DE3873975T2 - Elektroskopische anzeigevorrichtung. - Google Patents
Elektroskopische anzeigevorrichtung.Info
- Publication number
- DE3873975T2 DE3873975T2 DE8888200880T DE3873975T DE3873975T2 DE 3873975 T2 DE3873975 T2 DE 3873975T2 DE 8888200880 T DE8888200880 T DE 8888200880T DE 3873975 T DE3873975 T DE 3873975T DE 3873975 T2 DE3873975 T2 DE 3873975T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- radiation
- electrode
- luminescent material
- display device
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/48—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using wave or particle radiation means
- G01D5/50—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using wave or particle radiation means derived from a radioactive source
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
- G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
- G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
- G09F9/37—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements
- G09F9/372—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements the positions of the elements being controlled by the application of an electric field
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
- Die Erfindung betrifft eine Wiedergabe-Einrichtung mit einer ersten und einer zweiten strahlungsdurchlässigen Stützplatte, einer Anzahl von Wiedergabe-Elementen, die jeweils mindestens eine feststehende Elektrode und eine bezüglich dieser Elektrode mittels elektrostatischer Kräfte bewegliche Elektrode haben, die zwei durch Anschlagflächen bestimmte Endlagen hat, wobei die genannte Elektrode von der feststehenden Elektrode mittels einer elektrisch isolierenden Schicht geschieden und mit einer Struktur von strahlungsdurchlässigen Öffnungen versehen ist, wobei die Einrichtung im Bereich der feststehenden Elektrode mit einer Struktur von nicht strahlungsdurchlässigen Flächen versehen ist, welche Struktur im wesentlichen mit der Struktur der strahlungsdurchlässigen Bereiche in der beweglichen Elektrode identisch ist, wobei das Wiedergabe-Element nahezu keine Strahlung durchläßt, wenn die beiden Strukturen nahezu in einer einzigen Ebene liegen.
- Eine Einrichtung dieser Art wird in der US-Patentschrift 4.309.242 beschrieben. Fig. 10 dieser Patentschrift beschreibt, wie eine solche Einrichtung in Transmission betrieben wird. Wie aus dieser Figur deutlich wird, ist gerichtete Lichtstrahlung verwendet worden. Dies führt einerseits zu einer Beschränkung hinsichtlich des Betrachtungswinkels, unter dem das in der Einrichtung erzeugte Bild betrachtet werden kann, während andererseits die Verwendung einer solchen Lichtquelle im Vergleich zu beispielsweise einer diffusen Lichtquelle den Platzbedarf erhöht. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Bildwiedergabe-Einrichtung der eingangs erwähnten Art zu verschaffen, in der der Betrachtungswinkel nahezu keinen Einfluß auf die Bildwiedergabe hat, während außerdem eine kompaktere Lichtquelle verwendet werden kann.
- Zur Lösung dieser Aufgabe ist eine erfindungsgemäße Einrichtung dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung in Transmission betrieben wird und die Stützplatte an der Betrachtungsseite auf ihrer den Elektroden zugewandten Seite mit lumineszierendem Material versehen ist, und daß eine zur Aussendung von Strahlung mit zur Anregung des lumineszierenden Materials genügend kleiner Wellenlänge geeignete Strahlungsquelle verwendet wird, während mindestens eine der beiden Elektroden an ihrer dem lumineszierenden Material zugewandten Seite für die von dem genannten Material ausgesendete Strahlung reflektierend ist. Sowohl die feststehende als auch die bewegliche Elektrode sind vorzugsweise reflektierend ausgebildet.
- Da das Bild an der Betrachtungsseite in lumineszierendem Material erzeugt wird (beispielsweise blaue, grüne und rote Leuchtstoffe), ist die Intensität des emittierten Lichtes in allen Richtungen nahezu gleich. Das lumineszierende Material wird beispielsweise durch UV-Licht angeregt, das die Umwandlung in sichtbares Licht bewirkt.
- Während dieser Umwandlung geht jedoch ein großer Teil der in den Leuchtstoffen erzeugten Lichtmenge verloren. Die Umwandlung erfolgt nämlich innerhalb einer sehr dünnen Schicht (ungefähr 2 bis 3 Mikrometer) an der Seite der einfallenden ultravioletten Strahlung. Da das erzeugte sichtbare Licht in alle Richtungen ausgesendet und auch von den Leuchtstoffen gestreut wird, verläßt ein großer Teil davon (etwa 60 bis 70%) die Leuchtstoffschicht an der Seite der UV-Quelle. Dies führt natürlich zu einer geringeren Helligkeit, aber außerdem kann ein Teil des in den Leuchtstoffen erzeugten Lichtes mittels Reflexion von verschiedenen Oberflächen teilweise rückgestreut werden, und dies unter einem zu großen Raumwinkel oder an unerwünschten Stellen. All dies führt zu einem Auflösungsverlust und einem verringerten Kontrast.
- In der nicht vorveröffentlichten Patentanmeldung EP-A-0272 760 der Anmelderin wird die Verwendung eines Interferenzfilters vorgeschlagen, das in Richtung der Strahlungsquelle ausgesendetes Licht nahezu vollständig reflektiert. Eine solche Lösung ist in erfindungsgemaßen elektroskopischen Wiedergabe-Einrichtungen nicht unbedingt erforderlich, da ein Teil des von den Leuchtstoffen in Richtung der Strahlungsquelle ausgesendeten Lichtes von der beweglichen Elektrode reflektiert wird.
- Ein zusätzlicher Vorteil, der auf den geringen Abstand zwischen den beiden Stützplatten zurückzuführen ist, liegt darin, daß eine diffuse Lichtquelle verwendet werden kann, wie im folgenden näher beschrieben werden soll.
- Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
- Fig. 1 schematisch eine Einrichtung, wie in der nicht vorveröffentlichten Patentanmeldung EP-A-0272 760 der Anmelderin vorgeschlagen, die eine elektroskopische Einrichtung verwendet, wie sie in Fig. 10 von US-A-4.309.242 abgebildet ist, und
- Fig. 2 schematisch eine erfindungsgemäße Einrichtung.
- Die Figuren sind schematisch und nicht maßstabsgetreu. Gleiche Teile haben im allgemeinen die gleichen Bezugszeichen.
- Die Einrichtung von Fig. 1 zeigt schematisch einen Teil einer elektroskopischen Wiedergabe-Einrichtung, entsprechend US-A-4.309.242, in dem nur ein Bildelement im lichtdurchlassenden Zustand abgebildet ist.
- Die Wiedergabe-Einrichtung 1 hat eine erste Stützplatte 2, in diesem Beispiel aus Quarz oder anderem UV-durchlassenden Material, und eine zweite Stützplatte 3 aus beispielsweise Glas. Auf der ersten Stützplatte 2 befindet sich eine feststehende Elektrode 4 mit einem Muster aus strahlungsdurchlässigen Öffnungen 5. Eine transparente Gegenelektrode 6 aus beispielsweise Indium-Zinn-Oxid befindet sich auf der zweiten Stützplatte 3. Eine Elektrode 7 ist zwischen den beiden Stützplatten 2, 3 frei beweglich. Diese Elektrode 7 hat strahlungsdurchlässige Öffnungen 8 und ist mittels elektrostatischer Kräfte zwischen den beiden Stützplatten beweglich, während beispielsweise federnde, nicht abgebildete Mittel vorhanden sind, um die beweglichen Elektrode mit elektrischen Spannungen zu versorgen und sie in eine Gleichgewichtslage zu bringen.
- Die Endlagen der beweglichen Elektrode sind von den Elektroden 4, 6 durch elektrisch isolierende, nicht abgebildete Schichten getrennt. Für eine ausführlichere Beschreibung der Arbeitsweise und Anordnung einer solchen Wiedergabe-Einrichtung sei auf die erwähnte US-Patentschrift 4.309.242 verwiesen.
- Im strahlungsdurchlassenden Zustand, wie in Fig. 1 gezeigt, müssen die Strahlungsbündel 9,10 bei Verwendung sichtbaren Lichtes sowohl die Öffnungen 5 als auch 8 in der festen Elektrode 4 bzw. der beweglichen Elektrode 7 durchqueren. Der Deutlichkeit halber sind Brechung und Reflexion bei der Zeichnung des Strahlenganges nicht berücksichtigt worden. Ohne spezielle Maßnahmen verlassen diese Strahlenbündel die Vorderfläche 11 der Wiedergabe-Einrichtung unter einem Winkel, der in Abhängigkeit von der Geometrie der Elektroden 4, 7 und dem Abstand zwischen den Stützplatten 2, 3 ungefähr zwischen 40º und 50º liegt. Folglich ist der Betrachtungswinkel einer solchen Wiedergabe-Einrichtung sehr begrenzt.
- Wie in der nicht vorveröffentlichten Patentanmeldung EP-A-272 760 der Anmelderin beschrieben, kann der letztgenannte Nachteil durch Verwendung von UV- Strahlung für die Strahlungsbündel 9, 10 und Bedecken der Oberfläche 11 mit einer Leuchtstoffschicht 12, die in der Schicht 12 erzeugtes Licht in alle Richtungen abstrahlt, erheblich verringert werden. Da in Farbbildwiedergabe-Einrichtungen keine Farbfilter mehr erforderlich sind, nimmt außerdem die Helligkeit zu. Mögliche Verluste infolge Rückstreuung des in der Leuchtstoffschicht 12 erzeugten Lichtes können weitgehend durch Verwendung eines Interferenzfilters 13 kompensiert werden. Wegen des relativ großen Abstandes zwischen der Leuchtstoffschicht 12 und der eigentlichen (zwischen den Elektroden 6 und 4 gelegenen) Schaltelemente bleiben gerichtete Strahlungsbündel 9, 10 jedoch erforderlich.
- In einer erfindungsgemaßen Einrichtung, wie in Fig. 2 abgebildet, ist die lumineszierende Schicht, in diesem Beispiel eine Leuchtstoffschicht 12 an der anderen Seite der Stützplatte 3 vorhanden. Die Gegenelektrode 6 liegt zwischen dieser Stützplatte 3 und der Leuchtstoffschicht 12. Bei der Zeichnung des Strahlenganges der UV-Strahlungsbündel 9, 10 ist Brechung der Strahlung berücksichtigt worden. Die Figur zeigt, daß innerhalb der Öffnung 8a nicht nur die Strahlenbündel 9a, 10a, die nahezu senkrecht einfallen, die Leuchtstoffschicht 12 treffen können, sondern auch die Strahlenbündel 9b, 10b, die unter einem Winkel α bezüglich der Normalen einfallen, und die Strahlenbündel mit dazwischen liegenden Einfallswinkeln.
- Die Geometrie der Elektroden und der Abstand der Stützplatten bestimmen den Winkel α und damit den Winkel β, unter dem das UV-Strahlenbündel 9, 10 auf die Grenzfläche zwischen dem Quarz und dem elektrooptischen Medium, in diesem Beispiel Luft, trifft. Sie können so gewählt werden, daß ß mindestens gleich dem sogenannten Grenzwinkel ist. In diesem Fall stammen die innerhalb der Öffnung 8a auf die Leuchtstoffschicht 12 einfallenden Strahlenbündel im wesentlichen nur aus den Öffnungen 5a in der feststehenden Elektrode 4. Bei einer etwas anderen Wahl sind auch Beiträge von Strahlung durch die Öffnungen 5b (Strahlenbündel 10c) möglich, aber diese sind beträchtlich kleiner, da die Bedingung für Totalreflexion an der Quarzglas/Licht-Fläche dann eher erfüllt ist.
- Aus dem Vorstehenden sollte deutlich geworden sein, daß UV-Strahlung unter Winkeln einfallen kann, die bis mindestens αº bezüglich der Normalen variieren, was die Möglichkeit bietet, eine diffuse UV-Lichtquelle zu verwenden. Letzteres ist vorteilhaft, weil diese in der Praxis einfacher hergestellt werden können und eine flache Form haben können, so daß die gesamte Dicke der Einrichtung verringert wird.
- Die von der UV-Quelle ausgesendete ultraviolette Strahlung bewirkt die Umwandlung in sichtbares Licht 14 in der Leuchtstoffschicht 12 (beispielsweise in die
- Primärfarben Rot, Grün und Blau), das von der zweiten Stützplatte 3 aus beispielsweise Glas unter einem großen Winkelbereich durchgelassen wird und das ein (Farb-)Bild bildet. Ein Teil dieses Lichtes geht jedoch verloren, weil das erzeugte Licht in alle Richtungen ausgesendet und von den Leuchtstoffen gestreut wird.
- Da erfindungsgemäß die bewegliche Elektrode an ihrer der Leuchtstoffschicht 12 zugewandten Seite reflektierend ist, wird ein Teil des rückgestreuten Lichtes (in diesem Beispiel mit Hilfe der Lichtbündel 16 dargestellt) von dieser Elektrode reflektiert, so daß er weiterhin zur Ausgangslichtleistung beiträgt. Lichtbündel, die in den Öffnungen 8 der beweglichen Elektrode in Richtung der feststehenden Elektrode gestreut werden, werden von diesen Elektroden reflektiert, da in dieser Ausführungsform die feststehenden Elektroden auch reflektierend sind. Auf diese Weise wird ein Teil des rückgestreuten Lichtes (in diesem Beispiel mit Hilfe von Lichtbündeln 16 dargestellt) zur Vorderfläche 11 der Wiedergabe-Einrichtung reflektiert. Im letzteren Fall muß das reflektierte Strahlenbündel nicht notwendigerweise über dieselbe Öffnung 8 zurückkehren, sondern kann alternativ durch in der Nähe gelegene Öffnungen 8 zurückkehren, sofern die beweglichen Elektroden an beiden Seiten reflektierend sind. In dem vorliegenden Beispiel wird dies mit Hilfe des Lichtbündels 17 veranschaulicht.
- Für die Wahl der Leuchtstoffe gibt es verschiedene Möglichkeiten. Bei Verwendung einer auf der 254-nm-Resonanzlinie von Hg beruhenden Strahlungsquelle ist die folgende Kombination äußerst günstig:
- - Ba Mg&sub2; Al&sub1;&sub6;O&sub2;&sub7;: Eu als blauer Leuchtstoff (maximale Emission bei 450 nm);
- - Ce Mg Al&sub1;&sub1;O&sub1;&sub9; : Tb als grüner Leuchtstoff (maximale Emission bei 545 nm);
- - Y&sub2;O&sub3; : Eu als roter Leuchtstoff (maximale Emission bei 612 nm).
- Die zugehörigen Emissionswellenlängen sind für die maximale Empfindlichkeit jedes der drei Farbrezeptoren des Auges ausreichend geeignet; dies bietet die Möglichkeit einer hervorragenden Farbwiedergabe. Bei Verwendung einer Strahlungsquelle mit hauptsächlich langwelliger UV-Strahlung, beispielsweise einer Hochdruck- Quecksilberlampe, sind z. B. ZnS:Ag (blau), (Zn, Cd)S:Cu,Al (grün) und Y&sub2;O&sub2;S:Eu (rot) sehr geeignete Materialien.
- Die beweglichen Elektroden können an einer der Stützplatten befestigt werden, beispielsweise mit federnden Elementen, die am äußeren Rand der beweglichen Elektroden angebracht sind. In diesem Fall sorgt die Federkraft dafür, daß die beweglichen Elektroden im Ruhezustand sich in einer derartigen Stellung befinden, daß die Einrichtung lichtdurchlässig ist. Alternativ ist es möglich, das Schalten vollständig elektrostatisch zu bewirken. In diesem Fall hat die Einrichtung eine schematisch dargestellte zusätzliche transparente Elektrode. Dies alles wird in EP-A-0230 081, veröffentlicht 29.7.87, näher beschrieben.
- In der vorstehenden Beschreibung ist angenommen worden, daß die Elektroden 4 feststehend und die Elektroden 7 beweglich sind. Es ist offensichtlich, daß entsprechende Vorteile, wie oben erwähnt, erhalten werden können, wenn die Elektroden 4 beweglich und die Elektroden 7 feststehend sind; in diesem Fall hat die erste Stützplatte 2 eine feste transparente Elektrode 18, während die Elektrode 6 wahlweise entfallen kann, je nach der Betriebsweise.
Claims (6)
1. Wiedergabe-Einrichtung mit einer ersten und einer zweiten
strahlungsdurchlässigen Stützplatte, einer Anzahl von Wiedergabe-Elementen, die jeweils
mindestens eine feststehende Elektrode und eine bezüglich dieser Elektrode mittels
elektrostatischer Kräfte bewegliche Elektrode haben, die zwei durch Anschlagflächen
bestimmte Endlagen hat, wobei die genannte Elektrode von der feststehenden Elektrode
mittels einer elektrisch isolierenden Schicht geschieden und mit einer Struktur von
strahlungsdurchlässigen Öffnungen versehen ist, wobei die Einrichtung im Bereich der
feststehenden Elektrode mit einer Struktur von nicht strahlungsdurchlässigen Flächen
versehen ist, welche Struktur im wesentlichen mit der Struktur der
strahlungsdurchlässigen Bereiche in der beweglichen Elektrode identisch ist, wobei das Wiedergabe-Element
nahezu keine Strahlung durchläßt, wenn die beiden Strukturen nahezu in einer einzigen
Ebene liegen, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung in Transmission betrieben
wird und die Stützplatte an der Betrachtungsseite auf ihrer den Elektroden zugewandten
Seite mit lumineszierendem Material versehen ist, und daß eine zur Aussendung von
Strahlung mit zur Anregung des lumineszierenden Materials genügend kleiner
Wellenlänge geeignete Strahlungsquelle verwendet wird, während mindestens eine der beiden
Elektroden an ihrer dem lumineszierenden Material zugewandten Seite für die von dem
genannten Material ausgesendete Strahlung reflektierend ist.
2. Wiedergabe-Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die beiden Elektroden auf der dem lumineszierenden Material zugewandten Seite für die
von dem lumineszierenden Material ausgesendete Strahlung reflektierend sind.
3. Wiedergabe-Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die andere Elektrode auf der dem lumineszierenden Material abgewandten Seite für die
von dem lumineszierenden Material ausgesendete Strahlung reflektierend ist.
4. Wiedergabe-Einrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Einrichtung eine Quelle diffuser Strahlung enthält.
5. Wiedergabe-Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle Strahlung bei einer zentralen
Wellenlänge
von 254 nm aussendet und daß eines oder mehr der folgenden Materialien für das
lumineszierende Material gewählt sind:
- Ba Mg&sub2; Al&sub1;&sub6;O&sub2;&sub7; : Eu als blauer Leuchtstoff;
- Ce Mg Al&sub1;&sub1;O&sub1;&sub9; : Tb als grüner Leuchtstoff;
- Y&sub2;O&sub3; : Eu als roter Leuchtstoff.
6. Wiedergabe-Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis
4, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle Strahlung bei einer Wellenlänge im
Bereich von 360 nm bis 380 nm aussendet.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL8701138A NL8701138A (nl) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | Electroscopische beeldweergeefinrichting. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3873975D1 DE3873975D1 (de) | 1992-10-01 |
DE3873975T2 true DE3873975T2 (de) | 1993-03-18 |
Family
ID=19850003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8888200880T Expired - Fee Related DE3873975T2 (de) | 1987-05-13 | 1988-05-04 | Elektroskopische anzeigevorrichtung. |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4965562A (de) |
EP (1) | EP0291122B1 (de) |
JP (1) | JP2601874B2 (de) |
KR (1) | KR880014348A (de) |
DE (1) | DE3873975T2 (de) |
NL (1) | NL8701138A (de) |
Families Citing this family (111)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5096520A (en) * | 1990-08-01 | 1992-03-17 | Faris Sades M | Method for producing high efficiency polarizing filters |
US6674562B1 (en) | 1994-05-05 | 2004-01-06 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US7297471B1 (en) | 2003-04-15 | 2007-11-20 | Idc, Llc | Method for manufacturing an array of interferometric modulators |
US7138984B1 (en) | 2001-06-05 | 2006-11-21 | Idc, Llc | Directly laminated touch sensitive screen |
US8014059B2 (en) | 1994-05-05 | 2011-09-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for charge control in a MEMS device |
US7550794B2 (en) | 2002-09-20 | 2009-06-23 | Idc, Llc | Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer |
US7123216B1 (en) | 1994-05-05 | 2006-10-17 | Idc, Llc | Photonic MEMS and structures |
US7776631B2 (en) | 1994-05-05 | 2010-08-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device and method of forming a MEMS device |
US7460291B2 (en) | 1994-05-05 | 2008-12-02 | Idc, Llc | Separable modulator |
US6680792B2 (en) * | 1994-05-05 | 2004-01-20 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US20010003487A1 (en) * | 1996-11-05 | 2001-06-14 | Mark W. Miles | Visible spectrum modulator arrays |
CH692682A5 (de) * | 1997-10-06 | 2002-09-13 | Enz Electronic Ag | Anzeigeeinrichtung. |
DE19756374B4 (de) * | 1997-12-18 | 2007-05-31 | Kolbus Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Vereinzeln von Buchdecken |
US7532377B2 (en) | 1998-04-08 | 2009-05-12 | Idc, Llc | Movable micro-electromechanical device |
WO1999052006A2 (en) | 1998-04-08 | 1999-10-14 | Etalon, Inc. | Interferometric modulation of radiation |
US8928967B2 (en) | 1998-04-08 | 2015-01-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light |
WO2003007049A1 (en) | 1999-10-05 | 2003-01-23 | Iridigm Display Corporation | Photonic mems and structures |
US6384953B1 (en) | 2000-06-29 | 2002-05-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Micro-dynamic optical device |
US6794119B2 (en) | 2002-02-12 | 2004-09-21 | Iridigm Display Corporation | Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device |
US6574033B1 (en) | 2002-02-27 | 2003-06-03 | Iridigm Display Corporation | Microelectromechanical systems device and method for fabricating same |
US7781850B2 (en) | 2002-09-20 | 2010-08-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device |
TW200413810A (en) | 2003-01-29 | 2004-08-01 | Prime View Int Co Ltd | Light interference display panel and its manufacturing method |
TW570896B (en) * | 2003-05-26 | 2004-01-11 | Prime View Int Co Ltd | A method for fabricating an interference display cell |
US7221495B2 (en) * | 2003-06-24 | 2007-05-22 | Idc Llc | Thin film precursor stack for MEMS manufacturing |
TWI231865B (en) | 2003-08-26 | 2005-05-01 | Prime View Int Co Ltd | An interference display cell and fabrication method thereof |
TW593126B (en) * | 2003-09-30 | 2004-06-21 | Prime View Int Co Ltd | A structure of a micro electro mechanical system and manufacturing the same |
US7161728B2 (en) | 2003-12-09 | 2007-01-09 | Idc, Llc | Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators |
US7119945B2 (en) * | 2004-03-03 | 2006-10-10 | Idc, Llc | Altering temporal response of microelectromechanical elements |
US7476327B2 (en) | 2004-05-04 | 2009-01-13 | Idc, Llc | Method of manufacture for microelectromechanical devices |
CA2575314A1 (en) | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Idc, Llc | System and method for micro-electromechanical operating of an interferometric modulator |
US7373026B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-05-13 | Idc, Llc | MEMS device fabricated on a pre-patterned substrate |
US7369296B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-05-06 | Idc, Llc | Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator |
US7564612B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-07-21 | Idc, Llc | Photonic MEMS and structures |
US7417783B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-08-26 | Idc, Llc | Mirror and mirror layer for optical modulator and method |
US7372613B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-05-13 | Idc, Llc | Method and device for multistate interferometric light modulation |
US7492502B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-02-17 | Idc, Llc | Method of fabricating a free-standing microstructure |
US7936497B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-05-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence |
US7349136B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-03-25 | Idc, Llc | Method and device for a display having transparent components integrated therein |
US7317568B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-01-08 | Idc, Llc | System and method of implementation of interferometric modulators for display mirrors |
US7527995B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of making prestructure for MEMS systems |
US7554714B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-06-30 | Idc, Llc | Device and method for manipulation of thermal response in a modulator |
US7405861B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-07-29 | Idc, Llc | Method and device for protecting interferometric modulators from electrostatic discharge |
US7920135B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-04-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for driving a bi-stable display |
US7893919B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-02-22 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Display region architectures |
US7630119B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-12-08 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Apparatus and method for reducing slippage between structures in an interferometric modulator |
US7289259B2 (en) | 2004-09-27 | 2007-10-30 | Idc, Llc | Conductive bus structure for interferometric modulator array |
US7719500B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-05-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays |
US7535466B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-05-19 | Idc, Llc | System with server based control of client device display features |
US20060176241A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-08-10 | Sampsell Jeffrey B | System and method of transmitting video data |
US8008736B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-08-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Analog interferometric modulator device |
US7161730B2 (en) * | 2004-09-27 | 2007-01-09 | Idc, Llc | System and method for providing thermal compensation for an interferometric modulator display |
US7369294B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-05-06 | Idc, Llc | Ornamental display device |
US7304784B2 (en) | 2004-09-27 | 2007-12-04 | Idc, Llc | Reflective display device having viewable display on both sides |
US7420725B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-09-02 | Idc, Llc | Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same |
US7583429B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-09-01 | Idc, Llc | Ornamental display device |
US7429334B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-09-30 | Idc, Llc | Methods of fabricating interferometric modulators by selectively removing a material |
US7553684B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-06-30 | Idc, Llc | Method of fabricating interferometric devices using lift-off processing techniques |
US7321456B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-01-22 | Idc, Llc | Method and device for corner interferometric modulation |
US7653371B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-01-26 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Selectable capacitance circuit |
US7684104B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-03-23 | Idc, Llc | MEMS using filler material and method |
US7586484B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-09-08 | Idc, Llc | Controller and driver features for bi-stable display |
US7327510B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-02-05 | Idc, Llc | Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator |
US7944599B2 (en) | 2004-09-27 | 2011-05-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function |
US7130104B2 (en) | 2004-09-27 | 2006-10-31 | Idc, Llc | Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator |
US7302157B2 (en) | 2004-09-27 | 2007-11-27 | Idc, Llc | System and method for multi-level brightness in interferometric modulation |
US7808703B2 (en) | 2004-09-27 | 2010-10-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method for implementation of interferometric modulator displays |
US7460246B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-12-02 | Idc, Llc | Method and system for sensing light using interferometric elements |
TW200628877A (en) | 2005-02-04 | 2006-08-16 | Prime View Int Co Ltd | Method of manufacturing optical interference type color display |
US7619610B2 (en) * | 2005-06-22 | 2009-11-17 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Display device and display method |
JP2009503564A (ja) | 2005-07-22 | 2009-01-29 | クアルコム,インコーポレイテッド | Memsデバイスのための支持構造、およびその方法 |
EP2495212A3 (de) | 2005-07-22 | 2012-10-31 | QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. | MEMS-Vorrichtungen mit Stützstrukturen und Herstellungsverfahren dafür |
WO2007014022A1 (en) | 2005-07-22 | 2007-02-01 | Qualcomm Incorporated | Mems devices having support structures and methods of fabricating the same |
CN101272982B (zh) | 2005-09-30 | 2012-03-21 | 高通Mems科技公司 | Mems装置及其互连 |
US7630114B2 (en) | 2005-10-28 | 2009-12-08 | Idc, Llc | Diffusion barrier layer for MEMS devices |
US7795061B2 (en) | 2005-12-29 | 2010-09-14 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process |
US7916980B2 (en) | 2006-01-13 | 2011-03-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interconnect structure for MEMS device |
US7382515B2 (en) | 2006-01-18 | 2008-06-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Silicon-rich silicon nitrides as etch stops in MEMS manufacture |
US7652814B2 (en) | 2006-01-27 | 2010-01-26 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device with integrated optical element |
US7582952B2 (en) | 2006-02-21 | 2009-09-01 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method for providing and removing discharging interconnect for chip-on-glass output leads and structures thereof |
US7547568B2 (en) | 2006-02-22 | 2009-06-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electrical conditioning of MEMS device and insulating layer thereof |
US7550810B2 (en) | 2006-02-23 | 2009-06-23 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device having a layer movable at asymmetric rates |
US7450295B2 (en) | 2006-03-02 | 2008-11-11 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for producing MEMS with protective coatings using multi-component sacrificial layers |
US7643203B2 (en) * | 2006-04-10 | 2010-01-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric optical display system with broadband characteristics |
US7903047B2 (en) | 2006-04-17 | 2011-03-08 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Mode indicator for interferometric modulator displays |
US7417784B2 (en) * | 2006-04-19 | 2008-08-26 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical device and method utilizing a porous surface |
US7527996B2 (en) | 2006-04-19 | 2009-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems |
US7711239B2 (en) * | 2006-04-19 | 2010-05-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles |
US7623287B2 (en) | 2006-04-19 | 2009-11-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems |
US7369292B2 (en) | 2006-05-03 | 2008-05-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electrode and interconnect materials for MEMS devices |
US7649671B2 (en) | 2006-06-01 | 2010-01-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release |
US7321457B2 (en) * | 2006-06-01 | 2008-01-22 | Qualcomm Incorporated | Process and structure for fabrication of MEMS device having isolated edge posts |
US7405863B2 (en) | 2006-06-01 | 2008-07-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Patterning of mechanical layer in MEMS to reduce stresses at supports |
US7471442B2 (en) | 2006-06-15 | 2008-12-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and apparatus for low range bit depth enhancements for MEMS display architectures |
US7835061B2 (en) | 2006-06-28 | 2010-11-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Support structures for free-standing electromechanical devices |
US7385744B2 (en) | 2006-06-28 | 2008-06-10 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Support structure for free-standing MEMS device and methods for forming the same |
US7527998B2 (en) | 2006-06-30 | 2009-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control |
US7763546B2 (en) | 2006-08-02 | 2010-07-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices |
US7566664B2 (en) | 2006-08-02 | 2009-07-28 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Selective etching of MEMS using gaseous halides and reactive co-etchants |
US7545552B2 (en) | 2006-10-19 | 2009-06-09 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Sacrificial spacer process and resultant structure for MEMS support structure |
US7706042B2 (en) | 2006-12-20 | 2010-04-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device and interconnects for same |
US7535621B2 (en) | 2006-12-27 | 2009-05-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Aluminum fluoride films for microelectromechanical system applications |
US7733552B2 (en) | 2007-03-21 | 2010-06-08 | Qualcomm Mems Technologies, Inc | MEMS cavity-coating layers and methods |
US7719752B2 (en) | 2007-05-11 | 2010-05-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same |
US7625825B2 (en) | 2007-06-14 | 2009-12-01 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of patterning mechanical layer for MEMS structures |
US8068268B2 (en) | 2007-07-03 | 2011-11-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS devices having improved uniformity and methods for making them |
US7570415B2 (en) | 2007-08-07 | 2009-08-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device and interconnects for same |
US7863079B2 (en) | 2008-02-05 | 2011-01-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods of reducing CD loss in a microelectromechanical device |
CN102834761A (zh) | 2010-04-09 | 2012-12-19 | 高通Mems科技公司 | 机电装置的机械层及其形成方法 |
US9134527B2 (en) | 2011-04-04 | 2015-09-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Pixel via and methods of forming the same |
US8963159B2 (en) | 2011-04-04 | 2015-02-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Pixel via and methods of forming the same |
US8659816B2 (en) | 2011-04-25 | 2014-02-25 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Mechanical layer and methods of making the same |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7510103A (nl) * | 1975-08-27 | 1977-03-01 | Philips Nv | Elektrostatisch bestuurde beeldweergeefinrichting. |
JPS5927787B2 (ja) * | 1977-04-13 | 1984-07-07 | 株式会社東芝 | 紫外線励起形螢光体 |
DE3047495A1 (de) * | 1980-12-17 | 1982-07-15 | SWF-Spezialfabrik für Autozubehör Gustav Rau GmbH, 7120 Bietigheim-Bissingen | Anzeigetafel zur darstellung einer sich aendernden information |
US4420896A (en) * | 1981-09-17 | 1983-12-20 | General Electric Company | Method for fabrication of electroscopic display devices and transmissive display devices fabricated thereby |
US4420897A (en) * | 1982-03-18 | 1983-12-20 | General Electric Company | Electroscopic display devices |
US4520357A (en) * | 1982-07-23 | 1985-05-28 | General Electric Company | Electroscopic information display and entry system with writing stylus |
US4678285A (en) * | 1984-01-13 | 1987-07-07 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid crystal color display device |
NL8402038A (nl) * | 1984-06-28 | 1986-01-16 | Philips Nv | Elektroskopische beeldweergeefinrichting. |
NL8402201A (nl) * | 1984-07-12 | 1986-02-03 | Philips Nv | Passieve weergeefinrichting. |
NL8402937A (nl) * | 1984-09-27 | 1986-04-16 | Philips Nv | Elektroskopische beeldweergeefinrichting. |
NL8403077A (nl) * | 1984-10-10 | 1986-05-01 | Philips Nv | Elektroskopische vloeistof beeldweergeefinrichting geschikt voor televisie. |
NL8403536A (nl) * | 1984-11-21 | 1986-06-16 | Philips Nv | Passieve weergeefinrichting. |
US4772885A (en) * | 1984-11-22 | 1988-09-20 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid crystal color display device |
NL8600697A (nl) * | 1986-01-09 | 1987-08-03 | Philips Nv | Beeldweergeefinrichting en een methode voor de vervaardiging ervan. |
US4822144A (en) * | 1986-12-24 | 1989-04-18 | U.S. Philips Corporation | Electro-optic color display including luminescent layer and interference filter |
-
1987
- 1987-05-13 NL NL8701138A patent/NL8701138A/nl not_active Application Discontinuation
-
1988
- 1988-05-04 DE DE8888200880T patent/DE3873975T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-04 EP EP88200880A patent/EP0291122B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-05-06 US US07/191,297 patent/US4965562A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-10 JP JP63111715A patent/JP2601874B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1988-05-12 KR KR1019880005500A patent/KR880014348A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2601874B2 (ja) | 1997-04-16 |
JPS63316014A (ja) | 1988-12-23 |
EP0291122A1 (de) | 1988-11-17 |
KR880014348A (ko) | 1988-12-23 |
US4965562A (en) | 1990-10-23 |
EP0291122B1 (de) | 1992-08-26 |
NL8701138A (nl) | 1988-12-01 |
DE3873975D1 (de) | 1992-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3873975T2 (de) | Elektroskopische anzeigevorrichtung. | |
DE3784660T2 (de) | Anzeigevorrichtung. | |
DE19904372C2 (de) | Bilddarstellungssystem | |
DE3788274T2 (de) | Projektionseinrichtung und die entsprechende Wiedergabeeinrichtung. | |
DE69212591T2 (de) | Projektionsschirm fuer bilder | |
DE69022048T2 (de) | Absorptionsfilter für farbanzeigeanordnungen. | |
DE2745101C3 (de) | Gasentladungs-Anzeigevorrichtung | |
WO2011131446A1 (de) | Flächenlichtleiter und flächenstrahler | |
DE60026278T2 (de) | Anzeigevorrichtung und herstellungsverfahren | |
DE4211047A1 (de) | Von hinten einfallendes licht erzeugende vorrichtung einer fluessigkristallanzeige | |
DE69014098T2 (de) | Strahlungsaussendende paneele und anzeigeanordnungen. | |
EP1051582A1 (de) | Beleuchtungsanordnung | |
DE2554226C3 (de) | Strahlungskollektor und -verdichter in Form einer fluoreszierenden Kunststoffplatte | |
DE2137327A1 (de) | Filter zur Kontrasterhohung bei Sichtanzeigegeraten | |
DE2654512A1 (de) | Katadioptrisch gekoppeltes farbfernsehprojektionssystem | |
DE69301131T2 (de) | Plasma-Anzeige-Tafel mit gering streuendem Bildschirm | |
DE68914788T2 (de) | Farbige Flüssigkristallanzeigevorrichtung. | |
DE4105547A1 (de) | Flache, beleuchtete warn- oder anzeigeeinrichtung | |
DE3022422A1 (de) | Fernsehkameraroehre | |
DE602004001633T2 (de) | Lichtleiterplatte, Beleuchtungsvorrichtung und Flüssigkristallanzeige | |
DE2119199C3 (de) | Leuchtstofflampe mit Fenster | |
DE1903632C3 (de) | Bildschirm für eine Dunkelschriftröhre | |
DE1487779B2 (de) | Bildwiedergabevorrichtung | |
EP0237707A2 (de) | Anzeigevorrichtung | |
DE69908677T2 (de) | Lumineszierende Gasentladungs-Anzeigetafel |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |