DE3438807A1

DE3438807A1 - Schieber

Info

Publication number: DE3438807A1
Application number: DE19843438807
Authority: DE
Inventors: Eigo Kawasaki Kanagawa Kawakami; Kazuya Yokohama Kanagawa Matsumoto
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1983-10-24
Filing date: 1984-10-23
Publication date: 1985-05-02
Also published as: US4971455A; JPH0637892B2; DE3438807C2; JPS6091019A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Schieber, der zur Lagerung eines beweglichen Teils gebraucht wird, insbesondere auf einen Schieber, bei dem eine Oberfläche mit elastischer Wellenstruktur benutzt wird.

Damit ein Schieber seine Aufgabe erfüllen kann, ist es erforderlich, daß nur eine geringe Reibung auftritt. In dieser Hinsicht können die herkömmlichen Schieber in folgende Bauarten klassifiziert werden, wobei die Art und Weise der Lagerung des beweglichen Teils auf einem Führungselement berücksichtigt wird:

(A) Die Kontaktbauart, bei der Gleitlager oder Wälzlager beispielsweise Kugellager, angewendet werden;

(B) Die kontaktlose Bauart, bei der Druckluft benutzt wird; und

(C) die kontaktlose Bauart, bei der magnetische Abstoßungsoder Anziehungskräfte benutzt werden.

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Die Schieber der Bauart (A) werden in verschiedene Anwendungsbereichen benutzt, da sie Vorteile wie niedrige Kosten, Kompaktheit, geringes Gewicht und einen niedrigen Lärmpegel aufweisen. Andererseits weisen sie Nachteile auf, wie die Notwendigkeit der Schmierung, des staubabweisenden Aufbaus, was zu einer aufwendigen Instandhaltung führt.

Außerdem muß zum Zwecke der Fixierung des beweglichen Teils IQ in einer definierten Stellung der Schieber der Bauart (A) einer Servobetätigung zur Fixierung unterzogen werden, oder er muß bestimmte Haltemechanismen aufweisen.

Andererseits haben die Schieber der Bauarten (B) und (C) je wegen ihrer berührungslosen Wirkungsweise eine weit bessere Haltbarkeit und Wartbarke it. Außerdem kann die Fixierung des beweglichen Teils in einer definierten Stellung dadurch erreicht werden, daß einfach die Erzeugung von Druckluft oder die Erzeugung eines magnetischen Felds beendet wird, denn beim NichtVorhandensein von Druckluft oder eines magnetischen Felds kommt das bewegliche Teil mit dem Führungselement in Berührung und wird durch dessen Reibkraft in einer definierten Stellung gehalten. Der Schieber der Bauart (B) erfordert jedoch eine Vorrichtung zur Druckluftversorgung und hat dadurch Nachteile wie beispielsweise Unhandlichkeit und hohen elektrischen Energieverbrauch. Weiterhin weist der Schieber der Bauart (B) den Nachteil eines komplizierten Aufbaus auf, da Pumpen und Ventile zur Steuerung des Druckluftdrucks vorgesehen sein müssen.

Auch der Schieber der Bauart (C) erfordert eine Zusatzvorrichtung, und zwar zur Erzeugung des magnetischen Felds; daher leidet er unter Unhandlichkeit und hohem elektrischen Energieverbrauch. Weiterhin weist er den Nachteil auf, daß

_o_ sich das magnetische Feld auch auf andere Vorrichtung auswirkt. Die Anwendung eines Permanentmagneten anstelle eines

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Elektromagneten kann das Problem hinsichtlich des Energieverbrauchs lösen; es entsteht jedoch das neue Problem, daß dieser nämlich nicht in der Lage ist, auf einen Lastwechsel zu reagieren.

Die herkömmlichen Schieber der Bauarten (A), (B) und (C) haben jeweils Vorteile und Nachteile; sie sind jedoch nicht in der Lage, dem gegenwärtigen Trend zu höherer Präzision jQ und kompakterer Bauweise genügend zu entsprechen.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen kompakten Schieber mit einfachem Aufbau und niedrigem elektrischen Energieverbrauch zu schaffen, der dennoch in der ,c Lage ist, Reibungs- und Haltekräfte zu steuern.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Schieber gelöst, der ein Führungselement aus einem elastischen Stoff aufweist, sowie ein bewegliches Element, das mit dem Füh_on rungselement zumindest auf einer Seite des Führungselements

in Berührung steht und längs dieses Führungselements beweglich ist, und einer Vorrichtung zur Erzeugung einer konstanten elastischen Oberflächenwellenstruktur auf einer Fläche des Führungselements, und zwar auf der, die mit dem bewegte liehen Element in Berührung steht. Wegen des oben beschriebenen Aufbaus wird das bewegliche Element des erfindungsgemäßen Schiebers auf den Gipfeln der elastischen Oberflächenwellenstruktur gelagert^ wodurch der Schieber in der Lage ist, die Reibung zwischen dem beweglichen Element und

dem Führungselement geeignet zu steuern und schnell auf 30

einen Lastwechsel zu reagieren. Außerdem kann der erfindungsgemäße Schieber kompakt gebaut werden und eine einfache Instandhaltung gewährleisten, da er einen extrem einfachen Aufbau aufweist.

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Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Teilansicht, aus der das Prinzip des erfindungsgemäßen Schiebers ersichtlich ist;

Fig. 2 eine perspektivische Teilansicht eines ersten Aus-,Q führungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Schiebers;

Fig. 3 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels der Vorrichtung zur Erzeugung des elastischen Oberflächenwellenstruktur;

Fig. 4 eine schematische Darstellung eines anderen Ausführungsbeispiels der Vorrichtung zur Erzeugung der Oberflächenwellenstruktur;

Fig. 5 eine perspektivische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Schiebers; und

Fig. 6 eine perspektivische Darstellung eines dritten Aus-

_nt- führungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Schiebers. 2b

In Fig. 1 ist das Funktionsprinzip des erfindungsgemäßen Schiebers erklärt. Auf der Oberfläche des elastischen Elements 1 ist eine elastische Ultraschall-Oberflächenwelle 30

einer Wellenlänge Lambda ausgebildet. Darauf sitzt ein bewegliches Element 2, wobei eine Fläche (bei der Darstellung die untere Fläche) in Berührung mit der die elastische Welle tragenden Fläche des elastischen Elements 1 ist; das

bewegliche Element ist nur in Richtung der x-Achse ver-35

schiebbar.

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Wenn die elastische Oberflächenwelle des elastischen Elements 1 den Zustand einer konstanten Welle erreicht, wird das bewegliche Element 2 nur von den Maxima der elastischen

5 Oberflächenwelle in Linienberührung gelagert. Entsprechend kann das bewegliche Element 2 in Richtung der x-Achse durch eine kleine äußere Schiebekraft versetzt werden.

Einem Lastwechsel beim beweglichen Element 2 kann durch jQ Steuerung der Reibung zwischen dem elastischen Element 1 und dem beweglichen Element 2 begegnet werden, und zwar durch einen Wechsel der Frequenz der elastischen Oberflä« chenwelle, d.h. der Wellenlänge Lambda der elastischen Oberflächenwelle. Die Anzahl η der Maxima der elastischen Welle, die das bewegliche Element 2 trägt, ist etwa gleich L/Lambda, wobei L die Länge des beweglichen Elements 2 und Lambda die Wellenlänge der elastischen Oberflächenwelle ist; das gilt, falls L ausreichend größer ist als Lambda. Wenn die Wellenlänge Lambda kleiner wird, erhöht sich die Anzahl η der _ΟΛ Maxima bzw. der Berührungsstellen, wodurch die Reibungskraft erhöht wird. Andererseits, wenn die Wellenlänge Lambda grosser wird (jedoch Lambda kleiner L/2), erniedrigt sich die Anzahl η der Maxima, wodurch die Reibungskraft verringert wird. In dieser Art und Weise erlaubt eine Änderung der Wellenlänge Lambda der elastischen Welle eine Reaktion auf einen Lastwechsel, wodurch eine etwa konstante Reibung des Schiebers aufrechterhalten wird.

Auch im Falle des Feststellens in einer definierten Stellung ist eine Servowirkung nach Einstellung unnötig, denn durch Abschluß der elastischen Oberflächenwelle kommt das elastische Element 1 anstelle der Linienberührung mit seiner gesamten Fläche mit dem beweglichen Element 2 in Berührung, wodurch zwischen den beiden Elementen eine Haltekraft

infolge der Reibung entsteht.
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Diese Wirkung kann auch angewendet werden, wenn das bewegliche Element 2 in der Bewegung gebremst werden soll. Zusätzliche Vorteile, beispielsweise die Unnötigkeit der Schmierung und die einfache Instandhaltung werden erzielt; elektromagnetische Störungen infolge unerwünschter Wirkungen des magnetischen Felds, wie sie bei oben erwähnten Schiebern der Bauart (C) auftreten, brauchen nicht beachtet zu werden.

In den folgenden Ausführungsbeispielen wird das erfindungsgemäße Prinzip erklärt.

Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Schiebers, bei dem ein elastisches Führungselement 3 mit

einem beweglichen Element 4 versehen ist, das in X-Richtung beweglich und mit zwei seiner äußeren Begrenzungsflächen mit dem Führungselement 3 in Berührung ist. Das Führungselement 3 ist an seinen beiden Enden mit Vorrichtungen 5, _on 5' zur Erzeugung einer elastischen Welle versehen, die dazu dienen, elastische Wellen auf den mit dem beweglichen Element 4 in Berührung stehenden Flächen zu erzeugen. Die Erzeugungsvorrichtungen 5, 5' können herkömmliche piezoelektrische Elemente sein, die beispielsweise mit Bleizir_oc konat Titanat (PZT) oder Bariumtitanat arbeiten.

Die Erzeugungsvorrichtungen 5, 5¹ erzeugen elastische Wellen auf den Oberflächen des Führungselements 3, wodurch das bewegliche Element 4 in X-Richtung durch eine kleine

_ΟΛ Kraft bewegt werden kann, die durch eine nicht dargestell-30

te Vorrichtung bewirkt wird. Das Führungselement 3 kann beispielsweise aus Messing, Aluminium, Dural, Chrommolybdenstahl etc. bestehen. Die Flächen des beweglichen Elements 4, die mit dem Führungselement 3 in Berührung stehen, kön-

_o_ nen mit einer Plastikschicht über einem Metall, beispiels-35

weise Aluminium, versehen sein.

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Im folgenden wird anhand der Fig. 3 und 4 der Aufbau der Erzeugungsvorrichtungen 5, 5' erklärt.

In Fig. 3 ist an einem Ende des elastischen Führungselements 3 ein Keil 6 befestigt; auf einer Begrenzungsfläche des Keils 6 sitzt ein piezoelektrisches Element 7, das in der Lage ist, wirksam eine Schwingung auf das Führungselement 3 zu übertragen. Das piezoelektrische Element 7 wird

2Q aus einer Wechselstromquelle 8 mit einer Wechselspannung versorgt, und als Reaktion darauf erzeugt das piezoelektrische Element 7 eine Schwingung in Richtung seiner Dicke; diese Schwingung wird durch den Keil 6 auf das elastische Element 3 übertragen, wodurch auf dessen Flächen eine elastische Oberflächenwelle erzeugt wird. Die Wellenlänge Lambda dieser elastischen Oberflächenwelle ist etwa durch die spezielle Frequenz des piezoelektrischen Elements 7 bestimmt. Zur wirksamen Erzeugung der elastischen Oberflächenwelle muß entsprechend die Frequenz der Wechselstromquelle 8 etwa gleich der spezifischen Frequenz des Elements 7 sein.

Fig. 4 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel der Erzeugungsvorrichtungen 5, 5'. An einem Ende des Führungselements 3

_oc ist ein darauf befestigtes piezoelektrisches Element 7' angeordnet, dessen kammartige Elektroden 9 von der Wechselstromquelle 8 mit einer Wechselspannung beaufschlagt werden. Als Reaktion auf die mit der Wechselspannung beaufschlagten kammartigen Elektroden 9 erzeugt das piezoelektrische EIe-_Λ ment 7' eine Schwingung in Richtung seiner Dicke, wodurch auf der Oberfläche des elastischen Elements 3 eine elastische Welle erzeugt wird. In diesem Fall ist die Wellenlänge Lambda der elastischen Welle etwa durch den Abstand der kammartigen Elektroden 9 bestimmt. Um die elastische Oberflächenwelle wirksam zu erzeugen, muß entsprechend die Fre-

quenz der Wechselstromquelle 8 etwa gleich der Wellenaus-

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breitungsgeschwindigkeit auf dem Führungselement 3 geteilt durch den Abstand der kammartigen Elektroden 9 sein.

Die in Fig. 3 oder 4 dargestellten Erzeugungsvorrichtungen 5, 5' sind an beiden Enden des Führungselements 3, das in Fig. 2 dargestellt ist, befestigt. Das Vorhandensein der zwei identischen Erzeugungsvorrichtungen für die elastische Welle an beiden Enden des Führungselements 3 dienen dazu,

^q zwei sich ausbreitende Wellen der selben Wellenlänge zu erzeugen, wodurch eine konstante Welle auf den Flächen des Führungselements 3 ausgebildet wird. Um eine solche konstante Welle auszubilden, muß die Länge des Führungselements 3 zwischen den Erzeugungsvorrichtungen 5, 5' gleich einem Vielfachen der halben Wellenlänge der elastischen Welle sein. Die konstante Welle kann auch dadurch ausgebildet werden, wenn an einem Ende des Führungselements eine Erzeugungsvorrichtung vorgesehen ist, und die davon ausgehende Welle durch eine vom anderen Ende des Führungselements 3 reflektierte Welle überlagert wird. Dann kann das andere Ende des Führungselements entweder als offenes Ende oder als festes Ende ausgebildet sein, jedoch muß die Länge des Führungselements von der Erzeugungsvorrichtung zum anderen Ende wiederum gleich einem Vielfachen der halben Wellenlänge der

_nt- elastischen Welle sein. Außerdem kann das andere Ende des Führungselements zur Reflexion der elastischen Welle mit einem Reflektor versehen sein, der aus einem Reflexionsgitter mit Frequenzeinstellmöglichkeit besteht. Um eine starke Reflexion zu erzielen, sollte in einem solchen Fall die Frequenz des Reflexionsgitters gleich einem Vielfachen der halben Wellenlänge der elastischen Welle sein.

Die Wellenlänge Lambda der elastischen Oberflächenwelle, die durch das oben erwähnte piezoelektrische Element erzeugt wird, ist etwa durch die spezifische Frequenz des piezoelektrischen Elements bestimmt, wie schon oben erklärt,

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jedoch ist eine Änderung der Frequenz bis zu 101 möglich, wenn sich die Frequenz der Wechselspannung, mit der das piezoelektrische Element 7 oder 7' beaufschlagt wird, durch Anwendung einer Wechselstromspannungsquelle 8 variabler Frequenz geändert wird. Zum Zwecke einer größeren Änderung der Wellenlänge können mehrere Erzeugungsvorrichtungen für eine elastische Welle verschiedener spezifischer Frequenzen zueinander parallel auf den Führungselementen 3 angeordnet jQ sein, und zwar in der Weise, wie sie in Fig. 3 oder 4 dargestellt ist. Wie bereits erklärt, kann die Reibung des Schiebers durch eine Änderung der Wellenlänge der konstanten Welle gesteuert werden.

jg Fig. 5 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Schiebers, bei dem die der Darstellung in Fig. 2 entsprechenden Elemente durch die selben Referenzzeichen bezeichnet sind. Wie in Fig. 5 dargestellt, kann eine Beweglichkeit in X-Y-Richtung erzielt werden, indem mehrere

„~ in Fig. 2 dargestellte Schieber miteinander kombiniert werden.

Obwohl die vorstehende Beschreibung auf Schieber mit linearen Bewegungsmöglichkeiten begrenzt war, ist die vorliegende

„_ Erfindung genauso auf Schieber anwendbar, die in Rotationsrichtung beweglich sind, wobei die gleichen Vorteile auftreten. Fig. 6 stellt ein drittes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dar, bei dem eine elastische Oberflächenwelle auf der Oberfläche eines ringförmigen elastischen Führungselements 10 in Form einer konstanten Welle

ausgebildet ist, wobei das Führungselement 10 in Berührung mit einem Rotationselement 11 steht; durch eine solche Ausbildung kann das Rotationselement 11 in einer Richtung θ durch eine kleine äußere Kraft gedreht werden. In einem

solchen Fall muß die Erzeugungsvorrichtung 12, falls sie 35

aus einem piezoelektrischen Element 7', wie in Fig. 4 dar-

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gestellt, besteht, nicht den gesamten Umfang des Führungselements 10 überdecken, sondern sie kann an mehreren Stellen des Führungselements angeordnet sein. Entsprechend kann die Reibung geeignet gesteuert werden, wenn mehrere Erzeugungsvorrichtungen 12 (piezoelektrische Elemente 7¹) unter schädlicher spezifischer Frequenzen vorgesehen sind. Zur Erzeugung einer konstanten elastischen Welle muß jedoch die mittlere Umfangsausdehnung des elastischen Führungselements jQ 10 etwa gleich einem Vielfachen des Abstands der kammartigen Elektroden 9 auf dem piezoelektrischen Element 7' sein, wobei dieser Abstand etwa der halben Wellenlänge der zu erzeugenden elastischen Welle entspricht.

Bei dem erfindungsgemäßen Schieber ist die Amplitude der elastischen Oberflächenwelle im allgemeinen kleiner als ein Mikrometer, obwohl sie auch davon abhängt, aus welchem Material das elastische Element hergestellt ist. Der erfindungsgemäße Schieber kann daher eine weit höhere Präzision verglichen mit herkömmlichen Schiebern erreichen; daher ist er auch bei Hochpräzisionsinstrumenten anwendbar, die bei Herstellung oder Überwachung integrierter Schaltkreise benötigt werden.

Außerdem kann der erfindungsgemäße Schieber im Vakuum oder bei Schwerelosigkeit angewendet werden, da er weder Schmierung noch hydraulischen oder pneumatischen Druck benötigt, das führt dazu, daß er in verschiedenen Vorrichtungen angewendet werden kann, die im Vakuum oder im Weltraum benutzt werden.

Ein Schieber zur Führung eines beweglichen Teils längs einer Führung hat ein elastisches Führungselement und ein bewegliches Element, das längs der Führung beweglich ist und mit zumindest einer Fläche in Berührung mit der Führung steht; eine konstante elastische Oberflächenwelle

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wird auf der Fläche der Führung erzeugt, die mit dem beweglichen Element in Berührung steht; dadurch wird das bewegliche Element auf dem Maxima der konstanten elastischen

5 Welle gelagert.

Claims

TeDTKE - BüHLINd'-^Ni ^'GtoKE. ÄSSÄS» PELLMANN-GRAMS-STRUiF- " ■9 / Q Q Q Π 7 Dipl.-Ing. R. Kinne 6 4 6 ö 8 U / Djp| _|ng R Grupe Dipl.-Ing. B. Pellmann Dipl.-Ing. K. Grams Dipl.-Chem. Dr. B. Struif Bavariaring 4, Postfach 20 8000 München 2 Tel.: 089-539653 Telex: 5-24845 tipat Telecopier: 0 89-537377 cable: Germaniapatent Mund 23.Oktober 1984 DE 4346 Patentansprüche

1. Schieber, gekennzeichnet durch ein Führungselement (3) aus elastischem Material, ein bewegliches Element (4), das zumindest mit einer seiner Flächen mit dem Führungselement (3) in Berührung ist und längs dem Führungselement (3) beweglich ist, und eine Vorrichtung (5) zur Erzeugung einer konstanten elastischen Oberflächenwelle auf der Fläche des Führungselements (3) die mit dem beweglichen Element (4) in Berührung steht.

2. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (5) zur Erzeugung einer elastischen Oberflächenwelle eine erste Vorrichtung zur Erzeugung einer sich ausbreitenden elastischen Oberflächenwelle auf dem Führungselement (3) umfaßt, sowie eine zweite Vorrichtung, die von der ersten Vorrichtung durch einen Abstand getrennt ist, der.einem Vielfachen der halben Wellenlänge der elastischen Oberflächenwelle entspricht, und die derart ausgebildet ist, daß sie eine sich ausbreitende elastische Oberflächenwelle erzeugt, die eine Wellenlänge hat, die der Wellenlänge der sich ausbreitenden, durch die erste Vorrichtung erzeugten Welle entspricht, wobei sich diese Welle jedoch in einer anderen Richtung ausbreitet.

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3. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

daß die Vorrichtung (5) zur Erzeugung einer elastischen Oberflächenwelle eine Vorrichtung zur Erzeugung einer sich ausbreitenden elastischen Oberflächenwelle auf dem Führungselement (3) aufweist, sowie eine Vorrichtung zur Reflexion der sich ausbreitenden elastischen Welle, wobei diese Vorrichtung von der Erzeugungsvorrichtung durch einen Abstand getrennt ist, der einem Vielfachen der halben WeI-lenlänge der elastischen Oberflächenwelle entspricht.

4. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Führungselement (10) ringförmig ist und das bewegliche Element (11) derart ausgebildet ist, daß es eine Ro-

.g tationsbewegung längs des Führungselements (10) ausführen kann.

5. Schieber nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (12) zur Erzeugung der elastischen

_nr. Oberflächenwelle eine Vorrichtung zur Erzeugung einer sich ausbreitenden elastischen Oberflächenwelle aufweist, die auf einem Abschnitt des Führungselements (10) angeordnet ist, und daß die mittlere Umfangslänge des Führungselements (10) gleich einem Vielfachen der halben Wellenlänge der

„_ elastischen Oberflächenwelle entspricht.

6. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (5)zur Erzeugung einer elastischen Oberflächenwelle ein piezoelektrisches Element (7) umfaßt, das

auf dem Führungselement (3) sitzt, kammartige Elektroden 30

(9), die auf dem piezoelektrischen Element (7) angeordnet sind, und eine Vorrichtung (8) zur Beaufschlagung der kammartigen Elektroden (9) mit einer Wechselspannung.

7. Schieber nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, 35

daß die Frequenz der Wechselspannung etwa gleich der Aus-

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breitungsgeschwindigkeit der elastischen Oberflächenwelle im Führungselement (3) geteilt durch den Abstand der kammartigen Elektroden (9) ist.

8. Schieber nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,

daß die Wechselspannungsquelle (8) eine Vorrichtung zur Änderung der Frequenz der Wechselspannung aufweist.

jQ

9. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (5) zur Erzeugung der elastischen Oberflächenwelle ein piezoelektrisches Element (7) aufweist, eine Vorrichtung zur Beaufschlagung des piezoelektrischen Elements (7) mit einer Wechselspannung und ein keilförmiges Element (6) zur Übertragung der Schwingung des piezoelektrischen Elements (7) auf das Führungselement (3).

10. Schieber nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz der Wechselspannung etwa gleich der spezifischen Frequenz des piezoelektrischen Elements (7) ist.

11. Schieber nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Wechselspannungsquelle (8) eine Vorrichtung zur Änderung der Frequenz der Wechselspannung aufweist.

12. Schieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

daß die Vorrichtung (5) zur Erzeugung der elastischen Oberflächenwelle mehrere piezoelektrische Elemente (7) unterschiedlicher spezifischer Frequenzen aufweist.