DE4310324C2 - Struktur eines Mikro-Pirani Sensors und dessen Temperaturkompensationsverfahren - Google Patents
Struktur eines Mikro-Pirani Sensors und dessen TemperaturkompensationsverfahrenInfo
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Description
Vorliegende Erfindung betrifft einen Meßfühler für ein
Mikro-Pirani Unterdruckmeßgerät des thermischen Leitfähigkeits
Typs mit einem neuen Aufbau und einer Schaltkreisauslegung zur
Temperaturkompensation
Das Gebiet der Unterdrucktechnik hat sich seit sehr vielen
Jahren entwickelt. In wissenschaftlichen Studien und
industrieller Anwendung ist der Gebrauch von
Unterdruck-Ausrüstungen weit verbreitet. Ein Meßgerät zur
Erfassung des Grads oder Wertes des Unterdrucks ist als ein
wesentliches Teil einer solchen Ausrüstung anzusehen.
Dementsprechend viele Vakuum-Meßgeräte gibt es auf dem Markt.
Die folgende Tabelle stellt verschiedene Leistungsbereiche (in
Torr) der üblichen Meßgeräte zusammen. Allgemein gilt, daß
der Meßbereich eines einzigen Unterdruck-Meßgerätes diesen
angegebenen Druckbereich nicht abdecken kann. Um einen
solchen Druckbereich erfassen zu können, sollten alternativ
zwei Vakuum-Meßgeräten benutzt werden.
Tabelle 1
Druckbereiche verschiedener Vakuum-Meßgeräte
Zur Zeit beruhen die gebräuchlichen Vakuum-Meßgeräte
auf dem Prinzip der thermischen Leitfähigkeit. Dabei um
fassen die bekannten thermischen Leitfähigkeits Unter
druck-Meßgeräte im wesentlichen zwei Arten: Pirani Un
terdruck-Meßgeräte und Thermoelement Unterdruck-Meß
geräte. Die herkömmlichen Pirani Unterdruck-Meßge
räte arbeiten entsprechend dem Zusammenhang zwischen dem
Wärmeverlust eines im Vakuum erhitzten Heizfadens und
dem Vakuum- oder Unterdruck innerhalb eines geeignet ge
wählten Bereiches im Meßgerät, das heißt der Beziehung,
wann die mittlere freie Weglänge von Molekülen unter ei
nem bestimmten Vakuumdruck der inneren Größe eines
Hohlraums oder Kammer entspricht, in den der erhitzte
Gegenstand eingebracht ist. Die Fig. 16a und 16b zei
gen das Wärmeabstrahldiagramm beziehungsweise die Wärme
abstrahlkurven eines erhitzten Gegenstands im Vakuum
(das heißt, des erwärmten Heizfadens in dieser Figur).
Wie es aus der Fig. 16a ersichtlich ist, kommt der Wär
meverlust des Heizdrahtes 19 zustande durch
- (1) die massiven Zuführungsdrähte zum Heizfaden (Leitung im Festkörper, wie mittels Pfeil 1 angegeben),
- (2) die Oberfläche des Heizfadens (Strahlung, wie mittels des Pfeils 2 angegeben) und
- (3) in Form von Dampfmolekülen (Gas-Übertragung, wie mittels des Pfeils 3 angegeben).
Wenn der Wärmeverlust des erhitzten Gegenstandes auf
grund der Dampfmoleküle unwesentlich für den Vakuumdruck
ist oder sehr klein ist im Vergleich zu dem Wärmever
lust, der durch die beiden anderen Arten entstanden ist,
kann der Vakuumdruck nicht gemessen werden. Wenn bei der
Wärmeübertragung der Dampfmoleküle diese den Heizfaden
19 treffen, wird ein Teil der thermischen Energie des
Heizfadens 19 in kinetische Energie der Moleküle umge
wandelt und von den Molekülen dem Heizfaden entnommen.
Wenn die mit kinetischer Energie versehenen Moleküle auf
die Wand der Kammer, die sich auf einer niedrigeren Tem
peratur befindet, auftreffen, wird ein Teil der
kinetischen Energie der Moleküle über die Wand der Kam
mer nach außen übertragen. Je höher die Anzahl der auf
die Wand auftreffenden Moleküle ist, desto größer ist
die übertragende Wärme. Außerdem wird unter konstanten
Ausgangsvoraussetzungen die einhergehende Temperaturän
derung des Heizfadens umgekehrt proportional zu der An
zahl der auftreffenden Moleküle sein. Die Änderung der
Heizfadentemperatur verursacht eine Änderung seines Wi
derstands. Deswegen kann eine Brückenschaltung dazu be
nutzt werden, die Änderung des Heizfadenwiderstands zu
messen, daraus die Dichte der Moleküle zu errechnen und
daraus anschließend auf den Unter- oder Vakuumdruck zu
schließen.
Das zuvor beschriebene, nach dem Prinzip der thermischen
Leitfähigkeit arbeitende Unterdruck-Meßgerät ist je
doch nur innerhalb gewisser Druckbereiche einsetzbar,
die sich aus der Konstruktion des Heizfadens, des Hohlraums
oder der Kammer und der Zuführungsdrähte zum Heizfaden er
geben. Die Abb. 16b zeigt entsprechende Wärmeabstrahl
kurven der massiven Zuführungsdrähte (1), der Oberfläche des
Heizfadens (2) und der Dampfmoleküle (3). Wie es aus der Kurve
(3) ersichtlich ist, wird im Falle eines hohen Unterdrucks,
obwohl die Anzahl der Moleküle, die auf den Heizfaden auf
treffen, proportional zum Anstieg des Drucks zunimmt, die
mittlere freie Weglänge der Moleküle invers dazu abnehmen, so
daß der Wärmeverlust nicht mehr wirkungsvoll über die Wand der
Kammer nach außen übertragen werden kann. Das bedeutet, daß,
wenn der Vakuumdruck einen Grenzwert übersteigt, die Druck
änderung nicht weiter die Gasübertragungsrate beeinflussen
wird und daß zu diesem Zeitpunkt das Unterdruck-Meßgerät
seine maximale Meßgrenze erreichen wird, die bestimmt wird
durch das Verhältnis der mittleren freien Weglänge der Mole
küle und dem Abstand zwischen dem Meßgerät und der Kammer
wand. Außerdem wird im Falle eines extrem niedrigen Drucks (d. h.
Hochvakuumbereiche) die Anzahl der Moleküle stark ab
nehmen, was dazu führt, daß vom Gas verursachte Wärmeübertra
gung kleiner ist als die Wärmeübertragung von den Zuführungs
drähten und von der Oberfläche des Heizfadens. Deswegen wird
die Änderung der Gastemperatur zu klein werden, um vom Unter
druck-Meßgerät gemessen zu werden. Unter diesen Bedingungen
erreicht das Unterdruck-Meßgerät seine untere Meßgrenze.
Gleichermaßen mißt das oben erwähnte Pirani Unterdruck
Meßgerät den Unterdruck entsprechend den Temperatur
änderungen und so den Widerstand des Heizfadens aufgrund der
Änderung des Gasdrucks. Üblicherweise wird die Änderung des
Heizfadenwiderstands mittels eines Brückenschaltkreises, wie
er in der Fig. 17 dargestellt ist, gemessen. Bei Anwendung
des dort gezeigten Brückenschaltkreises zur Messung des
Unterdrucks sollte der
Brückenschaltkreis in einem ersten Arbeitsgang durch
folgende Schritte auf den Nullpunkt kalibriert werden:
- (1) Dem Aussetzen des Unterdruck-Meßgerätes einem sehr niedrigen Unterdruck (d. h. einem sehr hochgradigen Vakuum), der extrem klein ist im Vergleich zur untersten Grenze des Unterdruck-Meßgerätes, so daß der sehr niedrige Unterdruck als ein pseudo-absolutes Vakuum be zeichnet werden kann. In diesem Zustand kann davon aus gegangen werden, daß der Wärmeverlust des Heizfadens nur von den massiven Zuführungsleitungen und der strahlenden Oberfläche des Heizfadens herrührt;
- (2) Justieren eines Spannungsteilers R2, des Brückenschaltkreises, so daß der Ausgang des Brücken schaltkreises auf Null gestellt ist, das heißt, daß der Ausgang des Brückenschaltkreises abgeglichen ist. Dies bedeutet, daß ein elektrisches Signal, das als Folge ei nes Wärmeaustausches des festen Wärmeübergangs (Zufüh rungsleitungen) und des Wärmeübergangs aufgrund der strahlenden Oberfläche erzeugt wird, eliminiert wird. Der Justierschritt wird bei einer konstanten Temperatur vorgenommen (d. h., einer Referenztemperatur, wie sie im folgenden erwähnt wird); und
- (3) Füllen des Vakuumsystems mit einem Gas bis zu einem Bereich linearen Drucks des Meßgerätes und an schließendem Messen des Ausgangs des Brückenschaltkrei ses mit dem Pirani Unterdruck-Meßgerät beziehungsweise einem Standardmeßgerät. Dann wird die Empfindlichkeit des Unterdruck-Meßgerätes mit Hilfe der mindestens zwei gemessenen Werte berechnet und das ermittelte Er gebnis wird in einem Speicher zum späteren Gebrauch ab gelegt.
Das herkömmliche Pirani Unterdruck-Meßgerät weist je
doch das Problem auf, daß sich die Temperatur und damit
der Widerstand des Heizfadens mit der Umgebungstemperatur
ändern, so daß ein Drifteffekt aufgrund der Umgebungs
temperatur auftritt. Dieser von der Umgebungstemperatur
hervorgerufene Drifteffekt ändert das gemessene Signal des
Meßgerätes. Eine herkömmliche Vorgehensweise zur Vermeidung
dieses Problems besteht, wie es in der Fig. 17 gezeigt ist,
darin, zur Kompensation eine Dummy- oder Blindröhre S' in
einem Zweig des Brückenschaltkreises vorzusehen, die in ihrer
Ausführung einer wirklichen Sensorröhre G' ähnlich ist. Die
wirkliche Sensorröhre G' wird dann in den anderen Zweig des
Brückenschaltkreises gelegt, was ebenfalls in Fig. 17 gezeigt
ist. Die Blindröhre S' ist eine in einem pseudo-absoluten
Vakuum versiegelte Röhre und wird daher durch den Unterdruck
nicht beeinflußt werden. Außerdem wird die Temperatur des
Heizfadens der Blindröhre S' auf den gleichen Wert gesetzt,
wie ihn die Sensorröhre G' hat. Nebenbei bemerkt sind die
Blindröhre und die Sensorröhre sehr dicht zueinander
angeordnet, so daß ihre Umgebungstemperaturen sehr ähnlich
sind. Dementsprechend wird eine Änderung der
Umgebungstemperatur gleichzeitig beide Röhren aber nicht den
Ausgang des Brückenschaltkreises beeinflussen. Die Realität
jedoch zeigt, daß die Konstruktion und die räumliche Anordnung
der beiden Röhren zueinander nicht identisch sind, und daß die
Temperaturkompensation noch nicht hinreichend perfektioniert
ist. Diese Vorgehensweise kann daher das Problem der
Umgebungstemperaturdrift nicht vollkommen lösen. Das heißt,
daß das von der Umgebungstemperatur hervorgerufene
Driftstörsignal die Genauigkeit und den unteren Grenzwert des
vom Unterdruck-Meßgerät gemessenen Unterdrucks immer noch
beeinflußt.
Die Betriebsverfahren des Pirani Unterdruck-Meßgerätes
umfassen:
- (1) eine Konstant-Vorspannungs Methode: Der Unterdruck wird entsprechend der Spannungsdifferenz des Brücken schaltkreises gemessen; da der Widerstand der meisten Metalle mit steigender Temperatur zunimmt und da sich die Heizfadentemperatur mit dem Unterdruck proportional ändert, kann der Unterdruck mit Hilfe einer Ermittlung des Heizfadenwiderstandes gemessen werden (d. h., der Spannungsdifferenz am Ausgang des Brückenschaltkreises); und
- (2) eine Konstant-Temperatur oder Konstant-Widerstands Methode: Diese Methode sieht vor, die Heizfadentempera tur beizubehalten, indem die Vorspannung des Brücken schaltkreises eingestellt wird (d. h., der Widerstand des Heizfadens ist konstant und der Brückenschaltkreis wird in einem abgeglichenen Zustand gehalten). Dann wird der Unterdruck entsprechend der abgegebenen Leistung oder dem Spannungsabfall am Heizfaden gemessen. Zur Zeit wen den die meisten Pirani Unterdruck-Meßgeräte das an zwei ter Stelle beschriebene Betriebsverfahren an, da das zweite Verfahren eine höhere Empfindlichkeit besitzt. Allgemein gilt, daß der Heizfaden aus einem Metall mit einem höheren Widerstands-Temperaturkoeffizienten (TCR) besteht. Üblicherweise enthalten die Materialien W, Ni oder andere Metallegierungen.
Die herkömmlichen Unterdruck-Meßgeräte des thermischen
Leitfähigkeits Typs haben jedoch große Volumina und es
ist schwierig, die entsprechenden Temperaturen des
Unterdruck-Meßgerätes und der Blindröhre gut aneinander
anzupassen. Der lineare Druckbereich des Unterdruck-Meß
gerätes liegt daher nur zwischen 1 bis 10-3-10-4
Torr und es ist schwierig, ihn herabzusetzen. Zu oben
genanntem Nachteil kommt hinzu, daß solche Unterdruck-
Meßgeräte lediglich in Einzelanfertigung hergestellt
werden und nicht als Massenprodukt, was die Kosten des
Meßgerätes hochschraubt.
Kürzlich wurde in weiten Kreisen überlegt, die Halblei
ter Mikrotechnologie zur Herstellung der verschiedensten
Mikrosensoren heranzuziehen. Ein solches Verfahren
erlaubt die Herstellung der Sensoren als Massenprodukt
und das Volumen eines jeden so hergestellten Sensors ist
sehr klein. Diese Technologie weist auch den Vorteil der
Fertigung eines signalverarbeitenden integrierten
Schaltkreises (IC) mit Mikrosensor für vielseitige An
wendung auf. Einer von diesen Mikrosensoren ist, wie in
der Fig. 18 dargestellt, von Mastrangelo angegeben.
Die Vorrichtung umfaßt eine Schicht 181 aus
Polysilizium, die mittels der Halbleitertechnik herge
stellt wird, und die auf einem Substrat und mehreren
dünnen Längsbalken 182 (von denen nur einer in der Figur
gezeigt ist) floatet oder schwebt, die mittels eines
anisotropischen Ätzverfahrens hergestellt sind und als
Ersatz für den konventionellen Heizfaden dienen. Der
Längsbalken 182 ist dazu bestimmt, dem Unterdruck-Meß
gerät einen hohen thermischen Widerstand zu verleihen,
aber, wie es auch beim herkömmlichen Heizfaden der Fall
ist, ist seine Oberfläche zu klein, um eine ausreichende
Auftreffmöglichkeit für die Moleküle zur Erhöhung der
Empfindlichkeit bereitzustellen. Daher wird das Unter
druck-Meßgerät kaum zum Messen von Drücken unterhalb von
10-3-10-4 Torr einsetzbar sein.
Um den Sensorbereich zu erweitern, wurde ein
Thermosäulen Unterdruck-Meßgerät entworfen, dessen
schwebende Platte eine im Vergleich zum in Fig. 18 ge
zeigten Meßgerät größere Oberfläche aufweist. Wie es in
Fig. 19 gezeigt ist, umfaßt das Unterdruck-Meßgerät
eine schwebende Glasplatte 191, die an einem Ende mit
einem Halbleitersubstrat 192 verbunden ist und deren an
deres Ende sich in einen Hohlraum des Substrats 192 er
streckt. Mehrere serielle Thermosäulen-Sensorelemente
193 und Heizelemente 194 sind auf der Oberfläche der
schwebenden Glasplatte 191 angeordnet. Hier weist zwar
das Meßgerät eine größere Oberfläche auf, jedoch ist die
Querschnittsfläche der schwebenden Glasplatte 191 an ihrer
Kontaktstelle mit dem Träger oder Substrat 192 groß, woraus
eine schlechtere Wärmeisolation resultiert. Außerdem wird die
Temperatur der schwebenden Platte in der Nähe des mit dem
Substrat 192 verbundenen Endes langsamer ansteigen als an
anderen Stellen. So wird die effektive
Durchschnittstemperatur des Meßgerätes herabgesetzt und seine
Druckempfindlichkeit verschlechtert sich.
Weitere Meßfühler für Mikro-Pirani Unterdruckmeßgeräte sind
aus der US 4682503 und der US 4541286 bekannt.
Mit der Erfindung soll das Problem des Umgebungstemperatur-
Drift-Effektes gelöst werden sowie die Temperaturkompensation
und -stabilisierung verbessert und außerdem der
Druckmeßbereich erhöht werden.
Erfindungsgemäß wird dies durch einen Meßfühler für ein Mikro-Pi
rani-Unterdruck-Meßgerät erreicht, das eine dünne schwebende
Glasplatte aufweist, die nach Silizium-Halbleitertechniken
hergestellt wurde, auf der ein thermisch empfindliches Element
angeordnet ist. An den Rändern der dünnen schwebenden Platte
ist eine Anzahl von Armen oder Stegen vorgesehen, die mit
einem geätzten Hohlraum eines Substrates verbunden sind, um
eine gute Wärmeisolation zum Substrat zu erreichen. Darüber
hinaus ist ein Widerstandsschaltkreis zur
Temperaturkompensation vorgesehen. Bei vorliegender Erfindung
sollten zur Erzielung einer optimierten Empfindlichkeit der
Bereich der dünnen schwebenden Platte die Länge und Breite der
Arme in speziellen Verhältnissen zueinander stehen.
Es ist bevorzugt, daß der Meßfühler auf einem monolithischen,
thermoelektrischem Kühlelement angeordnet ist und einen
thermischen Schutz zur Abdeckung der gesamten Struktur der
Sensorvorrichtung aufweist.
Für die Herstellung des erfindungsgemäßen Meßfühlers werden
Halbleitertechniken, insbesondere anisotrope Ätztechniken, zur
gleichzeitigen Herstellung des Unterdruck-Meßgerätes und eines
Blind- oder Dummy-Widerstandes zur Temperaturkompensation
verwendet.
Diese und weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden
Erfindung und deren Ausbildung sind besser zu verstehen und
einzuschätzen unter Bezugnahme auf die schriftlichen
Darlegungen.
Fig. 1 zeigt den Aufbau einer Meßvorrichtung, die nach einem
Verfahren vorliegender Erfindung hergestellt wurde; besagte
Vorrichtung weist einen guten Isolationseffekt auf;
Fig. 2 zeigt ein Temperatur-Verteilungs-Diagramm der Meßvor
richtung nach Fig. 1 bei Erhitzung, wobei jeder der Träger
arme der Meßvorrichtung beispielsweise eine Länge von A = 10
µm und eine Breite von B = 16 µm aufweist und der Hohlraum,
über dem die Vorrichtung installiert ist, eine Breite C = 128
µm hat;
Fig. 3 stellt ein typisches Diagramm dar, das den Zusammen
hang zwischen der thermischen Impedanz und dem aktiven Bereich
der Meßvorrichtung und den Konstruktionsparametern A, B und C
aufzeigt.
Fig. 4 ist ein Diagramm, das den Zusammenhang zwischen dem
minimal auflösbaren Druck und den konstruktiven
Parametern A, B und C zeigt;
Fig. 5 ist ein Druckmeßdiagramm bei einem Betrieb mit
konstanter Temperatur, wobei die schwarzen Punkte die
von der Meßvorrichtung gemäß der Erfindung gemessenen
Werte darstellen und die ausgezogene Linie
theoretische Werte darstellt;
Fig. 6(a)-6(g) zeigen Herstellverfahrensdiagramme
für die Herstellung der Meßvorrichtung gemäß einer
ersten Ausführungsform der Erfindung, wobei die
Meßvorrichtung mit einem anisotropen V-Ätzverfahren
hergestellt wird;
Fig. 7(a)-7(b) zeigen Herstellverfahrensdiagramme
für die Herstellung der Meßvorrichtung gemäß einer
zweiten Ausführungsform der Erfindung, wobei die
Meßvorrichtung durch eine Schichtabbautechnik
hergestellt wird;
Fig. 8(a)-8(h) zeigen Herstellverfahrensdiagramme
für die Herstellung der Meßvorrichtung gemäß einer
dritten Ausführungsform der Erfindung, wobei die
Meßvorrichtung durch eine niedrig-N-Konzentrations-Ätz
stoptechnik hergestellt wird;
Fig. 9 zeigt ein Temperaturdrift-Kurvendiagramm der
Ausgangssignale durch eine Vollkompensationsmethode
(wie die Kurve (X)) und eine Unkompensationsmethode
(wie die Kurve (Y));
Fig. 10 zeigt eine spezielle Temperaturkompensations
schaltung gemäß der Erfindung, worin βR4 eine konstante
Impedanz darstellt, (1 - β)R4 einen Resistor aus dem
gleichen Material wie der Meßresistor R3 darstellt und
der Koeffizient β ein Wert zwischen 0,1 und 0,5 ist;
Fig. 11 ist ein Diagramm, das die optimierten Werte von für β
eine optimale Temperaturkompensation in Materialien mit unter
schiedlichem Temperaturkoeffizienten des Widerstands (TCR)
zeigt;
Fig. 12 ist ein Kurvendiagramm, das den Zusammenhang zwischen
der Temperaturempfindlichkeit und dem Druck nach Temperatur
kompensation entsprechend vorliegender Erfindung aufzeigt, wo
bei T-Ta = 100°C, α = 0,25%, A = 10 µm, B = 16 µm und C = 128
µm sind;
Fig. 13 zeigt einen konstruktiven Schichtaufbau mit der Meß
vorrichtung, einem thermoelektrischen Kühlelement und einer
Abdeckung zur Beibehaltung der Temperatur der Meßvorrichtung
und zur Vermeidung des Umgebungstemperatur-Drifteffektes;
Die Fig. 14(a) und 14(b) zeigen eine Aufsicht, beziehungs
weise eine Schnittdarstellung einer Meßvorrichtung, über der
ein thermisches Schutzschild plaziert ist, um die Umfangs
temperatur über der Meßvorrichtung beizubehalten, und um eine
gegenseitige Beeinflussung von Wärmestrahlung zu vermeiden;
Die Fig. 15(a)-15(j) zeigen ein Herstellungsverfahren
gemäß einer vierten Ausführungsform vorliegender Erfindung,
das die Schritte zur Herstellung eines thermischen Schutz
schildes umfaßt;
Fig. 16(a) ist ein Diagramm, das drei verschiedene Wärmeab
strahlarten eines erwärmten Heizfadens in einem Unterdruck-Meß
gerät des thermischen Leitfähigkeits Typs zeigt;
Fig. 16(b) ist ein Diagramm, das den Zusammenhang zwischen
dem Unterdruck und den drei verschiedenen Wär
meabstrahlarten des in Fig. 16(a) gezeigten, erwärmten
Heizfadens veranschaulicht;
Fig. 17 zeigt ein Schaltkreisdiagramm eines herkömmlichen
Pirani Unterdruck-Meßgerätes des thermischen Leitfähigkeits
Typs;
Fig. 18 zeigt eine Querschnittsdarstellung eines
herkömmlichen Mikro-Pirani Unterdruck-Meßgerätes des
thermischen Leitfähigkeits Typs, worin der Heizfaden durch
einen schwebenden Balken aus Polysilizium ersetzt wurde; und
Fig. 19 zeigt ein herkömmliches Thermosäulen Unterdruck-
Meßgerät mit einem einseitig schwebenden bzw. befestigten
Ausleger.
Der Aufbau des Mikro-Pirani Unterdruck-Meßgerätes (im
folgenden kurz eine Meßvorrichtung genannt), wie es durch die
Erfindung angegeben wird, ist in Fig. 1 dargestellt. Das
Mikro-Pirani Unterdruck-Messgerät umfaßt einen Silizium Träger
14, in welchem mittels einer Ätztechnik ein rechteckiger
Hohlraum 11 ausgebildet ist. Eine dünne, schwebende
Glasplatte 12 ist oberhalb oder im oberen Bereich des
rechteckigen Hohlraums angeordnet. Die schwebende Platte
weist eine Anzahl von dünnen, bzw. schlanken Trägerarmen oder
-stegen 13 auf, die sich von den Rändern oder, wie es in Fig. 1
gezeigt ist, von den Ecken der schwebenden Platte zum Träger
hin erstrecken, um die schwebende Platte 12 mit dem Silizium
Träger 14 zu verbinden und sie in dem Hohlraum 11 aufgehängt
zu halten. Aufgrund obigen Aufbaus wird das Unterdruck-Meß
gerät eine bessere Wärmeisolation und einen sehr
großen, effektiv den Druck erfassenden Bereich (d. h.,
den Füllungsgrad oder Füllfaktor, was dem Verhältnis der
Oberfläche der schwebenden Platte 12 und dem Hohlraum
11, bzw. dessen rechteckigem Querschnitt entspricht) er
reichen.
Außerdem ist die Temperatur auf der schwebenden Platte
12 gleichmäßig, wodurch ein Temperaturplateau, wie es in
der Fig. 2 dargestellt ist, ausgebildet wird. Das
Temperaturplateau ist aus dem Grund vorhanden, daß die
gesamte Wärmeimpedanz der schwebenden Platte 12 durch
die Wärmeimpedanz der schlanken Trägerarme 13 gesteuert
oder bestimmt wird, so daß der Temperaturgradient nur in
den Trägerarmen 13 auftritt. Entsprechend hat das
Unterdruck-Meßgerät vorliegender Erfindung im Vergleich
zum herkömmlichen Unterdruck-Meßgerät des Mikrotyps
aufgrund der größeren Meßfläche und einer guten Wärme
isolation eine bessere Temperaturempfindlichkeit. Da zu
sätzlich die Meßfläche und die konstruktiven Parameter
der Trägerarme (d. h., die Armlänge und Armbreite, sowie
die Meßfläche) einstellbar sind, kann das Unterdruck-Meß
gerät vorliegender Erfindung nach einem
Optimierungsvorgang ausgelegt werden. Wie es in der Fig.
3 gezeigt ist, ist die gesamte Wärmeimpedanz des
Unterdruck-Meßgerätes bei einer konstanten Armbreite B
proportional zur Armlänge A. Eine Zunahme der Armlänge A
hat jedoch eine Abnahme der effektiven Meßfläche der
Meßvorrichtung zur Folge (d. h., der Füllfaktor wird grö
ßer). Deswegen kann man bei einer konstanten Breite des
Hohlraums 11 ein optimiertes Verhältnis der konstrukti
ven Parameter, eine optimierte Vakuumempfindlichkeit und
eine minimale Meßgrenze des Unterdrucks erreichen.
In Fig. 4 sind Kurven des kleinsten auflösbaren Druckes
gezeigt, der sich aufgrund theoretischer Berechnungen
in Abhängigkeit des B/C Verhältnisses ergibt. Bei einer
Armlänge von A = 5 µm, einer Breite des Hohlraums von C
= 128 µm, einem B/c Verhältnis von 0,06 und einem Störgeräusch
des Systems von 4 µV (ein DMM Meßgerät des Modeltyps Hp 3478A),
kann das Meßgerät einen minimalen Druck von ungefähr 10-5 Torr
erfassen, was effektiver ist als beim herkömmlichen Unterdruck-Meß
gerät. Fig. 5 zeigt eine aus Versuchen erhaltene Meßkurve
des Drucks bei konstanter Temperatur, wobei die schwarzen Punkte
die gemessenen Meßwerte darstellen und die durchgezogene Linie
die theoretische Kurve darstellt. Aus der Figur ist es
ersichtlich, daß die Meßgenauigkeit bei einem Unterdruck in der
Nähe von 5 . 10-5 Torr relativ schlecht anfängt, weil zu dieser
Zeit das Meßgerät noch von dem System-Störrauschen beeinflußt
wird. Dieses Problem kann durch den Einsatz eines
Meßschaltkreises mit niedrigerem Rauschen beseitigt werden.
Nachstehende Ausführung bezieht sich außerdem auf ein
Herstellungsverfahren für das zuvor beschriebene Mikro-Pirani
Unterdruck-Messgerät. Die Fig. 6(a) bis 6(g) zeigen das
Herstellungsverfahren der Meßvorrichtung gemäß einer ersten
Ausführungsform vorliegender Erfindung. Das Verfahren umfaßt
folgende Schritte:
- (1) Aufwachsen einer ersten dünnen Oxidschicht 61 (SiO2 oder eine Nitridschicht) auf einem Substrat 60 (wie es in der Fig. 6 (a) gezeigt ist), Festlegen von Ätzfenstern und anschließendes Ätzen der SiO2 Schicht auf den Ätzfenstern mittels einer ersten Photolitographie, um eine Konstruktion, wie sie in der Fig. 6(b) gezeigt ist, zu erhalten;
- (2) Aufbringen eines dünnen Platinfilms im Vakuum und Herstellung eines gewölbten, temperaturempfindlichen Widerstandes 15 (wie es in der Fig. 1 gezeigt ist) mittels eines zweiten photolithographischen Schrittes; Herstellung eines Blind- oder Dummywiderstandes 62d, der für die Temperaturkompensation vorgesehen ist, in dem gleichen Arbeitsschritt; der zu diesem Zeitpunkt erhal tene Aufbau ist in der Fig. 6(c) gezeigt;
- (3) Aufbringen einer zweiten dünnen Oxidschicht 63 auf die Struktur der Fig. 6(c) und anschließendes Fest legen von Kontaktfenstern mittels eines dritten photolithographischen Schrittes; Ätzen der zweiten Oxidschicht auf den Bereichen der Kontaktfenster und Ätzfenster; der geätzte Aufbau ist in der Fig. 6(d) ge zeigt;
- (4) Durchführung eines Metallisierungsschrittes, zum Beispiel durch Aufbringen eines Al Metalls 64 und anschließendes Herstellen von Metallverbindungsleitungen mittels eines vierten photolithographischen Schrittes (wie es in der Fig. 6(e) gezeigt ist);
- (5) Herstellen einer LTO Passivierungsschicht 65 und Öffnungen, wodurch ein wie in der Fig. 6(f) gezeig ter Aufbau erhalten wird; und
- (6) Ätzen des Silizium Materials in dem Bereich ei nes Hohlraums 66 mit einer anisotropischen V-förmigen Ätztechnik und anschließende Bildung einer Konstruktion einer schwebenden Platte 67, wie es in der Fig. 6(g) gezeigt ist.
Gemäß einer zweiten Ausführungsform vorliegender Erfin
dung wird ein Verlust-Schicht-Verfahren (Schichtabbau
verfahren) einer mikro-Verfahrens Oberflächentechnik be
nutzt, um den Aufbau mit einer schwebenden Platte
herzustellen. Das Verfahren ist in den Fig. 7(a) bis
7(g) gezeigt und umfaßt folgende Arbeitsschritte:
- (1) Aufwachsen einer ersten SiO2 Schicht 71 mittels einer nassen Oxidation auf einem Siliziumsubstrat 70 (siehe Fig. 7(a)) und anschließendes Aufwachsen einer Polysiliziumschicht 72 ungefähr in der Dicke der abzu tragenden Schicht (siehe Fig. 7(b));
- (2) Festlegen des Bereichs der schwebenden Platte und anschließendes Aufwachsen einer zweiten SiO2 Schicht von ungefähr 1 µm Dicke auf den Bereich (siehe Fig. 7(c));
- (3) Durchführung der zuvor beschriebenen Schritte (2) bis (5) der ersten Ausführungsform vorliegender Er findung, das bedeutet, das Aufbringen eines Meßwiderstandes 74 (wärmeempfindlicher Widerstand, siehe Fig. 7(d)) und einer dritten SiO2 Schicht 75, das Ät zen von Kontaktfenstern (siehe Fig. 7(e)), das Ätzen von Öffnungen (siehe Fig. 7(f)) und das Herstellen von Metallverbindungsleitungen; und
- (4) Ätzen der Polysilizium Abbauschicht 72, die in Schritt (1) hergestellt wurde, mittels eines Hydrozink Ätzverfahrens, um eine Konstruktion einer schwebenden Platte 76 zu erhalten, wie sie in der Fig. 7(g) gezeigt ist.
Gemäß einer dritten Ausführungsform vorliegender Erfin
dung wird eine Ätzstopmethode einer Mikroverfahrens
technik benutzt, um den Aufbau einer schwebenden Platte
herzustellen. Diese Ausführungsform benutzt als Substrat
ein N-Typ Siliziumplättchen mit einer dotierten Konzen
tration von weniger als 1016 /cm3 (das Bauteil ist in Fig.
8(a) mit 80 bezeichnet) und in dem für die schwe
bende Platte vorgesehenen Bereich werden dotierte Ionen
des P-Typs mit einer größeren Konzentration als die des
Subtrats implantiert (entspricht den mit 81 bezeichneten
Bereichen in der Fig. 8(a)). Die mit hoher Konzentra
tion versehenen Bereiche 81 werden schließlich mittels
einer Ätzlösung (HF: HNO3: CH3 COOH = 10 : 30 : 80) weg
geätzt, um den konstruktiven Aufbau einer schwebenden
Platte zu schaffen. Das Verfahren wird im folgenden an
hand der Fig. 8(a) bis 8(h) ausführlich beschrieben:
- (1) Auf dem für die schwebende Platte bestimmten Bereich wird ein Teilbereich 81 mit einer höheren Im plantationskonzentration mittels eines Diffusions- oder Ionen-Implantierverfahrens hergestellt, wie es in der Fig. 8(a) gezeigt ist;
- (2) eine Oxidationsschicht 82 wird auf den Aufbau nach Fig. 8(a) aufgebracht (siehe Fig. 8(b));
- (3) die Kontaktfenster-Öffnungen werden entspre chend den in Fig. 8(c) mit 83 bezeichneten Bereichen geätzt;
- (4) ein Meßwiderstand 84 wird mittels irgendeines bekannten Aufbringverfahrens hergestellt. Der Dummywiderstand 84d wird gleichzeitig hergestellt (siehe Fig. 8(d));
- (5) das Aufbringen einer Oxidschicht 85 und das Ät zen der Öffnungen der leitenden Zuführungen oder Drähte wird ausgeführt, wie es in der Fig. 8(e) gezeigt ist;
- (6) ein Metallisierungsschritt wird durchgeführt. Die in der Fig. 8(f) mit 86 bezeichneten Bereiche sind aus Metall;
- (7) eine Niedertemperaturoxidation und ein Arbeits gang zur Bildung von Anschlußöffnungen wird durchge führt, wie es in der Fig. 8(g) gezeigt ist; und
- (8) der Bereich 81 wird geätzt. Der Ätzvorgang wird auf dem Substrat 80 beendet. Dann wird die Konstruktion einer schwebenden Platte 87 erhalten, wie sie in der Fig. 8(h) gezeigt ist.
Es ist zu beachten, daß beim Betrieb des Pirani
Unterdruck-Meßgerätes die Temperatur des Heizfadens mit
einer Veränderung der Umgebungstemperatur driftet. Eine
solche Drift bewirkt, daß der Heizfadenwiderstand von
seinem ursprünglichen, korrigierten Referenzwert ab
weicht, so daß das Ausgangssignal des Meßgerätes Fehler
aufweisen wird. Dieses Problem senkt die meßbare untere
Grenze des Drucks herab. Deshalb sollte vorliegende Er
findung eine Temperaturkompensationvorrichtung enthal
ten.
Dementsprechend verwendet vorliegende Erfindung einen
Blind- oder Dummywiderstand, der die herkömmliche
Dummyröhre, wie zum Beispiel die Röhre S' in Fig. 17,
ersetzt. Der Dummywiderstand wird mit dem Aufbringen des
dünnen Platinfilms, wie es in den Ausführungsformen der
Fig. 6 bis 8 beschrieben ist (d. h., das Bauteil 62d
in Fig. 6, das Bauteil 74d in Fig. 7 und das Bauteil
84d in Fig. 8), hergestellt.
Da das Material des Dummywiderstands dasselbe ist wie
das des Meßelementes 15 auf der schwebenden Platte 12
und da er (zusammen mit diesem) in einem einzigen Ver
fahrensschritt hergestellt werden kann, sind die
Temperaturkoeffizienten beider Bauteile nahezu
identisch. Außerdem kann das Siliziumsubstrat auf einem
Metallblock oder einer Metallunterlage angebracht sein,
um die Temperatur des Substrats in etwa der Umgebungs
temperatur anzupassen. Wenn dann der
Umgebungstemperatur-Drifteffekt auftritt, ändern sich die
Temperatur und damit der Widerstand von beiden Bautei
len, dem Dummywiderstand und dem Meßelement, gleichzei
tig, so daß der Effekt einer Temperaturkompensation er
reicht wird.
Obwohl die zuvor beschriebene Kompensation die Nachteile
der herkömmlichen Unterdruck-Meßgeräte weitgehend besei
tigt hat, hat diese Kompensationsart doch noch einige
Nachteile. Allgemein gilt, daß die Temperatur und der
Impedanzkoeffizient des dünnen metallischen Filmwider
standes der folgenden Gleichung genügen:
ρ= ρ0 [1 + α0(T-Ta)]
worin α0 der Temperaturkoeffizient des Widerstands ist,
Ta die Umgebungstemperatur ist, T die Temperatur des
Meßelementes ist (d. h., die Temperatur der schwebenden
Platte) und ρ der spezifische Widerstand des
Meßelementes ist.
Da die Temperaturen des Dummywiderstands und des
Meßelementes auf der schwebenden Platte im Betrieb nicht
identisch sind (d. h., eines befindet sich auf Umgebungs
temperatur und das andere auf der Temperatur der schwe
benden Platte), sollten die Temperaturkoeffizienten
(dρ/dT)/ρ davon nicht dieselben sein. Wenn sich die Um
gebungstemperatur ändert, wird die Veränderungsrate
beider Elemente unterschiedlich sein, so daß der Ausgang
des Brückenschaltkreises driftet. Die Voraussetzungen
sind jedoch anders als beim herkömmlichen Fall. Wie es
in der Fig. 9 gezeigt ist, wird eine Temperaturdrift
kurve, wie sie als Kurve X in Fig. 9 gezeigt ist,
entstehen, wenn die Anordnung und Gestaltung sowie der
Herstellungsprozeß des Dummywiderstands und des
Meßwiderstands (Meßelements) übereinstimmen (was als
Vollkompensation bezeichnet wird). Wenn der
Dummywiderstand durch einen konstanten Widerstand mit
einem Temperaturkoeffizienten Null ersetzt wird (was als
unkompensiert bezeichnet wird), ergibt sich eine
Temperaturdriftkurve wie sie als Kurve Y in Fig. 9 dar
gestellt ist. Es ist aus der Figur ersichtlich, daß die
Vollkompensation gegenüber der fehlenden Kompensation
Vorteile besitzt, auch wenn der Temperaturdrifteffekt
nicht vollständig beseitigt werden kann, wie es zuvor aus
geführt wurde, da die Temperatur der beiden Widerstände
unterschiedlich ist.
Interessanterweise wurde entdeckt, daß die Voll
kompensation eine positive Drift mit sich bringt, wohingegen
die Nichtkompensation eine negative Drift verursacht. Um das
Problem des Umgebungstemperaturdrifteffekts vollständig zu
lösen, kombiniert vorliegende Erfindung deswegen den voll
kompensierten Widerstand mit dem unkompensierten Konstant
widerstand in einem speziellen Verhältnis für die jeweilige
Teilkompensation und bringt sie an die Position S' des
Schaltkreises der Fig. 17. Das Verbindungsschema ist wie in
der Fig. 10 gezeigt, in der der gemischte Dummywiderstand
über βR4 (A) und (1-β)R4 (B) kombiniert ist, worin β das Ver
hältnis des Konstantwiderstands zum gesamten Dummywiderstand
bedeutet, das zwischen 0,1 und 0,5 liegt, worin β R4 ein
Konstantwiderstand mit dem Temperaturkoeffizienten (TCR) Null
ist und (1-β)R4 einen Widerstand darstellt, der aus dem
gleichen Material gefertigt ist, wie der Widerstand R3.
Der Faktor β und der Temperaturkoeffizient A° des Meß
widerstands stehen über die folgende Gleichung miteinander in
Beziehung:
in der To die Referenztemperatur darstellt. Angenommen, daß
der Widerstandskoeffizient einer schwebenden Platinplatte bei
Raumtemperatur 0,25% beträgt und daß die Temperaturdifferenz
der schwebenden Platte T - To gleich 100°C ist, dann ist β
ungefähr 0,2. In der Praxis kann der dünne Platin
Filmwiderstand durch andere temperatur
empfindliche Materialien ersetzt werden, ohne den Schutz
bereich vorliegender Erfindung zu verlassen. Deshalb werden
sich die Temperatur der schwebenden Platte und der
Temperaturkoeffizient α0 mit dem Material und der Vorspannung
des Meßwiderstands ändern, was eine Veränderung des Faktors β
zur Folge hat. Die Fig. 11 zeigt eine Kurve des Faktors β
bei optimaler Temperaturkompensation. Der optimale Wert von
β, für verschiedene TCR Werte liegt zwischen 0,1 und 0,5, was
durch die in der Fig. 12 gezeigten Kurve belegt ist. Fig.
12 zeigt Kurven der Temperaturempfindlichkeit bei ver
schiedenen Drücken, wenn T - To = 100°C und α0 = beträgt. Es
wurde entdeckt, daß der Temperaturdrifteffekt unterhalb des
nutzbaren Unterdrucks von 300 Torr vollständig unterdrückt
werden kann, wenn β = 0,2 ist, was die Vorteile vorliegender
Erfindung gegenüber dem Stand der Technik beweist.
Um den übrig bleibenden Temperaturdrifteffekt weiter zu
eliminieren, wird gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung noch ein Temperatur-gesteuertes Gerät offenbart, wie
es in der Fig. 13 gezeigt ist, das die den Unterdruck
messende Vorrichtung in einem Zustand hält, in welchem sie
eine Referenztemperatur hat. Wie es in der Figur gezeigt ist,
ist die Meßvorrichtung S an ein monolithisches
thermoelektrisches Kühlelement C befestigt, wobei die Bauteile
mit den Bezugszeichen 131 und 132 den Dummywiderstand (Bauteil
B in Fig. 10) beziehungsweise das Pirani Meßelement dar
stellen. Auf der den Unterdruck messenden Vorrichtung S ist
ein erster Temperaturfühler T' installiert. Der Temperatur
fühler T' kann, wie auch der Dummywiderstand, in demselben
Verfahren wie der wärmeempfindliche Widerstand hergestellt
werden. Das monolithische thermoelektrische Kühlelement C ist
außerdem an eine Grundplatte oder Basis F eines Gehäuses oder
einer anderen Ummantelungsvorrichtung befestigt, an der ein
weiterer Temperaturfühler T installiert ist. Beide
Temperaturfühler sind an getrennte, externe Temperatur
steuerschaltkreise (nicht gezeigt) anschließbar. Der Tem
peraturfühler T wird dazu benutzt, die Kühlleistung des
thermoelektrischen Kühlelementes C (Haupt-Temperatursteuerung)
zu steuern, wohingegen der Temperaturfühler T' dazu benötigt
wird, die geringe Heizleistung selbst zu steuern (Fein-
Temperaturkontrolle). Die Temperatur der Unterdruckmeßvor
richtung kann daher effektiver gesteuert werden.
Um zusätzlich zu verhindern, daß die schwebende Platte
beim Betrieb des Unterdrucksystems von einer externen Wärme
strahlung beeinflußt wird, umfaßt vorliegende Erfindung außer
dem ein thermisches Schutzschild 135, das oberhalb der
schwebenden Platte 12 angeordnet ist. Der genaue Aufbau des
thermischen Schutzschildes 135 ist in den Fig. 14(a) und
14(b) dargestellt. Das thermische Schutzschild ist brücken
artig mit den Rändern oder Ecken des Hohlraums 11 verbunden,
um die schwebende Platte 12 abzudecken. An den entsprechenden
Stellen der Trägerarre der schwebenden Platte 12 ist das
thermische Schutzschild 135 nicht am Substrat befestigt und
weist dort Öffnungen 136 oder Aussparungen auf, wie es in den
Fig. 14(a) und (b) gezeigt ist. Das Herstellungsverfahren
für das Schutzschild entspricht dem zuvor anhand der Fig. 7
beschriebenen Verfahren zur Abbauschicht 72. Jetzt wird das
Beispiel des Verfahrens nach Fig. 6 herangezogen, um den
Herstellungsprozeß des thermischen Schutzschildes 135 zu
beschreiben. Die Diagramme des Verfahrens sind in den Fig.
15(a) bis 15(j) gezeigt.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung
wird das thermische Schutzschild 135 entsprechend dem
Verfahren zur Abbauschicht 72 nach dem Beispiel der Fig. 7
gefertigt. Daher sollten, wenn das Beispiel nach der Fig. 6
herangezogen wird, die Arbeitsschritte der Fig. 7(g) und
7(h) zwischen die Schritte der Fig. 6(f) und 6(g) eingefügt
werden, um das thermische Schutzschild 135 herzustellen.
Wie es in den Fig. 15(a) und 15(b) gezeigt ist, wird
nach dem Schritt der Fig. 15(f) (d. h., Fig. 6(f)) eine
Polyimid Abbauschicht 15 auf den Bereich, der für die
schwebende Platte ausgewählt ist, mittels eines
photolithographischen Verfahrens (siehe Fig. 15(g))
aufgewachsen. Anschließend wird eine Metallschicht 16
aufgebracht, um den Bereich des thermischen Schutzschil
des 135 zu definieren. In dem Verfahrensschritt der Fig.
15(i) wird mittels eines Differenzialätzverfahrens
die Polyamidschicht 15 unter der Metallschicht 16 weg
geätzt, so daß die Metallschicht 16 (d. h., das
thermische Schutzschild 135) oberhalb des Bereiches, der
für die schwebende Platte ausgesucht wurde, aufgehängt
ist. Abschließend wird die schwebende Platte 17 durch
Ätzen des Siliziums mittels der anisotropen Ätztechnik
unterhalb der schwebenden Platte 17 ausgeformt.
Der aus der schwebenden Platte und dem thermischen
Schutzschild bestehende, resultierende Aufbau ist in
der Fig. 15(j) gezeigt. Das gleiche Verfahren kann auch
auf die Ausführungsformen der Fig. 7 und 8 angewendet
werden, ohne daß der Schutzbereich der Erfindung verlas
sen wird.
Es ist offensichtlich, daß bei vorliegender Erfindung
die Temperatur des thermischen Schutzschildes nahezu
dieselbe ist, die auch das Substrat aufweist, da das
thermisch sehr gut leitende Schutzschild an dem Substrat
befestigt ist. Deshalb werden die Bereiche unten und un
terhalb der schwebenden Platte 17 durch die Steuerung
des thermoelektrischen Kühlelementes auf einer konstan
ten Temperatur gehalten, so daß der Nachteil einer Wär
mebeeinflussung von außen vollständig beseitigt ist.
In Anbetracht der obigen Ausführungen kann festgestellt
werden, daß auf Grund der temperaturgesteuerten Vorrich
tung die Temperatur der schwebenden Platte und die Umge
bungstemperatur des Unterdruck-Meßgerätes vorliegender
Erfindung konstant gehalten werden und daß der Umgebung
stemperatur-Drifteffekt durch die Maßnahme des Mischwi
derstands-Temperatur-Kompensationsschaltkreises außer
Kraft gesetzt wird. Das auf dem Prinzip der Wärmeleit
fähigkeit beruhende Mikro-Pirani Unterdruck-Meßgerät
vorliegender Erfindung hat daher eine hohe Empfindlich
keit beim Messen des Unterdrucks und eine nahezu per
fekte Grenze für den Meßdruck.
Claims (6)
1. Meßfühler für ein Mikro-Piraniunterdruck-Meßgerät mit:
- (a) einer schwebenden Platte (12) die über einem Hohlraum (11) eines Siliziumsubstrates (14) aufgehängt ist, wobei auf der schwebenden Platte (12) ein Meßwiderstand (15) angeordnet ist;
- (b) mehreren hängenden Armen (13), die sich derart von der schwebenden Platte (12) wegerstrecken, daß diese am Rand des Hohlraums (11) mit dem Substrat (14) verbunden ist und über dem Hohlraum (11) gehalten aufgehängt ist; und
- (c) einem gemischten Widerstandsschaltkreis zur Temperaturkompensation, der einen Konstantwiderstand (A) mit einem Temperaturkoeffizienten gleich Null und einen Widerstand (B) aufweist, der aus dem gleichen Material hergestellt ist, wie der Meßwiderstand (15), wobei der Konstantwiderstand (A) und der Widerstand (B) miteinander in Reihe geschaltet sind.
2. Meßfühler nach Anspruch 1 bei dem β das Verhältnis der
Impedanz des Konstantwiderstandes (A) zur Gesamtimpedanz des
gemischten Widerstandsschaltkreises (A, B) ist und β einen
Wert zwischen 0,1 und 0,5 aufweist.
3. Meßfühler nach Anspruch 1 mit einem konvex und bogenförmig
geformten thermischen Schutzschild (135), das die schwebende
Platte (12) unter Bildung eines Spaltes zwischen dem
thermischen Schutzschild (135) und der schwebenden Platte (12)
abdeckt, wobei das thermische Schutzschild (135) an seinem Rand
mit den Rändern des Hohlraums (11) des Substrates (14) derart
befestigt ist, daß an den den hängenden Armen (13) der
schwebenden Platte (12) entsprechenden Stellen Öffnungen
gebildet sind.
4. Meßfühler nach Anspruch 1 oder 3 mit einem an einen externen
Steuerschaltkreis anschließbaren Temperaturfühler (T'), welcher
Meßfühler auf einem thermoelektrischen Kühlelement (C) mit
einem Temperaturfühler (T) angeordnet ist, welches
thermoelektrisches Kühlelement (C) auf einem Grundelement (F)
einer Ummantelungsvorrichtung angeordnet ist, wobei der
Temperaturfühler (T) an einen von dem externen
Steuerschaltkreis für den Temperaturfühler (T') des Meßfühlers
getrennten externen Steuerschaltkreis anschließbar ist, mit dem
die Kühlleistung des thermoelektrischen Kühlelementes derart
steuerbar ist, daß es eine konstante Referenztemperatur
aufweist.
5. Meßfühler nach Anspruch 1, bei dem das Material der
schwebenden Platte (12) SiO2, Si3N4 oder SiON ist.
6. Meßfühler nach Anspruch 1, bei dem das Material des
Meßwiderstandes (15) ein Material mit hoher thermischer
Empfindlichkeit ist.
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