DE3620741A1 - Tischvorschubeinrichtung - Google Patents
TischvorschubeinrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Tischvorschubeinrichtung,
wie sie bei Werkzeugmaschinen und dergleichen eingesetzt wird.
Bei den bislang bekannt gewordenen Tischvorschubeinrichtungen
ist ein ortsfestes Bett vorgesehen, von
dem ein beweglicher Tisch verschieblich getragen wird.
Im allgemeinen besteht der Vorschubmechanismus zum
Antreiben des beweglichen Tisches aus einer Kombination
von Kugel-Spindelvortrieb und beispielsweise
als Servomotoren, Schrittmotoren oder dergleichen
ausgebildeten Drehmotoren, wobei die geradlinige
Bewegung des beweglichen Tischs üblicherweise über die
Drehbewegung der Kugel-Spindelanordnung gesteuert
wird, um eine möglichst genaue Positionierung des
beweglichen Tischs zu erzielen. Allerdings besteht
bei den herkömmlichen Einrichtungen das Problem, daß
aufgrund des Totgangs der Kugel-Spindelanordnung (dies
ist eine Anordnung mit einer Gewindespindel und einer
darauf sitzenden Mutter, wobei zwischen den beiden
Teilen eine Kugellageranordnung vorgesehen ist) das
Ansprechverhalten beim Anfahren und Anhalten in unerwünschter
Weise dadurch beeinträchtigt wird, daß ein
exaktes Einstellen der Position des beweglichen Tischs
äußerst schwierig ist. Ist die Kugel-Spindelanordnung
derart ausgebildet, daß sie zur Erzielung einer hohen
Positionierungsgenauigkeit eine geringe Gewindesteigung
besitzt, so ist die Vorschubgeschwindigkeit
der Einrichtung unvermeidlich gering. Außerdem ist
die Gesamtgröße der Einrichtung wegen des Blattbedarfs
für die Kugel-Spindelanordnung und die Drehmotoren
relativ hoch.
Um den oben aufgezeigten Problemen zu begegnen,
wurden verschiedene Vorschläge gemacht, die auf eine
Vorschubeinrichtung mit einem Linearmotor abzielten.
Die Verwendung eine Linearmotors hat grundsätzlich
die Wirkung, daß das Ansprechverhalten des beweglichen
Tisches bei Bewegungen verbessert ist und der
Tisch eine höhere Vorschubgeschwindigkeit besitzt.
Letzteres ist darauf zurückzuführen, daß eine
mechanische Kraftübertragungseinrichtung wie beispielsweise
die erwähnte Kugel-Spindelanordnung, entbehrlich
ist. Außerdem läßt die Baugröße der Einrichtung herabsetzen,
da bei dem Linearmotor ein bewegliches und
ein ortsfestes Teil zwischen dem beweglichen Tisch
und dem ortsfesten Bett liegen.
Da bei der oben erläuterten herkömmlichen Tischvorschubeinrichtung
allerdings der Linearmotor normalerweise
derart ausgebildet ist, daß der bewegliche
Tisch auf einem an dem ortsfesten Bett befestigten
feststehenden Teil entlangläuft, ist der Bewegungsbereich
des beweglichen Tischs beschränkt auf denjenigen
Bereich, der der Gesamtlänge des feststehenden
Teils entspricht. Soll der bewegliche Tisch über
eine große Strecke laufen können, ist es also notwendig,
ein sehr langes feststehendes Teil vorzusehen.
Da andererseits die Zähne an dem feststehenden
Teil dadurch hergestellt werden, daß ein Stahlblech
oder dergleichen geätzt wird, müßte, wenn die Länge
des feststehenden Teils erhöht werden sollte, das
zum Ätzen verwendete Ätzbad mit entsprechend größerer
Länge vorgesehen werden. Hierdurch würden sich die
Abmessungen der Produktionsanlage beträchtlich vergrößern,
und demzufolge würden sich die Herstellungskosten
erhöhen. Den bekannten Anordnungen haftet
also der Nachteil an, daß einerseits die Länge des
zu verwendenden Ätzbades beschränkt ist, und daß
andererseits, wenn das feststehende Teil eine größere
Länge besitzt, die Herstellungskosten erheblich erhöht
werden. Um diesen Problemen zu begegnen, wurde
ein Verfahren vorgeschlagen, bei welchem mehrere
kurze feststehende Teile zu einem langen feststehenden
Teil vereinigt werden. Bei diesem Verfahren ist es
allerdings äußerst schwierig, die Verbindungsstellen
der kurzen Teile mit der erforderlichen hohen Genauigkeit
zusammenzufügen, um die gleiche genaue
Teilung der feststehenden Zähne zu erhalten. Wenn
beispielsweise das bewegliche Teil so ausgebildet
ist, daß es mit einer Schrittweite von 1 mm bewegt
wird und das Teil über eine Verbindungsstelle fährt,
so kann es vorkommen, daß die Verbindungsstelle mit
einer Geschwindigkeit überfahren wird, die einer
Schrittweite von 1,5 mm oder weniger als 1 mm entspricht,
da die durch benachbarte Verbindungsstellen
definierte Schrittweite möglicherweise durch herstellungsbedingte
Ungenauigkeiten 1,5 mm oder weniger
als 1 mm beträgt, nicht jedoch die Soll-Größe von
1 mm aufweist. Dieser Nachteil bringt Probleme hinsichtlich
der Bewegungsgenauigkeit des beweglichen
Tischs mit sich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine
Tischvorschubeinrichtung zu schaffen, die unabhängig
von der Länge des feststehenden Teils eine praktisch
unbegrenzte Strecke zurücklegen kann, welche auch
die Gesamtlänge des feststehenden Teils übersteigen
kann, wobei dennoch ein exakter Vorschub des beweglichen
Tischs gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1
angegebene Erfindung gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen
der Erfindung sind in den Unteransprüchen
angegeben.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung
anhand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Draufsicht auf eine bevorzugte
Ausführungsform einer Tischvorschubeinrichtung
nach der Erfindung, wobei
einige Bauteile dargestellt sind, die
normalerweise von außen nicht sichtbar
sind,
Fig. 2 eine Längsschnittansicht der in Fig. 1
gezeigten Einrichtung,
Fig. 3 eine Schnittansicht entlang der Linie
III-III in Fig. 1,
Fig. 4 eine Schnittansicht entlang der Linie
IV-IV in Fig. 1,
Fig. 5 eine Schnittansicht entlang der Linie
V-V in Fig. 1,
Fig. 6 eine Schnittansicht entlang der Linie
VI-VI in Fig. 1,
Fig. 7 eine Längsschnittansicht, die im wesentlichen
Bestandteil einer elektromagnetischen
Bremse in der Vorrichtung nach
Fig. 1 veranschaulicht,
Fig. 8 eine Vorderansicht eines der in der Einrichtung
nach Fig. 1 verwendeten Linearlager,
Fig. 9 eine Draufsicht auf das Lager nach
Fig. 8,
Fig. 10 eine Schnittansicht entlang der Linie
X-X in Fig. 9,
Fig. 11 eine vergrößerte Schnittansicht, die
den wesentlichen Bestandteil des beweglichen
Teils und des feststehenden
Teils in der erfindungsgemäßen Einrichtung
zeigt,
Fig. 12A
bis 12D schematische Vorderansichten des Linear-
Impulsmotors, wobei dessen Arbeitsprinzip
veranschaulicht ist, und
Fig. 13A
bis 13E schematische Vorderansichten der Einrichtung
nach Fig. 1, wobei unterschiedliche
Betriebszustände dargestellt sind.
Fig. 1 bis 6 zeigen einen Linearmotor, der Bestandteil
einer Ausführungsform der Erfindung ist. Ein
ortsfestes Bett 1 besitzt an jeder Breitseite Flansche
2, die von den Seiten nach oben vorstehen und sich
parallel zueinander in Längsrichtung erstrecken. Mit
Hilfe von Befestigungsmitteln 4 (z.B. Bolzen) sind
an dem ortsfesten Bett 1 Führungsschienen 3 befestigt,
die parallel zueinander an den Innenseiten der
Flansche 2 angeordnet sind und einander gegenüberliegen.
Von den Führungsschienen 3 werden mit Hilfe
weiter unten näher beschriebener Linearlager zur
freien Bewegung längs der Führungsschienen 3 ein
erster beweglicher Tisch 5 und ein zweiter beweglicher
Tisch 6 getragen. An den einander gegenüberliegenden
Seitenflächen im Bereich der Unterseite des zweiten
beweglichen Tischs 6 sind Ausnehmungen zur Anbringung
der Linearlager ausgebildet. In den Ausnehmungen sind
mit Hilfe von Befestigungsmitteln 8 an beiden Seiten
ein Paar Linearlager 7 festgemacht. Ein weiteres Paar
von Linearlagern 9 ist mit Hilfe von Befestigungsmitteln
10 an beiden Seiten des vorderen und hinteren
Endabschnitts auf der Oberseite des ersten beweglichen
Tischs 5 befestigt. In den Seitenflächen der
Führungsschienen 3 sind in Nachbarschaft bezüglich
des ersten und des zweiten beweglichen Tisches 5, 6
paarweise Laufnuten 3 a für belastete Kugeln ausgebildet,
so daß in jedem der Linearlager 7 und 9 befindliche
belastete Kugeln 22 (siehe Fig. 8) geführt
werden. Der erste und der zweite bewegliche
Tisch 5,6 werden also von denselben Führungsschienen
3 mit Hilfe der Linearlager 7 und 9 geführt, wobei
die Lager an den beiden Tischen festgemacht sind.
Demgemäß kann sich der zweite bewegliche Tisch 6 relativ
zu dem ersten beweglichen Tisch 5 bewegen.
Außerdem ist der zweite bewegliche Tisch 6 so ausgebildet,
daß er innerhalb eines zwischen den Linearlagern
9 an den Seitenflächen des vorderen und
hinteren Endes des ersten beweglichen Tisches 5 definierten
Bereichs relativ zu dem ersten beweglichen
Tisch 5 verschoben werden kann. Zwischen dem ersten
beweglichen Tisch 5 und dem zweiten beweglichen Tisch
6 befindet sich ein Linearmotor a. Ein feststehendes
Teil 5′ des Linearmotors A ist auf der Oberseite des
ersten beweglichen Tischs 5 montiert; andererseits
ist an der Unterseite des zweiten beweglichen Tischs 6,
welche der Oberseite des Tischs 5 gegenüberliegt,
ein bewegliches Teil 6′ montiert.
In jedem Mittelbereich der Breitseitenflächen des
zweiten beweglichen Tischs 6 zwischen den Linearlagern
7 ist auf jeder Seite eine elektromagnetische Bremse
11 montiert. Anderseits ist an den beiden Seiten
des vorderen und des hinteen Endes der Oberseite des
ersten beweglichen Tischs 5 ein Paar elektromagnetischer
Bremsen 12 montiert.
Wie Fig. 7 zeigt, enthält jede elektromagnetische
Bremse 11 und 12 einen Bremsschuh 13, der gegen die
entsprechende Führungsschiene 3 gepreßt werden kann,
um einen Bremsvorgang zu bewirken, einen Tauchkolben
14, der den Bremsschuh 13 quer zur Führungsschiene 3
vor- und zurückbewegt, und eine elektromagnetische
Spule 15 zum Betätigen des Tauchkolbens 14. Die
Bremsanordnung ist derart ausgebildet, daß, wenn die
Spule 15 erregt wird, der Tauchkolben 14 derart gezogen
wird, daß sich der Bremsschuh 13 von der entsprechenden
Führungsschiene 3 löst, während dann,
wenn die Spule 15 entregt wird, der Bremsschuh 13
von einer Feder 16 beaufschlagt und dadurch gegen die
entsprechende Führungsschiene 3 gepreßt wird.
Wie Fig. 8 bis 10 zeigen, umfaßt jedes Linearlager 7
und 9 einen Lagerblock 19 mit zwei Kugel-Laufnuten 17
auf der einen Seite und außerdem mit zwei inneren
Kugel-Rücklauflöchern 18, einen Käfig 20, der die
beiden Reihen von belasteten Kugeln hält, und ein
Paar Deckelplatten 21, von denen jede eine Verbindung
zwischen den Kugel-Laufnuten 17 und den entsprechenden
Kugel-Rücklauflöchern 18 herstellt. Die belasteten
Kugeln 22 rollen in den durch die Kugel-Laufnuten 17
und die Kugel-Rücklauflöcher 18 gebildeten Endlosbahnen
um. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel
beträgt der Berührungswinkel α zwischen den Kugel-
Laufnuten 17 und den belasteten Kugeln 22 etwa
45°. Dieser Winkel ist jedoch nur beispielhaft und
kann innerhalb eines Bereichs zwischen 30° und 60°
frei gewählt werden.
Wie Fig. 1 zeigt, ist das Spiel zwischen den Führungsschienen
3 und jedem der Linearlager 7 und 9 mit
Hilfe von Spielraum-Justierbolzen 23, die an einer
der Führungsschienen 3 montiert sind, einstellbar.
Beim Anziehen der Spielraum-Justierbolzen 23 drücken
die inneren Enden dieser Bolzen 23 die entsprechenden
Lager 7 oder 9 in Richtung auf die andere Führungsschiene
3, während die auf diese Bolzen einwirkende
Reaktionskraft so übertragen wird, daß sie auf das
andere Linearlager 7 bzw. 9 drückt, so daß dadurch
die belasteten Kugeln 22 in geeigneter Weise vorgespannt
werden. Als andere Mittel zum Vorspannen kommen
Exzenterstifte, konische Teile u.dgl. in Frage.
Fig. 11 zeigt den wesentlichen Teil des bei dieser
Ausführungsform der Erfindung verwendeten Linearmotors.
Beim dargestellten Ausführungsbeispiel besitzt
das bewegliche Teil 6′ einen zentralen Permanentmagneten
24, sowie linke und rechte Magnetkerne 25 und
26, die derart angeordnet sind, daß sie über den
zentralen Permanentmagneten 24 einander zugewandt
sind. Der Magnetkern 25 (in Fig. 11 auf der linken
Seite) besitzt erste und zweite Magnetpole 27, 28,
die von dem zentralen Permanentmagneten 24 mit N-Polarität
magnetisiert sind. Der Magnetkern 26 (rechts
in Fig. 11) besitzt einen dritten und einen vierten
Magnetpol 29 bzw. 30, die von dem Permanentmagneten
24 mit S-Polarität magnetisiert sind.
Wie Fig. 11 zeigt, sind mit einer konstanten Schrittweite
P über die gesamte Länge des feststehenden
Teils 5′ viele feststehende Zähne 5 a ausgebildet, die
jeweils rechtwinkligen Querschnitt haben und sich
etwa rechtwinklig zur Längsrichtung des feststehenden
Teils 5′ erstrecken. Die ersten bis vierten Magnetpole
27 bis 30 besitzen Polzähne 27 a bis 30 a, deren
Schrittweite die gleiche ist wie die der Zähne an dem
feststehende Teil 5′.
Die ersten und zweiten Magnetpole 27, 28 mit der
N-Polarität tragen auf sie aufgewickelte erste bzw.
zweite Spulen 31, 32. Diese Spulen 31, 32 sind in
Reihe geschaltet, so daß sie Magnetflüsse in Gegenrichtung
erzeugen, wenn sie von elektrischem impulsförmigem
Strom durchflossen werden, der von einer
(nicht gezeigten) Impulsgeneratoreinrichtung erzeugt
wird, welche an die Spulen 31, 32 angeschlossen ist.
In ähnlicher Weise sind die dritten und vierten
Magnetpole 29, 30 mit der S-Polarität von dritten
und vierten Spulen 33, 34 umwickelt. Diese Spulen
33 und 34 sind in Reihe geschaltet, so daß sie
Magnetflüsse in entgegengesetzter Richtung erzeugen,
wenn ihnen impulsförmiger elektrischer Strom von
einer (nicht gezeigten) Impulsgeneratoreinrichtung
zugeführt wird, an die die Spulen 33 und 34 angeschlossen
sind. Aus Grüünden der Vereinfachung sei
angenommen, daß die Phase der Polzähne 28 a des
zweiten Magnetpols 28 gegenüber der Phase der Polzähne
27 a des ersten Magnetpols 27 um 1/2 Schrittweite,
d.h. P/2 versetzt ist, während die Phase der
Polzähne 29 a des dritten Magnetpols 29 gegenüber
der Phase der Polzähne 30 a des vierten Magnetpols 30
um einen entsprechenden Betrag von 1/2 Schrittweite,
d.h. P/2, versetzt ist. Außerdem sei angenommen, daß
die Polzähne 29 a und 30 a der dritten und vierten
Magnetpole 29, 30 mit der S-Polarität in der Phase
gegenüber den Polzähnen 27 a, 28 a der ersten und
zweiten Magnetpole 27, 28 mit der N-Polarität um
einen Betrag entsprechend 1/4 Schrittweite, d.h. P/4,
versetzt sind.
Im folgenden wird anhand der Fig. 12A bis 12D die
Arbeitsweise des Linear-Impulsmotors beschrieben.
Die ersten und zweiten Spulen 31, 32 empfangen Impulse
an den Anschlüssen a, während die dritten und vierten
Spulen 33, 34 Impulse an den Anschlüssen b empfangen.
Gemäß Fig. 12A wird der Impulsstrom in eine solche
Richtung an die Anschlüsse a geliefert, daß der erste
Magnetpol erregt wird (Zustand (1)). Gemäß Fig. 12B
wird der Impulsstrom in eine solche Richtung an die
Anschlüsse B gelegt, daß der vierte Magnetpol 30 erregt
wird (Zustand (2)). Gemäß Fig. 12C wird der
Impulsstrom in eine solche Richtung an die Anschlüsse
a gelegt, daß der zweite Magnetpol 28 erregt wird
(Zustand (3)). Schließlich wird nach Fig. 12D der
Impulsstrom in eine solche Richtung angelegt, daß
der dritte Magnetpol 29 erregt wird (Zustand (4)).
Die durch die jeweiligen Magnetpole in den Zuständen
(1) bis (4) erzeugte Magnetkraft ist in der nachstehenden
Tabelle 1 zusammengefaßt:
Wie aus Tabelle 1 ersichtlich, übt im Zustand (1) der
erste Magnetpol 27 mit N-Polarität die stärkste Magnetkraft
aus, so daß das bewegliche Teil 6 durch die
magnetische Anziehungskraft zwischen dem ersten Magnetpol
27 und dem entsprechenden Zahn 5 a des feststehenden
Teils 5 in einem stabilen Zustand gehalten wird. Andererseits
sind der dritte und der vierte Magnetpol 29
bzw. 30 mit der S-Polarität gegenüber dem jeweiligen
benachbarten Zahn 5 a des feststehenden Teils 5 um
1/4 Schrittweite versetzt.
Im Zustand (2) erzeugt der Magnetpol 27 keine Kraft
mehr, stattdessen erzeugt der vierte Magnetpol 30 mit
der S-Polarität die stärkste Kraft, so daß das bewegliche
Teil 6 um eine Strecke, die 1/4 Schrittweite,
d.h. P/4 entspricht, bewegt wird, mit der Folge, daß
der vierte Magnetpol 30 in Phase gelangt mit dem benachbarten
Zahn 5 a des feststehenden Teils 5. Derweil
sind der erste und der zweite Magnetpol 27 bzw. 28
mit der N-Polarität gegenüber dem jeweils benachbarten
Zahn 5 a des feststehenden Teils 5 um ein Stück 1/4
Schrittweite, d.h. P/4, versetzt.
In dem Zustand (3) erzeugt der zweite Magnetpol 28
mit der N-Polarität die stärkste Magnetkraft, so daß
das bewegliche Teil 6 um ein Stück entsprechend 1/4
Schrittweite, d.h. P/4, bewegt wird, mit der Folge,
daß der zweite Magnetpol 28 in Phase mit dem benachbarten
Zahn 5 a des feststehenden Teils 5 gelangt.
Andererseits sind dann der dritte und der vierte Magnetpol
29 bzw. 30 mit der S-Polarität gegenüber dem
jeweils benachbarten Zahn 5 a des feststehenden Teils 5
um ein Stück 1/4, d.h. P/4, versetzt.
Im Zustand (4) erzeugt der dritte Magnetpol 29 mit
der S-Polarität die stärkste Kraft, so daß das bewegliche
Teil 6 um ein Stück 1/4 Schrittweite, d.h.
P/4, bewegt wird, mit der Folge, daß der Magnetpol 29
in Phase mit dem benachbarten Zahn 5 a des feststehenden
Teils 5 ist.
Anschließend geht es mit dem Zustand (1) weiter, so
daß der erste Magnetpol 27 mit der N-Polarität die
stärkste Kraft erzeugt. Als Folge wird das bewegliche
Teil 6 um ein 1/4 Schrittweite, d.h. P/4, entsprechendes
Stück weiterbewegt, so daß wieder der Zustand nach
Fig. 12A eingenommen wird. Auf diese Weise läuft
das bewegliche Teil 6 bei jedem Impulszyklus durch
wiederholtes Durchlaufen der Zustände (1) bis (4)
jeweils um 1/4 Schrittweite weiter.
Die obige Beschreibung bezieht sich auf die einphasige
Erregung. Allerdings kann der im Rahmen der Erfindung
verwendete Linearmotor auch durch ein Zweiphasen-
Treibersystem angesteuert werden, bei dem mit einem
Zweiphasen-Strom gearbeitet wird. Alternativ kann auch
eine 1-2-Phasen-Erregung vorgesehen werden, bei der
einphasige und zweiphasige Ströme abwechselnd angelegt
werden.
Die Tischvorschubeinrichtung mit dem oben beschriebenen
Aufbau wird wie folgt angetrieben:
Zunächst wird jede der elektromagnetischen Bremsen 12
des ersten beweglichen Tischs 5 entregt, um die in
der Bremse 12 vorhandene Feder 16 zu lockern. Dadurch
wird der bewegliche Tisch 5 an den Führungsschienen
3 durch die Federkraft der Feder 16 fixiert. Gleichzeitig
werden die beiden elektromagnetischen Bremsen
11 des beweglichen Tischs 6 erregt, um die in jeder
Bremse 11 vorhandene Feder 16 zusammenzudrücken, damit
sich der bewegliche Tisch 6 entlang der Führungsschienen
3 frei bewegen kann. In diesem Zustand wird
ansprechend auf eine Impulseingabe zu dem beweglichen
Teil 6′ der zweite bewegliche Tisch 6 angetrieben,
so daß er um ein vorbestimmtes Stück in Vorwärtsrichtung
bewegt wird, wie in den Fig. 13A, 13B und
13C dargestellt ist (betrachtet von der linken Seite
der Figuren). Nachdem der zweite bewegliche Tisch 6
ein vorbestimmtes Stück in Vorwärtsrichtung gelaufen
ist und bevor er an einem bestimmten Punkt hält,
werden die beiden elektromagnetischen Bremsen 11 des
zweiten beweglichen Tischs 6 entregt, um die Feder 16
in jeder Bremse zu lösen, mit der Folge, daß der
bewegliche Tisch 6 durch die Federkraft jeder Feder
16 an den Führungsschienen 3 fixiert wird. Gleichzeitig
werden die beiden elektromagnetischen Bremsen 12
des beweglichen Tischs 15 erregt, damit die Federn 16
in jeder Bremse 12 zusammengedrückt werden und der
erste bewegliche Tisch 5 gegenüber den Führungsschienen
3 frei bewegbar ist. In diesem Zustand werden
derart Impulse zugeführt, daß sich der zweite bewegliche
Tisch 6 in Rückwärtsrichtung (in den Fig. 13A
bis 13E nach rechts) bewegen würde. Da jedoch der
zweite bewegliche Tisch 6 an den Führungsschienen 3
festgelegt ist, veranlaßt die auf diese Weise erzeugte
Reaktionskraft, daß der erste bewegliche Tisch
5 in Vorwärtsrichtung läuft (in den Figuren nach links),
wie in den Fig. 13C und 13D dargestellt ist, bevor
der Tisch an einer vorbestimmten Stelle anhält. In
dem in Fig. 13E dargestellten Zustand werden die
elektromagnetischen Bremsen 12 des ersten beweglichen
Tischs 5 entregt, um den Tisch 5 an den Führungsschienen
3 zu fixieren, während die beiden elektromagnetischen
Bremsen 11 des zweiten beweglichen
Tischs 6 erregt werden, um die Federn 16 in jeder
Bremse zusammenzudrücken, damit der bewegliche Tisch 6
gegenüber den Führungsschienen 3 frei beweglich ist.
Danach wiederholt sich der oben beschriebene Vorgang,
so daß der zweite bewegliche Tisch 6 und der erste
bewegliche Tisch 5 abwechselnd in Vorwärtsrichtung
laufen (nach links in den Fig. 13A bis 13E), und zwar
beliebig weit in Richtung der Führungsschienen 3.
Dem Fachmann ist klar, daß, weil der erste bewegliche
Tisch 5 durch vier Elektromagneten 12 auf beiden
Seiten vorne und hinten am Tisch 5 fixiert wird, eine
große Bremskraft erzeugt werden kann. Selbst wenn der
zweite bewegliche Tisch aufgrund schwerer Beladung
einer großen Trägheit ausgesetzt ist, ist ein Schlupf
zwischen den Führungsschienen 3 und den Bremsschuhen 13
der elektromagnetischen Bremsen 12 ausgeschlossen.
Außerdem ist der erste bewegliche Tisch 5 an beiden
Seiten sowie vorne und hinten an den Führungsschienen
3 fixiert, so daß es möglich ist, den ersten beweglichen
Tisch 5 im Gleichgewicht abzubremsen.
Da der erste und der zweite bewegliche Tisch 5, 6
auf den ersten und zweiten Linearlagern 7 bzw. 9
laufen, besteht nur ein sehr geringer Gleitwiderstand,
und auch wenn die Tische 5 und 6 schwere Lasten
tragen, gleiten die Tisch ruhig ohne nennenswerten
Reibungswiderstand. Die Verwendung der ersten und
zweiten Linearlager 7 und 9 in der oben beschriebenen
Form ermöglicht die Aufnahme von Lasten, die zehn-
bis hundertmal schwerer sind als solche Lasten, die
ohne derartige Linearlager aufgenommen werden könnten.
Wenn außerdem der Berührungswinkel α zwischen den
belasteten Kugeln 29 des ersten und zweiten Linearlagers
7 bzw. 9 und den Kugel-Laufnuten 17 zu 45°
gewählt wird, können der erste und der zweite bewegliche
Tisch 5 bzw. 6 die Last in sämtliche Richtungen,
d.h. vertikal und seitlich, aufnehmen. Durch geeignetes
Vorspannen der belasteten Kugeln 22 läßt sich
außerdem eine geeignete Steifigkeit erzielen, während
ein konstantes Spiel zwischen dem ersten beweglichen
Tisch 5 und dem zweiten beweglichen Tisch aufrechterhalten
und dadurch ein stabiler Lauf gewährleistet
wird. Man kann folgende Schwierigkeiten vermeiden:
Kippen mit der Folge schwankenden Bewegungshubs,
Gieren, welches sich aus einem zick-zack-Lauf ergibt,
und Rollen, bei dem jeder Tisch vor- und zurückdrehend
läuft.
Die obige Beschreibung bezieht sich auf eine Ausführungsform,
bei der ein Linear-Impulsmotor durch
ein Impulssignal angesteuert wird. Die Verwendung
eines Linear-Impulsmotors ist jedoch nur beispielhaft.
Es können auch andere Linearmotoren verwendet werden,
z.B. ein linearer Induktionsmotor, ein Linear-Gleichstrommotor
u.dgl. Bei dem obigen Ausführungsbeispiel
ist außerdem das feststehende Teil 5′ an dem ersten
beweglichen Tisch 5 montiert, während das bewegliche
Teil 6′ an dem zweiten beweglichen Tisch 6 montiert
ist. Selbstverständlich ist auch eine umgekehrte
Anordnung möglich.
Die erfindungsgemäße Tischvorschubeinrichtung weist
folgende Vorteile auf:
Der erste und der zweite bewegliche Tisch, die jeweils
mit Bremsenrichtungen ausgestattet sind, können
abwechselnd bewegt werden, während der gerade nicht
bewegte Tisch in Bezug auf das ortsfeste Bett fixiert
wird. Dadurch besteht die Möglichkeit, daß die Tische
eine praktisch unendlich lange Strecke bewegt werden,
unabhängig von der Länge des feststehenden Teils.
Auch bei langen Transportwegen besteht also nicht
die Notwendigkeit, ein langes feststehendes Teil wie
im Stand der Technik vorzusehen. Hierdurch verringern
sich die Herstellungskosten der Tischvorschubeinrichtung
aufgrund vereinfachter Herstellungsmöglichkeiten.
Wenn im Stand der Technik ein langes feststehendes
Teil durch Aneinanderfügen mehrerer kurzer
feststehender Teile gebildet wird, läßt es sich nicht
vermeiden, daß die Verbindungsstellen unregelmäßig
sind mit der Folge, daß sich die Vorschubgenauigkeit
der beweglichen Tische verschlechtert. Demgegenüber
ermöglicht die Erfindung eine ganz genaue Positionierung
und Bewegung der Tische. Die Verwendung der
Linearlager beseitigt außerdem Probleme, die durch
Schwankungen im Bewegungshub (Kippen), zick-zack-Lauf
(Gieren) und seitliche Schwankungen durch seitliches
Drehen (Rollen) entstehen. Die erfindungsgemäße Einrichtung
bietet also eine Reihe von Vorteilen, wozu
auch ein stabiler und glatter Lauf gehören.
Claims (8)
1. Tischvorschubeinrichtung,
gekennzeichnet durch
- - ein ortsfestes Bett (1),
- - einen ersten beweglichen Tisch (5), der für eine Relativbewegung zu dem Bett (1) von einer ersten Linearlager- Anordnung (9) gelagert wird,
- - einen zweiten beweglichen Tisch (6), der über eine zweite Linearlager-Anordnung (7) an dem Bett (1) vertikal beabstandet bezüglich dem ersten beweglichen Tisch (5) derart gelagert ist, daß er in die gleiche Richtung bewegt werden kann, in die der erste bewegliche Tisch (5) bezüglich des ortsfesten Betts (1) bewegbar ist,
- - eine erste Bremsvorrichtung (12), die an dem ersten beweglichen Tisch (5) befestigt ist, um diesen entweder bezüglich des ortsfesten Betts (1) zu fixieren, oder ihn bezüglich des Betts bewegbar zu lassen,
- - eine zweite Bremsvorrichtung (11), die an dem zweiten beweglichen Tisch (6) befestigt ist, um letzteren wahlweise bezüglich des ortsfesten Betts (1) zu fixieren oder ihn in Bezug auf das Bett bewegbar zu halten, und
- - einen Linearmotor (A), der zwischen dem ersten und dem zweiten beweglichen Tisch (5, 6) angeordnet ist, um die Tische relativ zueinander zu bewegen, wenn der erste oder der zweite bewegliche Tisch mit Hilfe der zugehörigen ersten bzw. zweiten Bremsvorrichtung (11, 12) an dem Bett (1) festgelegt ist, während der andere Tisch frei beweglich ist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste
Linearlager-Anordnung (9) mindestens ein Paar von
ersten Linearlagern (9) aufweist, die an gegenüberliegenden
Seiten des ersten beweglichen Tischs (5)
angeordnet sind, und daß jedes Linearlager (9) eine
an dem Bett (1) montierte Führungsschiene (3) sowie
einen an dem ersten beweglichen Tisch befestigten
Lagerblock (19) aufweist, der über dazwischenliegende
Kugeln (22) entlang der Führungsschiene (3) beweglich
ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die zweite
Linearlager-Anordnung (7) mindestens ein Paar von
zweiten Linearlagern (7) aufweist, die an entgegengesetzten
Seiten des zweiten beweglichen Tischs (6)
angeordnet sind, und daß jedes zweite Linearlager
(7) eine an dem Bett (1) vorgesehene Führungsschiene
(3) sowie einen Lagerblock (19) aufweist, der an
dem zweiten beweglichen Tisch (6) befestigt ist und
über dazwischenliegende Kugeln entlang der Führungsschiene
(3) beweglich ist.
4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste
Bremsvorrichtung (12) mindestens ein Paar erster
Bremsen aufweist, die in den gegenüberliegenden
Seiten des ersten beweglichen Tischs (5) angeordnet
sind.
5. Einrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß jede erste
Bremse als elektromagnetisch betätigte Bremse ausgebildet
ist.
6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß jede
zweite Bremsvorrichtung (11) mindestens ein Paar
zweiter Bremsen aufweist, die an gegenüberliegenden
Seiten des zweiten beweglichen Tischs (6) angeordnet
sind.
7. Einrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß jede zweite
Bremse als elektromagnetisch betätigte Bremse ausgebildet
ist.
8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste
und die zweite Linearlager-Anordnung (7, 9) in der
Richtung, in der der erste und der zweite bewegliche
Tisch (5, 6) in Bezug aufeinander bewegbar sind,
voneinander mit Abstand angeordnet sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60133999A JPS61293740A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | テ−ブル移送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3620741A1 true DE3620741A1 (de) | 1987-01-02 |
DE3620741C2 DE3620741C2 (de) | 1989-11-02 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19863620741 Granted DE3620741A1 (de) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Tischvorschubeinrichtung |
Country Status (7)
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---|---|
US (1) | US4681506A (de) |
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DE (1) | DE3620741A1 (de) |
FR (1) | FR2583670B1 (de) |
GB (1) | GB2176722B (de) |
IT (1) | IT1204893B (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4324918A1 (de) * | 1992-07-31 | 1994-02-03 | Ford Werke Ag | Vielachsige Positionierungsmaschine |
DE4307482A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-22 | Max Rhodius Gmbh | Werkzeugmaschine |
EP0713748A1 (de) * | 1994-11-24 | 1996-05-29 | SMC Kabushiki Kaisha | Linearantrieb |
DE19910734A1 (de) * | 1999-03-11 | 2000-09-28 | Grob Gmbh & Co Kg | Linearantrieb und Verfahren zur Montage bzw. Demontage dieses Linearantriebes |
DE102016117055A1 (de) | 2016-09-12 | 2018-03-15 | Homag Plattenaufteiltechnik Gmbh | Plattenaufteilanlage |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0393994B1 (de) * | 1989-04-17 | 1994-06-15 | SHARP Corporation | Linearantriebsgerät |
DE4016987C1 (en) * | 1990-05-26 | 1991-11-14 | Gerhard-Guenter 7266 Neuweiler De Gassmann | Computer controlled positioning appts. - has drive carriage coupled to two threaded spindles for displacing drive rods |
JP2864155B2 (ja) * | 1990-07-12 | 1999-03-03 | キタムラ機械株式会社 | パレット交換装置 |
JPH05199704A (ja) * | 1991-08-08 | 1993-08-06 | General Electric Co <Ge> | 電気アクチュエータ・モータ |
KR100276981B1 (ko) * | 1992-05-20 | 2001-01-15 | 다카키도시요시 | 테이블 이송장치 |
KR0159675B1 (ko) * | 1995-01-11 | 1999-01-15 | 오카노 사다오 | 공작 기계용 리니어 모터장치 |
JPH08284985A (ja) * | 1995-04-10 | 1996-11-01 | Fanuc Ltd | リニアモータを使用した工作機械のブレーキ機構 |
JPH114508A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-06 | Nippon Thompson Co Ltd | リニアモータテーブルの制動装置 |
JP4268716B2 (ja) * | 1999-03-12 | 2009-05-27 | 株式会社森精機製作所 | 工作機械のクランプ装置 |
JP4248695B2 (ja) * | 1999-07-26 | 2009-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | ウェハ移載装置の緊急停止装置 |
JP4503866B2 (ja) * | 2000-03-13 | 2010-07-14 | Thk株式会社 | 転がり案内装置及びこの転がり案内装置を用いた駆動装置 |
EP1281194A1 (de) * | 2000-05-09 | 2003-02-05 | Siemens Production and Logistics Systems AG | Längsförderer |
WO2002099949A2 (en) * | 2001-06-07 | 2002-12-12 | Virginia Tech Intellectual Properties, Inc. | System to generate and control levitation, propulsion and guidance of linear switched reluctance machines |
JP4035363B2 (ja) * | 2002-05-01 | 2008-01-23 | 日本トムソン株式会社 | 直動案内ユニット |
US7735632B1 (en) * | 2006-03-31 | 2010-06-15 | Anorad Corporation | Pass-through cover/seal |
US7654382B2 (en) * | 2007-03-26 | 2010-02-02 | General Electric Co. | Table drive system |
WO2009039865A1 (de) * | 2007-09-20 | 2009-04-02 | Festo Ag & Co. Kg | Elektrische lineardirektantriebsvorrichtung mit einem zwei führungsschienen zur linearführung eines angetriebenen schlittens aufweisender stator |
CN101774476B (zh) * | 2009-12-31 | 2011-09-21 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于永磁直线电机的抛送平台 |
DE202010001761U1 (de) * | 2010-02-03 | 2010-07-08 | Hering, Michael | Vorrichtung zum Verschieben eines Gegenstandes |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3268747A (en) * | 1964-02-28 | 1966-08-23 | Superior Electric Co | Linear electric motor |
DE7634519U1 (de) * | 1980-01-10 | Trepel Ag, 6200 Wiesbaden | Hydraulischer Linearmotor |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE794549A (fr) * | 1972-01-27 | 1973-05-16 | Mitsui Shipbuilding Eng | Chariot pour le transport de poids lourds |
US3767064A (en) * | 1972-06-20 | 1973-10-23 | D Lutz | Traveling walking beam conveyor |
SE402262B (sv) * | 1974-10-04 | 1978-06-26 | Anderson Ind Ab Paul | Transportanordning for forflyttning av tunga laster |
JPS55157969A (en) * | 1979-05-25 | 1980-12-09 | Ricoh Co Ltd | Linear motor |
JPS5668265A (en) * | 1979-11-10 | 1981-06-08 | Ricoh Co Ltd | Linear pulse motor |
JPS6090648A (ja) * | 1979-11-10 | 1985-05-21 | Hiroshi Teramachi | 微動および早送り可能な移送装置 |
US4458808A (en) * | 1981-05-26 | 1984-07-10 | Loomer Weston R | Shuttle table drive mechanism |
JPS58157535U (ja) * | 1982-04-15 | 1983-10-20 | 鈴木 敏朗 | 3段式スライドテ−ブルの順スライド機構 |
US4627362A (en) * | 1983-06-28 | 1986-12-09 | Kabushiki Kaisha Myotoku | Air sliding device for work pallets or the like |
JPS6016335A (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-28 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | リニアスライド |
-
1985
- 1985-06-21 JP JP60133999A patent/JPS61293740A/ja active Granted
-
1986
- 1986-06-18 KR KR1019860004851A patent/KR890005089B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1986-06-20 DE DE19863620741 patent/DE3620741A1/de active Granted
- 1986-06-20 US US06/876,810 patent/US4681506A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-06-20 GB GB08615131A patent/GB2176722B/en not_active Expired
- 1986-06-20 IT IT20875/86A patent/IT1204893B/it active
- 1986-06-23 FR FR868609040A patent/FR2583670B1/fr not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE7634519U1 (de) * | 1980-01-10 | Trepel Ag, 6200 Wiesbaden | Hydraulischer Linearmotor | |
US3268747A (en) * | 1964-02-28 | 1966-08-23 | Superior Electric Co | Linear electric motor |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4324918A1 (de) * | 1992-07-31 | 1994-02-03 | Ford Werke Ag | Vielachsige Positionierungsmaschine |
DE4324918C2 (de) * | 1992-07-31 | 1998-06-04 | Ford Werke Ag | Einspindelige Werkzeugmaschine mit Werkzeugwechsel |
DE4307482A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-22 | Max Rhodius Gmbh | Werkzeugmaschine |
US5688084A (en) * | 1993-03-10 | 1997-11-18 | Max Rhodius Gmbh | Machine tool |
US5933933A (en) * | 1993-03-10 | 1999-08-10 | Max Rhodius Gmbh | Machine tool |
EP0713748A1 (de) * | 1994-11-24 | 1996-05-29 | SMC Kabushiki Kaisha | Linearantrieb |
US5606902A (en) * | 1994-11-24 | 1997-03-04 | Smc Kabushiki Kaisha | Linear actuator |
DE19910734A1 (de) * | 1999-03-11 | 2000-09-28 | Grob Gmbh & Co Kg | Linearantrieb und Verfahren zur Montage bzw. Demontage dieses Linearantriebes |
US6336744B1 (en) | 1999-03-11 | 2002-01-08 | Siemens Linear Motor Systems Gmbh & Co. Kg | Linear drive and process for assembly and dismantling of said linear drive |
DE102016117055A1 (de) | 2016-09-12 | 2018-03-15 | Homag Plattenaufteiltechnik Gmbh | Plattenaufteilanlage |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT1204893B (it) | 1989-03-10 |
GB2176722A (en) | 1987-01-07 |
JPH0440137B2 (de) | 1992-07-01 |
US4681506A (en) | 1987-07-21 |
GB8615131D0 (en) | 1986-07-23 |
FR2583670A1 (fr) | 1986-12-26 |
GB2176722B (en) | 1988-07-13 |
JPS61293740A (ja) | 1986-12-24 |
KR870000136A (ko) | 1987-02-16 |
FR2583670B1 (fr) | 1992-03-27 |
KR890005089B1 (ko) | 1989-12-11 |
DE3620741C2 (de) | 1989-11-02 |
IT8620875A0 (it) | 1986-06-20 |
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