DE4433451A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Wasserdampfgehaltes in Gasen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren bzw. eine Vorrich­ tung zur Bestimmung des Wasserdampfgehaltes in Gasen gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. Anspruchs 14.

Für die Bestimmung des Wasserdampfgehaltes von gasförmi­ gen Medien sind heutzutage verschiedene Methoden bekannt. Eine der genauesten Methode besteht darin, in ein Eis/Wasser-Gemisch einen definierten Volumenstrom des zu untersuchenden Gases einzuleiten, und über die gravime­ trisch bestimmte Massenzunahme den Wasserdampfgehalt zu bestimmen. Diese Methode ist einerseits sehr aufwendig und außerdem nicht für kontinuierliche Messungen geeig­ net.

Andere Möglichkeiten der Bestimmung des Wasserdampfgehal­ tes bestehen darin, die relative Feuchte oder die Tau­ punkttemperatur zu messen. Diese Verfahren besitzen aber den Nachteil, daß ihr Anwendungsbereich sehr beschränkt ist. Die zur Bestimmung der Taupunkttemperatur verwende­ ten Taupunktspiegelmeßgeräte sind teuer und können nur bis zu einer Taupunkttemperatur von etwa 70°C eingesetzt werden. Außerdem wird bei Vorhandensein von Säurebildnern im zu untersuchenden gasförmigen Medium nicht der Tau­ punkt des Wasserdampfs sondern der Säuretaupunkt be­ stimmt. Über eine Umrechnung wird dann der Wasserdampf­ gehalt bestimmt. Diese Umrechnung führt zu entsprechenden Fehlern.

Die relative Feuchte kann auch mit Feuchtesensoren gemes­ sen werden. Bei Feuchtesensoren besteht aber die Gefahr der Zerstörung durch Säurefraß.

Aus der EP 0 548 842 A1 ist ein Verfahren zur Bestimmung des Wasserdampfgehaltes in Rauchgasen bekannt. Bei diesem Verfahren wird der Sauerstoffgehalt im feuchten und getrockneten Probengas mittels Zirkonoxidsensoren be­ stimmt und aus der Differenz der Sauerstoffwerte der Wasserdampfgehalt ermittelt. Hierbei müssen die Sensoren jedoch auf eine Arbeitstemperatur von über 350°C beheizt werden.

Bei einem weiteren Verfahren, bei dem ebenfalls der Sauerstoffgehalt gemessen wird, wird das Probengas mit Luft verdünnt, so daß die Taupunkttemperatur zu keinem Zeitpunkt unterschritten wird. Über das Verdünnungsver­ hältnis und den bekannten Sauerstoffgehalt der Luft und des Probengases wird der Wasserdampfgehalt bestimmt. Beide Verfahren sind insgesamt sehr aufwendig und damit fehleranfällig und außerdem relativ ungenau.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung der genannten Art zu schaffen, das bzw. die eine kontinuierliche Messung des Wasserdampfgehaltes eines Probengases ermöglicht, ein­ fach durchführbar ist, eine bestimmte Genauigkeit auch bei unterschiedlichsten Bedingungen gewährleistet, ko­ stengünstig arbeitet und eine hohe Betriebssicherheit aufweist. Das Probengas kann dabei eine bekannte oder eine noch zu bestimmende Zusammensetzung aufweisen.

Gelöst wird diese Aufgabe durch die im Anspruch 1 bzw. im Anspruch 14 angegebenen Merkmale.

Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen angegeben.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren bzw. der erfindungs­ gemäßen Vorrichtung zur Bestimmung des Wasserdampfgehal­ tes von Gasen wird im wesentlichen der Volumen- bzw. Massenstrom vor und nach dem Trocknen des Wasserdampf­ gehaltes des Probenstroms gemessen. Anschließend wird unter Berücksichtigung der Rest feuchte des getrockneten Gases der Wasserdampfgehalt des Probengases ermittelt. Die Messung erfolgt kontinuierlich und erlaubt die Be­ stimmung mit hinreichender Genauigkeit.

Die Trocknung des Probengasstromes und damit auch des im Probengasstrom befindlichen Wasserdampfgehaltes kann auf unterschiedlichste Weise erfolgen, beispielsweise durch Ausfrieren, Absorption, Adsorption, Permeation oder eine Kombination dieser Verfahren.

Das Ausfrieren ist in der Gasanalytik das üblichste Verfahren zur Gastrocknung. Normalerweise wird bis auf eine Taupunkttemperatur von ca. 0 bis 5°C getrocknet.

Vorrichtungen zum Durchführen des Ausfrierens sind bei­ spielsweise sogenannte Peltier-Kühlereinrichtungen oder die Leitung des Probengasstromes durch ein Eis-Wasser- Gemisch. Der Vorteil dieses Verfahrens liegt darin, daß nur geringe Verluste an anderen Gasbestandteilen auftre­ ten.

Eine andere Möglichkeit zum Trocknen des Probengasstromes ist die Absorption bzw. Adsorption. Hierunter versteht man die chemische bzw. physikalische Bindung des Wasser­ dampfes an ein Ab- bzw. Adsorptionsmittel. Die Mittel müssen vor Erreichen des Sättigungszustandes ausgetauscht und können durch einen weiteren Verfahrensschritt regene­ riert werden. Als Trocknungsmittel ist beispielsweise Silikagel geeignet. Vorzugsweise wird dieses Verfahren bei verhältnismäßig geringen Feuchten eingesetzt.

Eine weitere Möglichkeit, den Probengasstrom zu trocknen, besteht in der sogenannten Permeation. Hierunter versteht man die Verwendung einer Membran oder eines Gasleitungs­ materiales, welches der Wasserdampf selektiv durchdringen kann. Die Materialien sind unterschiedlich selektiv, wodurch sich auch unterschiedliche Verluste an anderen Gabbestandteilen einstellen. Ein Beispiel für ein solches Material ist Nafion, das durch chemische Bindung, Trans­ port und Wiederfreigabe des Wasserdampfes eine sehr schnelle und selektive Trocknung des Gasstromes erlaubt.

Das Verfahren ist für Gase bekannter und auch für zu detektierender Zusammensetzung geeignet. Es ist zur Messung von feuchten Abgasen sowie feuchter Luft in Industrie und Umweltschutz anwendbar, beispielsweise bei der Feuchtebestimmung in Prozeß- und Feuerungsabgasen in Verbindung mit Gasanalysesystemen. Insbesondere wird durch die strengen Richtlinien im Umweltbereich an ein solches Verfahren ein hoher Grad an Genauigkeit und Zuverlässigkeit gestellt.

Vorzugsweise ist es auch in Verbindung mit Detektions­ systemen zur Ermittlung von Emissionen von Feuerungsanla­ gen und Trocknungsprozessen einsetzbar.

Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand von zwei Figuren näher erläutert werden. Es zeigen

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur Bestimmung des Wasser­ dampfgehaltes, und

Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur Bestimmung des Wasser­ dampfgehaltes.

Die Fig. 1 zeigt einen schematischen Aufbau einer erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung. Eine Ansaugvorrichtung 1 ist über einen beheizbaren Schlauch 2 mit einer Gasleitung 20 verbunden. Die Gasleitung 20 ist durch eine Kapillare 4a oder einen anderen Strömungswiderstand unterbrochen. Vor und nach der Kapillare 4a zweigen jeweils eine Druckmeßleitung 10a, b an den mit 3a bzw. 3b gekennzeich­ neten Stellen ab. Die Gasleitung 20 mit der Kapillare 4a und die von der Gasleitung 20 anfänglich wegführenden Teile der Druckmeßleitungen 10a, b befinden sich in einer beheizbaren Kammer 3. Die aus der Kammer 3 führende Gasleitung 20 ist über eine weitere Gasleitung 21 mit einem Gaskühler 5 verbunden. Der Gaskühler 5 kann auch durch ein Eis/Wasser-Gemisch ersetzt werden. Vom Gasküh­ ler 5 geht eine weitere Gasleitung 22 ab, die zu einer Pumpe 6 führt. Die Gasleitung 22 ist durch eine Kapilla­ re 4b unterbrochen. Vor und nach der Kapillare 4b zwei­ gen jeweils eine Druckmeßleitung 11a, b an den mit 6a bzw. 6b gekennzeichneten Stellen ab. Die Pumpe 6 ist ausgangsseitig mit einer Gasleitung 23 verbunden, an die beispielsweise ein Gasanalysesystem anschließbar ist.

Die Druckmeßleitungen 10a, b sind über zwei Ventile 8a, b und eine Druckmeßleitung 10c miteinander verbunden. Das Ventil 8b ist über eine Gasleitung 10d mit einem Ventil 8c verbunden. Das Ventil 8c ist mit einer Gasleitung 11d, die zu einem Ventil 8d führt, verbunden. An das Ventil 8d sind die beiden Druckmeßleitungen 11a, b angeschlossen. Das Ventil 8c ist mit einem Druckmeßgerät 7 verbunden. Vom Druckmeßgerät 7 sowie vom Ventil 8a führt je eine Gasleitung zur Umgebung. Bei den Ventilen 8a, b, c, d kann es sich um Zwei- oder Mehrwegventile handeln.

Die Gasleitungen 20, 21, 22, 23 sowie die angeschlossenen Druckmeßleitungen 10a, 10b, 10c, 10d und 11a, 11b, 11c, 11d und die Ventile 8a, 8b, 8c, 8d sowie der Gaskühler 5 sind gasdicht miteinander verbunden, so daß kein Gasver­ lust im gesamten System auftritt und das über den Schlauch 2 einströmende Gas das System über die Gaslei­ tung 23 bis auf den auskondensierten Anteil wieder ver­ lassen muß.

Die Kapillaren 4a, b können gleichen oder unterschiedli­ chen Durchmesser besitzen. Bei Verwendung anderer Strö­ mungswiderstände können diese gleicher oder unterschied­ licher Art mit gleicher oder unterschiedlicher Größe bzw. Dimensionen sein.

Denkbar ist auch, vor oder nach dem Gaskühler 5 in die Gasleitung 21 bzw. 22 eine Lavaldüse oder einen Massen­ fluß-Wächter (Massflow-Controller) einzusetzen, um damit den Gasdurchsatz konstant zu halten. Dies kann auch durch die Steuerung der Pumpleistung erfolgen. Als weitere Möglichkeit, den Gasdurchsatz konstant zu halten, wäre die Geschwindigkeitsmessung an einem definierten Quer­ schnitt des Gasleitungssystems an dem das Strömungsprofil bekannt ist, möglich. Die einzelnen Komponenten, wie Heizung für oben Schlauch 2, Ventile 8a, 8b, 8c, 8d, Druckmeßgerät 7, Pumpe 6 und Gaskühler 5 sind vorteil­ hafterweise elektrisch bzw. elektronisch steuerbar und überwachbar.

Vorteilhafter Weise werden die Meßwerte einem elektro­ nischen Rechner zugeführt, der die Auswertung vornimmt und das ganze System steuert und überwacht.

Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung arbeitet folgen­ dermaßen.

Über die Ansaugvorrichtung 1 und den beheizten Schlauch 2 wird der feuchte Probengasstrom m1 mittels der Pumpe 6 angesaugt und der beheizten Kammer 3 zugeführt. Die Temperatur T1 der Kapillare 4a an der Stelle 3a wird mit einem in der Fig. 1 nicht dargestellten Tempera­ turfühler gemessen oder gleich der Innentemperatur der Kammer 3 gesetzt. Der Schlauch 2 und die Kammer 3 können hierfür z. B. auf einer konstanten definierten Temperatur gehalten werden, die sicher über der druckabhängigen Taupunkttemperatur des feuchten Probengasstroms m1 liegt. In der Kammer 3 wird der Probengasstrom m1 durch die Kapillare 4a geführt. Vor und nach der Kapillare 4a an den mit 3a bzw. 3b gekennzeichneten Stellen wird der Systemdruck p1 und p3 gegenüber dem Umgebungsdruck p0 bestimmt. Dazu werden die Hilfsgasleitungen 10a bzw. 10b über die Ventile 8a, b, c mit dem Druckmeßgerät 7 ver­ bunden. Nach der Kammer 3 gelangt der Probengasstrom m1 über die Gasleitung 21 zum Gaskühler 5. Im Gaskühler 5 wird der Probengasstrom auf eine definierte Temperatur von z. B. ca. 5°C abgekühlt, so daß sicher Wasserdampf auskondensiert. Dabei fällt der entsprechende Wasser­ dampfgehalt mw aus. Die Kühlertemperatur entspricht dann der Taupunkttemperatur des getrockneten Probengasstroms m2.

Der zumindest weitgehende trockene Probengasstrom m2 wird nach dem Gaskühler 5 über eine zweite Kapillare 4b gelei­ tet. Hierbei werden ebenfalls die Druckwerte p2 und p4 jeweils vor und nach der Kapillare 4b an den mit 6a bzw. 6b gekennzeichneten Stellen gemessen. Hierzu werden die Druckmeßleitungen 11a bzw. 11b über die Ventile 8d und 8c mit dem Druckmeßgerät 7 verbunden. Außerdem wird an der mit 6a gekennzeichneten Stelle die Temperatur T2 mittels eines in der Figur nicht dargestellten Temperaturfühlers gemessen. Die Druckdifferenzen dp1 = p3-p1 und dp2 = p4- p2 an den Kapillaren 4a bzw. 4b sind unter Beachtung der Dichte des Probengasstromes ein Maß für den Volumen- bzw. Massenstrom. Über die Bilanzgleichung m1=m2+mw kann der Wasserdampfanteil bestimmt werden.

Der Restfeuchtegehalt des trockenen Probengasstroms kann erfindungsgemäß bestimmt oder bei nur geringen Anteilen vernachlässigt bzw. geschätzt werden. Die Bestimmung kann durch Messung der relativen Feuchte, des Taupunktes oder bei Verwendung eines Gaskühlers über die Kühlertemperatur erfolgen.

In Fig. 2 ist ein zweites Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur Bestimmung des Wasserdampfgehaltes von Gasen dargestellt. Gleiche Bezugszeichen stehen wieder, sofern nicht anders angegeben, für die bereits bekannten Teile mit gleicher Bedeutung.

Im Gegensatz zu der Ausführungsform in Fig. 1 sind die Druckmeßleitungen 10a, 10b bzw. 11a, 11b an ihren den Kapillaren 4a, 4b bzw. den entsprechenden Strömungswider­ ständen abgewandten Enden jeweils mit einer Druckdiffe­ renzeinrichtung 7a, 7b, z. B. einem Druckdifferenzsensor, in Verbindung. Mittels dieser Druckdifferenzmeßeinrich­ tung 7a bzw. 7b sind die Differenzdrücke, die zwischen dem Eingang und Ausgang der beiden Kapillaren 4a bzw. 4b herrschen, bestimmbar. Die Druckdifferenzmeßeinrichtung 7a bestimmt die Druckdifferenz dp1 und die Druckdiffe­ renzmeßeinrichtung 7b die Druckdifferenz dp2. zusätzlich weist die in Fig. 2 dargestellte Vorrichtung zwei weitere Absolutdruckmeßeinrichtungen 9a und 9b, beispielsweise Absolutdrucksensoren, auf. Die Absolutdruckmeßeinrichtung 9a ist über eine weitere Druckmeßleitung 12a mit der Gasleitung 21 vor dem Gaskühler 5 in Verbindung. Die Absolutdruckmeßeinrichtung 9b ist dagegen mit einer weiteren Druckmeßleitung 12b mit der Gasleitung 22 in Verbindung, und zwar im Bereich der eingangsseitigen Stelle 6a der Kapillare 4b.

Im Unterschied zur Darstellung von Fig. 1 ist die Pumpe 6 jetzt nicht ausgangsseitig an die Kapillare 4b, sondern zwischen die Kapillare 4b und den Gaskühler 5 geschaltet. Die Absolutdruckmeßeinrichtung 9b liegt zwischen der Ausgangsseite dieser Pumpe 6 und der Kapillare 4b. Es ist hier noch zu erwähnen, daß nicht notwendigerweise ein Gaskühler 5 in den in Fig. 1 und 2 vorgestellten Vorrich­ tungen verwendet werden muß. Es ist vielmehr jede Ein­ richtung hier verwendbar, die den Wasserdampfgehalt des Probengasstromes aus trocknet oder zumindest weitgehend austrocknen kann. Als mögliche Verfahren des Austrocknens kommen Ausfrieren, Absorption, Adsorption, Permeation oder eine Kombination dieser Verfahren in Betracht.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist für Probengasströme bekannter und unbekannter Ausammensetzung anwendbar. Der Probengasstrom kann aus einem Medium bekannter che­ mischer Zusammensetzung, z. B. Luft, bestehen. Besteht der Probengasstrom aus einem Medium, dessen chemische Zusam­ mensetzung unbekannt ist, so besteht die Möglichkeit, diese Zusammensetzung durch ein Gasanalysesystem quanti­ tativ zu bestimmen z. B. wenn es sich um Abgase aus Ver­ brennungsprozessen handelt, deren Zusammensetzung in der Regel nur qualitativ bekannt ist. Eine weitere Möglich­ keit, die Gasdichte des Probengasstromes zu bestimmen, besteht darin, diese gravimetrisch oder durch Vergleich der Ausströmgeschwindigkeiten zu ermitteln.

Die wesentlichen Merkmale des Verfahrens bestehen darin, den Volumenstrom des feuchten Probegasstromes m1 zu messen. Dies muß bei einer Temperatur, die höher als die Taupunkttemperatur ist, erfolgen. Druck und Temperatur des Probengasstromes m1 sind zu messen oder müssen be­ kannt sein. Anschließend erfolgt ein Auskondensieren des Wasserdampfgehaltes des Probengasstromes m1 bis auf einen Restgehalt. Dieser Restgehalt ist über Druck- und Tempe­ raturwerte konstant zu halten oder bestimmbar. Eine weitere Möglichkeit, diesen Restgehalt zu bestimmen, besteht in einer Feuchte- oder Taupunktmessung. Nach der Auskondensation erfolgt eine Bestimmung des Volumenstro­ mes des trockenen Probengasstromes m2. Druck und Tempe­ ratur des Probengasstromes m2 sind zu messen oder müssen konstant sein.

Die Bestimmung der Normdichte des trockenen Proben­ gasstromes m2 erfolgt entweder durch die Ermittlung der chemischen Zusammensetzung oder durch Messen der Gasdich­ te. Der Wasserdampfgehalt kann dann aus den Meßwerten ermittelt werden.

Claims (20)

1. Verfahren zur Bestimmung des Wasserdampfgehaltes von Gasen, bei welchem ein Probengasstrom von dem zu untersu­ chenden Gas abgezogen wird, dadurch gekennzeichnet, daß in einem ersten Verfahrensschritt ein Volumen- und/oder Massenstrom (m1) des Probengasstromes gemessen wird, daß in einem zweiten Verfahrens schritt der Wasserdampfgehalt des Probengasstroms bis zu einem bestimmten Restwasser­ dampfgehalt getrocknet wird, daß in einem nachfolgenden dritten Verfahrensschritt der Volumen- und/oder Massen­ strom (m2) des Probengasstroms erneut gemessen wird, und daß in einem vierten Verfahrensschritt aus der Differenz der beiden ermittelten Volumen- und/oder Masseströme (m1, m2) der Wasserdampfgehalt des Gases bestimmt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Volumen- bzw. Massenströme (m1 bzw. m2) aus Druckdif­ ferenzen (dp1 bzw. dp2), die vor und nach einem Strö­ mungswiderstand (4a bzw. 4b), durch welche der Proben­ gasstrom geführt wird, bei einer Temperatur (T1 bzw. T2) auftreten, bestimmt werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Volumen- oder Massenstrom (m1 bzw. m2) des feuchten bzw. trockenen Probengasstroms konstant gehalten wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Aufrechterhaltung des konstanten Volumen- oder Mas­ senstroms (m1 bzw. m2) eine Lavaldüse oder ein Massen­ flußwächter (Massflow-Contoller) verwendet wird.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Volumen- oder Massenstrom (m1 bzw. m2), durch die Steuerung der Pumpleistung der Pumpe 6 gesteuert bzw. geregelt wird.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Volumen- oder Massenstrom (m1 bzw. m2) des Probengasstroms durch Geschwindigkeits­ messung in einem definierten Querschnitt bekannten Strö­ mungsprofils erfolgt.

7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trocknung des Probengasstroms durch Kühlung auf eine konstante Temperatur erfolgt.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlung des Probengasstroms auf eine konstante Tempe­ ratur durch Einleiten des Probengasstroms in ein Eis/Wasser-Gemisch oder in einen Gaskühler (5) erfolgt.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Restfeuchtegehalt des Probengasstroms nach der Kon­ densation über die Kühltemperatur bestimmt wird.

10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Restfeuchte des getrockneten Probengasstromes durch ein vorgegebenes Trocknungsmittel, insbesondere Silikagel, so weit reduziert wird, daß sie für die Be­ stimmung des Wasserdampfgehaltes vernachlässigbar oder über einen Schätzwert berücksichtigt wird.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Trocknung des Probengasstromes durch Ausfrieren, Absorption, Adsorption, Permeation oder Kombination dieser Verfahren erfolgt.

12. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Restfeuchtegehalt des getrockneten Proben­ gasstroms durch eine Messung der relativen Feuchte oder des Taupunkts bestimmt wird.

13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Probengasstrom aus einem feuchten gasförmigen Medium bekannter chemischer Zusammensetzung, z. B. Luft, besteht.

14. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Probengasstrom in seiner qualitativen chemischen Zusammensetzung bekannt ist und die wesentlichen Bestand­ teile durch Detektion mittels eines Gasanalysesystems und Berechnung qualitativ bestimmt werden.

15. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der trockene Probengasstrom in seiner chemischen Zusammensetzung unbekannt ist und die Gasdichte desselben gravimetrisch oder durch Vergleich von Ausströmgeschwin­ digkeiten ermittelt wird.

16. Vorrichtung zur Bestimmung des Wasserdampfgehaltes von Gasen mit einer Gaszuleitung (20), die zu einer Trocknungsvorrichtung (5) führt und einer Gasableitung (22), die von dieser wegführt, dadurch gekennzeichnet, daß die Gaszuleitung (20) und die Gasableitung (22) jeweils eine Vorrichtung zur Bestimmung des Volumen- bzw. Massenstromes (m1 bzw. m2) eines in der Gaszuleitung (20) bzw. Gasableitung (22) geführten Probengasstromes auf­ weisen, und daß eine Auswerteeinrichtung vorgesehen ist, um aus der Differenz der beiden ermittelbaren Volumen- bzw. Masseströme (m1 bzw. m2) den Wasserdampfgehalt des Gases zu bestimmen.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Bestimmung des Volumen- bzw. Massenstromes aus einem definierten Strömungswiderstand (4a bzw. 4b) besteht, dessen Eingänge (3a bzw. 6a) und Ausgänge (3b bzw. 6b) jeweils mit einem Druckmeßgerät (7) verbindbar sind.

18. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß in der Zu- oder Ableitung des Gasweges (22) eine Pumpe (6) angeordnet ist.

19. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß mittels einer Lavaldüse oder eines Massflow-Control­ lers ein Volumen- oder Massenstrom (m1 bzw. m2) konstant gehalten wird.

20. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß durch eine Absaugvorrichtung auf Seite der Gasablei­ tung ein Unterdruck erzeugt und über einen Strömungswi­ derstand ein Stellglied vorgesehen ist.