DE50014031D1 - Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten ElektronenspektroskopieInfo
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- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE50014031T DE50014031D1 (de) | 1999-06-25 | 2000-05-26 | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19929185A DE19929185A1 (de) | 1999-06-25 | 1999-06-25 | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie |
DE50014031T DE50014031D1 (de) | 1999-06-25 | 2000-05-26 | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE50014031D1 true DE50014031D1 (de) | 2007-03-22 |
Family
ID=7912545
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19929185A Ceased DE19929185A1 (de) | 1999-06-25 | 1999-06-25 | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie |
DE50014031T Expired - Lifetime DE50014031D1 (de) | 1999-06-25 | 2000-05-26 | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19929185A Ceased DE19929185A1 (de) | 1999-06-25 | 1999-06-25 | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6492644B1 (de) |
EP (1) | EP1063676B1 (de) |
JP (1) | JP4620221B2 (de) |
DE (2) | DE19929185A1 (de) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE60204690T2 (de) * | 2002-09-18 | 2006-05-18 | Staib Instrumente Gmbh | Elektronenbeugungsvorrichtung zur Anwendung in einer Produktionsumgebung und für Hochdruck-Abscheidungsverfahren |
DE10318562A1 (de) * | 2003-04-24 | 2004-11-11 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Anordnung zur Inspektion von Objekten, insbesondere von Masken in der Mikrolithographie |
DE10318560A1 (de) | 2003-04-24 | 2004-11-11 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Anordnung zur Inspektion von Objekten, insbesondere von Masken in der Mikrolithographie |
US7163101B2 (en) * | 2003-10-30 | 2007-01-16 | William Anthony Harper | Flexible liquid packet with rigid insert |
JP4900389B2 (ja) * | 2006-07-26 | 2012-03-21 | 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学 | 球面収差補正減速型レンズ、球面収差補正レンズシステム、電子分光装置および光電子顕微鏡 |
CN1995996B (zh) * | 2006-12-27 | 2011-04-20 | 中国科学院物理研究所 | 一种准连续或连续激光角分辨光电子能谱分析装置 |
GB0700754D0 (en) * | 2007-01-15 | 2007-02-21 | Oxford Instr Analytical Ltd | Charged particle analyser and method |
JP5222712B2 (ja) * | 2008-12-22 | 2013-06-26 | 株式会社日立製作所 | 電子スピン検出器並びにそれを用いたスピン偏極走査電子顕微鏡及びスピン分解光電子分光装置 |
WO2014185074A1 (en) * | 2013-05-15 | 2014-11-20 | Okinawa Institute Of Science And Technology School Corporation | Leed for sem |
DE102015210893B4 (de) | 2015-06-15 | 2019-05-09 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Analyseeinrichtung zur Analyse der Energie geladener Teilchen und Teilchenstrahlgerät mit einer Analyseeinrichtung |
JP6757036B2 (ja) * | 2015-07-15 | 2020-09-16 | 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学 | 静電レンズ、並びに、該レンズとコリメータを用いた平行ビーム発生装置及び平行ビーム収束装置 |
CN107247847B (zh) * | 2017-06-14 | 2018-12-25 | 中科超精(安徽)科技有限公司 | 一种基于舍选抽样的电子多次散射角抽样方法 |
US10424458B2 (en) | 2017-08-21 | 2019-09-24 | Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce | Electron reflectometer and process for performing shape metrology |
DE102017130072B4 (de) | 2017-12-15 | 2021-05-20 | Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. | Impulsauflösendes Photoelektronenspektrometer und Verfahren zur impulsauflösenden Photoelektronenspektroskopie |
EP3792950A4 (de) * | 2018-05-09 | 2022-01-26 | National University corporation Nara Institute of Science and Technology | Elektrostatische linse mit veränderlichem untersetzungsverhältnis zur korrektur von sphärischer aberration, weitwinkelenergieanalysator und zweidimensionales elektronenspektrometer |
JP7059402B2 (ja) * | 2019-01-11 | 2022-04-25 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置及びその制御方法 |
DE102019107327A1 (de) | 2019-03-21 | 2020-09-24 | Specs Surface Nano Analysis Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Elektronentransfer von einer Probe zu einem Energieanalysator und Elektronen-Spektrometervorrichtung |
JP7030089B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2022-03-04 | 日本電子株式会社 | インプットレンズおよび電子分光装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2331091C3 (de) * | 1973-06-19 | 1980-03-20 | Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln | Einrichtung zur Bestimmung der Energie geladener Teilchen |
DE2826604A1 (de) * | 1978-06-19 | 1980-01-24 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Einrichtung zur bestimmung der energie geladener teilchen |
JPS5875754A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-07 | Shimadzu Corp | 荷電粒子エネルギ−分析装置 |
JPS5878361A (ja) * | 1981-10-31 | 1983-05-11 | Shimadzu Corp | 荷電粒子エネルギ−分析装置 |
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DE19701192C2 (de) * | 1997-01-15 | 2000-10-05 | Staib Instr Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Betrieb eines Spektrometers mit Energie- und Winkelauflösung |
-
1999
- 1999-06-25 DE DE19929185A patent/DE19929185A1/de not_active Ceased
-
2000
- 2000-05-26 EP EP00111394A patent/EP1063676B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-05-26 DE DE50014031T patent/DE50014031D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-20 JP JP2000183932A patent/JP4620221B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-21 US US09/598,612 patent/US6492644B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1063676A3 (de) | 2005-06-15 |
DE19929185A1 (de) | 2001-01-04 |
JP4620221B2 (ja) | 2011-01-26 |
JP2001035434A (ja) | 2001-02-09 |
US6492644B1 (en) | 2002-12-10 |
EP1063676A2 (de) | 2000-12-27 |
EP1063676B1 (de) | 2007-02-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition |