DE4424225A1 - Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte - Google Patents
Tastkopf für KoordinatenmeßgeräteInfo
- Publication number
- DE4424225A1 DE4424225A1 DE4424225A DE4424225A DE4424225A1 DE 4424225 A1 DE4424225 A1 DE 4424225A1 DE 4424225 A DE4424225 A DE 4424225A DE 4424225 A DE4424225 A DE 4424225A DE 4424225 A1 DE4424225 A1 DE 4424225A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- probe
- measuring
- deflection
- probe according
- clamping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/03—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means
- F16F15/035—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means by use of eddy or induced-current damping
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
- G01B3/008—Arrangements for controlling the measuring force
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte
mit Meßsystemen zur Messung der Auslenkung des nachgiebigen
Teils des Tastkopfs und elektromagnetischen Kraftgeneratoren
zur Erzeugung von Meßkräften vorgebbarer Größe und Richtung.
Ein solcher Tastkopf ist beispielsweise in der DE-PS 22 42 355
beschrieben. Er gehört zur Gattung der sogenannten "messenden"
Tastköpfe, die ein der Auslenkung des Taststiftträgers
proportionales Signal abgeben, im Gegensatz zu sogenannten
"schaltenden" Tastköpfen, die lediglich ein impulsförmiges
Signal zum Zeitpunkt der Berührung mit dem Werkstück erzeugen.
Die Meßkraftgeneratoren des bekannten Tastkopfes sind
Tauchspulensysteme, die im oberen Teil des Tastkopfs
angeordnet sind, damit die beim Betrieb auftretende Abwärme
möglichst von den nach Art eines Federparallelogramms
angeordneten Führungen ferngehalten ist, an denen der
nachgiebige Taststiftträger aufgehängt ist. Zur Übertragung
der von den Tauchspulen ausgeübten Kräfte auf die den
einzelnen Koordinatenrichtungen zugeordneten
Federparallelogrammen dient ein Gestänge, wodurch die
Kraftübertragung indirekt und "weich" wird. Die
Federparallelogramme können auch in den einzelnen
Koordinatenrichtungen geklemmt werden und zwar durch
mechanische Rasten, über die die Auslenkbewegung der
Federparallelogramme in ihrem elektrischen bzw. mechanischen
Nullpunkt gefesselt wird.
Bei diesem Tastkopf ist es schwierig, die Meßkräfte und die
Klemmung in anderen als den durch die Federparallelogramme
mechanisch vorgegebenen Richtungen gezielt einzustellen.
In der DE-PS 32 10 711 ist ein weiterer Tastkopf vom
"messenden" Typ beschrieben. Bei diesem Tastkopf sind die
Meßkraftgeneratoren direkt an den ebenfalls als
Federparallelogramme ausgebildeten Führungen für die
verschiedenen Auslenkrichtungen angeordnet. Dem Tastkopf ist
eine Elektronik zugeordnet, über die die resultierende
Richtung des Kraftvektors entsprechend vorgegebenen Sollwerten
beliebig eingestellt werden kann. Den einzelnen
Führungsrichtungen sind außerdem passive Dämpfungselemente
zugeordnet, die verhindern, daß der nachgiebige Taststift
unkontrolliert um seinen Nullage oszilliert. Eine Möglichkeit
zur Klemmung des nachgiebigen Taststiftträgers in einzelnen
Koordinatenrichtungen bietet dieser bekannte Tastkopf jedoch
nicht.
Aus der EP 0 569 694 A2 ist ein Tastkopf bekannt, der
elektronisch geklemmt werden kann, indem die Antriebe im
Tastkopf bei Tasterauslenkungen mit hohen Rückstellkräften
beaufschlagt werden. Der Aufbau des Tastkopfes ist jedoch
nicht näher beschrieben.
Aus der DE 40 01 981 A1 ist es bekannt, die Schwingungen des
Querarms eines Ständermeßgerätes durch eine tastkopfseitige
Zusatzmasse zu dämpfen und zwar entweder unter Verwendung
einer viskosen Flüssigkeit, in der sich die Zusatzmasse
bewegt, oder aktiv mit Hilfe eines Antriebs für die
Zusatzmasse und einer Regeleinrichtung, die den Antrieb
abhängig von den Signalen eines Schwingungssensors betreibt.
Hierdurch wird jedoch allenfalls der Tastkopf insgesamt in
Ruhe gehalten, nicht jedoch die Relativbewegung zwischen dem
nachgiebig gelagerten Taststifts und dem gehäusefesten Teil
des Tastkopfes gedämpft.
Zudem besitzen die eingangs genannten Tastköpfe alle einen
relativ komplizierten und damit aufwendigen und teueren
mechanischen Aufbau, unter anderem weil für die Klemmung und
Dämpfung separate zusätzliche Baugruppen verwendet sind, die
darüber hinaus, was die Einstellung der Klemmkräfte und
Dämpfungscharakteristiken betrifft, wenig flexibel sind und
nur schwer an unterschiedliche Betriebsbedingungen bzw.
Meßaufgaben angepaßt werden können.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung einen Tastkopf
vom messenden Typ zu schaffen, der sowohl eine Einrichtung zur
Klemmung als auch zur Dämpfung der Bewegung des nachgiebigen
Taststiftträgers enthält, und der bei möglichst einfachem
Aufbau variabel einsetzbar ist.
Diese Aufgabe wird durch eine Ausbildung des Tastkopfes gemäß
den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst.
Bei dem erfindungsgemäßen Tastkopf arbeiten die
Kraftgeneratoren, die Klemmeinrichtung und die
Dämpfungseinrichtung d. h. alle drei Funktionsbaugruppen auf
elektromagnetischem Wege und es ist deshalb möglich, alle
diese Funktionen in den Kraftgeneratoren bzw. in der zu ihrer
Ansteuerung verwendeten Elektronik zusammenzufassen.
Beispielsweise ist es möglich, die Dämpfungseinrichtung nach
dem Wirbelstrom-Prinzip aufzubauen, indem der Spulenkörper der
für die Kraftgeneratoren verwendeten Tauchspulen aus Metall,
beispielsweise aus Kupfer gefertigt wird.
Die metallische Ausführung des Spulenkörpers bietet außerdem
die Möglichkeit, die Tauchspulen effektiv zu kühlen, wodurch
es möglich wird, die Kraftgeneratoren direkt an den Führungen
für die verschiedenen Auslenkrichtungen des Tastkopfes
anzuordnen, weil das Problem der Abwärme dann nicht mehr
auftritt. Andererseits wird durch den direkten Antrieb der
Führungen im Tastkopf letzterer sehr steif, was die Dynamik
des Tastkopfes erhöht, d. h. der Taststift kann im scannenden
Betrieb der Werkstückoberfläche besser folgen und zwar auch
bei hohen Abtastgeschwindigkeiten.
Ebenso ist es möglich, die Dämpfung des nachgiebigen Teils
bzw. Taststiftträgers elektronisch durch eine Regelschaltung
zu realisieren, die ein der Geschwindigkeit der Auslenkung des
nachgiebigen Teils proportionales jedoch der Auslenkrichtung
entgegengerichtetes Signal auf die Kraftgeneratoren
aufschaltet. Bei dieser Art der Dämpfung werden praktisch
keine zusätzlichen Bauelemente benötigt, vielmehr können die
für die Meßkraftaufschaltung erforderlichen Kraftgeneratoren
bzw. Tauchspulen und die zu ihrer Ansteuerung mit der
vorgewählten Meßkraft ohnehin erforderliche Elektronik
mitverwendet werden. Diese Lösung ist außerdem äußerst
flexibel, da dann die Dämpfungscharakteristik
prozessorgesteuert einstellbar ist, so daß beispielsweise dann,
wenn die Maschine im Eilgang fährt, die Dämpfungskonstante
erhöht wird, während beim eigentlichen Messen am Werkstück die
Dämpfungskonstante reduziert wird.
In gleicher Weise läßt sich der nachgiebige Teil des
Tastkopfes in beliebigen Richtungen elektronisch klemmen,
indem die Meßkraftgeneratoren bzw. Tauchspulen durch eine
elektrische Regelschaltung mit entsprechend hoher
Regelverstärkung ebenfalls beispielsweise durch einen
Mikroprozessor gesteuert einstellbar sind.
Abgeleitet werden können die für die Klemmung und Dämpfung
erforderlichen Signale von den ohnehin im Tastkopf vorhandenen
Meßsystemen, die das der Auslenkung des nachgiebigen Teils in
der jeweiligen Koordinatenrichtung proportionale Tastsignal
liefern, so daß auch insofern keine weiteren Sensoren
erforderlich sind.
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der
nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand
der Figuren der beigefügten Zeichnungen.
Fig. 1 ist eine perspektivische Prinzipskizze, die den
mechanischen Aufbau des Tastkopfs zeigt;
Fig. 2 zeigt eine der Führungen des Tastkopfs aus Fig. 1
mit dem ihr zugeordneten Kraftgenerator im Schnitt
entlang der Symmetrieachse des Kraftgenerators;
Fig. 3 ist eine Ansicht des Kraftgenerators aus Fig. 2
entsprechend der Linie III in Fig. 2;
Fig. 4 ist ein vereinfachtes Blockschaltbild der zur
Ansteuerung der Kraftgeneratoren verwendeten
Elektronik;
Fig. 5 ist eine detailliertere Schaltskizze der Elektronik
aus Fig. 4.
Der in Fig. 1 dargestellte Tastkopf besitzt ein gehäusefestes
Teil in Form eines Winkels, dessen oberer waagerechter
Schenkel (1) eine Aufnahmeschwalbe zur Befestigung des
Tastkopfs an der Pinole des nicht näher dargestellten
Koordinatenmeßgerätes aufweist. Mit dem vertikalen Schenkel
(2) des gehäusefesten Teils ist über ein Paar beabstandete und
in der Mitte verstärkte Federbleche (5) und (6) der vertikale
Teil (3) eines weiteren L-förmigen Winkels verbunden. Die
hieraus resultierende Parallelogrammführung bildet die
z-Führung des Tastkopfes.
Am waagerechten Teil (4) des in z beweglichen Winkels ist über
ein zweites Paar verstärkter Federbleche (7) und (8) eine
Platte (9) beweglich aufgehängt, die die y-Führung des
Tastkopfes bildet. An dieser wiederum hängt ein um 90°
gegenüber den Federblechen (7) und (8) gedrehtes drittes Paar
Federbleche (11) und (12), das die Platte (9) mit einer
weiteren Platte (10) verbindet, welche die x-Führung des
Tastkopfs darstellt. Die Platte (10) trägt den Taststift (13)
mit der Tastkugel (14).
Jede der drei Parallelogrammführungen ist mit einem
Meßkraftgenerator nach Art eines Tauchspulenantriebes
versehen. Hierzu ist am feststehenden Teil (2) der erste
Magnet (15), an der Unterseite des Schenkels (4) der zweite
Magnet (16) und an der Platte (9) der dritte Magnet (17) des
betreffenden Tauchspulenantriebs befestigt, während die
beweglichen Teile, d. h. die Spulenkörper der
Tauchspulenantriebe mit den auslenkbaren Teilen (3, 9 und 10)
der z, y und x-Führung verbunden sind.
Ebenfalls dargestellt sind die drei Meßsysteme (21, 22 und 23),
mit denen die Auslenkung der geführten Teile des Tastkopfes in
den drei genannten Koordinatenrichtungen laufend ermittelt
wird. Hierbei handelt es sich um sogenannte LVDT-Systeme, das
sind im wesentlichen bei einer Trägerfrequenz betriebene
Induktionsspulen, die ein der Stellung des darin
verschiebbaren Kerns proportionales Wegsignal abgeben.
In Fig. 2 ist die X-Parallelogrammführung mit dem zugehörigen
Meßkraftgenerator im Schnitt detaillierter dargestellt. Der
mittels eines Verbindungsteils (25) an die Platte (9)
angesetzte feststehende Teil (17) des Meßkraftgenerators
besteht aus einem topfartigen Weicheisenteil (26), in den
zentrisch ein zylinderförmiger Permanentmagnet (27) mit einem
zweiten Weicheisenteil (28) eingesetzt ist. Hierdurch entsteht
ein symmetrisch von den Feldlinien des Magneten (27)
durchflossener Ringspalt, in den ein ebenfalls topfförmiger
Spulenkörper eingesetzt ist. Der Spulenkörper (29) ist über
das Verbindungselement (19) mit der beweglichen Platte (10)
der x-Führung verbunden. Der Spulenkörper (29) besteht auch im
Bereich des Ringspaltes, wo er die Windungen (30) der
Tauchspule trägt, aus einem gut wärmeleitenden und elektrisch
leitenden Material wie beispielsweise Kupfer. Das hat zwei
Vorteile: zum einen gestattet es, auf relativ einfache Weise
mittels eines in eine Ringnut des Spulenkörpers (29)
eingelöteten Kühlrohres (31) die in der Spule (30) entstehende
Wärme durch Flüssigkeitskühlung abzuführen. Hierzu ist das
Kühlrohr (31) über einen möglichst flexiblen Schlauch (32) mit
einem außerhalb des Tastkopfes, beispielsweise am oberen Ende
der Pinole des Koordinatenmeßgeräts angeordneten Wärmetauscher
verbunden. Zum anderen wirkt der kupferne Spulenkörper (29)
als Wirbelstrombremse und dämpft somit die Bewegungen der
Platte (10) relativ zur Platte (9) der Parallelogrammführung.
Um einen möglichst guten Wärmetransport zu gewährleisten sind
die Windungen der Spule (30) mittels Wärmeleitpaste in den
Spulenkörper (29) eingebettet.
Im beschriebenen Ausführungsbeispiel sind die drei
Meßkraftgeneratoren (15, 16 und 17) direkt in die drei
Führungssysteme für die Koordinaten z, y und x integriert und
übernehmen gleichzeitig neben der Erzeugung der gewünschten
Meßkraft, die letztendlich von der Tastkugel (14) auf das zu
vermessende Werkstück ausgeübt wird, die "Klemmung" der
Führungssysteme in vorgegebenen Richtungen und zwar in
beliebigen Richtungen, die nicht notwendigerweise mit den
Führungsrichtungen x, y und z zusammenfallen. Darüberhinaus
kann mit Hilfe der als Tauchspulen ausgebildeten
Meßkraftgeneratoren zusätzlich zu der passiven Dämpfung nach
dem vorstehend genannten Prinzip der Wirbelstrombremse wie
noch beschrieben wird eine aktive geschwindigkeits
proportionale Dämpfung aufgeschaltet werden, wobei das
Dämpfungsverhalten gezielt einstellbar ist. Ermöglicht wird
all dies durch die in den Fig. 4 und 5 beschriebene
mikroprozessorgesteuerte elektronische Regelschaltung.
Wie aus der vereinfachten Prinzipskizze nach Fig. 4
hervorgeht besteht das System aus einem Mikroprozessor (40),
der über einen Datenbus mit dem hier nicht dargestellten
Rechner des Koordinatenmeßgerätes kommuniziert. Der
Mikroprozessor (40) seinerseits steuert drei im wesentlichen
identische elektronische Schaltungen, von denen eine, die
Schaltung (41), zur Ansteuerung des Meßkraftgenerators (17)
für die x-Führung dargestellt ist. Gleichzeitig erhält der
Mikroprozessor (40) über die Schaltung (41) ein die Stellung
bzw. momentane Auslenkung des Führungssystems x
charakterisierendes Signal, d. h. das Ausgangssignal des
Meßwertgebers (23) zugeführt. Hierzu ist, wie aus Fig. 5
hervorgeht, der an einen Trägerfrequenzmeßverstärker (49)
angeschlossene Meßwertgeber (23) über einen
Analog/Digitalwandler (50) mit einem Dateneingang des
Mikroprozessors verbunden.
Die Schaltung (41) erhält drei Komponenten (42, 43 und 44),
über die sich jeweils die vom Meßkraftgenerator (17) erzeugte
Meßkraft gegebenenfalls in Verbindung mit der Funktion
Dämpfung sowie auch die Klemmung des Systems einstellen läßt.
Für die Einstellung der Meßkraft existieren zwei
unterschiedliche und auch alternativ nutzbare Möglichkeiten:
zum einen kann eine Meßkraft konstanter Größe, unabhängig von der Auslenkung der betreffenden Führung erzeugt werden. Das ist durch die waagerechte gestrichelte Linie im Block (42) in Fig. 4 verdeutlicht. Zum anderen besteht die Möglichkeit, eine der Auslenkung proportionale aber entgegengerichtete Meßkraft zu erzeugen, d. h. die Kennlinie einer idealen Feder elektronisch nachzubilden. Das ist durch die strichpunktierte Kennlinie im Block (42) von Fig. 4 verdeutlicht.
zum einen kann eine Meßkraft konstanter Größe, unabhängig von der Auslenkung der betreffenden Führung erzeugt werden. Das ist durch die waagerechte gestrichelte Linie im Block (42) in Fig. 4 verdeutlicht. Zum anderen besteht die Möglichkeit, eine der Auslenkung proportionale aber entgegengerichtete Meßkraft zu erzeugen, d. h. die Kennlinie einer idealen Feder elektronisch nachzubilden. Das ist durch die strichpunktierte Kennlinie im Block (42) von Fig. 4 verdeutlicht.
Die elektronische Klemmung erfolgt durch Aufschaltung einer
sehr starken, der Auslenkung entgegenwirkenden Meßkraft, was
einer Federkennlinie mit sehr hoher Steilheit entspricht,
wobei diese Kennlinie dann bei Erreichen des durch die Spulen
des Meßkraftgenerators (17) maximal fließenden Stromes
begrenzt wird.
Die Dämpfungscharakteristik wird erzeugt durch Aufschalten
einer der Geschwindigkeit der Auslenkung des Führungssystems
proportionalen Gegenkraft, wobei sich die Stärke der Dämpfung
über den Proportionalitätsfaktor einstellen läßt.
Somit gehorcht das Regelverhalten der Schaltung (41) im
wesentlichen folgender mathematischen Funktion:
Fx = K1 - K2 · Px - K3 · dPx/dt (1)
Hierin beschreibt K1 die Größe der konstanten,
auslenkungsunabhängigen Meßkraft, K2 die
Proportionalitätskonstante der auslenkungsproportionalen
Gegenkraft bei der Klemmung bzw. Meßkrafterzeugung durch
nachbilden einer Federkennlinie und K3 die Stärke der
geschwindigkeitsproportionalen Dämpfung.
Zur Ansteuerung der Meßkraftgeneratoren entsprechend der
Gleichung (1) dient die in Fig. 5 dargestellte
Regelschaltung. Dort werden die konstanten K1, K2 und K3 von
entsprechenden Datenleitungen bzw. Digitalausgängen des
Mikroprozessors (40) als Digitalinformation zur Verfügung
gestellt. Die Konstante K1, die den Wert der auslenkungs
unabhängigen Meßkraft beschreibt, wird von einem
Digital/Analogwandler (41) in ein analoges Signal umgewandelt
und dem Stromverstärker (42) zugeführt, dessen Ausgang mit der
Tauchspule (30) des Meßkraftgenerators (17) verbunden ist. Da
eine entsprechende Schaltung für alle drei Meßkraftgeneratoren
(15, 16 und 17) vorgesehen ist, läßt sich durch entsprechende
vektorielle Ansteuerung die Richtung der Meßkraft gezielt
vorgeben. Der Spannungsabfall am Meßwiderstand (43) im
Stromkreis der Spule (30) des Meßkraftgenerators (17) wird
einem Analog/Digitalwandler (44) zugeführt und gelangt als
digitale Information an einen Dateneingang des
Mikroprozessors. Somit kann die Information über die
tatsächlich aufgebrachte Meßkraft vom Mikroprozessor (40) bzw.
dem Rechner des Koordinatenmeßgerätes weiterverarbeitet
werden, beispielsweise zur Korrektur der von der Meßkraft
abhängigen Biegungen des Taststifts (13) oder anderer
elastischer Komponenten des Koordinatenmeßgeräts.
Zur Einstellung der geschwindigkeitsabhängigen Dämpfung wird
das vom Trägerfrequenzmeßverstärker (49) gelieferte
Positionsmeßsignal Px über einen Hochpaß (48) einen
programmierbaren Verstärker (47) zugeführt. Dessen
Verstärkungsfaktor ist entsprechend der Konstante K3
einstellbar. Auf diese Weise läßt sich die Steilheit der
Regelkennlinie F(vx) einstellen. Der Ausgang des
programmierbaren Verstärkers (47) ist ebenfalls an den Eingang
des Stromverstärkers (42) für den Meßkraftgenerator (17)
gelegt.
Zur Einstellung von Klemmkraft und Klemmrichtung ist ein
zweiter programmierbarer Verstärker (45) vorgesehen. Die
Stärke der Klemmung, d. h. die Steilheit der Kennlinie des
Reglers wird durch die Konstante K2 bestimmt, die den
Verstärkungsfaktor des programmierbaren Verstärkers (45)
einstellt. Da jedoch außerdem die Richtung der Klemmkraft
vektoriell vorgegeben werden soll, wird ein entsprechend
berechnetes digitales Signal PSoll, das von einem
Digitalausgang des Mikroprozessors (40) zur Verfügung gestellt
wird, von einem Digital/Analogwandler (46) in ein Analogsignal
gewandelt und dem Eingang des programmierbaren Verstärkers
(45) zugeführt. Dessen Ausgang ist wieder an den Eingang des
Stromverstärkers (42) angeschlossen. Gleichzeitig ist auch der
Ausgang des Trägerfrequenzmeßverstärkers (49) mit dem Eingang
des programmierbaren Verstärkers (45) verbunden, der somit ein
der Auslenkung des Taststifts (13) entgegengerichtetes Signal
erhält, das vom Verstärker (45) sehr hoch verstärkt wird.
Zur Einstellung der Richtung der Gegenkraft berechnet der
Mikroprozessor (40) aus der vom Analog/Digitalwandler (50)
erhaltenen Information über den aktuellen Istwert Px der
Auslenkung den Vorgabewert PSoll für den Verstärker (45).
Letzteres läuft folgendermaßen ab: soll der Taststift (13) in
der x-Richtung geklemmt werden, so wird PSoll zu null gesetzt
und jede versuchte Verlagerung aus diesem Nullpunkt erzeugt
über die über den Widerstand (49) führende analoge
Regelschleife eine sehr hohe auslenkungsabhängige Gegenkraft.
Soll die x-Achse dagegen entklemmt werden, so wird PSoll
laufend auf den Wert von -Px gesetzt. Die am Eingang des
Verstärkers (45) aufsummierten Beiträge von PSoll und Px
kompensieren sich dann gegenseitig, so daß die x-Führung
ausgelenkt werden kann, ohne daß der Verstärker (45)
"gegensteuert". Die Drehung der Klemmkraft in der Ebene x/y
beispielsweise erfolgt dadurch, daß die Werte von PSoll für
die x und y-Richtung in das entsprechende Verhältnis gesetzt
werden, das der Normalen K- zum Richtungsvektor K der
Klemmkraft entspricht. Es gilt dann:
Im vorstehenden Ausführungsbeispiel sind die
Meßkraftgeneratoren (15-17) als Tauchspulensysteme ausgeführt.
Es ist jedoch auch möglich, die Tauchspulen durch andere
elektromagnetische Antriebe wie beispielsweise Linearmotoren
etc. zu ersetzen.
Claims (10)
1. Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte mit Meßsystemen (21-23)
zur Messung der Auslenkung des nachgiebigen Teils des
Tastkopfes, elektromagnetischen Kraftgeneratoren (15-17)
zur Erzeugung von Meßkräften vorgebbarer Größe und
Richtung sowie eine Einrichtung zum Fesseln bzw. Klemmen
des nachgiebigen Teils in vorgebbaren Richtungen, wobei
- - der nachgiebige Teil (10) des Tastkopfes über ein Führungssystem in verschiedenen Richtungen auslenkbar ist und die Kraftgeneratoren direkt an den Führungen für die verschiedenen Richtungen (x, y, z) angeordnet sind,
- - die Einrichtung zum Fesseln bzw. Klemmen eine elektronische Regelschaltung (43) umfaßt, die ein der Auslenkung des nachgiebigen Teils entgegengerichtetes Signal auf die Kraftgeneratoren aufschaltet, und
- - der Tastkopf eine oder mehrere elektromagnetische Dämpfungseinrichtungen (29, 44) für den nachgiebigen Teil enthält.
2. Tastkopf nach Anspruch 1, wobei die elektromagnetische
Dämpfungseinrichtung (29) nach dem Prinzip der
Wirbelstrombremse arbeitet.
3. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-2, wobei die
Kraftgeneratoren (15-17) Tauchspulen sind, deren
Spulenkörper (29) aus Metall bestehen.
4. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-3, wobei die
Tauchspulen an eine Kühleinrichtung (31, 32) angeschlossen
sind.
5. Tastkopf nach einem der Ansprüche 3 oder 4, wobei die
Spulen (30) oder der Spulenkörper (29) mit Röhren (31) für
eine Kühlflüssigkeit verbunden sind.
6. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-5, wobei die
elektromagnetische Dämpfungseinrichtung eine elektronische
Regelschaltung (44) umfaßt, die ein der Geschwindigkeit
der Auslenkung des nachgiebigen Teils proportionales, der
Auslenkrichtung entgegengerichtetes Signal auf die
Kraftgeneratoren (15-17) aufschaltet.
7. Tastkopf nach Anspruch 6, wobei die
Dämpfungscharakteristik der Dämpfungseinrichtung (44)
prozessorgesteuert einstellbar ist.
8. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-7, wobei die
Regelverstärkung der elektrischen Regelschaltung (43) zum
Fesseln bzw. Klemmen prozessorgesteuert einstellbar ist.
9. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-8, wobei zur Vorgabe
der Meßkräfte in den einzelnen Koordinatenrichtungen
(x, y, z), zur Einstellung der Klemmkräfte in den
vorgebbaren Richtungen und zur Erzeugung der
geschwindigkeitsabhängigen Dämpfung ein Mikroprozessor
(40) dient, an dessen Ausgänge über entsprechende
Treiberschaltungen die Kraftgeneratoren (15-17)
angeschlossen sind, und der über eine Datenleitung mit dem
Steuerrechner des Koordinatenmeßgeräts verbunden ist.
10. Tastkopf nach einem der Ansprüche 1-9, wobei die
Regelsignale für die Einstellung der Meß- und Klemmkräfte
und der Dämpfung von den im Tastkopf vorhanden Meßsystemen
(21-23) abgeleitet sind, die jeweils ein der Auslenkung
des nachgiebigen Teils (10) in der jeweiligen
Koordinatenrichtung proportionales Tastsignal liefern.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4424225A DE4424225A1 (de) | 1994-07-09 | 1994-07-09 | Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte |
DE59509461T DE59509461D1 (de) | 1994-07-09 | 1995-06-20 | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte |
EP95109498A EP0693669B1 (de) | 1994-07-09 | 1995-06-20 | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte |
US08/498,344 US5623766A (en) | 1994-07-09 | 1995-07-05 | Probe head for coordinate measuring apparatus with damping and clamping features |
JP17243895A JP3857334B2 (ja) | 1994-07-09 | 1995-07-07 | 座標測定装置のプローブヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4424225A DE4424225A1 (de) | 1994-07-09 | 1994-07-09 | Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4424225A1 true DE4424225A1 (de) | 1996-01-11 |
Family
ID=6522732
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4424225A Withdrawn DE4424225A1 (de) | 1994-07-09 | 1994-07-09 | Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte |
DE59509461T Expired - Lifetime DE59509461D1 (de) | 1994-07-09 | 1995-06-20 | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59509461T Expired - Lifetime DE59509461D1 (de) | 1994-07-09 | 1995-06-20 | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5623766A (de) |
EP (1) | EP0693669B1 (de) |
JP (1) | JP3857334B2 (de) |
DE (2) | DE4424225A1 (de) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19641720A1 (de) * | 1996-10-10 | 1998-04-30 | Mahr Gmbh | Tastkopf mit elektronischer Führung |
DE19731005A1 (de) * | 1997-07-18 | 1999-02-11 | Leitz Brown & Sharpe Mestechni | Tastkopf für Koordinatenmeßgerät |
EP0790478A3 (de) * | 1996-02-16 | 1999-05-19 | Carl Zeiss | Koordinatenmessgerät mit einem Taststift, dessen Orientierung einstellbar ist |
EP1376053A2 (de) * | 2002-06-28 | 2004-01-02 | Carl Zeiss | Verfahren zum Betrieb eines in wenigstens zwei Betriebsarten betreibbaren Koordinatenmessgerätes |
WO2005088240A1 (de) * | 2004-03-05 | 2005-09-22 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Tastkopf für ein koordinatenmessgerät |
WO2008058701A1 (de) * | 2006-11-17 | 2008-05-22 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum bestimmen von raumkoordinaten an einer vielzahl von messpunkten |
DE102007022326A1 (de) | 2007-05-08 | 2008-11-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie Dreh-Schwenk-Mechanismus für ein solches Koordinatenmessgerät |
DE102008020250A1 (de) | 2008-04-22 | 2009-10-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit manuell betätigbarem motorischen Antrieb |
DE102010008751A1 (de) | 2010-02-15 | 2011-08-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 | Verfahren zum Regeln eines Messvorgangs mittels virtueller Oberflächen |
DE102010006505A1 (de) | 2010-01-28 | 2011-08-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 | Koordinatenmessgerät mit passivem Dreh-Schwenk-Mechanismus |
WO2011098487A1 (de) | 2010-02-15 | 2011-08-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum regeln eines messvorgangs mittels virtueller oberflächen |
WO2011110568A1 (de) | 2010-03-11 | 2011-09-15 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur validierung eines messergebnisses eines koordinatenmessgeräts |
DE102013112188A1 (de) | 2013-11-06 | 2015-05-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Montage von Bauteilen mit Hilfe eines Koordinatenmessgeräts |
EP3236194A1 (de) * | 2016-04-18 | 2017-10-25 | Hexagon Metrology GmbH | Koordinatenmessgerät mit einem messenden tastkopf sowie verfahren zur messung eines werkstückes mit einem koordinatenmessgerät |
DE102016223864A1 (de) * | 2016-11-30 | 2018-05-30 | Audi Ag | Aktives Schwingungsabsorptionssystem zur Absorption einer Schwingung eines schwingenden Elements sowie Kraftfahrzeug mit dem aktiven Schwingungsabsorptionssystem und Verfahren zum Betreiben des aktiven Schwingungsabsorptionssystems |
EP3034991B1 (de) | 2014-12-19 | 2019-10-09 | Hexagon Technology Center GmbH | Verfahren zum aktiven Entgegenwirken gegen Verlagerungskräfte mit einer Tasteinheit |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0849653B1 (de) * | 1996-12-21 | 2004-04-28 | Carl Zeiss | Verfahren zur Steuerung eines Koordinatenmessgerätes und Koordinatenmessgerät |
EP0849654B1 (de) * | 1996-12-21 | 2004-04-28 | Carl Zeiss | Verfahren zur Steuerung von Koordinatenmessgeräten und Koordinatenmessgerät |
DE19721015C1 (de) * | 1997-05-20 | 1999-03-04 | Klingelnberg Soehne Gmbh | Universeller Tastkopf für Verzahnungsmessungen |
JP2001124550A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-05-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 傾斜センサ |
US6434845B1 (en) * | 2000-09-05 | 2002-08-20 | University Of North Carolina At Charlotte | Dual-axis static and dynamic force characterization device |
DE10100350A1 (de) * | 2001-01-05 | 2002-07-11 | Zeiss Carl | Tastkopf für ein Koordinatenmeßgerät |
US6640459B1 (en) * | 2001-02-15 | 2003-11-04 | Fast Forward Devices, Llc | Multidimensional contact mechanics measurement system |
DE10136559B4 (de) * | 2001-07-27 | 2011-08-11 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 | Verfahren zum Diagnostizieren von Schäden in einem messenden Tastkopf eines Koordinatenmessgeräts |
DE10140103C1 (de) | 2001-08-16 | 2002-08-01 | Klingelnberg Gmbh | Zweiflanken-Wälzprüfgerät |
GB0221255D0 (en) * | 2002-09-13 | 2004-02-25 | Renishaw Plc | Touch Probe |
AU2003267798A1 (en) * | 2002-10-29 | 2004-05-25 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A coordinate measuring device with a vibration damping system |
JP3795008B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2006-07-12 | アサ電子工業株式会社 | タッチセンサ |
JP4330388B2 (ja) | 2003-07-28 | 2009-09-16 | 株式会社ミツトヨ | 倣いプローブ |
DE502004002991D1 (de) | 2004-12-15 | 2007-04-05 | Hexagon Metrology Gmbh | Messender Tastkopf mit Vibrationsdämpfung für ein Koordinatenmessgerät |
EP1742012B1 (de) * | 2005-07-08 | 2010-11-03 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Tastkopf |
DE102007013916B4 (de) * | 2007-03-20 | 2011-06-22 | Feinmess Suhl GmbH, 98527 | Konturenmessvorrichtung |
JP5645349B2 (ja) * | 2008-03-24 | 2014-12-24 | キヤノン株式会社 | 形状測定装置 |
JP5270384B2 (ja) * | 2009-01-15 | 2013-08-21 | 株式会社ミツトヨ | 直線案内機構および測定装置 |
EP2665988B1 (de) | 2011-01-19 | 2015-08-12 | Renishaw Plc. | Analoge messsonde für ein maschinenwerkzeug |
DE102011104228B4 (de) | 2011-05-13 | 2014-12-31 | Ludwig Nanopräzision GmbH | Vorrichtung zur Längenmessung und Verwendung der Vorrichtung zur Bestimmung physikalischer Eigenschaften von Messobjekten |
JP2014081323A (ja) * | 2012-10-18 | 2014-05-08 | Mitsutoyo Corp | レバーヘッド |
JP6480169B2 (ja) * | 2014-12-04 | 2019-03-06 | 株式会社ミツトヨ | 三次元座標測定機用プローブヘッド |
EP3179203B1 (de) | 2015-12-11 | 2021-03-31 | TESA Sàrl | Gelenksondenkopf für messsystem |
JP6830386B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-02-17 | 株式会社ミツトヨ | 測定ヘッド |
CN114096796A (zh) * | 2019-07-12 | 2022-02-25 | 米沃奇电动工具公司 | 具有磁性缩回速度控制器的卷尺 |
CN110823148B (zh) * | 2019-11-27 | 2021-02-05 | 合肥工业大学 | 一种测量传感器的五向碰撞保护机构 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2242355C2 (de) | 1972-08-29 | 1974-10-17 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
DE2356030C3 (de) * | 1973-11-09 | 1978-05-11 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Taster zur Werkstückantastung |
DD150111A1 (de) * | 1980-04-08 | 1981-08-12 | Steffen Klawun | Einrichtung zur weg-kraft-koordinierung an antastsystemen |
DE3210711C2 (de) * | 1982-03-24 | 1986-11-13 | Dr.-Ing. Höfler Meßgerätebau GmbH, 7505 Ettlingen | Mehrkoordinatentaster mit einstellbarer Meßkraft zum Abtasten von mehrdimensionalen, stillstehenden Gegenständen |
DD226367A1 (de) * | 1984-08-01 | 1985-08-21 | Zeiss Jena Veb Carl | Anordnung zur erhoehung der steifigkeit von tastkoepfen |
DD255784A1 (de) * | 1986-11-04 | 1988-04-13 | Zeiss Jena Veb Carl | Koordinatentastkopf mit einrichtung zur messkraftstabilisierung fuer koordinatenmessgeraete |
DE4001981C2 (de) * | 1989-01-25 | 1999-11-18 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmeßgerät |
DE3922297A1 (de) * | 1989-07-07 | 1991-01-17 | Zeiss Carl Fa | Elektromagnetische haltevorrichtung |
JPH0792373B2 (ja) * | 1991-09-25 | 1995-10-09 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブ |
DE4245012B4 (de) * | 1992-04-14 | 2004-09-23 | Carl Zeiss | Verfahren zur Messung von Formelementen auf einem Koordinatenmeßgerät |
US5535524A (en) * | 1995-01-27 | 1996-07-16 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Vibration damper for coordinate measuring machine |
-
1994
- 1994-07-09 DE DE4424225A patent/DE4424225A1/de not_active Withdrawn
-
1995
- 1995-06-20 EP EP95109498A patent/EP0693669B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-20 DE DE59509461T patent/DE59509461D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-05 US US08/498,344 patent/US5623766A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-07 JP JP17243895A patent/JP3857334B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0790478A3 (de) * | 1996-02-16 | 1999-05-19 | Carl Zeiss | Koordinatenmessgerät mit einem Taststift, dessen Orientierung einstellbar ist |
DE19641720A1 (de) * | 1996-10-10 | 1998-04-30 | Mahr Gmbh | Tastkopf mit elektronischer Führung |
DE19641720C2 (de) * | 1996-10-10 | 2002-01-24 | Mahr Gmbh | Tastkopf mit elektronischer Führung |
DE19731005A1 (de) * | 1997-07-18 | 1999-02-11 | Leitz Brown & Sharpe Mestechni | Tastkopf für Koordinatenmeßgerät |
EP1376053A2 (de) * | 2002-06-28 | 2004-01-02 | Carl Zeiss | Verfahren zum Betrieb eines in wenigstens zwei Betriebsarten betreibbaren Koordinatenmessgerätes |
EP1376053A3 (de) * | 2002-06-28 | 2005-09-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Verfahren zum Betrieb eines in wenigstens zwei Betriebsarten betreibbaren Koordinatenmessgerätes |
WO2005088240A1 (de) * | 2004-03-05 | 2005-09-22 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Tastkopf für ein koordinatenmessgerät |
US7228642B2 (en) | 2004-03-05 | 2007-06-12 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Probe for a coordinate measuring machine |
US7752766B2 (en) | 2006-11-17 | 2010-07-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Method and apparatus for determining spatial coordinates at a multiplicity of measurement points |
WO2008058701A1 (de) * | 2006-11-17 | 2008-05-22 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum bestimmen von raumkoordinaten an einer vielzahl von messpunkten |
DE102006055005A1 (de) * | 2006-11-17 | 2008-05-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einer Vielzahl von Messpunkten |
DE102007022326A1 (de) | 2007-05-08 | 2008-11-13 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie Dreh-Schwenk-Mechanismus für ein solches Koordinatenmessgerät |
DE102007022326B4 (de) | 2007-05-08 | 2022-07-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie Dreh-Schwenk-Mechanismus für ein solches Koordinatenmessgerät |
DE102008020250A1 (de) | 2008-04-22 | 2009-10-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit manuell betätigbarem motorischen Antrieb |
DE102010006505A1 (de) | 2010-01-28 | 2011-08-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 | Koordinatenmessgerät mit passivem Dreh-Schwenk-Mechanismus |
EP2755095A1 (de) | 2010-02-15 | 2014-07-16 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Verfahren zum Regeln eines Messvorgangs mittels virtueller Oberflächen |
DE102010008751A1 (de) | 2010-02-15 | 2011-08-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 | Verfahren zum Regeln eines Messvorgangs mittels virtueller Oberflächen |
WO2011098487A1 (de) | 2010-02-15 | 2011-08-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum regeln eines messvorgangs mittels virtueller oberflächen |
DE102010011841A1 (de) | 2010-03-11 | 2011-09-15 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Validierung eines Messergebnisses eines Koordinatenmessgeräts |
WO2011110568A1 (de) | 2010-03-11 | 2011-09-15 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur validierung eines messergebnisses eines koordinatenmessgeräts |
DE102013112188A1 (de) | 2013-11-06 | 2015-05-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Montage von Bauteilen mit Hilfe eines Koordinatenmessgeräts |
EP3034991B1 (de) | 2014-12-19 | 2019-10-09 | Hexagon Technology Center GmbH | Verfahren zum aktiven Entgegenwirken gegen Verlagerungskräfte mit einer Tasteinheit |
EP3034991B2 (de) † | 2014-12-19 | 2022-08-24 | Hexagon Technology Center GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum aktiven Entgegenwirken gegen Verlagerungskräfte mit einer Tasteinheit |
EP3236194A1 (de) * | 2016-04-18 | 2017-10-25 | Hexagon Metrology GmbH | Koordinatenmessgerät mit einem messenden tastkopf sowie verfahren zur messung eines werkstückes mit einem koordinatenmessgerät |
DE102016223864A1 (de) * | 2016-11-30 | 2018-05-30 | Audi Ag | Aktives Schwingungsabsorptionssystem zur Absorption einer Schwingung eines schwingenden Elements sowie Kraftfahrzeug mit dem aktiven Schwingungsabsorptionssystem und Verfahren zum Betreiben des aktiven Schwingungsabsorptionssystems |
US10650799B2 (en) | 2016-11-30 | 2020-05-12 | Audi Ag | Active vibration absorption system and method for absorbing vibration of a vibrating element in a motor vehicle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE59509461D1 (de) | 2001-09-06 |
EP0693669B1 (de) | 2001-08-01 |
EP0693669A2 (de) | 1996-01-24 |
EP0693669A3 (de) | 1997-05-07 |
JPH0843066A (ja) | 1996-02-16 |
JP3857334B2 (ja) | 2006-12-13 |
US5623766A (en) | 1997-04-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0693669B1 (de) | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte | |
DE3911341C1 (de) | ||
EP0703517B1 (de) | Verfahren zur Messung von Werkstücken mit einem handgeführten Koordinatenmessgerät | |
DE2620099C2 (de) | Tastkopf mit allseitig auslenkbarem Taster | |
DE3210711C2 (de) | Mehrkoordinatentaster mit einstellbarer Meßkraft zum Abtasten von mehrdimensionalen, stillstehenden Gegenständen | |
EP0301390B1 (de) | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte | |
DE2242355B1 (de) | Elektronischer Mehrkoordinatentaster | |
DE3725207A1 (de) | Tastkopf fuer koordinatenmessgeraete | |
DE3523188A1 (de) | Steuerung fuer koordinatenmessgeraete | |
DE112005000622T5 (de) | Lineargleiter mit beweglichen Magneten | |
EP1348104B1 (de) | Tastkopf für ein koordinatenmessgerät | |
DE2841424A1 (de) | Messkopf fuer ein messgeraet | |
DE19529574A1 (de) | Koordinatenmeßgerät mit einer Steuerung, die den Tastkopf des Meßgeräts nach Solldaten verfährt | |
DE69816941T2 (de) | Bewegungsdämpfer mit elektrischem verstärker und lithograhieeinrichtung mit einem solchen bewegungsdämpfer | |
WO2006013170A1 (de) | Vorrichtung zum entkoppeln eines anbauelements von einem bewegbaren maschinenelement | |
DE19617022C1 (de) | Konturenmeßgerät | |
DE3106031A1 (de) | Einrichtung zur weg-kraft-koordinierung an antastsystemen | |
DE102019127499B4 (de) | Koordinatenmessgerät und Steuerungsverfahren eines Koordinatenmessgerätes | |
EP0297031A1 (de) | Werkzeug mit einer Sensorvorrichtung | |
EP1264157B1 (de) | Tastkopf mit einer tarierung | |
DE3740657A1 (de) | Koordinatentastkopf mit einrichtung zur messkraftstabilisierung fuer koordinatenmessgeraete | |
DE19731005A1 (de) | Tastkopf für Koordinatenmeßgerät | |
DE102011015973B4 (de) | Führung | |
DD288872A5 (de) | Einkoordinatenmessgeraet | |
DE4332253C1 (de) | Verstellvorrichtung für ein Röntgengerät |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |