JP6480169B2 - 三次元座標測定機用プローブヘッド - Google Patents
三次元座標測定機用プローブヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP6480169B2 JP6480169B2 JP2014246073A JP2014246073A JP6480169B2 JP 6480169 B2 JP6480169 B2 JP 6480169B2 JP 2014246073 A JP2014246073 A JP 2014246073A JP 2014246073 A JP2014246073 A JP 2014246073A JP 6480169 B2 JP6480169 B2 JP 6480169B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe head
- hinge
- dimensional coordinate
- measuring machine
- coordinate measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
前記第1の弾性機構は、第1の対象物の中心に対して対称に構成され、弾性力により前記第1の対象物を第1の方向に変位可能に支持する。
前記第2の弾性機構は、前記第1の対象物の内部に配置された第2の対象物の中心に対して対称となるように、前記第1の対象物の内部に構成され、弾性力により前記第2の対象物を前記第1の方向に直交する第2の方向に変位可能に支持する。
これにより第1及び第2の方向の各変位の測定において、アッベのオフセット量を互いに略等しくすることが可能となり、高い測定精度が発揮される。
このプローブヘッドでは、第2の方向で第1の対象物の両外側に、第1のヒンジ機構が構成される。これにより構造の簡素化及び測定精度の向上を図ることができる。
このプローブヘッドでは、第1の対象物の側面部にそれぞれ1以上のヒンジ要素からなる第1及び第2のヒンジ部がそれぞれ連結される。これにより構造の簡素化及び測定精度の向上を図ることができる。
このプローブヘッドでは、第1の方向で第2の対象物の両外側に第2のヒンジ機構が構成される。これにより構造の簡素化及び測定精度の向上を図ることができる。
このプローブヘッドでは、第2の対象物の側面部にそれぞれ1以上のヒンジ要素からなる第3及び第4のヒンジ部がそれぞれ連結される。これにより構造の簡素化及び測定精度の向上を図ることができる。
このプローブヘッドでは、一対の第1の板バネの両端が支持され、両端の間の部分にて第1の対象物が支持される。一対の板バネを用いることで構造の簡素化を図ることができる。また測定精度を向上させることができる。
このプローブヘッドでは、両端が支持された一対の第2の板バネにより、第2の対象物が支持される。これにより構造の簡素化を図ることができ測定精度を向上させることができる。
これにより第1の対象物の中心から近い位置に第1及び第2のセンサ部を設けることができ、アッベのオフセット量を抑えることが可能となる。またリング状のディスクを用いることで、第1及び第2の方向におけるアッベのオフセット量を互いに略等しくすることが可能となる。この結果、高い測定精度を発揮させることが可能となる。
前記支持機構は、前記第1の対象物の中心に配置され、前記第1及び前記第2の対象物に接続される測定子を、前記第1及び前記第2の方向のそれぞれに直交する第3の方向に変位可能に支持する。
前記第2の検出機構は、前記測定子の前記第3の方向における第3の変位を検出する。
支持機構として2枚のダイアフラムを用いることで、プローブヘッドの小型化を図ることができる。また上記した中心軸に第3のセンサ部を配置することで、アッベのオフセット量を略ゼロにすることが可能となる。この結果、高い測定精度を発揮させることが可能となる。
[形状測定装置]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る形状測定装置の構成例を示す概略図である。形状測定装置500は、三次元座標測定機1及びコンピュータ2を有する。
図2−図5は、本発明の実施形態に係るプローブヘッドの構成例を示す概略図である。図2は、プローブヘッド100のXZ平面における断面図である。図3は、図2に示す断面図のうち、プローブヘッド100内の3軸変位機構45を主に示す図である。図4は、3軸変位機構45を主に示す斜視図である。図5は、3軸変位機構45のXY平面における断面図であり、図2のA−A線の位置における断面図である。
本発明の第2の実施形態に係るプローブヘッドについて説明する。これ以降の説明では、上記の実施形態で説明したプローブヘッド100における構成及び作用と同様な部分については、その説明を省略又は簡略化する。
本発明は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態で実現することができる。
O1…第1の対象物の中心
O2…第2の対象物の中心
1…三次元座標測定機
2…コンピュータ
30…スタイラス(測定子)
45…3軸変位機構
46、210…XY弾性ヒンジ
48…一対の第1のヒンジ部
49…一対の第2のヒンジ部
50…中央フレーム
51…一対の第3のヒンジ部
52…一対の第4のヒンジ部
53…中央部
55…第1のヒンジ機構
56…第2のヒンジ機構
60…Z変位機構
61…第1のダイアフラム
62…第2のダイアフラム
70…変位検出部
71…XY変位検出部
72…Z変位検出部
73…スケールディスク
74…X検出器
75…Y検出器
77…Xスケール
78…Yスケール
81…Zスケール
82…Z検出器
100…プローブヘッド
211…第1の支持部
212…一対の第1の板バネ
213…第2の支持部
214…一対の第2の板バネ
500…形状測定装置
Claims (10)
- 第1の対象物の中心に対して対称に構成され、弾性力により前記第1の対象物を第1の方向に変位可能に支持する第1の弾性機構と、
前記第1の対象物の内部に配置された第2の対象物の中心に対して対称となるように、前記第1の対象物の内部に構成され、弾性力により前記第2の対象物を前記第1の方向に直交する第2の方向に変位可能に支持する第2の弾性機構と、
前記第2の対象物に接続されると共に測定子が接続される主軸部を前記第1及び前記第2の方向のそれぞれに直交する第3の方向に変位可能に支持する支持機構と
を具備し、
前記支持機構は、前記主軸部が前記第3の方向に沿って延在するように、前記主軸部を支持する
三次元座標測定機用プローブヘッド。 - 請求項1に記載の三次元座標測定機用プローブヘッドであって、
前記第2の対象物の中心は、前記第1の対象物の中心と等しい
三次元座標測定機用プローブヘッド。 - 請求項2に記載の三次元座標測定機用プローブヘッドであって、
前記第1の弾性機構は、前記第2の方向で前記第1の対象物の両外側に、前記第1の対象物に連結された第1のヒンジ機構を有する
三次元座標測定機用プローブヘッド。 - 請求項3に記載の三次元座標測定機用プローブヘッドであって、
前記第1のヒンジ機構は、前記第1の対象物の前記第2の方向で対向する一対の側面部の一方に連結される1以上のヒンジ要素からなる第1のヒンジ部と、前記一対の側面部の他方に連結される1以上のヒンジ要素からなる第2のヒンジ部とを有する
三次元座標測定機用プローブヘッド。 - 請求項2に記載の三次元座標測定機用プローブヘッドであって、
前記第2の弾性機構は、前記第1の方向で前記第2の対象物の両外側に、前記第2の対象物に連結された第2のヒンジ機構を有する
三次元座標測定機用プローブヘッド。 - 請求項5に記載の三次元座標測定機用プローブヘッドであって、
前記第2のヒンジ機構は、前記第2の対象物の前記第1の方向で対向する一対の側面部の一方に連結される1以上のヒンジ要素からなる第3のヒンジ部と、前記一対の側面部の他方に連結される1以上のヒンジ要素からなる第4のヒンジ部とを有する
三次元座標測定機用プローブヘッド。 - 請求項2に記載の三次元座標測定機用プローブヘッドであって、さらに、
前記第1の対象物の前記第1の方向における第1の変位と、前記第2の対象物の前記第2の方向における第2の変位とをそれぞれ検出する第1の検出機構と、
前記測定子の前記第3の方向における第3の変位を検出する第2の検出機構と
を具備する三次元座標測定機用プローブヘッド。 - 請求項7に記載の三次元座標測定機用プローブヘッドであって、
前記第1の検出機構は、前記第1の対象物の中心に中心位置が合わせられたリング状のディスクと、前記ディスクに配置された前記第1の変位を検出する第1のセンサ部と、前記ディスクに配置された前記第2の変位を検出する第2のセンサ部とを有する
三次元座標測定機用プローブヘッド。 - 請求項8に記載の三次元座標測定機用プローブヘッドであって、
前記第1のセンサ部は、前記第1の変位を検出する2つの第1の検出器を有し、
前記第2のセンサ部は、前記第2の変位を検出する2つの第2の検出器を有し、
前記2つの第1の検出器は、前記ディスクの中心を通り前記第2の方向に延在する直線上の前記ディスクの中心に対して対称となる位置にそれぞれ配置され、
前記2つの第2の検出器は、前記ディスクの中心を通り前記第1の方向に延在する直線上の前記ディスクの中心に対して対称となる位置にそれぞれ配置される
三次元座標測定機用プローブヘッド。 - 請求項9に記載の三次元座標測定機用プローブヘッドであって、
前記支持機構は、前記第3の方向で前記第2の対象物の両外側に配置された2枚のダイアフラムを有し、
前記第2の検出機構は、前記第2の対象物の中心から前記第3の方向に延在する中心軸上に配置された第3のセンサ部を有する
三次元座標測定機用プローブヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014246073A JP6480169B2 (ja) | 2014-12-04 | 2014-12-04 | 三次元座標測定機用プローブヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014246073A JP6480169B2 (ja) | 2014-12-04 | 2014-12-04 | 三次元座標測定機用プローブヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016109515A JP2016109515A (ja) | 2016-06-20 |
JP6480169B2 true JP6480169B2 (ja) | 2019-03-06 |
Family
ID=56123945
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014246073A Expired - Fee Related JP6480169B2 (ja) | 2014-12-04 | 2014-12-04 | 三次元座標測定機用プローブヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6480169B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108557756B (zh) * | 2018-01-24 | 2019-05-24 | 哈尔滨工业大学 | 一种具有力伺服功能的微机械加工刀架 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05505240A (ja) * | 1990-03-23 | 1993-08-05 | スペクトラ プレシジョン アクティエボラーグ | アナログ型変位センサ |
GB9114945D0 (en) * | 1991-07-11 | 1991-08-28 | Renishaw Metrology Ltd | Touch probe |
DE4424225A1 (de) * | 1994-07-09 | 1996-01-11 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte |
JPH08304057A (ja) * | 1995-05-11 | 1996-11-22 | Mitsutoyo Corp | スタイラス支持装置 |
JP4330388B2 (ja) * | 2003-07-28 | 2009-09-16 | 株式会社ミツトヨ | 倣いプローブ |
-
2014
- 2014-12-04 JP JP2014246073A patent/JP6480169B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016109515A (ja) | 2016-06-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10942020B2 (en) | System for determining a state of a tool positioning machine | |
US8096061B2 (en) | Instrument for measuring dimensions and height gauge | |
JP4160310B2 (ja) | 2つの物体の相対運動または相対位置を検出するための装置 | |
EP3211361A1 (en) | Measuring probe | |
US11402924B2 (en) | Magnetic arrangement for detecting relative movements or relative positions | |
Manjiyani et al. | Development of MEMS based 3-axis accelerometer for hand movement monitoring | |
CN112485470B (zh) | 低噪声多轴微机电系统加速度计 | |
JP2007333712A (ja) | 傾斜角測定装置、これを搭載した工作機械および工作機械の傾斜角校正方法 | |
JP6734372B2 (ja) | 力測定装置 | |
RU131157U1 (ru) | Однокомпонентный динамометр для измерения тангенциальной составляющей силы резания при точении | |
JP2013064706A (ja) | センサ | |
JP6480169B2 (ja) | 三次元座標測定機用プローブヘッド | |
CN104943549A (zh) | 操作输入装置 | |
JPH0127364B2 (ja) | ||
US10288402B2 (en) | Industrial machine | |
JP2013079842A (ja) | 寸法測定器 | |
JP2010112864A (ja) | 力センサー | |
KR20180013341A (ko) | 다축 방향의 변위측정이 동시에 이루어질 수 있는 측정자를 구비한 받침장치 | |
JP6848168B2 (ja) | 表面形状測定機の校正装置 | |
CN103175458B (zh) | 测量装置与测量薄膜的厚度的方法 | |
JP2007085823A (ja) | 硬さ計 | |
EP4386311A1 (en) | Touch trigger probe with capacitive sensor | |
JP2018048857A (ja) | 検出装置 | |
JP2008096222A (ja) | 加速度計 | |
KR100270966B1 (ko) | 산업용 로봇의 오리엔테이션 측정 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180918 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6480169 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |