DE60125167T2 - Sternschaltung mit sensoren - Google Patents

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Description

  • Fachgebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft rotierende Systeme, die einen in einem Stator drehend gelagerten, um eine Rotationsmittelachse rotierenden Rotor umfassen und die die Radiallage des Rotors in dem Stator erkennen müssen.
  • Die Erkennung der Radiallage des Rotors ermöglicht zum Beispiel, die Abnutzung der Lager, die den Rotor tragen, zu erkennen, wie in dem Dokument US 4,199,718 A beschrieben. In diesem Dokument umfasst der Radiallagegeber drei Sensoren, die im Stator im Wesentlichen in einem Winkel von 120° zueinander um den Rotor herum verteilt und in gleichem Abstand von der Rotationsmittelachse des Rotors angeordnet sind. Jeder Sensor ist eine Spule, die an ihren Klemmen eine elektrische Spannung in Abhängigkeit von einem Magnetfeld erzeugt, das von einer Vielzahl vom Rotor getragener Magnetpole generiert wird. Die Spulen sind in Reihe geschaltet, um ein periodisches Spannungssignal zu erzeugen, dessen Verarbeitung die Beurteilung der Radiallage des Rotors im Stator ermöglicht. Dieser Aufbau erfordert, dass ein mehrpoliger Rotorabschnitt vorgesehen wird, der das von den Spulen aufgenommene Magnetfeld erzeugt. Diese für die Überwachung der Abnutzung von mechanischen Lagern geeignete Vorrichtung wäre nicht für die Steuerung von Magnetlagern geeignet, in denen die Elektro-Schwebemagnete ein Magnetfeld erzeugen, das die Funktionsweise der Sensoren stören kann.
  • Das Dokument CH 251 155 A beschreibt eine Vorrichtung zur Konzentrizitätsüberwachung eines Drahtes in seiner Umhüllung. Ein Magnetkreis mit drei sternförmig angeordneten radialen Zweigen, die durch einen am Rand verlaufenden Ring verbunden sind, trägt drei in einer Sternschaltung mit gemeinsamem Anschlusspunkt verbundene Wicklungen. Die Wicklungen werden über eine dreiphasige Spannungsquelle mit Sternpunkt gespeist. Ein Spannungssensor, der zwischen den Sternpunkt und den Anschlusspunkt geschaltet ist, liefert ein zur Amplitude der Exzentrizität des Drahtes proportionales Signal. Die Vorrichtung misst nicht und ermöglicht auch nicht die Messung des Momentanwerts der Radiallage einer rotierenden Welle.
  • Für die Steuerung eines Magnetlagers ist zum Beispiel ein Geber für die Radiallage des Rotors bekannt, wie er in dem Dokument US 4,114,960 A beschrieben wird, der mindestens zwei Paare induktiver Sensoren umfasst. Die Sensoren eines Sensorpaars sind im Verhältnis zum Rotor an diametral entgegengesetzten Positionen angeordnet, und sie sind elektrisch in Reihe geschaltet, damit sie von einer Sinusspannung gespeist werden können. Die Ausgangsklemme des Sensors ist mit dem Anschlusspunkt der Sensoren verbunden und erzeugt ein elektrisches Signal, das die Verschiebung des Rotors in Richtung des die beiden Sensoren verbindenden Durchmessers abbildet. Die Erkennung der Radiallage des Rotors in allen Richtungen um die Rotationsmittelachse erfordert mindestens zwei Sensorpaare, die zum Beispiel an zwei zueinander senkrecht stehenden Durchmessern ausgerichtet sind.
  • Darstellung der Erfindung
  • Das durch die Erfindung gestellte Problem besteht darin, eine neue Struktur für den Radiallagegeber des Rotors im Stator mit Hilfe einer geringen Anzahl von Sensoren sowie mit Sensoren zu entwickeln, die eine geringe Empfindlichkeit gegenüber den magnetischen Induktionen in der Umgebung aufweisen.
  • Die Idee, welche der Erfindung zugrunde liegt, besteht darin, drei induktive Sensoren zu verwenden, die in geeigneter Weise angeschlossen und gespeist werden, um die Anzahl der Sensoren zu verringern, um die für ihren Anschluss benötigte Verkabelung zu verringern, um die erforderlichen Verbindungen und Anschlüsse zu verringern und um die mechanischen Teile zu begrenzen, die für die mechanische Befestigung der Sensoren im Stator benötigt werden.
  • Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, die Verarbeitung des Ausgangssignals zu erleichtern, das die Beurteilung der Radiallage des Rotors ermöglicht, und dabei seine spätere Nutzung zum Beispiel für die Steuerung der Elektro-Schwebemagnete in den Magnetlagern zu ermöglichen, die dafür sorgen, dass der Rotor zentriert gehalten wird.
  • Um diese ebenso wie weitere Ziele zu erreichen, sieht die Erfindung ein rotierendes System vor, umfassend einen in einem Stator um eine Rotationsmittelachse drehend gelagerten Rotor und umfassend einen Radiallagegeber des Rotors im Stator, umfassend drei Sensoren, die im Stator im Wesentlichen in einem Winkel von 120° zueinander um den Rotor und im gleichen Abstand von der Rotationsmittelachse angeordnet sind; gemäß der Erfindung:
    • – sind die Sensoren induktive Sensoren, die gegenüber einem Rotorabschnitt aus einem magnetischen Werkstoff angeordnet sind;
    • – speist eine symmetrische Dreiphasen-Sinusspannungsquelle mit Sternpunkt die zu einer Sternschaltung verkabelten induktiven Sensoren;
    • – ermöglichen Mittel, die Ausgangsspannung zwischen dem Sternpunkt der symmetrischen Dreiphasenspannungsquelle und dem gemeinsamen Anschlusspunkt der zu einer Sternschaltung verkabelten induktiven Sensoren zu erfassen und daraus die Radiallage des Rotors im Stator abzuleiten.
  • Die Erfindung kann in Steuerungssystemen für Magnetlager Anwendung finden. In diesem Fall umfasst das rotierende System mindestens ein Magnetlager, dessen Elektro-Schwebemagnete von einem Steuerkreis gespeist werden, der über die Ausgangsspannung des entsprechenden Radiallagegebers gesteuert wird.
  • In dieser Anwendung besteht eine besonders vorteilhafte Lösung darin, ein Magnetlager zu verwenden, welches drei Elektro-Schwebemagnete umfasst, die um den Ständer entlang von drei Achsen verteilt sind, die zueinander im Winkel von 120° stehen.
  • In diesem Fall können die induktiven Sensoren vorteilhafterweise in ihrem Winkel versetzt zwischen den von den Elektro-Schwebemagneten belegten Winkelpositionen angeordnet sein.
  • Aufgrund der Tatsache, dass die Anzahl der induktiven Sensoren drei beträgt, wird es im Fall eines Magnetlagers mit drei Elektro-Schwebemagneten möglich, dass die induktiven Sensoren zwischen den Elektro-Schwebemagneten desselben Magnetlagers eingefügt werden, sodass das Gesamtsystem einen geringeren axialen Platzbedarf aufweist.
  • Für einen Rotor werden vorzugsweise zwei Magnetlager vorgesehen, die in Längsrichtung zwischen sich einen Zwischenraum aufweisen.
  • Nach einer ersten Ausführungsform wird die Ausgangsspannung von Signalverarbeitungsmitteln verarbeitet, um ein Amplitudensignal und ein Phasensignal bezogen auf die von der symmetrischen Dreiphasenspannungsquelle gelieferte Spannung zu erzeugen, wobei das Amplitudensignal ein Signal darstellt, das die Amplitude der Radialverschiebung der Schwerpunktachse des Rotors gegenüber der Rotationsmittelachse abbildet, und wobei das Phasensignal ein Signal darstellt, das die Winkelposition der Schwerpunktachse des Rotors um die Rotationsmittelachse bezogen auf die induktiven Sensoren abbildet. Man erhält somit ausgehend von nur drei Sensoren zwei Signale, die das Abbild der Amplitude und der Winkelposition der Radialverschiebung der Schwerpunktachse des Rotors im Stator darstellen.
  • Nach einer bevorzugten Ausführung dieser ersten Ausführungsform umfassen die Signalverarbeitungsmittel:
    • – einen Amplitudenmesskreis, der mit dem Ausgang des Radiallagegebers verbunden ist und ein Amplitudensignal erzeugt, das zur Amplitude der Ausgangsspannung des Radiallagegebers proportional ist;
    • – einen Phasenmesskreis, der mit dem Ausgang des Radiallagegebers verbunden ist und der ein Phasensignal erzeugt, das zur Phasenverschiebung zwischen der Ausgangsspannung und einer der drei Sinusspannungen proportional ist, die die in Sternschaltung angeordneten induktiven Sensoren speisen;
    • – Mittel zur digitalen Verarbeitung, die das Amplitudensignal und das Phasensignal empfangen und die die Steuersignale für die Speisung der Elektro-Schwebemagnete erzeugen, die darauf abzielen, die Schwerpunktachse des Rotors bezogen auf die Rotationsmittelachse im Stator zentriert zu halten.
  • Nach einer zweiten Ausführungsform wird die Ausgangsspannung von Signalverarbeitungsmitteln verarbeitet, die mindestens zwei Amplitudensignale erzeugen, welche jeweils das Abbild der Momentanverschiebungskomponenten des Schwerpunkt des Rotors in zwei unterschiedlichen festen Radialrichtungen des Stators um die Rotationsmittelachse darstellen.
  • In einer bevorzugten Ausführung dieser zweiten Ausführungsform umfassen die Signalverarbeitungsmittel:
    • – einen ersten Amplitudenmesskreis, von dem ein erster Eingang mit dem Ausgang des Radiallagegebers verbunden ist und von dem ein zweiter Eingang mit einer ersten Phase der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle verbunden ist und der an seinem Ausgang ein erstes Amplitudensignal erzeugt, das zum Mittelwert der Ausgangsspannung proportional ist, der während eines mit dieser ersten Phase der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle synchronen Abtastwertes berechnet wird;
    • – einen zweiten Amplitudenmesskreis, von dem ein erster Eingang mit dem Ausgang des Radiallagegebers verbunden ist und von dem ein zweiter Eingang mit einer anderen Phase der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle, zum Beispiel mit der dritten Phase, verbunden ist und der an seinem Ausgang ein zweites Amplitudensignal erzeugt, das zum Mittelwert der Ausgangsspannung proportional ist, der während eines mit dieser dritten Phase der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle synchronen Abtastwertes berechnet wird;
    • – Mittel zur digitalen Verarbeitung, die die beiden Amplitudensignale empfangen und die die Steuersignale für die Speisung der Elektro-Schwebemagnete erzeugen, die darauf abzielen, die Schwerpunktachse des Rotors bezogen auf die Rotationsmittelachse im Stator zentriert zu halten.
  • Die Erfindung findet eine besonders vorteilhafte Anwendung im Aufbau eines Rotors und eines Stators einer Vakuumpumpe.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden Beschreibung von besonderen Ausführungsformen hervorgehen, die in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen erfolgt, auf denen:
  • 1 ein Längsschnitt eines rotierenden Systems mit einem Rotor ist, der in einem Stator von Magnetlagern gehalten wird, wobei das System eine Vakuumpumpe bildet;
  • 2 in schematischer Form die Verteilung der Sensoren um einen Rotor in einem Radiallagegeber gemäß der Erfindung darstellt;
  • 3 eine perspektivische Ansicht eines induktiven Sensors ist, der in einem Radiallagegeber gemäß der Erfindung verwendet werden kann;
  • 4 ein Längsschnitt des induktiven Sensors von 3 ist;
  • 5 in schematischer Form eine elektrische Schaltung zum Aufbau eines Radiallagegebers nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung darstellt;
  • 6 die Wellenform der sinusförmigen Dreiphasen-Speisespannung der Sensoren darstellt;
  • 7 die Eingangs- und Ausgangsspannungen des Amplitudenmesskreises in der Schaltung von 5 darstellt;
  • 8 die Wellenformen der Spannungen am Eingang des Phasenmesskreises in der Schaltung von 5 darstellt, wobei die zu messende Phasenverschiebung dargestellt ist;
  • 9 in schematischer Form eine elektrische Schaltung zum Aufbau eines Radiallagegebers nach einer zweiten Ausführungsform der Erfindung darstellt; und
  • 10 ein Zeitdiagramm ist, das die jeweiligen Wellenformen der Signale darstellt, welche die Lageberechnung in der Schaltung von 9 ermöglichen.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • 1 stellt eine Anwendung der vorliegenden Erfindung bei der Ausführung einer Vakuumpumpe dar, die einen Rotor 1 umfasst, der in einem Stator 2 um eine Rotationsmittelachse I-I drehend gelagert ist. Der Rotor 1 wird in der zentrierten Lage entlang der Rotationsmittelachse I-I von Magnetlagern 3 und 4 gehalten, die in Längsrichtung zwischen sich einen Zwischenraum aufweisen und von denen jedes Elektro-Schwebemagnete umfasst, die von einem Steuerkreis gespeist werden, der über die Ausgangsspannung eines Radiallagegebers 5 beziehungsweise 6 gesteuert wird.
  • Jeder Radiallagegeber 5 oder 6 hat die Aufgabe, die Radialverschiebung des Rotors aus der Rotationsmittelachse I-I heraus zu erkennen, um die Speisung der Elektromagnete des entsprechenden Lagers 3 oder 4 zu steuern, indem Magnetkräfte erzeugt werden, welche die Tendenz aufweisen, sich der Radialverschiebung des Rotors 1 entgegenzustellen und ihn dadurch wieder in die zentrierte Lage entlang der Rotationsmittelachse I-I zurückzuführen.
  • Wie in 2 dargestellt, umfasst ein Radiallagegeber wie der Geber 5 gemäß der Erfindung drei induktive Sensoren 51, 52 und 53, die im Stator 2 im Wesentlichen im Winkel von 120° zueinander um den Rotor 1 sowie in gleichem Abstand von der Rotationsmittelachse I-I angeordnet sind. Die Sensoren 51, 52 und 53 sind induktive Sensoren, damit sie mit einem Abschnitt 100 (1) des Rotors 1 aus einem magnetischen Werkstoff zusammenwirken, dem gegenüber sie angeordnet sind.
  • Jeder induktive Sensor kann einem bekannten Typ entsprechen, der einen fest am Stator 2 befestigten Magnetkreis umfasst, zum Beispiel einen U-förmigen Magnetkreis aus Ferrit, der eine Spule trägt und mit dem Abschnitt des Rotors 1 aus einem magnetischen Werkstoff zusammenwirkt, welcher den Magnetkreis schließt, wobei er einen geringen radialen Luftspalt e1, e2 oder e3 zwischen dem vom Stator getragenen U-förmigen Magnetkreis und dem Abschnitt 100 des Rotors aus einem magnetischen Werkstoff lässt.
  • Die Schwankungen im Wert des Luftspalts, die durch eventuelle Radialbewegungen des Rotors 1 entstehen, verändern die magnetischen Eigenschaften des Magnetkreises, und infolgedessen verändern sie die Eigeninduktivität der um den U-förmigen Magnetkreis angebrachten Wicklung.
  • Die 3 und 4 stellen eine mögliche Form des induktiven Sensors 51 dar, der gemäß der Erfindung verwendet werden kann: Der induktive Sensor 51 hat eine im Wesentlichen zylindrische Form, in der man den Magnetkreis erkennt, der von einem zentralen axialen Magnetkern 510 gebildet wird, dessen erstes Ende einen ersten Pol 511 bildet und dessen anderes Ende über einen Radialflansch 512 mit einem zylindrischen, am Umfang verlaufenden Magnetanker 513 verbunden ist, dessen freier Rand den zweiten Pol 514 bildet. Eine ringförmige Induktionsspule 515 ist in den ringförmigen Raum zwischen dem zentralen axialen Magnetkern 510 und dem am Umfang verlaufenden Magnetanker 513 eingefügt. Man erkennt auch die Ausgangsleiter 516 und 517 der ringförmigen Induktionsspule 515, welche den elektrischen Anschluss ermöglichen.
  • Im Betrieb ist der Abschnitt des Rotors aus dem magnetischen Werkstoff gegenüber der Seite angeordnet, die die Pole 511 und 514 des induktiven Sensors 51 umfasst, und dadurch neigt er dazu, den Magnetkreis um die ringförmige Induktionsspule 515 zu schließen.
  • Betrachtet wird 2. Die Impedanz eines induktiven Sensors 51, 52 oder 53 ist umgekehrt proportional zum jeweiligen Luftspalt e1, e2 oder e3, der ihn vom Rotor trennt. Wenn der Rotor 1 radial im Stator 2 zentriert ist, sind die Luftspalte e1, e2 und e3 identisch. Die Impedanzen der drei induktiven Sensoren 51, 52, 53 sind dann gleich. In diesem Fall ist das in Sternschaltung angeordnete System der induktiven Sensoren 51, 52 und 53 im Gleichgewicht, sodass das Potential des gemeinsamen Anschlusspunkts (5) der Sensoren gleich dem Potential des Sternpunkts 56 der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 ist. Mit anderen Worten: Die Ausgangsspannung Ve ist null.
  • Wenn es zu einer Verschiebung des Rotors kommt, sind die Luftspalte e1, e2 und e3, die den Rotor 1 vom Stator 2 trennen, unterschiedlich. Die Impedanzen der drei induktiven Sensoren 51, 52 und 53 sind nicht mehr gleich, und das in Sternschaltung angeordnete System der Sensoren nicht mehr im Gleichgewicht.
  • Daraus entsteht am gemeinsamen Anschlusspunkt 54 der Sensoren eine Spannung ungleich null, deren Amplitude zur Radialverschiebung proportional ist und deren Phase zu der in einem Bezugspunkt definierten Winkelverschiebung proportional ist.
  • Nun wird auf 5 Bezug genommen, die eine erste Ausführungsform der elektrischen Schaltung darstellt und auf der die induktiven Sensoren 51, 52 und 53 sowie in Sternschaltung angeordnete Stromkabel mit einem gemeinsamen Anschlusspunkt 54, die von einer symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 mit Sternpunkt gespeist werden, zu finden sind. Die symmetrische Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 ist in der Figur durch drei Generatoren dargestellt, deren eine Klemme mit dem gemeinsamen Sternpunkt 56 verbunden ist und deren andere Klemme eine jeweilige Spannung V1, V2 und V3 liefert, die über einen jeweiligen Verstärker 57, 58 oder 59 an eine entsprechende Klemme eines der jeweiligen induktiven Sensoren 51, 52 oder 53 geschickt wird.
  • Der gemeinsame Anschlusspunkt 54 der induktiven Sensoren 51, 52 und 53 und der Sternpunkt 56 der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 bilden die zwei Ausgangsklemmen des Radiallagegebers 5 gemäß der Erfindung.
  • 6 stellt die Wellenform der drei Spannungen V1, V2 und V3 dar, die von der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 geliefert werden.
  • Die zwischen dem gemeinsamen Anschlusspunkt 54 und dem Sternpunkt 56 abgegriffene Ausgangsspannung Ve wird von Signalverarbeitungsmitteln verarbeitet, die ihre Amplitude und ihre Phase bezogen auf die von der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 gelieferte Spannung bestimmen.
  • In der ersten Ausführungsform, die in 5 dargestellt ist, umfassen die Signalverarbeitungsmittel einen Amplitudenmesskreis 7 und einen Phasenmesskreis 8.
  • Der Amplitudenmesskreis 7 ist mit dem Ausgang 54, 56 des Radiallagegebers 5 verbunden und erzeugt an seinem Ausgang 70 ein Amplitudensignal Vs, das die Amplitude der Ausgangsspannung Ve des Radiallagegebers 5 abbildet. 7 stellt die Wellenform der Ausgangsspannung Ve des Radiallagegebers 5 gemäß der Erfindung im Fall eines Ungleichgewichts der Impedanz der induktiven Sensoren 51, 52 und 53 dar, die durch eine Exzentrizität des Rotors 1 entsteht: Die Ausgangsspannung Ve ist sinusförmig mit der Frequenz der Spannungen V1, V2 und V3 der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55. Der Amplitudenmesskreis 7 erzeugt an seiner Ausgangsklemme 70 ein kontinuierliches Amplitudensignal Vs, das zur Amplitude der sinusförmigen Ausgangsspannung Ve proportional ist.
  • Der Phasenmesskreis 8 umfasst einen ersten mit dem Ausgang 54, 56 des Radiallagegebers 5 verbundenen Eingang, und er umfasst einen zusätzlichen Eingang 81, der mit einer der Spannungen V1, V2 oder V3 der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 verbunden ist, zum Beispiel mit der Spannung V1, um einen Phasenbezug herzustellen. Wie in 8 zu sehen ist, empfängt der Phasenmesskreis 8 somit die Sinusspannung V1 und die Ausgangsspannung Ve, bei denen es sich um zwei Sinusspannungen mit derselben Frequenz handelt, die eine Phasenverschiebung t aufweisen, welche ein Abbild der Winkelverschiebung um die Rotationsmittelachse I-I zwischen dem ersten induktiven Sensor 51 und der gemessenen Radialverschiebungsrichtung des Rotors 1 ist. Der Phasenmesskreis 8 erzeugt an seinem Ausgang 80 ein Phasensignal Vt, welches die auf diese Weise bestimmte Phasenverschiebung t abbildet.
  • Somit stellt das Amplitudensignal Vs ein Signal dar, das die Amplitude der Radialverschiebung der Schwerpunktachse des Rotors 1 gegenüber der Rotationsmittelachse I-I abbildet. Das Phasensignal Vt an der Ausgangsklemme 80 stellt ein Signal dar, das die Winkelposition der Schwerpunktachse des Rotors 1 um die Rotationsmittelachse bezogen auf die induktiven Sensoren 51, 52 und 53 im Stator abbildet.
  • Digitale Signalverarbeitungsmittel 12 empfangen das Amplitudensignal Vs und das Phasensignal Vt und erzeugen Steuersignale für die Speisung der Elektro-Schwebemagnete, die darauf abzielen, die Schwerpunktachse des Rotors 1 gegenüber der Rotationsmittelachse I-I im Stator 2 zentriert zu halten.
  • Man versteht, dass zur Erzielung einer guten Genauigkeit bei der Bestimmung der Radiallage des Rotors 1 im Stator 2 die Frequenz F der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 sehr viel höher als die Rotationsfrequenz des Rotors 1 im Stator 2 sein muss. Bei eventuellen Schwingungen des Rotors 1 im Stator 2 wird die Ausgangsspannung Ve einer Amplituden- und Phasenmodulation unterzogen, und der Amplitudenmesskreis 7 ist in der Lage, den Amplitudenschwankungen der Ausgangsspannung Ve zu folgen, während der Phasenmesskreis 8 in der Lage ist, den Phasenschwankungen der Winkelposition des Rotors 1 mit der Rotationsgeschwindigkeit des Rotors 1 zu folgen.
  • Nun wird auf 9 Bezug genommen, die eine zweite Ausführungsform der elektrischen Schaltung gemäß der Erfindung darstellt.
  • In dieser zweiten Ausführungsform findet man dieselbe Struktur des Radiallagegebers 5, die bereits in der vorhergehenden Ausführungsform beschrieben wurde, und dieselben Elemente sind durch dieselben Bezugsziffern gekennzeichnet: die drei Spannungen V1, V2, V3 der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 mit einem Sternpunkt 56, die drei induktiven Sensoren 51, 52 und 53 und die drei Verstärker 57, 58 und 59 sowie der Ausgang 54 des Radiallagegebers.
  • Der Unterschied besteht darin, dass die Signalverarbeitungsmittel nach dem Prinzip der synchronen Gleichrichtung arbeiten, die es ermöglicht, eine bessere Empfindlichkeit bei der Beurteilung der Phasenverschiebung und der Amplitude der Radialverschiebung des Rotors zu erzielen. Diese bessere Empfindlichkeit bietet den Vorteil, dass sie eine größere Präzision darin ermöglicht, den Rotor 1 in unmittelbarer Nähe seiner theoretischen zentrierten Lage entlang der Rotationsmittelachse I-I im Stator zu halten.
  • In dieser Ausführungsform umfassen die Signalverarbeitungsmittel einen ersten Amplitudenmesskreis 17, von dem ein erster Eingang mit dem Ausgang 54, 56 des Radiallagegebers 5 verbunden ist und von dem ein zweiter Eingang 171 mit einer ersten Phase V1 der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 verbunden ist. Der erste Amplitudenmesskreis 17 erzeugt an seinem Ausgang 170 ein erstes Amplitudensignal Vs1, das zum Mittelwert der Ausgangsspannung Ve proportional ist, der während eines Abtastwertes berechnet wird, der mit dieser ersten Phase V1 der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 synchron ist.
  • Um diese Funktionsweise zu verstehen, kann man zum Beispiel auf 10 Bezug nehmen, welche die jeweiligen Wellenformen der drei Phasen V1, V2 und V3 der symmetrischen Dreiphasensinusspannung 55 darstellt sowie der Ausgangsspannung Ve des Radiallagegebers 5. Die Wellenformen sind sinusförmig, und die Ausgangsspannung Ve ist gegenüber den Spannungen V1, V2 und V3 um eine Phasenverschiebung phasenverschoben, die von der Winkelposition des Schwerpunkts des Rotors gegenüber dem Stator abhängt. In 10 wurde die Ausgangsspannung Ve in einem Beispiel dargestellt, das einer Spitzenspannung von 0,5 Volt und einer Phasenverschiebung von 60° gegenüber der Spannung V1 entspricht, das heißt bezogen auf die Position des Sensors 51.
  • Das erste Amplitudensignal Vs1 kann zum Beispiel berechnet werden, indem der Mittelwert der Spannung Ve während der positiven Halbperiode der Spannung V1 der ersten Phase berechnet werden.
  • In ähnlicher Weise umfassen die Signalverarbeitungsmittel einen zweiten Amplitudenmesskreis 18, von dem ein erster Eingang mit dem Ausgang 54, 56 des Radiallagegebers 5 verbunden ist und von dem ein zweiter Eingang 181 mit einer anderen Phase der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 verbunden, ist, zum Beispiel mit der dritten Phase V3. Der zweite Amplitudenmesskreis 18 erzeugt an seinem Ausgang 180 ein zweites Amplitudensignal VS2, das zum Mittelwert der Ausgangsspannung Ve proportional ist, der während eines Abtastwertes berechnet wird, der mit dieser dritten Phase V3 der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle 55 synchron ist.
  • Unter erneuter Betrachtung von 10 kann zum Beispiel das zweite Amplitudensignal Vs2 durch den Mittelwert der Spannung Ve berechnet werden, die während der positiven Halbperiode der Spannung Ve der dritten Phase ermittelt wurde. In dem in der Figur dargestellten Beispiel hat die Ausgangsspannung Ve eine zur Spannung V3 entgegengesetzte Phase.
  • Somit stellt das erste Amplitudensignal Vs1 ein Signal dar, das die Momentanverschiebungskomponente des Schwerpunkts des Rotors 1 in der festen Radialrichtung des ersten Sensors 51 im Stator 2 abbildet, während das zweite Amplitudensignal Vs2 das Abbild der Momentanverschiebungskomponente des Schwerpunkts des Rotors 1 in der festen Radialrichtung des dritten Sensors 53 im Stator 2 ist.
  • Unter erneuter Bezugnahme auf 9 empfangen digitale Verarbeitungsmittel 120 die beiden Amplitudensignale Vs1 und Vs2 und erzeugen die Steuersignale für die Speisung der Elektro-Schwebemagnete, die darauf abzielen, die Schwerpunktachse des Rotors 1 bezogen auf die Rotationsmittelachse I-I im Stator 2 zentriert zu halten.
  • Unter erneuter Bezugnahme auf 1 sieht man, dass das Magnetlager 3 axial gegenüber dem Radiallagegeber 5 verschoben ist. In diesem Fall kann die Winkelposition der induktiven Sensoren, aus denen der Radiallagegeber 5 besteht, bezogen auf die Winkelposition der Magnete, aus denen das Magnetlager 3 besteht, neutral sein.
  • Vorteilhafterweise kann jedoch vorgesehen werden, dass das Magnetlager 3 drei Elektro-Schwebemagnete umfasst und dass die drei induktiven Sensoren, die den Radiallagegeber 5 bilden, in ihrem Winkel zwischen den von den Elektro-Schwebemagneten des Magnetlagers 3 belegten Positionen versetzt sind.
  • In diesem letztgenannten Fall versteht man, dass die drei induktiven Sensoren vorteilhafterweise zwischen die drei Elektro-Schwebemagnete eingefügt werden können, sodass das Gesamtsystem weniger Platz in der Länge des Rotors einnimmt, wobei der Radiallagegeber 5 in diesem Fall in das Magnetlager 3 verschachtelt angeordnet ist.
  • In der in derselben 1 dargestellten Ausführung ist das rotierende System gemäß der Erfindung eine Vakuumpumpe, in der man einen axialen Ansaugeingang 9, Ansaugflügel 10 des Rotors 1 und einen radialen Förderausgang 11 erkennt. Der Rotor 1 dreht sich mit großer Geschwindigkeit und wird von den Magnetlagern 3 und 4 im Stator 2 gehalten.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die ausdrücklich beschriebenen Ausführungsformen beschränkt, sondern sie schließt die verschiedenen, dem Fachmann zugängliche Varianten und Verallgemeinerungen ein, ohne sich von der Formulierung der Ansprüche zu entfernen.

Claims (12)

  1. Rotierendes System, umfassend einen Rotor (1), der in einem Stator (2) um eine Rotationsmittelachse (I-I) drehend gelagert ist, und umfassend einen Radiallagegeber (5) des Rotors (1) im Stator (2), umfassend drei Sensoren, die im Stator (2) im Wesentlichen in einem Winkel von 120° zueinander um den Rotor (1) und im gleichen Abstand von der Rotationsmittelachse (I-I) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass – die Sensoren (51, 52, 53) induktive Sensoren sind, die gegenüber einem Rotorabschnitt (100) aus einem magnetischen Werkstoff angeordnet sind; – eine symmetrische Dreiphasen-Sinusspannungsquelle (55) mit Sternpunkt (56) die zu einer Sternschaltung verkabelten induktiven Sensoren (51, 52, 53) speist; – Mittel ermöglichen, die Ausgangsspannung (Ve) zwischen dem Sternpunkt (56) der symmetrischen Dreiphasenspannungsquelle (55) und dem gemeinsamen Anschlusspunkt (54) der zu einer Sternschaltung verkabelten induktiven Sensoren (51, 52, 53) zu erfassen und daraus die Radiallage des Rotors (1) im Stator (2) abzuleiten.
  2. Rotierendes System nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es mindestens ein Magnetlager (3, 4) umfasst, dessen Elektro-Schwebemagnete von einem Steuerkreis gespeist werden, der über die Ausgangsspannung (Ve) des entsprechenden Radiallagegebers (5, 6) gesteuert wird.
  3. Rotierendes System nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Magnetlager (3, 4) drei Elektro-Schwebemagnete umfasst.
  4. Rotierendes System nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die die induktiven Sensoren (51, 52, 53) in ihrem Winkel zwischen den von den Elektro-Schwebemagneten belegten Winkelpositionen versetzt angeordnet sind.
  5. Rotierendes System nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die induktiven Sensoren (51, 52, 53) zwischen den Elektro-Schwebemagneten desselben Magnetlagers (3) eingefügt werden.
  6. Rotierendes System nach einem beliebigen der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass es zwei Magnetlager (3, 4) umfasst, die in Längsrichtung zwischen sich einen Zwischenraum aufweisen.
  7. Rotierendes System nach einem beliebigen der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgangsspannung (Ve) von Signalverarbeitungsmitteln (7, 8) verarbeitet, um ein Amplitudensignal (Vs) und ein Phasensignal (Vt) bezogen auf die von der symmetrischen Dreiphasenspannungsquelle (55) gelieferte Spannung (V1, V2, V3) zu erzeugen, wobei das Amplitudensignal (Vs) ein Signal darstellt, das die Amplitude der Radialverschiebung der Schwerpunktachse des Rotors (1) gegenüber der Rotationsmittelachse (I-I) abbildet, und wobei das Phasensignal (Vt) ein Signal darstellt, das die Winkelposition der Schwerpunktachse des Rotors (1) um die Rotationsmittelachse (I-I) bezogen auf die induktiven Sensoren (51, 52, 53) abbildet.
  8. Rotierendes System nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Signalverarbeitungsmittel umfassen: – einen Amplitudenmesskreis (7), der mit dem Ausgang (54, 56) des Radiallagegebers (5) verbunden ist und ein Amplitudensignal (Vs) erzeugt, das zur Amplitude der Ausgangsspannung (Ve) des Radiallagegebers (5) proportional ist; – einen Phasenmesskreis (8), der mit dem Ausgang (54, 56) des Radiallagegebers (5) verbunden ist und der ein Phasensignal (Vt) erzeugt, das zur Phasenverschiebung (t) zwischen der Ausgangsspannung (Ve) und einer der drei Sinusspannungen (V1) proportional ist, die die in Sternschaltung angeordneten induktiven Sensoren (51, 52, 53) speisen; – Mittel zur digitalen Verarbeitung (12), die das Amplitudensignal (Vs) und das Phasensignal (Vt) empfangen und die die Steuersignale für die Speisung der Elektro-Schwebemagnete erzeugen, die darauf abzielen, die Schwerpunktachse des Rotors (1) bezogen auf die Rotationsmittelachse (I-I) im Stator (2) zentriert zu halten.
  9. Rotierendes System nach einem beliebigen der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgangsspannung (Ve) von Signalverarbeitungsmitteln (17, 18) verarbeitet wird, die mindestens zwei Amplitudensignale Vs1, Vs2) erzeugen, welche jeweils das Abbild der Momentanverschiebungskomponenten des Schwerpunkt des Rotors (1) in zwei unterschiedlichen festen Radialrichtungen des Stators (2) um die Rotationsmittelachse (I-I) darstellen.
  10. Rotierendes System nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Signalverarbeitungsmittel umfassen: – einen ersten Amplitudenmesskreis (17), von dem ein erster Eingang mit dem Ausgang (54, 56) des Radiallagegebers (5) verbunden ist und von dem ein zweiter Eingang (171) mit einer ersten Phase (V1) der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle (55) verbunden ist und der an seinem Ausgang (170) ein erstes Amplitudensignal (Vs1) erzeugt, das zum Mittelwert der Ausgangsspannung (Ve) proportional ist, der während eines Abtastwertes berechnet wird, der mit dieser ersten Phase (V1) der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle (55) synchron ist; – einen zweiten Amplitudenmesskreis (18), von dem ein erster Eingang mit dem Ausgang (54, 56) des Radiallagegebers (5) verbunden ist und von dem ein zweiter Eingang (181) mit einer anderen Phase (V3) der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle (55) verbunden ist und der an seinem Ausgang (180) ein zweites Amplitudensignal (Vs2) erzeugt, das zum Mittelwert der Ausgangsspannung (Ve) proportional ist, der während eines Abtastwertes berechnet wird, der mit dieser anderen Phase (V3) der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle (55) synchron ist; – Mittel zur digitalen Verarbeitung (120), die die beiden Amplitudensignale (Vs1, Vs2) empfangen und die die Steuersignale für die Speisung der Elektro-Schwebemagnete erzeugen, die darauf abzielen, die Schwerpunktachse des Rotors (1) bezogen auf die Rotationsmittelachse (I-I) im Stator (2) zentriert zu halten.
  11. Rotierendes System nach einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 10, in dem der Rotor (1) und der Stator (2) eine Vakuumpumpe bilden.
  12. Rotierendes System nach einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Frequenz (F) der symmetrischen Dreiphasen-Sinusspannungsquelle (55) sehr viel höher ist als die Rotationsfrequenz des Rotors (1) im Stator (2).
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