DE4324513A1 - Verfahren, Schaltung und Messaufnehmer zum Erfassen physikalischer Größen durch gezielte Messung von charakteristischen Größen des Antwortsignales - Google Patents
Verfahren, Schaltung und Messaufnehmer zum Erfassen physikalischer Größen durch gezielte Messung von charakteristischen Größen des AntwortsignalesInfo
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Description
Passive elektrische Bauelemente mit Zeitverhallten können unter bestimmten Voraussetzungen
in vielfältiger Weise als physikalische Meßaufnehmer genutzt werden.
Unter einem passiven elektrischen Bauelement mit Zeitverhalten wird im Allgemeinen ein solches
verstanden, an welchem bei Anlegen eines elektrischen Eingangssignales Ee(t) ein zeitabhängiges
elektrisches Antwortsignal Ea(t) entsteht, wobei der Zusammenhang zwischen Eingangs-
und Antwortsignal durch eine Differentialgleichung beschrieben werden kann.
Beispiele solcher Bauelemente sind Induktivität und Kapazität mit den zugehörigen Differential
gleichungen: Induktivität L: uL = L · di/dt und Kapazität C: uC: 1/C ·i ·dt.
Nachfolgend wird ein Verfahren beschrieben, welches es gestattet physikalische Größen
mittels elektrischer Bauelemente mit Zeitverhalten statisch und dynamisch zu messen.
Zu diesem Zweck setzt man das entsprechende elektrische Bauelement mit Zeitverhalten
- oder einen elektrischen Schaltkreis der ein Bauelement mit Zeitverhalten enthält - einem
zeitabhängigen elektrischen Eingangssignal Ee(t) aus und wertet vom Antwortsignal Ea(t) eine
charakteristische Größe aus.
Als Beispiel für zeitabhängige Eingangssignale Ea(t) sei eine Sprungfunktion oder eine mit der
Zeit linear ansteigende Eingangsgröße (Rampe) genannt.
Beispiele für eine charakteristische Größe des Antwortsignales Ea(t) sind:
die 1te Ableitung E′a(t), oder die Zeitdauer Tm welche das Antwortsignal bis zum Erreichen eines bestimmten Wertes Up benötigt, oder der Wert Ea(Td) den das Antwortsignal nach einer definierten Zeit erreicht hat oder das Integral des Antwortsignales.
die 1te Ableitung E′a(t), oder die Zeitdauer Tm welche das Antwortsignal bis zum Erreichen eines bestimmten Wertes Up benötigt, oder der Wert Ea(Td) den das Antwortsignal nach einer definierten Zeit erreicht hat oder das Integral des Antwortsignales.
Fig. 1 zeigt ein Schaltungsbeispiel mit Induktionsspule 1 und Widerstand 2 sowie verschiedene
Möglichkeiten der Erfassung des "Eintauchweges" s eines ferromagnetischen Ankers 3 bei einer
Sprungfunktion als Eingangssignal.
In Fig. 1a ist als charakteristische Größe für den Eintauchweg s des Ankers die Zeit Tm1 gewählt
welche das Antwortsignal Ea(t) benötigt um einen bestimmten Spannungspegel Up zu erreichen.
Praktisch wird eine solche Aufgabe mittels Schmittrigger und Mikroprozessor gelöst.
In Fig. 1b ist als charakteristische Größe für den Eintauchweg s der Wert Eai des Antwort
signales gewählt, welcher nach einer vorgegebenen Zeit Td erreicht ist.
Praktisch wird solch eine Aufgabe mittels Timer, der einen AD-Wandler auslöst oder mittels eines
Mikrocontrollers oder Mikroprozessorsystems gelöst.
In Fig. 1c wurde als charakteristische Größe der Wert Iai gewählt, den die Integralfunktion des
Antwortsignales Ea(t) zu einer vorgegebenen Zeit Td erreicht hat.
Fig. 1 verdeutlicht, daß eine Vielzahl von charakteristischen Größen des Antwortsignales Ea(t)
für die Bestimmung der Meßgröße "Weg s" herangezogen werden können.
Fig. 2 zeigt, daß als Eingangssignal Ee(t) auch eine "Rampenfunktion" ein auswertbares Antwort
signal Ea(t) liefert. Die in Fig. 2 gezeichneten si-Kurven können nach Zeit- oder Signalwerten
ausgewertet werden.
Fig. 3 stellt einen Schaltkreis aus Widerstand 2 und Kondensator 4 mit Eingangs-und Antwort
signal dar. Bei dieser Anordnung wird die Meßgröße "Weg s" als Einflußparameter
auf die Kapazität C in der oben beschriebenen Weise ermittelt. Fig. 3 soll zwei Fakten herausstellen:
Erstens, daß der Abgriff des Antwortsignales auch am Meßaufnehmer selbst erfolgen kann, zweitens daß das gleiche Verfahren mit unterschiedlichen Meßaufnehmern (sowohl Induktions spule als auch Kondensator) durchgeführt werden kann.
Erstens, daß der Abgriff des Antwortsignales auch am Meßaufnehmer selbst erfolgen kann, zweitens daß das gleiche Verfahren mit unterschiedlichen Meßaufnehmern (sowohl Induktions spule als auch Kondensator) durchgeführt werden kann.
Der Erfindung entsprechend wird nun auf den Schaltkreis bzw. Meßaufnehmer eine Folge
der oben beschriebenen Eingangssignale gegeben und deren Antwortsignale mit einem
Mikroprozessorsystem oder Mikrocontroller in bezug auf eine charakteristische Größe ausgewertet.
Durch die hohen Verarbeitungsgeschwindigkeiten der aktuellen Mikroprozessoren ist es somit
möglich eine einzelne Meßwerterfassung weit unter einer Millisekunde zu realisieren.
Dadurch lassen sich durch die rasche Abfolge einer Vielzahl von nacheinander ausgeführten
Einzelmessungen die Meßgrößen dynamisch bis in den Kilohertzbereich erfassen.
Die Folge der Eingangssignale wird in der Regel durch das Programm vorgegeben und richtet
sich üblicher Weise nach der Dynamik der Meßgröße. Bei langsamen Vorgängen kann es
genügen jede Sekunde eine Messung auszuführen, während ein hochdynamischer Vorgang
Meßraten von 10 kHz oder mehr erfordern kann.
Die Obergrenze der Dynamik ist dabei von der Taktfrequenz und dem internen Zeitverhalten der
verwendeten IC′s abhängig.
Fig. 4 zeigt schematisch das beschriebene Verfahren.
Der Mikrocontroller 7 gibt auf den Schaltkreis 5, bestehend aus Induktionsspule 1 mit Anker 3
und Widerstand 2 zeitabhängige Eingangsignale Ee(t) (im Beispiel Sprungfunktionen, Fig. 4b).
Zum Startzeitpunkt eines Eingangssignales Ee(t) wird per Programm ein Timer gestartet. In Abhängigkeit
des Eintauchweges s(t) (Fig. 4a) des Ankers hat das Antwortsignal Ea(t) eine unterschiedliche
Anstiegsflanke, (Fig. 4c) dadurch ist die Zeit Tm1 welche das Ausgangssignal Ea(t) bis zum erreichen
des Triggerwertes Up benötigt ein Maß für den Weg s. Die Zeit Tm1 (Fig. 4d) wird mittels eines
Schmittriggers 6 erfaßt, welcher dem Mikrocontroller bei Erreichen der Triggerspannung Up ein Signal
zum Anhalten des Timers gibt. Nach einer programmabhängigen Pausenzeit wird die nächste
Sprungfunktion vom Mikrocontroller ausgegeben.
Fig. 5 zeigt eine Ausgestaltung des Schaftkreises mit einem Transistor 8 wie sie in Anspruch 4
angegeben ist. Der Transistor 8 erhöht die Empfindlichkeit des Meßaufnehmers durch eine
Zeitspreitzung des Antwortsignales.
Die Empfindlichkeit der Induktionsspule 1 ist durch den Variationsbereich der Induktivität L und
die Zeiteinheit des Mikrocontrollers 7 gegeben. Eine kleinausgeführte Induktionsspule variiert zwischen
Zeitkonstanten (T = L/R) von 10 bis 30 µs bei ein- bzw. ausgefahrenem Anker 3 (s: 0 . . . 3 mm).
Durch die Anordnung des Transitators 8 wird erreicht, daß bei 5 V sprungförmiger Eingangsspannung
Ue(t) an der Induktionsspule 1 nahezu konstant 0,7 V anliegen. (Fig. 5a)
Im Idealfall hätte dies einen stetig ansteigenden Strom mit vom Ankerweg s abhängiger Steigung zur Folge. (uL(t) dt = Ldi)
Da die Induktionsspule 1 jedoch über einen ohmschen Widerstand verfügt, verläuft der Strom und mithin der Spannungsabfall am Widerstand 2 wieder nach einer e-Funktion, jedoch mit wesentlich flacherem Anstieg, in etwa einer Zeitkonstante von 150 µs entsprechend. (schraffierter Bereich in Fig. 5b). Dadurch wird bei gleicher Timerauflösung von 1 µs eine größere Meßspanne und mithin Empfindlichkeit erzielt. Dies geht allerdings auf Kosten der Dynamik.
Im Idealfall hätte dies einen stetig ansteigenden Strom mit vom Ankerweg s abhängiger Steigung zur Folge. (uL(t) dt = Ldi)
Da die Induktionsspule 1 jedoch über einen ohmschen Widerstand verfügt, verläuft der Strom und mithin der Spannungsabfall am Widerstand 2 wieder nach einer e-Funktion, jedoch mit wesentlich flacherem Anstieg, in etwa einer Zeitkonstante von 150 µs entsprechend. (schraffierter Bereich in Fig. 5b). Dadurch wird bei gleicher Timerauflösung von 1 µs eine größere Meßspanne und mithin Empfindlichkeit erzielt. Dies geht allerdings auf Kosten der Dynamik.
Fig. 6 zeigt das Ausführungsbeispiel eines Kraftsensors nach Anspruch 18. Der Kraftsensor
besteht aus zwei elektrisch leitenden Platten 9, 10 welche durch eine Isolierschicht 11 voneinander
getrennt sind. Aus mechanischer Sicht sind die beiden Platten Biegebalken mit einer festen
Beziehung zwischen Kraft F und Durchbiegung f. Wird nun auf eine der Platten 9 eine Kraft F
ausgeübt, so ändert sich der Plattenabstand s(l,F) und kann in der oben beschriebenen Weise
anhand einer charakteristischen Größe des Antwortsignales ermittelt werden. Die Dimensionen
und der Plattenwerkstoff legen den Meßbereich fest. Durch Mehrlagenanwendung und gezielten
Einsatz eines Dielektrikums zwischen den Platten lassen sich weitere Verbesserungen erzielen.
Fig. 7 zeigt als weiteres Ausführungsbeispiel eines Meßaufnehmers einen Krümmungs-,
Biege- oder Winkelsensor nach Anspruch 17. Der Krümmungssensor besteht aus zwei elektrisch
leitenden, dünnen, biegsamen Platten oder Folien 9 und 10. Die beiden dünnen Platten sind durch
einen Isolator 11 voneinander getrennt. (Fig. 7a). Der Krümmungssensor wird auf dem sich
krümmenden oder biegenden Meßobjekt befestigt und macht dessen Verformung mit.
Das Meßobjekt kann z. B. ein Gelenk oder ein Biegebalken sein. Durch Krümmung des Sensors
nähern sich die beiden Platten 9 und 10 (Fig. 7b) wodurch sich das Antwortsignal ändert und
nach in oben beschriebener Weise ausgewertet werden kann. Ab einer bestimmten Krümmung
berühren sich die beiden Platten 9 und 10. Um einen Kurzschluß zu vermeiden trägt nun eine
der beiden Platten auf ihrer gesamten Innenfläche eine sehr dünne Isolationsschicht 12 (Fig. 7c).
Damit stützen sich die beiden Platten 9 und 10 in der Mitte ab und es kommt zu einer weiteren
Annäherung der Platteninnenflächen bei vorschreitender Krümmung. Ein derartiger Krümmungs
sensor erfaßt Meßbereiche von mindestens 90°.
Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung ergibt sich nach Anspruch 21. In einem Schaltkreis
mit zwei elektrischen Bauelementen von den nur eines über ein Zeitverhalten verfügt kann die
Meßgröße des anderen Bauelementes ebenfalls aus einer charakteristischen Größe des Antwort
signales ermittelt werden. Als Beispiel sei eine Reihenschaltung aus Kondensator und
Widerstand betrachtet. Der Widerstandswert legt das Antwortsignal fest und wirkt somit
als Meßgeber. Damit kann zum Beispiel ein Drehpotentiometer als Winkelaufnehmer und
ein Linearpotentiometer als Wegaufnehmer verwendet werden. Der wesentliche Unterschied
zur herkömmlichen Anwendung von Potentiometern besteht in der Art des erzeugten Meßwertes.
Während herkömmliche Potentimeter eine dem Meßwert (z. B. Winkel oder Weg) entsprechende
Analogspannung liefern welche zur digitalen Weiterverarbeitung erst umgewandelt werden muß,
wird im Sinne der Erfindung als charakteristische Größe des Antwortsignales in diesem Fall
die Zeit Tm1 bis zum Erreichen eines Triggerlevels direkt als digitaler Wert für die Meßgröße
erfaßt. Diese Methode ist deutlich kostengünstiger.
Der große Umfang der Patentansprüche erfordert eine verhältnismäßig allgemeine Formulierung.
Um sowohl Fehlinterpretationen zu vermeiden, als auch eine klare Abgrenzung zu anderen Schutz
rechten zu gewähren, werden nachfolgend die wesentlichen Begriffe der Patentansprüche festgelegt.
- - "Folge von definierten elektrischen Eingangssignalen"
- Unter "Folge" ist eine beliebige Anzahl diskreter Signal-Zeit-Funktionen zu verstehen, welche zeitlich nacheinander entstehen und deren gemeinsamer zeitlicher Verlauf keine Periodizität aufzuweisen braucht.
- - "charakteristische Größe des Antwortsignales"
- Da jedes einzelne Ausgangssignal separat ausgewertet wird, ist die "charakteristische Größe" nur auf den jeweiligen Signal-Zeit-Rahmen eines Einzelsignales bezogen. Der Begriff Frequenz z. B. ist also keine charakteristische Größe im Sinne der Patentansprüche.
- - "physikalische Größe"
- Der Begriff "physikalische Größe" soll auch geometrische Größen wie z. B. Weg oder Winkel und elektrische Größen wie Spannung oder Strom beinhalten.
Die mit der vorliegenden Erfindung erzielbaren Vorteile sind vielfältig.
Das Verfahren ermöglicht die Anwendung einer Vielzahl von kostengünstigen, einfach zu realisieren
den, Meßaufnehmern und bietet damit zu bestehenden Verfahren eine echte Alterative bzw. eröffnet
bisher nicht erreichte Anwendungsgebiete.
Aufgrund der vielfältigen konstruktiven Ausgestaltungsmöglichkeiten ergeben sich damit folgende
Anwendungsgebiete:
- - Wegmessung von
- - zerstörungsfreie Dickenmessung
- - Kraftmessung im Bereich von GN bis mN
- - Beschleunigungsmessung
- - Druckmessung
- - Sensorkleidung
- - sensible Tastenelemente für Roboterhände und Sensorhandschuhe.
Des weiteren können die genannten Meßaufnehmer einfach aus bestehenden Bauelementen
(Induktionsspulen) oder mittels isolierter, leitender Platten (Kraftsensor) hergestellt werden.
Ein weiterer Vorteil der Erfindung liegt in ihrer Eigenschaft die haufig benötigte Analog/Digital-
Wandlung von Meßwerten bereits durch das Verfahren selbst zu erstellen und somit einen
Analog/Digital-Wandler einzusparen.
Claims (21)
1. Verfahren, Schaltung und Meßaufnehmer zum Erfassen physikalischer Größen
dadurch gekennzeichnet,
daß auf mindestens ein elektrisches Bauelement mit Zeitverhalten, oder einen mindestens
ein derartiges Bauelement enthaltenden elektrischen Schaltkreis eine Folge von definierten,
elektrischen Eingangssignalen gegeben wird, und daß aus einer charakteristischen Größe
des an einer bestimmten Stelle des Schaltkreises oder am Bauelement selbst erfaßten
Antwortsignales eine auf das Bauelement mit Zeitverhalten, oder ein anderes Bauteil des
Schaltkreises wirkende physikalische Größe bestimmt wird.
2. Verfahren, Schaltung und Meßaufnehmer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß in dem beschriebenen Schaltkreis mindestens ein elektrisches Bauelement mit Zeit
verhalten durch gezielte, konstruktive Ausgestaltung als Meßaufnehmer für physikalische
Größen verwendbar ist.
3. Verfahren, Schaltung und Meßaufnehmer nach Anspruch 1 und 2
dadurch gekennzeichnet,
daß dem Meßaufnehmer oder dem ihn enthaltenden Schaltkreis eine Folge von möglichst
konstanten oder zeitlich linearen Eingangssignalen eingeprägt wird.
4. Verfahren, Schaltung und Meßaufnehmer nach Anspruch 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Schaltung aus einem induktiven Meßaufnehmer mit in Reihe liegendem Widerstand
besteht, und einen Transistor enthält, welcher mit seinem Emitter- und Basisanschluß parallel
zum Meßaufnehmer und mit seinem Kollektor an Masse der Schaltung liegt wodurch
dem Meßaufnehmer eine annähernd konstante Eingangspannung eingeprägt, und damit
eine zeitliche Spreitzung des am Widerstand abgegriffenen Antwortsignales und mithin eine
Empfindlichkeitssteigerung bewirkt wird.
5. Verfahren und Meßaufnehmer nach Anspruch 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßaufnehmer auf dem induktiven Prinzip beruht und somit das Antwortsignal von
den physikalischen Einflußparametern auf die Induktivität abhängt, und daß eine gewünschte
physikalische Größe je nach Ausgestaltung des Meßaufnehmers und evtl. der Schaltung
vorzugsweise erfaßt und ihr Wert durch gezielte Auswertung einer charakteristischen
Größe des Antwortsignales bestimmt wird.
6. Verfahren und Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2 und 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßaufnehmer als Zylinderspule beliebigen Querschnitts ausgeführt ist, deren
Induktivität und somit der zeitliche Verlauf des Antwortsignales vom Eintauchweg eines
Ankers aus vorzugsweise ferromagnetischem Material in den Spulenkörper abhängt.
7. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2 und 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßaufnehmer als Zylinderspule beliebigen Querschnitts ausgeführt ist, deren
Induktivität und somit der zeitliche Verlauf des Antwortsignales vom Abstand der Zylinderspule
zur Oberfläche eines magnetisierbaren (vorzugsweise ferromagnetischen) Körpers abhängt.
8. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2 und 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßaufnehmer als Zylinderspule beliebigen Querschnitts ausgeführt ist, deren Inneres
mit elastischem Material derart gefüllt ist, daß die Zylinderspule durch Krafteinwirkung elastisch
elastisch deformierbar ist und somit der zeitliche Verlauf des Antwortsignales von einer Quer
schnittsänderung abhängt.
9. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2 und 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßaufnehmer als Zylinderspule beliebigen Querschnitts ausgeführt ist, welche auf
einen längselastischen Kern gewickelt ist und somit der zeitliche Verlauf des Antwortsignales
von der Spulenlänge abhängt.
10. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2 und 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßaufnehmer als Zylinderspule beliebigen Querschnitts mit ferromagnetischem
Kern ausgeführt ist, dessen magnetischer Fluß bei Abstandsänderung zu einen Magnetfeld eine
Änderung erfährt und somit der zeitliche Verlauf des Antwortsignales vom Abstand der Spule zu
einem Permanentmagneten abhängt.
11. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2 und 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßaufnehmer auf dem induktiven Prinzip berührt und bei definierten Parametern
der zeitliche Verlauf des Antwortsignales von der Permeabilität eines Testmaterials abhängt.
12. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2 und 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßaufnehmer als Magnetkreis mit Luftspalt und Spule sowie einem den Luftspalt durch
dringenden ferromagnetischen beweglichen Anker aufgebaut ist und somit der zeitliche Verlauf
des Antwortsignales von dem den Luftspalt durchsetzenden Ankervolumen abhängt.
13. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2, 5 und 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß der den Luftspalt des Magnetkreises durchdringende Anker sowohl Linear- als auch
Kurvenbewegungen in einer parallel zu den Luftspaltgrenzflächen liegenden Ebene ausführen
kann und somit das Antwortsignal von der Stellung des Ankers in o.g. Ebene abhängt.
14. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2, 5 und 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß der den Luftspalt des Magnetkreises durchdringende Anker in einer zu den Luftspalt
grenzfläche parallelen Achse drehbar ist und über einen nichtkonzentrische Querschnitt
verfügt und somit das Antwortsignal von der Winkelstellung des Ankers abhängt.
15. Verfahren und Meßaufnehmer nach Anspruch 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßaufnehmer auf dem kapazitiven Prinzip beruht und somit das Antwortsignal
von den physikalischen Einflußparametern auf die Kapazität abhängt, und daß eine
gewünschte physikalische Größe je nach Ausgestaltung des Meßaufnehmers und evtl.
der Schaltung vorzugsweise erfaßt und ihr Wert durch gezielte Auswertung einer
charakteristischen Größe des Antwortsignales bestimmt wird.
16. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2 und 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens zwei elektrisch leitende, isoliert gegenüberstehende Flächen ihren Abstand
zueinander ändern können und somit der zeitliche Verlauf des Antwortsignales vom Abstand
der Flächen abhängt.
17. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2 und 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß sich mindestens zwei elektrisch leitende, biegsame Platten oder Folien isoliert gegen
überstehen, so daß deren Annäherung ein Maß für die Krümmung oder den Winkel eines
Meßobjektes darstellt und somit der zeitliche Verlauf des Antwortsignales von der Krümmung
oder dem Winkel des Meßobjektes abhängt.
18. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2 und 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens zwei elektrisch leitende, isoliert gegenüberstehende Platten konstruktiv so
ausgeführt sind, daß ihr Abstand und somit der zeitliche Verlauf des Antwortsignales in
Zusammenhang zu der auf die Platten ausgeübten Kraft steht.
19. Meßaufnehmer nach Anspruch 1, 2, 16, 17 und 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß sich zwischen den Platten ein Dielektrikum befindet.
20. Meßaufnehmer nach Anspruch 1 und 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Meßaufnehmer als eine flexible mit zusammendrückbaren Dielektrikum gefüllte
elastische Blase mit zwei sich nichtberührenden, dünnen, elektrisch leitfähigen, flexiblen
Platten oder Folien ausgeführt ist.
21. Verfahren, Schaltung und Meßaufnehmer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Schaltkreis aus mindestens einem Bauelement mit Zeitverhalten und mindestens
einem Bauteil ohne Zeitverhalten besteht und daß das Bauteil ohne Zeitverhalten als
Meßaufnehmer für physikalische Größen dient.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934324513 DE4324513A1 (de) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | Verfahren, Schaltung und Messaufnehmer zum Erfassen physikalischer Größen durch gezielte Messung von charakteristischen Größen des Antwortsignales |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934324513 DE4324513A1 (de) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | Verfahren, Schaltung und Messaufnehmer zum Erfassen physikalischer Größen durch gezielte Messung von charakteristischen Größen des Antwortsignales |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4324513A1 true DE4324513A1 (de) | 1995-01-26 |
Family
ID=6493385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19934324513 Ceased DE4324513A1 (de) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | Verfahren, Schaltung und Messaufnehmer zum Erfassen physikalischer Größen durch gezielte Messung von charakteristischen Größen des Antwortsignales |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4324513A1 (de) |
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