DE19941860A1 - Verbesserungen an einem mit Magnetfeld-Sonde arbeitenden Magnetfeldsensor - Google Patents

Verbesserungen an einem mit Magnetfeld-Sonde arbeitenden Magnetfeldsensor

Info

Publication number
DE19941860A1
DE19941860A1 DE1999141860 DE19941860A DE19941860A1 DE 19941860 A1 DE19941860 A1 DE 19941860A1 DE 1999141860 DE1999141860 DE 1999141860 DE 19941860 A DE19941860 A DE 19941860A DE 19941860 A1 DE19941860 A1 DE 19941860A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
magnetic field
field sensor
flux
magnetic
sensor according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE1999141860
Other languages
English (en)
Inventor
Peter Henninger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE29923913U priority Critical patent/DE29923913U1/de
Priority to DE1999141860 priority patent/DE19941860A1/de
Publication of DE19941860A1 publication Critical patent/DE19941860A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/07Hall effect devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/147Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the movement of a third element, the position of Hall device and the source of magnetic field being fixed in respect to each other
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/481Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
    • G01P3/488Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by variable reluctance detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/12Measuring magnetic properties of articles or specimens of solids or fluids

Abstract

Der Magnetfeldsensor mit differentieller Hall-Sonde (21, 22) hat eine derartige Flußrückführung (34) für den Magnetfluß (35) des Magneten (33), die derart vorzugsweise als Joch (3) ausgeführt ist, daß ein nur durch kleine unvermeidliche Luftspalte (d¶1¶, de¶2¶, d¶3¶) unterbrochener, über das Objekt (11) geschlossener Weg des Magnetflusses (35) erreicht ist.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verbesserungen an einem mit Magnetfeld-Sonde, insbesondere mit einer Hall-Sonde arbeitenden Magnetfeldsensor, der vorzugsweise zur Feststel­ lung von Magnetflußänderungen in/an einem Objekt und insbe­ sondere als Sensor für das Messen der Drehzahl und/oder der Winkelstellung von Rotoren und dgl. Verwendung findet.
Bei einem Magnetfeldsensor mit z. B. einer Hall-Sonde sind Mittel zur Erzeugung eines permanenten und/oder elektromagne­ tischen Magnetfeldes vorgesehen. Erzeugt wird dieses Feld mit Hilfe eines Permanentmagneten oder einer stromgespeisten Ma­ gnetspule. Zwischen diesen einerseits und dem z. B. bei der speziellen Anwendung vorgesehenen Laufrad andererseits ist der Hall-Sensor angeordnet. Dabei handelt es sich um einen Hall-Sensor üblicher bekannter Art mit z. B. einem Halblei­ terelement. An der vorzugsweise ruhend positionierten Anord­ nung aus Permanentmagnet/Magnetspule und Hall-Sensor läuft die Reifenoberfläche des Rades in einem vorgebbaren Abstand vorbei. Im Regelfall ist auf dieser Reifenoberfläche ein Mar­ kierungselement, z. B. eine Folge Zähne, Löcher oder anderer Markierungen vorgesehen, die gegenüber ihrer jeweils benach­ barten Umgebung hinsichtlich der Permeabilität unterscheiden­ de Eigenschaft haben. Zum Beispiel können dies Zähne aus ma­ gnetisch permeablem Material sein oder auf der Reifenoberflä­ che des Laufbandes befindet sich ein Band aus Material mit magnetischer Eigenschaft, indem in in Laufrichtung verteil­ ten Abständen Aussparungen vorhanden sind, in denen dort vor­ handenes Medium (z. B. Luft) keine oder andere auf Magnetfeld ansprechende Eigenschaft hat. Aus der pro Zeiteinheit an der Hall-Sonde vorbeilaufenden Anzahl der wirksamen Markierungen, die in der Hall-Sonde ein entsprechendes elektrisches Signal bewirken, kann auf die Drehzahl bzw. Umdrehungen pro Zeitein­ heit des Laufrades geschlossen werden. Werden in Laufrichtung benachbart zwei Hall-Sensoren mit voneinander getrennter Si­ gnalerfassung angeordnet, kann außerdem auch die Drehrichtung des Rades bestimmt werden, nämlich aus der zeitlichen Aufein­ anderfolge der im einen und der im anderen der Hall-Sensoren erzeugten elektrischen Signale.
Solche zumindest dem Prinzip nach bekannten Magnetfeldsenso­ ren mit Hall-Sonde arbeiten aber nur dann optimal, wenn zwi­ schen Permanentmagnet bzw. Magnetspule und Hall-Sensor einer­ seits und der Reifenoberfläche bzw. Markierungen des Laufra­ des andererseits kein zu großer Abstand vorliegt.
Es gibt zwar anderweitige technische Lösungen, mit denen auch bei größerem Abstand zwischen Sensor und Laufrad noch zuver­ lässige Messungen ausgeführt werden können, jedoch bedingen diese Lösungen in der Regel erhöhten technischen Aufwand ver­ gleichsweise zu einer wie voranstehend beschriebenen Anord­ nung.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, für eine solche wie voranstehend beschriebene und dergleichen Anordnung Maß­ nahmen zu finden bzw. anzugeben, mit denen auch größere Ab­ stände zwischen Laufrad und Meßanordnung der beschriebenen Art vorgesehen sein können und dennoch eine wie z. B. bei en­ gem Abstand exakte Messung von Drehzahl und/oder aktueller Winkelstellung und/oder Drehrichtung des Laufrades erzielt werden kann.
Diese Aufgabe wird mit den Maßnahmen des Patentanspruches 1 gelöst und weitere Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Der Erfindung liegt der Lösungsgedanke zugrunde, in der be­ schriebenen oder einer dergl. Anordnung von Permanentmagnet bzw. Magnetspule mit Hall-Sonde zusätzliche eine solche Fluß­ rückführung für das Magnetfeld des Permanentmagneten bzw. der elektromagnetischen Spule vorzusehen, mit der aufgrund von Flußdichteänderungen, die auf der Rotation des wie oben be­ schrieben präparierten Laufrades beruhen, auftretende und auszuwertende Signale mit größerer Signalhöhe erzielt werden können. Diese erfindungsgemäß verwendete Flußrückführung hat auch den weiteren Vorteil, daß das Streufeld in Bezug auf die Sensoranordnung drastisch vermindert ist und damit auch die elektromagnetische Verträglichkeit (EMV) erhöht bzw. verbes­ sert wird.
Weitere Erläuterungen der Erfindung werden anhand der zum Offenbarungsinhalt dieser Anmeldung gehörenden Figu­ ren beschrieben.
Die Fig. 1 zeigt in Aufsicht (a) und zwei Seitenansichten (b und c) eine erste Ausführungsform.
Die Fig. 2 zeigt ebenso eine abgewandelte zweite Ausführungs­ form.
Die Fig. 3 zeigt ebenso eine weitere abgewandelte dritte Ausführungsform.
Die Fig. 4 zeigt eine Ausführungsform mit variierter Fluß­ führung.
Die Fig. 5 zeigt eine Ansicht einer Ausführungsform mit an­ derweitig variierter Flußführung und
Fig. 6 zeigt ebenso eine weitere Ausführungsform mit vari­ ierter Kombination von Magnet und Flußführung.
Die voranstehend aufgelisteten Ausführungsformen sind mit Permanentmagneten ausgestattet. Statt dieser können auch Elektromagneten vorgesehen sein. Bevorzugt ist jedoch die Verwendung von Permanentmagneten. Diese Ausführungsformen sind auch als differentielle Sensoren mit jeweils zwei in Laufrichtung des Rades bzw. der Markierungen benachbart ange­ ordneten Hall-Sensoren ausgeführt, mit denen in an sich be­ kannter Weise außer der Drehzahl auch Vorwärts- und Rück­ wärtslauf und Winkelposition jeweils quantitativ erfaßt wer­ den können. Es sei darauf hingewiesen, daß die Figuren nicht ausschließlich den Regeln einer Werkstattzeichnung entspre­ chen, insbesondere hinsichtlich der dargestellten Schnitte und Durchdringungen.
Die Fig. 1 zeigt mit der Darstellung a eine (gemäß des Schnittes a-a in der Darstellung b geschnittene) Aufsicht ei­ ner Ausführungsform mit z. B. einem Lochband 11 mit Markie­ rungselementen auf der Reifenoberfläche des (nicht darge­ stellten) Laufrades. Es sei - für die gesamte Anmeldung gül­ tig - darauf hingewiesen, daß die hier benutzten Begriffe, wie Laufrad, Lochband, Aussparung, Volumenanteil u. a. als je­ weilige beispielhafte Ausführungen zu verstehen sind. Anstel­ le des Laufrades und/oder des Lochbandes kann auch ein jewei­ lig anderer Träger für die Markierungen vorgesehen sein. Die­ se Markierungen müssen nicht ausschließlich Aussparungen, Vo­ lumenanteil und dgl. am/im Träger sein. Dieser Träger kann auch ein (wie in den Figuren an sich dargestellt) sich linear erstreckendes Band oder dergl. Objekt sein kann, das an dem Sensor entlangläuft und dessen Lineargeschwindigkeit gemessen werden soll.
Mit 21 und 22 sind die Hall-Sensoren mit ihrer Positionierung bezeichnet.
Mit 12 sind als Markierungselemente Volumenanteile im Loch­ band 11, z. B. vorgesehene Löcher bzw. Ausschnitte, bezeich­ net, in denen ggf. vorhandenes Medium sich hinsichtlich sei­ ner magnetischen Wirkung vom Material des Lochbandes 11 un­ terscheidet. Zum Beispiel ist das Material des Lochbandes 11 para- bzw. ferromagnetisch und das Material im Volumenan­ teil/Ausschnitt 12 ist Luft. Umgekehrt können die Volumenan­ teile 12 magnetisch sein und das Material des Bandes 11 ist schwach- oder besser unmagnetisch.
In der zur Aufsicht a gehörenden gemäß Schnitt b-b in Ansicht a geschnittenen Seitenansicht b der Fig. 1 sind dieselben Einzelheiten mit denselben Bezugszeichen bezeichnet. Mit 33 ist ein Permanentmagnet bezeichnet und mit 34 die dazu vorge­ sehene erfindungsgemäße Flußrückführung, die zusammen ein (so bezeichnetes) E-förmiges Joch 3 bilden. Mit 35 ist der Ma­ gnetfluß bezeichnet, der auf dem Vorhandensein des Permanent­ magneten 33 beruht und in der Flußrückführung 34 und im Loch­ band 11 verläuft. Diese Flußrückführung 34 bewirkt bezogen auf den Permanentmagneten 33 einen geschlossenen Magnetfluß mit wie durch die angegebenen Pfeile jeweils ersichtlicher Richtung bzw. Verlauf. In der Ansicht b der Fig. 1 ist nur noch der Hall-Sensor 21 zu sehen. Aus der zweiten Seitenan­ sicht c der Fig. 1 (siehe Schnitt c-c in der Aufsicht A der Fig. 1) ist ersichtlich, wie der Permanentmagnet 33, die Flußrückführung 34 und die Sensoren 21 und 22 zueinander an­ geordnet sind.
Einander benachbarte Markierungen bzw. Volumenbereiche 12 sind durch einen dazwischenliegenden Flächenbereich 112 der Oberfläche des Lochbandes voneinander getrennt.
Wie aus der Fig. 1 ersichtlich, befindet sich der Hall- Sensor 21 gerade über Material des Lochbandes 11 und der Hall-Sensor 22 über einer Aussparung 12 des Lochbandes 11. Bei dieser Positionierung liefert der Hall-Sensor 21 ein (größeres) elektrisches Signal, weil der Magnetfluß 35 mit Hilfe der Flußrückführung 34 über das hier magnetische Mate­ rial des Lochbandes 11 besser geschlossen ist als dies für den Bereich mit der Aussparung 12 für die Position des Sen­ sors 22 für diesen der Fall ist.
Obwohl, wie aus der Darstellung der Figur hervorgehend, zwi­ schen Hall-Sensor 21 und Material des Lochbandes 11 ein grö­ ßerer Entfernungsabstand d1, d2 besteht, ist dieses Signal des Hall-Sensors 21 infolge des erfindungsgemäßen Vorhanden­ seins der Flußrückführung 34 gemäß der Aufgabe der Erfindung bekannten Anordnungen gegenüber vergrößert und daher besser auswertbar.
Aus den voranstehenden Erläuterungen ist ersichtlich, daß die jeweiligen Luftspalte d1 + d3 bzw. d2 + d3 (siehe die Figur) für den Magnetfluß 35 (im jeweiligen Schenkel der Flußrück­ führung 34) klein sind, und zwar verglichen mit dem jeweili­ gen wesentlich größeren Weganteil w1 bzw. w2 (siehe wieder die Figur), in denen der (jeweilige Anteil des) Magnetflusses dort durch nicht-magnetisches Material im Volumenanteil bzw. in der Aussparung 12 verläuft.
Die Fig. 2 zeigt, wieder in Ansichten a, b und c, eine ver­ gleichsweise zur Fig. 1 variierte Ausführungsform mit den Permanentmagneten 133 und 133' anstelle des nur einem Perma­ nentmagneten 33 der Fig. 1. Entsprechend dieser Variation unterscheiden sich die Ansichten a und b der Fig. 2 von de­ nen der Fig. 1. Ersichtlich ist aus Fig. 2, wie die Perma­ nentmagneten 133 und 133' sich in Längsrichtung des Lochban­ des über diesem positioniert über den Flächenanteil 12 er­ strecken. Mit 134, 134' und 134" sind die Schenkel des E- förmigen Joches 3 der erfindungsgemäßen Flußrückführung be­ zeichnet.
Die Fig. 3 zeigt in gleicher Art wie die Fig. 1 und 2 mit denselben bzw. analogen Bezugszeichen eine dritte Variante mit Permanentmagneten 233 und 233' in der dargestellten Posi­ tionierung. Die Flußrückführung des Joches 3 ist mit 234 be­ zeichnet.
Gemeinsam ist diesen drei Ausführungsformen, daß der Perma­ nentmagnet 33 bzw. die Permanentmagnet-Paare 133, 133' und 233 und 233' sich über die Bereiche der beiden Sensoren 21 und 22 gleichermaßen erstreckt/erstrecken. Für den Magnetfluß des Permanentmagneten 33 der Fig. 1 bzw. der Permanentmagnet- Paare 133, 233 der Fig. 2 und 3 liegt infolge der erfin­ dungsgemäß vorgesehenen Flußrückführung 35 im Bereich des Lochbandes 11 außerhalb eines nicht-magnetisch wirksamen Vo­ lumenanteils 12 desselben, d. h. im Bereich 112 und dem des Sensors 21, ein nur durch die Abstände d1 bzw. d2 und d3 un­ terbrochener, ein also weitgehend geschlossener Weg für den Magnetfluß 35 durch permeables Material hindurch vor. Im Be­ reich eines Volumenanteils 12 bzw. des Sensors 22 der Fig. 1 bis 3 sind jedoch die flußschwächenden Weganteile w1 und w2 wirksam, die der nicht-magnetische Volumenanteil 12 bewirkt. (Bei Vertauschung der magnetischen Wirksamkeit von Volumenan­ teil 12 und Material des Lochbandes 11 kehren sich diese Be­ dingungen und Wirkungen sinngemäß um.)
Die Fig. 4 zeigt eine Ausführungsform der Erfindung, bei der das Joch 3' mit verlängerten äußeren Schenkeln für die Fluß­ rückführung 434 das Lochband 11 noch seitlich umgreifend aus­ geführt ist. Auch bei dieser Ausführungsform ist im Sinne der Beschreibung zu den Fig. 1 bis 3 für den Bereich 112 zwi­ schen zwei Volumenanteilen 12 eine hohe Magnetfluß-Rückfüh­ rung gewährleistet und sind im Gegensatz dazu, wie in Fig. 4b dargestellt, im Bereich des Volumenanteils 12 für den Sen­ sor 22 die flußschwächenden Weganteile w1 und w2 vorhanden.
Die Fig. 5 zeigt in zwei 90° Seitenansichten a und b eine Ausführung mit wiederum diffentiellen Hall-Sensoren 21, 22 und mit dem Joch 3' mit Flußrückführung 434 und Permanentma­ gnet 33. Anstelle eines Lochbandes 11 (wie in Fig. 4) ist hier (in Fig. 5a in Seitenansicht) eine Zahnstange 111 ge­ zeigt. Die Darstellung der Zahnstange steht auch für das Bild der Abwicklung des Umfangs eines Zahnrades. Die beiden äuße­ ren Schenkel des Joches 3' reichen seitlich der Zahnstange 111 so weit, daß die Zähne 411, aber nur diese, in den Be­ reich des Magnetflusses 35 zwischen den Enden des Joches 3' hineinreichen. Zwischen den Zähnen 411 befinden sich die Zahnlücken 412, die den oben beschriebenen (nicht magneti­ schen) Volumenanteilen bzw. Aussparungen 12 entsprechen. Er­ sichtlich ist auch bei der Ausführungsform nach Fig. 5 eine hohe Magnetfluß-Rückführung für den Sensor 21 gegeben, der einem Zahn 411 gegenübersteht. Das Gegenteil ist für den Sen­ sor 22 der Fall, der einer Zahnlücke 412 gegenübersteht.
Die Fig. 6 zeigt eine noch weitere abgewandelte Ausführungs­ form für das Prinzip der Erfindung, bei der das hier U-för­ mige Joch 3" mit dem Magneten 33 und den Schenkeln der U- Form als Flußrückführung 534 wiederum einer Zahnstange gegen­ übersteht. Auch hier kann dies ein Zahnrad sein, das abgewic­ kelt als Zahnstange dargestellt ist. Im Zwischenraum zwischen dem einen Schenkel 534 und einem Zahn 411 und einer Zahnlücke 412 befinden sich die beiden Sensoren 21 und 22, wovon nur der Sensor 21 einem Zahn gegenübersteht. Für diesen Sensor 21 ist der Magnetfluß 35 und damit das Signal wesentlich höher als dies für den Sensor 22 mit der Magnetflußschwächung durch die Zahnlücke 412 der Fall ist.

Claims (10)

1. Magnetfeldsensor für Messung von Magnetflußänderungen an/in einem Objekt mittels differentieller Magnetfeldsonde (21, 22), die im Magnetfluß (35) einer Anordnung mit Perma­ nent-/Elektromagnet vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine Flußrückführung (34) aus magnetischem Material in Form eines Joches (3) mit darin enthaltenem Magneten (33) für über das Objekt zu schließenden Magnetfluß (35) vorgesehen ist, wobei diese Flußrückführung (34) in dem Magnetfeldsensor derart angeordnet und ausgebil­ det ist, daß größerer als konstruktiv unvermeidlicher Luft­ spalt (d1, d2, d3) für den Magnetfluß (35) vermieden ist.
2. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die differentielle Magnetfeld­ sonde zwei Hall-Sonden (21, 22) umfaßt.
3. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Flußrückführung (34) und der Magnet (33) zusammen ein E-förmiges Joch (3) bilden und der Magnet (33) wenigstens zu einem Anteil den mittleren Schenkel der E-Form bildet. (Fig. 1)
4. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Flußrückführung (134, 134', 134") und zwei Magneten (133, 133') zusammen ein E- förmiges Joch (3) bilden und jeweils einer der Magneten zu wenigstens einem Anteil den jeweiligen rückseitigen Teil der E-Form des Joches zwischen jeweils zwei benachbarten Schen­ keln bildet. (Fig. 2)
5. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Flußrückführung (234) und zwei Magnete (233, 233') zusammen ein E-förmiges Joch (3) bilden und je einer der Magnete zu wenigstens einem Anteil einen der äußeren Schenkel der E-Form bilden. (Fig. 3)
6. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 3, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die äuße­ ren Schenkel des E-förmigen Joches (3') derart verlängert sind, daß sie das Objekt (11, 111) seitlich umgreifend ausge­ führt sind. (Fig. 4, 5)
7. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, ge­ kennzeichnet durch Anordnung in einer Vorrichtung für Drehzahlmessung eines Objekts (11, 111).
8. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, ge­ kennzeichnet durch Anordnung in einer Vorrich­ tung zur Messung von linearem Bewegungsvorgang eines Objekts (11, 111).
9. Vorrichtung mit einem Magnetfeldsensor nach einem der An­ sprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch Son­ denmessung an einem Lochband (11) des Objekts.
10. Vorrichtung mit einem Magnetfeldsensor nach einem der An­ sprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch Son­ denmessung an einem Zahnrad oder einer Zahnstange (111) des Objekts.
DE1999141860 1999-09-02 1999-09-02 Verbesserungen an einem mit Magnetfeld-Sonde arbeitenden Magnetfeldsensor Ceased DE19941860A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE29923913U DE29923913U1 (de) 1999-09-02 1999-09-02 Verbesserungen an einem mit Magnetfeld-Sonde arbeitenden Magnetfeldsensor
DE1999141860 DE19941860A1 (de) 1999-09-02 1999-09-02 Verbesserungen an einem mit Magnetfeld-Sonde arbeitenden Magnetfeldsensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1999141860 DE19941860A1 (de) 1999-09-02 1999-09-02 Verbesserungen an einem mit Magnetfeld-Sonde arbeitenden Magnetfeldsensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19941860A1 true DE19941860A1 (de) 2001-03-29

Family

ID=7920574

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1999141860 Ceased DE19941860A1 (de) 1999-09-02 1999-09-02 Verbesserungen an einem mit Magnetfeld-Sonde arbeitenden Magnetfeldsensor

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19941860A1 (de)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003019217A1 (en) * 2001-08-23 2003-03-06 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetoresistive sensor
DE10314602A1 (de) * 2003-03-31 2004-10-21 Infineon Technologies Ag Integrierter differentieller Magnetfeldsensor
DE10316124A1 (de) * 2003-04-04 2004-10-28 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Vorrichtung zum Bestimmen eines auf eine Welle ausgeübten Drehmoments
DE102006016503A1 (de) * 2006-04-07 2007-10-18 Siemens Ag Gebervorrichtung für eine elektrische Maschine
FR2922472A1 (fr) * 2007-10-22 2009-04-24 Snecma Sa Dispositif et procede de detection,de localisation et de comptage de billes de grenaillage dans une piece mecanique creuse
DE102011081869A1 (de) * 2011-08-31 2013-02-28 Siemens Aktiengesellschaft Messkopf für einen magnetoelastischen Sensor
WO2017186256A1 (de) * 2016-04-29 2017-11-02 Tdk-Micronas Gmbh Abstandsmessvorrichtung
US10487680B2 (en) * 2017-02-10 2019-11-26 Hitachi Metals, Ltd. Turbo rotation sensor and turbocharger

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3426784A1 (de) * 1984-07-20 1986-01-30 Bosch Gmbh Robert Magnetoresistiver sensor zur abgabe von elektrischen signalen
DE3521966A1 (de) * 1985-06-20 1987-01-02 Teves Gmbh Alfred Vorrichtung zur messung des magnetfeldes und/oder der magnetfeldaenderungen in einem luftspalt
WO1989000702A1 (en) * 1987-07-21 1989-01-26 Manchester Lasers Limited Magnetic sensor
DE4022739A1 (de) * 1990-07-17 1992-01-23 Gao Ges Automation Org Vorrichtung zur pruefung von mit magnetischen eigenschaften ausgestatteten messobjekten
DE4025837A1 (de) * 1990-08-16 1992-02-20 Vdo Schindling Hallsensor
DE4418151A1 (de) * 1993-05-27 1994-12-01 Honeywell Inc Magnetfeldsensor
EP0732595A2 (de) * 1995-03-16 1996-09-18 Eastman Kodak Company Magnetfelddetektor

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3426784A1 (de) * 1984-07-20 1986-01-30 Bosch Gmbh Robert Magnetoresistiver sensor zur abgabe von elektrischen signalen
DE3521966A1 (de) * 1985-06-20 1987-01-02 Teves Gmbh Alfred Vorrichtung zur messung des magnetfeldes und/oder der magnetfeldaenderungen in einem luftspalt
WO1989000702A1 (en) * 1987-07-21 1989-01-26 Manchester Lasers Limited Magnetic sensor
DE4022739A1 (de) * 1990-07-17 1992-01-23 Gao Ges Automation Org Vorrichtung zur pruefung von mit magnetischen eigenschaften ausgestatteten messobjekten
DE4025837A1 (de) * 1990-08-16 1992-02-20 Vdo Schindling Hallsensor
DE4418151A1 (de) * 1993-05-27 1994-12-01 Honeywell Inc Magnetfeldsensor
EP0732595A2 (de) * 1995-03-16 1996-09-18 Eastman Kodak Company Magnetfelddetektor

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7112955B2 (en) * 2001-08-23 2006-09-26 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetic sensing device including a magnetoresistive sensor and a supporting magnet
WO2003019217A1 (en) * 2001-08-23 2003-03-06 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetoresistive sensor
DE10314602A1 (de) * 2003-03-31 2004-10-21 Infineon Technologies Ag Integrierter differentieller Magnetfeldsensor
DE10314602B4 (de) * 2003-03-31 2007-03-01 Infineon Technologies Ag Integrierter differentieller Magnetfeldsensor
DE10316124A1 (de) * 2003-04-04 2004-10-28 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Vorrichtung zum Bestimmen eines auf eine Welle ausgeübten Drehmoments
US6912923B2 (en) 2003-04-04 2005-07-05 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Device for determining the torque exercised on a shaft
US8063628B2 (en) 2006-04-07 2011-11-22 Siemens Aktiengesellschaft Sensor device for an electric machine
DE102006016503A1 (de) * 2006-04-07 2007-10-18 Siemens Ag Gebervorrichtung für eine elektrische Maschine
WO2007115857A2 (de) * 2006-04-07 2007-10-18 Siemens Aktiengesellschaft Gebervorrichtung für eine elektrische maschine
WO2007115857A3 (de) * 2006-04-07 2007-12-27 Siemens Ag Gebervorrichtung für eine elektrische maschine
CN101416029A (zh) * 2006-04-07 2009-04-22 西门子公司 用于电机的传感装置
CN101416029B (zh) * 2006-04-07 2011-02-09 西门子公司 用于电机的传感装置
FR2922472A1 (fr) * 2007-10-22 2009-04-24 Snecma Sa Dispositif et procede de detection,de localisation et de comptage de billes de grenaillage dans une piece mecanique creuse
DE102011081869A1 (de) * 2011-08-31 2013-02-28 Siemens Aktiengesellschaft Messkopf für einen magnetoelastischen Sensor
US9329244B2 (en) 2011-08-31 2016-05-03 Siemens Aktiengesellschaft Measurement head for a magnetoelastic sensor
WO2017186256A1 (de) * 2016-04-29 2017-11-02 Tdk-Micronas Gmbh Abstandsmessvorrichtung
EP3567347A1 (de) 2016-04-29 2019-11-13 TDK-Micronas GmbH Abstandsmessvorrichtung
EP3449216B1 (de) * 2016-04-29 2020-09-09 TDK-Micronas GmbH Abstandsmessvorrichtung
EP3742127A1 (de) 2016-04-29 2020-11-25 TDK-Micronas GmbH Abstandsmessvorrichtung
EP3742128A1 (de) 2016-04-29 2020-11-25 TDK-Micronas GmbH Abstandsmessvorrichtung
US11181394B2 (en) 2016-04-29 2021-11-23 Tdk-Micronas Gmbh Distance measuring device
US10487680B2 (en) * 2017-02-10 2019-11-26 Hitachi Metals, Ltd. Turbo rotation sensor and turbocharger

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2745880C2 (de)
DE4408623A1 (de) Magnetischer Positionssensor
DE10009173A1 (de) Messvorrichtung zur berührungslosen Erfassung eines ferromagnetischen Gegenstandes
DE3730841A1 (de) Wirbelstrom-tachometer
EP0510367A1 (de) Induktiver Stellungsgeber
DE19941860A1 (de) Verbesserungen an einem mit Magnetfeld-Sonde arbeitenden Magnetfeldsensor
WO1998059212A1 (de) Drehwinkelsensor mit einem asymmetrisch angeordneten permanentmagneten
DE19738316A1 (de) Berührungsloser Wegmesser insbesondere zur Verschleißmessung von Bremsklötzen
DD257178A3 (de) Anordnung zur erzeugung von steuersignalen
DE102005017498B4 (de) Synchronlinearmotor mit berührungsloser Abtastung der Zahnstruktur des Sekundärteils
DE10360613B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Multipolencoders
DE2319927A1 (de) Wirbelstrommessfuehler
DE19926738C2 (de) Wegaufnehmer
DE3628585C2 (de) Impulsdrehzahlgeber
DE102010029640B4 (de) Drehgeberzahnvorrichtung
EP0437597B1 (de) Vorrichtung zum messen von längen, winkeln und dergleichen
DE2811746C2 (de)
DE4311496A1 (de) Handbetätigter Winkelgeber
DE2015115C3 (de) Vorrichtung zur Messung des unterschiedlichen Gehaltes an ferromagnetisehen Bestandteilen in Materialproben
DE1295205B (de) Magnetischer Messumformer
DE19828372C2 (de) Vorrichtung zum Messen von Dreh- oder Linearbeschleunigungen
DE3720524C2 (de)
EP0684454B1 (de) Magnetfeldinduzierter Impulsgeber, insbesondere zur Drehzahlerfassung einer sich in einem Gehäuse drehenden Welle
WO2012143250A2 (de) Positionsgeber insbesondere zur bestimmung der position eines läufers eines planaren direktantriebs
DE3743934A1 (de) Wirbelstromschienenbremse fuer schienenfahrzeuge

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8131 Rejection