JPS5875754A - 荷電粒子エネルギ−分析装置 - Google Patents
荷電粒子エネルギ−分析装置Info
- Publication number
- JPS5875754A JPS5875754A JP56175077A JP17507781A JPS5875754A JP S5875754 A JPS5875754 A JP S5875754A JP 56175077 A JP56175077 A JP 56175077A JP 17507781 A JP17507781 A JP 17507781A JP S5875754 A JPS5875754 A JP S5875754A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- low
- pass filter
- charged particles
- charged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
- H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
- H01J49/488—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter with retarding grids
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
光電子分光その他種々な電子分光分析等において、試料
から放出される電子或はイオンの運動のエネルギーの試
料面に対す不角度依存性を調べて、試料表面における吸
着とか結晶の配向を調べる方法がある。本発明はこの種
の荷電粒子エネルギー分析に適した装置に関するもので
ある。
から放出される電子或はイオンの運動のエネルギーの試
料面に対す不角度依存性を調べて、試料表面における吸
着とか結晶の配向を調べる方法がある。本発明はこの種
の荷電粒子エネルギー分析に適した装置に関するもので
ある。
従来、種々な励起線で照射された試料から放出される荷
電粒子の角度依存性を調べるには、エネルギー分析装置
よの荷電粒子入射方向に対して試料の傾きを変えるとか
、逆に試料を固定しておいてエネルギー分析装置の方を
回転させると云った方法が用いられていた。このような
従来例では試料の傾きを変える例では試料の励起線照射
面積が変って見かけ放射荷電粒子数が変化し、エネルギ
ー分析装置を回転させる例では装置が大型化し複雑なも
のとなる。また何れの方法においても経時的に傾を変え
て測定しなければならないから測定に時間がか＼ると云
う欠点がある。
電粒子の角度依存性を調べるには、エネルギー分析装置
よの荷電粒子入射方向に対して試料の傾きを変えるとか
、逆に試料を固定しておいてエネルギー分析装置の方を
回転させると云った方法が用いられていた。このような
従来例では試料の傾きを変える例では試料の励起線照射
面積が変って見かけ放射荷電粒子数が変化し、エネルギ
ー分析装置を回転させる例では装置が大型化し複雑なも
のとなる。また何れの方法においても経時的に傾を変え
て測定しなければならないから測定に時間がか＼ると云
う欠点がある。
上述したような現況に鑑み本発明は試料もエネルギー分
析装置も共に動がすことなく、しかも各角度で放出され
る荷電粒子を角度別に同時的に検出できるような荷電粒
子エネルギー分析装置を提供することを目的としてなさ
れた。本発明は荷電粒子エネルギー分析装置において、
ローパスフィルタは荷電粒子線に対して反射鏡として作
用することを利用して、ローパスフィルタを動物面状に
し、試料をその焦点付近に設置することにより試料から
広い立体角範囲内に放射される荷電粒子を平行或は略平
行に反射させて検出面に入射させるようにした荷電粒子
エネルギー分析装置を提供する。以下実施例によって本
発明を説明する。
析装置も共に動がすことなく、しかも各角度で放出され
る荷電粒子を角度別に同時的に検出できるような荷電粒
子エネルギー分析装置を提供することを目的としてなさ
れた。本発明は荷電粒子エネルギー分析装置において、
ローパスフィルタは荷電粒子線に対して反射鏡として作
用することを利用して、ローパスフィルタを動物面状に
し、試料をその焦点付近に設置することにより試料から
広い立体角範囲内に放射される荷電粒子を平行或は略平
行に反射させて検出面に入射させるようにした荷電粒子
エネルギー分析装置を提供する。以下実施例によって本
発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す。１は導体よりなる回
転動物面、２はその前面に平行に張設されたグリッドで
グリッド２に対して回転動物面１が分析しようとする荷
電粒子と同じ極性にバイアスされていて、１と２によっ
てローパスフィルタを構成している。Ｓは試料で回転動
物面１の焦点位置に設置される。回、転動物面１の中央
に励起線入射孔３が設けられておシ、この孔を通してＸ
線、イオン線、電子線、紫外線等の励起線が試料Ｓに入
射せしめられる。試料Ｓはアース電位に保持され、試料
Ｓを中心とする球面グリッド４及び遮蔽箱５によって周
囲の空間から静電的に遮蔽されている。６．’７．８は
平面グリッドで動物面１の中央と試料Ｓを結ぶ装置光軸
と直交゛しており、グリノ）”＋７によってバイパスフ
ィルタを構成している。バイパスフィルタではグリッド
６に対してグリッド７が分析しようとする荷電粒子と同
じ及び鏡胴９は同電位になっている。グリッド８はグリ
ッド７を通過した荷電粒子を加速するようにバイアスさ
れている。１ｏは荷電粒子検出器で例えば螢光スクリー
ンが用いられる。螢光スクリーン１０の後には写真乾板
或はチャンネルプレートのような２次元検出器、イメー
ジインテンシファ等を配置して螢光像を記録し或は可視
化する。
転動物面、２はその前面に平行に張設されたグリッドで
グリッド２に対して回転動物面１が分析しようとする荷
電粒子と同じ極性にバイアスされていて、１と２によっ
てローパスフィルタを構成している。Ｓは試料で回転動
物面１の焦点位置に設置される。回、転動物面１の中央
に励起線入射孔３が設けられておシ、この孔を通してＸ
線、イオン線、電子線、紫外線等の励起線が試料Ｓに入
射せしめられる。試料Ｓはアース電位に保持され、試料
Ｓを中心とする球面グリッド４及び遮蔽箱５によって周
囲の空間から静電的に遮蔽されている。６．’７．８は
平面グリッドで動物面１の中央と試料Ｓを結ぶ装置光軸
と直交゛しており、グリノ）”＋７によってバイパスフ
ィルタを構成している。バイパスフィルタではグリッド
６に対してグリッド７が分析しようとする荷電粒子と同
じ及び鏡胴９は同電位になっている。グリッド８はグリ
ッド７を通過した荷電粒子を加速するようにバイアスさ
れている。１ｏは荷電粒子検出器で例えば螢光スクリー
ンが用いられる。螢光スクリーン１０の後には写真乾板
或はチャンネルプレートのような２次元検出器、イメー
ジインテンシファ等を配置して螢光像を記録し或は可視
化する。
が形成されているから、成る速度よシ低い即毛低エネル
ギーの荷電粒子は上記電界中で反射される。
ギーの荷電粒子は上記電界中で反射される。
ローパスフィルタは動物面状で荷電粒子の発生源の試料
Ｓがその焦点にあるから、反射された低エネルギーの粒
子は平行線束になっている。この平行線束はグリッド６
．７によって構成されているバイパスフィルタに垂直に
入射する。バイパスフィルタにおいても分析はようとす
る荷電粒子を減速する方向に電界が廖成嬶れてぃ不ので
、入射した荷電粒子のうち成るエネルギーより低エネル
ギーのものはバイパスフィルタを通過できず反射される
。このようにして成るせまいエネルギー範囲の荷電粒子
だけがバイパスフィルタを通過する。
Ｓがその焦点にあるから、反射された低エネルギーの粒
子は平行線束になっている。この平行線束はグリッド６
．７によって構成されているバイパスフィルタに垂直に
入射する。バイパスフィルタにおいても分析はようとす
る荷電粒子を減速する方向に電界が廖成嬶れてぃ不ので
、入射した荷電粒子のうち成るエネルギーより低エネル
ギーのものはバイパスフィルタを通過できず反射される
。このようにして成るせまいエネルギー範囲の荷電粒子
だけがバイパスフィルタを通過する。
バイパスフィルタを通過した粒子はきわめて低い速度に
なっているからグリッド８で加速して螢光スクリーン１
０に入射させる。
なっているからグリッド８で加速して螢光スクリーン１
０に入射させる。
試料Ｓから試料面法線に対し角θの方向に放射された荷
電粒子はローパスフィルタで反射されると平行になって
半径ｒの円筒に沿って進行するので螢光スクリーン１０
を半径ｒの円周に沿って発光させる。そこで試料Ｓから
放射される成るエネルギーの荷電粒子の密度が角θの関
数であるときは螢光スクリーン１０には第２図に示すよ
うに同心円的な濃度分布を持ったパターンが生じ、この
パターンから角θの関数が求められる。
電粒子はローパスフィルタで反射されると平行になって
半径ｒの円筒に沿って進行するので螢光スクリーン１０
を半径ｒの円周に沿って発光させる。そこで試料Ｓから
放射される成るエネルギーの荷電粒子の密度が角θの関
数であるときは螢光スクリーン１０には第２図に示すよ
うに同心円的な濃度分布を持ったパターンが生じ、この
パターンから角θの関数が求められる。
本発明荷電粒子エネルギー分析装置は上述したような構
成で、試料から放射される任意エネルギーの荷電粒子の
角度分布が１同心円状濃度分布として同時的に検出でき
るので角度走査をする場合に比し短時間に８／／、Ｎ比
良く分析を行う、ことができ、試料の傾きを変えないか
ら励起面積が変化せず、可動部がないから装置は小型簡
単であり、粒子の角度分布が同心円的濃度分布として検
出されるので、同心円的パターンの形状の乱れから試料
表面の結晶、配向の不均一さ等に関する情報も得られる
等の効果を有する。
成で、試料から放射される任意エネルギーの荷電粒子の
角度分布が１同心円状濃度分布として同時的に検出でき
るので角度走査をする場合に比し短時間に８／／、Ｎ比
良く分析を行う、ことができ、試料の傾きを変えないか
ら励起面積が変化せず、可動部がないから装置は小型簡
単であり、粒子の角度分布が同心円的濃度分布として検
出されるので、同心円的パターンの形状の乱れから試料
表面の結晶、配向の不均一さ等に関する情報も得られる
等の効果を有する。
なお上記実施例ではローパスフィルタは動物面で試料は
その焦点に置かれるが、余り広い角範囲の測定が必要で
ない場合はローパスフィルタは球面で試料をその曲率半
径の２等分位置に置いた構成で上述実施例の構成に近似
させることができる。
その焦点に置かれるが、余り広い角範囲の測定が必要で
ない場合はローパスフィルタは球面で試料をその曲率半
径の２等分位置に置いた構成で上述実施例の構成に近似
させることができる。
また何れの場合にしても試料は必ずしも焦点位置に置く
必要はなく、若干その位置からずらしてもよく、それに
よって拡大パターン或は縮小パターンを得ることができ
る。
必要はなく、若干その位置からずらしてもよく、それに
よって拡大パターン或は縮小パターンを得ることができ
る。
第１図は本発明の一実施例装置の縦断側面図、第２図は
上記装置によって得られるパターンの平面図である。 １・・・動物面、２・・・グリッド、３・・・励起線入
射孔、Ｓ・・・試料、６． ７． ８・・・平面グリッ
ド、ｌｏ・・・検出器。 代理人 弁理士 蒜 浩 介 第２図
上記装置によって得られるパターンの平面図である。 １・・・動物面、２・・・グリッド、３・・・励起線入
射孔、Ｓ・・・試料、６． ７． ８・・・平面グリッ
ド、ｌｏ・・・検出器。 代理人 弁理士 蒜 浩 介 第２図
Claims (1)
- 成る値より低いエネルギーの荷電粒子を反射するローパ
スフィルタと成る値より高いエネルギーの荷電粒子を透
過させるノ・イパスフィルタとよりなシ、ローパスフィ
ルタが回転動物面状をなし、試料がその焦点位置付近に
設置されるようになっていることを特徴とする荷電粒子
エネルギー分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56175077A JPS5875754A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 荷電粒子エネルギ−分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56175077A JPS5875754A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 荷電粒子エネルギ−分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5875754A true JPS5875754A (ja) | 1983-05-07 |
| JPH0114666B2 JPH0114666B2 (ja) | 1989-03-13 |
Family
ID=15989827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56175077A Granted JPS5875754A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 荷電粒子エネルギ−分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5875754A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01501583A (ja) * | 1986-10-15 | 1989-06-01 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | イオン化されたクラスタビームの質量分離装置 |
| EP0854495A1 (de) * | 1997-01-15 | 1998-07-22 | Staib Instrumente GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum betrieb eines Spektrometers mit Energie- und Winkel-auflösung |
| EP1063676A2 (de) * | 1999-06-25 | 2000-12-27 | Staib Instrumente GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie |
| JP2001210270A (ja) * | 2000-01-25 | 2001-08-03 | Ulvac Japan Ltd | 高周波電力印加電極に入射する高速中性粒子のエネルギーの分析方法及び分析装置 |
| WO2008114684A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | National University Corporation NARA Institute of Science and Technology | エネルギー分析器、２次元表示型エネルギー分析器および光電子顕微鏡 |
-
1981
- 1981-10-30 JP JP56175077A patent/JPS5875754A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01501583A (ja) * | 1986-10-15 | 1989-06-01 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | イオン化されたクラスタビームの質量分離装置 |
| EP0854495A1 (de) * | 1997-01-15 | 1998-07-22 | Staib Instrumente GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum betrieb eines Spektrometers mit Energie- und Winkel-auflösung |
| US6198095B1 (en) | 1997-01-15 | 2001-03-06 | Staib Instruments Gmbh | Apparatus and method for imaging a particle beam |
| EP1063676A2 (de) * | 1999-06-25 | 2000-12-27 | Staib Instrumente GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie |
| EP1063676A3 (de) * | 1999-06-25 | 2005-06-15 | Staib Instrumente GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur energie- und winkelaufgelösten Elektronenspektroskopie |
| JP2001210270A (ja) * | 2000-01-25 | 2001-08-03 | Ulvac Japan Ltd | 高周波電力印加電極に入射する高速中性粒子のエネルギーの分析方法及び分析装置 |
| WO2008114684A1 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | National University Corporation NARA Institute of Science and Technology | エネルギー分析器、２次元表示型エネルギー分析器および光電子顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0114666B2 (ja) | 1989-03-13 |
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