DE4440679A1 - Ultraschallmotor - Google Patents
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschallmotor gemäß dem
Oberbegriff des Anspruches 1, der durch Erzeugen einer elliptischen
Bewegung in einem stabförmigen elastischen Element eine Antriebs
kraft erzeugt, und insbesondere einen Ultraschallmotor dieses Typs, bei
dem eine Entartung einer longitudinalen Schwingungsmode und einer
Biegeschwingungsmode auftritt.
In Fig. 4 ist ein herkömmlicher linearer Ultraschallmotor gezeigt.
In dem gezeigten herkömmlichen linearen Ultraschallmotor ist an
einem Ende eines stabförmigen elastischen Elements 101 ein Schwin
gungserzeuger 102 angeordnet, der eine Schwingung anregt, während
am anderen Ende des elastischen Elements 101 ein Schwingungserzeu
ger 103 angeordnet ist, der die Schwingung steuert. Mit den Schwin
gungserzeugern 102 und 103 sind Schwingungselemente 102a bzw.
103a verbunden. Von einem Oszillator 102b wird an das Schwin
gungselement 102a eine Wechselspannung angelegt, die eine Schwin
gung anregt, mit der das stabförmige elastische Element 101 schwingt.
Diese Schwingung breitet sich im stabförmigen elastischen Element 101
aus und bildet eine Wanderwelle. Mit dieser Wanderwelle wird ein
bewegliches Element 104, das mit dem stabförmigen elastischen Ele
ment 101 in Preßkontakt ist, angetrieben.
Andererseits wird die Schwingung des stabförmigen elastischen Ele
ments 101 über den Schwingungserzeuger 103 für die Steuerung einer
Schwingung an das Schwingungselement 103a übertragen, welches die
Schwingungsenergie in elektrische Energie umwandelt. Die Schwin
gung wird absorbiert, indem die elektrische Energie mittels einer an
das Schwingungselement 103a angeschlossenen Last 103b verbraucht
wird. Der Schwingungserzeuger 103 zur Steuerung der Schwingung
unterdrückt eine Reflexion der Welle an der Stirnfläche des stabförmi
gen elastischen Elements 101, so daß verhindert wird, daß im stabför
migen elastischen Element 101 eine stehende Welle der Eigenschwin
gung erzeugt wird.
Bei dem in Fig. 4 gezeigten linearen Ultraschallmotor entstehen die
folgenden Probleme. Das stabförmige elastische Element 101 muß eine
Länge besitzen, die dem Bewegungsbereich des beweglichen Elements
104 entspricht, so daß das gesamte stabförmige elastische Element 101
in Schwingungen versetzt werden muß, was eine Zunahme der Größe
der Vorrichtung zur Folge hat. Außerdem ist der Schwingungserzeuger
103 zur Steuerung der Schwingung erforderlich, um die Erzeugung
einer stehenden Welle der Eigenschwingung zu verhindern.
Zur Lösung der obigen Probleme sind verschiedene Ultraschallmotoren
des Freilauftyps vorgeschlagen worden. Beispielsweise ist aus dem
Artikel "Piezoelectric Linear Motors for Application to Driving a light
Pick-up Element", erschienen in "Lecture Papers of Fifth Dynamic
Symposium Associated with Electromagnetic Force" ein "L1-B4-Mul
timoden-Schwingungsmotor" bekannt. In den Fig. 5A bis 5C ist der
L1-B4-Multimoden-Schwingungsmotor des Standes der Technik ge
zeigt, wobei Fig. 5A eine Vorderansicht ist, Fig. 5B eine Seitenansicht
ist und Fig. 5C eine Draufsicht ist.
Ein elastisches Element 1 ist durch einen Basisabschnitt 1a mit recht
eckiger, ebener Form sowie durch Vorsprünge 1b und 1c, die an der
Oberfläche des Basisabschnitts 1a ausgebildet sind, konstruiert. An der
gegenüberliegenden Oberfläche des Basisabschnitts 1a des elastischen
Elements 1 sind piezoelektrische Elemente 2 und 3 angeklebt, die eine
longitudinale Schwingungsmode L1 und eine Biegeschwingungsmode
B4 erzeugen.
Die Vorsprünge 1b und 1c des elastischen Elements 1 sind an Wellen
bauch-Positionen der Biegeschwingungsmode B4, die im Basisabschnitt
1a erzeugt wird, angeordnet und werden gegen (nicht gezeigte) Füh
rungsschienen gepreßt.
In dem obenerwähnten und in den Fig. 5A bis 5C gezeigten Motor
werden jedoch dann, wenn das elastische Element 1 nicht geeignet
unterstützt ist, die erzeugten Schwingungen unerwünscht gedämpft, da
in dem elastischen Element 1 zwei Schwingungsmoden, d. h. die longi
tudinale Schwingungsmode und die Biegeschwingungsmode erzeugt
werden.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Ultra
schallmotor zu schaffen, mit dem die obenerwähnten Probleme gelöst
werden können, bei dem ein Unterstützungsverlust beseitigt werden
kann und bei dem die Dämpfung der beiden Schwingungen, d. h. der
longitudinalen Schwingungsmode und der Biegeschwingungsmode,
soweit wie möglich verhindert werden kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Ultraschall
motor der gattungsgemäßen Art, der die im kennzeichnenden Teil des
Anspruches 1 angegebenen Merkmale besitzt.
Der weitere unabhängige Anspruch sowie die abhängigen Ansprüche
sind auf bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung
gerichtet.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist das elastische Element an einer
Position, an der der Knoten der longitudinalen Schwingungsmode mit
dem Knoten der Biegeschwingungsmode übereinstimmt, sowie an einer
Position in der Nähe dieser Übereinstimmungsposition unterstützt, so
daß ein Unterstützungszustand erzielt werden kann, der frei von Un
terstützungsverlusten ist und weder in der longitudinalen Schwin
gungsmode noch in der Biegeschwingungsmode eine wesentliche
Dämpfung erfährt.
Weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden
deutlich beim Lesen der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausfüh
rungsformen, die auf die Zeichnungen Bezug nimmt; es zeigen:
Fig. 1A eine Ansicht einer ersten Ausführungsform des erfin
dungsgemäßen Ultraschallmotors, die den Gesamtaufbau
veranschaulicht;
Fig. 1B eine Ansicht der ersten Ausführungsform des erfin
dungsgemäßen Ultraschallmotors, die die an dem elasti
schen Element befestigten piezoelektrischen Elemente
und deren Polarisationszustände erläutert;
Fig. 1C eine Draufsicht des elastischen Elements und der pie
zoelektrischen Elemente der ersten Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Ultraschallmotors;
Fig. 1D eine perspektivische Ansicht der ersten Ausführungs
form des erfindungsgemäßen Ultraschallmotors, die eine
Struktur zum Pressen des elastischen Elements gegen
einen unbeweglichen Abschnitt erläutert;
Fig. 2A-D Ansichten zur Erläuterung des Antriebsvorgangs des
Ultraschallmotors gemäß der ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3A eine Vorderansicht des erfindungsgemäßen Ultraschall
motors gemäß einer zweiten Ausführungsform;
Fig. 3B eine Draufsicht des erfindungsgemäßen Ultraschallmo
tors gemäß der zweiten Ausführungsform;
Fig. 4 die bereits erwähnte Ansicht zur Erläuterung eines her
kömmlichen linearen Ultraschallmotors;
Fig. 5A die bereits erwähnte Vorderansicht eines beispielhaften
L1-B4-Multimoden-Schwingungsmotors;
Fig. 5B die bereits erwähnte Seitenansicht eines beispielhaften
L1-B4-Multimoden-Schwingungsmotors; und
Fig. 5C die bereits erwähnte Draufsicht des beispielhaften L1-
B4-Multimoden-Schwingungsmotors.
In den Fig. 1A bis 1D ist eine erste Ausführungsform des erfindungs
gemäßen Ultraschallmotors gezeigt.
Ein elastisches Element 11 besitzt einen Basisabschnitt 11a und zwei
Vorsprünge 11b und 11c. Auf dem Basisabschnitt 11a sind piezoelek
trische Elemente 12 und 13 angeordnet, die eine longitudinale Schwin
gungsmode L1 und eine Biegeschwingungsmode B4 erzeugen. Die
Funktionen der jeweiligen Elemente sind die gleichen wie diejenigen
der in den Fig. 5A bis 5C gezeigten Elemente.
In der vorliegenden Ausführungsform sind die piezoelektrischen Ele
mente 12 und 13 wie in Fig. 1B gezeigt polarisiert, wobei an sie Ein
gangsspannungen A bzw. B mit zwei unterschiedlichen Phasen angelegt
werden, wie später beschrieben wird.
Am mittigen Abschnitt des Basisabschnitts 11a des elastischen Ele
ments 11 sind zwei Stifte 14 angeordnet. Aus den Fig. 2A bis 2D, die
später beschrieben werden, geht deutlich hervor, daß die Mittelposition
eine Position ist, die den gemeinsamen Knoten der beiden Schwingun
gen, d. h. der longitudinalen Schwingungsmode L1 und der Biege
schwingungsmode B4 entspricht. Die Position eines jeden Stifts 14
entspricht der Mittelposition des elastischen Elements 11 sowohl in
Dickenrichtung als auch in Längsrichtung. Daher ist eine Unterstützung
des Elements 11 an dieser Position oder an einer Position in der Umge
bung dieser Position für eine optimale Unterstützungswirkung am be
sten geeignet.
Ein Unterstützungselement 15 preßt die Stifte 14 in einer von einem
unbeweglichen Abschnitt 20 wegweisenden Richtung und über ein
Kompressionsmittel (z. B. eine Feder) 16 sowie über Lagerelemente
(z. B. Rollen) 17 und 18 auf einen unbeweglichen Abschnitt 19. Die
entfernten Endabschnitte der beiden Vorsprünge 11b und 11c des ge
preßten elastischen Elements 11 werden in Preßkontakt mit dem unbe
weglichen Abschnitt 19 gebracht, wobei zwischen den beiden Vor
sprüngen 11b und 11c einerseits und dem unbeweglichen Abschnitt 19
andererseits eine relative Bewegung auftritt.
Wie in den Fig. 1A bis 1D gezeigt, erzeugt dieser Ultraschallmotor aus
Biegeschwingungen und longitudinalen Schwingungen zusammenge
setzte Schwingungen, indem an die beiden piezoelektrischen Elemente
12 und 13 hochfrequente Spannungen A bzw. B angelegt werden, wo
bei diese Schwingungen die entfernten Enden der Vorsprünge 11b und
11c dazu veranlassen, eine elliptische Bewegung auszuführen, die eine
Antriebskraft erzeugen. Es wird darauf hingewiesen, daß G das Mas
senpotential bezeichnet. Die beiden piezoelektrischen Elemente 12 und
13 sind in der gleichen Richtung polarisiert, ferner besitzen die hoch
frequenten Spannungen A und B Phasen, die um eine Differenz von π/2
verschieden sind. Es wird darauf hingewiesen, daß die piezoelektri
schen Elemente 12 und 13 auch in entgegengesetzten Richtungen pola
risiert sein können.
Fig. 2A zeigt die zeitliche Änderung der hochfrequenten Spannungen A
und B mit unterschiedlichen Phasen, die an den Ultraschallmotor zwi
schen dem Zeitpunkt t1 und dem Zeitpunkt t9 angelegt werden. Die
Abszisse in Fig. 2A stellt den Effektivwert der hochfrequenten Span
nung dar. Fig. 2B zeigt einen Verformungszustand eines Abschnitts des
Ultraschallmotors, d. h. eine zeitliche Änderung (t1 bis t9) der im Ul
traschallmotor erzeugten Biegeschwingung. Fig. 2C zeigt einen Ver
formungszustand des Abschnitts des Ultraschallmotors, d. h. eine zeitli
che Änderung (t1 bis t9) der im Ultraschallmotor erzeugten
longitudinalen Schwingung. Fig. 2D zeigt eine zeitliche Änderung (t1
bis t9) der in den Vorsprüngen 11b und 11c des Ultraschallmotors
erzeugten elliptischen Bewegung.
Nun wird in Einheiten der zeitlichen Änderung (t1 bis t9) die Operation
des Ultraschallmotors gemäß dieser Ausführungsform beschrieben.
Wie in Fig. 2A gezeigt, wird im Zeitpunkt t1 eine als hochfrequente
Spannung A dienende positive Spannung erzeugt, außerdem wird ähn
lich als hochfrequente Spannung B eine positive Spannung mit dem
gleichen Absolutwert wie die Spannung A erzeugt. Wie in Fig. 2B
gezeigt, heben sich die auf den hochfrequenten Spannungen A und B
basierenden Biegebewegungen gegenseitig auf, so daß die Massen
punkte Y1 und Z1 keine Verschiebungen erfahren. Wie in Fig. 2C
gezeigt, werden in Ausdehnungsrichtung auf den hochfrequenten Span
nungen A und B basierende longitudinale Schwingungen erzeugt. Die
Massenpunkte Y2 und Z2 zeigen eine maximale Ausdehnung mit einem
Knoten X in der Mitte, wie durch den Pfeil in Fig. 2C angezeigt ist. Im
Ergebnis, das in Fig. 2D gezeigt ist, werden die beiden Schwingungen
gemischt, so daß eine aus den Bewegungen der Massenpunkte Y1 und
Y2 zusammengesetzte Bewegung als Bewegung eines Massenpunkts Y
erscheint und eine aus den Bewegungen der Massenpunkte Z1 und Z2
zusammengesetzte Bewegung als Bewegung eines Massenpunkts Z
erscheint.
Im Zeitpunkt t2 wird, wie in Fig. 2A gezeigt, die hochfrequente Span
nung B null, während die hochfrequente Spannung A einen positiven
Wert aufweist. Wie in Fig. 2B gezeigt, wird eine auf der hochfrequen
ten Spannung A basierende Biegebewegung erzeugt, wird der Massen
punkt Y1 in positiver Richtung verschoben und wird der Massenpunkt
Z1 in negativer Richtung verschoben. Wie in Fig. 2C gezeigt, wird
eine auf der hochfrequenten Spannung A basierende longitudinale
Schwingung erzeugt und bewegen sich die Massenpunkte Y2 und Z2
im Vergleich zu ihrer gegenseitigen Lage im Zeitpunkt t1 aufeinander
zu. Im Ergebnis, das in Fig. 2D gezeigt ist, werden die beiden Schwin
gungen gemischt, wobei sich die Massenpunkte Y und Z aus ihren
Positionen im Zeitpunkt t1 im Uhrzeigersinn bewegen.
Im Zeitpunkt t3 wird, wie in Fig. 2A gezeigt, für die hochfrequente
Spannung A eine positive Spannung erzeugt, während ähnlich für die
hochfrequente Spannung B eine negative Spannung mit dem gleichen
Absolutwert wie die Spannung A erzeugt wird. Wie in Fig. 2B gezeigt,
werden auf den hochfrequenten Spannungen A und B basierende Bie
gebewegungen gemischt und verstärkt, wobei der Massenpunkt Y1 im
Vergleich zu seiner Position im Zeitpunkt t2 in positiver Richtung
verstärkt wird und eine maximale positive Verschiebung zeigt. Auch
der Massenpunkt Z1 wird im Vergleich zu seiner Lage im Zeitpunkt t2
in negativer Richtung verstärkt, so daß er eine maximale negative Ver
schiebung zeigt. Wie in Fig. 2C gezeigt, heben sich die auf den hoch
frequenten Spannungen A und B basierenden longitudinalen Schwin
gungen gegenseitig auf, während die Massenpunkte Y2 und Z2 in ihre
Ausgangspositionen zurückkehren. Im Ergebnis, das in Fig. 2D gezeigt
ist, werden die zwei Schwingungen gemischt, wobei sich die Massen
punkte Y und Z aus ihren Positionen im Zeitpunkt t2 im Uhrzeigersinn
drehen.
Im Zeitpunkt t4 wird, wie in Fig. 2A gezeigt, die hochfrequente Span
nung A null, während für die hochfrequente Spannung B eine negative
Spannung erzeugt wird. Wie in Fig. 2B gezeigt, wird eine auf der
hochfrequenten Spannung B basierende Biegebewegung erzeugt, wird
die Verschiebung des Massenpunkts Y1 kleiner als im Zeitpunkt t3 und
wird die Verschiebung des Massenpunkts Z1 kleiner als im Zeitpunkt
t3. Wie in Fig. 2C gezeigt, wird eine auf der hochfrequenten Spannung
B basierende longitudinale Schwingung erzeugt, während sich die Mas
senpunkte Y2 und Z2 zusammenziehen. Im Ergebnis, das in Fig. 2D
gezeigt ist, werden die beiden Schwingungen gemischt, wobei sich die
Massenpunkte Y und Z aus ihren Positionen im Zeitpunkt t3 im Uhr
zeigersinn bewegen.
Im Zeitpunkt t5 wird, wie in Fig. 2A gezeigt, für die hochfrequente
Spannung A eine negative Spannung erzeugt, während ähnlich für die
hochfrequente Spannung B eine negative Spannung mit dem gleichen
Absolutwert wie die Spannung A erzeugt wird. Wie in Fig. 2B gezeigt,
heben sich auf den hochfrequenten Spannungen A und B basierende
Biegebewegungen gegenseitig auf, wobei die Verschiebungen der Mas
senpunkte Y1 und Z1 null werden. Wie in Fig. 2C gezeigt, werden auf
den hochfrequenten Spannungen A und B basierende longitudinale
Schwingungen in einer Richtung erzeugt, in der eine Kontraktion er
folgt. Die Massenpunkte Y2 und Z2 zeigen eine maximale Kontraktion
mit dem Knoten X als Mittelpunkt, wie in Fig. 2C durch einen Pfeil
angezeigt ist. Im Ergebnis, das in Fig. 2D gezeigt ist, werden die bei
den Schwingungen gemischt, wobei sich die Massenpunkte Y und Z
aus ihren Positionen im Zeitpunkt t4 im Uhrzeigersinn bewegen.
Im weiteren zeitlichen Verlauf zwischen den Zeitpunkten t6 und t9
werden gemäß dem obenbeschriebenen Prinzip Biegeschwingungen und
longitudinale Schwingungen erzeugt, wobei im Ergebnis, das in
Fig. 2D gezeigt ist, die Massenpunkte Y und Z sich im Uhrzeigersinn
bewegen und somit eine elliptische Bewegung ausführen. Wie aus den
obenbeschriebenen Prozessen verständlich wird, ist der Mittelpunkt X
des elastischen Elements 11 die Position des Knotens, der weder bei
der in Fig. 2B gezeigten Biegeschwingung noch bei der in Fig. 2C
gezeigten longitudinalen Schwingung verschoben wird.
Der Ultraschallmotor ist entsprechend dem obenbeschriebenen Prinzip
so konstruiert, daß er an den entfernten Enden der Vorsprünge 11b und
11c elliptische Bewegungen erzeugt, um dadurch eine Antriebskraft zu
erzeugen. Wenn daher die entfernten Enden der Vorsprünge 11b und
11c gegen den stationären Abschnitt 19 gepreßt werden, bewegt sich
das elastische Element 11 relativ zum stationären Abschnitt 19.
Die Fig. 3A und 3B zeigen Ansichten einer zweiten Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Ultraschallmotors.
Es wird darauf hingewiesen, daß die gleichen Bezugszeichen Teile
bezeichnen, die die gleichen Funktionen wie in der ersten Ausführungs
form besitzen, ferner wird eine wiederholte Beschreibung dieser Teile
weggelassen.
Ein Unterstützungselement 21 preßt einen Stift 14A über ein Kompres
sionsmittel (Feder) 22 und Lagerelemente (Rollen) 23 und 24 in eine
Richtung, in der der Stift zum stationären Abschnitt 25 gezogen wird.
An einem Stift 14B, der an der dem Stift 14A gegenüberliegenden Seite
angeordnet ist, sind ein zweites Unterstützungselement 21, ein zweites
Kompressionsmittel 22 sowie zweite Lagerelemente 23 und 24 auf
ähnliche Weise vorgesehen. Die entfernten Endabschnitte der beiden
Vorsprünge 11b und 11c des gepreßten elastischen Elements werden in
Preßkontakt mit dem unbeweglichen Abschnitt 25 gebracht, so daß
zwischen den beiden Vorsprüngen 11b und 11c einerseits und dem
unbeweglichen Abschnitt 25 andererseits eine relative Bewegung auf
tritt.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die obenbeschriebenen Ausfüh
rungsformen beschränkt, vielmehr sind viele verschiedene Abwandlun
gen und Änderungen möglich. Diese Abwandlungen und Änderungen
sind in der vorliegenden Erfindung ebenfalls enthalten. Beispielsweise
kann das elastische Element aufgrund seines Eigengewichts gegen den
unbeweglichen Abschnitt 19 gepreßt werden.
Wie oben im einzelnen beschrieben worden ist, kann gemäß der vorlie
genden Erfindung ein von Unterstützungsverlusten freier Unterstüt
zungszustand erhalten werden, der weder in der longitudinalen
Schwingungsmode noch in der Biegeschwingungsmode eine wesentli
che Dämpfung erfährt, da das elastische Element an einer Position, an
der der Knoten der longitudinalen Schwingungsmode mit dem Knoten
der Biegeschwingungsmode übereinstimmt, und einer Position in der
Umgebung der Übereinstimmungsposition unterstützt wird.
Claims (7)
1. Ultraschallmotor, der ein elastisches Element (11) sowie ein
elektromechanisches Wandlerelement (12, 13), das mit dem elastischen
Element (11) verbunden ist, enthält, der das elektromechanische
Wandlerelement (12, 13) dazu veranlaßt, eine longitudinale Schwin
gungsmode und eine Biegeschwingungsmode im elastischen Element
(11) zu erzeugen, und der auf der Grundlage einer elliptischen Bewe
gung, die aus den Schwingungen der beiden Schwingungsmoden zu
sammengesetzt ist, an einer vorgegebenen Position des elastischen
Elements (11) eine Antriebskraft erzeugt,
gekennzeichnet durch
ein Unterstützungselement (15), das das elastische Element (11) an einer Position in der Umgebung einer Position unterstützt, an welcher ein Knoten der longitudinalen Schwingungsmode mit einem Knoten der Biegeschwingungsmode übereinstimmt.
ein Unterstützungselement (15), das das elastische Element (11) an einer Position in der Umgebung einer Position unterstützt, an welcher ein Knoten der longitudinalen Schwingungsmode mit einem Knoten der Biegeschwingungsmode übereinstimmt.
2. Ultraschallmotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Unterstützungseinrichtung (15) einen in longitudinaler
Schwingungsrichtung des elastischen Elements (11) im wesentlichen
mittigen Abschnitt unterstützt.
3. Ultraschallmotor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß
das elastische Element (11) ein Relativbewegungselement (19) an einer vorgegebenen Position desselben berührt und
das elastische Element (11) sich relativ zum Relativbewe gungselement (19) bewegt.
das elastische Element (11) ein Relativbewegungselement (19) an einer vorgegebenen Position desselben berührt und
das elastische Element (11) sich relativ zum Relativbewe gungselement (19) bewegt.
4. Ultraschallmotor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Unterstützungseinrichtung (15) das elastische Element
(11) mit dem Relativbewegungselement (19) in Preßkontakt bringt,
indem es das elastische Element (11) in Richtung zum Relativbewe
gungselement (19) preßt.
5. Ultraschallmotor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Unterstützungseinrichtung (22) das elastische Element
(11) in Preßkontakt mit dem Relativbewegungselement (25) bringt,
indem es das elastische Element (11) in Richtung zum Relativbewe
gungselement (25) zieht.
6. Ultraschallmotor, mit
einem elastischen Element (11) und
einem elektromechanischen Wandlerelement (12, 13), das mit dem elastischen Element (11) verbunden ist und in dem elastischen Element (11) eine longitudinale Schwingungsmode und eine Biege schwingungsmode erzeugt,
gekennzeichnet durch
ein Unterstützungselement (15), das mit dem elastischen Element (11) in der Weise verbunden ist, daß es das elastische Element (11) an einer Position in der Umgebung einer Position unterstützt, an welcher ein Knoten der longitudinalen Schwingungsmode mit einem Knoten der Biegeschwindungsmode übereinstimmt.
einem elastischen Element (11) und
einem elektromechanischen Wandlerelement (12, 13), das mit dem elastischen Element (11) verbunden ist und in dem elastischen Element (11) eine longitudinale Schwingungsmode und eine Biege schwingungsmode erzeugt,
gekennzeichnet durch
ein Unterstützungselement (15), das mit dem elastischen Element (11) in der Weise verbunden ist, daß es das elastische Element (11) an einer Position in der Umgebung einer Position unterstützt, an welcher ein Knoten der longitudinalen Schwingungsmode mit einem Knoten der Biegeschwindungsmode übereinstimmt.
7. Ultraschallmotor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß
das elastische Element (11) Vorsprünge (11b, 11c) aufweist, die an vorgegebenen Positionen des elastischen Elements (11) ausgebil det sind, und
der Ultraschallmotor auf der Grundlage einer elliptischen Bewegung, die durch eine aus den beiden Schwingungsmoden zusam mengesetzte Schwingung erzeugt wird, von den Vorsprüngen (11b, 11c) eine Antriebskraft gewinnt.
das elastische Element (11) Vorsprünge (11b, 11c) aufweist, die an vorgegebenen Positionen des elastischen Elements (11) ausgebil det sind, und
der Ultraschallmotor auf der Grundlage einer elliptischen Bewegung, die durch eine aus den beiden Schwingungsmoden zusam mengesetzte Schwingung erzeugt wird, von den Vorsprüngen (11b, 11c) eine Antriebskraft gewinnt.
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