DE60026278T2 - Anzeigevorrichtung und herstellungsverfahren - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 53
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 14
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 13
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims description 10
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 3
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004988 Nematic liquid crystal Substances 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical group [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004116 SrO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000001045 blue dye Substances 0.000 description 1
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000001046 green dye Substances 0.000 description 1
- 239000001056 green pigment Substances 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- -1 polyphenylene vinylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 239000001044 red dye Substances 0.000 description 1
- 239000001054 red pigment Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
- H01S5/42—Arrays of surface emitting lasers
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/1336—Illuminating devices
- G02F1/133617—Illumination with ultraviolet light; Luminescent elements or materials associated to the cell
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/85—Arrangements for extracting light from the devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/875—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K59/878—Arrangements for extracting light from the devices comprising reflective means
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/17—Passive-matrix OLED displays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/875—Arrangements for extracting light from the devices
- H10K59/877—Arrangements for extracting light from the devices comprising scattering means
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Electromagnetism (AREA)
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
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Description
- Die Erfindung betrifft eine Anzeigevorrichtung, die ein erstes Substrat mit Pixeln umfasst, auf dem eine in Bereiche strukturierte Schicht aus lumineszentem Material bereitgestellt ist, sowie Mittel zum Anregen des lumineszenten Materials während des Gebrauchs. Derartige strukturierte Schichten können mittels ultravioletter Strahlung aktiviert werden, welche von einem geeigneten Schalter moduliert wird, beispielsweise von einem LCD-Schalter. Die separaten Bereiche können alternativ Pixel einer Anzeigevorrichtung auf Basis von Elektrolumineszenz bilden, wie etwa ein Polymer-(O)LED.
- Die Erfindung betrifft außerdem ein Herstellungsverfahren für eine derartige Anzeigevorrichtung.
- Eine Anzeigevorrichtung des oben beschriebenen Typs ist aus US-Patent 4,822,144 bekannt. In einem der Beispiele, die in diesem Patent gezeigt werden, wird eine Leuchtstoffstruktur über einen LCD-Schalter mit UV-Strahlung angeregt. Besonders, wenn es sich bei den lumineszenten Schichten aus diesem Beispiel um lichtdurchlässige (organische) Leuchtstoffe handelt, kann in diesen Schichten aufgrund von Reflexionen an den Grenzflächen mit beispielsweise dem Substrat oder einer lichtdurchlässigen Schutzbeschichtung in einer solchen Schicht Wellenleitung auftreten. Das Gleiche gilt für Schichten aus elektrolumineszentem Material, die zum Beispiel ein (O)LED oder (organisches) lichtemittierendes Bauelement bilden. Aufgrund der Wellenleitung geht viel von dem Licht, das in den Schichten erzeugt wird, verloren. Eine weitere Folge besteht darin, dass das Licht die Schichten in nicht erwünschten Bereichen in Betrachtungsrichtung verlässt, so dass zum Beispiel Farben vermischt werden. Darüber hinaus wird die Schicht aus lumineszentem Material oft mit einer lichtdurchlässigen Schutzbeschichtung beschichtet. An jeder der Schichten (dem Substrat, der Schicht aus lumineszentem Material und der lichtdurchlässigen Schutzbeschichtung) wird Tageslicht reflektiert, was zu Lasten des Kontrastes geht.
- Es ist unter anderem eine Aufgabe der Erfindung, einen oder mehrere dieser Nachteile zu beseitigen. Zu diesem Zwecke ist eine erfindungsgemäße Anzeigevorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Bereich der Schicht aus lumineszentem Mate rial zwischen einer lichtabsorbierenden Schicht auf der dem Betrachter zugewandten Seite der Anzeigevorrichtung und einer dielektrischen Schicht angeordnet und in der Draufsicht mindestens entlang eines Teils seines Randes mit lichtreflektierenden oder lichtstreuenden Mitteln versehen ist. Bei dieser Anwendung ist unter einer dielektrischen Schicht eine Schicht zu verstehen, die, verglichen mit dem Brechungsindex der Schicht aus lumineszentem Material, einen niedrigen Brechungsindex aufweist. Es kann sich hierbei um ein untergelagertes Substrat handeln, doch bevorzugt handelt es sich um einen Schichtstapel mit untereinander unterschiedlichen Brechungsindizes (eine Schichtlage kann einen höheren Brechungsindex aufweisen als die Schicht aus lumineszentemn Material).
- Indem entlang des Randes lichtreflektierende oder lichtstreuende Mittel bereitgestellt werden, erreicht man, dass das Licht im Bereich des Randes (in Richtung des Betrachters) reflektiert oder gestreut wird. Hierdurch wird die Lichtausbeute gesteigert. Darüber hinaus vermiedet man, dass Licht über Wellenleitung einen angrenzenden Bereich der Schicht aus lumineszentem Material erreicht; so wird die erwähnte Farbvermischung weitgehend unterbunden. Die lichtabsorbierende Schicht absorbiert Umgebungslicht, so dass keine störenden Reflexionen mehr auftreten und der Kontrast gesteigert wird.
- Eine bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen
- Anzeigevorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der lichtabsorbierenden Schicht und der Schicht aus lumineszentem Material eine Schicht angeordnet ist, die Licht in Richtung der Schicht aus lumineszentem Material reflektiert. Die bereits bestehende Wellenleitung wird dadurch intensiviert und vorteilhaft ausgenutzt.
- Die lichtreflektierenden oder lichtstreuenden Mittel können nicht nur entlang des Randes der separaten Bereiche der strukturierten Schicht aus lumineszentem Material bereitgestellt, sondern auch innerhalb von Öffnungen in diesen Bereichen angeordnet sein.
- Wenn lichtreflektierende Mittel eingesetzt werden, wählt man bevorzugt reflektierende Oberflächen, die einen Winkel von ungefähr 45° zu dem Substrat bilden. Eine weitere bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Kopfende eines Bereichs der Schicht aus lumineszentem Material mit halbdurchlässigen Spiegeln versehen ist. In diesem Falle tritt unter sorgsam gewählten Bedingungen ein optisch intensivierter Effekt (Laser-Effekt) auf. Die Vorteile sind eine höhere Lichtausbeute und die Tatsache, dass man aufgrund des schmalen Emissionsbandes (Linienemission) gesättigte Farben erhält.
- Ein erstes Herstellungsverfahren für eine derartige Anzeigevorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass eine in Bereiche strukturierte Schicht aus lumineszentem Material auf einem Substrat bereitgestellt wird, woraufhin in einer ersten Richtung unter einem Winkel von zwischen 10 und 30 Grad bezüglich der Oberflächennormalen eine Schicht aus lichtreflektierendem Material aufgetragen wird, zwischen den separaten Bereichen reflektierendes oder lichtstreuendes Material bereitgestellt wird und die Bereiche mit einem lichtabsorbierenden Material beschichtet werden.
- Diese und weitere Gesichtspunkte der Erfindung gehen aus den nachstehend beschriebenen Ausführungsformen hervor und werden anhand dieser erläutert.
-
1 ist ein diagrammatischer Querschnitt eines Teils einer erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung, -
2 zeigt einen vergrößerten Teil des Bereichs, der in1 durch den Kreis II bezeichnet wird, -
3 ist eine diagrammatische Ansicht eines Teils der Anzeigevorrichtung aus1 von schräg oben, -
4 zeigt eine Variante der Anzeigevorrichtung aus3 , -
5 bis7 zeigen eine Anzeigevorrichtung während verschiedener Herstellungsstadien, -
8 ist ein Querschnitt einer weiteren erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung, und -
9 ist ein Querschnitt dieser Vorrichtung während eines Herstellungsstadiums, wohingegen -
10 bis13 andere Anzeigevorrichtungen während mehrerer Herstellungsstadien zeigen und -
14 und15 andere Ausführungsformen von Teilen einer erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung zeigen, und -
16 zeigt eine weitere Variante. - Die Figuren sind diagrammatisch; sie sind nicht maßstabsgetreu gezeichnet. Einander entsprechende Teile werden im Allgemeinen mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet.
-
1 zeigt eine erfindungsgemäße Anzeigevorrichtung1 mit einer Beleuchtungsquelle2 (Hintergrundbeleuchtung), die UV-Strahlung3 emittiert. Die UV-Strahlung3 wird mittels eines Schalters oder Modulators4 , in diesem Beispiel ein Flüssigkristallschal ter, moduliert. Der Flüssigkristallschalter umfasst ein Flüssigkristallmaterial9 , z.B. ein verdrilltes nematisches Flüssigkristallmaterial oder ein ferroelektrisches Material, zwischen zwei Substraten5 ,6 . Die Substrate5 ,6 sind mit Elektroden7 ,8 versehen, die, gemeinsam mit dem dazwischen angeordneten Flüssigkristallmaterial, die Menge der transmittierten UV-Strahlung im Bereich der Pixel bestimmen. Zu diesem Zwecke sind die Elektroden (entweder mittels oder nicht mittels Schaltelementen) z.B. an Zeilen- und Spaltenanschlüsse angeschlossen, die von einer Ansteuereinheit10 angesteuert werden. Alternativ kann der Schalter4 anstelle eines Flüssigkristalleffektes andere elektrooptische Effekte ausnutzen. - Die modulierte UV-Strahlung erreicht strukturierte Bereiche
12 , die auf einem Substrat13 bereitgestellt sind; diese strukturierten Bereiche entsprechen Teilen des UV-Schalters, der von den Elektroden7 ,8 definiert wird, und definieren somit einen Pixel. Obwohl die Substrate5 ,11 separat gezeigt sind, können sie alternativ auch als ein Substrat realisiert werden. Jede strukturiere Schicht (in1 mit R, G, B bezeichnet) umfasst eine Schicht13 aus einem elektrolumineszenten Material von einer Zusammensetzung, die nachstehend beschrieben werden wird. Erfindungsgemäß sind Schichten14 aus einem lichtabsorbierenden Material, z.B. einer Mixtur aus Pigmenten in Acrylmonomeren, auf den Schichten13 vorhanden. Bevorzugt kann das Acrylat-Bindemittel mittels Photolithographie strukturiert werden, so dass sich die absorbierende Schicht im Bereich der bereitzustellenden lichtreflektierenden oder lichtstreuenden Elemente21 leicht entfernen lässt. Die Schicht13 ist nun zwischen zwei Schichten mit unterschiedlichen Brechungsindizes angeordnet. Das in der Schicht13 erzeugte Licht wird hauptsächlich an der Grenzfläche zwischen den Schichten13 ,14 reflektiert. Ebenso wird das Licht an der Grenzfläche zwischen den Schichten13 ,11 reflektiert. Folglich tritt in der Schicht13 Wellenleitung auf, besonders wenn für diesen Zweck ein geeignetes lumineszentes Material gewählt wird, wie z.B. ein photolumineszentes Material (z.B. ein Material, das Perylen umfasst) oder in einem Acrylat gelöste Farbstoffe. - Das in den Schichten
13 erzeugte Licht20 tritt nun seitlich aus (2 ) und trifft auf lichtreflektierende oder lichtstreuende Elemente21 auf, in diesem Beispiel ein dachförmiger oder halbrunder Grat22 , der mit einer reflektierenden Schicht23 versehen ist. Austretendes Licht20 wird von dieser (reflektierenden) Schicht23 in Richtung des Betrachters19 reflektiert. - Der Wellenleitungseffekt wird sogar intensiviert, indem zwischen der Schicht
13 aus lumineszentem Material und der absorbierenden Schicht14 eine lichtreflektierende oder reflektierende Schicht18 (die in Richtung der Schicht13 reflektiert) bereitgestellt wird. Es kann sich hierbei um einen metallischen Spiegel wie etwa Aluminium handeln. Der Effekt wird weiter intensiviert, indem die reflektierende Schicht18 mit einer Schicht32 beschichtet wird, die einen niedrigen Brechungsindex aufweist, wie etwa SiO2. Die Absorption auf der Doppelschicht18 ,32 ist minimal. Um den Wellenleitungseffekt weiter zu intensivieren, ist zwischen dem Substrat11 und der Schicht13 bevorzugt eine dielektrische Schicht oder ein Stapel aus dielektrischen Schichten (dielektrischer Spiegel15 ) bereitgestellt, die/der für die anregende (UV-)Strahlung durchlässig ist und emittiertes sichtbares Licht reflektier. -
3 ist eine Ansicht einer Anzahl von strukturierten Bereichen12 auf dem Substrat11 , die jeweils von den Graten22 umgeben werden, von schräg oben. - Bei der Vorrichtung aus
4 sind die Grate durch streifenförmige Bahnen22' aus einem lichtstreuenden Material ersetzt worden, das in diesem Beispiel aus einem lichtdurchlässigen Acrylharz besteht und photolithographisch strukturiert ist, wobei Streupartikel bereitgestellt sind, die einen Brechungsindex aufwiesen, der sich von dem Acrylharz unterscheidet, in diesem Beispiel Titanoxidpartikel24 . Die Vorrichtung aus4 umfasst außerdem zusätzliche lichtstreuende Bereiche25 in den Mitten der strukturierten Bereiche12 . Licht20' , das von dem Wellenleitungseffekt erzeugt wird, wird nun auch in den Mitten der Bereiche12 gestreut, so dass eine bessere Verteilung des Lichts (besonders, wenn die Pixel größere Abmessungen aufweisen) und eine höhere Lichtausbeute erzielt werden. - Die Herstellung einer erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung beginnt mit einem Substrat
11 aus z.B. Glas oder einem synthetischen Material, auf der eine dielektrische Schicht (Stapel oder dielektrischer Spiegel)15 bereitgestellt wird, die für UV-Strahlung durchlässig ist und sichtbares Licht reflektiert. Die strukturierten Bereiche12 erhält man, indem man sie mittels eines photolithographischen Prozesses (z.B. Maskenätzen und Härten eines negativen Photoresists, der mit einem Farbstoff versehen ist) nacheinander für verschiedene Farben bereitstellt (siehe5 ). - Anschließend wird eine SrO2-Schicht aufgetragen (aufgedampft) und derart photolithographisch bereitgestellt (mit einem positiven Photoresist strukturiert), dass die strukturierten Bereiche
12 mit einer SiO2-Schicht26 beschichtet werden (siehe6 ). An schließend werden mittels einer Maske Streifen aus negativem Photoresist27 bereitgestellt, die derart gehärtet werden, dass bei einer Temperatur über dem Erweichungspunkt immer noch Deformationen möglich sind. Wenn sie auf eine Temperatur über dem Erweichungspunkt aufgeheizt werden, werden die streifenförmigen Teile aus Photoresist deformiert, so dass am Ende im Wesentlichen halbzylindrische Teile22 zurückbleiben (siehe7 ). Bei einem anschließenden lithographischen Schritt werden die strukturierten Bereiche12 (die mit einer SiO2-Schicht26 beschichtet sind) und die halbzylindrischen Teile22 photolithngraphisch mit einer reflektierenden Schicht18 bzw.23 aus, in diesem Beispiel, Aluminium beschichtet. Schließlich werden Schichten14 aus einem lichtabsorbierenden Material am Ort der strukturierten Bereiche12 bereitgestellt, indem z.B. ein negativer Photoresist, wie etwa Acrylat mit darin gelösten roten, blauen und grünen Farbstoffen, strukturiert und gehärtet wird. Man erhält dann die Vorrichtung aus7 , die einen Teil einer anhand1 bis3 beschriebenen Bildanzeigevorrichtung bildet. - Bei einem weiteren Herstellungsverfahren wird ein Substrat
14 mit einer Doppelschicht aus CrO2 und Cr beschichtet, die photolithographisch strukturiert wird. Die Schichten14 aus lichtabsorbierendem Material (CrO2) sind nun auf dein Substrat11 angeordnet und werden mit reflektierenden Schichten18 (in diesem Beispiel Chromschichten) beschichtet (siehe9 ). In drei aufeinanderfolgenden Schritten erhält man rote, grüne und blaue strukturierte Bereiche12 , indem man sie mittels eines photolithographischen Prozesses (z.B. wiederum Maskenätzen und Härten eines negativen Photoresists, der mit einem Farbstoff versehen ist) nacheinander für verschiedene Farben bereitstellt. Durch Überbelichtung des Photoresists während der Belichtung (die Lichtmenge ist höher als zur Herstellung eines Bildes der benutzten Maske notwendig) erhält man entlang der Ränder der strukturierten Bereiche12 Neigungen (siehe8 ). Die Baugruppe wird nun mit einer dielektrischen Schicht15 beschichtet, die für UV-Strahlung durchlässig ist und sichtbares Licht reflektiert. Man erhält dann die Vorrichtung aus9 , die einen Teil einer anhand1 bis3 beschriebenen Bildanzeigevorrichtung bildet, wobei die photolumineszenten Bereiche12 nun auf der dem Modulator4 zugewandten Seite des Substrats angeordnet sind und das Licht20 durch dieses Substrat austritt. - Die Vorrichtung aus
4 kann auch selbst Licht erzeugen, beispielsweise wenn die Bereiche12 als Polymer-LED aufgebaut sind, die mehrere Schichtlagen umfassen kann. In dem Beispiel aus8 fungieren die Schichten18 dann außerdem als elektrische Kontaktschichten und verlaufen transversal zur Zeichnungsebene. Für den anderen Kontakt zwischen der dielektrischen Schicht15 und den strukturierten Bereichen12 können Schichten aus lichtdurchlässigem Indiumoxid oder Indiumzinnoxid (ITO) bereitgestellt werden, die in der Zeichnungsebene verlaufen (x,y-Matrix). Die ITO-Schchten weisen eine hohe Austrittsarbeit auf und fungieren als positive Elektroden (zur Injektion von Löchern in den aktiven Bereich12 ). Eine gute negative Elektrode (zur Injektion von Elektronen in den aktiven Bereich12 ) erhält man durch Auswahl von Aluminium für die reflektierende Schicht18 . - Bei einer Variante (
14 ) wird der Kontakt hergestellt, indem die reflektierende Schicht18 aus z.B. Chrom mit dem Material mit hoher Austrittsarbeit, z.B. einer ITO-Schicht33 , beschichtet wird. Die LED innerhalb des strukturierten Bereichs11 weist nun eine reflektierende Kontaktschicht34 aus z.B. Aluminium auf. Eine Mehrzahl aus strukturierten Bereichen11 bildet eine Matrix, deren individuelle Elemente ausgewählt werden, weil strukturierte Schichten18 ,31 senkrecht zur Zeichnungsebene verlaufen, während strukturierte Kontaktschichten34 parallel zum Substrat11 verlaufen. Im Übrigen haben die Bezugszahlen dieselben Bedeutungen wie in den vorherigen Beispielen. - Bei der Variante aus
15 wird eine LED gebildet, indem zwischen einer ITO-Elektrode33 und eine Aluminiumelektrode18 eine Schicht aus elektrolumineszentem Material35 bereitgestellt wird, welches blaues Licht emittiert, und bei welchem es sich z.B. um Polyphenylenvinylen (PPV) (möglicherweise in Kombination mit einer Polythiophenschicht) handelt. - Das lumineszente Material
13 wird nun von dem emittierten blauen Licht angeregt. Das Material13 des Bereichs12 ist so ausgewählt, dass es bei Anregung durch blaues Licht z.B. grünes oder rotes Licht emittiert. Außerdem ist der strukturierte Bereich12 wiederum (teilweise) mit einer reflektierenden Schicht36 beschichtet. - Bei noch einem weiteren Herstellungsverfahren wird das lichtreflektierende Material, in diesem Beispiel Aluminium, in einer ersten Richtung
46 (zum Beispiel entlang der Diagonalrichtung der einzelnen Bereiche) unter einem Winkel von zwischen 10 und 30 Grad bezüglich der Oberflächennormalen aufgetragen (aufgedampft), nachdem die (mit5 vergleichbaren) strukturierten Bereiche12 bereitgestellt worden sind. Dies erzeugt während des Aufdampfens einen Schatteneffekt, so dass die Bereiche12 nur auf einer Seite (oder bei diagonaler Belichtung auf zwei Seiten) mit einer reflektierenden Schicht18 beschichtet werden (siehe10 ), welche auch teilweise die dielektrische Schicht15 zwischen den strukturierten Bereichen12 abdeckt. Anschließend wird die Baugruppe mit einer Schicht aus positivem Photoresistmaterial28 beschichtet, welches daraufhin aus der entgegengesetzten Richtung47 unter einem Winkel belichtet wird, der von dem benutzten Resist abhängt, aber größer als 45 Grad bezüglich der Oberflächennormalen ist. Nach der Entwicklung bleiben die nicht belichteten Teile29 (siehe11 ) übrig. In einem zweiten Auftragungsschritt (Aufdampfungsschritt) in der ersten Richtung46 unter einem Winkel von zwischen 10 und 30 Grad bezüglich der Oberflächennormalen wird auf der oberen Oberfläche der strukturierten Bereiche12 und auf den schiefen Seiten der nicht belichteten Teile29 die abschließende reflektierende Schicht18 (siehe12 ) bereitgestellt. Die Baugruppe wird daraufhin mit einem schwarzen, negativen Photoresist31 (z.B. wieder ein Acrylat mit darin gelösten roten, blauen und grünen Pigmenten) beschichtet und über die Maske30 belichtet. Nach der Entwicklung erhält man die Struktur aus13 . Bei dieser Struktur verlässt Licht20 , das in dem strukturierten elektrolumineszenten Bereich erzeugt wird, diesen Bereich auf einer oder zwei Seiten und wird an die andere(n) Seite(n) reflektiert. - Neben der Lumineszenz, die durch UV-Strahlung oder Stromdurchgang (Poly-LED) erzeugt wird, kann Licht alternativ auch auf völlig andere Weise erzeugt werden. Dies wird anhand von
16 veranschaulicht, die einen Teil der Anzeigevorrichtung zeigt, der mit einem der strukturierten Bereiche13 in1 vergleichbar ist. Ein oder mehrere Kopfenden der Bereiche13 sind nun mit halbdurchlässigen Spiegeln16 versehen. Das Material der Bereiche13 ist so ausgewählt, dass die (modulierte) UV-Strahlung aufgrund optischen Pumpens Inversion herbeiführt. Somit wird in dem von einem Bereich13 gebildeten optischen Resonator optische Oszillation hergestellt. Kohärente Lichtstrahlen20 treten durch die halbdurchlässigen Spiegel16 aus und werden auf den reflektierenden Spiegel23 wiederum in Richtung des Betrachters reflektiert. - Es ist offensichtlich, dass die Erfindung nicht auf die gezeigten Ausführungsformen beschränkt ist, sondern dass innerhalb des Schutzumfangs der Erfindung viele Variationen möglich sind. Zum Beispiel könnte die Schicht
13 auch in der Vorrichtung aus1 als Poly-LED implementiert werden. Anstelle einer LCD-Vorrichtung könnten für den UV-Schalter andere (UV-)Schalter gewählt werden, wie etwa plasmaadressierte LCDs, mechanische Schalter und elektrostatische Schalter. Zur UV-Erzeugung können auch Plasmaanzeigen benutzt werden. Bei der Auswahl der zu benutzenden Materialien sind ebenfalls erhebliche Variationen möglich. - Zusammenfassend betrifft die Erfindung eine Anzeigevorrichtung, bei der mittels Elektrolumineszenz (über UV-Strahlung, LED-Ansteuerung oder optisches Pumpen) in strukturierten Bereichen Licht erzeugt wird, das infolge von Wellenleitung die Bereiche über einen erhöhten Rand verlässt und in Richtung des Betrachters gestreut oder reflektiert wird.
- Die Erfindung besteht in jeder einzelnen neuartigen charakteristischen Eigenschaft und in jeder einzelnen Kombination aus charakteristischen Eigenschaften.
Claims (12)
- Anzeigevorrichtung, die ein erstes Substrat mit Pixeln umfasst, das mit einer in Bereiche strukturierten Schicht aus lumineszentem Material versehen ist, sowie Mittel zum Anregen des lumineszenten Materials während des Gebrauchs, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Bereich der Schicht aus lumineszentem Material zwischen einer Schicht, die auf der dem Betrachter zugewandten Seite der Anzeigevorrichtung Licht absorbiert, und einer dielektrischen Schicht angeordnet und in der Draufsicht mindestens entlang eines Teils seines Randes mit lichtreflektierenden oder lichtstreuenden Mitteln versehen ist.
- Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der lichtabsorbierenden Schicht und der Schicht aus lumineszentem Material eine Schicht angeordnet ist, die Licht in Richtung der Schicht aus lumineszentem Material reflektiert.
- Anzeigevorrichtung nach Anspruch l, dadurch gekennzeichnet, dass die dielektrische Schicht eine Schicht umfasst, die Licht in Richtung der Schicht aus lumineszentem Material reflektiert.
- Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Bereich der Schicht aus lumineszentem Material mindestens eine Öffnung aufweist, die mit lichtreflektierenden oder lichtstreuenden Mitteln versehen ist.
- Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtreflektierenden Mittel reflektierende Oberflächen unter einem Winkel von ungefähr 45° bezüglich des Substrats aufweisen.
- Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Kopfende eines Bereichs der Schicht aus lumineszentem Material mit halbdurchlässigen Spiegeln versehen ist.
- Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zum Anregen des lumineszenten Materials während des Gebrauchs eine Quelle für UV-Strahlung und einen Lichtmodulator umfassen, welcher aus der Gruppe aus LCD- Schaltern, mechanischen Schaltern, elektromechanischen Schaltern, elektrostatischen Schaltern und Plasmaanzeigevorrichtungen ausgewählt ist.
- Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zum Anregen des lumineszenten Materials während des Gebrauchs eine lichtemittierende Diode umfassen.
- Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das lumineszente Material mindestens eine lichtemittierende Diode umfasst.
- Herstellungsverfahren für eine Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine in Bereiche strukturierte Schicht aus lumineszentem Material auf einem Substrat bereitgestellt wird, woraufhin in einer ersten Richtung unter einem Winkel von zwischen 10 und 30 Grad bezüglich der Oberflächennormalen eine Schicht aus lichtreflektierendem Material aufgetragen wird, zwischen den separaten Bereichen reflektierendes oder lichtstreuendes Material bereitgestellt wird und die Bereiche mit einem lichtabsorbierenden Material beschichtet werden.
- Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Auftragen der Schicht aus reflektierendem Material die Oberfläche mit einer Schicht aus positivem Photoresist beschichtet wird, die unter einem Winkel von mehr als 45 Grad bezüglich der Normalen aus einer der ersten Richtung entgegengesetzten zweiten Richtung belichtet wird, und die schiefen Ränder des gehärteten Photoresists, die sich nach der Entwicklung ergeben, mit einer Schicht aus reflektierendem oder lichtstreuendem Material beschichtet werden.
- Herstellungsverfahren für eine Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine in separate Bereiche strukturierte Schicht aus lumineszentem Material auf einem Substrat bereitgestellt wird, woraufhin eine Struktur aus unvollständig gehärtetem Photoresist im Bereich der bereitzustellenden lichtstreuenden oder lichtreflektierenden Mittel bereitgestellt wird, woraufhin die Photoresiststruktur auf eine Temperatur über dem Erweichungspunkt aufgeheizt wird, woraufhin die dadurch erhaltene Photoresiststruktur mit einer Schicht aus lichtstreuendem oder lichtreflektierendem Material beschichtet wird.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP99200898 | 1999-03-23 | ||
EP99200898 | 1999-03-23 | ||
PCT/EP2000/001892 WO2000057239A1 (en) | 1999-03-23 | 2000-03-06 | Display device and method of manufacturing such a display device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE60026278D1 DE60026278D1 (de) | 2006-04-27 |
DE60026278T2 true DE60026278T2 (de) | 2006-10-19 |
Family
ID=8240016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE60026278T Expired - Fee Related DE60026278T2 (de) | 1999-03-23 | 2000-03-06 | Anzeigevorrichtung und herstellungsverfahren |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6320633B1 (de) |
EP (1) | EP1086400B1 (de) |
JP (1) | JP2002540458A (de) |
DE (1) | DE60026278T2 (de) |
WO (1) | WO2000057239A1 (de) |
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- 2000-03-06 DE DE60026278T patent/DE60026278T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-03-06 EP EP00909312A patent/EP1086400B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-03-06 WO PCT/EP2000/001892 patent/WO2000057239A1/en active IP Right Grant
- 2000-03-06 JP JP2000607053A patent/JP2002540458A/ja not_active Abandoned
- 2000-03-21 US US09/531,942 patent/US6320633B1/en not_active Expired - Fee Related
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JP2002540458A (ja) | 2002-11-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |