DE4407810C2 - Schaltungsanordnung (Modul) - Google Patents

Schaltungsanordnung (Modul)

Info

Publication number
DE4407810C2
DE4407810C2 DE19944407810 DE4407810A DE4407810C2 DE 4407810 C2 DE4407810 C2 DE 4407810C2 DE 19944407810 DE19944407810 DE 19944407810 DE 4407810 A DE4407810 A DE 4407810A DE 4407810 C2 DE4407810 C2 DE 4407810C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
circuit arrangement
circuit
connections
sealing compound
silicone rubber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19944407810
Other languages
English (en)
Other versions
DE4407810A1 (de
Inventor
Konrad Wick
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semikron Elektronik GmbH and Co KG
Original Assignee
Semikron GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semikron GmbH and Co KG filed Critical Semikron GmbH and Co KG
Priority to DE19944407810 priority Critical patent/DE4407810C2/de
Publication of DE4407810A1 publication Critical patent/DE4407810A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4407810C2 publication Critical patent/DE4407810C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/40Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
    • H01L23/4006Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/16Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations, e.g. centering rings
    • H01L23/18Fillings characterised by the material, its physical or chemical properties, or its arrangement within the complete device
    • H01L23/24Fillings characterised by the material, its physical or chemical properties, or its arrangement within the complete device solid or gel at the normal operating temperature of the device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/71Means for bonding not being attached to, or not being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/72Detachable connecting means consisting of mechanical auxiliary parts connecting the device, e.g. pressure contacts using springs or clips
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/07Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
    • H01L25/072Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/40Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
    • H01L23/4006Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws
    • H01L2023/4037Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws characterised by thermal path or place of attachment of heatsink
    • H01L2023/405Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws characterised by thermal path or place of attachment of heatsink heatsink to package
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/40Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
    • H01L23/4006Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws
    • H01L2023/4037Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws characterised by thermal path or place of attachment of heatsink
    • H01L2023/4062Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws characterised by thermal path or place of attachment of heatsink heatsink to or through board or cabinet
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/40Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
    • H01L23/4006Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws
    • H01L2023/4075Mechanical elements
    • H01L2023/4081Compliant clamping elements not primarily serving heat-conduction
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4847Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
    • H01L2224/48472Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area also being a wedge bond, i.e. wedge-to-wedge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/0102Calcium [Ca]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01029Copper [Cu]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01042Molybdenum [Mo]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01058Cerium [Ce]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01078Platinum [Pt]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1301Thyristor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1306Field-effect transistor [FET]
    • H01L2924/13091Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16152Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/30107Inductance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung (Modul) nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Elektronische Schalter in Form von Schaltungsanordnungen (Modulen) werden in immer kompakteren Bauausführungen benötigt und hergestellt. Die Schaltungsdichte und damit der Integrationsgrad solcher Schaltungsanordnungen erhöht sich kontinuierlich. Dieser Konzentrationsprozeß verlangt einerseits einen immer besseren Wärmeübergang der auftretenden Verlustwärme zu den Kühlbauteilen, andererseits eine immer dichtere Verdrahtung mit teilweise Hochspannung führenden Verbindungen. Untereinander müssen die Verbindungen dabei gut isoliert sein und einen schaltungsgerechten elektrischen Aufbau aller internen und externen Kontakte ermöglichen. In allen Gleichstrom führenden Verbindungselementen ist zusätzlich ein induktivitätsarmer Aufbau gefordert und für die Funktionssicherheit wünschenswert. Diese Voraussetzungen für solcherart aufgebaute elektronische Schaltungsanordnungen werden dem Stand der Technik entsprechend mit aufwendigen Verfahren und Methoden bei Einsatz von sehr komplexen Einzelbauteilen realisiert.
Die DE 36 10 288 A1 stellt ein Leistungsmodul vor, das dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 entspricht. In der Beschreibung in Spalte 5 wird in den Zeilen 22 bis 33 die beim Aufbau eingesetzte elastomere Vergußmasse erläutert. Zur Stabilisierung erhält dieses Modul einen zweiten duroplastischen Hartverguß.
Die DE 26 41 032 C2 beschreibt ein Stromrichtermodul mit einer völlig anderen Hermetisierung der Halbleiterelemente, die ohne Vergußmassen mittels mechanischer Abdichtung eines Druckkontaktaufbaus dargestellt wird. Diese Aufbaumethode eignet sich besonders für Hochleistungshalbleiterbauelemente mit großflächigen pn-Übergängen, da sehr schnell und zerstörungsfrei eine Demontage durchgeführt werden kann.
In der EP 0 308 676 A2 wird eine spannungsarme Umhüllung für elektrische und elektronische Bauelemente vorgestellt. Es wird eine kompressible Zwischenschicht zum mechanischen Schutz von Schaltungsaufbauten gebildet. Die Kompressibilität wird dabei durch Einbau von Gasblasen in dosierter Menge in den den Aufbau umhüllenden Weichverguß erreicht.
Das Gebrauchsmuster DE 90 07 439 U1 stellt schließlich ein Leistungshalbleitermodul mit integrierter Ansteuerungs- und Fehlerschutzplatine vor. Mit Fig. 1 wird dort eine dem Stand der Technik entsprechende Anordnung einer bestückten Leiterplatte dargestellt, die spiegelbildlich zu den Modulaufbauten positioniert ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine raum- und materialsparende Schaltungsanordnung der eingangs genannten Art zu schaffen, die mit nur einer Vergußmasse auskommt und die wirtschaftlich sehr vorteilhaft herstellbar ist und neue Möglichkeiten für eine weitergehende Integration von Einzelelementen zu größeren Packungsdichten ermöglicht.
Durch die spezielle Ausbildung des weichen und die Schaltungsaufbauten elektrisch isolierenden und mechanisch vor Zerstörung schützenden Silikonvergusses ist dabei bei Minimierung der Penetration (nach Wahrig: Deutsches Wörterbuch: penetrare = hineindringen; hier Eindringen eines genormten Kegels in die Masse) eine wirtschaftliche Herstellung erreichbar. Dabei wird in der Gummi herstellenden Industrie der Begriff "Penetration" als Qualitätsmerkmal für die Härte des Produktes definiert (Sh. dazu beispielhaft: Katalog "Silgel" Nr. 4539 der Fa. Wacker Chemie GmbH von 9/91).
Die genannte Aufgabe wird mit den Maßnahmen des kennzeichnenden Teiles des Anspruches 1 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen angegeben.
Anhand der in den Fig. 1 bis 4 dargestellten Beispiele wird die Erfindung erläutert.
Fig. 1 stellt eine Prinzipskizze einer Brückenschaltung dar, bei der die Erfindung anwendbar ist.
Fig. 2 skizziert den Querschnitt eines Schaltungsausschnittes.
Fig. 3 stellt im Querschnitt den weiteren Aufbau im Prinzip dar.
Fig. 4 skizziert einen doppelseitigen Schaltungsaufbau.
Fig. 1 zeigt die Draufsicht einer Schaltungseinheit, wie sie beispielhaft eine Drehstrombrücke darstellt. Es entspricht dem Stand der Technik, daß auf einer, im Verbund mit mehreren Schaltungseinheiten gebildeten, Isolierkeramik (1) eine einseitige Struktur in der Kupfer-Schicht (2) der beispielhaft nach dem DCB-Verfahren vorgefertigten Platine vorhanden ist. Auf diese Kupferflächen werden in einem ersten Arbeitsschritt Aufbauteile in bekannter Weise weich gelötet. Die Aufbauteile sind dabei Halbleiterbauelemente (3), hier skizziert rund geformte Leistungsdioden, als Sandwiches mit Molybdän vorgefertigt, Verbindungselemente (4) mit Ausgleichsbögen und in der Form erfindungsgemäß gestaltete Anschlußelemente (5).
Die Bauelemente (3) können in Erweiterung von Ausführungsvarian­ ten auch Thyristorchips, Bipolartransistoren, IGBT-Chips oder MOSFETs sein. Bei einem Einsatz solcher Halbleiterbauelemente versteht sich die Notwendigkeit einer anderen Kupferstruktur (2) der DCB-Keramik, bei der Kontaktstellen für die Hilfsanschlüsse (z. B. Hilfskathode, Gate- oder Basiskontakte) ausgebildet sein können. Dabei ist bei dem Einsatz solcher Bauelemente (3) auch beachtlich, daß einige Verbindungselemente (4) gebondete oder geschweißte Verdrahtungen sein können und Hilfsanschlüsse mit Ausgleichsbögen Einsatz finden.
Wichtig ist die Formgebung der Anschlußelemente (5). Durch sie werden neben den Hilfsanschlüssen die elektrischen Verbindungen zu den Halbleiterbauelementen (3) hergestellt. Die Gestaltung kann verschieden (im Querschnitt rund, oval oder eckig) sein, gewährleistet werden muß eine Lötfläche mit gegenüberliegender parallel verlaufender Abschlußfläche. Die Höhe eines so geformten Anschlußelementes (5) ist entscheidend für die Gesamt­ höhe der Schaltungseinheit, die bei ca. 5 bis 10 mm liegen kann.
Zur Gewährleistung einer ausreichenden und dauerhaften Isolation der stromführenden Teile der Halbleiterschaltung untereinander, ist es sehr sinnvoll, den gesamten freien Keramikrand der DCB- Keramik auf der Bauelemente-Aufbauseite mit einem Silikonkleber (6) in Form einer Raupe zu bedecken. Dadurch wird ein bündiges Gefüge zwischen Keramikmaterial und Silikonkautschuk erreicht.
Fig. 2 dient der Erläuterung der Erfindung. Im Querschnitt ist in dieser Skizze wiederum ein Ausschnitt aus einem Schaltungsaufbau dargestellt. Die Isolierkeramik (1) mit einseitig geschlossener Kupferauflage (7) ist auf der Aufbauseite mit strukturiertem Kupfer (2) versehen. Hierauf sind Halbleiterbauelemente (3) mittels Weichlot (9) aufgelötet.
In gleicher Weise ist ein Anschlußelement (5) mittels Lot (8) fixiert. Dieses Anschlußelement (5) hat in diesem Ausführungs­ beispiel ein sackförmiges Gewinde (8), das zur Befestigung der äußeren Schaltungsanschlüsse vorgesehen ist. Der gesamte Raum bis zur Höhe der oberen Abschlußfläche der Anschlußelemente (5) wird mit an sich bekanntem Silikonkautschuk (10) ausgefüllt. Dabei sind die im Querschnitt sichtbaren Verbindungselemente (4) vollständig in der Masse (10) eingebettet. In gleicher Ebene zu der Oberfläche des Silikonkautschuks (10) ist lediglich die Oberfläche der Anschlußelemente (5) von Silikonkautschuk (10) unbenetzt.
Eventuell schaltungstechnisch vorgesehene Hilfsanschlüsse, wie sie bei Verwendung von Transistoren oder Thyristoren in der Schaltungsanordnung erforderlich sind, ragen gleichfalls aus der Oberfläche des Silikonkautschuks (10) heraus. Die durch diese Konstruktionsmerkmale definierte Masse an Silikonkautschuk (10) wird durch Mischen aus seinen beiden Komponenten A und B in solch einem Verhältnis gebildet, daß nach dem Aushärten die geringstmögliche Penetration erreicht wird. Mit diesem Gemisch wird der in waagerechter Lage positionierte Schaltungsaufbau innerhalb der Topfzeit vergossen. Durch Entgasen und Aushärten des Silikonkautschuks (10) ist die so hergestellte Schaltungseinheit hermetisiert und für den Sekundäreinbau in größere Schaltungseinheiten vorbereitet.
Für den weiteren Aufbau von Schaltungsanordnungen mittels solcher wie vorbeschriebener Einheiten ergeben sich verschiedene Alternativen. In Fig. 3 wird eine Variante beschrieben. Im Querschnitt ist ein möglicher Schaltungsaufbau skizziert. Auf einer Keramik (1) mit einer geschlossenen einseitigen Kupferbelegung (7) befindet sich auf der gegenüberliegenden Seite eine strukturierte Kupferschicht (2). Auf dieser Kupferoberfläche werden alle Schaltungs-, Verbindungs- und Anschlußelemente stoffschlüssig befestigt.
Die Schaltungseinheit ist am gesamten oberen Keramikrand zur Sicherstellung der langzeitigen Isolationseigenschaften gegenüber der Grundplatte (11) mit Silikonkleber (6) abgedeckt und danach ganzflächig mit Silikonkautschuk (10) vergossen. Mit einer Leiterplatte (12) werden alle aus der Oberfläche des Silikonkautschuks herausragenden Verbindungselemente, in der Skizze nicht gezeichnet, kontaktiert.
Die an sich bekannte Leiterplatte kann in flexibler oder starrer Ausfertigung einseitig oder mehrschichtig Leiterbahnen ohne oder mit entsprechenden Durchmetallisierungen zur schaltungsgerechten Verbindung einzelner Leiterbahnen in verschiedenen Ebenen ausgebildet sein.
In gleicher Weise, wie der Einsatz von Leiterplatten (12) ist der Einsatz von flächenhaft ausgeführten Zwischenkreisen aus Kupfer mit entsprechender Isolation, das ist zur Realisierung induktivitätsarmer Gleichstromverbinder notwendig, möglich.
Die Verbindung zu den Verbindungs- (4) oder Anschlußelementen (5) kann in bekannter Weise mittels Verschrauben oder über Druckkontakte hergestellt werden. Die Verbindung der Hilfsanschlüsse ist auch mittels Löttechnik möglich.
Mittels des an sich bekannten Brückenelementes (13) ist es weiterhin möglich, die gesamte Schaltungseinheit oder Teile von ihr über Druckkontakt mit einer Kühleinrichtung (11) thermisch gut leitend zu verbinden. Dazu dienen Verbindungsbolzen (14) mit entsprechenden Federelementen zur Aufrechterhaltung eines konstanten Anpreßdruckes auch bei wechselnder thermischer Belastung. Der Silikonkautschuk (10) dient als wesentliches Merkmal der Erfindung bei solch einer Druckkontaktierung gleichzeitig als Kissenelement zum Druckausgleich der sich thermisch unterschiedlich ausdehnenden Einzelbauteile des Schaltungsaufbaus.
Fig. 4 skizziert letztlich einen Ausschnitt einer sehr kompakt aufgebauten Schaltungsanordnung. Über beidseitig angebrachte Kühleinrichtungen (11), deren Form und Kühlmethode nach dem Stand der Technik gewählt wird, kann die in der Schaltungsanordnung bei Betrieb entstehende Verlustwärme abgeführt werden. Der Aufbau der eigentlichen Schaltungsanordnung ist prinzipiell nicht von den bereits früher beschriebenen unterschiedlich, nennenswert ist hier die Anordnung von zwei "face to face", d. h. sich gegenüberliegender Schaltungen.
In dem Zustand der mit Silikonkautschuk (10) vergossenen Schaltungen werden diese mit einer Leiterplatte (12) kontaktiert, dabei sind die "Hilfsanschlüsse" über Steckverbinder (15), wie das bereits beschrieben wurde, elektrisch leitend kontaktiert und die Last- und Kraftanschlüsse (5) werden druckkontaktiert, wobei die entsprechenden elektrisch leitenden und voneinander isolierten Zwischenkreise nicht dargestellt wurden. Die Justage der die untere Schaltungsebene abdeckenden oberen Schaltungsebene geschieht zwangsläufig bei der Montage durch die hervortretenden Steckverbinder (15) für alle notwendigen Hilfsanschlüsse. Auch hier besitzt jede einzelne Keramik die Silikonkleberumrandung (6), wie sie bereits beschrieben wurde und für die Erfindung wesentlich ist.
Schaltungsaufbauten nach der Erfindung haben entscheidende Vorteile gegenüber solchen nach dem Stand der Technik aufgebauten Schaltungen. Hier sollen nur die wesentlichen genannt werden.
Es ist möglich, rationell über die sogenannte "Eurokarte", Verbund mehrerer DCB-Keramiken (1, 2, 7), gleichzeitig mehrere Schaltungselemente in einem Prozeß in an sich bekannter Weise zu löten, es schließt sich das Bonden (4) und Aufbringen sowie Aushärten des Silikonklebers (6) an.
Zum Vergießen mit Silikonkautschuk (10) wird die Unterseite der Kupferfläche (7) mit einer wieder entfernbaren Schutzfolie abgeklebt. Das Trennen in einzelne Schaltungseinheiten wird nach dem Vergießen mit Silikonkautschuk (10) vorgenommen.
Die Bauhöhe der Einzelschalter kann bis auf ca. 5 mm minimiert werden, da kein weiterer Schutz oberhalb der Silikonkautschuk­ schicht (10) erforderlich ist. Das hat den Vorteil, daß die Lastanschlüsse, wie sie als Anschlußelemente (5) skizziert sind, keine thermischen Ausgleichsbögen in sich bergen müssen. Die thermische Ausdehnung der DCB-Keramik wird über die obere Verbindungstechnik der Sekundär-Verbindungselemente abgefangen. Bei Einsatz einer flexiblen Leiterplatte als Verbindungselement (12) ist keine Gefahr der thermischen Verspannung gegeben. Auch bei Einsatz einer starren Leiterplatte (12) wird bei Verwendung eines Glas-Epoxid-Harzes als Isolationsschicht oder als Laminat bei Mehrschichtaufbau eine analoge Ausdehnung parallel zu der Keramik zu erwarten sein. Geringe Ausdehnungsdifferenzen werden von den Verschraubungen (8, 14) mit Federelementen aufgenommen.
Durch Einsatz des Silikonkautschuks in der erfinderischen Weise ist die gesamte aktive Schaltungseinheit mechanisch gut gegen äußere Einflüsse geschützt und die Isolationswerte des Silikonkautschuks (10) gewährleisten einen störungsfreien elektrischen Betrieb der Schaltungsanordnung.
Die Vergußhöhe des Silikonkautschuks ist optimierbar. In den Fällen einer weiteren stoffschlüssigen Verbindung mit den äußeren Anschlußelementen kann sie geringfügig unterhalb der Oberflächen der Anschlußelemente (5) enden. Bei einem weiteren Druckkontaktaufbau der äußeren Anschlußelemente ist es möglich, eine geringfügig höhere Vergußoberfläche in Relation zu den Oberflächen der Anschlußelemente (5) zu wählen, da durch die Druckbeaufschlagung dann gleichzeitig die Kontaktflächen der Anschlußelemente (5) geschützt werden.
Bei Nutzung von flexiblen äußeren Anschlußverbindungen kann die Höhe des Kautschuks (10) bis zur Höhe der Verbindungselemente (4) minimiert werden. Die Gestaltung der Anschlußelemente (5) mit geringer Höhe und großer Kontaktfläche gestattet die Einbeziehung der oberen Schaltungsaufbauten parallel zu der Kühleinrichtung (11) in die Kühlbilanzierung der Schaltungsanordnung.
Für eine mögliche Druckkontaktierung der DCB-Keramik zur Wärmeableitung der auftretenden Verlustwärme auf die Kühl­ einrichtung (11) sind keine gesonderten Konstruktionselemente erforderlich, da die Anschlußelemente (5) und die Vergußmasse (10) diese Funktion bei entsprechender Gestaltung der Kupferstruktur (2) der Keramik (1) übernehmen.
Durch Weichlöten entsprechender Steckverbinder auf die Kupferflächen (2) der Isolierkeramik (1) als Kontaktstellen für Hilfsanschlüsse kann eine einfache Montage der äußeren Anschlüsse ermöglicht werden und bei simultan verlaufender Verschraubung der äußeren Anschlüsse auf den Anschlußelementen (5) ist gleichzeitig eine zerstörungsfreie Demontage einzelner Schaltungsaufbauten möglich, um gegebenenfalls beispielhaft defekte Schaltungseinheiten gegen neue funktionstüchtige austauschen zu können.
Die erfinderische Methode der Realisierung der Schaltungseinheit kann zu einer Rekonstruktion bekannter konventioneller Module der Elektronik, wie Brücken, Halbbrücken und Leistungsschaltern, führen, dadurch wird eine wirtschaftliche Herstellung bei Reduzierung des Materialeinsatzes und des Energieaufwandes sowie eine großzügige Rationalisierung bis hin zu automatisierbaren Fertigungsabläufen ermöglicht. Durch Wegfall des verbreiteten Einsatzes von Hartverguß werden erfindungsgemäße Schaltungsaufbauten umweltverträglicher in Herstellung und Anwendung.

Claims (8)

1. Schaltungsanordnung (Modul) für Leistungshalbleiterschaltungen mit hoher Packungsdichte, bestehend aus einer Grundplatte (11), mindestens einer Trägerplatte, die aus einer Isolierkeramik (1) mit Kupferplattierungen (2, 7) gebildet ist, aus Halbleiterbauelementen (3), Hilfskontakt­ anschlüssen (15), Verbindungselementen (4), Anschlußelementen (5) und Vergußmasse (10), dadurch gekennzeichnet, daß die Vergußmasse (10) ausschließlich ein additionsvernetzender Silikonkautschuk ist, der ganzflächig in gleichbleibender Schichtdicke den Schaltungsaufbau auf der Isolierkeramik überdeckt und die Außenkonturen der Isolierkeramik (1) mittels Silikonkleber (6) mit dem Silikonkautschuk verklebt worden sind, wobei der Silikonkautschuk gleichzeitig als Kissenelement zum Druckausgleich bei druckkontaktierter Ausführung der Schaltungsanordnung dient.
2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der Vergußmasse (10) annähernd in einer Ebene zu der nicht durch Vergußmasse überdeckten Oberfläche der Anschlußelemente (5) liegt und alle Hilfskontaktanschlüsse (15) aus der Oberfläche der Vergußmasse (10) herausragen.
3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der additionsvernetzende Silikonkautschuk nach Mischen und Aushärten einen Penetrationswert von ca. 50 mm/10 aufweist.
4. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlußelemente (5) in ihrer Länge minimiert und in ihrer Form für einen Druckkontakt der Schaltungsanordnung geeignet sind, wobei der Silikonkautschuk (10) als Kissenelement zum Druckausgleich dient, oder aus der Oberfläche der Vergußmasse herausragen und für eine Verschraubung oder stoffschlüssige äußere Kontaktierung ausgebildet sind.
5. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Hilfskontaktanschlüsse (15) die Form von Steckverbindern haben und eine gleiche Aufbauhöhe wie die der Vergußmasse (10) besitzen oder daß die Hilfskontaktanschlüsse aus der Oberfläche der Vergußmasse herausragen und einen Ausgleichsbogen für den Ausgleich thermischer Kräfte unterhalb der Oberfläche der Vergußmasse besitzen.
6. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die Montage der äußeren Anschlüsse eine strukturierte Leiterplatte (12) verwendet wird, die direkt auf der Oberfläche der Vergußmasse aufliegt und entsprechende Aussparungen für die Durchführung der Laststromanschlüsse aufweist.
7. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Laststromanschlüsse, insbesondere für die Gleichstrom führenden Stromkreise, Zwischenkreise in flächiger Ausführung dienen, die direkt auf der Vergußmasse aufliegen und die Anschlußelemente (5) druckkontaktiert worden sind.
8. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beidseitig in spiegelbildlicher Anordnung zu einer als Verbindungsträger für elektrische Kontaktierungen dienende Leiterplatte (12) oder einem flächigen Zwischenkreis Schaltungsanordnungen mittels Verschraubungen (14) mit Federelementen druckkontaktiert sind, wobei der ganzflächig auf beiden Schaltungsanordnungen aufgebaute Silikonkautschuk als Kissenelement dient.
DE19944407810 1994-03-09 1994-03-09 Schaltungsanordnung (Modul) Expired - Fee Related DE4407810C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19944407810 DE4407810C2 (de) 1994-03-09 1994-03-09 Schaltungsanordnung (Modul)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19944407810 DE4407810C2 (de) 1994-03-09 1994-03-09 Schaltungsanordnung (Modul)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4407810A1 DE4407810A1 (de) 1995-09-21
DE4407810C2 true DE4407810C2 (de) 1998-02-26

Family

ID=6512236

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19944407810 Expired - Fee Related DE4407810C2 (de) 1994-03-09 1994-03-09 Schaltungsanordnung (Modul)

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4407810C2 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19929754A1 (de) * 1999-06-29 2001-01-18 Siemens Ag Verguß eines Schaltungsaufbaus mit vibrationsdämpfender Einbettungsmasse
DE10233296A1 (de) * 2002-07-22 2004-02-12 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Gehäuses für einen gekapselten Sensor und entsprechendes Gehäuse
CN107017207A (zh) * 2015-10-28 2017-08-04 文科泰克(德国)有限责任公司 具有受压凝胶的半导体电路布置结构及装配方法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19617055C1 (de) * 1996-04-29 1997-06-26 Semikron Elektronik Gmbh Halbleiterleistungsmodul hoher Packungsdichte in Mehrschichtbauweise
DE19905886A1 (de) * 1999-02-11 2000-08-17 Meto International Gmbh Identifizierungselement und Verfahren zur Herstellung eines Identifizierungselements
DE10249205B3 (de) * 2002-10-22 2004-08-05 Siemens Ag Leistungsbauelementanordnung zur mechatronischen Integration von Leistungsbauelementen
JP4459883B2 (ja) * 2005-04-28 2010-04-28 三菱電機株式会社 半導体装置
WO2007025489A1 (de) 2005-08-26 2007-03-08 Siemens Aktiengesellschaft Leistungshalbleitermodul mit auf schaltungsträger aufgebrachten lastanschlusselementen
DE102005061773B3 (de) * 2005-12-23 2007-05-16 Danfoss Silicon Power Gmbh Verfahren zum Herstellen eines Leistungshalbleitermoduls und Leistungshalbleitermodul
JP2007235004A (ja) 2006-03-03 2007-09-13 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置
DE102006032441A1 (de) * 2006-07-13 2008-01-17 Siemens Ag Vorrichtung aufweisend eine Leiterplatte und ein Modul sowie Verfahren zum Aufbau einer derartigen Vorrichtung
DE112008000229B4 (de) * 2007-01-22 2014-10-30 Mitsubishi Electric Corp. Leistungshalbleitervorrichtung
RU2462787C2 (ru) * 2007-11-13 2012-09-27 Сименс Акциенгезелльшафт Модуль силовых полупроводниковых приборов
PL2208225T3 (pl) * 2007-11-13 2019-03-29 Siemens Ag Moduł półprzewodnikowy mocy
DE102009015757A1 (de) * 2009-04-01 2010-10-14 Siemens Aktiengesellschaft Druckunterstützung für eine elektronische Schaltung

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2641032C2 (de) * 1976-09-11 1982-09-09 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Stromrichtermodul
DE3610288A1 (de) * 1986-03-26 1987-10-01 Bbc Brown Boveri & Cie Leistungshalbleitermodul
EP0308676A2 (de) * 1987-09-25 1989-03-29 Siemens Aktiengesellschaft Spannungsarme Umhüllung für elektrische und elektronische Bauelemente, insbesondere Hybridschaltungen
DE9007439U1 (de) * 1990-06-29 1991-11-14 IXYS Semiconductor GmbH, 68623 Lampertheim Leistungshalbleitermodul mit integrierter Ansteuerungs- und Fehlerschutzplatine

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2641032C2 (de) * 1976-09-11 1982-09-09 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Stromrichtermodul
DE3610288A1 (de) * 1986-03-26 1987-10-01 Bbc Brown Boveri & Cie Leistungshalbleitermodul
EP0308676A2 (de) * 1987-09-25 1989-03-29 Siemens Aktiengesellschaft Spannungsarme Umhüllung für elektrische und elektronische Bauelemente, insbesondere Hybridschaltungen
DE9007439U1 (de) * 1990-06-29 1991-11-14 IXYS Semiconductor GmbH, 68623 Lampertheim Leistungshalbleitermodul mit integrierter Ansteuerungs- und Fehlerschutzplatine

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19929754A1 (de) * 1999-06-29 2001-01-18 Siemens Ag Verguß eines Schaltungsaufbaus mit vibrationsdämpfender Einbettungsmasse
DE19929754C2 (de) * 1999-06-29 2001-08-16 Siemens Ag Verguß einer bestückten Baugruppe mit vibrationsdämpfender Gießmasse
DE10233296A1 (de) * 2002-07-22 2004-02-12 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Gehäuses für einen gekapselten Sensor und entsprechendes Gehäuse
CN107017207A (zh) * 2015-10-28 2017-08-04 文科泰克(德国)有限责任公司 具有受压凝胶的半导体电路布置结构及装配方法
CN107017207B (zh) * 2015-10-28 2019-11-15 文科泰克(德国)有限责任公司 具有受压凝胶的半导体电路布置结构及装配方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE4407810A1 (de) 1995-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4407810C2 (de) Schaltungsanordnung (Modul)
EP1255299B1 (de) Leistungshalbleitermodul in Druckkontaktierung
DE102008023711B4 (de) Halbleitermodul und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitermoduls
DE19617055C1 (de) Halbleiterleistungsmodul hoher Packungsdichte in Mehrschichtbauweise
EP0508179B1 (de) Schaltungsanordnung
DE112013007047B4 (de) Halbleitermodul
DE102007015534B4 (de) Leistungshalbleitermodul
DE102004018469B3 (de) Leistungshalbleiterschaltung
DE10238037B4 (de) Halbleitereinrichtung mit Gehäuse und Halterung
EP0237739A2 (de) Leistungshalbleitermodul und Verfahren zur Herstellung des Moduls
DE19630173A1 (de) Leistungsmodul mit Halbleiterbauelementen
DE102013226544B4 (de) Halbleitervorrichtung
DE10162966A1 (de) Leistungshalbleitermodul
DE19854180A1 (de) Modulgehäuse für Halbleiterbauteile
DE69923374T2 (de) Halbleitervorrichtung
DE102014104856A1 (de) Explosionsgeschütztes Leistungshalbleitermodul
DE19924993C2 (de) Intelligentes Leistungsmodul in Sandwich-Bauweise
DE4133199C2 (de) Halbleiterbauelement mit isolationsbeschichtetem Metallsubstrat
DE19806801C2 (de) Elektrische Schaltunganordnung
WO2018001883A1 (de) Leistungsmodul
DE102013216035B3 (de) Leistungshalbleitermodul und Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls
WO2018046165A1 (de) Leistungsmodul
WO2007045112A1 (de) Leistungsgehäuse für halbleiterchips und deren anordnung zur wärmeabfuhr
EP1753025A2 (de) Leistungshalbleitermodul mit wannenförmigem Grundkörper
DE9113498U1 (de) Schaltungsanordnung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: SEMIKRON ELEKTRONIK GMBH & CO. KG, 90431 NUERNBERG,

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20131001