DE522603T1 - Pumpstufe fuer turbomolekularpumpe. - Google Patents

Pumpstufe fuer turbomolekularpumpe.

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DE522603T1
DE522603T1 DE199292200472T DE92200472T DE522603T1 DE 522603 T1 DE522603 T1 DE 522603T1 DE 199292200472 T DE199292200472 T DE 199292200472T DE 92200472 T DE92200472 T DE 92200472T DE 522603 T1 DE522603 T1 DE 522603T1
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Germany
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disk
stator disk
pump stage
pump
turbomolecular pumps
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DE199292200472T
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English (en)
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Giampaolo I-10125 Turin Levi
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Varian SpA
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Varian SpA
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/56—Fluid-guiding means, e.g. diffusers adjustable
    • F04D29/563—Fluid-guiding means, e.g. diffusers adjustable specially adapted for elastic fluid pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)

Claims (9)

ANSPRÜCHE
1. Pumpenstufe für Turbomolekularpumpen mit einer Rotorscheibe und einer Statorscheibe, die mit dem Pumpenkörper ein zusammenhängendes Stück bildet und eine Zentralbohrung aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Statorscheibe eine Scheibe mit im wesentlichen glatter Oberfläche ist, wobei die genannte Oberfläche in der Lage ist, während des Entleerungszyklus eine schaufelartige Konfiguration durch Anheben ihrer radialen Abschnitte anzunehmen, wobei das genannte Anheben radialer Abschnitte durch zumindest einen Betätigungsmechanismus gesteuert ist.
2. Pumpenstufe für Turbomolekularpumpen mit einer Rotorscheibe und einer Statorscheibe, dadurch gekennzeichnet, daß die Statorscheibe ein kreisrunder Kranz ist, dessen Oberfläche im wesentlichen glatt ist, der mit der inneren Oberfläche des Pumpenkörpers einstückig in Verbindung ist.
3. Pumpenstufe für Turbomolekularpumpen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die schaufelartige Konfiguration der Statorscheibe durch Anheben radialer Schaufeln verwirklicht ist, die am oberen Rand desjenigen Teils der Statorscheibe angelenkt sind, der mit der inneren Oberfläche des Pumpenkörpers einstückig in Verbindung ist.
4. Pumpenstufe für Turbomolekularpumpen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die schaufelartige Konfiguration der Statorscheibe durch Verdrehen radialer Schaufeln verwirklicht ist, die im inneren Rand desjenigen Teils der Statorscheibe drehbar gelagert sind, der mit der inneren Oberfläche des Pumpenkörpers einstückig in Verbindung ist.
5. Pumpenstufe für Turbomolekularpumpen nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die radialen Blätter durch Verbindungsmittel miteinander verbunden sind, die an dem Schaufelrand drehbar gelagert sind, wobei die genannten
Verbindungsmittel geeignet sind, die Blätter in der gleichen Offen- oder Schließstellung zu halten.
6. Pumpenstufe für Turbomolekularpumpen nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehung der radialen Schaufeln durch eine Vorrichtung bewirkt wird, die zumindest einen Pantographenmechanismus aufweist, der durch eine Stange betätigt ist, die relativ zur Rotationsebene der Rotorscheibe vertikal verschiebbar ist, gesteuert mittels einer Betätigungsvorrichtung.
7. Pumpenstufe für Turbomolekularpumpen nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Statorscheibe in der Anfangskonfiguration des Entleerungszyklus als eine ebene Scheibe geformt ist.
8. Pumpenstufe für Molekularpumpen nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Statorscheibe in der Anfangskonfiguration des Entleerungszyklus als Kegelstumpf geformt ist.
9. Pumpenstufe für Turbomolekularpumpen nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Pantographenmechanismus durch eine vertikale Stange betätigt ist, die durch die Oberfläche des Statorscheibenkranzes verläuft, betätigt mittels einer elektromechanischen Vorrichtung, welch genannte Vorrichtung mittels eines von einem Drucksensor innerhalb des Pumpenkörpers stammenden Signals betätigt ist, das mittels einer elektronischen Steuervorrichtung gemittelt ist.
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