DE456772C - Verfahren zum gleichmaessigen UEberziehen von Gegenstaenden mit Metallen im Vakuum durch Elektrodenzerstaeubung - Google Patents

Verfahren zum gleichmaessigen UEberziehen von Gegenstaenden mit Metallen im Vakuum durch Elektrodenzerstaeubung

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DE456772C
DE456772C DEP54024D DEP0054024D DE456772C DE 456772 C DE456772 C DE 456772C DE P54024 D DEP54024 D DE P54024D DE P0054024 D DEP0054024 D DE P0054024D DE 456772 C DE456772 C DE 456772C
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/541Heating or cooling of the substrates

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Description

Ist die zu metallisierende Ware, welche ge- > maß Patent 453 387 in innigem Kontakt über | eine im Vakuumgefäß angebrachte Kühlanlagt: j geführt wird, nicht so grob oder so breit, daß | sie die Kühlfläche vollkommen deckt, so scheidet sich auch zerstäubtes Metall auf der Kühlunterlage ab, und da die Kühlunterlage zweckmäßig starr mit dem Vakuumgefäß ver- i bunden ist, wäre die Wiedergewinnung des ' oft sehr kostbaren, auf die Kühlunterlage un- ; beabsichtigt aufgestäubten Metalls ohne Zerstörung des Vakuumgefäßes nicht möglich. Hat man ferner lange Stücke, wie Stoffgewebe, ; Papierbänder u. dgl., zu metallisieren, die man : durch ein solches Vakuumgefäß in gleichmäßigem Tempo hindurchzieht, so könnte leicht eine, unliebsame Störung des Metallisierungsvorganges dadurch eintreten, daß besonders weiche, leicht verschiebbare Störte, wie z. B. feinere Spitzengewebe u. dgl., in Falten gezogen werden, so daß sich einzelne Teile des Gewebes überdecken und an solchen Stellen fehlerhafte Metallisierungen entstehen.
Es werden daher gemäß der Erfindung solche zu metallisierenden Waren auf Zwischenlagen befestigt, und diese Zwischenlagen werden gleichzeitig mit den zu metallisierenden Waren zwischen den Elektroden hindurchgezogen, wobei die Zwischenlagen unmittelbar auf der Kühlunterlage und die zu metallisierende Ware unmittelbar auf der Zwi- ; schenlage aufliegt. Die Zwischenschaltung von Auffangschirmen für das zerstäubte ΛΙε- , tall zwischen die Elektroden und die zu me- · tallisierende Ware ist bekannt. Neu ist jedoch, daß die Auffangschirme hinter der zu metallisierenden Ware angeordnet werden. :
Ein Ausführungsbeispiel einer derartigen ' Anordnung ist in Abb. t schematisch in senkrechtem Schnitt dargestellt. 1 ist das Vakuumgefäß, in welchem die Zerstäubung der Elektroden 9 und 1 ο erfolgt, denen die hochgespannte elektrische Energie in bekannter Weise zugeführt wird. Das Kühlmittel wird durch die mit der Wandung des Vakuumgefäßes ι verschweißten Rohre 3 und 4 in ein , Kühlrohrsystem 2 ein- und ausgeführt, über welches Rohrsystem 2 die zu metallisierende Ware 8 in engem Kontakt geführt wird, beispielsweise durch Abrollen von den Vorratswaken 5 auf die Aufnahmewalzen 6. Die Bewegimg der Walzen 5 und 6 kann in bekannter, Weise erfolgen. 11 sind Abblendschirme für das zerstäubte Metall. Die Zwischenlagen sind mit 7 bezeichnet. Abb. 2 zeigt eine Draufsicht auf Ware 8, Zwischenlage 7 und einen Teil der Kühlanlage 2.
Die Zwischenlagen 7 müssen gut wärmeleitend sein und können beispielsweise aus Metallbändern oder Metallstreifen bestehen. Die Zwischenlagen 7 können auch aus Metall mit einenr nichtmetallischen Überzug bestehen. Diese mit der zu metallisierenden Ware 8 wandernden Zwischenlagen 7 werden so bemessen, daß sich alles von den Elektrodeng, 10 abstäubende Metall auf ihnen abscheidet und kein Metall auf die fest in der Apparatur ι eingebaute Kühlanlage 2 gelangen kann. Die strichpunktierten Linien in Abb. 2 deuten den Bereich an, in welchem sich das von den Elektroden 9, 10 abgestäubte Metall auf der Ware 8 und der Zwischenlage 7 abscheidet. Die Wiedergewinnung des auf - den mitwandernden Zwischenlagen 7 abgeschiedenen Metalls außerhalb des Vakuumgefäßes 1 macht dann keine Schwierigkeiten, so daß man verlustfrei arbeiten und den Metallisierungsvorgang dadurch wesentlich wirtschaftlicher gestalten kann.

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Verfahren zum Überziehen von Waren mit Metallen im Vakuum durch Elektrodenzerstäubung nach Patent 453 387.. dadurch gekennzeichnet, daß zwischen die Rückseite der zu metallisierenden Waren i'S) und die gekühlten Unterlagen (21 eine Wärme übertragende Zwischenlage (7) geschaltet wird, welche die Abscheidung des Metalls an den Kühlkörpern (2) verhindert.
    Hierzu ι Blatt Zeichnungen.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE966231C (de) * 1952-01-01 1957-07-18 Heraeus Gmbh W C Gegen Strahlung und Abstrahlung geschuetzte Kleidung
DE976803C (de) * 1950-09-12 1964-05-21 Siemens Ag Vorrichtung zum Herstellen von Trockengleichrichterplatten

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE976803C (de) * 1950-09-12 1964-05-21 Siemens Ag Vorrichtung zum Herstellen von Trockengleichrichterplatten
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