DE456772C - Verfahren zum gleichmaessigen UEberziehen von Gegenstaenden mit Metallen im Vakuum durch Elektrodenzerstaeubung - Google Patents
Verfahren zum gleichmaessigen UEberziehen von Gegenstaenden mit Metallen im Vakuum durch ElektrodenzerstaeubungInfo
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- DE456772C DE456772C DEP54024D DEP0054024D DE456772C DE 456772 C DE456772 C DE 456772C DE P54024 D DEP54024 D DE P54024D DE P0054024 D DEP0054024 D DE P0054024D DE 456772 C DE456772 C DE 456772C
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/541—Heating or cooling of the substrates
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Description
Ist die zu metallisierende Ware, welche ge- > maß Patent 453 387 in innigem Kontakt über |
eine im Vakuumgefäß angebrachte Kühlanlagt: j geführt wird, nicht so grob oder so breit, daß |
sie die Kühlfläche vollkommen deckt, so scheidet sich auch zerstäubtes Metall auf der
Kühlunterlage ab, und da die Kühlunterlage zweckmäßig starr mit dem Vakuumgefäß ver- i
bunden ist, wäre die Wiedergewinnung des ' oft sehr kostbaren, auf die Kühlunterlage un- ;
beabsichtigt aufgestäubten Metalls ohne Zerstörung des Vakuumgefäßes nicht möglich.
Hat man ferner lange Stücke, wie Stoffgewebe, ;
Papierbänder u. dgl., zu metallisieren, die man : durch ein solches Vakuumgefäß in gleichmäßigem
Tempo hindurchzieht, so könnte leicht eine, unliebsame Störung des Metallisierungsvorganges
dadurch eintreten, daß besonders weiche, leicht verschiebbare Störte, wie
z. B. feinere Spitzengewebe u. dgl., in Falten gezogen werden, so daß sich einzelne Teile
des Gewebes überdecken und an solchen Stellen fehlerhafte Metallisierungen entstehen.
Es werden daher gemäß der Erfindung solche zu metallisierenden Waren auf Zwischenlagen
befestigt, und diese Zwischenlagen werden gleichzeitig mit den zu metallisierenden
Waren zwischen den Elektroden hindurchgezogen, wobei die Zwischenlagen unmittelbar
auf der Kühlunterlage und die zu metallisierende Ware unmittelbar auf der Zwi- ;
schenlage aufliegt. Die Zwischenschaltung von Auffangschirmen für das zerstäubte ΛΙε- ,
tall zwischen die Elektroden und die zu me- · tallisierende Ware ist bekannt. Neu ist jedoch,
daß die Auffangschirme hinter der zu metallisierenden Ware angeordnet werden. :
Ein Ausführungsbeispiel einer derartigen ' Anordnung ist in Abb. t schematisch in senkrechtem
Schnitt dargestellt. 1 ist das Vakuumgefäß, in welchem die Zerstäubung der
Elektroden 9 und 1 ο erfolgt, denen die hochgespannte elektrische Energie in bekannter
Weise zugeführt wird. Das Kühlmittel wird durch die mit der Wandung des Vakuumgefäßes
ι verschweißten Rohre 3 und 4 in ein , Kühlrohrsystem 2 ein- und ausgeführt, über
welches Rohrsystem 2 die zu metallisierende Ware 8 in engem Kontakt geführt wird, beispielsweise
durch Abrollen von den Vorratswaken 5 auf die Aufnahmewalzen 6. Die Bewegimg der Walzen 5 und 6 kann in bekannter,
Weise erfolgen. 11 sind Abblendschirme für das zerstäubte Metall. Die Zwischenlagen
sind mit 7 bezeichnet. Abb. 2 zeigt eine Draufsicht auf Ware 8, Zwischenlage 7 und
einen Teil der Kühlanlage 2.
Die Zwischenlagen 7 müssen gut wärmeleitend sein und können beispielsweise aus Metallbändern
oder Metallstreifen bestehen. Die Zwischenlagen 7 können auch aus Metall mit einenr nichtmetallischen Überzug bestehen.
Diese mit der zu metallisierenden Ware 8 wandernden Zwischenlagen 7 werden so bemessen,
daß sich alles von den Elektrodeng, 10 abstäubende Metall auf ihnen abscheidet
und kein Metall auf die fest in der Apparatur ι eingebaute Kühlanlage 2 gelangen kann.
Die strichpunktierten Linien in Abb. 2 deuten den Bereich an, in welchem sich das von den
Elektroden 9, 10 abgestäubte Metall auf der Ware 8 und der Zwischenlage 7 abscheidet.
Die Wiedergewinnung des auf - den mitwandernden Zwischenlagen 7 abgeschiedenen Metalls
außerhalb des Vakuumgefäßes 1 macht dann keine Schwierigkeiten, so daß man verlustfrei
arbeiten und den Metallisierungsvorgang dadurch wesentlich wirtschaftlicher gestalten
kann.
Claims (1)
- Patentanspruch:Verfahren zum Überziehen von Waren mit Metallen im Vakuum durch Elektrodenzerstäubung nach Patent 453 387.. dadurch gekennzeichnet, daß zwischen die Rückseite der zu metallisierenden Waren i'S) und die gekühlten Unterlagen (21 eine Wärme übertragende Zwischenlage (7) geschaltet wird, welche die Abscheidung des Metalls an den Kühlkörpern (2) verhindert.Hierzu ι Blatt Zeichnungen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEP54024D DE456772C (de) | Verfahren zum gleichmaessigen UEberziehen von Gegenstaenden mit Metallen im Vakuum durch Elektrodenzerstaeubung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DEP54024D DE456772C (de) | Verfahren zum gleichmaessigen UEberziehen von Gegenstaenden mit Metallen im Vakuum durch Elektrodenzerstaeubung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE456772C true DE456772C (de) | 1928-03-01 |
Family
ID=7386822
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEP54024D Expired DE456772C (de) | Verfahren zum gleichmaessigen UEberziehen von Gegenstaenden mit Metallen im Vakuum durch Elektrodenzerstaeubung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE456772C (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE966231C (de) * | 1952-01-01 | 1957-07-18 | Heraeus Gmbh W C | Gegen Strahlung und Abstrahlung geschuetzte Kleidung |
DE976803C (de) * | 1950-09-12 | 1964-05-21 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Herstellen von Trockengleichrichterplatten |
-
0
- DE DEP54024D patent/DE456772C/de not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE976803C (de) * | 1950-09-12 | 1964-05-21 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Herstellen von Trockengleichrichterplatten |
DE966231C (de) * | 1952-01-01 | 1957-07-18 | Heraeus Gmbh W C | Gegen Strahlung und Abstrahlung geschuetzte Kleidung |
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