der bewegbar angeordnet ist, beispielsweise in einer Mehrzahl von Positionen innerhalb des Reaktionsraums 120 vorschiebbar ist. Der Reaktionsraum 120 enthält außerdem eine Öffnung 180 zur Entnahme von fertigem AlON-Pulver, wie weiter unten beschrieben wird. Der Sammeltrichter 160 dient zum Aufnehmen des hergestellten AlON-Pulvers 170. Da der Aufnahmetrichter 160 heißes AlON-Pulver 170 aufnimmt, ist die Innenfläche der Trommel des Aufnahmetrichters 160 aus nicht verunreinigendem Material oder hitzebeständigem Material gefertigt, beispielsweise aus Aluminiumoxid und Graphit. Das umlaufende System 100 ist von Firma Centorr Vacuum Industries und Harper International, Lancaster, NY, erhältlich.
  • In Betrieb wird der Ofen 110 auf die Durchdringungstemperatur oder Behandlungstemperatur (beispielsweise etwa 1700 bis 1900°C) erhitzt und der Reaktionsraum 120 (mit Rührleisten, welche nicht dargestellt sind) wird in Umdrehung versetzt. Auch hier wiederum bewirkt der Reaktionsraum oder die Kammer, dass die Aluminiumoxid- und Kohlenstoffpartikel verteilt und dispergiert werden. Stickstoffgas fließt in den Einlass 112 hinein und durch den Auslass 114 hinaus. Der Kolben 125 wird an der Öffnung 180 vorbeigeschoben, so dass dann, wenn die Reaktionsmischung 150 in den Reaktionsraum 120 eingegeben wird, die Reaktionsmischung 150 in dem Reaktionsraum 120 bleibt. Die Reaktionsmischung 150 ist im Wesentlichen die selbe wie die Reaktionsmischung 70 und wird in den Reaktionsraum 20 über den Trichter 140 eingefüllt, indem das Ventil 145 geöffnet wird, bis eine vorbestimmte Menge der Reaktionsmischung 150 sich in dem Reaktionsraum 120 befindet. Die Reaktionsmischung 150 wird in dem Reaktionsraum 120 dispergiert und man lässt sie reagieren, beispielsweise während etwa 10 bis 30 Minuten. Auch hier kann also der Stickstoff um die dispergierten Aluminiumoxidpartikel herumströmen.
  • Nachdem die Mischung 150 reagiert hat, um AlON-Pulver zu bilden, wird der Kolben 125 rückbezogen (5), so dass das AlON-Pulver über die Öffnung 180 herausfließen und in die Sammeltrommel oder den Aufnahmetrichter hineinfließen kann. Die Temperatur des Reaktionsraumes 120 befindet sich immer noch auf der Behandlungstemperatur oder Durchdringungstemperatur. Der Kolben 125 wird dann neu positioniert, beispielsweise an der Öffnung 180 vorbeigeschoben (4), und eine weitere Charge von AlON-Pulver kann hergestellt werden, indem die Reaktionsmischung 150 in den Reaktionsraum aus dem Trichter 140 eingegeben wird. Bei diesem halbkontinuierlichen Prozess können also mehrfache Chargen von AlON hergestellt werden, ohne dass der Ofen 110 für jede Charge von AlON eingeschaltet und ausgeschaltet werden muss. Dieser Prozess kann die Zeit verkürzen, welche zur Synthese mehrfacher Chargen von AlON benötigt wird, indem die Zeit vermindert wird, welche zum Hochheizen des Ofens auf die Behandlungstemperatur, die Zeit, welche für die Abkühlung des Ofens benötigt wird und die Zeit verkürzt werden, welche zum Beladen des Reaktionsraumes und zum Entfernen des Hergestellten AlON aus dem Reaktionsraum benötigt wird.
  • Gemäß einem anderen Verfahren zur Herstellung von AlON wird das AlON-Pulver durch einen kontinuierlichen Rotationsprozess gebildet. Es sei auf 6 Bezug genommen. Ein kontinuierliches rotierendes System 300 enthält einen Ofen 110, einen Graphit-Reaktionsraum 120 innerhalb des Ofens 110, einen Antriebsmotor 130 und einen Aufnahmetrichter 160 zum Sammeln des Produktgemisches 170 (das hergestellte AlON). Das System 300 enthält weiter eine Zuführungseinrichtung 310, einen Zuführungstrichter 320, einen Beladungs- und Sperrtrichter 330 und ein Sperrventil 340 zwischen dem Zuführungstrichter 320 und dem Beladungs- und Sperrtrichter 330. Der Reaktionsraum 120 ist in der Konstruktion ähnlich den oben beschriebenen Reaktionsräumen, beispielsweise mit einer Neigung nach abwärts von der Zuführungseinrichtung 310 aus und mit drehbarer Ausbildung innerhalb des Ofens 110 durch Antrieb durch den Motor 130. Weiter ist der Reaktionsraum 120 des Systems 300 in ausreichender Länge vorgesehen, so dass das Reaktionsgemisch 150 von dem Eingangsende 350 des Reaktionsraumes 120 zum Ausgangsende 360 des Reaktionsraumes 120 wandert, wobei die Verweilzeit des Gemisches 150 in dem beheizten Reaktionsraum 120 dazu ausreicht, dass das Gemisch 150 sich zu AlON bildet. Mit anderen Worten, der Reaktionsraum 120 ist ausreichend lang ausgebildet, so dass das Reaktionsgemisch 150, welches in den Reaktionsraum 120 von der Zuführungseinrichtung 310 eingegeben wird, sich in der Zeit, zu welcher das Reaktionsgemisch die Öffnung 180 erreicht, in AlON 170 umgewandelt hat.
  • Im Betrieb wird der Ofen 110 auf die Behandlungstemperatur oder Durchdringungstemperatur erhitzt und der Reaktionsraum 120 wird in Umdrehung versetzt, um die Aluminiumoxid- und Kohlenstoffpartikel, welche in dem Reaktionsraum 120 eingegeben werden, zu verteilen. Stickstoffgas strömt in den Einlass 112 ein und über den Auslass 114 ab. Wenn das Sperrventil 340 geschlossen ist, wird die Reaktionsmischung 150 in den Beladungs- und Sperrtrichter 330 eingegeben, welcher luftleer gemacht wird und mit Stickstoff gespült wird. Das Spülsystem 300 mit dem Stickstoff hilft die Lebensdauer des Graphit-Reaktionsraumes zu verlängern. Die Reaktionsmischung 154 wird dann in dem Zuführungstrichter 320 eingegeben, indem das Sperrventil 340 geöffnet wird. Der Zuführungstrichter 320 führt die Mischung 150 in die Zuführungseinrichtung 310 ein, welche die Mischung 150 mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit, beispielsweise nach Volumen, oder nach Gewicht in den Reaktionsraum 120 einführt. Die Zuführungseinrichtung 310 kann beispielsweise ein Schneckenförderer oder Rüttelförderer sein. Wenn die Charge in dem Zuführungstrichter 320 abnimmt, kann mehr Reaktionsmischung 150 durch den Beladungs- und Sperrtrichter 330 geliefert werden, wie oben beschrieben wurde. Der Zuführungstrichter 320 kann ausreichend groß gehalten werden, um die Häufigkeit minimal zu halten, mit welcher der Trichter 320 wieder gerillt werden muss.
  • Durch Wahl der richtigen Abmessungen des Reaktionsraumes 120 und Einstellung der Zuführungsrate der Reaktionsmischung 150, der Temperatur des Ofens 110 und der Drehgeschwindigkeit des Reaktionsraumes 120 kann also das System 300 einen kontinuierlichen Ausgang von AlON erzeugen. Andere experimentelle Parameter, beispielsweise die Stickstoff-Strömungsrate und die Partikelgröße können so eingestellt werden, dass der Ausgang und die Zusammensetzungsgleichförmigkeit optimiert werden.
  • 7 zeigt eine andere Ausführungsform eines kontinuierlichen Rotationsprozesses zur Herstellung von AlON. Das System 400 ist im Wesentlichen ähnlich dem System 300, enthält aber zwei Zuführungsanordnungen 410 und 420, welche parallel zu dem Reaktionsraum oder Reaktionsbehälter 120 angeordnet sind, sowie zwei Ventile 430 und 440. Jede Anordnung 410 und 420 enthält eine Zuführungseinrichtung 310 und einen Zuführungstrichter 320 im Wesentlichen der oben beschriebenen Art.
  • Es sei nun ein beispielsweiser Betrieb des Systems 400 beschrieben. Bei geschlossenen Ventilen 430 und 440 wird Reaktionsmischung in dem Zuführungstrichter 320 der Anordnung 410 eingegeben, welche dann geschlossen, evakuiert und gespült wird. Das Ventil 430 wird dann für die Anordnung 410 geöffnet, um Reaktionsmischung in dem Reaktionsraum 120 einzufüllen. Währenddessen wird Reaktionsmischung in den Zuführungstrichter 320 der Anordnung 420 eingegeben, welche dann abgeschlossen, evakuiert und gespült wird. Wenn die Anordnung 410 fast von der Reaktionsmischung entleert ist, wird das Ventil 440 für die Anordnung 420 geöffnet, um die Reaktionsmischung in den Reaktionsraum 120 einzuführen und das Ventil 430 wird geschlossen, um die Anordnung 410 mit weiterer Reaktionsmischung zu laden, wie oben beschrieben wurde. Wenn die Anordnung 420 nahezu leer ist, wird das Ventil 430 geöffnet, die Anordnung 410 wird wieder verwendet, um Reaktionsmischung in den Reaktionsraum 120 einzuführen und das Ventil 440 wird geschlossen. Der oben beschriebene Vorgang wird entsprechend dem Bedarf wiederholt.
  • Es sei wieder auf 1 Bezug genommen. Das hergestellte AlON-Pulver wird aus dem Reaktionsraum 30 oder dem Aufnahmetrichter 360 entnommen und kalziniert, um Kohlenstoff, der nicht reagiert hat, zu entfernen. Das Kalzinieren wird in Luft oder Sauerstoff zwischen etwa 700 und etwa 800°C durchgeführt. In einer alternativen Ausführungsform kann der Aufnahmetrichter 160 mit einem Kalzinierungsofen verbunden sein, durch welchen Luft oder Sauerstoff strömt. Demgemäß kann der Aufnahmetrichter 160 die Produktmischung 170 (das gebildete AlON) direkt in den Kalzinierungsofen geben. In einer anderen Ausführungsform kann der Aufnahmetrichter 160 mit einer Luftdurchströmung ausgerüstet sein, so dass Kohlenstoff, welcher nicht reagiert hat, entfernt wird, während das gebildete AlON-Pulver sich auf eine Temperatur zwischen 700 und 800°C abkühlt. Das kalzinierte AlON-Pulver wird in einer Kugelmühle behandelt, um die Partikelgröße des Pulvers zu vermindern. Die Kugelmühlenbehandlung wird einer mit Polyurethan oder mit Gummi oder mit AlON ausgekleideten Mühle unter Verwendung von Methanol als Mahlfluid und einem Schleifmedium aus Aluminiumoxid oder AlON, beispielsweise in Form von Pellets, durchgeführt. Die Mahlzeit beträgt etwa 20 bis 30 Stunden, typischerweise etwa 24 Stunden. Hierdurch entsteht ein AlON-Pulver mit einer Partikelgröße von weniger als etwa 8 μm, typischerweise mit einer durchschnittlichen Partikelgröße von weniger als 3 μm. Das gemahlene Pulver wird in einem umlaufenden Verdampfer eingebracht, um das Mahlfluid (Methanol) zu entfernen. Das kalzinierte AlON-Pulver kann auch einer Kugelmühlenbehandlung unter Verwendung von Wasser anstelle von Methanol unterzogen werden. Die gemahlene Aufschlämmung kann dann sprühgetrocknet werden, um ein trockenes Pulver oder Schüttgut zu erzeugen, das in bestimmte Form gegossen werden kann.
  • Das AlON-Pulver, welches in Methanol gemahlen und in einem umlaufenden Verdampfer getrocknet ist, wird dann mit Wasser, einem Dispersionsmittel (beispielsweise Duramax D3005 von Rohm und Haas, Philadelphia, PA) und vorzugsweise einem Binder (beispielsweise Duramax B 1020) wieder aufbereitet, um eine Aufschlämmung herzustellen. Das Hinzufügen des Binders erzeugt typischerweise starke AlON-Strukturen mit hoher und gleichförmiger Dichte des grünen Körpers, welcher in verschiedenen Formen erzeugt werden kann. Die Aufschlämmung wird sprühgetrocknet, um das AlON-Pulver zu Partikeln von etwa 100 μm Größe agglomerieren zu lassen. Dies führt zu einem frei fließfähigem Pulver mit einer gleichförmigen Füllungsdichte, welches leicht in eine Form gegossen werden kann.
  • Das AlON-Pulver wird dann zu dem grünen Körper geformt. Das AlON-Pulver wird in eine Gummiform mit einer vorbestimmten Gestalt eingegossen und geschüttelt, um eine gleichförmige Fülldichte zu erreichen und erfährt dann eine kalte isostatische Pressung bei Drücken von mehr als 1050 hPA (15000 psi), um einen grünen Körper herzustellen, der für den Sintervorgang (weiter unten beschrieben) verwendet werden soll. Die Bildung des grünen Körpers kann auch andere Techniken umfassen, beispielsweise ein Hüllgießen und ein Spitzgießen. Der grüne Körper hat typischerweise eine Dichte von etwa 60% der theoretischen Dichte und wird mit etwa 20% Übermaß der fertigen Struktur hergestellt, um das Schrumpfen beim Sintern und bei Heißpressvorgängen zu kompensieren (beispielsweise isostatisches Heißpressen, einachsiges Heißpressen und mehrachsiges Heißpressen), wie weiter unten beschrieben wird. Nach dem Kaltpressen wird der grüne Körper langsam auf etwa 500 bis etwa 750°C in Luft erwärmt, um organische Reststoffe, beispielsweise den Binder, zu entfernen. Wenn zu dem wiederaufbereiteten gemahlenen Pulver kein Binder hinzugefügt worden ist, dann kann die langsame Erwärmung, welche zuvor erwähnt wurde (500 bis 750°C in Luft) weggelassen werden. Der hergestellte grüne Körper wird dann in einen Behälter aus Graphit oder Aluminiumoxid oder AlON gesetzt, der in einen Sinterofen eingebracht wird.
  • Der grüne Körper aus AlON wird gesintert, um seine Porosität zu entfernen und abzuschließen und um seine Dichte zu erhöhen. Das Sintern erfolgt in einer strömenden oder stillstehenden Atmosphäre von Stickstoff während etwa 6 bis 10 Stunden, typischerweise etwa 8 Stunden. Die Sinter-Endtemperturen liegen höher als 1900°C, jedoch niedriger als die Schmelztemperatur von AlON, welche annähernd 2140°C beträgt. Das Sintern erzeugt einen polykristallinen Körper mit einer durchschnittlichen Korngröße von weniger als etwa 20 μm. Der gesinterte Körper hat typischerweise eine Dichte von etwa 95 bis 99% der theoretischen Dichte oder etwa 3,5 g/cm3 bis etwa 3,7 g/cm3.
  • Der gesinterte Körper wird dann isostatisch heiß gepresst (HIP), um seine Dichte weiter zu erhöhen. Das isostatische Heißpressen wird bei etwa 1900°C und etwa 1400 bis 2100 hPa (20000 bis 30000 psi), vorzugsweise bei etwa 1960 bis 2100 hPa (28000 bis 30000 psi) in einer eine Konvektion ausführenden Argonatmosphäre oder Stickstoffatmosphäre für etwa 6 bis 20 Stunden ausgeführt. Dies erzeugt einen Körper mit einer durchschnittlichen Korngröße von etwa 100 bis 350 μm und einer Dichte von etwa 100% der theoretischen Dichte. Nach dem isostatischen Heißpressen hat der Körper das Aussehen von hellgrauem bis dunkel gefärbtem Glas.
  • Um eine wasserklare Struktur zu erhalten wird der isostatisch heißgepresste AlON-Körper in einer strömenden Stickstoffatmosphäre, eingeschlossen in einen Alumniniumoxidbehälter oder AlON-Behälter (zur Erzeugung eines niedrigen Partialdruckes von Sauerstoff und zur Vermeidung einer Reduktion des gebildeten AlON) wärmebehandelt, was bei etwa 1900°C während etwa 6 bis 10 Stunden typischerweise 8 Stunden geschieht.
  • Der wärmebehandelte Körper wird in die endgültige Form durch optisches Schleifen und Polieren zur Erzielung der endgültigen Toleranzen der Struktur bearbeitet.
  • Andere Ausführungsformen der oben beschriebenen Verfahren sind auch möglich. Beispielsweise können zusätzlich oder als Alternative zum isostatischen Heißpressen Sinterhilfen in Gestalt von kleinen Mengen (kleiner als 0,5 Gewichtsprozent) von Dotierungszusätzen zu dem AlON-Pulver hinzugegeben werden. Die Hilfsmittel können ein Element wie beispielsweise Itrium und Lanthan oder Verbindungen davon enthalten. Andere Lanthanide und ihre Verbindungen, vorzugsweise die Oxide, können auch verwendet werden. Eine Kombination von Dotierungszusätzen ist ebenfalls verwendbar. Eine bevorzugte Kombination enthält 0,08 Gewichtsprozent Y2O3 und 0,02 Gewichtsprozent La2O3. Die Dotierungszusätze können beispielsweise während der Kugelmühlenbehandlung beigefügt werden.
  • Andere Verfahren zur Herstellung von AlON und AlON-Strukturen, beispielsweise durch carbothermische Nitrierung, sind in den US-Patenten 4,520,116 , 4,686,070 , 4,720,3632 , 4,481,300 und 5,135,814 beschrieben.

Claims (12)

  1. Verfahren zur Herstellung von Aluminiumoxinitrid, wobei das Verfahren folgendes umfasst: Bereitstellen einer Kammer (30); Einführen von Aluminiumoxidpartikeln und von Kohlenstoffpartikeln in die Kammer (30); Reagierenlassen der Aluminiumoxidpartikel und der Kohlenstoffpartikel, welche in die Kammer (30) eingeführt sind, während gleichzeitig Stickstoffgas über die Aluminiumoxidpartikel und Kohlenstoffpartikel in der Kammer (30) geleitet wird, welche sich auf einer Temperatur befindet, welche so gewählt ist, dass die Aluminiumoxidpartikel, die Kohlenstoffpartikel und der Stickstoff in Aluminiumoxinitrid übergeht; und Abführen des Aluminiumoxinitrids aus der Kammer (30); dadurch gekennzeichnet, dass die Reaktion ausgeführt wird, während die Aluminiumoxidpartikel und die Kohlenstoffpartikel innerhalb der Kammer (30) gemischt werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Mischen ein Rotierenlassen der Kammer (30) umfasst.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Aluminiumoxinitrid Al23-1/3xO27+xN5-x, enthält, worin 0,429 ≤ x ≤ 2 ist.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch kontinuierliches Mischen der Aluminiumoxidpartikel und der Kohlenstoffpartikel in der Kammer (30).
  5. Verfahren nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch kontinuierliches Einführen der Aluminiumoxidpartikel und der Kohlenstoffpartikel in die Kammer (30) und kontinuierliches Abführen des Aluminiumoxinitrids aus der Kammer (30).
  6. Verfahren nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch kontinuierliches Einführen der Aluminiumoxidpartikel und der Kohlenstoffpartikel in die Kammer (30); und Reagierenlassen der Aluminiumoxidpartikel und der Kohlenstoffpartikel, welche kontinuierlich in die Kammer eingeführt werden, während ein kontinuierliches Mischen der Aluminiumoxidpartikel und der Kohlenstoffpartikel innerhalb der Kammer erfolgt und während Stickstoffgas über die sich mischenden Aluminiumoxidpartikel und Kohlenstoffpartikel bei einer Temperatur der Kammer geleitet wird, welche in solcher Weise aufrecht erhalten wird, dass kontinuierlich die Aluminiumoxidpartikel, die Kohlenstoffpartikel und der Stickstoff in Aluminiumoxinitrid übergehen.
  7. Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die gewählte Temperatur etwa 1700 bis 1900°C ist.
  8. Verfahren zur Herstellung eines transparenten Körpers, wobei das Verfahren folgendes umfasst: Herstellung von Aluminiumoxinitrid durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1; und Formen des Aluminiumoxinitrids zu einem transparenten Körper.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Formung des Aluminiumoxinitrids folgendes umfasst: Formen eines grünen Körpers, welcher das Aluminiumoxinitrid enthält; und Sintern des grünen Körpers.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Formung des Aluminiumoxinitrids folgendes umfasst: isostatisches Pressen des gesinterten grünen Körpers unter Wärmeeinwirkung.
  11. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Aluminiumoxinitrid Al23-1/3xO27+xN5-x, enthält, worin 0,429 ≤ x ≤ 2 ist.
  12. Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die gewählte Temperatur während der Durchmischung konstant gehalten wird.
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