DE4418151A1 - Magnetfeldsensor - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 167
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 claims description 18
- 230000008859 change Effects 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000828 alnico Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910001158 Alnico 8 Inorganic materials 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
- G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
- G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
- G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
- G01P3/488—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by variable reluctance detectors
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf
einen Magnetfeldsensor und insbesondere auf einen
Magnetfeldsensor mit einem Halleffekt-Element.
Dem Fachmann sind verschiedene Arten von Magnetfeld
sensoren bekannt. Obgleich die Sensoren magnetisch
empfindliche Komponenten umfassen können, die
Permalloymaterial oder andere Einrichtungen verwenden,
umfaßt ein speziell bekannter Typ von Magnetfeldsensor
ein Halleffekt-Element. Viele Arten von Magnetfeld
sensoren verwenden einen Permanentmagneten, um ein
Vorspannungsfeld vorzugeben, dessen Form durch die
Gegenwart eines magnetisch permeablen Materials in der
Nähe des Magnetfeldsensors beeinflußt wird. In
Anwendungsfällen dieser Art wird eine magnetisch
empfindliche Komponente in der Nähe eines
Permanentmagneten angeordnet, um einen Teil des
magnetischen Feldes zu veranlassen, sich durch die
magnetisch empfindliche Komponente zu erstrecken und um
eine hinreichende Magnetfeldstärke vorzugeben, um die
magnetisch empfindliche Komponente zur Ausgabe eines
Ausgangssignales zu veranlassen. Wenn ein magnetisch
permeables Material in die Nähe des Sensors bewegt wird,
so wird das magnetische Feld gestört und seine Auswirkung
auf die magnetisch empfindliche Komponente verändert.
Diese Veränderung kann festgestellt werden durch
Überwachung der Veränderung in dem Ausgangssignal der
magnetisch empfindlichen Komponente.
In der US-A-4 745 363 ist ein direkt gekoppelter
Getriebezahnfühler ohne Vorzugsausrichtung beschrieben,
der ein Hallelement verwendet. Der Getriebezahnfühler
umfaßt einen einzelnen Magneten und ein direkt
gekoppeltes Hallelement auf einem integrierten
Schaltkreis, um die Gegenwart oder die Abwesenheit des
Getriebezahnes in einer Detektorzone des Sensors
festzustellen. Der Sensor beinhaltet Techniken für die
Flußsteuerung und die Flußumkehrung, unabhängig von der
Ausrichtung des Sensors mit dem Ziel, den Betriebs- bzw.
Auslösepunkt eines Hallschalters, einer Verriegelung oder
einer anderen Einrichtung zu überwinden. Die Verwendung
von beabstandeten und versetzten Flußkonzentratoren gibt
eine empfindliche Einrichtung mit günstigen Toleranzen
bezüglich der Temperatur und des Luftspaltes vor.
Die US-A-4 587 509 zeigt eine Halleffekt-Einrichtung mit
überlappenden Flußkonzentratoren. Die Einrichtung dient
dem Ansprechen auf schwache magnetische Felder durch
Verwendung eines kleinen Chips aus Galliumarsenid, der
zwischen den überlappenden Enden der beiden
Flußkonzentratoren angeordnet ist. Der Abstand zwischen
den Konzentratoren kann bis zu 95 µm klein sein. Die
Flußkonzentratoren, die dazu dienen, die Empfindlichkeit
der Einrichtung zu verbessern, bestehen aus amorphem
magnetischem Material, wie beispielsweise metallischem
Glas, welches eine hohe Permeabilität besitzt.
In der US-A-4 524 932 ist ein Raddetektor für einen
Eisenbahnwaggon beschrieben, welcher ein Halleffekt-
Element verwendet. Das Halleffekt-Element ist in einem
integrierten Schaltkreis mit Temperaturkompensation,
Spannungsregelung und Verstärkung enthalten. Es ist auf
einem Permanentmagneten angeordnet, der aus keramischem
Material besteht, wobei die kritische Hallachse auf die
Magnetpolachsen ausgerichtet ist. Um eine Sättigung des
Hallelementes zu vermeiden, ist es in einer von Pol zu
Pol verlaufenden Bohrung in dem Magneten angeordnet,
wodurch ein Raum ohne Fluß gebildet wird. Der Permanent
magnet und das Hallelement sind auf der Schiene in einem
vorbestimmten Abstand von der Oberseite angeordnet, so
daß der Flansch des vorbeilaufenden Rades den Luftspalt
zwischen dem Magneten und der Schiene ausfüllt, durch den
der Hauptanteil des magnetischen Flusses fließt.
Die US-A-4 481 469 zeigt einen Drehgeschwindigkeitssensor
mit einem Hallgenerator, der auf Tangentialkomponenten
eines magnetischen Feldes anspricht. Der Sensor wird
verwendet, um die Drehgeschwindigkeit eines
Zahnelementes, beispielsweise von dem Anlasser einer
Brennkraftmaschine festzustellen. Ein von einem
magnetischen Feld abhängiger Sensor, wie beispielsweise
ein Hallgenerator oder ein Dünnfilm-Magnetfeldwider
standssensor vom Permalloytyp ist angeordnet, um auf die
tangentiale Komponente des magnetischen Feldes zu
reagieren und hierbei Verschiebungen um die Null- bzw.
Mittellinie zu eliminieren, um die die Feldstärke
schwankt, wenn die Scheibe rotiert, um eine schnelle
Auswertung des Ausgangssignales des Sensors durch einen
Schwellwertschaltkreis zu gestatten.
In der US-A-4 293 814 ist ein Positionssensor für eine
Kurbelwelle beschrieben, welcher stabile zyklische
Ausgangssignale ohne Berücksichtigung der Spitzen
veränderungen in den Sensorsignalen vorgibt. Ein
Verstärkerschaltkreis zur Verwendung mit Halleffekt-
Einrichtungen und anderen Arten von Sensoren ist
vorgesehen, wobei der Schaltkreis durch den zyklischen
Signaleingang des Sensors vorbereitet wird und einen
Schwellwertpegel, basierend auf dem Eingangssignal des
Sensors setzt. Das Ausgangssignal des Schaltkreises ist
eine Spannungsnachbildung des Eingangssignales, wobei es
aber modifiziert ist, um vorbestimmte und konstante hohe
und niedrige Spitzenwerte ohne Berücksichtigung der
Spitzenwertänderungen des zyklischen Eingangssignales
aufzuweisen.
Die US-A-3 750 068 zeigt eine magnetische
Betätigungsanordnung für eine magnetfeldempfindliche
Einrichtung, die ein Paar von gegenüberliegenden Magneten
aufweist. Die Magnete sind parallel beabstandet, um die
Einrichtung in einem Luftspalt dazwischen aufzunehmen,
wobei jeder Magnet ein gegenüberliegendes Paar von
magnetischen Polen aufweist, die von entgegengesetzter
Polarität im Hinblick auf den benachbarten Pol des
anderen Magneten sind.
Die US-A-4 518 918 zeigt einen ferromagnetischen
Gegenstandsdetektor mit doppelten Hallsensoren. Zwei
identische integrierte Schaltkreischips sind an einem Pol
eines Magneten angeordnet und jeder Chip umfaßt ein
Hallelement gefolgt von einem Verstärker. Ein Komparator
ist an die Ausgänge der integrierten Schaltkreischips
angeschlossen, um eine Spannung zu erzeugen, die direkt
auf die Differenz zwischen den magnetischen Feldstärken
an den zwei integrierten Schaltkreischips bezogen ist,
die von einem ferromagnetischen Artikel herrühren, der
dem einen Chip näher als dem anderen ist.
In einem Aufsatz mit dem Titel "Geometric Optimization of
Controlled Collapse Interconnections" von L. S. Goldmann,
der im Mai 1969 in dem IBM Journal of Research and
Development erschienen ist, wird unter anderem die
Verwendung von Löthöckern beschrieben, um eine
elektrische Verbindung zwischen einem keramischen
Substrat und einem Chip vorzugeben. Eine Darstellung
dieses Konzepts ist in Fig. 1 dieses Aufsatzes gezeigt.
Die Verwendung von Löthöckern ist nunmehr dem Fachmann
wohlbekannt und wird allgemein benutzt. Wie in näheren
Einzelheiten weiter unten im Zusammenhang mit Fig. 9
beschrieben wird, kann diese Technik bei der
Konfiguration der Komponenten der vorliegenden Erfindung
verwendet werden.
Die US-A-4 086 533 beschreibt eine Halleffekt-Einrichtung
zur Bestimmung der Winkelposition eines rotierenden
Teiles. Die Einrichtung umfaßt erste und zweite parallel
angeordnete Magnete, die einen symmetrischen Anregungs
schaltkreis bilden, wobei ein Halleffekt-Element auf
deren Achse angeordnet ist. Der rotierende Teil besitzt
erste und zweite Elemente aus Weicheisenmaterial, die
winkelmäßig versetzt sind, um abwechselnd an den ersten
und zweiten Magneten vorbeizulaufen und erste und zweite
entgegengesetzt gerichtete Magnetfeldübergänge an dem
Halleffekt-Element zu erzeugen, wodurch ein Signal
erzeugt wird, dessen Polarität sich umkehrt, um die
Winkelposition des rotierenden Teils anzuzeigen.
Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es die Aufgabe
der vorliegenden Erfindung, einen Magnetfeldsensor
anzugeben, der zwischen dem Vorhandensein und der
Abwesenheit eines magnetischen Objektes unterscheiden
kann, ohne daß sich das magnetische Objekt bewegen muß.
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt gemäß den kennzeich
nenden Merkmalen des Patentanspruches 1. Weitere
vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen
Sensors können den abhängigen Ansprüchen entnommen
werden.
Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung umfaßt einen ersten Magneten, welcher in einer
ersten Richtung magnetisiert ist, die sich allgemein
parallel zu einer ersten Achse und durch die ersten und
zweiten Enden des ersten Magnetes erstreckt. Zusätzlich
umfaßt der Sensor eine auf ein Magnetfeld ansprechende
Komponente, wie beispielsweise ein Halleffekt-Element,
das ein Ausgangssignal besitzt, welches die Stärke eines
magnetischen Feldes anzeigt, das sich senkrecht zu einer
Sensorebene der Komponente erstreckt. Die Sensorebene der
magnetfeldabhängigen Komponente ist senkrecht zu einer
zweiten Achse angeordnet, die sich durch die Komponente
erstreckt. Die zweite Achse ist parallel zu der ersten
Achse und gegenüber einer seitlichen Fläche des ersten
Magneten versetzt. Alternative Ausgestaltungen der
vorliegenden Erfindung können die Komponente in
Nachbarschaft zu einer seitlichen Fläche des ersten
Magneten oder alternativ vor dem ersten Ende des ersten
Magneten entlang der zweiten Achse in einer Richtung weg
von dem ersten Magneten anordnen. Eine alternative
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfaßt ferner
einen zweiten Magneten, der in einer zweiten Richtung im
allgemeinen parallel zu einer dritten Achse magnetisiert
ist, die sich durch die ersten und zweiten Enden des
zweiten Magneten erstreckt. Die ersten und dritten Achsen
sind im allgemeinen parallel zueinander und die ersten
und zweiten Richtungen entsprechen sich im allgemeinen.
Anhand der Figuren der beiliegenden Zeichnungen seien im
folgenden Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen
Sensors beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 Die allgemeine Konfiguration eines
Halleffekt-Elementes in einer bekannten
Konzeption;
Fig. 2 eine grundlegende Konfiguration in
Übereinstimmung mit dem bevorzugten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung;
Fig. 3 die Beziehung zwischen der Magnetfeld
stärke und der physikalischen Position der
Komponenten in Fig. 2;
Fig. 4A und 4B schematische Darstellungen, die
benutzt werden, um den Effekt der
Magnetfeldform auf das Signal zu
beschreiben, das durch eine magnetfeldab
hängige Komponente vorgegeben wird;
Fig. 5 verschiedene mögliche Ausgestaltungen der
vorliegenden Erfindung in Zuordnung zu
einem beweglichen magnetischen Objekt;
Fig. 6 eine alternative Ausgestaltung der
vorliegenden Erfindung, welche zwei
Permanentmagneten umfaßt;
Fig. 7A und 7B die Beziehung verschiedener
magnetischer Parameter zu den relativen
physikalischen Positionen der magnet
feldempfindlichen Komponente und der
Permanentmagneten gemäß Fig. 6; und
Fig. 8A-8E verschiedene unterschiedliche alternative
Ausgestaltungen der vorliegenden
Erfindung.
Bei der Beschreibung des bevorzugten Ausführungs
beispieles sind gleiche Komponenten mit gleichen
Bezugsziffern versehen.
Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung eines
Halleffekt-Elementes, wie sie im Stand der Technik
bekannt sind. Ein Substrat 10 aus Halbleitermaterial ist
mit Kontakten C1 und C2 versehen, die an eine Spannungs
versorgung angeschlossen werden können, um ein
Spannungspotential zwischen den Kontakten C1 und C2
vorzugeben und dadurch einen elektronischen Stromfluß
durch das Substrat 10 von einem Kontakt zu dem anderen
hervorzurufen. Zwei Sensorkontakte S1 und S2 sind
vorgesehen, um die Messung eines Spannungspotentials
dazwischen zu ermöglichen. Wenn ein magnetisches Feld BH
senkrecht zu dem Substrat 10 vorliegt, wie dies in Fig. 1
gezeigt ist, so beeinflußt das magnetische Feld den
zwischen den Stromkontakten C1 und C2 fließenden Strom
und ruft eine Veränderung in dem Spannungspotential
zwischen den Sensorkontakten S1 und S2 hervor. Die
Veränderung des Spannungspotentiales zwischen den
Sensorkontakten wird durch die Stärke der Komponente des
magnetischen Feldes BH in einer Richtung senkrecht zu
einer im voraus definierten Sensorebene PH beeinflußt,
welche Sensorebene durch gestrichelte Linien in Fig. 1
dargestellt ist. Wie dem Fachmann wohl bekannt, verändern
magnetische Felder, die sich durch das Halleffekt-Element
in Richtungen erstrecken, die senkrecht zu der
Sensorebene PH verlaufen, das Spannungspotential zwischen
den Sensorkontakten S1 und S2 und diese Potentialänderung
kann gemessen werden und als ein Ausgangssignal verwendet
werden, das die Stärke des magnetischen Feldes BH
senkrecht zu der Sensorebene PH anzeigt. In der
Beschreibung des bevorzugten Ausführungsbeispieles der
vorliegenden Erfindung und in den Figuren wird das Symbol
BH verwendet, um die Richtung des magnetischen Feldes zu
definieren, welches zu einem positiven Ausgangssignal des
Halleffekt-Elementes führt, das dem Symbol zugeordnet
ist. Wenn ein Pfeil im Zusammenhang mit dem Symbol BH
verwendet wird, so stellt die Richtung des Pfeiles die
Richtung des magnetischen Feldes dar, wobei dieses als
positiv angesehen wird. Ein magnetisches Feld, welches
sich in Bezug auf das Halleffekt-Element in entgegen
gesetzter Richtung zu dem Pfeil erstreckt, führt zu einem
negativen Signal des Hallelementes. Obgleich diese
Übereinkünfte in der folgenden Beschreibung verwendet
werden, versteht es sich, daß die relative polare
Zuordnung zwischen der magnetfeldempfindlichen Komponente
und dem magnetischen Feld den Rahmen der vorliegenden
Erfindung nicht beschränkt.
Fig. 2 veranschaulicht ein bevorzugtes Ausführungs
beispiel der vorliegenden Erfindung in seiner
grundlegenden Form. Ein Permanentmagnet 20 ist in einer
ersten Richtung magnetisiert, die durch den Pfeil M
dargestellt ist und die allgemein parallel zu einer
ersten Achse 22 verläuft, welche sich durch die ersten
und zweiten Enden des Permanentmagneten 20 erstreckt.
Eine magnetfeldempfindliche Komponente 24 , wie
beispielsweise ein Halleffekt-Element ist mit ihrer
Sensorebene PH senkrecht zu einer zweiten Achse 26
angeordnet, die sich durch die magnetfeldempfindliche
Komponente 24 erstreckt. Die zweite Achse 26 verläuft
allgemein parallel zu der ersten Achse 22 und die zweite
Achse 26 ist gegenüber einer Seitenfläche 28 des
Permanentmagneten 20 um einen Abstand Y versetzt, wie
dies in Fig. 2 gezeigt ist.
Unter fortgesetzter Bezugnahme auf Fig. 2 versteht es
sich, daß eine bevorzugte Ausführungsform der vor
liegenden Erfindung die magnetfeldempfindliche Komponente
24 an irgendeiner Position entlang der zweiten Achse 26
anordnen kann. Beispielsweise kann die Sensorebene PH von
der Ebene einer Polfläche um einen Abstand X versetzt
sein oder sie kann sich alternativ in koplanarer
Zuordnung zu einer Polfläche des Magneten 20 oder in
Nachbarschaft zu der Seitenfläche 28 befinden. In
Abhängigkeit von der speziellen Anwendung des in Fig. 2
gezeigten Sensors ist irgendeine dieser alternativen
Anordnungen der magnetfeldempfindlichen Komponente 24
möglich.
Fig. 3 veranschaulicht die Beziehung zwischen der
Position der magnetfeldempfindlichen Komponente 24 in
Fig. 2 und der Stärke und Richtung des magnetischen
Feldes, das senkrecht zu ihrer Sensorebene PH verläuft.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 2 und 3 veranschaulicht
die Abmessung Y die Verschiebung der magnetfeldempfind
lichen Komponente 24 von der Seitenfläche 28 und dies
wird durch die horizontale Achse in Fig. 3 repräsentiert.
Die vertikale Achse in Fig. 3 repräsentiert die Größe der
senkrechten Komponente des magnetischen Feldes BH, das
durch die Sensorebene PH verläuft. Wenn die magnet
feldempfindliche Komponente 24 relativ nahe zu der
Seitenfläche 28 des Magneten angeordnet ist, so verläuft
ein relativ großes magnetisches Feld senkrecht in einer
positiven Richtung durch die Sensorfläche. Wie jedoch aus
Fig. 3 erkennbar, nimmt die Größe ab und dreht sich unter
Umständen um, wenn die magnetfeldempfindliche Komponente
24 von der Seitenfläche 28 wegbewegt wird. In Abhängig
keit von der Anwendung des Sensors kann der spezielle Ort
der magnetfeldempfindlichen Komponente 24 vorteilhafter
weise ausgewählt werden, um die in Fig. 3 dargestellte
Beziehung mit Vorteil auszunutzen.
Um den Grund für die Beziehung in Fig. 3 zu beschreiben,
repräsentieren die Fig. 4A und 4B schematisch einen
Teil des magnetischen Feldes des Permanentmagneten 20 bei
zwei verschiedenen Zuständen. In Fig. 4A sind
repräsentative Flußlinien 30 dargestellt, um ihre
Richtung und Position, bezogen auf den Magneten 20 zu
veranschaulichen. Wie zuvor erläutert, kann die Gegenwart
eines magnetisch permeablen Materials in der Nähe eines
Sensors dieses Typs die Form des magnetischen Feldes
stören, das durch den Magneten vorgegeben wird. Die
Position der magnetfeldempfindlichen Komponente 24 in
Bezug auf den Magneten 20 nutzt diese Störung aus, um auf
die Gegenwart eines magnetisch permeablen Objektes in der
Nähe des Sensors zu reagieren. Auf Grund der Position der
magnetfeldempfindlichen Komponente 24 in Bezug auf den
Permanentmagneten 20 in Fig. 4A sind die Flußlinien nach
oben durch die magnetfeldempfindliche Komponente 24 von
dem Nordpol des Magneten gerichtet. Die senkrechte
Komponente des magnetischen Feldes besitzt daher eine
spezielle Größe und Polarität, wenn das magnetische Feld
in der in Fig. 4A gezeigten Form nicht gestört ist.
Fig. 4B soll einen möglichen Effekt der Störung des
magnetischen Feldes des Magneten 20 veranschaulichen. Wie
durch ein Vergleich der Fig. 4A und 4B ersichtlich,
wird das magnetische Feld nach innen zu der seitlichen
Oberfläche 28 komprimiert und infolgedessen verläuft das
Feld nach unten durch die magnetfeldempfindliche
Komponente 24. Der Unterschied in der magnetischen
Feldkonfiguration in den Fig. 4A und 4B resultiert
sowohl in einer Veränderung der Polarität als auch in
einer Veränderung der Größe der Feldstärke senkrecht zu
der Sensorebene. Es versteht sich, daß nicht alle
Störungen des magnetischen Feldes sowohl in einer
Änderung der Größe als auch in einer Änderung der
Polarität des magnetischen Feldes resultieren. Dies ist
eine Funktion des besonderen Ortes der magnet
feldempfindlichen Komponente 24 in Bezug auf die
seitliche Oberfläche 28 und die Polfläche des Permanent
magneten 20 und zusätzlich eine Funktion der speziellen
Position eines magnetisch permeablen Objektes, das in der
Nähe des Sensors vorbeiläuft. Im allgemeinen verändert
sich die Differenz in der magnetischen Feldstärke
senkrecht zu der Sensorebene der magnetfeldempfindlichen
Komponente 24 in einer Weise, wie sie allgemein in Fig. 3
dargestellt ist, wo eine erste durch die Kurve 40
repräsentierte magnetische Feldstärke auf die vermindert
wird, wie sie durch die Kurve 42 dargestellt ist. Wie
erkennbar, wird die Position der magnetfeldempfindlichen
Komponente 24 festlegen, ob diese eine Abnahme in der
Größe des magnetischen Feldes erfährt, wie dies durch die
Position 44 repräsentiert ist oder eine Umkehrung in der
Polarität des komplexen magnetischen Feldes, wie dies
durch die Position 46 repräsentiert ist. Es versteht
sich, daß die Darstellungen in den Fig. 3, 4A und 4B
höchst schematisch sind und daß nicht beabsichtigt ist,
daß diese eine vollständige Erläuterung des magnetischen
Phänomens geben, welches auftritt, wenn ein magnetisches
Objekt sich an dem Sensor in der Nähe vorbeibewegt.
Fig. 5 veranschaulicht verschiedene mögliche Anwendungen
der vorliegenden Erfindung. Die magnetfeldempfindliche
Komponente 24 ist an einem Ort in Bezug auf den
Permanentmagneten 20 angeordnet, ähnlich wie dies in
Fig. 2 dargestellt und zuvor beschrieben wurde.
Zusätzlich wird der Permanentmagnet 20 in einer ersten
Richtung magnetisiert, die durch den Pfeil M dargestellt
ist und allgemein parallel zu einer ersten Achse
verläuft, die sich durch die ersten und zweiten Enden des
Permanentmagneten erstreckt. Ein magnetisches Objekt 50
ist in der Nähe der seitlichen Oberfläche 28 des Magneten
veranschaulicht. Wenn daß magnetische Objekt 50 in Bezug
auf den Permanentmagneten 20 und die magnetfeldempfind
liche Komponente 24 in der in Fig. 5 gezeigten Position
angeordnet ist, so beeinflußt es die Form des
magnetischen Feldes und ruft eine Veränderung in der
Magnetfeldstärke senkrecht zu der Sensorebene PH der
magnetfeldempfindlichen Komponente hervor. In Abhängig
keit von dem genauen Ort des magnetischen Objekts 50 und
den relativen Positionen der magnetfeldempfindlichen
Komponente und des Permanentmagneten kann ebenfalls eine
Umkehrung der Polarität des Magnetfeldes auftreten, das
sich senkrecht durch die magnetfeldempfindliche
Komponente erstreckt, wie dies zuvor beschrieben wurde.
Es versteht sich, daß das magnetische Objekt 50 sich
relativ zu seiner Position in Fig. 5 bewegen kann, indem
es um eine Achse 54 mit einem wirksamen Radius R2 dreht
oder alternativ um eine Achse 56 mit einem wirksamen
Radius R1 dreht. Jede Art von Bewegung wird periodisch
das magnetische Objekt 50 in einer Sensorzone des Sensors
anordnen.
Unter fortgesetzter Bezugnahme auf Fig. 5 ist ein
alternatives magnetisches Objekt 58 in der Nähe einer
Polfläche des Permanentmagneten 20 dargestellt. Das
magnetische Objekt 58 kann um eine Achse 60 mit einem
effektiven Radius R3 oder alternativ um eine Achse 62 mit
einem effektiven Radius R4 gedreht werden. Es versteht
sich, daß die zwei magnetischen Objekte 50 und 58, die in
Fig. 5 dargestellt sind, für die Darstellung verwendet
werden, um eine alternative Beziehung zwischen dem Sensor
und dem Objekt zu zeigen und keine Beschränkungen
darstellen in Bezug auf die möglichen Verwendungen der
vorliegenden Erfindung. Die alternativen Positionen der
magnetischen Objekte in Fig. 5 und die möglichen Arten
der Bewegung, wie sie zuvor beschrieben wurden,
repräsentieren ein beschränktes Beispiel innerhalb der
vielen Möglichkeiten, durch die ein magnetisches Objekt
zu oder von dem Sensor wegbewegt werden kann in einer
Weise, welche die Form des magnetischen Feldes verändert,
das durch den Permanentmagneten vorgegeben wird und das
durch den Ausgang der magnetfeldempfindlichen Komponente
24 erfaßt werden kann.
Fig. 6 zeigt ein alternatives Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung, wobei ein zweiter Permanentmagnet
70 in der dargestellten Weise mit dem ersten Permanent
magneten 20 kombiniert ist. Der zweite Permanentmagnet 70
ist in einer ersten Richtung allgemein parallel zu einer
Achse 72 magnetisiert, die sich durch die ersten und
zweiten Enden in der dargestellten Weise erstreckt. Die
Richtung der Magnetisierung des zweiten Magneten ist
durch den Pfeil M′ angezeigt. Die ersten und zweiten
Permanentmagneten sind durch einen Abstand W voneinander
getrennt und die magnetfeldempfindliche Komponente 24 ist
so angeordnet, daß sich die zweite Achse 26 durch sie
erstreckt und senkrecht zu ihrer Sensorebene angeordnet
ist. Ein magnetisches Objekt 74 mit einem Zahn 76 ist um
einen Drehpunkt 78 drehbar angeordnet, um den Zahn 76
periodisch innerhalb der Sensorzone des Sensors
anzuordnen, der die zwei Permanentmagnete 20 und 70 und
die magnetfeldempfindliche Komponente 24 umfaßt. Der Zahn
76 ist in der durch die Pfeile R angezeigten Richtung
drehbar. Der Zahn verläuft in der Nähe der magnetisch
empfindlichen Komponente 24 mit einem minimalen
dargestellten Luftspalt G.
Die Fig. 7A und 7B repräsentieren verschiedene
Parameter der in Fig. 6 gezeigten Anordnung. In Fig. 6
ist die magnetfeldempfindliche Komponente 24 auf der
zweiten Achse 26 angeordnet und sie ist mit ihrer
Sensorebene PH im allgemeinen koplanar mit den Polflächen
an den Nordpolen der ersten und zweiten Permanentmagneten
20 und 70 dargestellt. Es versteht sich jedoch, daß die
magnetfeldempfindliche Komponente 24 in alternativen
Positionen entlang der Achse 26 angeordnet werden kann.
Um den magnetischen Effekt von Änderungen in der Position
der magnetfeldempfindlichen Komponente entlang ihrer
Achse 26 zu veranschaulichen, stellen die Fig. 7A und
7B die Veränderungen in bestimmten magnetischen
Parametern dar, die als eine Funktion der Position
entlang der Achse 26 veranschaulicht sind. Wie aus Fig. 6
erkennbar, ist die Ebene der Südpolflächen der Magnete
als Nullpunkt ausgewählt worden mit negativen X-
Abmessungen in Millimetern, die sich von diesem Punkt
nach links erstrecken und positiven X-Abmessungen, die
sich nach rechts erstrecken. Eine Reihe von Test
simulationen ist ausgeführt worden, um den magnetischen
Effekt von Änderungen in der Position der magnet
feldempfindlichen Komponente entlang seiner Achse 26
festzulegen. In Fig. 7A repräsentiert die vertikale Achse
die Feldstärke senkrecht zu der Sensorebene PH der
magnetfeldempfindlichen Komponente 24 in Fig. 6 bei zwei
unterschiedlichen Zuständen. Die Kurve 82 repräsentiert
die Veränderung in der magnetischen Feldstärke senkrecht
zu der Sensorebene als eine Funktion des Abstandes x,
wobei sich kein magnetisches Objekt in der Nähe des
Sensors befindet. Mit anderen Worten repräsentiert die
Kurve 82 den Effekt der Bewegung der magnetfeldempfind
lichen Komponente 24 entlang der Achse 26, wobei sich
kein Zahn 76 in der in Fig. 6 gezeigten Position
befindet. Die Kurve 84 in Fig. 7A repräsentiert den
Effekt der Bewegung der magnetfeldempfindlichen
Komponente 24 entlang der Achse 26 mit einem magnetischen
Objekt, wie beispielsweise dem Zahn 76 in der in Fig. 6
gezeigten Position. Die gestrichelte Linie 80 in den
Fig. 7A und 7B repräsentiert die Nullposition in der
Ebene der Polflächen beider Permanentmagnete. Die
negativen Abmessungen in Fig. 7A und 7B repräsentieren
die Bewegung der magnetfeldempfindlichen Komponente 24
nach links in Fig. 6 und umgekehrt repräsentieren die
positiven Abmessungen auf der Horizontalachse die
Bewegung der magnetfeldempfindlichen Komponente 24 nach
rechts in Fig. 6. Wie ersichtlich, beginnen die Kurven 82
und 84 meßbar auseinanderzulaufen, wenn die magnetfeld
empfindliche Komponente an einem Ort angeordnet ist, der
geringfügig rechts von einer Position ungefähr 7 Milli
meter links von den Südpolflächen 80 liegt.
Fig. 7B repräsentiert die Differenz in der magnetischen
Feldstärke zwischen den Größen der Kurven 82 und 84. Die
Kurve 88 in Fig. 7B stellt das algebraische Ergebnis der
Subtraktion des Wertes der Kurve 82 von dem Wert der
Kurve 84 dar und repräsentiert daher die Veränderung in
dem magnetischen Feld, das durch die magnetfeldempfind
liche Komponente 24 bei Vorhandensein und Abwesenheit
eines magnetischen Objektes in der Sensorzone des Sensors
erfaßt werden kann. Natürlich macht es eine größere
absolute Höhe des Wertes der Kurve 88 leichter, zwischen
dem Vorhandensein und der Abwesenheit eines Zahnes zu
unterscheiden. Andere Betrachtungen sind jedoch ebenfalls
von Bedeutung bei der Anordnung der magnetfeldempfind
lichen Komponente 24 in Bezug auf die zwei Permanent
magnete. Beispielsweise kann es erwünscht sein, eine
allgemein symmetrische bipolare Beziehung zwischen den
Signalen zu erzielen, wenn der Zahn vorhanden ist und
wenn der Zahn abwesend ist. Beispielsweise stellt die
gestrichelte Linie 90 die magnetische Feldstärke mit der
Größe Null in Fig. 7A dar. Wie ersichtlich, resultiert
die Anordnung der magnetfeldempfindlichen Komponente in
der durch die gestrichelte Linie 92 repräsentierten
Position in einer im allgemeinen symmetrischen
Verschiebung in der magnetischen Feldstärke nach
positiven und negativen Werten zwischen dem Vorhandensein
und der Abwesenheit des magnetischen Objektes. Obgleich
die absolute Differenz zwischen einem Zahn und einer
Lücke durch die Auswahl des Ortes 92 nicht maximiert ist,
wird hierdurch eine ausreichende Magnetfelddifferenz
erzielt, um die Unterscheidung zwischen einem Zahn und
einer Lücke zu ermöglichen oder anders ausgedrückt,
zwischen dem Vorhandensein eines magnetischen Objektes
und der Abwesenheit eines magnetischen Objektes. Diese
Differenz wird durch die gestrichelte Linie 92
dargestellt und ist geringfügig kleiner als 0,5 mm nach
links von der Ebene der Polflächen in Fig. 6.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 6, 7A und 7B versteht es
sich, daß die in Fig. 6 gezeigte Anordnung für die Zwecke
des Tests der Feldstärken unter verschiedenen Bedingungen
ausgewählt wurde. In einem speziellen empirischen Test
waren die zwei Permanentmagnete jeweils ungefähr 15,0 mm
lang und 4,0 mm breit. Zusätzlich waren die zwei Magnete
mit ungefähr 4,57 mm zwischen ihren benachbarten
seitlichen Oberflächen angeordnet. Mit anderen Worten war
die Dimension W in Fig. 6 ungefähr 4,57 mm. Der Luftspalt
G war ungefähr 2,0 mm und die zwei Magnete 20 und 70
waren ungefähr 5 mm dick und waren Permanentmagnete aus
Alnico 8. Das drehbare magnetische Objekt 74 hatte einen
Durchmesser von 47,5 mm und eine Dicke von 5 mm. Es
umfaßt acht in gleichem Abstand angeordnete Zähne, wie
beispielsweise der in Fig. 6 dargestellte Zahn 76 und die
Zähne waren um 22,5 Grad beabstandet mit einer Lücken
tiefe von 10 mm. Es versteht sich, daß die unmittelbar
zuvor beschriebenen Abmessungen für die Zwecke der
Festlegung der empirischen Resultate der vorliegenden
Erfindung ausgewählt wurden und daß diese nicht die
Struktur des Sensors beschränken.
Die Fig. 8A-8E stellen alternative Ausführungs
beispiele der vorliegenden Erfindung dar. In Fig. 8A sind
zwei Permanentmagnete 20 und 70 in Bezug auf die
magnetfeldempfindliche Komponente 24 in einer Weise
angeordnet, die allgemein der ähnlich ist, die in der
Fig. 6 dargestellt und zuvor beschrieben wurde. In
Fig. 8B ist andererseits ein zusätzliches Polstück in
Kontakt mit den zweiten Enden der zwei Permanentmagnete
20 und 70 angeordnet. Das Polstück 100 kann ein Material
mit hoher magnetischer Permeabilität umfassen. Die in
Fig. 8C dargestellte Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung umfaßt einen U-förmigen Magneten 102 mit Armen
104 und 106, die die Funktionen der Permanentmagnete 20
und 70 entsprechend übernehmen. Die magnetfeldempfind
liche Komponente 24 ist zwischen diesen zwei Armen 104
und 106 des U-förmigen Magneten angeordnet. Fig. 8D
veranschaulicht einen L-förmigen Magneten, der zwei Arme
108 und 110 aufweist. Während die magnetfeldempfindliche
Komponente 24 nicht zwischen den zwei Armen des Magneten
zentriert ist, ist sie in einem Bereich angeordnet, in
dem die magnetischen Felder beider Arme einen
magnetischen Effekt auf das Feld besitzen, das senkrecht
durch die Sensorebene der magnetfeldempfindlichen
Komponente verläuft. In Fig. 8E ist ein Ausführungs
beispiel der vorliegenden Erfindung dargestellt, das
allgemein ähnlich dem in Fig. 8B ist, wobei die
Permanentmagneten 20 und 70 und das Polstück 100 in der
dargestellten Weise angeordnet sind, wobei er aber eine
zusätzliche magnetisch permeable Komponente 120 unterhalb
der magnetfeldempfindlichen Komponente 24 und zwischen
den zwei Permanentmagneten angeordnet ist.
Jedes der alternativen Ausführungsbeispiele, die in den
Fig. 8A-8E dargestellt sind, weist bestimmte Vorteile für
bestimmte Anwendungsfälle auf. Die Permanentmagnete und
die Polstücke sind in Positionen angeordnet, welche
vorteilhafterweise das magnetische Feld formen, um die
differentielle Feldstärke beim Vorhandensein eines
magnetischen Objektes an einem bestimmten Ort und bei
seiner nachfolgenden Abwesenheit an diesem Ort auf ein
Maximum zu bringen. Es versteht sich, daß alle
Ausführungsformen, die in den Fig. 8A-8E dargestellt
sind innerhalb des Rahmens der vorliegenden Erfindung
liegen.
Die vorliegende Erfindung gibt einen magnetischen Sensor
vor, der zwischen dem Vorhandensein und der Abwesenheit
eines magnetischen Objektes innerhalb seiner Feststell
zone unterscheiden kann, ohne daß es erforderlich ist,
das magnetische Objekt zu bewegen. Diese Charakteristik
wird durch den Fachmann als eine Anfahrerkennung
bezeichnet. Mit anderen Worten kann die vorliegende
Erfindung feststellen, ob ein magnetisches Objekt, wie
beispielsweise ein Getriebezahn sich innerhalb der
Feststellzone befindet oder nicht, sobald Spannung an den
Sensor angelegt wird.
Um diese Charakteristik zu veranschaulichen, zeigt Fig. 9
einen Sensor, der gemäß den Prinzipien der vorliegenden
Erfindung hergestellt wurde und der schematisch in der
Nähe einer Zahnstange 153 angeordnet ist. Ferner ist in
Fig. 9 eine graphische Darstellung der magnetischen
Feldstärke gezeigt, die einer Halleinrichtung senkrecht
zu der Sensorebene auferlegt wird. Die magnetfeld
empfindliche Komponente 24 ist in Bezug auf einen
Permanentmagneten 20 angeordnet und mit einem keramischen
Substrat 152 befestigt. Die Kurven 154 und 156
repräsentieren die magnetischen Feldstärken für relativ
kleine und große Luftspalte. Wie erkennbar, verändert
sich die Variation in der magnetischen Feldstärke direkt
mit der Position des Zahns 157. Dies gestattet die
Verwendung einer Schwellwertgröße, wie beispielsweise den
Pegel 160 oder den Pegel 162, um das Vorhandensein oder
die Abwesenheit eines Zahnes in der Nähe- der
magnetfeldempfindlichen Komponente 24 zu erkennen. Auf
diese Weise kann der Sensor das Vorhandensein oder die
Abwesenheit eines magnetischen Objektes, wie beispiels
weise den Getriebezahn feststellen, sobald Spannung an
den Sensor angelegt wird.
Unter fortgesetzter Bezugnahme auf Fig. 9 ist
ersichtlich, daß die magnetfeldempfindliche Komponente 24
sich geringfügig oberhalb der unteren Polfläche des
Magneten 20 im Gegensatz zu der schematischen Darstellung
in Fig. 2 befindet. Es ist entdeckt worden, daß die
relativen Positionen des Magneten 20 und der
magnetfeldempfindlichen Komponente 24 für Einrichtungen
verschieden sind, die Magnete aus Alnico und aus seltenen
Erden benutzen. Beispielsweise benutzt eine Einrichtung,
wie sie in Fig. 2 dargestellt ist, typischerweise einen
Alnico-Magneten und eine Einrichtung, wie sie in Fig. 9
dargestellt ist, benutzt typischerweise einen Magneten
aus seltenen Erden. Es versteht sich jedoch, daß viele
alternative Positionen des Permanentmagneten und der
magnetfeldempfindlichen Einrichtung innerhalb des Rahmens
der vorliegenden Erfindung liegen. Es versteht sich
ferner, daß in Abhängigkeit von den Anforderungen der
Sensoranwendung die zuvor als X und Y bezeichneten
Dimensionen besonders ausgewählt werden können, um das
Ansprechverhalten der magnetfeldempfindlichen Komponente
auf ein Maximum zu bringen.
In einem speziellen Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung, wie beispielsweise in dem in Fig. 9
dargestellten Ausführungsbeispiel ist die magnet
feldempfindliche Komponente 24 auf dem keramischen
Substrat beabstandet, indem anfänglich Löthöcker auf dem
Substrat aufgebracht werden und sodann die magnet
feldempfindliche Komponente 24, wie beispielsweise eine
Halleffekt-Einrichtung auf den Löthöckern angeordnet
wird. Die Höhe der Löthöcker kann benutzt werden, um die
Höhe der magnetfeldempfindlichen Komponente auf der
Oberfläche des keramischen Substrats einzustellen. Wenn
die Polfläche des Permanentmagneten 20 auf der gleichen
Oberfläche des keramischen Substrats angeordnet ist, so
kann die Position der magnetfeldempfindlichen Komponente
genau in Bezug auf die Polfläche eingestellt werden.
Claims (13)
1. Sensor, gekennzeichnet durch:
einen ersten Magneten (20), der in einer ersten Richtung (M) magnetisiert ist, die im allgemeinen parallel zu einer ersten Achse (22) verläuft, welche sich durch die ersten und zweiten Enden des Magneten erstreckt; und
eine magnetfeldempfindliche Komponente (24) mit einem Ausgangssignal entsprechend der Stärke eines magnetischen Feldes (BH), das sich senkrecht zu einer Sensorebene (PH) der Komponente erstreckt,
wobei die Sensorebene senkrecht zu einer zweiten Achse (26) versetzt ist, die sich durch die Komponente (24) erstreckt und wobei die zweite Achse (26) parallel zu der ersten Achse (22) ist und gegenüber einer Seitenfläche (28) des ersten Magneten (20) versetzt ist.
einen ersten Magneten (20), der in einer ersten Richtung (M) magnetisiert ist, die im allgemeinen parallel zu einer ersten Achse (22) verläuft, welche sich durch die ersten und zweiten Enden des Magneten erstreckt; und
eine magnetfeldempfindliche Komponente (24) mit einem Ausgangssignal entsprechend der Stärke eines magnetischen Feldes (BH), das sich senkrecht zu einer Sensorebene (PH) der Komponente erstreckt,
wobei die Sensorebene senkrecht zu einer zweiten Achse (26) versetzt ist, die sich durch die Komponente (24) erstreckt und wobei die zweite Achse (26) parallel zu der ersten Achse (22) ist und gegenüber einer Seitenfläche (28) des ersten Magneten (20) versetzt ist.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die magnet
feldempfindliche Komponente eine Halleffekt-
Einrichtung (24) ist.
3. Sensor nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Komponente (24)
benachbart zu der Seitenfläche des ersten Magneten
(20) angeordnet ist.
4. Sensor nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß der erste Magnet ein
Permanentmagnet (20) ist.
5. Sensor nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Komponente (24)
gegenüber dem ersten Ende des ersten Magneten (20)
in einer Richtung weg von dem ersten Magneten
versetzt ist.
6. Sensor nach Anspruch 1, ferner gekenn
zeichnet durch:
einen zweiten Magneten (70), der in einer zweiten Richtung (M′) magnetisiert ist, die im allgemeinen parallel zu einer dritten Achse (72) verläuft, die sich durch die ersten und zweiten Enden des zweiten Magneten erstreckt, wobei die ersten und dritten Achsen im allgemeinen parallel zueinander verlaufen und die ersten und zweiten Richtungen im allgemeinen zueinander gleich sind.
einen zweiten Magneten (70), der in einer zweiten Richtung (M′) magnetisiert ist, die im allgemeinen parallel zu einer dritten Achse (72) verläuft, die sich durch die ersten und zweiten Enden des zweiten Magneten erstreckt, wobei die ersten und dritten Achsen im allgemeinen parallel zueinander verlaufen und die ersten und zweiten Richtungen im allgemeinen zueinander gleich sind.
7. Sensor nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß die zweite Achse (26)
zwischen den ersten und dritten Achsen (22, 72)
angeordnet ist.
8. Sensor nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß die ersten und
zweiten Magnete (20, 70; 104, 106) Beine einer U-
förmigen Magnetstruktur sind.
9. Sensor nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß die magnet
feldempfindliche Komponente (24) ein magnetisches
Widerstandselement ist.
10. Sensor nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß die ersten und
zweiten Magnete (108, 110) Beine eines L-förmigen
Permanentmagneten sind.
11. Sensor nach Anspruch 6, ferner gekenn
zeichnet durch ein magnetisch
permeables Polstück (100), das mit den zweiten Enden
der ersten und zweiten Magnete (20, 70) verbunden
ist.
12. Sensor nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß die ersten und
zweiten Richtungen zueinander konvergent sind.
13. Sensor nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß die ersten und
zweiten Richtungen zueinander divergent sind.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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US6836093A | 1993-05-27 | 1993-05-27 | |
US068360 | 1993-05-27 |
Publications (2)
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---|---|
DE4418151A1 true DE4418151A1 (de) | 1994-12-01 |
DE4418151B4 DE4418151B4 (de) | 2007-01-04 |
Family
ID=22082053
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---|---|---|---|
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Country | Link |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
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