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Technisches
Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Linearmotor, der in verschiedenen
Industriemaschinen wie etwa in einer Elektronikbauteil-Montagevorrichtung,
in einer Halbleiter-Verarbeitungsvorrichtung oder
in Bearbeitungswerkzeugen verwendet wird und geeignet ist, um die
direkt angetriebenen Mechanismen derselben anzutreiben. Insbesondere
betrifft die vorliegende Erfindung einen Lineargleiter mit beweglichem
Magneten, der ein Magnetfeld eines Permanentmagneten als Bewegungsglied
und einen Anker mit einer Ankerwicklung als Ständer umfasst.
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Stand der
Technik
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Herkömmlicherweise
ist der Lineargleiter mit beweglichem Magneten, der in verschiedenen
Industriemaschinen wie etwa in einer Elektronikbauteil-Montagevorrichtung,
in einer Halbleiter-Verarbeitungsvorrichtung oder in Bearbeitungswerkzeugen verwendet
wird und zum Antreiben der direkt angetriebenen Mechanismen derselben
geeignet ist, wie in 6 gezeigt aufgebaut. 6 ist
eine Schnittansicht von vorne eines Lineargleiters mit beweglichem Magneten
aus dem Stand der Technik.
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In 6 sind
ein Bewegungsglied 31, Permanentmagneteinheiten 32, 33,
ein geteilter Kern 34, eine Ankereinheit 35, ein
Ständer 36,
ein Ständerrahmen 37,
ein fixes Glied 38, ein Tisch 39, eine Führungsschiene 40 und
ein Gleiter 41 gezeigt.
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Das
Bewegungsglied 31 des Linearmotors umfasst die Permanentmagneteinheiten 32, 33,
die sich in einer vertikalen Richtung erstrecken und in denen Permanentmagneten
für ein
Magnetfeld nebeneinander auf einer unteren Fläche des Tisches 38 angeordnet
sind. Der Ständer 36 umfasst
ein fixes Glied 38, das aus Eisen in einer W-Form ausgebildet
und auf einem kastenförmigen
Ständerrahmen 37 fixiert ist,
sowie eine Ankereinheit 35, die auf einer Innenseite des
fixen Glieds 38 durch zum Beispiel einen Kleber befestigt
ist. Die Ankereinheit 35 wird durch eine konzentrierte
Wicklung eines Ankerwicklungsdrahtes gebildet, der auf den geteilten
KErn 34 gewickelt ist, wobei der Ankerwicklungsdraht derart
vorgesehen ist, dass die Permanentmagneteinheit zwischen den Ankerwicklungsdrähten von
beiden Seiten eingeschlossen ist. Weiterhin wird das Bewegungsglied 31 beweglich
durch eine Linearführung
gehalten, die eine Führungsschiene 40 und
einen Gleiter 41 umfasst (siehe zum Beispiel das Patentdokument 1).
- Patentdokument 1: JP-A-11-113238 (1).
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Beschreibung der Erfindung
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Problemstellung
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Bei
dem herkömmlichen
Lineargleiter mit beweglichem Magneten weist die Fixierung des Permanentmagneten
an dem Tisch einen Aufbau auf, in dem nur ein Ende des Magneten,
das sich in der vertikalen Richtung erstreckt, fixiert ist. Deshalb
besteht das Problem, dass die mechanische Steifigkeit eines Schuberzeugungsbereichs
des Bewegungsglieds schwach ist, weil der Aufbau nicht an beiden
Enden fixiert werden kann.
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Bei
dem herkömmlichen
Aufbau, bei dem sich die Anziehungskräfte gegenseitig aufheben, besteht
weiterhin das Problem, dass die Steuerverstärkung nicht erhöht werden
kann, weil kein Druck einer magnetische Anziehungskraft auf die
Linearführung ausgeübt wird
und die mechanische Steifigkeit geschwächt ist.
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Die
vorliegende Erfindung nimmt auf diese Probleme Bezug, wobei es eine
Aufgabe der Erfindung ist, einen Lineargleiter mit beweglichem Magneten
anzugeben, der die Steifigkeit stärken kann, indem er in geeigneter
Weise einen Druck einer magnetischen Anziehungskraft auf die Linearführung ausübt.
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Problemlösung
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Um
das geschilderte Problem zu lösen,
ist die vorliegende Erfindung wie nachfolgend beschrieben aufgebaut.
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Die
Erfindung betrifft einen Lineargleiter mit beweglichem Magneten
und gibt nach Anspruch 1 einen Lineargleiter mit beweglichem Magneten
an, der umfasst: eine Linearführung,
die die linke und die rechte Seite eines Tisches hält und führt, der
parallel zu und gegenüber
einer fixen Basis angeordnet ist, wobei die Linearführung einen
Gleiter und eine Führungsschiene
umfasst; einen Linearmotor, der den Tisch in einer Längsrichtung über die
Führungsschiene
relativ zu der fixen Basis hin und her bewegt; und eine Erfassungseinrichtung,
die die relative Position des Tisches und der fixen Basis erfasst;
dadurch gekennzeichnet, dass: der Linearmotor einen Anker mit einem
mehrphasigen Ankerwicklungsdraht, der auf einen Ankerkern gewickelt
ist, der als an der fixen Basis fixierte Magnetschaltung dient,
und einen Permanentmagneten für
ein Magnetfeld umfasst, wobei der Permanentmagnet an dem Tisch befestigt
ist und gegenüber
dem Anker mit dazwischen einem Magnetspalt angeordnet ist; die Erfassungseinrichtung
einen Linearskalenteil, der an dem Tisch befestigt ist, und einen
Sensorkopfteil umfasst, der die lineare Skala erfasst, wobei der
Sensorkopfteil auf der Seite der fixen Basis befestigt ist; und
der Anker derart angeordnet ist, dass eine Schubzentrumsachse, in
der ein Schub des Ankers erzeugt wird, im wesentlichen mit der Zentrumsachse
eines Raums zwischen der linken und der rechten Führungsschiene
zusammenfällt.
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Die
Erfindung nach Anspruch 2 ist dadurch gekennzeichnet, dass in einem
Lineargleiter mit beweglichem Magneten nach Anspruch 1 eine Magnetpol-Erfassungseinrichtung,
die die relative Position des Ankers und des Permanentmagneten für ein Magnetfeld
erfasst, strukturell auf einer gegenüberliegenden Seite zu der linearen
Skala angeordnet ist, wobei ein Hall-Element als Teil der Magnetpol-Erfassungseinrichtung
auf der Seite der fixen Basis fixiert ist und ein Permanentmagnet
als weiterer Teil der Magnetpol-Erfassungseinrichtung auf der Seite
des Tisches mit einem gleichen Abstand wie der Permanentmagnet für ein Magnetfeld
fixiert ist.
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Die
Erfindung nach Anspruch 3 ist dadurch gekennzeichnet, dass in einem
Lineargleiter mit beweglichem Magneten nach Anspruch 1 die fixe
Basis mit einem Montageloch für
die Befestigung an einer externen Vorrichtung an einer Position
außerhalb oder
innerhalb der Führungsschiene
versehen ist.
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Die
Erfindung nach Anspruch 4 ist dadurch gekennzeichnet, dass in einem
Lineargleiter mit beweglichem Magneten nach Anspruch 1 der Sensorkopf
eine Schaltung umfasst, die ein Magnetpol-Erfassungssignal und ein
Skalensignal des Linearmotors zu seriellen Signalen wandelt.
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Die
Erfindung nach Anspruch 5 ist dadurch gekennzeichnet, dass in einem
Lineargleiter mit beweglichem Magneten nach Anspruch 1 oder 4, der Sensorkopf
einen Speicher umfasst, in den ein Motorparameter des Linearmotors
eingegeben wird, wobei wenn der Lineargleiter und ein Antriebsglied
miteinander verbunden sind, der Motorparameter ebenfalls durch die
Seriellsignal-Wandlungsschaltung zu einem seriellen Signal gewandelt
wird, um auf diese Weise eine Möglichkeit
zum Übertragen
des Signals an das Antriebsglied vorzusehen.
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Die
Erfindung nach Anspruch 6 ist dadurch gekennzeichnet, dass in einem
Lineargleiter mit beweglichem Magneten nach Anspruch 1 an der linearen
Skala ein Absolutcodierer montiert ist, der ein Absolutpositionssignal
des Bewegungsglieds des Linearmotors erfasst.
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Wirkungsweise
der Erfindung
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Gemäß der Erfindung
nach Anspruch 1 und 6 kann ein Druck auf die lineare Führung durch
eine magnetische Anziehungskraft des Permanentmagneten für ein Magnetfeld
ausgeübt
werden, wobei eine Fläche
des Permanentmagneten fest an einem beweglichen Tisch fixiert ist.
Dementsprechend ist ein Entwurf mit einer hohen Steifigkeit des
Bewegungsglieds und einer hohen Führungssteifigkeit aufgrund
der Druckausübung
auf die lineare Führung möglich.
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Gemäß der Erfindung
nach Anspruch 2 ermöglicht
das Vorsehen der Magnetpol-Erfassungseinrichtung, dass eine relative
Position des linearen Ankers und des Permanentmagneten für ein Magnetfeld
beim Einschalter eines Servos unmittelbar erfasst werden, wodurch
das Setup vereinfacht wird.
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Gemäß der Erfindung
nach Anspruch 3 ist ein Entwurf mit einer kleinen Gleiterbreite
möglich,
indem ein Montageloch ausgebildet wird.
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Gemäß der Erfindung
nach den Ansprüchen 4
und 5 wird ein Aufbau für
die serielle Übertragung eines
Motorparameters vorgesehen, wobei Informationen wie etwa eine Motorkonstante
zuvor in einem Lineargleiter gespeichert werden und wobei durch das
Eingeben von Antriebsglied-Parameterinformationen in ein neu verbundenes
Antriebsglied eine unmittelbare Wiederherstellung zu dem vorausgehenden
Zustand möglich
ist, wenn ein Antriebsglied aufgrund eines Fehlers durch ein anderes
Antriebsglied ausgetauscht werden muss.
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Kurzbeschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
eine Draufsicht auf einen Lineargleiter mit beweglichem Magneten
gemäß einer ersten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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2 ist
eine Schnittansicht von vorne entlang der Linie A-A von 1.
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3 ist
eine perspektivische Ansicht, die einen Sensorkopf für eine lineare
Skala gemäß der Erfindung
zeigt.
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4 ist
eine Draufsicht auf einen Lineargleiter mit beweglichem Magneten
gemäß einer zweiten
Ausführungsform.
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5 ist
eine Schnittansicht von vorne entlang der Linie A-A von 4.
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6 ist
eine Schnittansicht von vorne eines Lineargleiters mit beweglichem
Magneten aus dem Stand der Technik.
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Bevorzugte
Ausführungsform
der Erfindung
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Nachfolgend
werden Ausführungsformen der
vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.
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Ausführungsform 1
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1 ist
eine Draufsicht auf einen Lineargleiter mit beweglichem Magneten,
der eine erste Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt, während 2 eine Schnittansicht
von vorne entlang der Linie A-A von 1 zeigt.
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In
der Figur gibt das Bezugszeichen 1 eine fixe Basis an,
das Bezugszeichen 2 einen Anker, das Bezugszeichen 3 einen
Tisch, das Bezugszeichen 4 einen Permanentmagneten für ein Magnetfeld,
das Bezugszeichen 5 eine lineare Skala, das Bezugszeichen 6 einen
Sensorkopf, das Bezugszeichen 7 einen Gleiter, das Bezugszeichen 8 eine
Führungsschiene,
das Bezugszeichen 9 einen Stopper, das Bezugszeichen 10 eine
Motorleitung, das Bezugszeichen 11 einen Linearskalenkopf
und das Bezugszeichen 12 ein Antriebsglied.
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Im
Folgenden werden die Merkmale der vorliegende Erfindung erläutert.
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Der
Lineargleiter mit beweglichem Magneten wird durch eine Linearführung gebildet,
die die linke und rechte Seite eines Tisches 3 beweglich
hält und führt, der
parallel zu und gegenüber
von der fixen Basis 1 angeordnet ist, wobei die Linearführung umfasst:
einen Gleiter 7 und eine Führungsschiene 8, einen
Linearmotor, der den Tisch 3 entlang der Längsrichtung über die
Führungsschienen 8 relativ
zu der fixen Basis 1 hin und her bewegt, und eine Erfassungseinrichtung
zum Erfassen der relativen Position des Tisches 3 und der
fixen Basis 1. Der Linearmotor umfasst einen Anker 2 mit
einem mehrphasigen Ankerwicklungsdraht, der über einen Ankerkern gewickelt
ist, der als Magnetschaltung an der fixen Basis 1 fixiert
ist, und einen plattenförmigen
Permanentmagneten 4 für
ein Magnetfeld, der an dem Tisch 3 befestigt ist und gegenüber dem
Anker 2 mit dazwischen einem Magnetspalt angeordnet ist.
Die Erfassungseinrichtung umfasst eine lineare Skala 5,
die an dem Tisch 3 fixiert ist, und einen Sensorkopf 6,
der die lineare Skala 5 erfasst und auf der Seite der fixen Basis 1 fixiert
ist.
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Der
Anker 2 ist derart angeordnet, dass eine Schubzentrumsachse,
in der ein Schub des Ankers 2 erzeugt wird, im wesentlichen
mit einer Zentrumsachse G-G eines Raums zwischen der linken und
der rechten Führungsschiene 8 zusammenfällt, wenn eine
Fixierung an der fixen Basis 1 vorgenommen wird, und zwischen
der linken und der rechten Führungsschiene 8,
die an der fixen Basis 1 montiert sind.
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3 ist
eine perspektivische Ansicht, die einen Linearskalen-Sensorkopf
gemäß der Erfindung zeigt.
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In 3 gibt
das Bezugszeichen 13 eine Seriellwandlungsschaltung and,
und gibt das Bezugszeichen 14 einen Speicher-IC an.
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Der
Sensorkopf 11 umfasst eine Seriellwandlungsschaltung 13,
die ein Magnetpol-Erfassungssignal und ein Skalensignal des Linearmotors zu
seriellen Signalen wandelt. Weiterhin ist der Speicher 14 vorgesehen,
in den ein Motorparameter des Linearmotors eingegeben wird. Wenn
eine Verbindung zwischen dem Lineargleiter und dem Antriebselement 12 vorgesehen
ist, wird der Motorparameter auch durch die Seriellsignal-Wandlungsschaltung 13 gewandelt,
um eine Möglichkeit
zum Übertragen
eines Signals zu der Antriebseinrichtung 12 vorzusehen.
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Weiterhin
sind Stopper 9 an der fixen Basis 1 in vorderen
und hinteren Bereichen der Führungsschienen 8 in
der Längsrichtung
vorgesehen, damit der Tisch 3 sich nicht zu weit bewegen
kann.
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Nachfolgend
wird der Betrieb erläutert.
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Wenn
wie in 1 und 2 gezeigt der Anker des Linearmotors
von einer nicht gezeigten externen Stromversorgung mit Strom versorgt
wird, wird der Tisch entlang der Längsrichtung der Führungsschienen
relativ zu der fixen Basis hin und her bewegt. wenn bei dieser Gelegenheit
die relative Position des Tisches und der fixen Basis durch den
Sensorkopf 6 auf der Seite der fixen Basis relativ zu der linearen
Skala auf der Seite des Tisches erfasst wird, nimmt die Seriellwandlungsschaltung 13 in
dem Sensorkopf 6 wie in 3 gezeigt
eine Seriellwandlung vor und überträgt das Linearskalensignal,
das Magnetpolsignal und den in dem Speicher-IC 14 gespeicherten
Motorparameter zu der Antriebseinrichtung 12. Auf der Basis
der Signale und des Motorparameters, die zu der Seite des Antriebsglieds 12 übertragen
werden, wird eine genaue Positionierung des Linearmotors durch das
Antriebsglied 12 durchgeführt.
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Dementsprechend
umfasst der Lineargleiter mit beweglichem Magneten gemäß der ersten
Ausführungsform
der Erfindung die Linearführung,
die den Tisch 3 beweglich in Bezug auf die fixe Basis 1 hält und führt, den
Linearmotor, in dem der Permanentmagnet 4 für ein Magnetfeld
auf der Seite des Tisches 3 angeordnet ist und der Anker 2 auf
der fixen Basis 1 angeordnet ist, und die Erfassungseinrichtung,
in der die lineare Skala 5 auf dem Tisch 3 fixiert ist
und der Sensorkopf 6 auf der Seite der fixen Basis 1 fixiert
ist. Deshalb ist die Befestigungsfläche bei der Fixierung des Permanentmagneten 4 für ein Magnetfeld
auf der Seite des Tisches 3 groß, wodurch die Steifigkeit
in dem Schuberzeugungsbereich erhöht werden kann.
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Weiterhin
ist die Anordnung derart beschaffen, dass wenn der Anker 2 an
der fixen Basis zwischen der an der fixen Basis 1 montierten
linken und rechten Führungsschiene 8 fixiert
wird, die Schubzentrumsachse, wo der Schub auf der Basis des Ankers 2 erzeugt
wird, im wesentlichen mit der Zentrumsachse G-G des Raums zwischen
der linken und der rechten Führungsschiene 8 zusammenfällt, um
einen Aufbau vorzusehen, in dem eine magnetische Anziehungskraft,
die auf den Permanentmagneten für
ein Magnetfeld wirkt, als Druck auf die Linearführung ausgeübt wird. Deshalb kann eine
Schwingungsgrenze erhöht
werden, wenn die Steuerverstärkung für eine Verbesserung
der Reaktion erhöht
wird, und kann eine Geschwindigkeitswelligkeit mit hoher Frequenz
reduziert werden.
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Indem
weiterhin die Leitungen wie etwa die Motorleitung 10 und
die Linearskalenleitung 11 auf der Ständerseite von dem Bewegungsglied
angeordnet werden, kann auf ein Kabellager für eine bewegte Spule verzichtet
werden.
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Weil
der Sensorkopf 11 einen Aufbau mit einer Seriellwandlungsschaltung 13 aufweist,
die Magnetpol-Erfassungssignale
und Skalensignale des Linearmotors zu seriellen Signalen wandelt,
ist eine Übertragung
mit großer
Kapazität
im Vergleich zu einer herkömmlichen
Impulsübertragung
verfügbar,
sodass ein Linearantriebssystem erhalten wird, das mit hoher Geschwindigkeit
und großer
Auflösungsleistung
arbeitet. Die vorliegende Ausführungsform
kann die minimale Positionierungsauflösung um das zehnfache im Vergleich
zu einer herkömmlichen
Impulssequenz-Übertragung
verbessern.
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Ausführungsform 2
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4 ist
eine Draufsicht auf einen Lineargleiter mit beweglichem Magneten
gemäß einer zweiten
Ausführungsform
der Erfindung, und 5 ist eine Schnittansicht von
vorne entlang der Linie A-A in 4.
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Wenn
in der ersten Ausführungsform
zwei parallele Reihen von Montagelöchern auf der fixen Basis 1 für die Befestigung
an einer externen Vorrichtung ausgebildet werden, sind Montagelöcher 15 für die Befestigung
an einer externen Vorrichtung an der Außenseite der Führungsschienen 8 vorgesehen.
In der zweiten Ausführungsform
sind dagegen Montagelöcher 16 in
einem Raum zwischen einer Fläche auf
der Ankerseite und der Linearführung
vorgesehen, weil die Endbreite der Spule einer Seite durch einen
Verarbeitungsteil der Ankerspulenverbindung verbreitert ist.
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Deshalb
kann in der zweiten Ausführungsform
die Breitendimension des Lineargleiters reduziert werden, indem
ein Aufbau vorgesehen wird, in dem die Montagelöcher in einem verfügbaren Raum zwischen
dem Anker und der Linearführung
ausgebildet sind.
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Ausführungsform 3
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4 ist
eine Ansicht, die einen Aufbau einer dritten Ausführungsform
zeigt.
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In
der Figur gibt das Bezugszeichen 17 einen Magnetpol-Erfassungseinrichtungsmagnet
an und gibt das Bezugszeichen 19 ein Seriellwandler an.
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Auf
der gegenüberliegenden
Seite der linearen Skala sind eine Magnetpol-Erfassungseinrichtung,
die eine relative Position eines linearen Ankers 12 erfasst,
und ein Permanentmagnet 14 für ein Magnetfeld angeordnet,
wobei der Magnetpol-Erfassungseinrichtungskopf 18 mit einem
Hall-Element auf der Seite der fixen Basis 1 angeordnet
ist und der Magnetpol-Erfassungseinrichtungsmagnet 17 auf der
Seite des Tisches 3 angeordnet ist, um einen dem Permanentmagneten 4 gleichen
Abstand für
ein Magnetfeld vorzusehen.
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Ein
Magnetpol-Erfassungssignal wird zu einem seriellen Signal zusammen
mit dem Skalensignal aus dem Sensorkopf 16 für die lineare
Skala durch den Seriellwandler 19 gewandelt und zu dem Antriebsglied 12 übertragen.
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Weil
dementsprechend in der dritten Ausführungsform die Magnetpol-Erfassungseinrichtung
zum Erfassen eines anfänglichen
Magnetpols auf einem Gleitermessteil gegenüber der linearen Skala vorgesehen
ist, wobei die Erfassungsseite (Hall-Element) auf der fixen Basis
fixiert ist, während
der Magnetpol-Sensormagnet auf dem Tisch fixiert ist, kann unmittelbar
eine relative Position des Ankers und des Permanentmagneten für ein Magnetfeld
erfasst werden, wenn ein Servo eingeschaltet wird, wodurch der Setup
vereinfacht wird.
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Vorzugsweise
wird übrigens
ein Absolutcodierer zum Erfassen eines Absolutpositionssignals des
Bewegungsglieds an der in den Ausführungsformen beschriebenen
linearen Skala montiert. Auf diese Weise kann ein Lineargleiter
vorgesehen werden, der einfach betrieben werden kann, wobei keine
Operation zum Zurückführen zu
einem Nullpunkt durchgeführt
werden muss, wenn eine Stromquelle eingeschaltet wird.
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Industrielle
Anwendbarkeit
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Es
wird also ein Aufbau angegeben, der eine verbesserte mechanische
Steifigkeit aufweist und bei dem die Steuerleistungen (Reaktion
mit hoher Geschwindigkeit, Reduktion einer Geschwindigkeitswelligkeit)
des Linearmotors verbessert sind. Die Erfindung kann deshalb auf
eine Gleitereinheit für
eine mit Hochgeschwindigkeit erfolgende Positionierung und eine
Gleitereinheit für
eine mit hoher Genauigkeit erfolgende konstante Zufuhr angewendet
werden, wobei eine geringfügige
Geschwindigkeitswelligkeit erzielt wird.
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Zusammenfassung
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Es
wird ein Lineargleiter mit beweglichem Magneten angegeben, dessen
Linearführung
in geeigneter Weise durch eine magnetische Anziehungskraft unter
Druck gesetzt wird, um die Steifigkeit zu erhöhen.
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Ein
Lineargleiter mit beweglichem Magneten umfasst eine Linearführung, die
einen Tisch (3) in Bezug auf eine fixe Basis (1)
beweglich hält
und führt, einen
Linearmotor, in dem ein Permanentmagnet (4) für ein Magnetfeld
auf der Seite eines des Tisches (3) angeordnet ist und
ein Anker (2) auf der Seite der fixen Basis (1)
angeordnet ist, und eine Erfassungseinrichtung, in der eine lineare
Skala (5) an dem Tisch (3) fixiert ist und ein
Sensorkopf (6) auf der Seite der fixen Basis (1)
fixiert ist. Wenn der Anker (2) auf der fixen Basis (1)
derart fixiert wird, dass er zwischen einer linken und einer rechten
Führungsschiene
(8) an der fixen Basis (1) eingeschlossen ist,
ist eine Schubzentrumsachse, wo ein Schub des Ankers (2)
erzeugt wird, derart angeordnet, dass sie im wesentlichen mit einer
Zentrumsachse G-G eines Raums zwischen der linken und der rechten
Führungsschiene
(8) zusammenfällt.
Auf diese Weise wirkt eine magnetische Anziehungskraft auf den Permanentmagneten
für ein
Magnetfeld, als Druck auf die Linearführung.
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- 1
- Fixe
Basis
- 2
- Anker
- 3
- Tisch
- 4
- Permanentmagnet
für Magnetfeld
- 5
- Lineare
Skala
- 6
- Sensorkopf
- 7
- Gleiter
- 8
- Führungsschiene
- 9
- Stopper
- 10
- Motorleitung
- 11
- Linearskalenleitung
- 12
- Antriebsglied
- 13
- Seriellwandlungsschaltung
- 14
- Speicher-IC
- 15,
16
- Montageloch
- 17
- Magnetpol-Erfassungsmagnet
- 18
- Magnetpol-Erfassungskopf
- 19
- Seriellwandler